JPH08233676A - 圧力又は差圧を測定するための装置 - Google Patents
圧力又は差圧を測定するための装置Info
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- JPH08233676A JPH08233676A JP8002498A JP249896A JPH08233676A JP H08233676 A JPH08233676 A JP H08233676A JP 8002498 A JP8002498 A JP 8002498A JP 249896 A JP249896 A JP 249896A JP H08233676 A JPH08233676 A JP H08233676A
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- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
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- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
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- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
- G01L19/0627—Protection against aggressive medium in general
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/142—Multiple part housings
- G01L19/144—Multiple part housings with dismountable parts, e.g. for maintenance purposes or for ensuring sterile conditions
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 特に高粘性及び/又は粘着性の食品のために
適していて、且つ、電気的特性を害することなく容易に
クリーニングすることができるような、圧力又は差圧を
測定するための装置を提供する。 【解決手段】 セラミックの圧力センサ(1)と、ケー
シング(2)と、着脱可能に前記ケーシングに結合され
た、測定媒体を有する容器の壁(6)に前記装置を固定
するための接続部材(3)とが設けられており、前記ケ
ーシングと圧力センサとの間で、測定媒体に面した側に
外側のシール部材(4)が挿入されており、圧力センサ
と前記接続部材との間に交換可能な内側のシール部材
(9)が配置されており、これらのシール部材が互いに
同軸的に環状に延びている。
適していて、且つ、電気的特性を害することなく容易に
クリーニングすることができるような、圧力又は差圧を
測定するための装置を提供する。 【解決手段】 セラミックの圧力センサ(1)と、ケー
シング(2)と、着脱可能に前記ケーシングに結合され
た、測定媒体を有する容器の壁(6)に前記装置を固定
するための接続部材(3)とが設けられており、前記ケ
ーシングと圧力センサとの間で、測定媒体に面した側に
外側のシール部材(4)が挿入されており、圧力センサ
と前記接続部材との間に交換可能な内側のシール部材
(9)が配置されており、これらのシール部材が互いに
同軸的に環状に延びている。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧力又は差圧を測
定するための装置に関する。
定するための装置に関する。
【0002】
【従来の技術】ドイツ連邦共和国特許出願公開第423
4290号明細書には、次のような圧力測定のための装
置が記載されている。この装置は、回転対称的なセラミ
ックの圧力センサと、軸方向の孔を有した回転対称的な
ケーシングとを備えている。このケーシングの直径は測
定媒体に面した前側の方向で減少している。更にこの装
置は、ケーシングと圧力センサの外周面との間に正面側
で整合するように挿入された唯一のシール部材を有して
いる。
4290号明細書には、次のような圧力測定のための装
置が記載されている。この装置は、回転対称的なセラミ
ックの圧力センサと、軸方向の孔を有した回転対称的な
ケーシングとを備えている。このケーシングの直径は測
定媒体に面した前側の方向で減少している。更にこの装
置は、ケーシングと圧力センサの外周面との間に正面側
で整合するように挿入された唯一のシール部材を有して
いる。
【0003】このような装置の欠点は、常に測定媒体と
接触するシール部材が、圧力センサをケーシングから取
り出さなければ交換することができないことである。シ
ール部材を交換したあとには、装置の再較正が必要であ
る。
接触するシール部材が、圧力センサをケーシングから取
り出さなければ交換することができないことである。シ
ール部材を交換したあとには、装置の再較正が必要であ
る。
【0004】しかしこのような圧力センサの取り出しは
交換のためだけに必要なのではなく、特に装置が食品工
業において使用される場合にはクリーニングのためにも
必要となる。なぜならば、上記のような形式で組み込ま
れたシール部材は潜在的な細菌の巣を成しているからで
ある。
交換のためだけに必要なのではなく、特に装置が食品工
業において使用される場合にはクリーニングのためにも
必要となる。なぜならば、上記のような形式で組み込ま
れたシール部材は潜在的な細菌の巣を成しているからで
ある。
【0005】更にドイツ連邦共和国特許出願公開第42
13857号明細書には、圧力又は差圧を測定するため
の装置が記載されている。この装置はセラミックの圧力
センサとケーシングとを有している。更に、測定媒体を
有する容器の壁に装置を固定するための、着脱可能にケ
ーシングに結合された接続部材を有している。この場
合、接続部材は軸方向の狭い内孔を有している。この内
孔は圧力連絡機能を有していて、この内孔を通して圧力
センサが測定媒体と接触する。更に、ケーシングと接続
部材と圧力センサとの間に、測定媒体に面した側で挿入
された交換可能なシール部材が設けられている。このシ
ール部材は、接続部材がストッパに向けてねじ込まれる
ことによって規定の力で緊定されている。
13857号明細書には、圧力又は差圧を測定するため
の装置が記載されている。この装置はセラミックの圧力
センサとケーシングとを有している。更に、測定媒体を
有する容器の壁に装置を固定するための、着脱可能にケ
ーシングに結合された接続部材を有している。この場
合、接続部材は軸方向の狭い内孔を有している。この内
孔は圧力連絡機能を有していて、この内孔を通して圧力
センサが測定媒体と接触する。更に、ケーシングと接続
部材と圧力センサとの間に、測定媒体に面した側で挿入
された交換可能なシール部材が設けられている。このシ
ール部材は、接続部材がストッパに向けてねじ込まれる
ことによって規定の力で緊定されている。
【0006】しかしこのような形式の装置は、高粘性及
び/又は接着性の媒体には不適当である。なぜならば、
このような媒体は接続部材の軸方向の内孔を閉塞し、ひ
いては圧力伝達を妨害するからである。
び/又は接着性の媒体には不適当である。なぜならば、
このような媒体は接続部材の軸方向の内孔を閉塞し、ひ
いては圧力伝達を妨害するからである。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、特に
高粘性及び/又は粘着性の食品のために適していて、且
つ、電気的特性を害することなく容易にクリーニングす
ることができるような、圧力又は差圧を測定するための
装置を提供することである。
高粘性及び/又は粘着性の食品のために適していて、且
つ、電気的特性を害することなく容易にクリーニングす
ることができるような、圧力又は差圧を測定するための
装置を提供することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明では、セラミックの圧力センサと、ケーシング
と、着脱可能に前記ケーシングに結合された、測定媒体
を有する容器の壁に前記装置を固定するための接続部材
とが設けられており、前記ケーシングと圧力センサとの
間で、測定媒体に面した側に外側のシール部材が挿入さ
れており、圧力センサと前記接続部材との間に交換可能
な内側のシール部材が配置されており、これらのシール
部材が互いに同軸的に環状に延びているようにした。
に本発明では、セラミックの圧力センサと、ケーシング
と、着脱可能に前記ケーシングに結合された、測定媒体
を有する容器の壁に前記装置を固定するための接続部材
とが設けられており、前記ケーシングと圧力センサとの
間で、測定媒体に面した側に外側のシール部材が挿入さ
れており、圧力センサと前記接続部材との間に交換可能
な内側のシール部材が配置されており、これらのシール
部材が互いに同軸的に環状に延びているようにした。
【0009】
【発明の効果】本発明の有利な構成によれば、圧力に敏
感なダイヤフラムを有した圧力センサが設けられてお
り、前記ケーシングと前記接続部材とが各1つの中央の
開口を備えており、これらの開口を通してダイヤフラム
が測定媒体と接触する。
感なダイヤフラムを有した圧力センサが設けられてお
り、前記ケーシングと前記接続部材とが各1つの中央の
開口を備えており、これらの開口を通してダイヤフラム
が測定媒体と接触する。
【0010】本発明の更に有利な構成によれば、前記ケ
ーシングが、測定媒体に面した側で、ケーシングの内部
に突出した保持リングによって遮断されており、該保持
リングが、外側の前記シール部材を収容するための溝を
有しており、圧力センサが外側の前記シール部材に向け
て押圧されている。
ーシングが、測定媒体に面した側で、ケーシングの内部
に突出した保持リングによって遮断されており、該保持
リングが、外側の前記シール部材を収容するための溝を
有しており、圧力センサが外側の前記シール部材に向け
て押圧されている。
【0011】本発明による別の有利な構成によれば、前
記接続部材が、前記ケーシングを測定媒体に面した側で
取り囲んでおり、且つ内側のシール部材を、圧力センサ
の、圧力に敏感ではない縁部に向けて押圧しており、内
側のシール部材が、測定媒体に向いた側で前記接続部材
に接触していて、且つ測定媒体と反対側で圧力センサに
接触していて、外側では前記ケーシングに接触してい
て、内側では測定媒体に接触している。
記接続部材が、前記ケーシングを測定媒体に面した側で
取り囲んでおり、且つ内側のシール部材を、圧力センサ
の、圧力に敏感ではない縁部に向けて押圧しており、内
側のシール部材が、測定媒体に向いた側で前記接続部材
に接触していて、且つ測定媒体と反対側で圧力センサに
接触していて、外側では前記ケーシングに接触してい
て、内側では測定媒体に接触している。
【0012】本発明の更に別の有利な構成によれば、測
定媒体が前記ケーシングに接触していない。
定媒体が前記ケーシングに接触していない。
【0013】本発明の更に別の有利な構成によれば、前
記ケーシングが、内側のシール部材を介して圧力密に前
記接続部材に結合されており、更に前記ケーシングと前
記接続部材とが互いにねじ締結されている。
記ケーシングが、内側のシール部材を介して圧力密に前
記接続部材に結合されており、更に前記ケーシングと前
記接続部材とが互いにねじ締結されている。
【0014】更に、前記接続部材を圧力密に容器の壁に
着脱可能に結合することができる。この場合、前記接続
部材が、測定媒体に対して耐性の材料、例えばハステロ
イ、チタン、タンタル、モネル、ニッケル又はインコネ
ルからから成っていると有利である。
着脱可能に結合することができる。この場合、前記接続
部材が、測定媒体に対して耐性の材料、例えばハステロ
イ、チタン、タンタル、モネル、ニッケル又はインコネ
ルからから成っていると有利である。
【0015】本発明による装置の利点の1つは、装置が
十分に平らな正面を有していて、測定媒体が通る隘路を
全く有していないことにある。
十分に平らな正面を有していて、測定媒体が通る隘路を
全く有していないことにある。
【0016】本発明による装置の別の利点は、測定媒体
と接触したシール部材の交換をする際に、装置を再較正
する必要がなく、更に圧力連絡機能を備えた構成部材も
必要としないことにある。
と接触したシール部材の交換をする際に、装置を再較正
する必要がなく、更に圧力連絡機能を備えた構成部材も
必要としないことにある。
【0017】本発明の更に別の利点は、装置が、着脱可
能に結合された接続部材によって、多目的構成部材とし
て多数のプロセス接続部のために使用可能であることに
ある。更に利点として、衛生上の理由及び/又は著しい
不純物の理由から必要となる多数の交換部材を費用をか
けて保管することを回避することができる。
能に結合された接続部材によって、多目的構成部材とし
て多数のプロセス接続部のために使用可能であることに
ある。更に利点として、衛生上の理由及び/又は著しい
不純物の理由から必要となる多数の交換部材を費用をか
けて保管することを回避することができる。
【0018】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を図
面につき詳しく説明する。
面につき詳しく説明する。
【0019】図1には、圧力又は差圧を測定するための
装置が示されており、この装置は3つの主要な部材から
成っている。即ち圧力センサ1と、ケーシング2と、こ
のケーシング2に着脱可能に結合された接続部材3とか
ら成っている。接続部材3は、測定媒体を有した容器の
壁6にこの装置を固定するために働く。ケーシング2と
圧力センサ1との間には、測定媒体に面した側に、外側
のシール部材4が設けられている。圧力センサ1と接続
部材3との間には、交換可能な内側のシール部材9が配
置されている。両シール部材4,9は、互いに同軸的に
環状に延びている。
装置が示されており、この装置は3つの主要な部材から
成っている。即ち圧力センサ1と、ケーシング2と、こ
のケーシング2に着脱可能に結合された接続部材3とか
ら成っている。接続部材3は、測定媒体を有した容器の
壁6にこの装置を固定するために働く。ケーシング2と
圧力センサ1との間には、測定媒体に面した側に、外側
のシール部材4が設けられている。圧力センサ1と接続
部材3との間には、交換可能な内側のシール部材9が配
置されている。両シール部材4,9は、互いに同軸的に
環状に延びている。
【0020】圧力センサ1は例えば一般的な容量型の円
筒形の圧力測定セルであり、この圧力測定セルはダイヤ
フラム11と基体12とから成っている。これらのダイ
ヤフラム11と基体12とは、結合材料、例えば活性硬
蝋によって、互いに所定の間隔を保って互いに密にシー
ルされて結合されている。ダイヤフラム11と基体12
との、電極材料で被覆された内面は、少なくとも1つの
測定コンデンサを形成している。この測定コンデンサの
容量は、ダイヤフラム11のひずみに関連しているの
で、ダイヤフラム11に加えられる圧力の尺度となる。
筒形の圧力測定セルであり、この圧力測定セルはダイヤ
フラム11と基体12とから成っている。これらのダイ
ヤフラム11と基体12とは、結合材料、例えば活性硬
蝋によって、互いに所定の間隔を保って互いに密にシー
ルされて結合されている。ダイヤフラム11と基体12
との、電極材料で被覆された内面は、少なくとも1つの
測定コンデンサを形成している。この測定コンデンサの
容量は、ダイヤフラム11のひずみに関連しているの
で、ダイヤフラム11に加えられる圧力の尺度となる。
【0021】ダイヤフラム11は、セラミック、オキサ
イドセラミックス、石英、サファイア又は結晶質の材料
から形成することができる。基体12は、ダイヤフラム
11の材料と極めて類似した材料又は少なくともこれに
匹敵する熱膨張係数を有した材料から形成すると有利で
ある。
イドセラミックス、石英、サファイア又は結晶質の材料
から形成することができる。基体12は、ダイヤフラム
11の材料と極めて類似した材料又は少なくともこれに
匹敵する熱膨張係数を有した材料から形成すると有利で
ある。
【0022】測定媒体と反対の側には、圧力測定セルは
電子回路13を有している。電子回路13は、測定コン
デンサの容量を、圧力に関連した電気信号に変換し、電
気的な接続導線14を介して次の処理装置及び/又は表
示装置に供給する。
電子回路13を有している。電子回路13は、測定コン
デンサの容量を、圧力に関連した電気信号に変換し、電
気的な接続導線14を介して次の処理装置及び/又は表
示装置に供給する。
【0023】しかし、別の形式の圧力センサ、例えば抵
抗線ひずみゲージと共に働く圧力センサを、本発明の場
合に使用することもできる。
抗線ひずみゲージと共に働く圧力センサを、本発明の場
合に使用することもできる。
【0024】圧力センサ1は回転対称的なケーシング2
の内部で、圧力に敏感なダイヤフラム11が測定媒体に
面するように収容されている。電気的な接続導線14は
ケーシング内において、圧力センサ1の、測定媒体と逆
側の後側に延びている。
の内部で、圧力に敏感なダイヤフラム11が測定媒体に
面するように収容されている。電気的な接続導線14は
ケーシング内において、圧力センサ1の、測定媒体と逆
側の後側に延びている。
【0025】図2には、ケーシング2が単独で示されて
いる。ケーシング2の円筒形の内室21の内径は一定
で、圧力センサ1の外径に対応している。ケーシング2
と接続部材3とは各1つの中央の開口23,31を有し
ており、これらの開口23,31を通してダイヤフラム
11が測定媒体に接触している。接続部材3の中央の開
口31は、圧力センサ1のダイヤフラム11のほぼ全体
が測定媒体に接触するように構成されている。これによ
り、圧力センサ1の感度が十分に利用され、装置を容易
にクリーニングすることができる。
いる。ケーシング2の円筒形の内室21の内径は一定
で、圧力センサ1の外径に対応している。ケーシング2
と接続部材3とは各1つの中央の開口23,31を有し
ており、これらの開口23,31を通してダイヤフラム
11が測定媒体に接触している。接続部材3の中央の開
口31は、圧力センサ1のダイヤフラム11のほぼ全体
が測定媒体に接触するように構成されている。これによ
り、圧力センサ1の感度が十分に利用され、装置を容易
にクリーニングすることができる。
【0026】開口31の横断面は、測定媒体に面した側
の方向に向けて増大している。なぜならば、開口31の
縁部が縦断面で見て四分円を描いているからである(図
1参照)。接続部材3の、測定媒体側の面は容器の壁6
と整合している。接続部材3は、内側のシール部材9を
固定するために必要な分だけ圧力センサ1の縁部範囲の
手前まで延びている。このように接続部材3が圧力セン
サ1と事実上正面側で整合した構成によって、装置を良
好にクリーニングすることができる。
の方向に向けて増大している。なぜならば、開口31の
縁部が縦断面で見て四分円を描いているからである(図
1参照)。接続部材3の、測定媒体側の面は容器の壁6
と整合している。接続部材3は、内側のシール部材9を
固定するために必要な分だけ圧力センサ1の縁部範囲の
手前まで延びている。このように接続部材3が圧力セン
サ1と事実上正面側で整合した構成によって、装置を良
好にクリーニングすることができる。
【0027】測定媒体に面した側では、ケーシング2
は、ケーシング2の内室21に半径方向に延びる保持リ
ング22として形成されており、この保持リング22は
環円筒状のつば221を備えている。ケーシング2の中
央の円形の開口23の直径は、保持リング22の環円筒
状のつば221の内径と等しい。
は、ケーシング2の内室21に半径方向に延びる保持リ
ング22として形成されており、この保持リング22は
環円筒状のつば221を備えている。ケーシング2の中
央の円形の開口23の直径は、保持リング22の環円筒
状のつば221の内径と等しい。
【0028】保持リング22はケーシング2の内室21
において、圧力センサに面した側に溝24を有してお
り、この溝24は例えば方形の横断面を有していて、そ
の外径は内室21の直径に相応している。この溝24の
内部には外側のシール部材4が設けられている。このシ
ール部材4は例えばエラストマから成るOリングであ
り、圧力センサ1の後側に配置された電子回路13を不
純物及び/又は湿分から保護する機能を担っている。
において、圧力センサに面した側に溝24を有してお
り、この溝24は例えば方形の横断面を有していて、そ
の外径は内室21の直径に相応している。この溝24の
内部には外側のシール部材4が設けられている。このシ
ール部材4は例えばエラストマから成るOリングであ
り、圧力センサ1の後側に配置された電子回路13を不
純物及び/又は湿分から保護する機能を担っている。
【0029】ダイヤフラム11の外縁部は、溝24に設
けられたシール部材4に接触している。ダイヤフラム1
1とつば221の肩部25との間には、狭い間隙223
が存在する。測定媒体と逆側では、圧力センサ1は、雄
ねじ山を備え且つケーシング2の内室21の雌ねじ山2
6にねじ込まれたねじ山付リング5によって保持リング
22と外側のシール部材4とに向けて押圧されている。
従ってこの場所で圧力センサ1は圧力密に配置されてい
る。外側のシール部材は交換不可能である。
けられたシール部材4に接触している。ダイヤフラム1
1とつば221の肩部25との間には、狭い間隙223
が存在する。測定媒体と逆側では、圧力センサ1は、雄
ねじ山を備え且つケーシング2の内室21の雌ねじ山2
6にねじ込まれたねじ山付リング5によって保持リング
22と外側のシール部材4とに向けて押圧されている。
従ってこの場所で圧力センサ1は圧力密に配置されてい
る。外側のシール部材は交換不可能である。
【0030】この配置は、圧力センサ特性曲線が広い温
度範囲にわたって一定であるという利点を有している。
なぜならば、圧力センサ1が規定の形式で緊定されてい
るからである。このようにして、圧力センサ1とケーシ
ング2と外側のシール部材4とねじ山付リング5と電子
回路13と電気的な接続導線1とから成る、完全に機能
を果たす能力のある圧力測定装置が得られる。
度範囲にわたって一定であるという利点を有している。
なぜならば、圧力センサ1が規定の形式で緊定されてい
るからである。このようにして、圧力センサ1とケーシ
ング2と外側のシール部材4とねじ山付リング5と電子
回路13と電気的な接続導線1とから成る、完全に機能
を果たす能力のある圧力測定装置が得られる。
【0031】内側のシール部材9を固定するためには、
接続部材3が保持リング22のつば221を取り囲む。
この場合、圧力センサ1の縁部範囲でダイヤフラム11
と接続部材3との間に間隙10が保たれる。シール部材
9は、測定媒体側では接続部材3に接触していて、測定
媒体と逆の側では圧力センサ1に接触していて、外側で
はケーシング2に接触している。シール部材9の内側に
は、測定媒体が接触する。シール部材9は、測定媒体に
対して耐性のある材料から成っている。測定媒体に応じ
て、この材料は例えばバイトンOリング、カルレツ(K
alrez)シール又はポリテトラフルオロエチレンに
よって被覆されたバイトンシールである。ケーシング2
は測定媒体に接触しない。ケーシング2の、外側と測定
媒体に面した前側とにおいては、接続部材3が保持リン
グ22を完全に取り囲んでいる。
接続部材3が保持リング22のつば221を取り囲む。
この場合、圧力センサ1の縁部範囲でダイヤフラム11
と接続部材3との間に間隙10が保たれる。シール部材
9は、測定媒体側では接続部材3に接触していて、測定
媒体と逆の側では圧力センサ1に接触していて、外側で
はケーシング2に接触している。シール部材9の内側に
は、測定媒体が接触する。シール部材9は、測定媒体に
対して耐性のある材料から成っている。測定媒体に応じ
て、この材料は例えばバイトンOリング、カルレツ(K
alrez)シール又はポリテトラフルオロエチレンに
よって被覆されたバイトンシールである。ケーシング2
は測定媒体に接触しない。ケーシング2の、外側と測定
媒体に面した前側とにおいては、接続部材3が保持リン
グ22を完全に取り囲んでいる。
【0032】接続部材3を圧力密に且つ着脱可能にケー
シング2に固定するために、ケーシング2は、圧力セン
サ1の、測定媒体と逆側の面の高さに、少なくとも2つ
の孔28を備えた段付けリング27を有している。これ
らの孔28を通して、ケーシング2はねじ8を介して接
続部材3に結合されている。従ってケーシング2の段付
けリング27は接続部材3に密に接触している。更に接
続部材3は下側のケーシング縁部において、保持リング
22の、溝24と反対の側に密に接触している。これに
よって、内側のシール部材9を備えた間隙10が常に同
じ寸法を保ち、各取り付け時に内側のシール部材9が同
じ圧着力を受ける。
シング2に固定するために、ケーシング2は、圧力セン
サ1の、測定媒体と逆側の面の高さに、少なくとも2つ
の孔28を備えた段付けリング27を有している。これ
らの孔28を通して、ケーシング2はねじ8を介して接
続部材3に結合されている。従ってケーシング2の段付
けリング27は接続部材3に密に接触している。更に接
続部材3は下側のケーシング縁部において、保持リング
22の、溝24と反対の側に密に接触している。これに
よって、内側のシール部材9を備えた間隙10が常に同
じ寸法を保ち、各取り付け時に内側のシール部材9が同
じ圧着力を受ける。
【0033】圧力センサ1の、圧力に敏感なダイヤフラ
ム11の外側では、接続部材3と内側のシール部材9だ
けが、測定媒体と接触する装置構成部分である。従って
これらの接続部材3と内側のシール部材9だけが、測定
媒体に対して耐性であればよい。特に腐食性の測定媒体
の場合には、接続部材3の材料はコストの高い特殊材
料、例えばチタン、タンタル、ニッケル、モネル、イン
コネル又はハステロイである。これに対してケーシング
2の材料は比較的安価な標準的な材料、例えばアルミニ
ウム又は鋼鉄でよい。
ム11の外側では、接続部材3と内側のシール部材9だ
けが、測定媒体と接触する装置構成部分である。従って
これらの接続部材3と内側のシール部材9だけが、測定
媒体に対して耐性であればよい。特に腐食性の測定媒体
の場合には、接続部材3の材料はコストの高い特殊材
料、例えばチタン、タンタル、ニッケル、モネル、イン
コネル又はハステロイである。これに対してケーシング
2の材料は比較的安価な標準的な材料、例えばアルミニ
ウム又は鋼鉄でよい。
【0034】接続部材3はプロセス接続部7によって壁
6に固定されている。図1には、プロセス接続部7が概
略的に示されている。接続部材3の内側のジオメトリは
すべての使用例において同一であるが、接続部材3の外
側のジオメトリには多くの変化形がある。接続部材3の
ジオメトリは例えばフランジとして形成されてこのフラ
ンジが測定箇所において対向フランジにねじ締結された
り、又は雄ねじ山として形成されてこの雄ねじ山が対応
する開口にねじ込まれたり、又は旋削加工部材として形
成され、この旋削加工部材が開口6に溶着される。別の
着脱可能又は着脱不可能なプロセス接続部7が、当業者
に知られている。
6に固定されている。図1には、プロセス接続部7が概
略的に示されている。接続部材3の内側のジオメトリは
すべての使用例において同一であるが、接続部材3の外
側のジオメトリには多くの変化形がある。接続部材3の
ジオメトリは例えばフランジとして形成されてこのフラ
ンジが測定箇所において対向フランジにねじ締結された
り、又は雄ねじ山として形成されてこの雄ねじ山が対応
する開口にねじ込まれたり、又は旋削加工部材として形
成され、この旋削加工部材が開口6に溶着される。別の
着脱可能又は着脱不可能なプロセス接続部7が、当業者
に知られている。
【0035】接続部材3は2つの役割を果たす。まず1
つ目は、シール部材9の、再現可能な緊定、即ち圧力セ
ンサ特性曲線を変化させない緊定を保証することであ
る。2つ目は、アダプタとしての機能である。このアダ
プタによって、事実上の圧力センサ装置、即ち圧力セン
サ1とケーシング2と外側のシール部材4とねじ山付リ
ング5と電子回路13と電気的な接続導線14とが、多
目的構成ユニットとして、壁6において可能な多数のプ
ロセス接続部のうちの1つに固定される。
つ目は、シール部材9の、再現可能な緊定、即ち圧力セ
ンサ特性曲線を変化させない緊定を保証することであ
る。2つ目は、アダプタとしての機能である。このアダ
プタによって、事実上の圧力センサ装置、即ち圧力セン
サ1とケーシング2と外側のシール部材4とねじ山付リ
ング5と電子回路13と電気的な接続導線14とが、多
目的構成ユニットとして、壁6において可能な多数のプ
ロセス接続部のうちの1つに固定される。
【図1】本発明による装置の縦断面図である。
【図2】図1に示したケーシングの縦断面図である。
1 圧力センサ、 2 ケーシング、 3 接続部材、
4 シール部材、5 ねじ山付リング、 6 壁、
7 プロセス接続部、 9 シール部材、11 ダイヤ
フラム、 12 基体、 13 電子回路、 14 接
続導線、21 内室、 22 保持リング、 23 開
口、 24 溝、 27 段付けリング、 28 孔、
31 開口、 221 つば、 223 間隙
4 シール部材、5 ねじ山付リング、 6 壁、
7 プロセス接続部、 9 シール部材、11 ダイヤ
フラム、 12 基体、 13 電子回路、 14 接
続導線、21 内室、 22 保持リング、 23 開
口、 24 溝、 27 段付けリング、 28 孔、
31 開口、 221 つば、 223 間隙
Claims (10)
- 【請求項1】 圧力又は差圧を測定するための装置にお
いて、セラミックの圧力センサ(1)と、ケーシング
(2)と、着脱可能に前記ケーシング(2)に結合され
た、測定媒体を有する容器の壁(6)に前記装置を固定
するための接続部材(3)とが設けられており、前記ケ
ーシング(2)と圧力センサ(1)との間で、測定媒体
に面した側に外側のシール部材(4)が挿入されてお
り、圧力センサ(1)と前記接続部材(3)との間に交
換可能な内側のシール部材(9)が配置されており、こ
れらのシール部材が互いに同軸的に環状に延びているこ
とを特徴とする、圧力又は差圧を測定するための装置。 - 【請求項2】 圧力に敏感なダイヤフラム(11)を有
した圧力センサが設けられており、前記ケーシング
(2)と前記接続部材(3)とが各1つの中央の開口
(23,31)を備えており、これらの開口(23,3
1)を通してダイヤフラム(11)が測定媒体と接触す
る、請求項1記載の装置。 - 【請求項3】 前記ケーシング(2)が、測定媒体に面
した側で、ケーシング(2)の内部に突出した保持リン
グ(22)によって遮断されており、該保持リング(2
2)が、外側の前記シール部材(4)を収容するための
溝(24)を有しており、圧力センサ(1)が外側の前
記シール部材(4)に向けて押圧されている、請求項1
記載の装置。 - 【請求項4】 前記接続部材(3)が、前記ケーシング
(2)を測定媒体に面した側で取り囲んでおり、且つ内
側のシール部材(9)を、圧力センサの、圧力に敏感で
はない縁部に向けて押圧しており、内側のシール部材
(9)が、測定媒体に向いた側で前記接続部材(3)に
接触していて、且つ測定媒体と反対側で圧力センサに接
触していて、外側では前記ケーシング(2)に接触して
いて、内側では測定媒体に接触している、請求項1記載
の装置。 - 【請求項5】 測定媒体が前記ケーシング(2)に接触
していない、請求項1記載の装置。 - 【請求項6】 前記ケーシング(2)が、内側のシール
部材(9)を介して圧力密に前記接続部材(3)に結合
されている、請求項1記載の装置。 - 【請求項7】 前記ケーシング(2)と前記接続部材
(3)とが互いにねじ締結されている、請求項1記載の
装置。 - 【請求項8】 前記接続部材(3)が圧力密に容器の壁
(6)に着脱可能に結合されている、請求項1記載の装
置。 - 【請求項9】 前記接続部材(3)が、測定媒体に対し
て耐性の材料から成っている、請求項1記載の装置。 - 【請求項10】 前記接続部材(3)が、ハステロイ、
チタン、タンタル、モネル、ニッケル又はインコネルか
ら成っている、請求項5記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE95100337.5 | 1995-01-12 | ||
| EP95100337A EP0723143B1 (de) | 1995-01-12 | 1995-01-12 | Keramischer Drucksensor mit Behälteranschlusselement und Doppeldichtung |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08233676A true JPH08233676A (ja) | 1996-09-13 |
| JP2664023B2 JP2664023B2 (ja) | 1997-10-15 |
Family
ID=8218898
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8002498A Expired - Fee Related JP2664023B2 (ja) | 1995-01-12 | 1996-01-10 | 圧力又は差圧を測定するための装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5665920A (ja) |
| EP (1) | EP0723143B1 (ja) |
| JP (1) | JP2664023B2 (ja) |
| CA (1) | CA2166440C (ja) |
| DE (1) | DE59502169D1 (ja) |
| DK (1) | DK0723143T3 (ja) |
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| JP2002257659A (ja) * | 2001-02-27 | 2002-09-11 | Minebea Co Ltd | 高温計測用半導体式圧力センサ |
| JP2004184277A (ja) * | 2002-12-04 | 2004-07-02 | Tem-Tech Kenkyusho:Kk | 静電容量型のダイヤフラム圧力センサおよびその製造方法 |
| JP2005308666A (ja) * | 2004-04-26 | 2005-11-04 | Hitachi Ltd | 圧力検出装置の検出部構造 |
| JP2015111066A (ja) * | 2013-12-06 | 2015-06-18 | 長野計器株式会社 | 物理量測定センサ |
| JP2018072106A (ja) * | 2016-10-27 | 2018-05-10 | サーパス工業株式会社 | 圧力検出装置 |
| JP2020134420A (ja) * | 2019-02-25 | 2020-08-31 | ヤマシンフィルタ株式会社 | 差圧検出装置 |
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| US6059254A (en) * | 1997-03-27 | 2000-05-09 | Rosemount Inc. | Process instrument mount |
| US6055864A (en) * | 1998-04-14 | 2000-05-02 | Mannesmann Vdo Ag | Pressure sensor and method for its production |
| DE19825889A1 (de) * | 1998-04-14 | 1999-11-11 | Mannesmann Vdo Ag | Drucksensor und Verfahren zu seiner Herstellung |
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| DE102004031582A1 (de) | 2004-06-29 | 2006-02-09 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Duckaufnehmer |
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1995
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- 1995-01-12 EP EP95100337A patent/EP0723143B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1995-01-12 DE DE59502169T patent/DE59502169D1/de not_active Expired - Fee Related
-
1996
- 1996-01-02 CA CA002166440A patent/CA2166440C/en not_active Expired - Fee Related
- 1996-01-10 JP JP8002498A patent/JP2664023B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1996-01-11 US US08/584,055 patent/US5665920A/en not_active Expired - Lifetime
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