JPH08233732A - 分光分析装置 - Google Patents
分光分析装置Info
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- JPH08233732A JPH08233732A JP6202295A JP6202295A JPH08233732A JP H08233732 A JPH08233732 A JP H08233732A JP 6202295 A JP6202295 A JP 6202295A JP 6202295 A JP6202295 A JP 6202295A JP H08233732 A JPH08233732 A JP H08233732A
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Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 暗室内での迷光による悪影響や、センサ面へ
の結露を防止すると共に、センサのピント合わせが簡単
な分光分析装置を提供する。 【構成】 全体装置は投光部１と受光部２とからなる。
受光部２は集光用レンズ４と、スリット７と、リファレ
ンス用ＮＤフィルタ９と、回折格子１４とリニアイメー
ジセンサ１５とを有する。フィルタ９はスリット７の前
面に位置し、開放自在である。スリット７はボディ８に
組込まれていて、ボディ８の背面にはケース１２で囲わ
れた暗室１３がある。暗室１３内には回折格子１４と、
センサ１５と、乾燥剤１８とが入っている。センサ１５
は、センサ支持体１６に固定され、暗室１３の外から位
置調節できる。
の結露を防止すると共に、センサのピント合わせが簡単
な分光分析装置を提供する。 【構成】 全体装置は投光部１と受光部２とからなる。
受光部２は集光用レンズ４と、スリット７と、リファレ
ンス用ＮＤフィルタ９と、回折格子１４とリニアイメー
ジセンサ１５とを有する。フィルタ９はスリット７の前
面に位置し、開放自在である。スリット７はボディ８に
組込まれていて、ボディ８の背面にはケース１２で囲わ
れた暗室１３がある。暗室１３内には回折格子１４と、
センサ１５と、乾燥剤１８とが入っている。センサ１５
は、センサ支持体１６に固定され、暗室１３の外から位
置調節できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は赤外線などを被測定物
に照射し、その透過光を受光計測して、被測定物の内部
性状を光学的に非破壊で検査測定するのに用いる分光分
析装置に関する。
に照射し、その透過光を受光計測して、被測定物の内部
性状を光学的に非破壊で検査測定するのに用いる分光分
析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】青果物の内部性状、例えば糖度値を、光
学方式で非破壊検査する測定装置は既に本発明者によっ
て提案（特開平６−２１３８０４号）されている。この
測定装置の概要は、近赤外線を青果物に照射し、その透
過光を回析格子で分光させた上で、センサ上に焦点を結
ばせ、糖度によって大きな影響を受ける特定波長の分光
の光量値から、演算によってその青果物の糖度値を割り
出さんとするものである。
学方式で非破壊検査する測定装置は既に本発明者によっ
て提案（特開平６−２１３８０４号）されている。この
測定装置の概要は、近赤外線を青果物に照射し、その透
過光を回析格子で分光させた上で、センサ上に焦点を結
ばせ、糖度によって大きな影響を受ける特定波長の分光
の光量値から、演算によってその青果物の糖度値を割り
出さんとするものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、前記従来の
測定装置では、スリット、リファレンス用ＮＤフィル
タ、回折格子、センサなどの受光部の各部品が全て一つ
の暗室内に設けられ、かつ、フィルタがスリットの後方
位置に設けられていた為、フィルタやスリットでの反射
光などが暗室内で散乱して、計測に支障を与え、精度の
向上を妨げる原因となっている。また、従来装置ではセ
ンサの温度ドリフトを防止するため、センサ本体を冷却
するが、このときセンサの表面に結露が発生し、光量計
測に悪影響を与える上に、センサが暗室内に収容されて
いるので、ピント合わせの都度、暗室を開けなければな
らず、作業が面倒である。
測定装置では、スリット、リファレンス用ＮＤフィル
タ、回折格子、センサなどの受光部の各部品が全て一つ
の暗室内に設けられ、かつ、フィルタがスリットの後方
位置に設けられていた為、フィルタやスリットでの反射
光などが暗室内で散乱して、計測に支障を与え、精度の
向上を妨げる原因となっている。また、従来装置ではセ
ンサの温度ドリフトを防止するため、センサ本体を冷却
するが、このときセンサの表面に結露が発生し、光量計
測に悪影響を与える上に、センサが暗室内に収容されて
いるので、ピント合わせの都度、暗室を開けなければな
らず、作業が面倒である。
【０００４】また、従来装置では、リファレンス用ＮＤ
フィルタは被測定物の透過率レベルにほぼ合致する１種
類だけを組込んでいる。この為、透過率の異なる被測定
物を計測する場合には、フィルタを取替えなければなら
ず、作業上、不便である。
フィルタは被測定物の透過率レベルにほぼ合致する１種
類だけを組込んでいる。この為、透過率の異なる被測定
物を計測する場合には、フィルタを取替えなければなら
ず、作業上、不便である。
【０００５】本発明はこのような点に鑑み、暗室内に於
ける反射光などの迷光の存在をなくして、高精度での計
測を可能にした分光分析装置を提供せんとするものであ
る。また、本発明は、センサ面への結露を防止して、常
に正常な計測が行える分光分析装置を提供せんとするも
のである。更に、本発明はセンサの焦点合わせを暗室の
外から簡単に行える分光分析装置を提供せんとするもの
である。更にまた、本発明は、被測定物の種類の変更に
対応できる分光分析装置を提供せんとするものである。
ける反射光などの迷光の存在をなくして、高精度での計
測を可能にした分光分析装置を提供せんとするものであ
る。また、本発明は、センサ面への結露を防止して、常
に正常な計測が行える分光分析装置を提供せんとするも
のである。更に、本発明はセンサの焦点合わせを暗室の
外から簡単に行える分光分析装置を提供せんとするもの
である。更にまた、本発明は、被測定物の種類の変更に
対応できる分光分析装置を提供せんとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の分光分析装置の
技術的手段は、集光用レンズと、スリットと、分光用回
折格子と、分光検出用リニアイメージセンサと、暗室と
からなり、スリットは暗室と外部との境界に取付けら
れ、スリットの入射側前方位置には開放自在なリファレ
ンス用ＮＤフィルタが設けられ、また、回折格子は暗室
内に設置され、リニアイメージセンサは暗室内に位置
し、かつ、暗室外から位置微調節できるように設けられ
ていることにある。
技術的手段は、集光用レンズと、スリットと、分光用回
折格子と、分光検出用リニアイメージセンサと、暗室と
からなり、スリットは暗室と外部との境界に取付けら
れ、スリットの入射側前方位置には開放自在なリファレ
ンス用ＮＤフィルタが設けられ、また、回折格子は暗室
内に設置され、リニアイメージセンサは暗室内に位置
し、かつ、暗室外から位置微調節できるように設けられ
ていることにある。
【０００７】また、暗室を気密にして、室内に乾燥剤を
収容するようにしてもよい。
収容するようにしてもよい。
【０００８】更に、リニアイメージセンサを、暗室環境
を保持しつつ、前後方向への移動及び傾斜移動が自在な
センサ支持体に固定するようにしてもよい。
を保持しつつ、前後方向への移動及び傾斜移動が自在な
センサ支持体に固定するようにしてもよい。
【０００９】また、リファレンス用ＮＤフィルタとし
て、透過率の異なる複数のフィルタを、移動自在な基盤
に取付けたものを用いてもよい。
て、透過率の異なる複数のフィルタを、移動自在な基盤
に取付けたものを用いてもよい。
【００１０】
【作用】本発明の分光分析装置では、投光部から被測定
物に向かって光線が照射され、被測定物を透過した光線
は受光部に入る。光線は被測定物内を透過する間に、被
測定物の内部性状による影響を受ける。従って透過光を
分光して、所定波長の光量を計測することにより、被測
定物の内部性状、例えば、青果物の糖度値や酸度値など
を知ることができる。
物に向かって光線が照射され、被測定物を透過した光線
は受光部に入る。光線は被測定物内を透過する間に、被
測定物の内部性状による影響を受ける。従って透過光を
分光して、所定波長の光量を計測することにより、被測
定物の内部性状、例えば、青果物の糖度値や酸度値など
を知ることができる。
【００１１】受光部に入った透過光は、集光用レンズで
収束させられ、暗室と外部との境界にあるスリットを通
過し、回折格子に達する。回折格子では光を反射させる
際に、波長によって分光する。リニアイメージセンサで
は到来した光を、各波長の分光ごとにその光量を計測す
る。リファレンス用ＮＤフィルタはスリットの前方位置
に設けられているので、スリットの後方に位置する暗室
内ではフィルタ面からの反射光の影響を受けず、この結
果、高精度でのリファレンス調整が可能となる。また、
スリットは暗室と外部との境界に組付けられ、暗室内に
は回折格子と、センサしか存在しないので、迷光の影響
は全く受けない。また、センサは暗室内に位置するが、
外部から位置微調節できるので、センサのピント合わせ
作業は簡単である。
収束させられ、暗室と外部との境界にあるスリットを通
過し、回折格子に達する。回折格子では光を反射させる
際に、波長によって分光する。リニアイメージセンサで
は到来した光を、各波長の分光ごとにその光量を計測す
る。リファレンス用ＮＤフィルタはスリットの前方位置
に設けられているので、スリットの後方に位置する暗室
内ではフィルタ面からの反射光の影響を受けず、この結
果、高精度でのリファレンス調整が可能となる。また、
スリットは暗室と外部との境界に組付けられ、暗室内に
は回折格子と、センサしか存在しないので、迷光の影響
は全く受けない。また、センサは暗室内に位置するが、
外部から位置微調節できるので、センサのピント合わせ
作業は簡単である。
【００１２】
【実施例】本発明の分光分析装置の実施例を図面につい
て説明する。図１は装置全体の概略を示し、１は投光部
で、２は受光部であり、Ａは被測定物である。投光部１
には光源ランプ３が内蔵されている。また、このランプ
３には、測定に必要な波長の光を出せるものを選定して
用い、例えば、糖度測定などで近赤外線を利用する場合
にはハロゲンランプなどが適する。この投光部１から照
射された光は被測定物Ａを透過して、受光部２に入る。
て説明する。図１は装置全体の概略を示し、１は投光部
で、２は受光部であり、Ａは被測定物である。投光部１
には光源ランプ３が内蔵されている。また、このランプ
３には、測定に必要な波長の光を出せるものを選定して
用い、例えば、糖度測定などで近赤外線を利用する場合
にはハロゲンランプなどが適する。この投光部１から照
射された光は被測定物Ａを透過して、受光部２に入る。
【００１３】受光部２の詳細は図２に示されている。集
光用レンズ４は筒体５に収められ、外ケース６から突出
状に設けられている。７はスリットで、ボディ８内に組
込まれており、集光された光はこのスリット７の孔を通
過する。このスリット７の前方位置にはリファレンス用
のＮＤフィルタ（ニュートラルフィルタ）９が設けられ
ており、かつ、このＮＤフィルタ９はソレノイド１０に
よって光路に対して開放自在である。なお、光線の透過
光量は被測定物Ａの種類によって異なるので、これに合
わせてＮＤフィルタ９を選定する。また、このＮＤフィ
ルタ９はあくまで光源の状態や、測定環境を知る為のリ
ファレンス用であるから、実際の測定時には用いず、開
放状態で測定する。１１は赤色フィルタである。
光用レンズ４は筒体５に収められ、外ケース６から突出
状に設けられている。７はスリットで、ボディ８内に組
込まれており、集光された光はこのスリット７の孔を通
過する。このスリット７の前方位置にはリファレンス用
のＮＤフィルタ（ニュートラルフィルタ）９が設けられ
ており、かつ、このＮＤフィルタ９はソレノイド１０に
よって光路に対して開放自在である。なお、光線の透過
光量は被測定物Ａの種類によって異なるので、これに合
わせてＮＤフィルタ９を選定する。また、このＮＤフィ
ルタ９はあくまで光源の状態や、測定環境を知る為のリ
ファレンス用であるから、実際の測定時には用いず、開
放状態で測定する。１１は赤色フィルタである。
【００１４】ボディ８の背面には、ケース１２で囲われ
た暗室１３があり、その中に回折格子１４とセンサ１５
とが設置されている。なお、暗室１３はボディ８、ケー
ス１２、センサ支持体１６、及び伸縮・傾斜自在なジャ
バラ１７からなり、完全に遮光され、かつ、気密に保持
されている。また、回折格子１４にはフラットフィール
ド凹面型のものが用いられていて、各波長の分光を全
て、平面状の分光検出用リニアイメージセンサ１５上に
焦点を結ばせることができる。このセンサ１５はマルチ
チャンネル分光光量検出器で、センサ上に焦点を結んだ
各分光の光量を一括して読み取ることができる。このセ
ンサ１５はセンサ支持体１６に固定され、センサ支持体
１６はジャバラ１７を介してボディ８に取付けられてい
る。回折格子１４からの光線は孔１９及びジャバラ１７
を通ってセンサ１５に達する。
た暗室１３があり、その中に回折格子１４とセンサ１５
とが設置されている。なお、暗室１３はボディ８、ケー
ス１２、センサ支持体１６、及び伸縮・傾斜自在なジャ
バラ１７からなり、完全に遮光され、かつ、気密に保持
されている。また、回折格子１４にはフラットフィール
ド凹面型のものが用いられていて、各波長の分光を全
て、平面状の分光検出用リニアイメージセンサ１５上に
焦点を結ばせることができる。このセンサ１５はマルチ
チャンネル分光光量検出器で、センサ上に焦点を結んだ
各分光の光量を一括して読み取ることができる。このセ
ンサ１５はセンサ支持体１６に固定され、センサ支持体
１６はジャバラ１７を介してボディ８に取付けられてい
る。回折格子１４からの光線は孔１９及びジャバラ１７
を通ってセンサ１５に達する。
【００１５】暗室１３の内部には、シリカゲルなどの乾
燥剤１８が多孔筒などに収容されて設けられている。な
お、この乾燥剤１８はその収容筒の上端が暗室ケース１
２の壁面から突出していて、乾燥機能が低下した時に
は、収容筒ごと簡単に取替えうるようになっている。
燥剤１８が多孔筒などに収容されて設けられている。な
お、この乾燥剤１８はその収容筒の上端が暗室ケース１
２の壁面から突出していて、乾燥機能が低下した時に
は、収容筒ごと簡単に取替えうるようになっている。
【００１６】センサ支持体１６のボディ８に対する取付
状態は図３に示されている。センサ支持体１６は、上下
２本のネジ棒２０によって支持されている。即ち、ネジ
棒２０はボディ８にネジ込み固定されていて、センサ支
持体１６はこのネジ棒２０に球軸受２１を介して結合し
ている。従って、センサ支持体１６はネジ棒２０に対し
て前後（軸線）方向へのスライド移動及び傾斜移動が自
由である。また、センサ支持体１６は、バネ２２と、押
えナット２３と、調節ネジ２４とによって両面から挟ま
れていて、押えナット２３の回動によってセンサ支持体
１６をネジ棒２０に沿って移動させることができる。こ
の調節ネジ２４は、ボディ８にネジ込まれ、ネジの先端
はセンサ支持体１６に当接している。従って、ネジ２４
の回動によってセンサ支持体１６の傾斜角度を自由に調
節できる。なお、この押えナット２３及び調節ネジ２４
はセンサ１５のピント（焦点）合わせに利用する。即
ち、先ず、押えナット２３を調節して、一方端の焦点Ｆ
１を合わせ、次に調節ネジ２４によって他方端の焦点Ｆ
２を合わせるようにする。この際、図４のように球軸受
２１の中心を、センサ１５の必要最大波長あるいは必要
最小波長の受光点に一致させておくと、１回の調整で分
析に必要な波長の全範囲で焦点が合うようになるので、
ピント合わせ作業が楽になる。同時に、このナット２３
やネジ２４は暗室１３の外に位置するので、暗室ケース
１２を外さずに、受光状態のままで外部から調整でき
る。
状態は図３に示されている。センサ支持体１６は、上下
２本のネジ棒２０によって支持されている。即ち、ネジ
棒２０はボディ８にネジ込み固定されていて、センサ支
持体１６はこのネジ棒２０に球軸受２１を介して結合し
ている。従って、センサ支持体１６はネジ棒２０に対し
て前後（軸線）方向へのスライド移動及び傾斜移動が自
由である。また、センサ支持体１６は、バネ２２と、押
えナット２３と、調節ネジ２４とによって両面から挟ま
れていて、押えナット２３の回動によってセンサ支持体
１６をネジ棒２０に沿って移動させることができる。こ
の調節ネジ２４は、ボディ８にネジ込まれ、ネジの先端
はセンサ支持体１６に当接している。従って、ネジ２４
の回動によってセンサ支持体１６の傾斜角度を自由に調
節できる。なお、この押えナット２３及び調節ネジ２４
はセンサ１５のピント（焦点）合わせに利用する。即
ち、先ず、押えナット２３を調節して、一方端の焦点Ｆ
１を合わせ、次に調節ネジ２４によって他方端の焦点Ｆ
２を合わせるようにする。この際、図４のように球軸受
２１の中心を、センサ１５の必要最大波長あるいは必要
最小波長の受光点に一致させておくと、１回の調整で分
析に必要な波長の全範囲で焦点が合うようになるので、
ピント合わせ作業が楽になる。同時に、このナット２３
やネジ２４は暗室１３の外に位置するので、暗室ケース
１２を外さずに、受光状態のままで外部から調整でき
る。
【００１７】図２中の、３０は冷却用のペルチェ素子
で、センサ１５が温度変化して感度が狂うのを防止す
る。３１は放熱フィンで、冷却ファン（図示せず）によ
る風で空冷されている。３２は通気口に設けられた通気
フィルタである。
で、センサ１５が温度変化して感度が狂うのを防止す
る。３１は放熱フィンで、冷却ファン（図示せず）によ
る風で空冷されている。３２は通気口に設けられた通気
フィルタである。
【００１８】図５、６にはリファレンス用ＮＤフィルタ
９の他の実施例が示されている。これではサーボモータ
３６で回転させられる円盤３５に、透過率の異なった複
数種のフィルタ９が取付けられている。即ち、円盤３５
には図５に示されるように４個の窓Ｐ，Ｑ，Ｒ，Ｓがあ
り、この内、窓Ｐは開放で、ここにはフィルタは取付け
られておらず、他の窓Ｑ，Ｒ，Ｓには、それぞれ透過率
が１．０％（トマト用）、０．５％（ミカン用）、０．
１％（リンゴ用）と異なる３種のＮＤフィルタ９が取付
けられている。この円盤３５は測定中は常時回転させて
おく。円盤３５を、例えば毎秒１回転で回転させれば、
各窓での測定可能時間は１５０ｍｓ程度となり、測定に
は充分である。そして、窓Ｐは実際の測定時に利用し、
他の窓Ｑ，Ｒ，Ｓは各被測定物のリファレンス測定時に
利用する。
９の他の実施例が示されている。これではサーボモータ
３６で回転させられる円盤３５に、透過率の異なった複
数種のフィルタ９が取付けられている。即ち、円盤３５
には図５に示されるように４個の窓Ｐ，Ｑ，Ｒ，Ｓがあ
り、この内、窓Ｐは開放で、ここにはフィルタは取付け
られておらず、他の窓Ｑ，Ｒ，Ｓには、それぞれ透過率
が１．０％（トマト用）、０．５％（ミカン用）、０．
１％（リンゴ用）と異なる３種のＮＤフィルタ９が取付
けられている。この円盤３５は測定中は常時回転させて
おく。円盤３５を、例えば毎秒１回転で回転させれば、
各窓での測定可能時間は１５０ｍｓ程度となり、測定に
は充分である。そして、窓Ｐは実際の測定時に利用し、
他の窓Ｑ，Ｒ，Ｓは各被測定物のリファレンス測定時に
利用する。
【００１９】また、前記のように複数のＮＤフィルタを
用いるものに於いて、フィルタの一つに透過率が０％の
ものを使用してもよい。この場合には、リファレンスと
同様に、センサの暗レベル時の測定も行うことができ、
測定精度の向上を図れる。なお、複数のＮＤフィルタの
取付け方式としては、前記の回転円盤３５の他に、揺動
する扇形盤やスライド盤なども使用可能である。また、
暗レベルの測定の為に、スリット７を移動自在にして、
スリット部を閉にすることによって、暗室内への光の入
射を断つようにすることも可能である。
用いるものに於いて、フィルタの一つに透過率が０％の
ものを使用してもよい。この場合には、リファレンスと
同様に、センサの暗レベル時の測定も行うことができ、
測定精度の向上を図れる。なお、複数のＮＤフィルタの
取付け方式としては、前記の回転円盤３５の他に、揺動
する扇形盤やスライド盤なども使用可能である。また、
暗レベルの測定の為に、スリット７を移動自在にして、
スリット部を閉にすることによって、暗室内への光の入
射を断つようにすることも可能である。
【００２０】なお、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、特許請求の範囲の記載の範囲内で自由に変
形実施可能である。特に、ボディ８や暗室１３の形状、
センサ支持体１６の取付機構などは図示例に限定され
ず、自由である。
のではなく、特許請求の範囲の記載の範囲内で自由に変
形実施可能である。特に、ボディ８や暗室１３の形状、
センサ支持体１６の取付機構などは図示例に限定され
ず、自由である。
【００２１】
【発明の効果】本発明の分光分析装置は、スリットを暗
室と外部との境界に組付け、リファレンス用のＮＤフィ
ルタはスリットの前方に位置させ、更に、暗室内には回
折格子と、センサとを設けた構造であるので、迷光など
の外乱光の影響を受けず、精度の高い光量測定ができ
る。また、センサの位置調節部は暗室の外に設けられて
いるので、センサのピント合わせ作業を、暗室を開ける
ことなく、受光状態のままで簡単かつ、短時間に行うこ
とができる。
室と外部との境界に組付け、リファレンス用のＮＤフィ
ルタはスリットの前方に位置させ、更に、暗室内には回
折格子と、センサとを設けた構造であるので、迷光など
の外乱光の影響を受けず、精度の高い光量測定ができ
る。また、センサの位置調節部は暗室の外に設けられて
いるので、センサのピント合わせ作業を、暗室を開ける
ことなく、受光状態のままで簡単かつ、短時間に行うこ
とができる。
【００２２】請求項２のものでは、暗室が気密で、室内
に乾燥剤が収容されているので、室内の湿度を常に低く
保持でき、センサ面上への結露を防止して、常に、測定
の正常化を保持できる。
に乾燥剤が収容されているので、室内の湿度を常に低く
保持でき、センサ面上への結露を防止して、常に、測定
の正常化を保持できる。
【００２３】請求項３のものでは、リニアイメージセン
サがセンサ支持体に取付けられ、かつ、このセンサ支持
体は位置微調節自在に設けられているので、センサのピ
ント合わせを極めて簡単に行うことができる。
サがセンサ支持体に取付けられ、かつ、このセンサ支持
体は位置微調節自在に設けられているので、センサのピ
ント合わせを極めて簡単に行うことができる。
【００２４】請求項４のものでは、透過率の異なった複
数種のＮＤフィルタが付いているので、被測定物の種類
に対応でき、実用上、極めて便利である。
数種のＮＤフィルタが付いているので、被測定物の種類
に対応でき、実用上、極めて便利である。
【図１】本発明の分光分析装置の全体の概略図。
【図２】受光部の拡大断面図。
【図３】センサ支持体の取付状態を示す断面図。
【図４】センサ支持体への各部材の取付位置を示す図
【図５】ＮＤフィルタの他の実施例の正面図。
【図６】ＮＤフィルタの回転機構部の断面図。
１ 投光部 ２ 受光部 ３ 光源 ４ 集光用レンズ ６ 外ケース ７ スリット ８ ボディ ９ ＮＤフィルタ １０ ソレノイド １２ 暗室ケース １３ 暗室 １４ 回折格子 １５ リニアイメージセンサ １６ センサ支持体 １７ ジャバラ １８ 乾燥剤 ２０ ネジ棒 ２１ 球軸受 ２２ バネ ２３ 押えナット ２４ 調節ネジ
Claims (4)
- 【請求項１】 集光用レンズと、スリットと、分光用回
折格子と、分光検出用リニアイメージセンサと、暗室と
からなり、スリットは暗室と外部との境界に取付けら
れ、スリットの入射側前方位置には開放自在なリファレ
ンス用ＮＤフィルタが設けられ、また、回折格子は暗室
内に設置され、リニアイメージセンサは暗室内に位置
し、かつ、暗室外から位置微調節できるように設けられ
ている分光分析装置。 - 【請求項２】 暗室は気密で、室内に乾燥剤が収容され
ている請求項１記載の分光分析装置。 - 【請求項３】 リニアイメージセンサは、暗室環境を保
持しつつ、前後方向への移動及び傾斜移動が自在なセン
サ支持体に固定されている請求項１記載の分光分析装
置。 - 【請求項４】 透過率の異なる複数のリファレンス用Ｎ
Ｄフィルタが移動自在な基盤に取付けられて、スリット
の入射側前方位置に設置されている請求項１記載の分光
分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6202295A JPH08233732A (ja) | 1995-02-23 | 1995-02-23 | 分光分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6202295A JPH08233732A (ja) | 1995-02-23 | 1995-02-23 | 分光分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08233732A true JPH08233732A (ja) | 1996-09-13 |
Family
ID=13188139
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6202295A Pending JPH08233732A (ja) | 1995-02-23 | 1995-02-23 | 分光分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08233732A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002168772A (ja) * | 2000-12-05 | 2002-06-14 | Kubota Corp | 分光分析装置 |
| CN108507950A (zh) * | 2018-04-09 | 2018-09-07 | 杭州春来科技有限公司 | 一种开放光程检测端调节装置 |
| WO2018185954A1 (ja) * | 2017-04-05 | 2018-10-11 | Ckd株式会社 | 検査装置、ｐｔｐ包装機及びｐｔｐシートの製造方法 |
| JPWO2018020535A1 (ja) * | 2016-07-25 | 2018-12-27 | 株式会社島津製作所 | 分析装置 |
| CN112611438A (zh) * | 2020-12-30 | 2021-04-06 | 中国人民解放军陆军勤务学院 | 一种加油机检定计量罐及计量方法 |
| CN112683199A (zh) * | 2021-01-25 | 2021-04-20 | 青岛汉唐生物科技有限公司 | 一种可以自动分析的分光计检测装置 |
-
1995
- 1995-02-23 JP JP6202295A patent/JPH08233732A/ja active Pending
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