JPH08233856A - 加速度状態応答センサ - Google Patents
加速度状態応答センサInfo
- Publication number
- JPH08233856A JPH08233856A JP7337235A JP33723595A JPH08233856A JP H08233856 A JPH08233856 A JP H08233856A JP 7337235 A JP7337235 A JP 7337235A JP 33723595 A JP33723595 A JP 33723595A JP H08233856 A JPH08233856 A JP H08233856A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- housing
- blade member
- acceleration state
- extending
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 title claims abstract description 42
- 230000004044 response Effects 0.000 title claims abstract description 31
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 81
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 20
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 15
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 15
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 10
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 claims description 5
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims 7
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 5
- 230000003750 conditioning effect Effects 0.000 description 8
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 4
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N Alumina Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 3
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 241000220010 Rhode Species 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 239000012777 electrically insulating material Substances 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000952 Be alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 229920000106 Liquid crystal polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004977 Liquid-crystal polymers (LCPs) Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000013536 elastomeric material Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000012858 resilient material Substances 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P1/00—Details of instruments
- G01P1/02—Housings
- G01P1/023—Housings for acceleration measuring devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/125—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by capacitive pick-up
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/18—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration in two or more dimensions
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
車応用に適した加速度状態応答センサを提供する。 【解決手段】 センサにおいてソース・プレート部(2
4a)、アタッチメント部(24p)、及び該ソース・プ
レート部とアタッチメント部との間に伸延する一体式の
弾性ビーム手段(24b)を有する金属のブレード部材
(24)を基板(18)の穴(18a)により支持され
たピン(22)に取り付ける。金属ブレード部材(2
4)を基板(18)に装着して前記ソース・プレート部
(24a)を基板上の検出プレート(18b)から選択
した距離に装着する。端子ピン(18g、18h、18
i)を介して回路基板(50)に直接装着可能な、又は
ねじ部材(12”d)を備えることが可能なシリンダ状
のハウジング(12、12’、12”)内に加速度状態
応答センサが配置される。
Description
し、特に移動可能にされ、監視している物体の加速度の
存在に応答して電気信号を発生する加速度応答手段を有
する加速度計ようなセンサに関する。
5,345,823号において、一方の基板面に形成さ
れた溝の形状をなす凹所を有する堅い剛性の電気的に絶
縁性の基板を備え、小型、堅固かつ安価な加速度計が開
示されている。導電性のフィルム手段が前記基板面上に
堆積されて、凹所と、前記凹所外のコンデンサのソース
・プレート・コネクタと、前記検出プレート及び前記ソ
ース・プレート・コネクタに接続され、かつ前記基板の
縁に沿ってそれぞれの端子パッドに接続されている回路
パスとを定める。前記加速度計装置は、取り付け部と、
コンデンサのソース・プレート・コネクタと、一体式の
弾性ビーム手段とが共通面に形成されている堅い弾性の
ある金属の、平坦な導電性プレート又はブレード部材を
含む。前記ブレード部材の取り付け部は、薄いはんだ層
により基板上のソース・プレート・コネクタに対して導
電関係で固定される。検出プレートの上面とソース・プ
レートとの間の間隔は、凹所の深さにより決定される。
一実施の形態では、ある温度で溶融し得るボンディング
・ガラスと、ボンディング・ガラスの溶融温度で形状を
維持する正確に決定された小直径のガラス棒とを含むガ
ラス・フリットを前記ソース・コネクタの間隔を置いた
2つの部分上に堆積して、ソース・プレート・コネクタ
に対してソース・プレートのアタッチメントの正確なレ
ベルを得るようにしている。
の教示に従って製作された装置は、非常に効果的なもの
であり、かつうまく機能するが、アタッチメントの手段
として、はんだを使用すること、比較的に時間の掛かる
リフロー・プロセスに係わり、かつフラックスのクリー
ニングが必要である。更に、はんだにより接続した素子
がいわゆるクリープのために、時間の経過により僅かに
移動する傾向があり、従って装置の較正に逆効果とな
る。
5,239,871号には、検出プレート及びその上に
配置されたソース・プレート・コネクタを有し、かつ前
記コンデンサのソース・プレート・コネクタに対して導
電関係で前記基板に固定された同様の導電ブレード部材
を有する本質的に平らな電気的に絶縁する基板を備えた
他の加速度計装置が示されている。前記ソース・プレー
ト部と検出プレートとの間の間隔は、一実施の形態では
アタッチメント・プレート部とソース・プレート・コネ
クタとの間でシムを用いることにより確保され、また他
の実施の形態では金属プレートの部分の厚さを低下させ
ることにより確保される。しかし、シムを使用すると、
装置のコストを高める付加的な部品及び処理工程が付加
される。更に、シムを使用すると、装置間で緊密な寸法
制御を得るのが困難である。厚さを減少させた部分を有
する金属ブレードを使用すると、更に高価なブレード部
材に帰結し、かつソース・プレート部を正しく平衡させ
て装着させるのが困難なものに帰結する。
出願第08/148,042号には、上面に導電性の検
出プレートを有し、かつ前記上面と底面との間に穴を有
する基板を備えた加速度計装置が示されている。アタッ
チメント部と、ソース・プレート部と、前記ソース・プ
レート部に対するアタッチメント部を接続する一体式の
ビーム手段とを備えた導電性金属プレート又はブレード
は、前記穴に挿入された導電性ピンのエンドに対する溶
接により、固定的に取り付けられると共に、前記ソース
・プレート部が検出プレートから選択された距離を置
き、かつ前記ピンが基板の上面から穴へ伸延する導電路
と電気的に係合している。前記ピンの軸位置は、検出プ
レートと前記ソース・プレート部分との間で選択したレ
ベルの容量が得られるように調整される。
た加速度計装置は、小型かつ強固であると同時に、従来
技術よりも熱による誤差が少ない。
型にしてコストが低く、かつ大量生産技術により適し、
かつ自動車応用に装着するのに特に適した加速度計のよ
うな状態応答装置を提供することである。他の目的は、
コンデンサの可動プレートを形成し、選択した軸方向へ
加速する力が加わったときに移動可能な金属のブレード
部材を備えた加速度センサを提供することであって、前
記ブレード部材は従来技術のブレード部材より十分に小
さく、パッキングの選択に関して更に大きな選択性を可
能にさせ、一方このような加速する力に応答して適当な
電気信号を供給する十分な作動機構を有する。
サは、上面に装着されたコンデンサ検出プレートを有す
ると共に導電性のブレード部材がアタッチメント部を有
する基板と、ソース・プレート部と、前記アタッチメン
ト部とソース・プレート部との間に伸延する一体式の弾
性ビーム手段とを備えている。前記弾性ビーム手段は、
前記ブレード部材の反対側に隣接して本質的に垂直軸方
向に前記ブレード部材のエンドからエンドへ伸延するそ
れぞれのスロットによる形成された一対の細長いビーム
手段を含む。前記ビーム手段は一端で前記ソース・プレ
ート部に接続され、そのソース・プレート部は前記アタ
ッチメント部の方向に伸延している。本発明の特徴によ
れば、前記スロットは、他端の中心に向かって前記ブレ
ードの多端に沿って水平軸に平行して伸延する複数の部
分を有し、前記ブレード部材の感度を改善するビーム手
段に接続された一対のトーション・アームを形成する。
本発明の他の特徴によれば、前記スロットは、互いに接
近して間隔を置いた端子を有してブレード部材の感度を
更に強化する中央ピボットを形成する。前記アタッチメ
ント部は、好ましくは、基板を貫通して形成された穴に
よって支持されたピンに溶接されることにより、基板に
装着されると共に、前記ソース・プレート部は選択した
間隔関係において検出プレート上に横たわる。前記基板
上に配置された複数の回路パスは、検出プレート及び金
属ブレード部材を電気的に接続してコンデンサを形成さ
せると共に、前記ソース・プレート部はz軸に沿って作
用する加速する力に応答して検出プレートに相対して移
動可能とされ、電気信号を供給する。前記金属ブレード
部材の感度を増大させたことにより、前記ブレード部材
を十分に小さく製作することができるので、コンデンサ
圧力トランスデューサのように、他の型式の条件センサ
に用いる寸法及び構成のハウジングに装着することがで
き、その結果、多くの車両応用で適用可能な小さな空間
に更に容易に適用することができる。本発明の特徴によ
れば、前記ブレード部材をシリンダ状の基板上に装着す
ることができ、続いてこの基板をカップ形状のハウジン
グにより支持して回路基板等に直接装着することができ
る基本モジュールを形成させる。この基本モジュールも
前記基板と前記コネクタ本体との間に支持された信号条
件付け電気回路を有するコネクタ本体を含むと共に、前
記ハウジングに取り付けられたねじ部材により直接装着
することが可能とされても、又は続いて監視されるべき
サポートに固定可能な装着ブラケット上に支持されても
よい。一実施の形態において、第1及び第2のモジュー
ルは、異なる方向に伸延する2つの軸に沿って作用する
加速する力を検知するようにハウジングに支持される。
クタ本体と、加速度計のような状態センサ装置、及び前
記ハウジングを前記回路に電気的に接続する関連の電気
回路を含む前記ハウジングとの間の改良シールは、前記
コネクタ本体と前記ハウジングとの間に接続する電気ト
レースを配置したタブの遠位の端部を配置すると共に、
シールを前記遠位の端部の外側に配置し、かつ前記ハウ
ジング壁を前記タブに変形して効果的な電気的接続を行
うことにより、提供される。
ートのオーバトラベル防止は、前記基板上で支持された
独立シェルにより得られ、また他の実施の形態では、ブ
レード部材の移動を制限するように前記基板を反転させ
てハウジングの底壁を利用する。
的、効果及び詳細は、本発明の好適な実施の形態につい
て下記の詳細な説明が記載されている。
の実施の形態により製作され、かつ図1〜図12に示す
状態応答センサ10は、底12a及び直立する壁12b
を有する適当な材料から形成された全般的にシリンダ状
のハウジング12を備えている。鋼鉄はその磁気シール
ド特性のために特に好都合である。電気的に絶縁性の酸
化アルミニウムAl2 O3 のような適当な材料からなる
基板18は、以下で説明する目的のために、エラストマ
ー材の好ましくはガスケット14上のハウジング12内
に配置される。基板が、例えば電気的に絶縁する上面又
は電気的に絶縁する他の材料を有する金属のような種々
の材料からなり得ることは、理解されるであろう。基板
18は、好ましくは、ハウジング12に全般的に適合す
るシリンダ状のディスクとして構築され、かつ反対側の
表面間を貫通して形成された穴18aを有する。導電性
の検出プレート18b(図5)は基板18の上面18c
上に設けられる。検出プレート18bはスクリーン印刷
のような適当な方法により基板上に配置される。同様の
方法により上面18c上には関連の回路パス18d及び
18eも形成される。穴18aは回路パス18dに電気
的に接続されたソース・プレート・コネクタ装着部18
fと整合されている。ピン22の形状をなす装着要素
は、基板18の熱膨張係数とよく一致する熱膨張係数を
有する材料から形成されたものであり、穴18aにより
支持されている。例えば、採用した基板が94%アルミ
ナ・セラミックからなるときは、ピン22は合金42、
即ち42%ニッケル及び残部鉄の重量による公称成分を
持った合金からなるものでよい。合金42及び94%ア
ルミナは、共に適当な温度範囲上でよく一致した熱膨張
特性を有する。ピン22は、好ましくは、各エンド上に
曲がり端部22aが形成されており、溶接突起として用
いられる。トレース18fから穴18aへの被覆材料の
流れをよくするように、穴18a周辺の基板18の上面
に、凹所(図示なし)が形成されてもよい。更に、適当
なピン監視構造の詳細については、米国特許出願第08
/148,042号から得ることができ、ここではその
要旨をこの引用により関連させる。
良く示されており、基板及びこれに装着されるピンの熱
膨張係数に対して選択した熱膨張係数を有する物質から
形成される。例えば、前述の構造では合金42が適当と
なる。ブレード部材24は、ブレード部材24の側部
に、本質的にはその全長に隣接し、即ち垂直軸24dに
沿ってブレード部材24の第1のエンド24eから第2
のエンド24fへ、伸延するスロット24cにより定め
られたそれぞれのビーム24bに対して各横側部で取り
付けられた、好ましくは、震質量(seismic m
ass)の中心にソース・プレート部24aを有する。
各スロット24cは、ブレード部材24の第2のエンド
24fに沿い、第2のエンド24fの中心に向かう水平
軸24hにほぼ平行に伸延する部分24gを有し、ブレ
ード部材の第2のエンドでその細長いビーム部材24b
にそれぞれ接続された一対のトーション・アーム24i
を形成している。各スロット部24gは、中央ピボット
24kを形成するように互いに間隔を接近させた端子2
4jを有し、中央のブレース部24mにトーション・ア
ーム24iを接続している。ブレース部24mは、中央
に配置されて水平方向に伸延するスロット24nに沿う
スロット24c及びスロット部24gにより定められ、
アタッチメント部24pに接続されている曲げ対抗ゾー
ン24oを形成している。アタッチメント部24pはそ
のスロット24cと連通しているスロット24tによ
り、ソース・プレート部24aから切り離されている。
スロット24t及び24nは、アタッチメント部24p
の反対側に切り抜き部24rを有してピボット24sを
形成し、曲げ防止ゾーン24oにアタッチメント部24
pを接続している。アタッチメント部24pは、好まし
くは、重心に配置されてピンに対するブレード部材の接
続に逆に作用する恐れがある水平方向及び垂直方向に印
加される力を起因とするねじれ成分を最小化させる。こ
のような力は、例えば、設置の前にセンサを落下させた
結果として発生することがある。ソース・プレート部2
4aはビーム部材24bから逆方向のアタッチメント部
24pへ伸延している。
願第08/148,042号に開示されたものと同様で
あるが、トーション・アーム24i及び中央ピボット2
4kを備えたことにより、ブレード部材の感度即ち偏向
を改善する結果となるので、z軸即ち水平方向及び垂直
方向に垂直な方向へ加速する力に応答して、ソース・プ
レート部24aの十分な偏向を確保したままで、ブレー
ド部材を水平方向及び垂直方向の両方において大幅に小
さく製作することができる。即ち、与えられた材料の厚
さを有するブレード部材の足跡(foot prin
t)はその寸法を大幅に減少させることができ、また偏
向の相当な部分がビーム部材24bにより得られて本質
的にブレードの全長に伸延し、かつ偏向が長さの三乗に
比例しているということであっても、トーション・アー
ム24i及び中央ピボット24kのために十分な偏向が
得られる。その結果、種々のパッキング構成に適合する
ようにブレード部材を十分小さくさせることができ、か
つ以下で詳細に説明するように、以前は適当でない、又
は従来技術の大きなセンサにとって十分に大きくない位
置で支持することができる。
板を用いたときは、30%ガラス充填の液晶ポリマのよ
うに、基板18の熱膨張係数に近いものを有する適当な
材料から形成されたシェル26は、好ましくは、基板1
8上で支持される。シェル26は、側壁26aを有する
ほぼシリンダ状をなし、端壁26bから伸延している。
凹所26cは、端壁26b内に形成されて金属のブレー
ド部材24に対する空間を形成すると共に、端壁26b
をブレード部材24の偏向を限定させるのに用いて異常
に高い加速する力による過度の歪みを防止させる。基板
18に形成された穴により支持された導電性のピン18
g、18h及び18iは、端壁26bに形成された開口
を介して伸延している。高くされた領域26dは、穴の
周辺のシェル26の上面に形成されてピン18g、18
h及び18iを支持することにより、シェル26の上部
に配置された回路部品上に配置される被覆材料がピンの
穴に流れ込まないようにさせるのに寄与している。基板
18は、好ましくは、インデックス・ノッチ18kが形
成されており(図5及び図6を参照)、この位置合わせ
ノッチ18kはシェル26の側壁26a上に形成された
位置合わせリブ26eと協同することにより(図7bを
参照)、シェル26が基板18上に正しく合わせられ、
これによって、位置合わせのずれによる歪みが導電性の
ピン18g、18h及び18iに印加されないようにし
ている。好ましくは、汚染が進入するのを防止するため
に用いられる側壁26aは、基板18の厚さよりやや短
い距離で伸延している。
2(図3を参照)において、弾力性層のガスケット14
上に支持されている。ガスケット14は、好ましくは、
中央開放領域14aを備え、以下で説明するように、ア
ッセンブリをハウジング12に固定したときにガスケッ
ト14の材料が穴18aに押し出されるのを防止してい
る。例えば、更なる詳細のために参照することができ、
同一出願人に譲受された米国特許第4,875,135
号に示されているように、信号条件付け回路手段30を
支持するようにされた空洞20aを有するコネクタ本体
20は、シェル26上のハウジング12により支持され
ている。コネクタ本体20は、端子20b、20c及び
20dを装着し、かつ適当な方法、例えば壁12bの外
側遠位端を内側のコネクタ本体20へ、かつガスケット
14により得られるバイアスに対して曲げることによ
り、ハウジング12に固定されてもよい。
・スリーブ28がハウジング12の周辺に配置されて、
センサがz軸以外の軸方向に打撃を受けたとき、例えば
落下されたときに、スリーブがショックを緩和し、ブレ
ード部材及び/又はブレード部材の装着に損傷を与えな
いようにしている。
により、個別的な装着が可能とされる。更に、図8〜図
10に示すように、互いに選択した角度、例えば90°
に傾けられたセンサ設置空洞42a、42bを有するハ
ウジング42に、第1及び第2のセンサ・モジュールを
装着することができ、その場合に、二重軸センサ・アッ
センブリ40を形成するように各センサ10を配置する
ことにより、加速する力を異なる2方向で検知すること
ができる。各センサ・モジュールの端子は、図9に示す
コネクタ42gにおける端子42c〜42fに適当なハ
ーネス又は回路基板を介して接続されてもよい。例え
ば、端子20b、20c及び20dを備えているセンサ
・モジュール10の端子は、電力Vcc、出力Vo及び
接地にそれぞれ用いられる。1方のセンサ・モジュール
10の端子20c(Vcc)及び20d(接地)は、第
2のセンサ・モジュール10の各端子20c及び20d
に接続されて二重軸センサ・アッセンブリ40の必要数
の端子を減少させることができる。センサは、好ましく
は、複数のセンサを設置空洞42a、42bに収容し、
必要ならば、空洞上にリッド44を支持してもよい。本
体に通常の留め金具を用いて加速度を監視しようとする
二重軸センサ・アッセンブリ40を装着するために、マ
ウンティング・ブラケット42jに適当なマウンティン
グ穴42iを用いることができる。二重軸センサ・アッ
センブリ40を有するハウジング42を説明したが、必
要ならば、種々の選択した方向において加速する力を検
知できるように、選択した角度で傾けた3又はそれ以上
のセンサに関連させることは、本発明の範囲内である。
図11は端子のピン18g、18h及び18iを用いて
センサを回路基板50に直接的、物理的かつ電気的に接
続させる修正センサ10’を示す。基板18は反転さ
れ、かつ管状のハウジング12’に形成された環状のシ
ート12’c上に支持されると共に、ブレード部材2
4’が基板18とブレード部材の過度の移動を阻止する
ために用いられる底壁12’aとの間に配置されたピン
22に取り付けられている。この実施の形態では、ピン
18g、18h及び18iが基板18の反対側の面に伸
延して回路基板50上の回路トレースに接続している。
この実施の形態では、必要ならば、センサ10’のハウ
ジングよりも信号条件付け回路を回路基板50上に配置
することができる。ブレード部材24’が中心でない位
置、例えば中央のブレース部24mに装着されたものを
示したが、これはアタッチメント部24pに装着される
のが好ましいことに注意すべきである。
ウジング12”d に一体に取り付ける、又は溶接等によ
り取り付けるねじ部材12”dを設けることにより、装
着されてもよい。使用するのに先だって、センサ10”
を硬い面上に落下させた場合にねじを保護し、かつスリ
ーブ28’と共にクッションをなすように、ねじ部材1
2”d上にゴムのような弾性材料の終端閉鎖スリーブ1
2”eを配置してもよい。スリーブ28’は、保護クッ
ションを設けるのに加えて、摩擦駆動機能を設けること
によりセンサの装着をも容易にする。即ち、センサは、
6角装着部12”fを用いることなく、スリーブを介し
て把握され、かつ回転されてもよい。ハウジング12”
を金属により形成されているものとして示したが、必要
ならば、ハウジング及びねじ部材は適当な材料、例えば
高分子材料により形成されてもよいことを理解すべきで
ある。
のシュラウド20’eを有するコネクタ本体20’が示
されている。空洞20’aにより支持された信号条件付
け回路手段30は、ポリイミドの可撓性の基板30a、
又は回路トレース及び構成要素を配置している他の適当
な材料を備えたものが示されている。タブ30bは、信
号条件付け回路手段30用の接地接続を得るように回路
トレース30d(図14)を配置している可撓性の基板
30aから伸延している。通常、接地トレースを配置す
るタブは、コネクタ本体と金属ハウジング部材との間に
形成された回路支持空洞から伸延すると共に、ハウジン
グ壁の遠位自由端がタブ上の回路トレースとハウジング
部材との間を電気的に接続するようにタブ及びコネクタ
本体に対して変形されている。ハウジング部材の壁を変
形した後、典型的にはシリコンのようなシーリング材料
がコネクタ本体とハウジング壁との間の中間面周辺に配
置されて前述の米国特許第4,875,135号におい
て説明されている方法で外界シールを形成させる。しか
し、シーリング材料の効果的な配置は、困難かつ時間が
掛かるものであり、シーリング材料が完全に配置されな
いときは、潜在的な漏洩路として働いて回路空洞に湿気
の進入を許す。図12に示すように、タブ30bは、壁
12bの外側遠位端とコネクタ本体20’の底との中間
の点に伸延するのに十分なだけの長さを有するように選
択される。次いで、ディテント12cが壁12bにタブ
30bと揃えられて形成され、かつタブを介してコネク
タ本体20’に伸延し、タブ30bの接地トレースとハ
ウジング12”との間で効果的な接続を行う。次いで、
Oリング・シール部材13のような通常の可撓性ガスケ
ットがコネクタ本体20’周辺に配置されると共に、ハ
ウジング12”の外側遠位部12dがOリング・シール
部材13上に折り曲げられて制御が容易なアッセンブリ
手順により効果的な外界シールを形成させる。較正窓2
0’fは、ディスペンサを容易にかつ正確に挿入可能な
ように開口が十分大きいので、シリコン・ゴムのような
通常のエポキシ材20’gを用いて、シールし続けるこ
とができる。
施の形態を説明したが、本発明は、特許請求の範囲内に
入る全ての変形及び均等物を含むことを理解すべきであ
る。例えば、容量性圧力トランスデューサのような信号
条件付け回路を有する種々のセンサに図12に示したシ
ール構造を用いることは、本発明の範囲内である。
ルであって、部分的に破断したクッションに近いエンド
のスリーブ部材を備えた状態センサ・モジュールの正面
拡大図。
れる加速度状態を検知するブレード部材の平面図。
ースと共に配置した基板であって、図4の加速状態を検
知するブレード部材を装着するために用いる基板の平面
図。
ド部材を示す図5と同様の平面図。
ード部材の保護シェルを付加した図6の横断面図。bは
図7aの一部の平面図。
に伸延する2軸に沿って加速度力を検出する加速度状態
センサ・アッセンブリの平面図。
相互接続手段を示す図8のアッセンブリの概要接続図。
・モジュールの横断面図。
境シールを有する加速度状態センサの横断面図。
分的に分離させたセンサの電気的なコネクタ接続部を図
12の信号条件付け回路を示す斜視図。
Claims (18)
- 【請求項1】 上面を有する基板と、前記基板の前記上
面に装着された導電性の検出プレートと、水平軸、垂直
軸、第1及び第2のエンドを有し、かつアタッチメント
部を有する導電性のブレード部材と、ソース・プレート
部及び前記アタッチメント部とソース・プレート部との
間に伸延する一体の弾性ビーム手段とを含む加速度状態
応答センサにおいて、 前記弾性ビーム手段は、前記ブレード部材の反対側で隣
接するそれぞれのスロットにより形成されてかつ本質的
に垂直軸の方向で前記ブレード部材の第1のエンドから
第2のエンドへ伸延し一対の細長いビーム部材を含み、 前記弾性ビーム部材は前記ブレード部材の第1のエンド
で前記ソース・プレート部に接続され、 前記ソース・プレート部は、前記弾性ビーム部材との接
続からアタッチメント部に向かう方向で逆に伸延し、 前記それぞれのスロットは、前記ブレード部材の前記第
2のエンドに沿って前記第2のエンドの中心に向かい、
前記水平軸に平行して伸延する部分を有して、前記ブレ
ード部材の前記第2のエンドで細長いそれぞれのビーム
部材に接続された一対のトーション・アームを形成し、 前記それぞれのスロットは、互いに接近して配置された
端子を有して中央ピボットを形成し、 前記アタッチメント部は、前記基板上に装着されると共
に、前記ソース・プレートが選択した間隔関係により前
記検出プレート上に横たわり、 回路パスが前記基板上に配置されて、コンデンサを形成
するように前記検出プレート及び前記金属のブレード部
材に電気的に接続され、 前記ソース・プレート部は、前記検出プレートに対して
移動可能にされ、加速する力に応答して電気的な信号を
供給することを特徴とする加速度状態応答センサ。 - 【請求項2】 前記ブレード部材は、平面図においてほ
ぼ長方形であり、かつ前記基板はほぼシリンダ状である
ことを特徴とする請求項1記載の加速度状態応答セン
サ。 - 【請求項3】 前記基板は前記上面に対して垂直に伸延
する穴を有し、前記ブレード部材はピンに取り付けら
れ、前記ピンは前記穴により支持されていることを特徴
とする請求項1記載の加速度状態応答センサ。 - 【請求項4】 前記基板は前記上面に対して垂直に伸延
する穴を有し、前記ブレード部材の前記アタッチメント
部はピンに取り付けられ、かつ前記ブレード部材のほぼ
重心に配置され、前記ピンは前記穴により支持されてい
ることを特徴とする請求項1記載の加速度状態応答セン
サ。 - 【請求項5】 前記ブレード部材のアタッチメント部
は、ほぼ前記ブレード部材の重心に配置されていること
を特徴とする請求項1記載の加速度状態応答センサ。 - 【請求項6】 更に、前記基板の上面から選択した距離
の間隔を置いて配置されて前記ブレード部材のオーバト
ラベル運動を防止させるオーバトラベル停止を含むこと
を特徴とする請求項1記載の加速度状態応答センサ。 - 【請求項7】 更に、底壁、及び前記底壁から遠位の端
部へ伸延した側壁を有するカップ状のハウジングと、前
記側壁上に形成された位置決め棚とを含み、前記基板は
前記ハウジングに支持されると共に、前記基板の上面を
位置決め棚上に配置し、前記底壁を前記上面から選択し
た距離を置いて配置し、オーバトラベル・ストップとし
て用いることにより前記ブレード部材のオーバトラベル
運動を防止することを特徴とする請求項6記載の加速度
状態応答センサ。 - 【請求項8】 更に、底壁、及び前記底壁から遠位の端
部へ伸延した側壁を有するカップ状のハウジングであっ
て、前記基板を支持すると共に、該基板の上面が前記底
壁から離間して対面する前記ハウジングと、上壁及び前
記上面から垂れ下がる側壁を有するシェルとを備え、前
記シェルの側壁を前記基板の上面に配置すると共に、前
記上壁を前記基板の上面から選択した距離を置いて配置
し、オーバトラベル停止として用いることにより前記ブ
レード部材のオーバトラベル運動を防止することを特徴
とする請求項6記載の加速度状態応答センサ。 - 【請求項9】 更に、 底壁、及び該底壁から遠位の端部へ伸延する側壁を有す
るカップ状金属のハウジングであって、前記基板を支持
すると共に、前記基板の上面を前記底壁から離間して対
面とする前記ハウジングと、 前記カップ状金属のハウジングを閉じ、かつ前記コネク
タ本体と前記基板との間で回路支持空洞を形成するコネ
クタ本体と、 前記回路支持空洞により支持された可撓性の回路基板で
あって、接地回路トレースを装着して伸延するタブを有
すると共に、前記タブを前記コネクタ本体と前記ハウジ
ングの側壁との間で前記ハウジングの前記底壁と前記側
壁の遠位端部との中間点へ伸延させている前記可撓性の
回路基板と、 前記タブを介して前記コネクタ本体への前記側壁に形成
されて前記接地回路トレースと前記ハウジングとの間を
電気的に接続させるディテントと、 前記コネクタ本体と前記ハウジングの前記側壁との間で
支持されたガスケット部材とを含み、前記側壁の前記遠
位の端部を反転させて前記ガスケット部材を掴んで外界
シールを形成させることを特徴とする請求項1記載の加
速度状態応答センサ。 - 【請求項10】 更に、前記基板と前記ハウジングの底
壁との間に配置された弾性材料の層を含むことを特徴と
する請求項9記載の加速度状態応答センサ。 - 【請求項11】 更に、底壁、及び前記底壁から遠位の
端部へ伸延する側壁を有するカップ状のハウジングであ
って、前記基板を支持し、前記基板に複数のピン支持穴
を形成した前記ハウジングと、 各穴により支持され、前記基板上の回路パスと導電性係
合した導電性の端子ピンと、 回路基板とを備え、前記導電性の端子ピンは前記回路基
板における開口を介して伸延し、かつ前記センサを装着
するように前記回路基板に取り付けられていることを特
徴とする請求項1記載の加速度状態応答センサ。 - 【請求項12】 更に、底壁、及び該底壁から伸延する
側壁を有するカップ状のハウジングを含み、前記基板を
前記ハウジングにより支持し、かつ弾性材料を前記ハウ
ジングの外側かつ前記側壁及び前記底壁上に配置したこ
とを特徴とする請求項1記載の加速度状態応答センサ。 - 【請求項13】 更に、底壁、及び該底壁から伸延する
側壁を有するカップ状のハウジングであって、前記基板
を支持する前記ハウジングを含み、弾性材料を前記側壁
及び前記底壁上に前記ハウジングの外側に配置し、かつ
ねじ部材が前記底壁から下方に伸延していることを特徴
とする請求項1記載の加速度状態応答センサ。 - 【請求項14】 前記側壁上の前記ハウジングの外側に
弾性材料を配置したことを特徴とする請求項13記載の
加速度状態応答センサ。 - 【請求項15】 サポートと、前記サポート上に配置さ
れた位置決め面を有する第1及び第2のハウジング・セ
ンサ・シートであって、前記位置決め面が互いに交差す
るそれぞれの第1及び第2の面に存在する前記第1及び
第2のハウジング・センサ・シートと、 底壁、及び上方に伸延して空洞を形成するほぼシリンダ
状の側壁を有するほぼカップ上のハウジングをそれぞれ
備えた第1及び第2の加速度センサと、 前記空洞に配置されたシリンダ状のセラミック基板であ
って、その一方の表面上の検出プレートと対向する表面
を有し、該表面間で伸延する穴を有する前記セラミック
基板と、 前記穴により支持されたピンと、 アタッチメント部を有するブレードと、 ソース・プレート部と、 前記アタッチメント部と前記ソース・プレート部との間
に伸延する一体の弾性ビーム部材であって、前記アタッ
チメント部が前記ソース・プレート部により前記ピンの
終端に固定されて選択した間隔を置く関係で前記検出プ
レート上に横たわる前記弾性ビーム部材と、 前記基板上の配置され、前記検出プレート及び前記ブレ
ード部材に電気的に接続されてコンデンサを形成させる
回路パスと、 前記基板上に装着されて前記回路パスから伸延する端子
ピンとを備え、前記ソース・プレート部が前記検出プレ
ートに対して移動可能にされ、前記表面にほぼ垂直に作
用する加速する力に応答して電気的な信号を供給し、前
記第1及び第2のセンサ・モジュールがその第1及び第
2のシートに装着されると共に、それぞれのハウジング
の前記底壁が加速する力を2つの異なる方向で検知する
ように、それぞれの第1及び第2の面とほぼ平行な面に
配置されている加速度状態応答センサ。 - 【請求項16】 前記第1及び第2の面は互いに垂直で
あることを特徴とする請求項15記載の加速度状態応答
センサ。 - 【請求項17】 選択した条件に応答して電気的な信号
を供給する手段を有するセラミック基板であって、複数
のセンサ端子を伸延させている前記セラミック基板と、 複数のコネクタ端子を有する高分子材料のコネクタ本体
と、 前記セラミック基板を配置した空洞を有する金属のハウ
ジング部材であって、前記セラミック基板に対して覆う
関係により前記コネクタ本体を固定する遠位端を有する
上方に伸延する壁を備え、前記コネクタ本体と前記セラ
ミック基板との間にチャンバを形成する前記ハウジング
部材と、 前記センサ端子及び前記コネクタ端子に電気的に接続さ
れた前記チャンバに配置され、前記選択した条件に対応
する電気的な信号を供給する電気的な回路であって、前
記チャンバから伸延する導電性のタブを有し、前記タブ
がコネクタ本体と前記上方に伸延する壁との間に支持さ
れた自由遠位端を有する前記電気的な回路と、 前記タブの自由遠位端を介して前記上方に、かつ前記コ
ネクタ本体に伸延する壁に形成されて前記タブと前記ハ
ウジング部材との間を電気的に接続させるディテント
と、 前記壁の遠位端と前記ディテントとの間位置で、前記コ
ネクタ本体と前記コネクタ本体周辺の上方に伸延する壁
との間にシールを形成する手段とを備えている加速度状
態応答センサ。 - 【請求項18】 更に、加速度応答ブレード部材を含む
ことを特徴とする請求項17記載の加速度状態応答セン
サ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US367655 | 1989-06-19 | ||
| US08/367,655 US5542296A (en) | 1995-01-03 | 1995-01-03 | Compact capacitive acceleration sensor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08233856A true JPH08233856A (ja) | 1996-09-13 |
Family
ID=23448068
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7337235A Pending JPH08233856A (ja) | 1995-01-03 | 1995-12-25 | 加速度状態応答センサ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5542296A (ja) |
| EP (1) | EP0721108B1 (ja) |
| JP (1) | JPH08233856A (ja) |
| DE (1) | DE69528572T2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006064701A (ja) * | 2004-08-25 | 2006-03-09 | Autoliv Asp Inc | 構成可能な加速度計アセンブリ |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AU1269499A (en) | 1997-10-07 | 1999-04-27 | Electronics Development Corporation | Transducer assembly with smart connector |
| KR20000074442A (ko) * | 1999-05-21 | 2000-12-15 | 오세옥 | 다용도 충격센서 |
| EP1162467A3 (en) | 2000-05-30 | 2002-07-24 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Acceleration sensor |
| US8186221B2 (en) * | 2009-03-24 | 2012-05-29 | Freescale Semiconductor, Inc. | Vertically integrated MEMS acceleration transducer |
| DE102011005113B4 (de) * | 2011-03-04 | 2026-05-07 | Zf Friedrichshafen Ag | Sensorträger-Abdeckungselement mit einer von außen erreichbaren Ausnehmung für ein Befestigungsmittel, Gehäuse für einen Sensor, Sensormodul und Verfahren zum Zusammenfügen eines Sensormoduls |
| JP5845672B2 (ja) | 2011-07-13 | 2016-01-20 | セイコーエプソン株式会社 | センサーデバイスおよび電子機器 |
| JP2019035589A (ja) | 2017-08-10 | 2019-03-07 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー、慣性計測ユニット、電子機器、および移動体 |
| JP6545918B1 (ja) * | 2019-05-22 | 2019-07-17 | Imv株式会社 | 加速度センサコアユニット、加速度センサを載置する基板のたわみを防止する方法 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4736629A (en) * | 1985-12-20 | 1988-04-12 | Silicon Designs, Inc. | Micro-miniature accelerometer |
| DE3611360A1 (de) * | 1986-04-04 | 1987-10-08 | Bosch Gmbh Robert | Sensor zur selbsttaetigen ausloesung von insassenschutzvorrichtungen |
| US4875135A (en) * | 1988-12-02 | 1989-10-17 | Texas Instruments Incorporated | Pressure sensor |
| US5239871A (en) * | 1990-12-17 | 1993-08-31 | Texas Instruments Incorporated | Capacitive accelerometer |
| US5345823A (en) * | 1991-11-12 | 1994-09-13 | Texas Instruments Incorporated | Accelerometer |
| US5555766A (en) * | 1993-11-04 | 1996-09-17 | Texas Instruments Incorporated | Acceleration sensor apparatus and method for making same |
-
1995
- 1995-01-03 US US08/367,655 patent/US5542296A/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-12-12 DE DE69528572T patent/DE69528572T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1995-12-12 EP EP95309044A patent/EP0721108B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-12-25 JP JP7337235A patent/JPH08233856A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006064701A (ja) * | 2004-08-25 | 2006-03-09 | Autoliv Asp Inc | 構成可能な加速度計アセンブリ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0721108A2 (en) | 1996-07-10 |
| DE69528572T2 (de) | 2003-12-11 |
| EP0721108A3 (en) | 1998-08-05 |
| DE69528572D1 (de) | 2002-11-21 |
| EP0721108B1 (en) | 2002-10-16 |
| US5542296A (en) | 1996-08-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3210439B2 (ja) | 加速度計 | |
| US5546644A (en) | Method of making an acceleration sensor | |
| EP0660119B1 (en) | Acceleration sensor | |
| US6040625A (en) | Sensor package arrangement | |
| US6700174B1 (en) | Batch fabricated semiconductor thin-film pressure sensor and method of making same | |
| US8042392B2 (en) | Acceleration sensor | |
| JP3020426B2 (ja) | トランスデューサアセンブリ、回路基板に取り付けるためのトランスデューサデバイス、及び回路基板にトランスデューサを取り付ける方法 | |
| US9429589B2 (en) | Physical quantity sensor and electronic apparatus | |
| US6612179B1 (en) | Method and apparatus for the determination of absolute pressure and differential pressure therefrom | |
| EP0491506B1 (en) | Accelerometer and method of making | |
| US10969403B2 (en) | Physical quantity sensor, physical quantity sensor device, electronic apparatus, and movable object | |
| JPH02189435A (ja) | 圧力センサー | |
| JP6513519B2 (ja) | 物理量センサ | |
| CN101057148B (zh) | 加速度传感器装置 | |
| EP1407278B1 (en) | Acceleration sensor | |
| US5542296A (en) | Compact capacitive acceleration sensor | |
| CN107101630A (zh) | 电子装置、电子设备以及移动体 | |
| US6829953B2 (en) | Capacitive sensor | |
| JP3437876B2 (ja) | 加速度センサ装置およびその製造方法 | |
| US20230349945A1 (en) | Inertial sensor and inertial measurement unit | |
| JP2004037105A (ja) | 物理量検出器及び物理量検出器の製造方法 | |
| WO2001006220A1 (en) | Pressure sensor support base with cavity | |
| JP3230109B2 (ja) | 加速度センサユニット | |
| US20240093997A1 (en) | Inertial Measurement Device | |
| US20240053378A1 (en) | Physical Quantity Sensor And Inertial Measurement Unit |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041025 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041112 |
|
| A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20050214 |
|
| A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20050217 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050930 |