JPH08234029A - 光スターカプラ - Google Patents

光スターカプラ

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JPH08234029A
JPH08234029A JP3553795A JP3553795A JPH08234029A JP H08234029 A JPH08234029 A JP H08234029A JP 3553795 A JP3553795 A JP 3553795A JP 3553795 A JP3553795 A JP 3553795A JP H08234029 A JPH08234029 A JP H08234029A
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waveguide
signal light
wavelength
optical star
star coupler
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JP3553795A
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Fumihiko Yamamoto
文彦 山本
Kenji Akiba
健次 秋葉
Naoto Uetsuka
尚登 上塚
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Hitachi Cable Ltd
NTT Inc
Original Assignee
Hitachi Cable Ltd
Nippon Telegraph and Telephone Corp
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    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B6/12007Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind forming wavelength selective elements, e.g. multiplexer, demultiplexer
    • G02B6/12009Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind forming wavelength selective elements, e.g. multiplexer, demultiplexer comprising arrayed waveguide grating [AWG] devices, i.e. with a phased array of waveguides
    • G02B6/12014Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind forming wavelength selective elements, e.g. multiplexer, demultiplexer comprising arrayed waveguide grating [AWG] devices, i.e. with a phased array of waveguides characterised by the wavefront splitting or combining section, e.g. grooves or optical elements in a slab waveguide

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Abstract

(57)【要約】 【目的】 損失が小さく、寸法が小さく、かつ、低コス
トの分波機能及び等分配機能付の光スターカプラを提供
する。 【構成】 基板101上に形成された少なくとも1本の
チャネル導波路からなる入力用導波路102と、この入
力用導波路102に接続され、ある波長帯の信号光12
0を等分配するためのスラブ導波路103と、このスラ
ブ導波路103に接続され少なくとも1本のチャネル導
波路からなる出力用導波路105とを備えた光スターカ
プラにおいて、スラブ導波路103に、複数のチャネル
導波路115からなるアレイ導波路回折格子104を接
続し入力用導波路102からの他の波長帯の信号光12
1を波長ごとに分波するように構成したことを特徴とし
ている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光スターカプラに関
し、特に信号光を等分配又は、合分波する光スターカプ
ラに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、ある波長帯域の信号光を等分配す
る機能と、他の波長帯域の信号光を波長で合分波する機
能とを有するデバイスはなかった。
【0003】そこで、等分配機能と合分波機能とを有す
る光スターカプラを実現するためには、信号光を等分配
するための光スターカプラと、信号光を狭帯域で合分波
するための狭帯域光波長合分波器と、等分配した信号光
と狭帯域で分波した信号光とを合分波するための波長合
分波器等とを光ファイバ等で接続することが行われた。
【0004】図8は上述したデバイスを組み合わせた従
来の等分配、分波機能付の光スターカプラの一例であ
る。
【0005】この光スターカプラは、入射側の光ファイ
バ型波長合分波器201と、Y分岐導波路型の光スター
カプラ202と、アレイ導波路回折格子型光波長合分波
器203(特開平2−244105号公報「導波路型回
折格子」参照)と、出射側の光ファイバ型光波長合分波
器204と、これらを接続するための光ファイバ205
とで構成されている。
【0006】以下、図8を用いて従来の波長合分波機能
を有する光スターカプラの動作原理を説明する。尚、一
例として1300nm帯あるいは1550nm帯の信号
光λ0 をN等分、1650nm帯の信号光λ1 〜λN
波長ごとに合分波する場合について説明する。
【0007】入射側の光ファイバ206からの信号光2
07(波長λ0 )及び信号光208(波長λ1 〜λN
は、ファイバ型光波長合分波器201に入射される。こ
こで、ファイバ型光波長合分波器201は、異なる波長
帯の信号光(例えば1300nm帯あるいは1550n
m帯の信号光と1650nm帯の信号光)を合分波する
デバイスである。そのため、信号光207及び信号光2
08は、1300nm帯あるいは1550nm帯の信号
光207と、1650nm帯の信号光208に分波さ
れ、それぞれY分岐導波路型光スターカプラ202とア
レイ導波路回折格子型光波長合分波器203に伝搬され
る。ここで、Y分岐導波路型スターカプラ202は、入
射した信号光を等分配するデバイスであり、アレイ導波
路回折格子型光波長合分波器は狭帯域で、信号光を数n
m程度の間隔で合分波するデバイスでる。
【0008】そのため1300nm帯あるいは1550
nm帯の信号光207は、Y分岐導波路型スターカプラ
202でN等分され、それぞれ、出射側のファイバ型光
波長合分波器204に伝搬される。
【0009】従って、N等分された1300nm帯ある
いは1550nm帯の信号光207と、波長で分波され
た1650nm帯の信号光λ1 、λ2 、…、λN は、フ
ァイバ型光波長合分波器204により、それぞれ組にな
って出力側の光ファイバ209から出力されることにな
る。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】ところで従来の光波長
合分波機能付の光スターカプラは、光スターカプラと、
狭帯域の光波長合分波器と、広帯域の光波長合分波器と
を組み合わせる必要があり、かつ、それぞれのデバイス
間を光ファイバで接続する必要があった。そのため接続
部分が多くなり、損失が大きくなってしまう。また寸法
が大きく、コストがかかるといった問題があった。
【0011】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、損失が小さく、寸法が小さく、かつ、低コストの分
波機能及び等分配機能付の光スターカプラを提供するこ
とにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、基板上に形成された少なくとも1本のチャ
ネル導波路からなる入力用導波路と、この入力用導波路
に接続され、ある波長帯の信号光を等分配するためのス
ラブ導波路と、このスラブ導波路に接続され少なくとも
1本のチャネル導波路からなる出力用導波路とを備えた
光スターカプラにおいて、スラブ導波路に、複数のチャ
ネル導波路からなるアレイ導波路回折格子を接続して入
力用導波路からの他の波長帯の信号光を波長ごとに分波
するように構成したものである。
【0013】上記構成に加え本発明は、スラブ導波路
に、入力用導波路からの信号光が分波又は等分配されて
出力用導波路から出力するように波長フィルタを設けた
ものである。
【0014】上記構成に加え本発明は、波長フィルタ
を、ある波長帯の信号光を透過すると共に、他の波長帯
の信号光を反射するか又は、ある波長帯の信号光を反射
すると共に他の波長帯の信号光を透過するようにしたも
のである。
【0015】上記構成に加え本発明は、アレイ導波路回
折格子を、それぞれの長さが異なったチャネル導波路で
構成すると共に、長さの順に配置したものである。
【0016】上記構成に加え本発明は、アレイ導波路回
折格子を、その互いに隣接するチャネル導波路の導波路
長差ΔLが数1式
【0017】
【数1】ΔL=λ・m/neff (但しλは使用波長、neff は実効屈折率、mは正の整
数)を満足するようにしたものである。
【0018】上記構成に加え本発明は、スラブ導波路の
端面に沿って、入力用導波路、出力用導波路、アレイ導
波路の入力部及び出力部をそれぞれ配置したものであ
る。
【0019】上記構成に加え本発明は、入力用導波路と
アレイ導波路回折格子の入力部とを、相対向してスラブ
導波路の端部に配置したものである。
【0020】上記構成に加え本発明は、出力用導波路と
アレイ導波路回折格子の出力部とを、相対向してスラブ
導波路の端部の配置したものである。
【0021】上記構成に加え本発明は、入力用導波路と
スラブ導波路との接続端面及び出力用導波路とスラブ導
波路との接続端面をそれぞれ円弧状に形成すると共に、
入力用導波路及び出力用導波路を、それぞれの曲率中心
から扇状に配置したものである。
【0022】上記構成に加え本発明は、アレイ導波路回
折格子の入力部とスラブ導波路との接続端面及びアレイ
導波路回折格子の出力部とスラブ導波路との接続端面を
それぞれ円弧状に形成すると共に、入力用導波路及び出
力用導波路を、それぞれの曲率中心から扇状に配置した
ものである。
【0023】上記構成に加え本発明は、扇状に配置した
入力用導波路の中心軸と、扇状に配置したスラブ導波路
の入力部とを一致させたものである。
【0024】上記構成に加え本発明は、扇状に配置した
出力用導波路の中心軸と、扇状に配置したスラブ導波路
の出力部とを一致させたものである。
【0025】上記構成に加え本発明は、扇状に配置した
入力用導波路の中心軸と波長フィルタとがなす角度と、
扇状に配置した出力用導波路の中心軸と干渉膜フィルタ
とがなす角度が一致するように、波長フィルタを設けた
ものである。
【0026】上記構成に加え本発明は、波長1300n
m帯の信号光及び波長1550nm帯の信号光を等分配
し、波長1650nm帯の信号光を波長ごとに分波する
ようにしたものである。
【0027】上記構成に加え本発明は、波長1300n
m帯の信号光を等分配し、波長1550nm帯の信号光
を波長ごとに分波するようにしたものである。
【0028】上記構成に加え本発明は、波長1550n
m帯の信号光を等分配し、波長1300nm帯の信号光
を波長ごとに分波するようにしたものである。
【0029】
【作用】上記構成によれば、スラブ導波路には基板の表
面に平行な方向に光の閉じ込め構造がないので、入力用
導波路にある波長帯の信号光が入力すると、扇状に広が
り出力用導波路の各チャネル導波路に等分配されて出力
する。他の波長帯の信号光が入力用導波路に入力する
と、スラブ導波路で広がってアレイ導波路回折格子に入
力する。アレイ導波路回折格子では波長で分波され、再
びスラブ導波路に入力して広がり出力用導波路の各チャ
ネル導波路に分波されて出力する。
【0030】スラブ導波路に、入力用導波路からの信号
光が分波又は等分配されて出力用導波路から出力するよ
うに波長フィルタを設けることにより、波長帯によって
等分配と分波とが切替え自在に行われる。
【0031】
【実施例】以下、本発明の一実施例を添付図面に基づい
て詳述する。
【0032】図1は本発明の光スターカプラの一実施例
を示す図である。図2(a)は図1のA−A線断面図、
図2(b)は図1のB−B線断面図、図2(c)は図1
のC−C線断面図である。
【0033】図1に示すように、光スターカプラは、ガ
ラスからなる基板101上に、1本の入力用導波路10
2と、入力用導波路102に接続されたスラブ導波路1
03と、スラブ導波路103に接続された複数の出力用
導波路105と、両端がスラブ導波路103に接続され
た環状のアレイ導波路回折格子104とを形成し、さら
に、スラブ導波路103の一部に形成したスリット10
6に干渉膜フィルタ107を埋め込んだものである。
【0034】図2(a)〜図2(c)に示すように、光
スターカプラは、基板101上に、バッファ層108を
形成し、バッファ層108よりもわずかに屈折率の高い
材料で導波路(コア)を形成し、さらにコア109を、
コア109よりもわずかに屈折率の低いクラッド110
で埋め込んだ構造を有している。
【0035】以下、図1及び図2(a)〜(c)を参照
して各部分の構造について説明する。
【0036】スラブ導波路103は、横方向(基板の表
面に平行な方向)に光の閉じ込め構造がない平板構造を
有しており、入力用導波路との接続部、出力用導波路と
の接続部、アレイ導波路回折格子104の入力部111
との接続部、アレイ導波路回折格子104の出力部11
2との接続部は円弧形状を有している。
【0037】入力用導波路102及び出力用導波路10
5は、断面形状が矩形のチャネル導波路であり、それぞ
れダミーポート113、114を有している。また、入
力用導波路102及び出力用導波路105は、スラブ導
波路103の端面に沿って扇状(放射状)になるように
配置されている。
【0038】アレイ導波路回折格子104は、断面が矩
形の複数のチャネル導波路115で構成されている。各
チャネル導波路115の長さはΔL(一定値)ずつ異な
り、かつ、長さの順に配置されている。これらのチャネ
ル導波路115の寸法は、使用する信号光の波長帯域に
おいてシングルモード条件を満足するように設計されて
いる。
【0039】また、アレイ導波路回折格子104の入力
部111及び出力部112は、それぞれ放射状にスラブ
導波路103の端面に沿って、それぞれの曲率中心11
6、117から扇状に配置されている。
【0040】尚、入力用導波路102とアレイ導波路回
折格子104の入力部111とは、スラブ導波路103
を挟んで相対向して配置され、出力用導波路105とア
レイ導波路回折格子104の出力部112とは、スラブ
導波路103を挟んで相対向して配置されている。
【0041】干渉膜フィルタ107は、干渉膜フィルタ
107と入力用導波路102の中心軸118とがなす角
度と、干渉膜フィルタ107と出力用導波路105の中
心軸119とがなす角度とが一致するように配置されて
いる。
【0042】ここで、図3に示すような特性(1300
nm帯(1270〜1340nm)あるいは1550n
m帯(1550〜1560nm)の光を反射、1650
nm帯(1640〜1700nm)の光を透過)を有す
る干渉膜フィルタ107を利用し、1300nm帯ある
いは1550nm帯の信号光を等分配し、1650nm
帯の信号光を狭帯域で合分波する場合の光スターカプラ
の動作原理について説明する。
【0043】図4(a)及び図4(b)は図1に示した
光スターカプラの動作原理を説明するための説明図であ
る。
【0044】図4(a)は1300nm帯あるいは15
50nm帯の信号光120が出力用導波路105に分配
されるようすを示している。
【0045】1300nm帯あるいは1550nm帯の
信号光120(波長λ0 )が、入力用導波路102から
スラブ導波路103に入力され、スラブ導波路103を
伝搬する。
【0046】ここで、干渉膜フィルタ107は1300
nm帯あるいは1550nm帯の光を反射するので、こ
の信号光120は入射角と等角度で反射され、出力用導
波路105の方向に伝搬する。このとき、スラブ導波路
103は横方向に閉じ込め効果がなく、信号光120の
スポットサイズは伝搬とともに拡大されるので、この信
号光120は、扇状に配置された出力用導波路105に
分配される。
【0047】図4(b)は1650nmの信号光(波長
λ1 〜λN )121が波長に応じて分波されるようすを
示している。1650nm帯の信号光121も1300
nm帯あるいは1550nm帯の信号光120と同様、
入力用導波路102からスラブ導波路103に入力さ
れ、スラブ導波路103を伝搬する。但し、干渉膜フィ
ルタ107は1650nm帯の光を透過するため、この
信号光121はスポットサイズを拡大させながら、スラ
ブ導波路103中をさらに伝搬する。このとき、スラブ
導波路103とアレイ導波路回折格子104の入力部1
11との接続面は、入力用導波路102とスラブ導波路
103との接続点に曲率中心116をもつような円弧状
に形成されているため、この信号光121は等位相でア
レイ導波路回折格子104に入射し、それぞれのチャネ
ル導波路115に分配される。
【0048】アレイ導波路回折格子104を構成する複
数のチャネル導波路115は長さがそれぞれ異なるた
め、アレイ導波路回折格子104の出力部において、そ
れぞれのチャネル導波路115の位相が異なる。アレイ
導波路回折格子104の導波路長差をΔLとすると、隣
接するチャネル導波路間での位相差φは数2式で表わさ
れ、信号光の波長に依存することがわかる。
【0049】
【数2】φ=2πne ΔL/λ (但し、ne はチャネル導波路の実効屈折率) 数2式を波長λで微分すると、数3式で表わされ、位相
差の波長依存性δφは、波長変化δλに比例することが
わかる。
【0050】
【数3】δφ=−2πne ΔLδλ/λ2 アレイ導波路回折格子104で位相変化を受けた信号光
121は、アレイ導波路回折格子104の出力部112
からスラブ導波路103に出力される。このとき、各チ
ャネル導波路間で位相差があるため、等位相面122は
スラブ導波路103の端面に対して傾きを生じる。ま
た、位相差φが波長依存性をもつため、等位相面122
の傾きも波長依存性をもち、アレイ導波路回折格子10
4を構成する各チャネル導波路115の、円弧上での間
隔をsとすると、各波長間(δλ)の位相面の傾きδθ
は数3式より数4式となる。
【0051】
【数4】δθ=−tan-1{ΔLδλ/(sλ)} 従って、波長間隔δλの1650nmの信号光121
(波長λ1 〜λN )は、角度間隔δθずつ異なった方向
に伝搬される。このとき、干渉膜フィルタ107は16
50nm帯の光に対して透明であるため、1650nm
の信号光は干渉膜フィルタ107を通過する。さらに、
アレイ導波路回折格子104の出力部112でのスラブ
導波路103の端面が、円弧状で、その曲率中心117
が同スラブ導波路103の端面上にあるため、波長多重
光λ1 〜λN は、スラブ導波路103の端面に集光さ
れ、それぞれ、各出力導波路105から出力される。
【0052】図5(a)及び図5(b)は1×8光スタ
ーカプラの損失波長特性を示す図である。両図において
横軸は波長を示し、縦軸は損失をそれぞれ示している。
【0053】両図より1300nm帯あるいは1550
nm帯では、信号光を等分配し、1650nm帯では信
号光を1.0nmごとに分波していることがわかる。
【0054】図6は本発明の光スターカプラの変形例を
示す図である。
【0055】図1に示した光スターカプラとの相違点
は、スラブ導波路の形状、入出力用導波路の取り付け位
置、スリットの形状及び干渉膜フィルタの特性を変更し
た点である。
【0056】同図に示すように基板130に、入力用導
波路131と、この入力用導波路131に接続された略
V字形状のスラブ導波路132と、入力用導波路131
に対向するようにこのスラブ導波路132に接続された
出力用導波路133と、両端がスラブ導波路132に接
続された環状のアレイ導波路回折格子134とが形成さ
れている。スラブ導波路132には逆V字形状のスリッ
ト135が形成されており、このスリットに2つの干渉
膜フィルタ136、137が逆V字形状に挿入されて光
スターカプラが構成されている。
【0057】図7は図6に示した光スターカプラに用い
られる干渉膜フィルタの特性を示す図である。同図にお
いて、横軸は波長を示し、縦軸は透過率を示している。
【0058】この光スターカプラにおいて、1300n
m帯あるいは1550nm帯の信号光120が干渉膜フ
ィルタを透過して等分配される。また、1650nm帯
の信号光121は干渉膜フィルタによりアレイ導波路回
折格子の方向に反射され、アレイ導波路回折格子中で波
長に応じた位相シフトを受け、さらに2つ目の干渉膜フ
ィルタで出力用導波路の方向に反射されて波長ごとに分
波されている。このように図6に示す光スターカプラで
も図1に示した光スターカプラと同様の特性を得ること
ができる。
【0059】従って本変形例の光スターカプラは、スラ
ブ導波路の形状や、入出力用導波路の取り付け位置、干
渉膜フィルタの形成/挿入位置を変更しても同様の特性
を得ることができる。
【0060】以上において本実施例によれば、低損失
で、寸法が小さく、かつ低コストで分波機能及び等分配
機能付の光スターカプラを実現することができる。
【0061】尚、上述した光スターカプラは、干渉膜フ
ィルタの特性及び取り付け位置を変更することにより、
信号光を等分配したい波長帯、波長により合分波したい
波長帯を自由に設定することができる。
【0062】さらに、光スターカプラは、ガラス基板だ
けでなく、半導体基板等にも形成することができる。ま
た、コア、クラッド、バッファ層についても、ガラス系
の材料だけでなく、半導体材料など、光学系的に透明な
材料を用いて形成してもよい。
【0063】また、入力用導波路の数は1本だけでなく
複数本でもよく、出力用導波路の数も複数本でなく1本
でもよい。
【0064】さらに本実施例では1300nm帯あるい
は1550nm帯の信号光を等分配し、1650nm帯
の信号光を狭帯域で合分波する場合で説明したが、これ
に限定されず、1300nm帯の信号光を等分配し、1
550nm帯の信号光を合分波するようにしてもよい。
【0065】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のよう
な優れた効果を発揮する。
【0066】入力用導波路からのある波長帯の信号光
を、スラブ導波路で等分配し、入力用導波路からの他の
波長の信号光をアレイ導波路回折格子で波長ごとに合分
波するので、損失が小さく、寸法が小さく、かつ、低コ
ストの分波機能及び等分配機能付の光スターカプラを実
現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光スターカプラの一実施例を示す図で
ある。
【図2】(a)は図1に示した光スターカプラのA−A
線断面図、(b)はB−B線断面図、(c)はC−C線
断面図である。
【図3】図1に示した光スターカプラの干渉膜フィルタ
の特性を示す図である。
【図4】(a)及び(b)は図1に示した光スターカプ
ラの動作原理を説明するための説明図である。
【図5】(a)及び(b)は1×8光スターカプラの損
失波長特性を示す図である。
【図6】本発明の光スターカプラの変形例を示す図であ
る。
【図7】図6に示した光スターカプラに用いられる干渉
膜フィルタの特性を示す図である。
【図8】従来の等分配、分波機能付の光スターカプラの
一例である。
【符号の説明】
101 基板 102 入力用導波路 103 スラブ導波路 104 アレイ導波路回折格子 105 出力用導波路 120 ある波長帯の信号光 121 他の波長帯の信号光
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 上塚 尚登 茨城県日立市日高町5丁目1番1号 日立 電線株式会社オプトロシステム研究所内

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板上に形成された少なくとも1本のチ
    ャネル導波路からなる入力用導波路と、この入力用導波
    路に接続され、ある波長帯の信号光を等分配するための
    スラブ導波路と、このスラブ導波路に接続され少なくと
    も1本のチャネル導波路からなる出力用導波路とを備え
    た光スターカプラにおいて、上記スラブ導波路に、複数
    のチャネル導波路からなるアレイ導波路回折格子を接続
    して上記入力用導波路からの他の波長帯の信号光を波長
    ごとに分波するように構成したことを特徴とする光スタ
    ーカプラ。
  2. 【請求項2】 上記スラブ導波路に、入力用導波路から
    の信号光が分波又は等分配されて出力用導波路から出力
    するように波長フィルタを設けた請求項1記載の光スタ
    ーカプラ。
  3. 【請求項3】 上記波長フィルタを、ある波長帯の信号
    光を透過すると共に、他の波長帯の信号光を反射するか
    又は、ある波長帯の信号光を反射すると共に他の波長帯
    の信号光を透過するようにした請求項2記載の光スター
    カプラ。
  4. 【請求項4】 上記アレイ導波路回折格子を、それぞれ
    の長さが異なったチャネル導波路で構成すると共に、長
    さの順に配置した請求項1から3のいずれか一項記載の
    光スターカプラ。
  5. 【請求項5】 上記アレイ導波路回折格子を、その互い
    に隣接するチャネル導波路の導波路長差ΔLが数1式 【数1】ΔL=λ・m/neff (但しλは使用波長、neff は実効屈折率、mは正の整
    数)を満足するようにした請求項4記載の光スターカプ
    ラ。
  6. 【請求項6】 上記スラブ導波路の端面に沿って、上記
    入力用導波路、上記出力用導波路、上記アレイ導波路の
    入力部及び出力部をそれぞれ配置した請求項1から5の
    いずれか一項記載の光スターカプラ。
  7. 【請求項7】 上記入力用導波路と上記アレイ導波路回
    折格子の入力部とを、相対向してスラブ導波路の端部に
    配置した請求項1から6のいずれか一項記載の光スター
    カプラ。
  8. 【請求項8】 上記出力用導波路と上記アレイ導波路回
    折格子の出力部とを、相対向してスラブ導波路の端部の
    配置した請求項1から7のいずれか一項記載の光スター
    カプラ。
  9. 【請求項9】 上記入力用導波路と上記スラブ導波路と
    の接続端面及び上記出力用導波路と上記スラブ導波路と
    の接続端面をそれぞれ円弧状に形成すると共に、上記入
    力用導波路及び上記出力用導波路を、それぞれの曲率中
    心から扇状に配置した請求項1から8のいずれか一項記
    載の光スターカプラ。
  10. 【請求項10】 上記アレイ導波路回折格子の入力部と
    上記スラブ導波路との接続端面及び上記アレイ導波路回
    折格子の出力部と上記スラブ導波路との接続端面をそれ
    ぞれ円弧状に形成すると共に、上記入力用導波路及び上
    記出力用導波路を、それぞれの曲率中心から扇状に配置
    した請求項1から9のいずれか一項記載の光スターカプ
    ラ。
  11. 【請求項11】 扇状に配置した上記入力用導波路の中
    心軸と、扇状に配置した上記スラブ導波路の入力部とを
    一致させた請求項9又は10に記載の光スターカプラ。
  12. 【請求項12】 扇状に配置した上記出力用導波路の中
    心軸と、扇状に配置した上記スラブ導波路の出力部とを
    一致させた請求項9から11のいずれか一項記載の光ス
    ターカプラ。
  13. 【請求項13】 扇状に配置した上記入力用導波路の中
    心軸と上記波長フィルタとがなす角度と、扇状に配置し
    た上記出力用導波路の中心軸と上記干渉膜フィルタとが
    なす角度が一致するように、上記波長フィルタを設けた
    請求項2から12のいずれか一項記載の光スターカプ
    ラ。
  14. 【請求項14】 波長1300nm帯の信号光及び波長
    1550nm帯の信号光を等分配し、波長1650nm
    帯の信号光を波長ごとに分波するようにした請求項1〜
    13のいずれか一項記載の光スターカプラ。
  15. 【請求項15】 波長1300nm帯の信号光を等分配
    し、波長1550nm帯の信号光を波長ごとに分波する
    ようにした請求項1から13のいずれか一項記載の光ス
    ターカプラ。
  16. 【請求項16】 波長1550nm帯の信号光を等分配
    し、波長1300nm帯の信号光を波長ごとに分波する
    ようにした請求項1から13のいずれか一項記載の光ス
    ターカプラ。
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