JPH08239575A - ポリアミド酸組成物、ポリアミド酸組成物の製造方法ならびにカラーフィルタおよびその製造方法 - Google Patents
ポリアミド酸組成物、ポリアミド酸組成物の製造方法ならびにカラーフィルタおよびその製造方法Info
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- JPH08239575A JPH08239575A JP33867895A JP33867895A JPH08239575A JP H08239575 A JPH08239575 A JP H08239575A JP 33867895 A JP33867895 A JP 33867895A JP 33867895 A JP33867895 A JP 33867895A JP H08239575 A JPH08239575 A JP H08239575A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】耐熱性、安定性、電気特性に優れたポリイミド
樹脂の特性を損なうことなく、基板特にガラス基板に対
して優れた塗布性を有したポリイミド前駆体たるポリア
ミド酸溶液組成物を提供する。 【解決手段】ポリアミド酸および下記一般式(1)およ
び/または(2) R1 −O−(CR3 R4 CH2 O)n −R2 …… (1) R1 −O−(CR3 R4 CH2 CH2 O)n −R2 …… (2) (式(1),(2) において、nは1〜3の整数、R1 は水素
またはアルキル基、R2は水素またはアシル基、R3 、
R4 は水素またはアルキル基を示す。)で表される化合
物を必須成分として含有するポリアミド酸組成物。
樹脂の特性を損なうことなく、基板特にガラス基板に対
して優れた塗布性を有したポリイミド前駆体たるポリア
ミド酸溶液組成物を提供する。 【解決手段】ポリアミド酸および下記一般式(1)およ
び/または(2) R1 −O−(CR3 R4 CH2 O)n −R2 …… (1) R1 −O−(CR3 R4 CH2 CH2 O)n −R2 …… (2) (式(1),(2) において、nは1〜3の整数、R1 は水素
またはアルキル基、R2は水素またはアシル基、R3 、
R4 は水素またはアルキル基を示す。)で表される化合
物を必須成分として含有するポリアミド酸組成物。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ジアミンとテトラ
カルボン酸二無水物を反応させて得られるポリアミド酸
に関するものであり、特に半導体等の電子産業分野で、
層間絶縁膜、絶縁膜、遮光膜、着色膜、保護膜、接着層
などに好適に用いられるポリアミド酸組成物およびその
製造方法に関するものである。用途については特に液晶
ディスプレイ用のカラーフィルタ用塗膜形成を参照して
説明するが、それ以外にも広範の応用範囲があり、その
組成物は特にポリイミドワニスを被塗布材に薄く均一に
塗工したい場合に有利に使用できる。
カルボン酸二無水物を反応させて得られるポリアミド酸
に関するものであり、特に半導体等の電子産業分野で、
層間絶縁膜、絶縁膜、遮光膜、着色膜、保護膜、接着層
などに好適に用いられるポリアミド酸組成物およびその
製造方法に関するものである。用途については特に液晶
ディスプレイ用のカラーフィルタ用塗膜形成を参照して
説明するが、それ以外にも広範の応用範囲があり、その
組成物は特にポリイミドワニスを被塗布材に薄く均一に
塗工したい場合に有利に使用できる。
【0002】
【従来の技術】一般にポリイミド樹脂は、耐熱性、耐候
性に優れ、良好な安定性と電気特性を示すポリマーとし
て知られている。その優れた性質ゆえに集積回路など電
子産業分野で用いられている。ジアミンとテトラカルボ
ン酸二無水物とを重付加反応によってポリアミド酸型の
前駆体とし、ついで該前駆体を脱水閉環させることによ
ってポリイミド硬化物を得る方法は、最も一般的な方法
である。一部のポリアミド酸がジグライムなどに溶解す
るものの、ポリアミド酸の良溶媒は、N,N−ジメチル
アセトアミド(以下DMAcという)やN−メチル−2
−ピロリドン(以下NMPという)などのアミド系溶媒
であるために反応溶媒がこれらに限定される。これらの
溶媒は沸点、引火点が高く、溶解力が大きく、毒性が小
さいことから取り扱いが容易な優れた溶剤であり、これ
らの溶媒は非プロトン性極性溶媒であるために水素結合
形成を伴なわず、求核剤であるジアミンの活性を増し反
応を促進するために工業用途には好適である。
性に優れ、良好な安定性と電気特性を示すポリマーとし
て知られている。その優れた性質ゆえに集積回路など電
子産業分野で用いられている。ジアミンとテトラカルボ
ン酸二無水物とを重付加反応によってポリアミド酸型の
前駆体とし、ついで該前駆体を脱水閉環させることによ
ってポリイミド硬化物を得る方法は、最も一般的な方法
である。一部のポリアミド酸がジグライムなどに溶解す
るものの、ポリアミド酸の良溶媒は、N,N−ジメチル
アセトアミド(以下DMAcという)やN−メチル−2
−ピロリドン(以下NMPという)などのアミド系溶媒
であるために反応溶媒がこれらに限定される。これらの
溶媒は沸点、引火点が高く、溶解力が大きく、毒性が小
さいことから取り扱いが容易な優れた溶剤であり、これ
らの溶媒は非プロトン性極性溶媒であるために水素結合
形成を伴なわず、求核剤であるジアミンの活性を増し反
応を促進するために工業用途には好適である。
【0003】しかしDMAcやNMPを反応溶媒に用い
た場合、高固形分濃度でかつ低粘度のポリアミド酸溶液
を得ることが困難であり、電子部品の保護膜などの塗膜
形成に用いる場合に、粘度が高いこと、ぬれ性が悪いこ
と、溶媒除去が容易でないなど均一な塗膜の形成が困難
であった。これら塗布性を改善するために、ジアミンに
N−シリル化ジアミンを用いることによって、クロロホ
ルムやテトラヒドロフラン溶媒で重合を行う方法や、特
公昭56−163123号公報にあるように重合溶媒と
してジオキサンとNMPあるいはジメチルホルムアミド
および低級アルコールを用いる方法、あるいは特公昭5
6−163124号公報にあるようにジメチルホルムア
ミドあるいはNMPと低級アルコールを用いる提案が開
示されている。
た場合、高固形分濃度でかつ低粘度のポリアミド酸溶液
を得ることが困難であり、電子部品の保護膜などの塗膜
形成に用いる場合に、粘度が高いこと、ぬれ性が悪いこ
と、溶媒除去が容易でないなど均一な塗膜の形成が困難
であった。これら塗布性を改善するために、ジアミンに
N−シリル化ジアミンを用いることによって、クロロホ
ルムやテトラヒドロフラン溶媒で重合を行う方法や、特
公昭56−163123号公報にあるように重合溶媒と
してジオキサンとNMPあるいはジメチルホルムアミド
および低級アルコールを用いる方法、あるいは特公昭5
6−163124号公報にあるようにジメチルホルムア
ミドあるいはNMPと低級アルコールを用いる提案が開
示されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしこれらの方法で
は、得られるポリイミド膜の耐熱性が十分でなかった
り、低沸点溶媒混合による引火、爆発の可能性があり取
り扱いが容易ではないといった不具合があった。
は、得られるポリイミド膜の耐熱性が十分でなかった
り、低沸点溶媒混合による引火、爆発の可能性があり取
り扱いが容易ではないといった不具合があった。
【0005】また塗布性向上のために一般的なポリアミ
ド酸溶液を比較的沸点の低い溶媒や表面張力の小さな溶
媒で希釈することなどが考えられる。しかしながら一般
的なポリアミド酸溶液では、これら貧溶媒での希釈でゲ
ル化析出したり、低濃度ゆえに乾燥時に収縮を起し、不
均一な膜厚の塗膜しか得られなかった。
ド酸溶液を比較的沸点の低い溶媒や表面張力の小さな溶
媒で希釈することなどが考えられる。しかしながら一般
的なポリアミド酸溶液では、これら貧溶媒での希釈でゲ
ル化析出したり、低濃度ゆえに乾燥時に収縮を起し、不
均一な膜厚の塗膜しか得られなかった。
【0006】そこで本発明者らは、このような耐熱性、
電気特性、安定性に優れたポリイミド樹脂の特性を損な
うことなく、基板、特にガラス基板に対する塗布性を改
良したポリイミド前駆体たるポリアミド酸溶液組成物を
提供し、さらに塗布欠陥のないカラーフィルタを提供す
るために鋭意検討し、本発明を提供するに至ったもので
ある。
電気特性、安定性に優れたポリイミド樹脂の特性を損な
うことなく、基板、特にガラス基板に対する塗布性を改
良したポリイミド前駆体たるポリアミド酸溶液組成物を
提供し、さらに塗布欠陥のないカラーフィルタを提供す
るために鋭意検討し、本発明を提供するに至ったもので
ある。
【0007】
【課題を解決するための手段】かかる本発明の目的は、
ポリアミド酸および下記一般式(1)および/または
(2) R1 −O−(CR3 R4 CH2 O)n −R2 …… (1) R1 −O−(CR3 R4 CH2 CH2 O)n −R2 …… (2) (式(1),(2) において、nは1〜3の整数、R1 は水素
またはアルキル基、R2は水素またはアシル基、R3 、
R4 は水素またはアルキル基を示す。)で表される化合
物を必須成分として含有するポリアミド酸組成物、この
組成物を塗布する工程を含むことを特徴としたカラーフ
ィルタの製造方法、ならびに上記式(1)および/また
は(2)で表される化合物を主成分とする溶媒中で、ジ
アミンとテトラカルボン酸二無水物の反応を行うことを
特徴とするポリアミド酸組成物の製造方法、およびこの
ポリアミド酸組成物の硬化物を塗膜として有することを
特徴とするカラーフィルタによって達成される。
ポリアミド酸および下記一般式(1)および/または
(2) R1 −O−(CR3 R4 CH2 O)n −R2 …… (1) R1 −O−(CR3 R4 CH2 CH2 O)n −R2 …… (2) (式(1),(2) において、nは1〜3の整数、R1 は水素
またはアルキル基、R2は水素またはアシル基、R3 、
R4 は水素またはアルキル基を示す。)で表される化合
物を必須成分として含有するポリアミド酸組成物、この
組成物を塗布する工程を含むことを特徴としたカラーフ
ィルタの製造方法、ならびに上記式(1)および/また
は(2)で表される化合物を主成分とする溶媒中で、ジ
アミンとテトラカルボン酸二無水物の反応を行うことを
特徴とするポリアミド酸組成物の製造方法、およびこの
ポリアミド酸組成物の硬化物を塗膜として有することを
特徴とするカラーフィルタによって達成される。
【0008】
【発明の実施の形態】上記式(1)および(2)におい
て、R1 は水素またはアルキル基であるが、好ましくは
Cが1〜10のアルキル基であり、より好ましくはCが
1〜6のアルキル基である。R2 は水素またはアシル基
であるが、好ましくは、水素、Cが1〜3のアシル基で
あり、より好ましくは水素またはアセチル基、さらに好
ましくは水素である。R3 、R4 は水素またはアルキル
基であるが、好ましくは、水素またはCが1〜3のアル
キル基であり、より好ましくは水素、メチル基またはエ
チル基である。
て、R1 は水素またはアルキル基であるが、好ましくは
Cが1〜10のアルキル基であり、より好ましくはCが
1〜6のアルキル基である。R2 は水素またはアシル基
であるが、好ましくは、水素、Cが1〜3のアシル基で
あり、より好ましくは水素またはアセチル基、さらに好
ましくは水素である。R3 、R4 は水素またはアルキル
基であるが、好ましくは、水素またはCが1〜3のアル
キル基であり、より好ましくは水素、メチル基またはエ
チル基である。
【0009】このような化合物としては例えば、1,2
−エタンジオール、2−メトキシエタノール、2−エト
キシエタノール、2−ブトキシエタノール、2−(イソ
ペンチルオキシ)エタノール、2−(ヘキシルオキシ)
エタノール、1,3−プロパンジオール、2−メトキシ
プロパノール、2−エトキシプロパノール、3−メトキ
シプロパノール、3−エトキシプロパノール、2−メト
キシブタノール、3−メトキシブタノール、3−メチル
−3−メトキシブタノール、ジエチレングリコール、ジ
エチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレング
リコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモ
ノブチルエーテル、トリエチレングリコール、トリエチ
レングリコールモノメチルエーテル、およびこれらのア
セテートなどがあり、中でも好ましくは 2−ブトキシ
エタノール、ジエチレングリコールモノエチルエーテ
ル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、3−メ
トキシプロパノール、3−エトキシプロパノール、3−
メチル−3−メトキシブタノール、およびこれらのアセ
テートなどが挙げられる。これらの化合物は、単独で使
用しても2種類以上を組み合わせて用いても良い。ま
た、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジメチル
ホルムアミド、N−メチル−2−ピロリドンなどのアミ
ド系溶媒やγ−ブチロラクトン、メチル3−メトキシプ
ロピオネートなどのエステル系溶媒、エチレングリコー
ルジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエ
ーテルなどのエーテル系溶媒等と混合して用いてもよい
が、その場合、その溶媒組成物中に上記式(1)および
/または(2)で表される化合物を50重量%以上含む
こと、さらに好ましくはこれらの化合物を80重量%以
上含むことが望ましい。
−エタンジオール、2−メトキシエタノール、2−エト
キシエタノール、2−ブトキシエタノール、2−(イソ
ペンチルオキシ)エタノール、2−(ヘキシルオキシ)
エタノール、1,3−プロパンジオール、2−メトキシ
プロパノール、2−エトキシプロパノール、3−メトキ
シプロパノール、3−エトキシプロパノール、2−メト
キシブタノール、3−メトキシブタノール、3−メチル
−3−メトキシブタノール、ジエチレングリコール、ジ
エチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレング
リコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモ
ノブチルエーテル、トリエチレングリコール、トリエチ
レングリコールモノメチルエーテル、およびこれらのア
セテートなどがあり、中でも好ましくは 2−ブトキシ
エタノール、ジエチレングリコールモノエチルエーテ
ル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、3−メ
トキシプロパノール、3−エトキシプロパノール、3−
メチル−3−メトキシブタノール、およびこれらのアセ
テートなどが挙げられる。これらの化合物は、単独で使
用しても2種類以上を組み合わせて用いても良い。ま
た、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジメチル
ホルムアミド、N−メチル−2−ピロリドンなどのアミ
ド系溶媒やγ−ブチロラクトン、メチル3−メトキシプ
ロピオネートなどのエステル系溶媒、エチレングリコー
ルジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエ
ーテルなどのエーテル系溶媒等と混合して用いてもよい
が、その場合、その溶媒組成物中に上記式(1)および
/または(2)で表される化合物を50重量%以上含む
こと、さらに好ましくはこれらの化合物を80重量%以
上含むことが望ましい。
【0010】さらには上記式(1)および/または
(2)で表される化合物を主成分とする溶媒組成物中
で、ジアミンとテトラカルボン酸二無水物の反応させて
得られたポリアミド酸組成物を用いるとさらに好適であ
る。ここで主成分とするとは、前記溶媒組成物中に上記
式(1)および/または(2)で表される化合物を50
重量%以上含むこと、さらに好ましくは80重量%以上
含むことをいう。
(2)で表される化合物を主成分とする溶媒組成物中
で、ジアミンとテトラカルボン酸二無水物の反応させて
得られたポリアミド酸組成物を用いるとさらに好適であ
る。ここで主成分とするとは、前記溶媒組成物中に上記
式(1)および/または(2)で表される化合物を50
重量%以上含むこと、さらに好ましくは80重量%以上
含むことをいう。
【0011】これらの反応溶媒を用い、反応温度100
℃以下でかつ0.1〜12時間以内で重合を終了するこ
とにより、比較的重合度の低いポリアミド酸を得ること
が可能であり、結果として25重量%以上の高固形分濃
度で、かつ、回転粘度計で測定した粘度が1000mP
a・s(25℃)程度の低粘度のポリアミド酸溶液を調
製することができる。反応温度が100℃を越えると、
反応時間が12時間以上におよぶ場合には、この反応系
に従っても得られるポリアミド酸のイミド化が進行して
本発明の溶媒に溶解性が低下して、ゲル化、ポリマの沈
殿、粘度上昇などが起こる場合がある。
℃以下でかつ0.1〜12時間以内で重合を終了するこ
とにより、比較的重合度の低いポリアミド酸を得ること
が可能であり、結果として25重量%以上の高固形分濃
度で、かつ、回転粘度計で測定した粘度が1000mP
a・s(25℃)程度の低粘度のポリアミド酸溶液を調
製することができる。反応温度が100℃を越えると、
反応時間が12時間以上におよぶ場合には、この反応系
に従っても得られるポリアミド酸のイミド化が進行して
本発明の溶媒に溶解性が低下して、ゲル化、ポリマの沈
殿、粘度上昇などが起こる場合がある。
【0012】本発明のポリアミド酸組成物により、粘度
が低く、濡れ性が良く、ゲル化を起こしにくく、固形分
濃度が高い、ポリアミド酸溶液組成物が得られ、塗布欠
陥のない塗膜を形成することができる。
が低く、濡れ性が良く、ゲル化を起こしにくく、固形分
濃度が高い、ポリアミド酸溶液組成物が得られ、塗布欠
陥のない塗膜を形成することができる。
【0013】一般にこれらのポリアミド酸溶液組成物の
均一塗布にはスピナー、ロールコータ、ワイヤーバーコ
ータ、ダイコータなどが用いられるが、それぞれの塗布
法での塗工欠陥はポリアミド酸溶液組成物の溶剤組成を
変更することで解決できる場合がある。本発明のポリア
ミド酸溶液組成物は、従来のポリアミド酸溶液組成物で
は貧溶媒と混合した場合、ゲル状物質を析出する濃度で
貧溶媒と混合した場合でもゲル化析出しない。このよう
な物性のため塗布欠陥改善のために加える希釈溶剤や希
釈比率の選択の幅が拡がる。
均一塗布にはスピナー、ロールコータ、ワイヤーバーコ
ータ、ダイコータなどが用いられるが、それぞれの塗布
法での塗工欠陥はポリアミド酸溶液組成物の溶剤組成を
変更することで解決できる場合がある。本発明のポリア
ミド酸溶液組成物は、従来のポリアミド酸溶液組成物で
は貧溶媒と混合した場合、ゲル状物質を析出する濃度で
貧溶媒と混合した場合でもゲル化析出しない。このよう
な物性のため塗布欠陥改善のために加える希釈溶剤や希
釈比率の選択の幅が拡がる。
【0014】このポリアミド酸の調製に用いられるジア
ミンとしては、m−フェニレンジアミン、p−フェニレ
ンジアミン、4,4’−ジアミノジフェニルプロパン、
4,4’−ジアミノジフェニルメタン、2,7−ジアミ
ノジフェニルフルオレン、ベンジジン、3,3’−ジメ
チルベンジジン、3,3’−ジメトキシベンジジン、
4,4’−ジアミノジフェニルスルフィド、3,3’−
(または4,4’−)ジアミノジフェニルスルホン、
9,9’−ビス(4−アミノフェニル)スルホン、4,
4’−ジアミノジフェニルエーテル、1,5−ジアミノ
ナフタレン、2,4−ビス−(β−アミノ−t−ブチ
ル)トルエン、ビス(p−β−メチル−o−アミノベン
ジル)ベンゼン、1,3−ジアミノ−4−イソプロピル
ベンゼン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベン
ゼン、2,5−ジアミノトルエン、2,5−ジアミノパ
ラキシレン、1,2−ビス(3−アミノプロピポキシ)
エタン、1,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)
フェニル]プロパン、m−キシリレンジアミン、p−キ
シリレンジアミン、m−キシリレンジアミン、ビス(4
−アミノシクロヘキシル)メタン、p,p’−テトラメ
チルジアミノジフェニルメタン、p,p’−テトラエチ
ルジアミノジフェニルメタン、デカメチレンジアミン、
3−メチルヘプタメチレンジアミン、4,4’−ジメチ
ルヘプタメチレンジアミン、2,1,1−ドデカンジア
ミン、2,2−ジメチルプロピレンジアミン、オクタメ
チレンジアミン、3−メトキシヘキサメチレンジアミ
ン、2,5−ジメチルヘキサメチレンジアミン、2,5
−ジメチルヘプタメチレンジアミン、3−メチルヘプタ
メチレンジアミン、1,4−シクロヘキサンジアミン、
3,3’−ジアミノジプロピルアミン、1,6−ジアミ
ノヘキサン、ヘキサメチレンジアミンなどが用いられ、
これらのジアミンは、組み合わせて用いることもでき
る。ポリイミドの耐熱性からは、ポリマー主鎖のアミド
基との結合が芳香族環から直接行われている構造を持つ
もの、例えば、m−フェニレンジアミン、p−フェニレ
ンジアミン、4,4’−ジアミノジフェニルプロパン、
4,4’−ジアミノジフェニルメタン、2,7−ジアミ
ノジフェニルフルオレン、ベンジジン、3,3’−ジメ
チルベンジジン、3,3’−ジメトキシベンジジン、
4,4’−ジアミノジフェニルスルフィド、3,3’−
(または4,4’−)ジアミノジフェニルスルホン、
9,9’−ビス(4−アミノフェニル)スルホン、4,
4’−ジアミノジフェニルエーテル、1,5−ジアミノ
ナフタレン、2,4−ビス−(β−アミノ−t−ブチ
ル)トルエン、ビス(p−β−メチル−o−アミノベン
ジル)ベンゼン、1,3−ジアミノ−4−イソプロピル
ベンゼン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベン
ゼン、2,5−ジアミノトルエン、2,5−ジアミノパ
ラキシレンなどが好ましく用いられる。テトラカルボン
酸二無水物としては、脂肪族、芳香族のテトラカルボン
酸二無水物が挙げられ、例えば、ピロメリット酸二無水
物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボ
ン酸二無水物、2,2’,3,3’−ベンゾフェノンテ
トラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェ
ニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−
ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、4,
4’−オキシジフタル酸二無水物、2,3,5−トリカ
ルボキシシクロペンチル酢酸二無水物、1,2,3,4
−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,
3,4−シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物など
が挙げらる。これらのテトラカルボン酸二無水物は、組
み合わせて用いることもできる。得られるポリイミドの
耐熱性からは、ポリマー主鎖のカルボニル基との結合が
芳香環あるいは芳香族複素環から直接行われている構造
を有するものが好ましい。例えばピロメリット酸二無水
物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボ
ン酸二無水物、2,2’,3,3’−ベンゾフェノンテ
トラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェ
ニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−
ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、4,
4’−オキシジフタル酸二無水物などが挙げられる。こ
れらジアミンとテトラカルボン酸二無水物および一般式
(1)および/または(2)の化合物の好ましい組み合
わせとしては、ピロメリット酸二無水物と3,3’−
(または、4,4’−)ジアミノジフェニルスルホンと
ジエチレングリコールモノエチルエーテル、3,3’,
4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物と
3,3’−(または、4,4’−)ジアミノジフェニル
スルホンとジエチレングリコールモノブチルエーテル、
3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無
水物と3,3’−(または、4,4’−)ジアミノジフ
ェニルスルホンとジエチレングリコールモノメチルエー
テル、ピロメリット酸二無水物および3,3’,4,
4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物と3,
3’−(または、4,4’−)ジアミノジフェニルスル
ホンとトリエチレングリコール、3,3’,4,4’−
ベンゾフェノンテトラカルボン酸無水物と3,3’−
(または、4,4’−)ジアミノジフェニルスルホンお
よびビス(3−アミノプロピル)テトラメチルジシロキ
サンとジエチレングリコールモノエチルエーテルなどが
典型的な例として挙げられるがこれらには限定されな
い。さらに、これらポリアミド酸から得られるポリイミ
ドの接着性を向上させる目的で、耐熱性を低下させない
範囲でシロキサン構造を有する脂肪族ジアミンを共重合
したり、アミノシランを添加することも可能である。上
記シロキサン構造を有する脂肪族ジアミンの共重合量は
ジアミン成分の1〜10mol%が耐熱性の面から好ま
しい。またアミノシランの添加量はポリイミドに対し
0.5〜10wt%が耐熱性の面から好ましい。また重
合の程度を制御する目的でテトラカルボン酸二無水物の
一部をジカルボン酸一無水物に置き換えることも可能で
ある。
ミンとしては、m−フェニレンジアミン、p−フェニレ
ンジアミン、4,4’−ジアミノジフェニルプロパン、
4,4’−ジアミノジフェニルメタン、2,7−ジアミ
ノジフェニルフルオレン、ベンジジン、3,3’−ジメ
チルベンジジン、3,3’−ジメトキシベンジジン、
4,4’−ジアミノジフェニルスルフィド、3,3’−
(または4,4’−)ジアミノジフェニルスルホン、
9,9’−ビス(4−アミノフェニル)スルホン、4,
4’−ジアミノジフェニルエーテル、1,5−ジアミノ
ナフタレン、2,4−ビス−(β−アミノ−t−ブチ
ル)トルエン、ビス(p−β−メチル−o−アミノベン
ジル)ベンゼン、1,3−ジアミノ−4−イソプロピル
ベンゼン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベン
ゼン、2,5−ジアミノトルエン、2,5−ジアミノパ
ラキシレン、1,2−ビス(3−アミノプロピポキシ)
エタン、1,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)
フェニル]プロパン、m−キシリレンジアミン、p−キ
シリレンジアミン、m−キシリレンジアミン、ビス(4
−アミノシクロヘキシル)メタン、p,p’−テトラメ
チルジアミノジフェニルメタン、p,p’−テトラエチ
ルジアミノジフェニルメタン、デカメチレンジアミン、
3−メチルヘプタメチレンジアミン、4,4’−ジメチ
ルヘプタメチレンジアミン、2,1,1−ドデカンジア
ミン、2,2−ジメチルプロピレンジアミン、オクタメ
チレンジアミン、3−メトキシヘキサメチレンジアミ
ン、2,5−ジメチルヘキサメチレンジアミン、2,5
−ジメチルヘプタメチレンジアミン、3−メチルヘプタ
メチレンジアミン、1,4−シクロヘキサンジアミン、
3,3’−ジアミノジプロピルアミン、1,6−ジアミ
ノヘキサン、ヘキサメチレンジアミンなどが用いられ、
これらのジアミンは、組み合わせて用いることもでき
る。ポリイミドの耐熱性からは、ポリマー主鎖のアミド
基との結合が芳香族環から直接行われている構造を持つ
もの、例えば、m−フェニレンジアミン、p−フェニレ
ンジアミン、4,4’−ジアミノジフェニルプロパン、
4,4’−ジアミノジフェニルメタン、2,7−ジアミ
ノジフェニルフルオレン、ベンジジン、3,3’−ジメ
チルベンジジン、3,3’−ジメトキシベンジジン、
4,4’−ジアミノジフェニルスルフィド、3,3’−
(または4,4’−)ジアミノジフェニルスルホン、
9,9’−ビス(4−アミノフェニル)スルホン、4,
4’−ジアミノジフェニルエーテル、1,5−ジアミノ
ナフタレン、2,4−ビス−(β−アミノ−t−ブチ
ル)トルエン、ビス(p−β−メチル−o−アミノベン
ジル)ベンゼン、1,3−ジアミノ−4−イソプロピル
ベンゼン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベン
ゼン、2,5−ジアミノトルエン、2,5−ジアミノパ
ラキシレンなどが好ましく用いられる。テトラカルボン
酸二無水物としては、脂肪族、芳香族のテトラカルボン
酸二無水物が挙げられ、例えば、ピロメリット酸二無水
物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボ
ン酸二無水物、2,2’,3,3’−ベンゾフェノンテ
トラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェ
ニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−
ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、4,
4’−オキシジフタル酸二無水物、2,3,5−トリカ
ルボキシシクロペンチル酢酸二無水物、1,2,3,4
−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,
3,4−シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物など
が挙げらる。これらのテトラカルボン酸二無水物は、組
み合わせて用いることもできる。得られるポリイミドの
耐熱性からは、ポリマー主鎖のカルボニル基との結合が
芳香環あるいは芳香族複素環から直接行われている構造
を有するものが好ましい。例えばピロメリット酸二無水
物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボ
ン酸二無水物、2,2’,3,3’−ベンゾフェノンテ
トラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェ
ニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−
ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、4,
4’−オキシジフタル酸二無水物などが挙げられる。こ
れらジアミンとテトラカルボン酸二無水物および一般式
(1)および/または(2)の化合物の好ましい組み合
わせとしては、ピロメリット酸二無水物と3,3’−
(または、4,4’−)ジアミノジフェニルスルホンと
ジエチレングリコールモノエチルエーテル、3,3’,
4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物と
3,3’−(または、4,4’−)ジアミノジフェニル
スルホンとジエチレングリコールモノブチルエーテル、
3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無
水物と3,3’−(または、4,4’−)ジアミノジフ
ェニルスルホンとジエチレングリコールモノメチルエー
テル、ピロメリット酸二無水物および3,3’,4,
4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物と3,
3’−(または、4,4’−)ジアミノジフェニルスル
ホンとトリエチレングリコール、3,3’,4,4’−
ベンゾフェノンテトラカルボン酸無水物と3,3’−
(または、4,4’−)ジアミノジフェニルスルホンお
よびビス(3−アミノプロピル)テトラメチルジシロキ
サンとジエチレングリコールモノエチルエーテルなどが
典型的な例として挙げられるがこれらには限定されな
い。さらに、これらポリアミド酸から得られるポリイミ
ドの接着性を向上させる目的で、耐熱性を低下させない
範囲でシロキサン構造を有する脂肪族ジアミンを共重合
したり、アミノシランを添加することも可能である。上
記シロキサン構造を有する脂肪族ジアミンの共重合量は
ジアミン成分の1〜10mol%が耐熱性の面から好ま
しい。またアミノシランの添加量はポリイミドに対し
0.5〜10wt%が耐熱性の面から好ましい。また重
合の程度を制御する目的でテトラカルボン酸二無水物の
一部をジカルボン酸一無水物に置き換えることも可能で
ある。
【0015】本発明になるポリアミド酸組成物の典型的
な応用例としては、液晶表示素子および固体撮像素子な
どに用いられるカラーフィルタの保護膜が挙げられる。
また、本発明のポリアミド酸組成物に染料、顔料等の着
色材やカーボンブラック等の遮光材を分散させることに
より、カラーフィルタの着色膜や遮光膜として用いるこ
とができる。これら、保護膜、着色膜、遮光膜等の塗膜
はカラーフィルタ表面の平坦化、および保護のために重
要であり、かつ基板に対する優れた塗布性が要求される
からである。
な応用例としては、液晶表示素子および固体撮像素子な
どに用いられるカラーフィルタの保護膜が挙げられる。
また、本発明のポリアミド酸組成物に染料、顔料等の着
色材やカーボンブラック等の遮光材を分散させることに
より、カラーフィルタの着色膜や遮光膜として用いるこ
とができる。これら、保護膜、着色膜、遮光膜等の塗膜
はカラーフィルタ表面の平坦化、および保護のために重
要であり、かつ基板に対する優れた塗布性が要求される
からである。
【0016】
【実施例】以下、実施例により本発明を更に具体的に説
明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものでは
ない。
明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものでは
ない。
【0017】実施例1 (ポリアミド酸溶液組成物の調製)三ツ口3lフラスコ
にジエチレングリコールモノエチルエーテル 162
1.15gを入れ、N2 通気下、撹拌しながら3,3’
−ジアミノジフェニルスルホン 232.33g、ビス
アミノプロピルテトラメチルジシロキサン 7.194
gを添加する。30分撹拌の後、3,3’,4,4’−
ベンゾフェノンテトラカルボン酸無水物 310.32
gを30gのジエチレングリコールモノエチルエーテル
とともに加えて完全に溶解したところで50℃に昇温す
る。50℃に調温しながら3時間撹拌した。一昼夜室温
で放置し、ポリイミド前駆体であるポリアミド酸溶液を
得た。この処方で得られるポリアミド酸濃度は25wt
%であり、回転粘度は1011mPa・s(25℃)で
あった。
にジエチレングリコールモノエチルエーテル 162
1.15gを入れ、N2 通気下、撹拌しながら3,3’
−ジアミノジフェニルスルホン 232.33g、ビス
アミノプロピルテトラメチルジシロキサン 7.194
gを添加する。30分撹拌の後、3,3’,4,4’−
ベンゾフェノンテトラカルボン酸無水物 310.32
gを30gのジエチレングリコールモノエチルエーテル
とともに加えて完全に溶解したところで50℃に昇温す
る。50℃に調温しながら3時間撹拌した。一昼夜室温
で放置し、ポリイミド前駆体であるポリアミド酸溶液を
得た。この処方で得られるポリアミド酸濃度は25wt
%であり、回転粘度は1011mPa・s(25℃)で
あった。
【0018】実施例2 (ポリアミド酸溶液組成物の調製)ジエチレングリコー
ルモノメチルエーテルを等量のジエチレングリコールモ
ノエチルエーテルに、3,3’−ジアミノジフェニルス
ルホンを等モル当量のジアミノジフェニルメタンにベン
ゾフェノンテトラカルボン酸二無水物を等モル当量のビ
フェニルテトラカルボン酸二無水物に替えて用いる以外
は、実施例1と同様にしてポリアミド酸溶液を得た。こ
の処方で得られるポリアミド酸溶液の固形分濃度は25
%であり、回転粘度は987mPa・s(25℃)であ
った。
ルモノメチルエーテルを等量のジエチレングリコールモ
ノエチルエーテルに、3,3’−ジアミノジフェニルス
ルホンを等モル当量のジアミノジフェニルメタンにベン
ゾフェノンテトラカルボン酸二無水物を等モル当量のビ
フェニルテトラカルボン酸二無水物に替えて用いる以外
は、実施例1と同様にしてポリアミド酸溶液を得た。こ
の処方で得られるポリアミド酸溶液の固形分濃度は25
%であり、回転粘度は987mPa・s(25℃)であ
った。
【0019】実施例3 (ポリアミド酸溶液組成物の調製)三ツ口2lフラスコ
にNMP 670gと2−ブトキシエタノール 700
gを入れ、N2 通気下、撹拌しながら3,3’−ジアミ
ノジフェニルスルホン 105.4g、ジアミノジフェ
ニルメタン 83.87g、ビスアミノプロピルテトラ
メチルジシロキサン 13.42gを添加する。30分
撹拌の後、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物 26
0.43gを30gのNMPとともに加えて完全に溶解
したところで60℃に昇温する。60℃に調温しながら
2時間撹拌した。ポリイミド前駆体であるポリアミド酸
溶液を得た。この処方で得られるポリアミド酸溶液の固
形分濃度は25%であり、回転粘度は3010mPa・
s(25℃)であった。
にNMP 670gと2−ブトキシエタノール 700
gを入れ、N2 通気下、撹拌しながら3,3’−ジアミ
ノジフェニルスルホン 105.4g、ジアミノジフェ
ニルメタン 83.87g、ビスアミノプロピルテトラ
メチルジシロキサン 13.42gを添加する。30分
撹拌の後、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物 26
0.43gを30gのNMPとともに加えて完全に溶解
したところで60℃に昇温する。60℃に調温しながら
2時間撹拌した。ポリイミド前駆体であるポリアミド酸
溶液を得た。この処方で得られるポリアミド酸溶液の固
形分濃度は25%であり、回転粘度は3010mPa・
s(25℃)であった。
【0020】比較例1 三ツ口3lフラスコにNMP 1621.15gを入
れ、N2 通気下、撹拌しながら3,3’−ジアミノジフ
ェニルスルホン 232.33g、ビスアミノプロピル
テトラメチルジシロキサン 7.194gを添加する。
30分撹拌の後、3,3’,4,4’−ベンゾフェノン
テトラカルボン酸無水物 310.32gを30gのN
MPとともに徐々に加えて完全に溶解したところで50
℃に昇温する。50℃に調温しながら3時間撹拌した。
一昼夜室温で放置し、ポリイミド前駆体であるポリアミ
ド酸溶液を得た。この処方で得られるポリアミド酸溶液
の固形分濃度は25%であり、回転粘度は、11211
mPa・s(25℃)であった。
れ、N2 通気下、撹拌しながら3,3’−ジアミノジフ
ェニルスルホン 232.33g、ビスアミノプロピル
テトラメチルジシロキサン 7.194gを添加する。
30分撹拌の後、3,3’,4,4’−ベンゾフェノン
テトラカルボン酸無水物 310.32gを30gのN
MPとともに徐々に加えて完全に溶解したところで50
℃に昇温する。50℃に調温しながら3時間撹拌した。
一昼夜室温で放置し、ポリイミド前駆体であるポリアミ
ド酸溶液を得た。この処方で得られるポリアミド酸溶液
の固形分濃度は25%であり、回転粘度は、11211
mPa・s(25℃)であった。
【0021】実施例4 (評価)実施例1〜3で調製したポリアミド酸溶液組成
物を2−ブトキシエタノールで表1にある固形分濃度に
希釈してコーティング液を調製し、このコーティング液
をガラス基板にスピナー塗布し塗布性評価用サンプルを
得た。このサンプルについて、塗布性を評価した結果を
表1に示す。また、ポリアミド酸溶液組成物の電圧保持
率を測定した結果を表1に示す。さらに、ポリアミド酸
溶液組成物の保存安定性および耐熱性について測定した
結果を表2に示す。
物を2−ブトキシエタノールで表1にある固形分濃度に
希釈してコーティング液を調製し、このコーティング液
をガラス基板にスピナー塗布し塗布性評価用サンプルを
得た。このサンプルについて、塗布性を評価した結果を
表1に示す。また、ポリアミド酸溶液組成物の電圧保持
率を測定した結果を表1に示す。さらに、ポリアミド酸
溶液組成物の保存安定性および耐熱性について測定した
結果を表2に示す。
【0022】測定方法は次のとおり行なった。
【0023】塗布性(放射ムラ):評価用サンプルの塗
布性放射ムラを蛍光灯およびNaランプ直下で目視によ
り評価した。
布性放射ムラを蛍光灯およびNaランプ直下で目視によ
り評価した。
【0024】塗布性(膜厚均一性):評価用サンプルに
回転中心を含む対角線上を10mm刻みでその膜厚を東
京精密(株)製段差膜厚計サーフコム1500Aを用い
て計測した。回転中心と基板角の中点の膜厚を標準膜厚
とし、膜厚変動の幅をこの標準膜厚に対する百分率で評
価した。
回転中心を含む対角線上を10mm刻みでその膜厚を東
京精密(株)製段差膜厚計サーフコム1500Aを用い
て計測した。回転中心と基板角の中点の膜厚を標準膜厚
とし、膜厚変動の幅をこの標準膜厚に対する百分率で評
価した。
【0025】電圧保持率:電極基板上にポリアミド酸溶
液組成物を塗布し加熱キュアしてポリイミド膜を得、こ
の基板と新たな電極基板を対向させ基板間を誘電体で満
たしコンデンサーを作製した。このコンデンサーに交流
電圧を印加しその電圧の保持率を測定した。印加電圧は
5V、保持時間は16.7ms。
液組成物を塗布し加熱キュアしてポリイミド膜を得、こ
の基板と新たな電極基板を対向させ基板間を誘電体で満
たしコンデンサーを作製した。このコンデンサーに交流
電圧を印加しその電圧の保持率を測定した。印加電圧は
5V、保持時間は16.7ms。
【0026】保存安定性:得られたポリアミド酸溶液
を、−15℃で90日保管しその前後の粘度変化を測定
した。データは粘度の保持率で示した。
を、−15℃で90日保管しその前後の粘度変化を測定
した。データは粘度の保持率で示した。
【0027】耐熱性:得られたポリアミド酸溶液をスピ
ナー塗布し、300℃で30分の硬化を行い、その硬化
膜のガラス転移温度を測定した。ガラス転移温度は、実
質的な耐熱性の指標となる。
ナー塗布し、300℃で30分の硬化を行い、その硬化
膜のガラス転移温度を測定した。ガラス転移温度は、実
質的な耐熱性の指標となる。
【0028】
【表1】
【0029】
【表2】
【0030】表1および2から明らかなように、本発明
の実施例1〜3では放射ムラのない塗膜を形成できた。
一方比較例では放射ムラのない塗膜を得るのが難しかっ
た。また、本発明の実施例1〜3では、塗膜全体にわた
って膜厚変動の少ない塗膜を形成できた。一方比較例で
は均一な塗膜を得るのが難しかった。さらに、本発明に
よって、得られる比較的低分子量のポリアミド酸も、電
圧保持率、保存安定性やキュア膜の耐熱性の点では従来
のポリアミド酸と同等に扱うことが可能であった。
の実施例1〜3では放射ムラのない塗膜を形成できた。
一方比較例では放射ムラのない塗膜を得るのが難しかっ
た。また、本発明の実施例1〜3では、塗膜全体にわた
って膜厚変動の少ない塗膜を形成できた。一方比較例で
は均一な塗膜を得るのが難しかった。さらに、本発明に
よって、得られる比較的低分子量のポリアミド酸も、電
圧保持率、保存安定性やキュア膜の耐熱性の点では従来
のポリアミド酸と同等に扱うことが可能であった。
【0031】実施例5 パターン加工されたクロム遮光層を設けられたガラス基
板上に、耐熱性顔料を含む着色樹脂層をフォトリソグラ
フィによりパターン形成した。該着色層を設けたガラス
基板上に、実施例1の処方で調製したポリアミド酸溶液
組成物を塗布し、280℃でキュアして約1.0μmの
ポリイミド保護膜層としカラーフィルタを得た。塗布欠
陥のない優れたカラーフィルタを得た。
板上に、耐熱性顔料を含む着色樹脂層をフォトリソグラ
フィによりパターン形成した。該着色層を設けたガラス
基板上に、実施例1の処方で調製したポリアミド酸溶液
組成物を塗布し、280℃でキュアして約1.0μmの
ポリイミド保護膜層としカラーフィルタを得た。塗布欠
陥のない優れたカラーフィルタを得た。
【0032】実施例6 着色層として、実施例3の処方で調製したポリアミド酸
溶液組成物に顔料を分散させたものから得たポリイミド
層を用いる以外は実施例5と全く同様にしてカラーフィ
ルタを得た。塗布欠陥のない優れたカラーフィルタを得
た。
溶液組成物に顔料を分散させたものから得たポリイミド
層を用いる以外は実施例5と全く同様にしてカラーフィ
ルタを得た。塗布欠陥のない優れたカラーフィルタを得
た。
【0033】実施例7 遮光層として、クロム遮光層に代えて実施例3の処方で
調製したポリアミド酸溶液組成物にカーボンブラックを
分散させたものから得たポリイミド層を用いる以外は実
施例5と全く同様にしてカラーフィルタを得た。塗布欠
陥のない優れたカラーフィルタを得た。
調製したポリアミド酸溶液組成物にカーボンブラックを
分散させたものから得たポリイミド層を用いる以外は実
施例5と全く同様にしてカラーフィルタを得た。塗布欠
陥のない優れたカラーフィルタを得た。
【0034】比較例2 保護膜として、比較例1の処方で調製したポリアミド酸
溶液組成物から得たポリイミド層を用いる以外は実施例
5と全く同様にしてカラーフィルタを得た。得られたカ
ラーフィルタを蛍光灯およびNaランプ直下で目視によ
り評価したところ放射ムラが見られカラーフィルタとし
て実用に耐えないものであった。
溶液組成物から得たポリイミド層を用いる以外は実施例
5と全く同様にしてカラーフィルタを得た。得られたカ
ラーフィルタを蛍光灯およびNaランプ直下で目視によ
り評価したところ放射ムラが見られカラーフィルタとし
て実用に耐えないものであった。
【0035】
【発明の効果】 本発明によれば、耐熱性、安定性、電
気特性に優れたポリイミド樹脂の特性を損なうことな
く、基板特にガラス基板に対して優れた塗布性を有した
ポリイミド前駆体たるポリアミド酸溶液組成物を得るこ
とができる。
気特性に優れたポリイミド樹脂の特性を損なうことな
く、基板特にガラス基板に対して優れた塗布性を有した
ポリイミド前駆体たるポリアミド酸溶液組成物を得るこ
とができる。
Claims (8)
- 【請求項1】 ポリアミド酸および下記一般式(1)お
よび/または(2) R1 −O−(CR3 R4 CH2 O)n −R2 …… (1) R1 −O−(CR3 R4 CH2 CH2 O)n −R2 …… (2) (式(1),(2) において、nは1〜3の整数、R1 は水素
またはアルキル基、R2は水素またはアシル基、R3 、
R4 は水素またはアルキル基を示す。)で表される化合
物を必須成分として含有するポリアミド酸組成物。 - 【請求項2】 ポリアミド酸および下記一般式(3) R1 −O−(CH2 CH2 O)n −H …… (3) (式(3) において、nは1〜3の整数、Rは水素または
アルキル基を示す。)で表される化合物を必須成分とし
て含有する請求項1記載のポリアミド酸組成物。 - 【請求項3】 請求項1記載のポリアミド酸組成物を塗
布する工程を含むことを特徴とするカラーフィルタの製
造方法。 - 【請求項4】 請求項1記載のポリアミド酸組成物の硬
化物を塗膜として有することを特徴とするカラーフィル
タ。 - 【請求項5】 塗膜がポリイミド膜である請求項4記載
のカラーフィルタ。 - 【請求項6】 塗膜が保護膜、着色膜、遮光膜の少なく
とも一つである請求項4記載のカラーフィルタ。 - 【請求項7】 下記一般式(1)および/または(2) R1 −O−(CR3 R4 CH2 O)n −R2 …… (1) R1 −O−(CR3 R4 CH2 CH2 O)n −R2 …… (2) (式(1),(2) において、nは1〜3の整数、R1 は水素
またはアルキル基、R2は水素またはアシル基、R3 、
R4 は水素またはアルキル基を示す。)で表される化合
物を主成分とする溶媒中で、ジアミンとテトラカルボン
酸二無水物の反応を行うことを特徴とするポリアミド酸
組成物の製造方法。 - 【請求項8】 下記一般式(3) R1 −O−(CH2 CH2 O)n −H …… (3) (式(3) において、nは1〜3の整数、Rは水素または
アルキル基を示す。)で表される化合物を主成分とする
溶媒中で、ジアミンとテトラカルボン酸二無水物の反応
を行うことを特徴とする請求項7記載のポリアミド酸組
成物の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33867895A JPH08239575A (ja) | 1994-12-26 | 1995-12-26 | ポリアミド酸組成物、ポリアミド酸組成物の製造方法ならびにカラーフィルタおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32297894 | 1994-12-26 | ||
| JP6-322978 | 1994-12-26 | ||
| JP33867895A JPH08239575A (ja) | 1994-12-26 | 1995-12-26 | ポリアミド酸組成物、ポリアミド酸組成物の製造方法ならびにカラーフィルタおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08239575A true JPH08239575A (ja) | 1996-09-17 |
Family
ID=26571001
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33867895A Pending JPH08239575A (ja) | 1994-12-26 | 1995-12-26 | ポリアミド酸組成物、ポリアミド酸組成物の製造方法ならびにカラーフィルタおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08239575A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11305031A (ja) * | 1998-02-20 | 1999-11-05 | Toray Ind Inc | カラ―フィルタ―および液晶表示装置 |
| JPH11311795A (ja) * | 1998-02-24 | 1999-11-09 | Toray Ind Inc | 液晶表示装置用基板及び液晶表示装置 |
| JP2008209936A (ja) * | 2008-03-27 | 2008-09-11 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタの製造方法 |
| JP2014031452A (ja) * | 2012-08-03 | 2014-02-20 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | ポリアミド樹脂溶液並びに樹脂溶液を使用したフィルム、またフィルムを用いたディスプレイ用素子及び装置 |
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1995
- 1995-12-26 JP JP33867895A patent/JPH08239575A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11305031A (ja) * | 1998-02-20 | 1999-11-05 | Toray Ind Inc | カラ―フィルタ―および液晶表示装置 |
| JPH11311795A (ja) * | 1998-02-24 | 1999-11-09 | Toray Ind Inc | 液晶表示装置用基板及び液晶表示装置 |
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