JPH08244226A - 液体噴射記録ヘッド、およびその製造方法 - Google Patents
液体噴射記録ヘッド、およびその製造方法Info
- Publication number
- JPH08244226A JPH08244226A JP5107595A JP5107595A JPH08244226A JP H08244226 A JPH08244226 A JP H08244226A JP 5107595 A JP5107595 A JP 5107595A JP 5107595 A JP5107595 A JP 5107595A JP H08244226 A JPH08244226 A JP H08244226A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- jet recording
- recording head
- liquid
- liquid jet
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 信頼性の高い微細ノズルを有する液体噴射記
録ヘッドの製造。 【構成】 液体吐出エネルギー発生部を有する第一の基
板上にフォトリソフグラフィーによって液流路形状を形
成する溶解可能な型材は、感光性材料であることを特徴
とする製造方法。
録ヘッドの製造。 【構成】 液体吐出エネルギー発生部を有する第一の基
板上にフォトリソフグラフィーによって液流路形状を形
成する溶解可能な型材は、感光性材料であることを特徴
とする製造方法。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェット記録方
式に用いる記録液小滴を発生するための液体噴射記録ヘ
ッド、およびその製造方法に関するものである。
式に用いる記録液小滴を発生するための液体噴射記録ヘ
ッド、およびその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】インクジェット記録装置（液体噴射記録
方式）に使用される液体噴射記録ヘッドは、一般に微細
な記録液吐出口（オリフィス）、液流路、および液流路
の一部に設けられた液体吐出エネルギー発生部を備えて
いる。従来このような液体噴射記録ヘッドを作成する方
法としては、例えば特開昭６１−１５４９４７号公報，
特開昭６２−２５３４５７号公報に記載の次のような工
程が知られている（図８参照）。
方式）に使用される液体噴射記録ヘッドは、一般に微細
な記録液吐出口（オリフィス）、液流路、および液流路
の一部に設けられた液体吐出エネルギー発生部を備えて
いる。従来このような液体噴射記録ヘッドを作成する方
法としては、例えば特開昭６１−１５４９４７号公報，
特開昭６２−２５３４５７号公報に記載の次のような工
程が知られている（図８参照）。
【０００３】まず、第一の基板１上にポジ型フォトレジ
スト層２を形成し（図１（ａ））、これをマスク３を介
して露光（図１（ｂ））後、現像処理を施して感光性樹
脂層２をパターニングし、被処理基板上に液流路となる
型材４を形成する（図１（ｃ））。次にパターニングさ
れた型材４上に活性エネルギー線硬化型あるいは熱硬化
型の液流路形成用材料５を被覆し（図１（ｄ））、イン
ク供給用の貫通口（不図示）を有する第二の基板６を設
置した後（図１（ｅ））、活性エネルギー線照射、ある
いは加熱により上記活性エネルギー線硬化型あるいは熱
硬化型の液流路形成用材料５を硬化させる（図１
（ｆ））。さらに、上記パターニングされた型材４を、
含ハロゲン炭化水素、ケトン、エステル、エーテル、ア
ルコール等の有機溶剤あるいは水酸化ナトリウム、水酸
化カリウム等のアルカリ水溶液を用いて溶解除去し、液
流路７を形成する（図１（ｇ））。
スト層２を形成し（図１（ａ））、これをマスク３を介
して露光（図１（ｂ））後、現像処理を施して感光性樹
脂層２をパターニングし、被処理基板上に液流路となる
型材４を形成する（図１（ｃ））。次にパターニングさ
れた型材４上に活性エネルギー線硬化型あるいは熱硬化
型の液流路形成用材料５を被覆し（図１（ｄ））、イン
ク供給用の貫通口（不図示）を有する第二の基板６を設
置した後（図１（ｅ））、活性エネルギー線照射、ある
いは加熱により上記活性エネルギー線硬化型あるいは熱
硬化型の液流路形成用材料５を硬化させる（図１
（ｆ））。さらに、上記パターニングされた型材４を、
含ハロゲン炭化水素、ケトン、エステル、エーテル、ア
ルコール等の有機溶剤あるいは水酸化ナトリウム、水酸
化カリウム等のアルカリ水溶液を用いて溶解除去し、液
流路７を形成する（図１（ｇ））。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記の製造方法におい
て液流路となる型材を形成する際の感光性材料として
は、後処理により溶解除去できることが必須である。そ
のため、通常ポジ型のフォトレジストが用いられてい
る。しかしながら、ナフトキノンジアジド誘導体を含有
する通常のポジ型フォトレジストは光照射により窒素ガ
スを発生するため、液流路形成材料として光硬化型の材
料を用いた場合、液流路形成材料の硬化のための露光の
際に型材のレジストパターンから発生した窒素ガスが液
流路形成材料中に取り込まれたまま液流路形成材料が硬
化してしまうという問題がある。また、ナフトキノン系
のフォトレジストは、ナフトキノンジアジド誘導体の含
有量が高く光の透過性が悪いため、厚膜用のレジストに
おいてもパターニング可能膜厚は３０μｍ程度であり、
それ以上の流路高を有するノズルを形成することは不可
能である。
て液流路となる型材を形成する際の感光性材料として
は、後処理により溶解除去できることが必須である。そ
のため、通常ポジ型のフォトレジストが用いられてい
る。しかしながら、ナフトキノンジアジド誘導体を含有
する通常のポジ型フォトレジストは光照射により窒素ガ
スを発生するため、液流路形成材料として光硬化型の材
料を用いた場合、液流路形成材料の硬化のための露光の
際に型材のレジストパターンから発生した窒素ガスが液
流路形成材料中に取り込まれたまま液流路形成材料が硬
化してしまうという問題がある。また、ナフトキノン系
のフォトレジストは、ナフトキノンジアジド誘導体の含
有量が高く光の透過性が悪いため、厚膜用のレジストに
おいてもパターニング可能膜厚は３０μｍ程度であり、
それ以上の流路高を有するノズルを形成することは不可
能である。
【０００５】また、ナフトキノン系以外のポジ型レジス
ト材料としては、化学増幅型あるいは主鎖分解型のレジ
ストが挙げられるが、液体噴射記録ヘッドのノズル製造
に適した厚膜でパターニング可能なレジスト材料は未だ
見出されていない。
ト材料としては、化学増幅型あるいは主鎖分解型のレジ
ストが挙げられるが、液体噴射記録ヘッドのノズル製造
に適した厚膜でパターニング可能なレジスト材料は未だ
見出されていない。
【０００６】本発明は、上記従来の製造方法の問題点を
解消するためになされたもので、信頼性の高い微細ノズ
ルを有する液体噴射記録ヘッドおよびその製造方法を提
供することを目的とする。
解消するためになされたもので、信頼性の高い微細ノズ
ルを有する液体噴射記録ヘッドおよびその製造方法を提
供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】このため、本発明に係る
液体噴射記録ヘッドの製造方法は、 （１）液体吐出エネルギー発生部を有する第一の基板上
の液流路形成部位上に溶解除去可能な型材をフォトリソ
グラフィーにより形成する工程 （２）前記第一の基板と、３００〜５００ｎｍの波長の
光を５０％以上透過する第二の基板の間に光硬化性材料
を充填する工程、もしくは前記型材を覆う光硬化性材料
および３００〜５００ｎｍの波長の光を５０％以上透過
する第２の基板を順次積層する工程 （３）前記第二の基板の上面から光照射を行うことによ
り前記光硬化性材料を硬化させる工程 （４）硬化した光硬化性材料で覆われた前記型材を溶解
除去する工程 上記工程により液流路および液室を形成することを特徴
とする液体噴射記録ヘットの製造方法であって、前記溶
解除去可能な型材が、フェノール性水酸基を有する樹脂
および酸の存在下においてフェノール性水酸基と反応し
得る置換基を一分子中に一個有する化合物および光照射
により酸を発生する化合物を含有して成ることを特徴と
する液体噴射記録ヘッドの製造方法であり、またこの製
造方法により製造された液体噴射記録ヘッドによって、
前記の目的を達成しようとするものである。
液体噴射記録ヘッドの製造方法は、 （１）液体吐出エネルギー発生部を有する第一の基板上
の液流路形成部位上に溶解除去可能な型材をフォトリソ
グラフィーにより形成する工程 （２）前記第一の基板と、３００〜５００ｎｍの波長の
光を５０％以上透過する第二の基板の間に光硬化性材料
を充填する工程、もしくは前記型材を覆う光硬化性材料
および３００〜５００ｎｍの波長の光を５０％以上透過
する第２の基板を順次積層する工程 （３）前記第二の基板の上面から光照射を行うことによ
り前記光硬化性材料を硬化させる工程 （４）硬化した光硬化性材料で覆われた前記型材を溶解
除去する工程 上記工程により液流路および液室を形成することを特徴
とする液体噴射記録ヘットの製造方法であって、前記溶
解除去可能な型材が、フェノール性水酸基を有する樹脂
および酸の存在下においてフェノール性水酸基と反応し
得る置換基を一分子中に一個有する化合物および光照射
により酸を発生する化合物を含有して成ることを特徴と
する液体噴射記録ヘッドの製造方法であり、またこの製
造方法により製造された液体噴射記録ヘッドによって、
前記の目的を達成しようとするものである。
【０００８】
【作用】以上の構成により、液流路となる型材は、後工
程において溶解除去可能なネガ型のレジストとして使用
でき、液流路の形状を所望の形状に精細に形成でき、記
録性能に優れた記録ヘッドを製造することができる。
程において溶解除去可能なネガ型のレジストとして使用
でき、液流路の形状を所望の形状に精細に形成でき、記
録性能に優れた記録ヘッドを製造することができる。
【０００９】
【実施例】以下、図面を参照して本発明を詳細に説明す
る。
る。
【００１０】図１ないし図７は、本発明に係る液体噴射
記録ヘッドの製造方法の実施例を模式的に示したもので
あり、本発明に係る液体噴射記録ヘッド実施例の構成の
一例が示されている。なお、本実施例では２つのオリフ
ィスを有する液体噴射記録ヘッドが示されているが、こ
れ以上のオリフィスを有する高密度液体噴射記録ヘッド
あるいは１つのオリフィスを有する液体噴射記録ヘッド
の場合においても同様である。
記録ヘッドの製造方法の実施例を模式的に示したもので
あり、本発明に係る液体噴射記録ヘッド実施例の構成の
一例が示されている。なお、本実施例では２つのオリフ
ィスを有する液体噴射記録ヘッドが示されているが、こ
れ以上のオリフィスを有する高密度液体噴射記録ヘッド
あるいは１つのオリフィスを有する液体噴射記録ヘッド
の場合においても同様である。
【００１１】本発明実施例においては、第一の基板とし
て例えば、ガラス、セラミックス、プラスチック、金属
等からなる基板が用いられる。図１の（Ａ）は、第一の
基板１１上の液流路形成部位に液流路となる型材１２を
形成した例の平面図である。このような基板１１は、液
流路および液室構成材料の一部として機能し、また、後
記の光硬化性材料形成時の支持体として機能させるもの
であり、この場合は、その形状材質等特に限定されるこ
となく使用することができる。また、図１（Ｂ）に第二
の基板１３の例を示す。本例では第二の基板１３は、イ
ンク供給用の貫通口１４を有したものとして構成されて
いる。
て例えば、ガラス、セラミックス、プラスチック、金属
等からなる基板が用いられる。図１の（Ａ）は、第一の
基板１１上の液流路形成部位に液流路となる型材１２を
形成した例の平面図である。このような基板１１は、液
流路および液室構成材料の一部として機能し、また、後
記の光硬化性材料形成時の支持体として機能させるもの
であり、この場合は、その形状材質等特に限定されるこ
となく使用することができる。また、図１（Ｂ）に第二
の基板１３の例を示す。本例では第二の基板１３は、イ
ンク供給用の貫通口１４を有したものとして構成されて
いる。
【００１２】図２〜図７のそれぞれ（ａ）は、図１のＡ
−Ａ′線で切断した第一の基板１１と第二の基板１３の
断面を示し、各図の（ｂ）は、図１のＢ−Ｂ′線で切断
した第一の基板１１と第二の基板１２の断面が示してあ
る。
−Ａ′線で切断した第一の基板１１と第二の基板１３の
断面を示し、各図の（ｂ）は、図１のＢ−Ｂ′線で切断
した第一の基板１１と第二の基板１２の断面が示してあ
る。
【００１３】上記の第一の基板１１上には、電気熱変換
体あるいは圧電素子等の液体吐出エネルギー発生素子が
所望の個数配置される（不図示）。このような液体吐出
エネルギー発生素子によって記録液小滴を吐出させるた
めの吐出エネルギーが記録液に与えられ、記録が行われ
る。上記液体吐出エネルギー発生素子として電気熱変換
体が用いられる時には、この素子が近傍の記録液を加熱
することにより吐出エネルギーを発生する。また、上記
液体吐出エネルギー発生素子として圧電素子が用いられ
る時は、この素子の機械的信号によって吐出エネルギー
が発生される。
体あるいは圧電素子等の液体吐出エネルギー発生素子が
所望の個数配置される（不図示）。このような液体吐出
エネルギー発生素子によって記録液小滴を吐出させるた
めの吐出エネルギーが記録液に与えられ、記録が行われ
る。上記液体吐出エネルギー発生素子として電気熱変換
体が用いられる時には、この素子が近傍の記録液を加熱
することにより吐出エネルギーを発生する。また、上記
液体吐出エネルギー発生素子として圧電素子が用いられ
る時は、この素子の機械的信号によって吐出エネルギー
が発生される。
【００１４】なお、これらの素子には、これらの素子を
作動させるための制御信号入力用電極が接続されている
（不図示）。また、一般にこれら吐出エネルギー発生素
子の耐用性の向上等を目的として、保護層等の各種の機
能層が設けられるが、本発明においてもこのような機能
層を設けることは差し支えない。
作動させるための制御信号入力用電極が接続されている
（不図示）。また、一般にこれら吐出エネルギー発生素
子の耐用性の向上等を目的として、保護層等の各種の機
能層が設けられるが、本発明においてもこのような機能
層を設けることは差し支えない。
【００１５】先ず、上記液体吐出エネルギー発生素子を
含む第一の基板１１上の液流路形成部位に、フォトリソ
グラフィー工程により液流路となる型材１２を形成する
（図２）。
含む第一の基板１１上の液流路形成部位に、フォトリソ
グラフィー工程により液流路となる型材１２を形成する
（図２）。
【００１６】本実施例では、液流路となる型材１２とし
て特定の感光性材料が用いられる。即ち、ノボラック樹
脂および酸の存在下においてノボラック樹脂の水酸基と
反応し得る置換基を一分子中に一個有する化合物および
光照射により酸を発生する化合物を含有することを特徴
とする感光性材料を用いることにより、後工程において
溶解除去可能なネガ型のレジストとして使用することが
できる。また、液流路の形状は所望のものとすることが
可能であり、型材も型液流路形状に応じたものとするこ
とができる。さらに、本実施例では、２つの吐出エネル
ギー発生素子に対応して設けられる２つのオリフィスの
それぞれから記録液小滴を吐出させることが可能なよう
に、液流路は２つに分散され、液室は該流路のそれぞれ
に記録液を供給し得るようにそれらと連結したものとさ
れている。
て特定の感光性材料が用いられる。即ち、ノボラック樹
脂および酸の存在下においてノボラック樹脂の水酸基と
反応し得る置換基を一分子中に一個有する化合物および
光照射により酸を発生する化合物を含有することを特徴
とする感光性材料を用いることにより、後工程において
溶解除去可能なネガ型のレジストとして使用することが
できる。また、液流路の形状は所望のものとすることが
可能であり、型材も型液流路形状に応じたものとするこ
とができる。さらに、本実施例では、２つの吐出エネル
ギー発生素子に対応して設けられる２つのオリフィスの
それぞれから記録液小滴を吐出させることが可能なよう
に、液流路は２つに分散され、液室は該流路のそれぞれ
に記録液を供給し得るようにそれらと連結したものとさ
れている。
【００１７】次いで、上記型材が形成された第一の基板
１１上を光硬化性樹脂１５で被覆した後（図３）、第二
の基板１３を設置し（図４）、マスクを介してパターン
露光を行う（図５）。さらに、光硬化性材料の未硬化部
分を除去した後（図６）、型材を溶解除去することによ
り液流路１７およびこれに連結する液室１８が形成され
る。（図７）。
１１上を光硬化性樹脂１５で被覆した後（図３）、第二
の基板１３を設置し（図４）、マスクを介してパターン
露光を行う（図５）。さらに、光硬化性材料の未硬化部
分を除去した後（図６）、型材を溶解除去することによ
り液流路１７およびこれに連結する液室１８が形成され
る。（図７）。
【００１８】上記のようにして形成された液室１８は、
インク供給口１４を介してインクタンク（不図示）へ接
続される。また、ここで用いられる光硬化性材料１５と
しては、光照射により硬化可能であり、上記型材１２を
被覆し得るものであれば使用することができるが、該材
料１５は液流路１７および液室１８を形成して液体噴射
記録ヘッドとしての構成材料となるものであるので、基
板との密着性、機械的強度，インクに対する耐蝕性の面
で優れたものを選択することが好ましい。これらの特性
を満足し得る材料としてはビスフェノールＡ型エポキシ
樹脂またはビスフェノールＦ型エポキシ樹脂またはノボ
ラック型エポキシ樹脂および光照射によりカチオンを生
成するオニウム塩から成る光硬化性の樹脂組成物が挙げ
られる。
インク供給口１４を介してインクタンク（不図示）へ接
続される。また、ここで用いられる光硬化性材料１５と
しては、光照射により硬化可能であり、上記型材１２を
被覆し得るものであれば使用することができるが、該材
料１５は液流路１７および液室１８を形成して液体噴射
記録ヘッドとしての構成材料となるものであるので、基
板との密着性、機械的強度，インクに対する耐蝕性の面
で優れたものを選択することが好ましい。これらの特性
を満足し得る材料としてはビスフェノールＡ型エポキシ
樹脂またはビスフェノールＦ型エポキシ樹脂またはノボ
ラック型エポキシ樹脂および光照射によりカチオンを生
成するオニウム塩から成る光硬化性の樹脂組成物が挙げ
られる。
【００１９】以下、本発明の実施例をさらに具体的に説
明する。
明する。
【００２０】液体吐出エネルギー発生素子としての電気
熱変換体を形成したシリコン基板上に ｍ−．ｐ−クレゾールノボラック共重合体 ４０部 モノメチロールメラミン化合物 ９部 １−ナフチル−３，５−ビス−トリクロロメチル −ｓ−トリアジン １部 エチルセルソロブアセート ５０部 から成る感光性樹脂組成物を膜厚４０μｍとなるようス
ピンコートし、オーブン中に９０℃で４０分間のプリベ
ークを行って感光性樹脂層を形成した。次に、ノズルパ
ターンのマスクを介してパターン露光した後、現像およ
びリンス処理を行ってノズル形成用のパターンを形成し
た。
熱変換体を形成したシリコン基板上に ｍ−．ｐ−クレゾールノボラック共重合体 ４０部 モノメチロールメラミン化合物 ９部 １−ナフチル−３，５−ビス−トリクロロメチル −ｓ−トリアジン １部 エチルセルソロブアセート ５０部 から成る感光性樹脂組成物を膜厚４０μｍとなるようス
ピンコートし、オーブン中に９０℃で４０分間のプリベ
ークを行って感光性樹脂層を形成した。次に、ノズルパ
ターンのマスクを介してパターン露光した後、現像およ
びリンス処理を行ってノズル形成用のパターンを形成し
た。
【００２１】次に、感光性樹脂のパターン上に、日本ユ
ニオンカーバイト社製ビスフェノール−Ａ型エポキシ樹
脂 Ｃｙｒａｃｕｒｅ ＵＶＲ−６１１０ ４０部 Ｃｙｒａｃｕｒｅ ＵＶＲ−６２００ ２０部 Ｃｙｒａｃｕｒｅ ＵＶＲ−６３５１ ３９部 および トリフェニルスルホニウムヘキサフル オロアンチモネート １部 から成る光硬化性材料を被覆し、インク供給口となる貫
通口を有する石英ガラス製の第二の基板を設置し、イン
ク供給口と液室形成部分を遮光するマスクを介して８．
５ｊ／cm2 の露光量で露光を行って光硬化性材料を硬化
させた。次いで被処理基板をトリクロロエタン中に浸漬
して未硬化の光硬化性材料を除去した後、アセトンとエ
タノールの１：１混合溶媒中に浸漬し、感光性材料を溶
解除去した。
ニオンカーバイト社製ビスフェノール−Ａ型エポキシ樹
脂 Ｃｙｒａｃｕｒｅ ＵＶＲ−６１１０ ４０部 Ｃｙｒａｃｕｒｅ ＵＶＲ−６２００ ２０部 Ｃｙｒａｃｕｒｅ ＵＶＲ−６３５１ ３９部 および トリフェニルスルホニウムヘキサフル オロアンチモネート １部 から成る光硬化性材料を被覆し、インク供給口となる貫
通口を有する石英ガラス製の第二の基板を設置し、イン
ク供給口と液室形成部分を遮光するマスクを介して８．
５ｊ／cm2 の露光量で露光を行って光硬化性材料を硬化
させた。次いで被処理基板をトリクロロエタン中に浸漬
して未硬化の光硬化性材料を除去した後、アセトンとエ
タノールの１：１混合溶媒中に浸漬し、感光性材料を溶
解除去した。
【００２２】上記のようにして作成されたノズルは精度
が非常に高く信頼性の高いものが得られた。さらに、こ
のようにして作成された液体噴射記録ヘッドは、安定な
印字が可能であった。
が非常に高く信頼性の高いものが得られた。さらに、こ
のようにして作成された液体噴射記録ヘッドは、安定な
印字が可能であった。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明による液体
噴射記録ヘッドの製造方法を採用することにより、信頼
性の高い微細ノズルを有する液体噴射記録ヘッドを製造
することができ、精細な記録が実施できる。
噴射記録ヘッドの製造方法を採用することにより、信頼
性の高い微細ノズルを有する液体噴射記録ヘッドを製造
することができ、精細な記録が実施できる。
【図１】 一実施例の製造方法の工程を説明する模式図
である。
である。
【図２】 一実施例の工程進行状態の説明図である。
【図３】 一実施例の工程進行状態の説明図である。
【図４】 一実施例の工程進行状態の説明図である。
【図５】 一実施例の工程進行状態の説明図である。
【図６】 一実施例の工程進行状態の説明図である。
【図７】 一実施例の工程進行状態の説明図である。
【図８】 従来の製造方法の一例の工程説明図である。
１ 第一の基板 ２ ポジ型フォトレジスト ３ マスク ４ レジストパターン ５ 液流路形成用材料 ６ 第二の基板 ７ 液流路 １１ 第一の基板 １２ 液流路となる型材 １３ 第二の基板 １４ インク供給口 １５ 光硬化性材料 １６ マスク １７ 液流路 １８ 液室
Claims (7)
- 【請求項１】 （１）液体吐出エネルギー発生部を有す
る第一の基板上の液流路形成部位上に溶解除去可能な型
材をフォトリソグラフィーにより形成する工程 （２）前記第一の基板と、３００〜５００ｎｍの波長の
光を５０％以上透過する第二の基板の間に光硬化性材料
を充填する工程、もしくは前記型材を覆う光硬化性材料
および３００〜５００ｎｍの波長の光を５０％以上透過
する第２の基板を順次積層する工程 （３）前記第二の基板の上面から光照射を行うことによ
り前記光硬化性材料を硬化させる工程 （４）硬化した光硬化性材料で覆われた前記型材を溶解
除去する工程 上記工程により液流路および液室を形成することを特徴
とする液体噴射記録ヘットの製造方法であって、前記溶
解除去可能な型材が、フェノール性水酸基を有する樹脂
および酸の存在下においてフェノール性水酸基と反応し
得る置換基を一分子中に一個有する化合物および光照射
により酸を発生する化合物を含有することを特徴とする
液体噴射記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項２】 前記溶解除去可能な型材中に含有される
フェノール性水酸基を有する樹脂がポリビニルフェノー
ル，フェノールノボラック樹脂またはクレゾールノボラ
ック樹脂であることを特徴とする請求項１に記載の液体
噴射記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項３】 前記フェノール性水酸基と反応し得る置
換基を有する化合物が、メラニン誘導体であることを特
徴とする請求項１記載の液体噴射記録ヘッドの製造方
法。 - 【請求項４】 請求項１ないし３のいずれかに記載の方
法により製造されたことを特徴とする液体噴射記録ヘッ
ド。 - 【請求項５】 前記液体吐出エネルギー発生部が、熱エ
ネルギーを発生する電気熱変換体であることを特徴とす
る請求項４に記載の液体噴射記録ヘッド。 - 【請求項６】 記録媒体の記録領域の全幅にわたって吐
出口が複数設けられているフルラインタイプのものであ
ることを特徴とする請求項４に記載の液体噴射記録ヘッ
ド。 - 【請求項７】 多色用の吐出口が一体成形されているこ
とを特徴とする請求項４に記載の液体噴射記録ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5107595A JPH08244226A (ja) | 1995-03-10 | 1995-03-10 | 液体噴射記録ヘッド、およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5107595A JPH08244226A (ja) | 1995-03-10 | 1995-03-10 | 液体噴射記録ヘッド、およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08244226A true JPH08244226A (ja) | 1996-09-24 |
Family
ID=12876699
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5107595A Withdrawn JPH08244226A (ja) | 1995-03-10 | 1995-03-10 | 液体噴射記録ヘッド、およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08244226A (ja) |
-
1995
- 1995-03-10 JP JP5107595A patent/JPH08244226A/ja not_active Withdrawn
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR0152452B1 (ko) | 잉크 제트 기록 헤드 제조 방법 | |
| KR100585903B1 (ko) | 미세 구조체의 제조 방법, 액체 토출 헤드의 제조 방법 및액체 토출 헤드 | |
| CN100496984C (zh) | 排液头的制造方法和使用这一方法获得的排液头 | |
| JP4497633B2 (ja) | 撥液体層の形成方法及び液体吐出ヘッドの製造方法 | |
| JP5084630B2 (ja) | 液体吐出ヘッドおよびその製造方法、構造体およびその製造方法 | |
| JP5230189B2 (ja) | 液体吐出ヘッドの製造方法 | |
| US6638439B2 (en) | Ink-jet recording head and its manufacturing method | |
| JP2009137155A (ja) | 溶液吐出ヘッド及びその製造方法 | |
| KR20040005699A (ko) | 미세 구조화된 부재의 제조 방법, 미세 중공 구조화된부재의 제조 방법 및 액체 토출 헤드의 제조 방법 | |
| JP5653181B2 (ja) | 親水被膜の形成方法および親水被膜、ならびにインクジェット記録ヘッドの製造方法およびインクジェット記録ヘッド | |
| US7175973B2 (en) | Ink jet recording head and method for manufacturing the same | |
| JP2005125619A (ja) | 液体噴射記録ヘッド及びその製造方法 | |
| JP2001179990A (ja) | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 | |
| JPH08244226A (ja) | 液体噴射記録ヘッド、およびその製造方法 | |
| JP2003251808A (ja) | インクジェット記録ヘッドの流路構成部材及びインクジェット記録ヘッドの製造方法 | |
| JP2004042396A (ja) | 微細構造体の製造方法、液体吐出ヘッドの製造方法および液体吐出ヘッド | |
| JP5027991B2 (ja) | インクジェットヘッドおよびその製造方法 | |
| JPH08174845A (ja) | 液流路形成用樹脂材料、これを用いた液体噴射記録ヘッド、及びその製造方法 | |
| JP2001179979A (ja) | 液体噴射記録ヘッド及びその製造方法 | |
| JP2791240B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法、該製造方法によって製造されたインクジェット記録ヘッド及び該ヘッドを具備するインクジェット記録装置 | |
| JP2006150901A (ja) | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 | |
| JPH07314681A (ja) | 液体噴射記録ヘッドおよびその製造方法 | |
| JP2005125577A (ja) | 液体噴射記録ヘッド及びその製造方法 | |
| JPH05124202A (ja) | 液体噴射記録ヘツド、同ヘツドの製造方法、及び同ヘツドを備えた記録装置 | |
| JP4908816B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020604 |