JPH08247725A - 寸法測定装置 - Google Patents
寸法測定装置Info
- Publication number
- JPH08247725A JPH08247725A JP4803095A JP4803095A JPH08247725A JP H08247725 A JPH08247725 A JP H08247725A JP 4803095 A JP4803095 A JP 4803095A JP 4803095 A JP4803095 A JP 4803095A JP H08247725 A JPH08247725 A JP H08247725A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clock
- output
- signal
- ccd
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高速クロックを必要とせず、それでいて高分
解能、高精度の測定が可能な寸法測定装置を提供する。 【構成】 投光部２０Ａから発した平行光ビーム３ａを
測定対象物４に照射し、ＣＣＤイメージセンサ５に投影
し、クロック発生部７から加えられるクロックにより、
出力信号を出すものにおいて、クロック発生部７からは
標準周期のクロックｆckと、それよりも遅い周期のクロ
ックｆck／Ｎを発生し、これをＣＣＤ駆動クロック切替
部１２で選択切替するようにし、出力信号が暗部となる
区間の出力信号の出力をゆっくりとし、その間カウンタ
１０で標準周期のクロックｆckをカウントする。
解能、高精度の測定が可能な寸法測定装置を提供する。 【構成】 投光部２０Ａから発した平行光ビーム３ａを
測定対象物４に照射し、ＣＣＤイメージセンサ５に投影
し、クロック発生部７から加えられるクロックにより、
出力信号を出すものにおいて、クロック発生部７からは
標準周期のクロックｆckと、それよりも遅い周期のクロ
ックｆck／Ｎを発生し、これをＣＣＤ駆動クロック切替
部１２で選択切替するようにし、出力信号が暗部となる
区間の出力信号の出力をゆっくりとし、その間カウンタ
１０で標準周期のクロックｆckをカウントする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ＣＣＤイメージセン
サ等の一次元受光センサを用いて測定対象物の寸法を測
定する寸法測定装置に関する。
サ等の一次元受光センサを用いて測定対象物の寸法を測
定する寸法測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＣＣＤイメージセンサを用いた寸法測定
装置としては、投光器からＣＣＤイメージセンサに向け
て、平行光を照射し、投光器とＣＣＤイメージセンサと
の間に測定対象物を置いて、その影をＣＣＤイメージセ
ンサに投影し、予め設定した閾値で２値化信号に変換
後、影の長さを所定のクロックパルスでカウントして、
寸法を測定するものがある。
装置としては、投光器からＣＣＤイメージセンサに向け
て、平行光を照射し、投光器とＣＣＤイメージセンサと
の間に測定対象物を置いて、その影をＣＣＤイメージセ
ンサに投影し、予め設定した閾値で２値化信号に変換
後、影の長さを所定のクロックパルスでカウントして、
寸法を測定するものがある。
【０００３】この種の従来の寸法測定装置の構成例を図
５に示す。この寸法測定装置は、発光素子駆動部１、光
源としての発光素子２、及び発光素子２からの光を平行
光ビームとして出力するコリメートレンズ３からなる投
光部２０Ａと、ＣＣＤイメージセンサ５、ＣＣＤ駆動部
６、周波数ｆckと、Ｎ・ｆckのクロックパルスを出力す
るクロック発生部７、ローパスフィルタ８、このローパ
スフィルタ８よりの受光出力信号と閾値ＶSLとを比較し
て２値化するコンパレータ９、カウンタ１０及び寸法演
算部１１を備える受光部２０Ｂとから構成されている。
５に示す。この寸法測定装置は、発光素子駆動部１、光
源としての発光素子２、及び発光素子２からの光を平行
光ビームとして出力するコリメートレンズ３からなる投
光部２０Ａと、ＣＣＤイメージセンサ５、ＣＣＤ駆動部
６、周波数ｆckと、Ｎ・ｆckのクロックパルスを出力す
るクロック発生部７、ローパスフィルタ８、このローパ
スフィルタ８よりの受光出力信号と閾値ＶSLとを比較し
て２値化するコンパレータ９、カウンタ１０及び寸法演
算部１１を備える受光部２０Ｂとから構成されている。
【０００４】この寸法測定装置では、投光部２０Ａの発
光素子２を発光素子駆動部１で発光させ、コリメートレ
ンズ３により、平行光３ａとし、測定対象物４を介して
ＣＣＤイメージセンサ５に測定対象物４の影を投影す
る。ＣＣＤイメージセンサ５の出力は、ローパスフィル
タ８により、図６の（ａ）に示す連続出力となり、所定
の２値化閾値ＶSLとコンパレータ９で比較され、２値化
信号に変換される〔図６の（ｃ）〕。この２値化信号の
エッジ（変化点）からエッジまでが、測定対象物の外径
寸法に相当する。ここで、ＣＣＤ画素サイズ以上の高分
解能とするために、２値化信号の区間τをＣＣＤ駆動ク
ロックｆckのＮ倍の高速クロックでカウントし、寸法演
算部１１で（ＣＣＤ画素サイズΔｘ／Ｎ）×（カウント
数）により、寸法を演算する。
光素子２を発光素子駆動部１で発光させ、コリメートレ
ンズ３により、平行光３ａとし、測定対象物４を介して
ＣＣＤイメージセンサ５に測定対象物４の影を投影す
る。ＣＣＤイメージセンサ５の出力は、ローパスフィル
タ８により、図６の（ａ）に示す連続出力となり、所定
の２値化閾値ＶSLとコンパレータ９で比較され、２値化
信号に変換される〔図６の（ｃ）〕。この２値化信号の
エッジ（変化点）からエッジまでが、測定対象物の外径
寸法に相当する。ここで、ＣＣＤ画素サイズ以上の高分
解能とするために、２値化信号の区間τをＣＣＤ駆動ク
ロックｆckのＮ倍の高速クロックでカウントし、寸法演
算部１１で（ＣＣＤ画素サイズΔｘ／Ｎ）×（カウント
数）により、寸法を演算する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】一般に、ＣＣＤイメー
ジセンサを用いた寸法測定装置では、測定分解能がＣＣ
Ｄイメージセンサの画素サイズにより制約され、高精度
化には限界があった。そのため、上記した従来の寸法測
定装置では、１ビットずつのＣＣＤ出力をローパスフィ
ルタを介してアナログ的な出力とし〔図６の（ｂ）〕、
予め設定した閾値ＶSLで２値化信号に変換後、エッジ区
間をＣＣＤ駆動クロックのＮ倍のクロックでカウントし
て高分解能化していた。しかし、Ｎ倍の高速クロックを
用いるため、高速カウンタ、あるいは高速Ａ／Ｄコンバ
ータ等の高速デバイスが必要となり、装置のハード構成
が高価、煩雑になる、という問題があった。
ジセンサを用いた寸法測定装置では、測定分解能がＣＣ
Ｄイメージセンサの画素サイズにより制約され、高精度
化には限界があった。そのため、上記した従来の寸法測
定装置では、１ビットずつのＣＣＤ出力をローパスフィ
ルタを介してアナログ的な出力とし〔図６の（ｂ）〕、
予め設定した閾値ＶSLで２値化信号に変換後、エッジ区
間をＣＣＤ駆動クロックのＮ倍のクロックでカウントし
て高分解能化していた。しかし、Ｎ倍の高速クロックを
用いるため、高速カウンタ、あるいは高速Ａ／Ｄコンバ
ータ等の高速デバイスが必要となり、装置のハード構成
が高価、煩雑になる、という問題があった。
【０００６】この発明は、上記問題点に着目してなされ
たものであって、従来のような高速クロックを必要とせ
ず、それでいて高分解能で高精度の測定が可能な寸法測
定装置を提供することを目的としている。
たものであって、従来のような高速クロックを必要とせ
ず、それでいて高分解能で高精度の測定が可能な寸法測
定装置を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段及び作用】この発明の寸法
測定装置は、投光部から測定対象物に光を照射し、この
測定対象物からの光を一次元受光センサで受光し、受光
した信号を駆動クロック信号により、シリアルに出力
し、この出力信号を２値化し、２値化信号のエッジを検
出して測定対象物の寸法を算出するものにおいて、前記
駆動クロック信号を、標準周期のものと、標準周期より
も遅い周期のものとのいずれかに切替えるクロック信号
切替部を特徴的に備えている。
測定装置は、投光部から測定対象物に光を照射し、この
測定対象物からの光を一次元受光センサで受光し、受光
した信号を駆動クロック信号により、シリアルに出力
し、この出力信号を２値化し、２値化信号のエッジを検
出して測定対象物の寸法を算出するものにおいて、前記
駆動クロック信号を、標準周期のものと、標準周期より
も遅い周期のものとのいずれかに切替えるクロック信号
切替部を特徴的に備えている。
【０００８】この寸法測定装置では、一次元受光センサ
の駆動クロック信号を標準周期のものと、標準周期より
も遅い周期のものとのいずれかに切替え得るので、２値
化された信号のエッジからエッジが出力されるタイミン
グに遅い周期に切替えれば、見かけ上、区間が長くなる
ので、標準周期のクロック信号をカウントしても、従来
より高分解能となる。
の駆動クロック信号を標準周期のものと、標準周期より
も遅い周期のものとのいずれかに切替え得るので、２値
化された信号のエッジからエッジが出力されるタイミン
グに遅い周期に切替えれば、見かけ上、区間が長くなる
ので、標準周期のクロック信号をカウントしても、従来
より高分解能となる。
【０００９】
【実施例】以下、実施例により、この発明をさらに詳細
に説明する。図１は、この発明の一実施例寸法測定装置
の構成を示すブロック図である。この実施例寸法測定装
置は、発光素子駆動部１、光源としての発光素子２、及
び発光素子２からの光を平行光ビームとして出力するコ
リメートレンズ３からなる投光部２０Ａと、ＣＣＤイメ
ージセンサ５、ＣＣＤ駆動部６、異なる周波数の２種の
クロック信号を出力するクロック発生部７、ローパスフ
ィルタ８、このローパスフィルタ８よりの受光出力信号
と閾値ＶSLとを比較して２値化するコンパレータ９、カ
ウンタ１０及び寸法演算部１１を備える受光部２０Ｂと
から構成している。以上の構成については、図５のもの
と同様である。
に説明する。図１は、この発明の一実施例寸法測定装置
の構成を示すブロック図である。この実施例寸法測定装
置は、発光素子駆動部１、光源としての発光素子２、及
び発光素子２からの光を平行光ビームとして出力するコ
リメートレンズ３からなる投光部２０Ａと、ＣＣＤイメ
ージセンサ５、ＣＣＤ駆動部６、異なる周波数の２種の
クロック信号を出力するクロック発生部７、ローパスフ
ィルタ８、このローパスフィルタ８よりの受光出力信号
と閾値ＶSLとを比較して２値化するコンパレータ９、カ
ウンタ１０及び寸法演算部１１を備える受光部２０Ｂと
から構成している。以上の構成については、図５のもの
と同様である。
【００１０】この実施例寸法測定装置が、図５に示す従
来のものと相違する点は、クロック発生部７は標準周期
のクロック信号ｆckの他に、このクロック信号の周期よ
り遅い周期のクロック信号ｆck／Ｎを発生するものであ
り、ＣＣＤ駆動部６に駆動クロック信号を加えるのにｆ
ckとｆck／Ｎを切替えて入力するＣＣＤ駆動クロック切
替部１２、切替のタイミングを検出するＣＣＤ駆動クロ
ック切替検出部１３を備えることである。ＣＣＤ駆動ク
ロック切替部１２、ＣＣＤ駆動クロック切替検出部１３
は、例えばコンパレータ、データセレクタで構成でき
る。
来のものと相違する点は、クロック発生部７は標準周期
のクロック信号ｆckの他に、このクロック信号の周期よ
り遅い周期のクロック信号ｆck／Ｎを発生するものであ
り、ＣＣＤ駆動部６に駆動クロック信号を加えるのにｆ
ckとｆck／Ｎを切替えて入力するＣＣＤ駆動クロック切
替部１２、切替のタイミングを検出するＣＣＤ駆動クロ
ック切替検出部１３を備えることである。ＣＣＤ駆動ク
ロック切替部１２、ＣＣＤ駆動クロック切替検出部１３
は、例えばコンパレータ、データセレクタで構成でき
る。
【００１１】この寸法測定装置では、投光部２０Ａから
の平行光ビーム３ａが測定対象物４に照射され、ＣＣＤ
イメージセンサ５に入光すると、そのクロック発生部か
らのクロック信号ｆckで、ＣＣＤイメージセンサ５の受
光信号がシリアルに順次出力される。当初の測定対象物
４で遮断されない光は明部であり、図２の（ａ）の実線
波形の信号がローパスフィルタ８を経て、コンパレータ
９に加えられる。ＣＣＤ駆動クロック切替検出部１３で
は、図２の（ａ）に示すように、ＣＣＤイメージセンサ
５の出力が２値化の閾値ＶSLに達し、２値化される前
に、ＣＣＤ駆動クロックを１／Ｎ倍にする必要があるの
で、例えばＶSL＋ΔＶに検出レベルを設定しており、Ｃ
ＣＤ出力信号がこのレベルに達するとＣＣＤ駆動クロッ
ク切替検出部１３は、検出信号〔図２の（ｂ）参照〕を
ＣＣＤ駆動クロック切替部１２に加え、ＣＣＤ出力信号
がＶSL＋ΔＶを越えて低いｔの期間にわたり、ＣＣＤ駆
動クロック切替部１２に検出信号を入力し、この間ＣＣ
Ｄ駆動クロック切替部１２は、ｆck／Ｎの遅いクロック
をＣＣＤイメージセンサ５に加える。そのため、ＣＣＤ
イメージセンサ５からシリアルに出力される出力信号
は、Ｎ倍の長い期間にわたり、図２の（ａ）の破線のよ
うにゆっくり出力される。この間、コンパレータ９は、
受光信号出力がＶSLを越えて小さくなり、逆に越えて大
きくなるまでの期間τにわたり、ハイ信号を出力する。
コンパレータ９の出力がハイの期間τにわたり、カウン
タ１０はクロックｆckをカウントするが、クロック信号
は標準周期のｆckであるので、装置としてはＮ倍の高分
解能化が実現できる。
の平行光ビーム３ａが測定対象物４に照射され、ＣＣＤ
イメージセンサ５に入光すると、そのクロック発生部か
らのクロック信号ｆckで、ＣＣＤイメージセンサ５の受
光信号がシリアルに順次出力される。当初の測定対象物
４で遮断されない光は明部であり、図２の（ａ）の実線
波形の信号がローパスフィルタ８を経て、コンパレータ
９に加えられる。ＣＣＤ駆動クロック切替検出部１３で
は、図２の（ａ）に示すように、ＣＣＤイメージセンサ
５の出力が２値化の閾値ＶSLに達し、２値化される前
に、ＣＣＤ駆動クロックを１／Ｎ倍にする必要があるの
で、例えばＶSL＋ΔＶに検出レベルを設定しており、Ｃ
ＣＤ出力信号がこのレベルに達するとＣＣＤ駆動クロッ
ク切替検出部１３は、検出信号〔図２の（ｂ）参照〕を
ＣＣＤ駆動クロック切替部１２に加え、ＣＣＤ出力信号
がＶSL＋ΔＶを越えて低いｔの期間にわたり、ＣＣＤ駆
動クロック切替部１２に検出信号を入力し、この間ＣＣ
Ｄ駆動クロック切替部１２は、ｆck／Ｎの遅いクロック
をＣＣＤイメージセンサ５に加える。そのため、ＣＣＤ
イメージセンサ５からシリアルに出力される出力信号
は、Ｎ倍の長い期間にわたり、図２の（ａ）の破線のよ
うにゆっくり出力される。この間、コンパレータ９は、
受光信号出力がＶSLを越えて小さくなり、逆に越えて大
きくなるまでの期間τにわたり、ハイ信号を出力する。
コンパレータ９の出力がハイの期間τにわたり、カウン
タ１０はクロックｆckをカウントするが、クロック信号
は標準周期のｆckであるので、装置としてはＮ倍の高分
解能化が実現できる。
【００１２】今、一例として、ＣＣＤ画素サイズを７μ
ｍ、ＣＣＤ駆動の周波数を８ＭＨＺとすると、分解能が
１．７５μｍである。これを画素サイズの４倍の高分解
能を実現するとなると、従来では、ＣＣＤ駆動周波数が
ｆck＝８ＭＨＺに対し、カウンタのクロック信号は４・
ｆck＝３２ＭＨＺのものが必要となる。これに対し、こ
の発明の上記実施例では、期間τの検出ビットのＣＣＤ
駆動クロックの周波数は、ｆck／４＝２ＭＨＺとなる。
この場合、カウンタのクロックの周波数はｆck＝８ＭＨ
Ｚである。
ｍ、ＣＣＤ駆動の周波数を８ＭＨＺとすると、分解能が
１．７５μｍである。これを画素サイズの４倍の高分解
能を実現するとなると、従来では、ＣＣＤ駆動周波数が
ｆck＝８ＭＨＺに対し、カウンタのクロック信号は４・
ｆck＝３２ＭＨＺのものが必要となる。これに対し、こ
の発明の上記実施例では、期間τの検出ビットのＣＣＤ
駆動クロックの周波数は、ｆck／４＝２ＭＨＺとなる。
この場合、カウンタのクロックの周波数はｆck＝８ＭＨ
Ｚである。
【００１３】次に、この発明の他の実施例寸法測定装置
について説明する。図３は、この実施例寸法測定装置の
要部の構成を示すブロック図である。この実施例寸法測
定装置は、基本的な構成において、図１に示した実施例
装置と同じであるが、カウンタ１０が、図３に示すよう
に、カウンタイネーブル制御部１０ａ、１０ｂと、カウ
ンタ部１０ｃ、１０ｄを備え、ＣＣＤ駆動クロック切替
検出部１３からの信号をカウンタイネーブル制御部１０
ａ、１０ｂに入力するとともに、クロック発生部７から
のクロック信号をカウンタ部１０ｃ、１０ｄに加え、か
つカウンタイネーブル制御部１０ａの出力はカウンタ１
０ｃに、カウンタイネーブル制御部１０ｂの出力はカウ
ンタ１０ｄにそれぞれ入力されるようになっている。
について説明する。図３は、この実施例寸法測定装置の
要部の構成を示すブロック図である。この実施例寸法測
定装置は、基本的な構成において、図１に示した実施例
装置と同じであるが、カウンタ１０が、図３に示すよう
に、カウンタイネーブル制御部１０ａ、１０ｂと、カウ
ンタ部１０ｃ、１０ｄを備え、ＣＣＤ駆動クロック切替
検出部１３からの信号をカウンタイネーブル制御部１０
ａ、１０ｂに入力するとともに、クロック発生部７から
のクロック信号をカウンタ部１０ｃ、１０ｄに加え、か
つカウンタイネーブル制御部１０ａの出力はカウンタ１
０ｃに、カウンタイネーブル制御部１０ｂの出力はカウ
ンタ１０ｄにそれぞれ入力されるようになっている。
【００１４】この実施例寸法測定装置では、ＣＣＤ駆動
クロック切替検出部１３で、コンパレータ９の閾値ＶSL
の上下に対±ΔＶ、つまりＶSL＋ΔＶ、ＶSL−ΔＶに閾
値をもっており、ＣＣＤイメージセンサ５の受光出力が
２値化の閾値ＶSLに達する前のＶSL＋ΔＶから、２値化
レベルに達して小さくなったＶSL−ΔＶの範囲内にハイ
信号を出力し、カウンタイネーブル制御部１０ａ、１０
ｂに加える。これは、受光出力信号が暗から明になるエ
ッジ部分においても同様である。
クロック切替検出部１３で、コンパレータ９の閾値ＶSL
の上下に対±ΔＶ、つまりＶSL＋ΔＶ、ＶSL−ΔＶに閾
値をもっており、ＣＣＤイメージセンサ５の受光出力が
２値化の閾値ＶSLに達する前のＶSL＋ΔＶから、２値化
レベルに達して小さくなったＶSL−ΔＶの範囲内にハイ
信号を出力し、カウンタイネーブル制御部１０ａ、１０
ｂに加える。これは、受光出力信号が暗から明になるエ
ッジ部分においても同様である。
【００１５】コンパレータ９は、ＣＣＤ出力が閾値ＶSL
に明から暗となる方向で達する時点から、暗から明の方
向に閾値ＶSLに達する時点までの間、ハイ出力を出す
〔第４図の（ｄ）参照〕。カウンタイネーブル制御部１
０ａは、コンパレータ９の出力と、ＣＣＤ駆動クロック
切替検出部１３からの信号を受けて、受光出力がＶSL−
ΔＶから次のエッジ前のＶSL−ΔＶとなるまでの間Ｔ1
にハイ信号を出力する〔第４図の（ｅ）参照〕。また、
カウンタイネーブル制御部１０ｂは、同じくコンパレー
タ９の出力とＣＣＤ駆動クロック切替検出部１３の出力
を受けて、受光出力がＶSLからＶSL−ΔＶの間Ｔ2 、次
のエッジのＶSL−ΔＶからＶSLとなる間Ｔ 3 にハイ信号
を出力する〔第４図の（ｅ）参照〕。
に明から暗となる方向で達する時点から、暗から明の方
向に閾値ＶSLに達する時点までの間、ハイ出力を出す
〔第４図の（ｄ）参照〕。カウンタイネーブル制御部１
０ａは、コンパレータ９の出力と、ＣＣＤ駆動クロック
切替検出部１３からの信号を受けて、受光出力がＶSL−
ΔＶから次のエッジ前のＶSL−ΔＶとなるまでの間Ｔ1
にハイ信号を出力する〔第４図の（ｅ）参照〕。また、
カウンタイネーブル制御部１０ｂは、同じくコンパレー
タ９の出力とＣＣＤ駆動クロック切替検出部１３の出力
を受けて、受光出力がＶSLからＶSL−ΔＶの間Ｔ2 、次
のエッジのＶSL−ΔＶからＶSLとなる間Ｔ 3 にハイ信号
を出力する〔第４図の（ｅ）参照〕。
【００１６】カウンタ部１０ｃは、期間Ｔ1 の間、クロ
ックｆckをカウントし、カウンタ部１０ｄは、期間
Ｔ2 、Ｔ3 の間、クロックｆckをカウントする。カウン
タ部１０ｃ、１０ｄのカウント出力値は、寸法演算部１
１に加えられる。寸法演算部１１では、
ックｆckをカウントし、カウンタ部１０ｄは、期間
Ｔ2 、Ｔ3 の間、クロックｆckをカウントする。カウン
タ部１０ｃ、１０ｄのカウント出力値は、寸法演算部１
１に加えられる。寸法演算部１１では、
【００１７】
【数１】
【００１８】により、寸法Ｄを算出する。ここで、Δｘ
は、ＣＣＤ画素サイズ、Ｎ：高分解能の倍数である。な
お、上記実施例では、測定対象物の寸法外径を測定する
場合について説明したが、この発明はこれに限ることな
く、例えば片側遮光時の高分解能位置決め、エッジ検
出、あるいは形状測定などの機能を有する寸法測定装置
にも適用できる。
は、ＣＣＤ画素サイズ、Ｎ：高分解能の倍数である。な
お、上記実施例では、測定対象物の寸法外径を測定する
場合について説明したが、この発明はこれに限ることな
く、例えば片側遮光時の高分解能位置決め、エッジ検
出、あるいは形状測定などの機能を有する寸法測定装置
にも適用できる。
【００１９】
【発明の効果】この発明によれば、ＣＣＤ駆動クロック
の周期を標準周期と、遅い周期のものに切替可能とし、
２値処理化のエッジ近辺では、出力信号の駆動クロック
を遅い周期とし、ゆっくりと出力し得るようにしたの
で、カウンタでカウントするクロック信号を標準周期の
ものとしても、ＣＣＤ画素サイズ以上の高分解能化、高
精度化を実現できる。ＣＣＤ駆動クロックのＮ倍の高速
クロックが不要となるので、高価な高速デバイスや高速
処理のハード構成が不要となり、ローコスト化、ハード
構成の簡素化ができる。さらに、高速クロックを不要と
した低周波クロック構成なので、耐ノイズ性が向上す
る。その上、測定対象物のエッジ付近のみで、高分解能
処理すれば、効率的な寸法測定ができる等の利点があ
る。
の周期を標準周期と、遅い周期のものに切替可能とし、
２値処理化のエッジ近辺では、出力信号の駆動クロック
を遅い周期とし、ゆっくりと出力し得るようにしたの
で、カウンタでカウントするクロック信号を標準周期の
ものとしても、ＣＣＤ画素サイズ以上の高分解能化、高
精度化を実現できる。ＣＣＤ駆動クロックのＮ倍の高速
クロックが不要となるので、高価な高速デバイスや高速
処理のハード構成が不要となり、ローコスト化、ハード
構成の簡素化ができる。さらに、高速クロックを不要と
した低周波クロック構成なので、耐ノイズ性が向上す
る。その上、測定対象物のエッジ付近のみで、高分解能
処理すれば、効率的な寸法測定ができる等の利点があ
る。
【図１】この発明の一実施例寸法測定装置の構成を示す
ブロック図である。
ブロック図である。
【図２】同実施例寸法測定装置の高分解能化処理を説明
するためのタイムチャートである。
するためのタイムチャートである。
【図３】この発明の他の実施例寸法測定装置の要部構成
を示すブロック図である。
を示すブロック図である。
【図４】同実施例寸法測定装置の高分解能化処理を説明
するためのタイムチャートである。
するためのタイムチャートである。
【図５】従来の寸法測定装置の構成例を示すブロック図
である。
である。
【図６】同従来の寸法測定装置の２値化処理を説明する
ためのタイムチャートである。
ためのタイムチャートである。
２０Ａ 投光部 ２０Ｂ 受光部 ４ 測定対象物 ５ ＣＣＤイメージセンサ ７ クロック発生部 １０ カウンタ １２ ＣＣＤ駆動クロック切替部
Claims (3)
- 【請求項１】投光部から測定対象物に光を照射し、この
測定対象物からの光を一次元受光センサで受光し、受光
した信号を駆動クロック信号により、シリアルに出力
し、この出力信号を２値化し、２値化信号のエッジを検
出して測定対象物の寸法を算出する寸法測定装置におい
て、 前記駆動クロック信号を、標準周期のものと、標準周期
よりも遅い周期のものとのいずれかに切替えるクロック
信号切替部を備えたことを特徴とする寸法測定装置。 - 【請求項２】前記クロック信号切替部は、２値化信号の
エッジを検出し、エッジ検出に応答して標準周期から遅
い周期に切替えるものである請求項１記載の寸法測定装
置。 - 【請求項３】前記クロック信号切替部は、出力信号の所
定の検出ビット部分を遅い周期とするものである請求項
１記載の寸法測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4803095A JPH08247725A (ja) | 1995-03-08 | 1995-03-08 | 寸法測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4803095A JPH08247725A (ja) | 1995-03-08 | 1995-03-08 | 寸法測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08247725A true JPH08247725A (ja) | 1996-09-27 |
Family
ID=12791924
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4803095A Pending JPH08247725A (ja) | 1995-03-08 | 1995-03-08 | 寸法測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08247725A (ja) |
-
1995
- 1995-03-08 JP JP4803095A patent/JPH08247725A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP3457170A1 (en) | Distance measuring device | |
| JPH04145391A (ja) | 距離測定装置 | |
| JPWO2019050024A1 (ja) | 距離測定方法および距離測定装置 | |
| JPH08247725A (ja) | 寸法測定装置 | |
| JPH04145390A (ja) | 距離測定装置 | |
| JPH11338967A (ja) | 光学式記号読取装置 | |
| US5276323A (en) | Optical movement detector detecting a position of an optical gravity center | |
| JP3924363B2 (ja) | 寸法測定装置 | |
| JP4199589B2 (ja) | 距離測定装置 | |
| US4950899A (en) | Position detecting circuit with CCD and relatively moving source | |
| JPH03134548A (ja) | 表面検査装置 | |
| JPS61130808A (ja) | 光切断線検出装置 | |
| JP2583363Y2 (ja) | スペックル測長計 | |
| JPH08247723A (ja) | 寸法測定装置 | |
| JP4599182B2 (ja) | 光電センサ | |
| JPH0560575A (ja) | 位置検出装置 | |
| JP3702103B2 (ja) | 光学式寸法測定装置 | |
| JPS6121709Y2 (ja) | ||
| JP2765750B2 (ja) | 光ファイバ式分布形温度測定装置 | |
| JP2580756B2 (ja) | レーザ走査光検出信号のノイズ除去回路 | |
| JPH02102462A (ja) | パルス頻度検出回路 | |
| JPS5960380A (ja) | シンチレ−シヨンカメラ | |
| JPS61246605A (ja) | 物体の寸法測定方法 | |
| JPH04166787A (ja) | 距離測定装置 | |
| JPH05306903A (ja) | スペックル測長計に於ける受光感度調節装置及び方法 |