JPH08250071A - ランプおよび光源装置 - Google Patents
ランプおよび光源装置Info
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- JPH08250071A JPH08250071A JP5410495A JP5410495A JPH08250071A JP H08250071 A JPH08250071 A JP H08250071A JP 5410495 A JP5410495 A JP 5410495A JP 5410495 A JP5410495 A JP 5410495A JP H08250071 A JPH08250071 A JP H08250071A
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- lamp
- condenser mirror
- light
- mirror
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- Non-Portable Lighting Devices Or Systems Thereof (AREA)
- Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
- Common Detailed Techniques For Electron Tubes Or Discharge Tubes (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 集光ミラー内に配置して点灯したときに、集
光ミラーの開口側に位置する封止管部にクラックなどを
発生させることがなく、集光ミラーの開口側の口金によ
って遮られる光の割合が小さいランプを提供すること。
被照射物への照射光量を低下させることなく、ランプか
ら出射される光を効率よく被照射物へ照射することがで
きる光源装置を提供すること。 【構成】 本発明のランプ１０は、集光ミラー内に配置
されるランプであって、集光ミラーの開口側の口金１５
に、当該集光ミラーの光軸と平行に伸びるフィンを有す
るフィン部材２０が設けられていることを特徴とする。
本発明の光源装置は、集光ミラーと、集光ミラー内に配
置されたランプと、当該ランプを冷却するための冷却手
段とを備えてなり、この光源装置を構成するランプが、
本発明のランプであることを特徴とする。
光ミラーの開口側に位置する封止管部にクラックなどを
発生させることがなく、集光ミラーの開口側の口金によ
って遮られる光の割合が小さいランプを提供すること。
被照射物への照射光量を低下させることなく、ランプか
ら出射される光を効率よく被照射物へ照射することがで
きる光源装置を提供すること。 【構成】 本発明のランプ１０は、集光ミラー内に配置
されるランプであって、集光ミラーの開口側の口金１５
に、当該集光ミラーの光軸と平行に伸びるフィンを有す
るフィン部材２０が設けられていることを特徴とする。
本発明の光源装置は、集光ミラーと、集光ミラー内に配
置されたランプと、当該ランプを冷却するための冷却手
段とを備えてなり、この光源装置を構成するランプが、
本発明のランプであることを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はランプおよびランプを備
えた光源装置に関する。
えた光源装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば液晶パネルの製造工程において、
当該パネルの周辺露光用光源として、楕円集光ミラー
と、この楕円集光ミラー内に配置されたショートアーク
型の放電ランプとを備えた光源装置が知られている。
当該パネルの周辺露光用光源として、楕円集光ミラー
と、この楕円集光ミラー内に配置されたショートアーク
型の放電ランプとを備えた光源装置が知られている。
【０００３】図１は、このような光源装置の要部である
光源部を示す説明図であり、１は楕円集光ミラー、２は
放電ランプである。この光源装置を構成する放電ランプ
２は、発光空間を形成する膨出部３およびこれに続く封
止管部４，５よりなるバルブを有し、このバルブの両端
には口金６，７が設けられている。
光源部を示す説明図であり、１は楕円集光ミラー、２は
放電ランプである。この光源装置を構成する放電ランプ
２は、発光空間を形成する膨出部３およびこれに続く封
止管部４，５よりなるバルブを有し、このバルブの両端
には口金６，７が設けられている。
【０００４】放電ランプ２は、楕円集光ミラー１の光軸
に沿って配置され、この放電ランプ２からの放射光は、
楕円集光ミラー１およびミラーやレンズなどの光学系
（図示省略）を経て被照射物に照射される。
に沿って配置され、この放電ランプ２からの放射光は、
楕円集光ミラー１およびミラーやレンズなどの光学系
（図示省略）を経て被照射物に照射される。
【０００５】この光源装置には図示しない冷却ファンが
設けられており、この冷却ファンによって発生する冷却
風は、例えば、楕円集光ミラー１の頂部側から開口側に
向かって流れ（冷却風の流れ方向を矢印で示す）、これ
により、楕円集光ミラー１や放電ランプ２が冷却され
る。
設けられており、この冷却ファンによって発生する冷却
風は、例えば、楕円集光ミラー１の頂部側から開口側に
向かって流れ（冷却風の流れ方向を矢印で示す）、これ
により、楕円集光ミラー１や放電ランプ２が冷却され
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような光源装置の使用時（放電ランプ点灯時）におい
て、楕円集光ミラーの開口側に位置する放電ランプの口
金（図１における口金７）は２２０〜２５０℃程度まで
昇温し、これに伴って、隣接する封止管部（図１におけ
る封止管部５）の温度も２５０〜４００℃程度に達す
る。そして、封止管部がこのような温度まで昇温する
と、当該封止管部に埋設されている給電接続用のモリブ
デン箔の酸化反応が起こり、酸化反応に伴うモリブデン
箔の体積膨張によって封止管部にクラックが生じ、これ
により、放電ランプのバルブが破損してしまう、という
問題がある。このような問題は、特に、５００Ｗ以上の
大出力ランプを用いる場合に顕著となる。
ような光源装置の使用時（放電ランプ点灯時）におい
て、楕円集光ミラーの開口側に位置する放電ランプの口
金（図１における口金７）は２２０〜２５０℃程度まで
昇温し、これに伴って、隣接する封止管部（図１におけ
る封止管部５）の温度も２５０〜４００℃程度に達す
る。そして、封止管部がこのような温度まで昇温する
と、当該封止管部に埋設されている給電接続用のモリブ
デン箔の酸化反応が起こり、酸化反応に伴うモリブデン
箔の体積膨張によって封止管部にクラックが生じ、これ
により、放電ランプのバルブが破損してしまう、という
問題がある。このような問題は、特に、５００Ｗ以上の
大出力ランプを用いる場合に顕著となる。
【０００７】上記のような問題に対して、冷却ファンに
よる冷却風の送風量を増加させることにより冷却効果を
高め、楕円集光ミラー開口側に位置する口金および封止
管部の温度を低下させることが考えられる。しかしなが
ら、冷却効果を高めることにより、放電ランプのバルブ
全体の温度が低下してしまい、当該バルブの膨出部内に
封入されている発光物質（例えば水銀）を完全に蒸発さ
せることができなくなる、という新たな問題を生じる。
よる冷却風の送風量を増加させることにより冷却効果を
高め、楕円集光ミラー開口側に位置する口金および封止
管部の温度を低下させることが考えられる。しかしなが
ら、冷却効果を高めることにより、放電ランプのバルブ
全体の温度が低下してしまい、当該バルブの膨出部内に
封入されている発光物質（例えば水銀）を完全に蒸発さ
せることができなくなる、という新たな問題を生じる。
【０００８】また、楕円集光ミラー開口側に位置する放
電ランプの口金として、従来において使用されている口
金よりも大きなものを用いることによって、空気（冷却
風）との接触面積を拡張して当該口金からの放熱効果を
高めることも考えられる。しかしながら、大きな口金を
用いる場合には、放電ランプからの放射光や楕円集光ミ
ラーからの反射光のうち、当該口金によって遮られる光
の割合が大きくなって、被照射物へ照射される光量（照
度）が低下してしまう、という新たな問題を生じる。
電ランプの口金として、従来において使用されている口
金よりも大きなものを用いることによって、空気（冷却
風）との接触面積を拡張して当該口金からの放熱効果を
高めることも考えられる。しかしながら、大きな口金を
用いる場合には、放電ランプからの放射光や楕円集光ミ
ラーからの反射光のうち、当該口金によって遮られる光
の割合が大きくなって、被照射物へ照射される光量（照
度）が低下してしまう、という新たな問題を生じる。
【０００９】本発明は以上のような事情に基いてなされ
たものである。本発明の第１の目的は、集光ミラー内に
配置して点灯したときに、集光ミラーの開口側に位置す
る封止管部にクラックなどの損傷を発生させることがな
く、しかも、集光ミラーの開口側の口金によって遮られ
る光の割合が小さいランプを提供することにある。本発
明の第２の目的は、このようなランプを光源装置に組み
込むことにより、被照射物への照射光量を低下させるこ
となく、ランプから出射される光を効率よく被照射物へ
照射することができる光源装置を提供することにある。
たものである。本発明の第１の目的は、集光ミラー内に
配置して点灯したときに、集光ミラーの開口側に位置す
る封止管部にクラックなどの損傷を発生させることがな
く、しかも、集光ミラーの開口側の口金によって遮られ
る光の割合が小さいランプを提供することにある。本発
明の第２の目的は、このようなランプを光源装置に組み
込むことにより、被照射物への照射光量を低下させるこ
となく、ランプから出射される光を効率よく被照射物へ
照射することができる光源装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明のランプは、集光
ミラー内に配置されるランプであって、前記集光ミラー
の開口側の口金に、当該集光ミラーの光軸と平行に伸び
るフィンを有するフィン部材が取り付けられていること
を特徴とする。また、本発明のランプは、集光ミラー内
に配置されるランプであって、前記集光ミラーの開口側
の口金に、当該集光ミラーの光軸と平行に伸びるフィン
が形成されていることを特徴とする。本発明の光源装置
は、集光ミラーと、当該集光ミラー内に配置されたラン
プと、当該ランプを冷却するために、集光ミラーの開口
側から頂部側に向かって、あるいは、集光ミラーの頂部
側から開口側に向かって、前記ランプの軸方向とほぼ平
行に流れる冷却風を発生させる冷却手段とを備えてな
り、この光源装置を構成するランプが、本発明のランプ
であることを特徴とする。
ミラー内に配置されるランプであって、前記集光ミラー
の開口側の口金に、当該集光ミラーの光軸と平行に伸び
るフィンを有するフィン部材が取り付けられていること
を特徴とする。また、本発明のランプは、集光ミラー内
に配置されるランプであって、前記集光ミラーの開口側
の口金に、当該集光ミラーの光軸と平行に伸びるフィン
が形成されていることを特徴とする。本発明の光源装置
は、集光ミラーと、当該集光ミラー内に配置されたラン
プと、当該ランプを冷却するために、集光ミラーの開口
側から頂部側に向かって、あるいは、集光ミラーの頂部
側から開口側に向かって、前記ランプの軸方向とほぼ平
行に流れる冷却風を発生させる冷却手段とを備えてな
り、この光源装置を構成するランプが、本発明のランプ
であることを特徴とする。
【００１１】
（１）本発明のランプを構成するフィンは、空気（冷却
風）との接触面積が大きいので放熱効果が高い。従っ
て、本発明のランプを集光ミラー内に配置して点灯した
ときに、集光ミラーの開口側に位置する口金および封止
管部の温度を十分に低下させることができ、当該封止管
部においてクラックなどの損傷を発生させない。また、
本発明のランプを構成するフィンは、集光ミラーの光軸
と平行に伸びているので、ランプ発光部からの放射光や
集光ミラーからの反射光の殆どはフィンによって遮られ
ることなく集光され、光の利用率は殆ど低下しない。
風）との接触面積が大きいので放熱効果が高い。従っ
て、本発明のランプを集光ミラー内に配置して点灯した
ときに、集光ミラーの開口側に位置する口金および封止
管部の温度を十分に低下させることができ、当該封止管
部においてクラックなどの損傷を発生させない。また、
本発明のランプを構成するフィンは、集光ミラーの光軸
と平行に伸びているので、ランプ発光部からの放射光や
集光ミラーからの反射光の殆どはフィンによって遮られ
ることなく集光され、光の利用率は殆ど低下しない。
【００１２】（２）本発明の光源装置を構成するランプ
のフィンに、冷却手段からの冷却風を接触させることに
より、集光ミラーの開口側に位置する前記ランプの口金
および封止管部の温度を十分に低下させることができ、
当該封止管部にクラックなどの損傷を発生させない。ま
た、ランプ発光部からの放射光や集光ミラーからの反射
光の殆どは、フィンによって遮られることなく利用され
るので、被照射物への照射光量は殆ど低下しない。
のフィンに、冷却手段からの冷却風を接触させることに
より、集光ミラーの開口側に位置する前記ランプの口金
および封止管部の温度を十分に低下させることができ、
当該封止管部にクラックなどの損傷を発生させない。ま
た、ランプ発光部からの放射光や集光ミラーからの反射
光の殆どは、フィンによって遮られることなく利用され
るので、被照射物への照射光量は殆ど低下しない。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明するが、
本発明の範囲は、これらによって限定されるものではな
い。
本発明の範囲は、これらによって限定されるものではな
い。
【００１４】＜本発明のランプ＞図２は、本発明のラン
プの一例を示す説明図である。本実施例の放電ランプ１
０は、発光空間を形成する膨出部１１Ａおよびこれに続
く封止管部１１Ｂ，１１Ｃよりなるバルブ１１を有し、
バルブ１１の膨出部１１Ａ内において陰極１２および陽
極１３が対向配置され、バルブ１１の両端に口金１４，
１５が設けられて構成されるショートアーク型のランプ
である。この放電ランプ１０の口金１５には、フィン部
材２０が取り付けられており、この点が本実施例のラン
プの特徴とするところである。
プの一例を示す説明図である。本実施例の放電ランプ１
０は、発光空間を形成する膨出部１１Ａおよびこれに続
く封止管部１１Ｂ，１１Ｃよりなるバルブ１１を有し、
バルブ１１の膨出部１１Ａ内において陰極１２および陽
極１３が対向配置され、バルブ１１の両端に口金１４，
１５が設けられて構成されるショートアーク型のランプ
である。この放電ランプ１０の口金１５には、フィン部
材２０が取り付けられており、この点が本実施例のラン
プの特徴とするところである。
【００１５】図３（イ）および（ロ）は、それぞれ、フ
ィン部材２０を示す平面図および側面図である。このフ
ィン部材２０は、円管状の口金保持部２１と、この口金
保持部２１の半径方向に突出するよう形成された５枚の
フィン２２とにより構成され、これらはアルミニウム、
銅などの熱伝導率の高い金属材料によって一体的に形成
されている。
ィン部材２０を示す平面図および側面図である。このフ
ィン部材２０は、円管状の口金保持部２１と、この口金
保持部２１の半径方向に突出するよう形成された５枚の
フィン２２とにより構成され、これらはアルミニウム、
銅などの熱伝導率の高い金属材料によって一体的に形成
されている。
【００１６】フィン部材２０を構成する口金保持部２１
の高さＬは口金１５の高さ（ランプ軸方向における長
さ）の０．５倍〜１．５倍とされる。口金保持部２１の
高さＬが、口金１５の高さの０．５倍より小さい場合に
は、空気（冷却風）との接触面積を確保することができ
ず、十分な放熱効果が得られない。また、この高さＬが
口金１５の高さの１．５より大きい場合には、集光ミラ
ー内にランプを配置して点灯したときに、ランプ発光部
からの放射光や集光ミラーからの反射光が、このフィン
２２によって遮られやすくなって光の利用率が低下す
る。
の高さＬは口金１５の高さ（ランプ軸方向における長
さ）の０．５倍〜１．５倍とされる。口金保持部２１の
高さＬが、口金１５の高さの０．５倍より小さい場合に
は、空気（冷却風）との接触面積を確保することができ
ず、十分な放熱効果が得られない。また、この高さＬが
口金１５の高さの１．５より大きい場合には、集光ミラ
ー内にランプを配置して点灯したときに、ランプ発光部
からの放射光や集光ミラーからの反射光が、このフィン
２２によって遮られやすくなって光の利用率が低下す
る。
【００１７】また、フィン２２の突出長さＨは口金１５
の径の０．２倍〜１．５倍とされる。フィン２２の突出
長さＨが、口金１５の径の０．２倍より小さい場合に
は、空気（冷却風）との接触面積を確保することができ
ず、十分な放熱効果が得られない。また、この突出長さ
Ｈが、口金１５の径の１．５倍より大きい場合には、集
光ミラー内にランプを配置して点灯したときに、ランプ
発光部からの放射光や集光ミラーからの反射光が、この
フィン２２によって遮られやすくなって光の利用率が低
下する。
の径の０．２倍〜１．５倍とされる。フィン２２の突出
長さＨが、口金１５の径の０．２倍より小さい場合に
は、空気（冷却風）との接触面積を確保することができ
ず、十分な放熱効果が得られない。また、この突出長さ
Ｈが、口金１５の径の１．５倍より大きい場合には、集
光ミラー内にランプを配置して点灯したときに、ランプ
発光部からの放射光や集光ミラーからの反射光が、この
フィン２２によって遮られやすくなって光の利用率が低
下する。
【００１８】フィン部材２０を構成するフィン２２の肉
厚は１〜５ｍｍとされる。フィン２２の肉厚が１ｍｍよ
り小さい場合には、当該フィン２２への熱伝導性が悪く
なり、十分な放熱効果が得られない。また、この肉厚が
５ｍｍより大きい場合には、集光ミラー内にランプを配
置して点灯したときに、ランプ発光部からの放射光や集
光ミラーからの反射光が、このフィン２２によって遮ら
れやすくなって光の利用率が低下する。
厚は１〜５ｍｍとされる。フィン２２の肉厚が１ｍｍよ
り小さい場合には、当該フィン２２への熱伝導性が悪く
なり、十分な放熱効果が得られない。また、この肉厚が
５ｍｍより大きい場合には、集光ミラー内にランプを配
置して点灯したときに、ランプ発光部からの放射光や集
光ミラーからの反射光が、このフィン２２によって遮ら
れやすくなって光の利用率が低下する。
【００１９】２３は、口金保持部２１の外周面から内周
面に達するスリットであり、このスリット２３は、口金
保持部２１の高さＬ方向に伸びるよう形成されている。
２４，２５は、それぞれ、スリット２３をはさんで対向
するよう形成された治具装着用の小穴である。
面に達するスリットであり、このスリット２３は、口金
保持部２１の高さＬ方向に伸びるよう形成されている。
２４，２５は、それぞれ、スリット２３をはさんで対向
するよう形成された治具装着用の小穴である。
【００２０】このフィン部材２０は、以上のような構成
であり、小穴２４，２５に治具を差し込んでスリット２
３を開口させることによってフィン部材２０が拡開す
る。そして、スリット２３による開口を介して、フィン
部材２０を口金１５に装着して治具を取り外すと、開口
したスリット２３が閉じようとする復元力によって、口
金保持部２１の内周面が口金１５の外周面を押圧し、こ
れにより、ランプ１０の口金１５にフィン部材２０が取
り付けられる。
であり、小穴２４，２５に治具を差し込んでスリット２
３を開口させることによってフィン部材２０が拡開す
る。そして、スリット２３による開口を介して、フィン
部材２０を口金１５に装着して治具を取り外すと、開口
したスリット２３が閉じようとする復元力によって、口
金保持部２１の内周面が口金１５の外周面を押圧し、こ
れにより、ランプ１０の口金１５にフィン部材２０が取
り付けられる。
【００２１】なお、口金保持部２１の内周面と、口金１
５の外周面とが接触していない場合には、これら両面の
隙間にグリースを充填することが好ましい。これによっ
て、口金１５からフィン部材２０への熱伝導性が向上
し、口金１５の冷却効果を高めることができる。
５の外周面とが接触していない場合には、これら両面の
隙間にグリースを充填することが好ましい。これによっ
て、口金１５からフィン部材２０への熱伝導性が向上
し、口金１５の冷却効果を高めることができる。
【００２２】上記のフィン部材２０の有するフィン２２
は、空気（冷却風）との接触面積が大きいので放熱効果
が高い。従って、このフィン部材２０を口金１５に取り
付けてなる本実施例のランプを、当該口金１５が集光ミ
ラー内の開口側に位置するように配置して点灯したとき
に、当該口金１５および封止管部１１Ｃの温度を十分に
低下させることができ、当該封止管部１１Ｃにおいてク
ラックなどの損傷を発生させることはない。また、本実
施例のランプを、集光ミラーの光軸に沿って配置するこ
とにより、フィン２２の伸びる方向が集光ミラーの光軸
に一致するので、ランプ発光部からの放射光や集光ミラ
ーからの反射光の殆どは、フィン２２によって遮られる
ことなく集光されるため、光の利用率は殆ど低下しな
い。
は、空気（冷却風）との接触面積が大きいので放熱効果
が高い。従って、このフィン部材２０を口金１５に取り
付けてなる本実施例のランプを、当該口金１５が集光ミ
ラー内の開口側に位置するように配置して点灯したとき
に、当該口金１５および封止管部１１Ｃの温度を十分に
低下させることができ、当該封止管部１１Ｃにおいてク
ラックなどの損傷を発生させることはない。また、本実
施例のランプを、集光ミラーの光軸に沿って配置するこ
とにより、フィン２２の伸びる方向が集光ミラーの光軸
に一致するので、ランプ発光部からの放射光や集光ミラ
ーからの反射光の殆どは、フィン２２によって遮られる
ことなく集光されるため、光の利用率は殆ど低下しな
い。
【００２３】なお、本発明において、口金保持部から突
出するフィンの枚数は特に限定されるものではなく、例
えば、図４（イ）〜（ニ）に示すように、３枚、４枚、
６枚、８枚のフィンによりフィン部材が構成されていて
もよい。また、フィンの形状も特に限定されるものでは
ない。
出するフィンの枚数は特に限定されるものではなく、例
えば、図４（イ）〜（ニ）に示すように、３枚、４枚、
６枚、８枚のフィンによりフィン部材が構成されていて
もよい。また、フィンの形状も特に限定されるものでは
ない。
【００２４】本発明のランプは、集光ミラー内に配置さ
れてその開口側に位置する口金に、当該集光ミラーの光
軸と平行に伸びるフィンが一体的に形成されていてもよ
い。口金自体にフィンが形成されている場合には、フィ
ン部材を口金に取り付ける操作やグリースの充填操作な
どが不要になり、しかも、口金とフィンとが一体的に形
成されているので、熱伝導のロスがなく、更に効率よく
口金温度を低下させることができる。
れてその開口側に位置する口金に、当該集光ミラーの光
軸と平行に伸びるフィンが一体的に形成されていてもよ
い。口金自体にフィンが形成されている場合には、フィ
ン部材を口金に取り付ける操作やグリースの充填操作な
どが不要になり、しかも、口金とフィンとが一体的に形
成されているので、熱伝導のロスがなく、更に効率よく
口金温度を低下させることができる。
【００２５】＜本発明の光源装置＞次に、本発明の光源
装置について説明する。図５は、本発明の光源装置の一
例を示す説明図である。図５において、３０はランプハ
ウス、４０はランプハウス３０内に収納された楕円集光
ミラー、５０は楕円集光ミラー４０内にその光軸に沿っ
て配置された放電ランプ、６０はフィン部材、７０は空
気吸引口、８１および８２は一対のコールドミラー、８
３はインテグレータレンズなどを備えた光学ユニットで
ある。
装置について説明する。図５は、本発明の光源装置の一
例を示す説明図である。図５において、３０はランプハ
ウス、４０はランプハウス３０内に収納された楕円集光
ミラー、５０は楕円集光ミラー４０内にその光軸に沿っ
て配置された放電ランプ、６０はフィン部材、７０は空
気吸引口、８１および８２は一対のコールドミラー、８
３はインテグレータレンズなどを備えた光学ユニットで
ある。
【００２６】楕円集光ミラー４０は、内面に紫外線反射
層がコートされた凹面反射鏡であり、楕円集光ミラー４
０の開口の大きさは、放電ランプ５０の大きさなどによ
っても異なるが、例えば１５０〜２００ｍｍとされる。
層がコートされた凹面反射鏡であり、楕円集光ミラー４
０の開口の大きさは、放電ランプ５０の大きさなどによ
っても異なるが、例えば１５０〜２００ｍｍとされる。
【００２７】楕円集光ミラー４０内に配置されている放
電ランプ５０は、図２に示した放電ランプ１０と同様の
構成を有するショートアーク型の放電ランプであり、５
１はバルブの膨出部、５２および５３はバルブの封止管
部、５４および５５は、バルブの両端に設けられた口金
である。この放電ランプ５０を構成する口金５５には、
図３に示したフィン部材２０と同様の構成を有するフィ
ン部材６０が取り付けられている。
電ランプ５０は、図２に示した放電ランプ１０と同様の
構成を有するショートアーク型の放電ランプであり、５
１はバルブの膨出部、５２および５３はバルブの封止管
部、５４および５５は、バルブの両端に設けられた口金
である。この放電ランプ５０を構成する口金５５には、
図３に示したフィン部材２０と同様の構成を有するフィ
ン部材６０が取り付けられている。
【００２８】空気吸引口７０はランプハウス３０の壁面
に設けられ、このランプハウス３０の外部に配置された
吸込式の冷却ファン（図示省略）に接続されている。こ
の空気吸引口７０からランプハウス３０内の空気が排出
されることにより、楕円集光ミラー４０内において、そ
の頂部側から開口側に向かって流れる冷却風が発生する
（ランプハウス３０内における冷却風の流れ方向を矢印
で示す）。
に設けられ、このランプハウス３０の外部に配置された
吸込式の冷却ファン（図示省略）に接続されている。こ
の空気吸引口７０からランプハウス３０内の空気が排出
されることにより、楕円集光ミラー４０内において、そ
の頂部側から開口側に向かって流れる冷却風が発生する
（ランプハウス３０内における冷却風の流れ方向を矢印
で示す）。
【００２９】本実施例の光源装置の使用時（放電ランプ
５０の点灯時）において、放電ランプ５０からの放射光
は、楕円集光ミラー４０を経てあるいは直接にコールド
ミラー８１に到達し、当該コールドミラー８１に反射さ
れ、光学ユニット８３およびコールドミラー８２を経
て、ランプハウス３０の照射窓３１から被照射物Ｓに照
射される。
５０の点灯時）において、放電ランプ５０からの放射光
は、楕円集光ミラー４０を経てあるいは直接にコールド
ミラー８１に到達し、当該コールドミラー８１に反射さ
れ、光学ユニット８３およびコールドミラー８２を経
て、ランプハウス３０の照射窓３１から被照射物Ｓに照
射される。
【００３０】本実施例の光源装置によれば、フィン部材
６０の有するフィンに、冷却ファンにより発生する冷却
風を接触させることによって、放電ランプ５０の口金５
５および封止管部５３の温度を十分に低下させることが
でき、当該封止管部５３にクラックなどの損傷を発生さ
せず、ランプ寿命に至るまで安定的に使用することがで
きる。また、ランプ発光部からの放射光や集光ミラーか
らの反射光の殆どは、フィンによって遮られることなく
光学ユニット８３に到達するので、被照射物Ｓへの照射
光量は低下しない。
６０の有するフィンに、冷却ファンにより発生する冷却
風を接触させることによって、放電ランプ５０の口金５
５および封止管部５３の温度を十分に低下させることが
でき、当該封止管部５３にクラックなどの損傷を発生さ
せず、ランプ寿命に至るまで安定的に使用することがで
きる。また、ランプ発光部からの放射光や集光ミラーか
らの反射光の殆どは、フィンによって遮られることなく
光学ユニット８３に到達するので、被照射物Ｓへの照射
光量は低下しない。
【００３１】＜実験例＞図５に示したような構成を有す
る本発明の光源装置を製造した。この光源装置の具体的
構成は以下のとおりである。
る本発明の光源装置を製造した。この光源装置の具体的
構成は以下のとおりである。
【００３２】〔イ〕ランプハウス（３０）の大きさは、
高さ５６０ｍｍ、幅３６０ｍｍ、奥行４００ｍｍ、内容
積が８０，６４０ｃｍ3 である。 〔ロ〕楕円集光ミラー（４０）の開口の大きさ（径）は
２００ｍｍである。 〔ハ〕放電ランプ（５０）は、図２に示したようなショ
ートアーク型の超高圧水銀ランプであって、ランプ入力
が８００Ｗ、バルブの長さが４５ｍｍ、バルブの外径が
３０ｍｍであり、楕円集光ミラーの開口側に位置する口
金（５５）にはフィン部材（６０）が取り付けられてい
る。このフィン部材はアルミニウム製であり、フィン部
材の口金保持部は、その高さが２０ｍｍ、内径が１３．
９ｍｍ、肉厚が２．５ｍｍであり、口金保持部から突出
する５枚のフィンは、その肉厚が２ｍｍ、突出長さが６
ｍｍである。 〔ニ〕空気吸引口（７０）からの排気量、すなわち、冷
却ファンによる冷却風の送風量は毎秒１ｍ3 に設定し
た。
高さ５６０ｍｍ、幅３６０ｍｍ、奥行４００ｍｍ、内容
積が８０，６４０ｃｍ3 である。 〔ロ〕楕円集光ミラー（４０）の開口の大きさ（径）は
２００ｍｍである。 〔ハ〕放電ランプ（５０）は、図２に示したようなショ
ートアーク型の超高圧水銀ランプであって、ランプ入力
が８００Ｗ、バルブの長さが４５ｍｍ、バルブの外径が
３０ｍｍであり、楕円集光ミラーの開口側に位置する口
金（５５）にはフィン部材（６０）が取り付けられてい
る。このフィン部材はアルミニウム製であり、フィン部
材の口金保持部は、その高さが２０ｍｍ、内径が１３．
９ｍｍ、肉厚が２．５ｍｍであり、口金保持部から突出
する５枚のフィンは、その肉厚が２ｍｍ、突出長さが６
ｍｍである。 〔ニ〕空気吸引口（７０）からの排気量、すなわち、冷
却ファンによる冷却風の送風量は毎秒１ｍ3 に設定し
た。
【００３３】上記の光源装置について、冷却ファンを動
作させると共に放電ランプを点灯し、点灯を開始してか
ら３０分経過後における口金（５５）の表面温度を測定
したところ１５３．７℃であった。また、ランプハウス
の照射窓（３１）から４ｍｍ離間したところに照度計を
配置して照度を測定したところ１７９０ｍＷ／ｃｍ2 で
あった。更に、口金（５５）に取り付けるフィン部材
を、図４（イ）〜（ニ）に示したものに変更したこと以
外は同様にして、口金温度および照度を測定したとこ
ろ、口金温度は１５７〜１７０℃、照度は１７００〜１
９００ｍＷ／ｃｍ2 であった。
作させると共に放電ランプを点灯し、点灯を開始してか
ら３０分経過後における口金（５５）の表面温度を測定
したところ１５３．７℃であった。また、ランプハウス
の照射窓（３１）から４ｍｍ離間したところに照度計を
配置して照度を測定したところ１７９０ｍＷ／ｃｍ2 で
あった。更に、口金（５５）に取り付けるフィン部材
を、図４（イ）〜（ニ）に示したものに変更したこと以
外は同様にして、口金温度および照度を測定したとこ
ろ、口金温度は１５７〜１７０℃、照度は１７００〜１
９００ｍＷ／ｃｍ2 であった。
【００３４】＜比較実験例＞口金（５５）にフィン部材
を取り付けていない放電ランプを用いたこと以外は、上
記の実験例と同様にして、口金温度および照度を測定し
たところ、口金温度は２５０℃、照度は１８５０ｍＷ／
ｃｍ2 であった。
を取り付けていない放電ランプを用いたこと以外は、上
記の実験例と同様にして、口金温度および照度を測定し
たところ、口金温度は２５０℃、照度は１８５０ｍＷ／
ｃｍ2 であった。
【００３５】＜評価＞以上の実験例および比較実験例か
ら、次のことが理解される。 （１）楕円集光ミラーの開口側に位置する口金にフィン
部材を取り付けることにより、ランプ点灯時における当
該口金の温度を２５０℃から１７０℃以下にまで低下さ
せることができた。このように、実験例で用いた各フィ
ン部材は、優れた放熱効果を奏するものである。 （２）前記口金にフィン部材を取り付けることによる照
度の低下率は２〜３％に止まった。このように、フィン
部材の有するフィンを、楕円集光ミラーの光軸と平行に
伸びるよう構成すれば、光の利用率は殆ど影響を受けな
い。 （３）楕円集光ミラーの開口側に位置する口金にフィン
部材を取り付けるという簡単な構成によって、封止管部
に埋設されているモリブデン箔の酸化および当該封止管
部のクラックなどが発生せず、放電ランプの耐久性を格
段に向上させることができる。
ら、次のことが理解される。 （１）楕円集光ミラーの開口側に位置する口金にフィン
部材を取り付けることにより、ランプ点灯時における当
該口金の温度を２５０℃から１７０℃以下にまで低下さ
せることができた。このように、実験例で用いた各フィ
ン部材は、優れた放熱効果を奏するものである。 （２）前記口金にフィン部材を取り付けることによる照
度の低下率は２〜３％に止まった。このように、フィン
部材の有するフィンを、楕円集光ミラーの光軸と平行に
伸びるよう構成すれば、光の利用率は殆ど影響を受けな
い。 （３）楕円集光ミラーの開口側に位置する口金にフィン
部材を取り付けるという簡単な構成によって、封止管部
に埋設されているモリブデン箔の酸化および当該封止管
部のクラックなどが発生せず、放電ランプの耐久性を格
段に向上させることができる。
【００３６】
【発明の効果】本発明のランプは、放熱効果に優れたフ
ィンを有しているので、集光ミラー内に当該ランプを配
置して点灯したときに、封止管部のクラックなど過熱に
起因するバルブの損傷を生じない。しかも、本発明のラ
ンプを構成するフィンは、集光ミラーの光軸と平行に伸
びているので、ランプ発光部からの放射光や集光ミラー
からの反射光の殆どはフィンによって遮られることなく
集光され、光の利用率は殆ど低下しない。
ィンを有しているので、集光ミラー内に当該ランプを配
置して点灯したときに、封止管部のクラックなど過熱に
起因するバルブの損傷を生じない。しかも、本発明のラ
ンプを構成するフィンは、集光ミラーの光軸と平行に伸
びているので、ランプ発光部からの放射光や集光ミラー
からの反射光の殆どはフィンによって遮られることなく
集光され、光の利用率は殆ど低下しない。
【００３７】本発明の光源装置によれば、ランプ発光部
からの放射光や集光ミラーからの反射光の殆どは、フィ
ンによって遮られることなく利用されるので、被照射物
への照射光量は殆ど低下しない。従って、ランプから出
射される光を効率よく被照射物へ照射することができ
る。
からの放射光や集光ミラーからの反射光の殆どは、フィ
ンによって遮られることなく利用されるので、被照射物
への照射光量は殆ど低下しない。従って、ランプから出
射される光を効率よく被照射物へ照射することができ
る。
【図１】従来の光源装置の要部を示す説明図である。
【図２】本発明のランプの一例を示す説明図である。
【図３】フィン部材の一例を示す平面図および側面図で
ある。
ある。
【図４】フィン部材の他の例を示す平面図である。
【図５】本発明の光源装置の一例を示す説明図である。
１０ 放電ランプ １１ バルブ １２ 陰極 １３ 陽極 １４，１５ 口金 ２０ フィン部材 ２１ 口金保持部 ２２ フィン ２３ スリット ２４，２５ 小穴 ３０ ランプハウス ３１ ４０ 楕円集光ミラー ５０ 放電ランプ ５１ 膨出部 ５２，５３ 封止管部 ５４，５５ 口金 ６０ フィン部材 ７０ 空気吸引口 ８１，８２ コールドミラー ８３ 光学ユニット
Claims (3)
- 【請求項１】 集光ミラー内に配置されるランプであっ
て、 前記集光ミラーの開口側の口金に、当該集光ミラーの光
軸と平行に伸びるフィンを有するフィン部材が取り付け
られていることを特徴とするランプ。 - 【請求項２】 集光ミラー内に配置されるランプであっ
て、 前記集光ミラーの開口側の口金に、当該集光ミラーの光
軸と平行に伸びるフィンが形成されていることを特徴と
するランプ。 - 【請求項３】 集光ミラーと、当該集光ミラー内に配置
されたランプと、当該ランプを冷却するために、集光ミ
ラーの開口側から頂部側に向かって、あるいは、集光ミ
ラーの頂部側から開口側に向かって、前記ランプの軸方
向とほぼ平行に流れる冷却風を発生させる冷却手段とを
備えてなり、 前記ランプは、請求項１又は請求項２記載のランプであ
ることを特徴とする光源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5410495A JPH08250071A (ja) | 1995-03-14 | 1995-03-14 | ランプおよび光源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5410495A JPH08250071A (ja) | 1995-03-14 | 1995-03-14 | ランプおよび光源装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08250071A true JPH08250071A (ja) | 1996-09-27 |
Family
ID=12961314
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5410495A Pending JPH08250071A (ja) | 1995-03-14 | 1995-03-14 | ランプおよび光源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08250071A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001040861A1 (en) * | 1999-12-02 | 2001-06-07 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Discharge lamp and lamp device |
| JP2002217093A (ja) * | 2001-01-23 | 2002-08-02 | Canon Inc | 半導体製造装置 |
| JP2002541630A (ja) * | 1999-03-31 | 2002-12-03 | イマックス コーポレーション | アークランプの冷却方法 |
| JP2006054064A (ja) * | 2004-08-10 | 2006-02-23 | Ushio Inc | ショートアークランプ |
| WO2007082885A1 (de) | 2006-01-17 | 2007-07-26 | Osram Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Hochdruckentladungslampe mit am ende des entladungsgefässes angebrachten kühllamellen |
| DE102009021524B3 (de) * | 2009-05-15 | 2010-11-11 | Osram Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Hochdruckentladungslampe mit Kühlelement |
| JP2012531022A (ja) * | 2009-06-22 | 2012-12-06 | オスラム アクチエンゲゼルシャフト | 高圧放電ランプ |
| US8540377B2 (en) | 2009-03-16 | 2013-09-24 | Seiko Epson Corporation | Projector light source device having projections regulating cooling airflow |
-
1995
- 1995-03-14 JP JP5410495A patent/JPH08250071A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002541630A (ja) * | 1999-03-31 | 2002-12-03 | イマックス コーポレーション | アークランプの冷却方法 |
| WO2001040861A1 (en) * | 1999-12-02 | 2001-06-07 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Discharge lamp and lamp device |
| US6784601B2 (en) | 1999-12-02 | 2004-08-31 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Discharge lamp including heat releasing device and lamp device |
| JP2002217093A (ja) * | 2001-01-23 | 2002-08-02 | Canon Inc | 半導体製造装置 |
| JP2006054064A (ja) * | 2004-08-10 | 2006-02-23 | Ushio Inc | ショートアークランプ |
| WO2007082885A1 (de) | 2006-01-17 | 2007-07-26 | Osram Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Hochdruckentladungslampe mit am ende des entladungsgefässes angebrachten kühllamellen |
| US7977884B2 (en) | 2006-01-17 | 2011-07-12 | Osram Gesellschaft Mit Beschraenkter Haftung | High-pressure discharge lamp having cooling laminates fitted at the end of the discharge vessel |
| US8540377B2 (en) | 2009-03-16 | 2013-09-24 | Seiko Epson Corporation | Projector light source device having projections regulating cooling airflow |
| DE102009021524B3 (de) * | 2009-05-15 | 2010-11-11 | Osram Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Hochdruckentladungslampe mit Kühlelement |
| WO2010130544A1 (de) * | 2009-05-15 | 2010-11-18 | Osram Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Hochdruckentladungslampe mit kühlelement |
| US8519623B2 (en) | 2009-05-15 | 2013-08-27 | Osram Gmbh | High-pressure discharge lamp having a cooling element |
| JP2012531022A (ja) * | 2009-06-22 | 2012-12-06 | オスラム アクチエンゲゼルシャフト | 高圧放電ランプ |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20010213 |