JPH08252821A - 内周刃切断機のインゴット取付装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 インゴットＷの搬入・取付が容易で１人の作
業者でも可能であり、短時間に作業ができる内周刃式切
断機のインゴット取付装置を提供する。 【構成】 Ｙ方向に移動自在な移動ベース２６にスライ
ドテーブル４０を設け、スライドテーブル４０にインゴ
ットＷを載せて、ワークホルダー６のホルダーアリ溝６
ａ（開口面がＸＺ面内）に対するワークブロック７のブ
ロックアリ面７ａのＸＹ方向とＸ位置をスライドテーブ
ル４０によって調整し、Ｚ位置をＺ軸５をＺ方向に移動
して調整する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、Ｘ方向（水平の一方
向）に移動する送りテーブルにＺ方向（上下方向）移動
自在に支持されたワークホルダーにインゴットを取り付
け、水平面内で回転するＩＤブレードにインゴットを送
り込んでインゴットを切断する縦型の内周刃式切断機に
係わり、特に、内周刃切断機にインゴットを取り付ける
ときに、インゴット上部に取り付けられたワークブロッ
クのアリ面を、ワークホルダーのアリ溝に取り付けるた
めの装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体素子の素材となるシリコン等のウ
ェーハは、インゴットの状態から内周刃式切断機にて薄
く切り出される。内周刃式切断機はインゴットの取付姿
勢によって縦型と横型に分類できるが、図１及び図２に
本発明の実施例として後述する縦型の内周刃式切断機の
例（要部立面図）を示す。

【０００３】図１及び図２において、内周刃式切断機
は、架台１の上面に設けらたテーブルガイド２に送りテ
ーブル３がＸ方向に移動自在に支持されるとともに、内
蔵された駆動機構によって駆動される。送りテーブル３
に設けられた上下ガイド４にＺ方向移動自在に支持され
たＺ軸５が、送りテーブル３に内蔵された駆動機構によ
って駆動される。Ｚ軸５の先端にはワークホルダー６が
設けられている。

【０００４】また、架台１の上部のテーブルガイド２の
隣には加工部が設けられている。加工部には加工部カバ
ー８内にテンションヘッドが、Ｚ方向に回転軸を有する
回転機構に支持されており、テンションヘッドにはＩＤ
ブレードが張り上げて取り付けられている（いずれも図
示せず）。

【０００５】このように構成された内周刃式切断機でイ
ンゴットＷからウェーハを切り出す場合、まず、インゴ
ットＷをワークホルダー６に正確な姿勢で取り付けるこ
とが必要である。これにはいくつかの方法があるが、そ
の一つは、ワークホルダー６の下面にアリ溝を形成して
おき、それに対応するアリ面が上面に形成されたワーク
ブロック７にインゴットＷを取り付け、インゴットＷが
取り付けられたワークブロック７のアリ面をワークホル
ダー６のアリ溝に取り付ける方法である。なお、ワーク
ホルダー６のアリ溝の開口面はＸＺ面内である。

【０００６】インゴットＷをワークホルダー６に取り付
けた後、内周刃式切断機を起動させると、Ｚ軸５が所定
の位置まで下降した後、ＩＤブレードが回転するととも
に送りテーブル３がＸ方向に移動してインゴットＷから
ウェーハが切り出される。

【０００７】ところで、近年、半導体の生産効率向上か
らインゴットＷの直径は次第に大きくなり、一度に取り
付けるインゴットＷの長さも長くなってきている。その
結果、インゴットＷの質量が大きくなって、インゴット
Ｗを内周刃式切断機に取り付るときには、インゴットＷ
を２人以上の作業者によって手で持って、あるいは天井
クレーン等で吊り下げながら行っている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ワーク
ブロック７をワークホルダー６に取り付るには、ワーク
ブロック７のアリ面（以下「ブロックアリ面７ａ」とい
う。）の水平面内回転方向・Ｚ方向位置・Ｘ方向位置を
ワークホルダー６のアリ溝（以下「ホルダーアリ溝６
ａ」という。）に合わせる必要がある。また、場合によ
っては、ＸＺ面内の傾き・ＹＺ面内（Ｘ方向と直交する
水平方向をＹ方向とする。）の傾きを調整することも必
要がある。以下、水平面内回転方向を「ＸＹ方向」、Ｚ
方向位置を「Ｚ位置」、Ｘ方向位置を「Ｘ位置」とい
う。

【０００９】そのため、ブロックアリ面７ａをホルダー
アリ溝６ａに取り付ける場合に、インゴットＷを２人以
上の作業者によって手で持ちながら場合は、インゴット
Ｗを長い時間支える必要があり、作業者に大きな負担が
かかる。また、天井クレーンでは細かな動きを実現しに
くいとともに、天井クレーンを操作する作業者とインゴ
ットＷをワークホルダー６に取り付る作業者と少なくと
も２人の作業者が必要である。したがって、インゴット
Ｗの搬入・取付において、作業者に大きな負担がかかっ
たり、多くの作業者が必要であったり、また、作業に長
い時間がかかるという問題がある。

【００１０】本発明はこのような事情を鑑みてなされた
もので、インゴットＷの搬入・取付が容易で１人の作業
者でも可能であり、短時間に作業ができる内周刃式切断
機のインゴット取付装置を提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明では前記目的を達
成するために、第一のインゴット取付装置を、 （イ）内周刃切断機の加工部カバー８等にガイド支持手
段１０を設ける。 （ロ）リニアガイド２４をガイド支持手段１０に着脱自
在に設ける。 （ハ）移動ベースベース２６をリニアガイド２４にＹ方
向に移動自在に設ける。 （ニ）水平面内回転及び水平方向移動が自在なスライド
テーブル４０を移動ベースベース２６に取り付ける。 （ホ）インゴットＷを載せる載台６０をスライドテーブ
ル４０の上面に設ける。 以上のように構成し、ブロックアリ面７ａのＸＹ方向と
Ｘ位置をスライドテーブル４０によって調整し、Ｚ位置
をＺ軸５をＺ方向に移動して調整する。

【００１２】また、ブロックアリ面７ａのＸＺ面内の傾
き・ＹＺ面内の傾きの調整が必要な場合は、ＸＺ面内及
びＹＺ面内に傾斜自在な傾斜テーブル３０を移動ベース
２６に取り付け、傾斜テーブル３０の上面にスライドテ
ーブル４０を取り付ける。

【００１３】また、第二のインゴット取付装置を、 （イ）内周刃切断機の加工部カバー８等にガイド支持手
段１０を設ける。 （ロ）リニアガイド２４をガイド支持手段１０に着脱自
在に設ける。 （ハ）移動ベース２６をリニアガイド２４にＹ方向に移
動自在に設ける。 （ニ）水平面内の回転が自在な回転テーブル５０を移動
ベース２６に取り付ける。 （ホ）インゴットＷを載せる載台６０を回転テーブル５
０の上面に設ける。 （ヘ）載台６０に載せられたインゴットＷのブロックア
リ面７ａの、ホルダーアリ溝６ａに対する、ＸＹ方向・
Ｚ位置・Ｘ位置を検出する姿勢検出手段を設ける。 （ト）姿勢検出手段による検出結果を表示する表示パネ
ル９０を設ける。 以上のように構成し、ブロックアリ面７ａのＸＹ方向を
回転テーブル５０によって調整し、Ｚ位置とＸ位置をそ
れぞれＺ軸５をＺ方向に、送りテーブル３をＸ方向に移
動して調整する。

【００１４】この場合、姿勢検出手段を、非接触式のセ
ンサーが設けられたセンサーユニット７０をブロックア
リ面７ａに取り付け、ホルダーアリ溝６ａに検出アーム
８０を取り付けて構成することができる。

【００１５】また、この装置の場合も、ブロックアリ面
７ａのＸＺ面内の傾き・ＹＺ面内の傾きの調整が必要な
場合は、ＸＺ面内及びＹＺ面内に傾斜自在な傾斜テーブ
ル３０を移動ベース２６に取り付け、傾斜テーブル３０
の上面に回転テーブル５０を取り付ける。

【００１６】

【作用】本発明に係る第一のインゴット取付装置では、
ブロックアリ面７ａの概略ＸＹ方向を設定しながらイン
ゴットＷを載台６０に載せ、ブロックアリ面７ａのＺ位
置をＺ軸５をＺ方向に移動して調整する。ブロックアリ
面７ａとホルダーアリ溝６ａとのＺ位置が合ったら、ス
ライドテーブル４０でインゴットＷを移動させてブロッ
クアリ面７ａのＸＹ方向とＸ位置を調整しながら、移動
ベース２６をＹ方向に押し込んで、ブロックアリ面７ａ
をホルダーアリ溝６ａに挿入する。

【００１７】また、第二のインゴット取付装置では、ブ
ロックアリ面７ａの概略ＸＹ方向を設定しながらインゴ
ットＷを載台６０に載せ、センサーユニット７０をブロ
ックアリ面７ａに取り付け、検出アーム８０をホルダー
アリ溝６ａに取り付ける。

【００１８】これによって、姿勢検出手段で検出された
結果が表示パネル９０に表示されるので、まず、ブロッ
クアリ面７ａのＸＹ方向を回転テーブル５０によって調
整する。次に、ブロックアリ面７ａのＺ位置をＺ軸５を
Ｚ方向に移動して調整する。さらに、ブロックアリ面７
ａのＸ位置を送りテーブル３をＸ方向に移動して調整す
る。調整が完了したら、センサーユニット７０と検出ア
ーム８０を取り外し、移動ベース２６をＹ方向に押し込
んで、ブロックアリ面７ａをホルダーアリ溝６ａに挿入
する。

【００１９】また、傾斜テーブル３０を移動ベース２６
に取り付け、傾斜テーブル３０の上面にスライドテーブ
ル４０又は回転テーブル５０を取り付けると、ブロック
アリ面７ａとホルダーアリ溝６ａのＸＺ面内の傾き・Ｙ
Ｚ面内の傾きが一致していない場合にも対応できる。

【００２０】

【実施例】

実施例１ 本発明に係る内周刃式切断機のインゴット取付装置の実
施例１は、傾斜テーブル３０の上にスライドテーブル４
０を取り付け、その上に載台６０を取り付けた例であ
る。インゴット取付装置の実施例１を内周刃式切断機に
取り付けた全体立面図を図１（ＸＺ面）及び図２（ＹＺ
面）に示す。

【００２１】また、傾斜テーブル３０とスライドテーブ
ル４０と載台６０を組み合わせた立面図を図３に、傾斜
テーブル３０の平面図を図４に、載台６０の平面図を図
５に示す。図３において、傾斜テーブル３０は図４のＡ
矢視図及びＢ−Ｂ断面図、スライドテーブル４０は中央
断面図、載台６０は図５のＥ−Ｅ断面図を表す。Ｈａは
傾斜テーブル３０の高さを、Ｈｂはスライドテーブル４
０の高さを表す。なお、実施例２で回転テーブル５０を
説明するときに用いる図６に、図４のＣ矢視図及びＤ−
Ｄ断面図を示す。

【００２２】図１・図２に示すように、内周刃式切断機
の加工部カバー８のＸＺ面にブラケット１１が２個固着
され、ブラケット１１に支持バー１２がＸ方向に向けて
取り付けられている。支持バー１２にはストップリング
１３が２個所定の間隔で設けられている。また、加工部
カバー８のブラケット１１が固着された面と反対側に、
受け駒１４が固着されている。これによって、ガイド支
持手段１０が構成されている。

【００２３】テーブルガイド２０では、下側に切り欠き
が形成された主脚２１が支持バー１２にその切り欠きが
係合して着脱自在に取り付けられ、ストップリング１３
によってＸ方向の位置が決められている。主脚２１には
Ｙ方向に延設されたレール２２が固着され、レール２２
の他方の端には従脚２３が固着されて、従脚２３は受け
駒１４に支持されている。

【００２４】レール２２の両側にはリニアガイド２４が
取り付けられ、リニアガイド２４に移動自在に設けられ
たスライダー２５の上端には移動ベース２６が取り付け
られている。主脚２１とベース２６には取扱のための取
っ手２７が設けられている。これによって、移動ベース
２６はＸＺ方向の位置が拘束されＹ方向にのみ移動自在
となる。

【００２５】図３・図４・図６に示すように、傾斜テー
ブル３０では、中プレート３２のＸ方向片側が下プレー
ト３１に板バネ３４で連結されて、中プレート３２がＸ
Ｚ面内に傾斜自在なっており、上プレート３３のＹ方向
片側が中プレート３２に板バネ３４で連結されて、上プ
レート３３がＹＺ面内に傾斜自在なっている。また、中
プレート３２の板バネ３４が取り付けられている側と反
対側２箇所に設けられたメネジに調整ネジ３６がそれぞ
れ設けられていて、下プレート３１と上プレート３３そ
れぞれに調整ネジ３６の先端が当接している。

【００２６】これによって、調整ネジ３６を回転する
と、下プレート３１を基準にして上プレート３３がＸＺ
面内又はＹＺ面内で傾斜する。傾斜量は中プレート３２
のネジ３６側２箇所に取り付けられた目盛り３８と下プ
レート３１及び上プレート３３に取り付けられた指示板
３７によって読みとる。

【００２７】図３に示すように、スライドテーブル４０
では、円形のベース４１の上面の同一円周上に、リテー
ナ４２ａで水平方向が拘束された多数の鋼球４２が設け
られ、円形のテーブル４３の下面が鋼球４２の上に載っ
て、テーブル４３が水平面内の回転と任意の水平方向移
動が自在となっている。

【００２８】また、ベース４１の上面の周辺で互いに直
交する４箇所に下側がコの字形状の抜け止め４４が固着
され、テーブル４３の下面の周辺で互いに直交する４箇
所にアーム４３ａが固着されて、アーム４３ａの先端が
抜け止め４４のコの字形状部分に入っている。さらに、
抜け止め４４に設けられたバネ掛け４５とアーム４３ａ
に固着されたバネ掛け４６に引っ張りバネ４７が掛けら
れている。なお、テーブル４３の周辺には角形のカバー
４８が取り付けられている。

【００２９】これによって、テーブル４３は水平面内の
回転と任意の水平方向移動が自在となるとともに、互い
に反対側に位置する引っ張りバネ４７同士のバネ圧が調
整されて、無負荷時には移動量のほぼ中央に位置する。
また、アーム４３ａの先端が抜け止め４４のコの字形状
部分に入っているため、テーブル４３を持ってもベース
４１が外れることはない。

【００３０】図３・図５に示すように、載台６０には、
上面の一部にＶ形状部６０ａが形成され、インゴットＷ
を載せたときはインゴットＷの外周をＶ形状部６０ａに
当接して載台６０上でのインゴットＷの水平方向の位置
を設定する。また、インゴットＷを回転してブロックア
リ面７ａのＸＹ方向を概略設定する。したがって、載台
６０上ではインゴットＷを滑らせることがあるため、載
台６０は樹脂等の材料でできている。

【００３１】次に、実施例１のインゴット取付装置の使
用方法を説明する。まず、作業者は取っ手２７等を用い
てテーブルガイド２０の主脚２１の下側の切り欠きを支
持バー１２に上から入れ、レール２２を倒して従脚２３
を受け駒１４に載せる。次に、移動ベース２６の位置を
Ｙ手前の状態にして載台６０にインゴットＷを載せ、イ
ンゴットＷの外周がＶ形状部６０ａに当接するまでイン
ゴットＷをＸ方向に滑らせるとともに、ブロックアリ面
７ａのＸＹ方向を概略設定する。

【００３２】この状態から移動ベース２６をＹ方向に移
動させてワークブロック７をワークホルダー６に近づ
け、ブロックアリ面７ａとホルダーアリ溝６ａとのＸＺ
面内やＹＺ面内の傾きが一致しているかどうか確認す
る。もし一致していない場合は調整ネジ３６によって調
整する。

【００３３】また、傾きの確認と前後してブロックアリ
面７ａとホルダーアリ溝６ａとのＺ位置を確認し、もし
合っていない場合にはＺ軸５をＺ方向に移動して調整す
る。この後、スライドテーブル４０でインゴットＷを動
かしてブロックアリ面７ａのＸＹ方向とＸ位置を調整し
ながら、移動ベース２６をＹ方向に押し込んで、ブロッ
クアリ面７ａをホルダーアリ溝６ａに挿入する。なお、
ホルダーアリ溝６ａに対するブロックアリ面７ａのＸ位
置が、スライドテーブル４０のＸ方向移動可能量の範囲
内になるように、あらかじめ、移動ベース２６に対する
ホルダーアリ溝６ａのＸ位置を設定しておく。

【００３４】実施例２ 本発明に係る内周刃式切断機のインゴット取付装置の実
施例２は、傾斜テーブル３０の上に回転テーブル５０を
取り付け、その上に載台６０を取り付けるとともに、ホ
ルダーアリ溝６ａに対するブロックアリ面７ａのＸＹ方
向、Ｘ位置、Ｚ位置をセンサーユニット７０及び検出ア
ーム８０によって検出して表示する例である。

【００３５】インゴット取付装置の実施例２の傾斜テー
ブル３０と回転テーブル５０と載台６０を組み合わせた
立面図を図６に、回転テーブル５０の平面図（一部は図
６のＦ−Ｆ断面図）を図７に示す。図６において、回転
テーブル５０は図７のＧ−Ｇ断面図（ローラ５４ａはＧ
−Ｇ線上には位置しないが説明上図示）、傾斜テーブル
３０は図４のＣ矢視図及びＤ−Ｄ断面図を表す。Ｈａは
傾斜テーブル３０の高さを、Ｈｃは回転テーブル５０の
高さを表す。

【００３６】また、センサーユニット７０及び検出アー
ム８０の平面図を図８に、図８のＪ−Ｊ断面図を図９
に、図８のＫ矢視図を図１０に示す。さらに、表示パネ
ル９０を図１１に示す。なお、内周刃式切断機のガイド
支持手段１０、テーブルガイド２０、傾斜テーブル３０
及び載台６０は実施例１と同じであるので説明は省略す
る。

【００３７】図６及び図７に示すように、回転テーブル
５０では、円形のベース５１の上面の同一円周上に、リ
テーナ５２ａで水平方向が拘束された多数の鋼球５２が
設けられ、円形のテーブル５３が鋼球５２の上に載って
いる。そして、ベース５１の上面の内側に同一円周上略
１２０゜間隔で３個の軸５４が固着されて、軸５４にロ
ーラ５４ａが回転自在に支持され、ローラ５４ａはテー
ブル５３の下側内周面に当接している。

【００３８】また、ベース５１の上面にブロック５６が
固着され、ブロック５６には球面軸受５６ａが取り付け
られていて、球面軸受５６ａに調整軸５７が回転自在に
支持されている。テーブル５３の下面の周辺にアーム５
３ａが固着され、アーム５３ａには丸ナット５５がその
円形状を水平面内回転自在に設けられている。そして、
丸ナット５５に形成されたメネジに、調整軸５７の先端
に形成されたオネジがねじ込まれている。

【００３９】さらに、実施例１のスライドベース４０と
同様に、ベース５１の上面の周辺で互いに直交する４箇
所にコの字形状の抜け止め５８が固着されている。抜け
止め５８の１つはアーム５３ａの近傍に設けられ、アー
ム５３ａの先端が抜け止め５８のコの字形状部分に入っ
ている。また、その他の抜け止め５８に対応するテーブ
ル５３の下面の周辺３箇所にアーム５３ｂが固着され、
アーム５３ｂの先端が抜け止め５８のコの字形状部分に
入っている。テーブル５３の周辺には角形のカバー５９
が取り付けられている。

【００４０】これによって、テーブル５３は水平面内回
転自在となり、調整軸５７を回すことによって所定の角
度回転する。また、アーム５３ａ及び５３ｂの先端が抜
け止め５８のコの字形状部分に入っているため、テーブ
ル５３を持ってもベース５１が外れることはない。

【００４１】図８・図９・図１０に示すように、センサ
ーユニット７０では、下側にブロックアリ面７ａに対応
するアリ溝７１ａが形成されたベース７１があり、ベー
ス７１の上面に各種のセンサーが設けられている。

【００４２】すなわち、ほぼ中央にセンサーホルダー７
２によって光電センサー７２ａが取り付けられ、光電セ
ンサー７２ａの投光方向には小さい穴７３ａの開いた板
７３が固着されている。光電センサー７２ａと小さい穴
７３ａによって決まる光電センサー７２ａの光軸は、ア
リ溝７１ａと平行な方向である。

【００４３】また、光電センサー７２ａの光軸を中心に
してほぼ対称の位置に磁気センサー７４ａ、７４ｂ、７
５ａ、７５ｂが２個ずつ組み合わされて、それぞれセン
サーホルダー７４及び７５に取り付けられている。な
お、ベース７１にはカバー７６（図８では図示省略）が
取り付けられているが、光電センサー７２ａの光軸近傍
には穴７６ａが開けられている。

【００４４】図８・図９に示すように、検出アーム８０
では、ホルダーアリ溝６ａに着脱自在なアリ板８１が設
けられ、アリ板８１に逆Ｌ字形のアーム８２が固着され
ている。また、アーム８２の鉛直部８２ａには反射板８
３が、アーム８２の水平部８２ｂには磁性板８４が固着
されている。

【００４５】センサーユニット７０及び検出アーム８０
はこのように構成されており、光電センサー７２ａの投
光部から出て板７３の小さい穴７３ａを通過した光が反
射板８３に反射されて受光部に戻ってくる場合に、ブロ
ックアリ面７ａのＸＹ方向が正規の方向であると判断さ
れる。

【００４６】磁気センサー７４ａと７４ｂとはＺ方向の
位置を変えて、あるいは磁性板８４を検知する感度に差
をもたせて設けられており、一方がＯＮ、他方がＯＦＦ
の場合に、ブロックアリ面７ａが正規のＺ位置であると
判断される。

【００４７】また、磁気センサー７５ａと７５ｂとはＸ
方向の位置を変えて、あるいは磁性板８４を検知する感
度に差をもたせて設けられており、一方がＯＮ、他方が
ＯＦＦの場合に、ブロックアリ面７ａが正規のＸ位置で
あると判断される。

【００４８】図１１に示すように、表示パネル９０に
は、センサーユニット７０及び検出アーム８０によって
検出されたブロックアリ面７ａのＸＹ方向を表示するラ
ンプ９１、Ｚ位置を表示するランプ９２及び９３、Ｘ位
置を表示するランプ９４及び９５が設けられている。

【００４９】ランプ９１はブロックアリ面７ａのＸＹ方
向が正規の方向になった場合に点灯する。ランプ９２は
磁気センサー７４ａに、ランプ９３は磁気センサー７４
ｂに対応する。同様に、ランプ９４は磁気センサー７５
ａに、ランプ９５は磁気センサー７５ｂに対応する。

【００５０】次に、実施例２のインゴット取付装置の使
用方法を説明する。まず、作業者は取っ手２７等を用い
てテーブルガイド２０の主脚２１の下側の切り欠きを支
持バー１２に上から入れ、レール２２を倒して従脚２３
を受け駒１４に載せる。次に、移動ベース２６の位置が
Ｙ手前の状態にしておいて載台６０にインゴットＷを載
せ、インゴットＷの外周がＶ形状部６０ａに当接するま
でインゴットＷをＸ方向に滑らせるとともに、ブロック
アリ面７ａのＸＹ方向を概略設定する。

【００５１】この状態から、センサーユニット７０をブ
ロックアリ面７ａに取り付け、検出アーム８０のアリ板
８１をブロックアリ溝６ａに取り付ける。そして、検出
アーム８０のアーム８２の水平部８２ｂが磁気センサー
７４ａ、７４ｂ、７５ａ、７５ｂに干渉しないことを確
認して、移動ベース２６をＹ方向に移動させて図８・図
９に示した位置までワークブロック７をワークホルダー
６に近づける。

【００５２】このとき、ブロックアリ面７ａとホルダー
アリ溝６ａとのＸＺ面内やＹＺ面内の傾きが一致してい
るかどうか確認し、もし一致していない場合は調整ネジ
３６によって調整する。

【００５３】次に、光電センサー７２ａと反射板８３と
により検出されて表示パネル９０に表示された結果を見
て、ランプ９１が点灯していない場合は、ランプ９１が
点灯するまでブロックアリ面７ａのＸＹ方向を回転テー
ブル５０によって調整する。

【００５４】また、磁気センサー７４ａ、７４ｂと磁性
板８４とにより検出されて表示パネル９０に表示された
結果を見て、ランプ９２とランプ９３のいずれもが未点
灯又は点灯の場合は、ホルダーアリ溝６ａのＺ位置をＺ
軸５によって次のように調整する。 （イ）ランプ９２とランプ９３のいずれも未点灯のとき
は、Ｚ軸５をＺ下方向に移動する。 （ロ）ランプ９２とランプ９３のいずれも点灯のとき
は、Ｚ軸５をＺ上方向に移動する。

【００５５】さらに、磁気センサー７５ａ、７５ｂと磁
性板８４とにより検出されて表示パネル９０に表示され
た結果を見て、ランプ９４とランプ９５のいずれもが未
点灯又は点灯の場合は、ホルダーアリ溝６ａのＸ位置を
送りテーブル３によって次のように調整する。 （イ）ランプ９４とランプ９５のいずれも未点灯のとき
は、送りテーブル３をＸ左方向に移動する。 （ロ）ランプ９４とランプ９５のいずれも点灯のとき
は、送りテーブル３をＸ右方向に移動する。

【００５６】こうして、ホルダーアリ溝６ａに対するブ
ロックアリ面７ａのＸＹ方向・Ｚ位置・Ｘ位置の調整が
完了したら、センサーユニット７０と検出アーム８０を
取り外し、移動ベース２６をＹ方向に押し込んで、ブロ
ックアリ面７ａをホルダーアリ溝６ａに挿入する。

【００５７】なお、内周刃式切断機では結晶軸に合わせ
て切断するために、インゴットＷをＸＺ面内やＹＺ面内
に傾けて切断する。そのために、上下ガイド４がＸＺ面
内やＹＺ面内に傾斜自在に構成されていたり、あるいは
ワークホルダー６がＸＺ面内やＹＺ面内に傾斜自在に構
成されていたりする。したがって、インゴットＷをワー
クホルダー６に取り付る場合に、ホルダーアリ溝６ａを
ＸＺ面内やＹＺ面内に傾けたままで行うときは、傾斜テ
ーブル３０が必要となるが、ホルダーアリ溝６ａをＸＺ
面内やＹＺ面内に傾けずにＸＹ面内に平行にして行うと
きは、傾斜テーブル３０を使用しなくてもよい。

【００５８】また、本発明は以上説明した実施例に限定
されるものでなく、次の場合にも適用できる。 （イ）スライドテーブル４０はＸ方向のみに移動自在な
テーブルに回転テーブル５０を組み合わせたものでもよ
い。 （ロ）姿勢検出手段は、ワークホルダー６側にセンサー
を設けてもよいし、ワークホルダー６あるいはワークブ
ロック７に接触式のセンサーを設けて、ブロックアリ面
７ａの姿勢を検出してもよい。センサーの種類には限定
されない。

【００５９】

【発明の効果】以上説明したように本発明に係る第一の
インゴット取付装置では、Ｙ方向に移動自在な移動ベー
ス２６にスライドテーブル４０を設け、スライドテーブ
ル４０にインゴットＷを載せて、ホルダーアリ溝６ａに
対するブロックアリ面７ａのＸＹ方向とＸ位置をスライ
ドテーブル４０によって調整し、Ｚ位置をＺ軸５をＺ方
向に移動して調整するようにした。

【００６０】また、第二のインゴット取付装置では、Ｙ
方向に移動自在な移動ベース２６に回転テーブル５０を
設け、回転テーブル５０にインゴットＷを載せるととも
に、姿勢検出手段により、ホルダーアリ溝６ａに対する
インゴットＷのブロックアリ面７ａのＸＹ方向・Ｚ位置
・Ｘ位置を検出して、ブロックアリ面７ａのＸＹ方向を
回転テーブル５０によって調整し、Ｚ位置とＸ位置をそ
れぞれＺ軸５をＺ方向に、送りテーブル３をＸ方向に移
動して調整するようにした。

【００６１】したがって、インゴットＷの搬入・取付が
容易で１人の作業者でも可能であり、短時間に作業がで
きる内周刃式切断機のインゴット取付装置を提供するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のインゴット取付装置の実施例１を内周
刃式切断機に取り付けた全体立面図（ＸＺ面）

【図２】本発明のインゴット取付装置の実施例１を内周
刃式切断機に取り付けた全体立面図（ＹＺ面）

【図３】本発明のインゴット取付装置の実施例１で、傾
斜テーブルとスライドテーブルと載台を組み合わせた立
面図

【図４】本発明のインゴット取付装置の実施例１及び２
の傾斜テーブルの平面図

【図５】本発明のインゴット取付装置の実施例１及び２
の載台の平面図

【図６】本発明のインゴット取付装置の実施例２で、傾
斜テーブルと回転テーブルと載台を組み合わせた立面図

【図７】本発明のインゴット取付装置の実施例２の回転
テーブルの平面図

【図８】本発明のインゴット取付装置の実施例２で、セ
ンサーユニット及び検出アームの平面図

【図９】図８のＪ−Ｊ断面図

【図１０】図８のＫ矢視図

【図１１】本発明のインゴット取付装置の実施例２の表
示パネル図

【符号の説明】

６………内周刃式切断機のワークホルダー ７………ワークブロック １０……ガイド支持手段 １２……支持バー ２０……テーブルガイド ２１……主脚 ２６……移動ベース ３０……傾斜テーブル ４０……スライドテーブル ５０……回転テーブル ６０……載台 ７０……センサーユニット ８０……検出アーム ９０……表示パネル Ｗ………インゴット

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】Ｘ方向に移動する送りテーブルにＺ方向移
   動自在に支持されたワークホルダーにインゴットを取り
   付け、水平面内で回転するＩＤブレードにインゴットを
   送り込んでインゴットを切断する縦型の内周刃式切断機
   における、インゴット上部に取り付けられたワークブロ
   ックのアリ面を、ＸＺ面内に開口面を有するワークホル
   ダーのアリ溝に取り付けるための装置であって内周刃切
   断機に設けられたガイド支持手段と、 そのガイド支持手段に着脱自在に支持されたリニアガイ
   ドと、 そのリニアガイドにＸ方向と直交する水平方向に移動自
   在に支持された移動ベースと、 その移動ベースに取り付けられ、水平面内回転及び水平
   方向移動が自在なスライドテーブルと、 そのスライドテーブルの上面に設けられ、インゴットを
   載せる載台と、から構成され、 前記ワークブロックのアリ面の水平面内回転方向及びＸ
   方向位置を前記スライドテーブルによって調整し、前記
   ワークブロックのアリ面のＺ方向位置を前記ワークホル
   ダーをＺ方向に移動して調整することを特徴とする内周
   刃切断機のインゴット取付装置。
2. 【請求項２】互いに直交する２方向に傾斜自在な傾斜テ
   ーブルが、前記移動ベースに取り付けられ、 その傾斜テーブルの上面に前記スライドテーブルが取り
   付けられたことを特徴とする請求項１に記載の内周刃切
   断機のインゴット取付装置。
3. 【請求項３】Ｘ方向に移動する送りテーブルにＺ方向移
   動自在に支持されたワークホルダーにインゴットを取り
   付け、水平面内で回転するＩＤブレードにインゴットを
   送り込んでインゴットを切断する縦型の内周刃式切断機
   における、インゴット上部に取り付けられたワークブロ
   ックのアリ面を、ＸＺ面内に開口面を有するワークホル
   ダーのアリ溝に取り付けるための装置であって内周刃切
   断機に設けられたガイド支持手段と、 そのガイド支持手段に着脱自在に支持されたリニアガイ
   ドと、 そのリニアガイドにＸ方向と直交する水平方向に移動自
   在に支持された移動ベースと、 その移動ベースに取り付けられ、水平面内の回転が自在
   な回転テーブルと、 その回転テーブルの上面に設けられ、インゴットを載せ
   る載台と、 その載台に載せられたインゴットの前記ワークブロック
   のアリ面の、前記ワークホルダーのアリ溝に対する、水
   平面内回転方向及びＺ方向位置並びにＸ方向位置を検出
   する姿勢検出手段と、 その姿勢検出手段による検出結果を表示する表示パネル
   と、から構成され、 前記ワークブロックのアリ面の水平面内回転方向を前記
   回転テーブルによって調整し、前記ワークブロックのア
   リ面のＺ方向位置及びＸ方向位置をそれぞれ前記ワーク
   ホルダーをＺ方向に、前記送りテーブルをＸ方向に移動
   させて調整することを特徴とする内周刃切断機のインゴ
   ット取付装置。
4. 【請求項４】前記姿勢検出手段が、 前記ワークブロックのアリ面に着脱自在に設けられた非
   接触式のセンサーと、 前記ワークホルダーのアリ溝に着脱自在に設けられた検
   出アームと、 から構成されたことを特徴とする請求項３に記載の内周
   刃切断機のインゴット取付装置。
5. 【請求項５】前記姿勢検出手段が、 前記ワークブロックのアリ面に着脱自在に設けられたベ
   ースと、 そのベースに、水平方向に検出方向を向けて取り付けら
   れた１個の光電センサーと、 そのベースに、Ｚ方向に検出方向を向けて取り付けられ
   た４個の磁気センサーと、 前記ワークホルダーのアリ溝に着脱自在に設けられたア
   リ板と、 そのアリ板に固着された逆Ｌ字形のアームと、 そのアームの鉛直部に固着された反射板と、 そのアームの水平部に固着された磁性板と、から構成さ
   れ、 前記光電センサーと前記反射板によって前記ワークブロ
   ックのアリ面の水平面内回転方向を検出し、 前記磁気センサー４個のうちの２個と前記磁性板とのＺ
   方向距離によって前記ワークブロックのアリ面の高さを
   検出し、 前記磁気センサーの他の２個と前記磁性板の端面との水
   平距離によって前記ワークブロックのアリ面のＸ方向位
   置を検出する、ことを特徴とする請求項４に記載の内周
   刃切断機のインゴット取付装置。
6. 【請求項６】互いに直交する２方向に傾斜自在な傾斜テ
   ーブルが、前記移動ベースに取り付けられ、 その傾斜テーブルの上面に前記回転テーブルが取り付け
   られたことを特徴とする請求項３、請求項４又は請求項
   ５に記載の内周刃切断機のインゴット取付装置。