JPH08255576A - イオン源及びこれを用いた質量分析装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 イオンビームの発散角とビーム幅の制約を同
時に満足するイオン源とこれを備えた高質量域で高分解
能化、高感度化を図った質量分析装置を提供すること。 【構成】 イオン源１で生成したイオンは引き出されて
イオンビームとなり、セクタ磁場３で質量分離され、最
終的に質量分離スリットを通過したイオン電流が検出器
で測定される。エミッタ１１はエミッタ支持体１６によ
り、対向電極１２の後方位置に対向電極１２と平行で長
手方向がイオンビ−ムの旋回軸方向とほぼ直交するよう
に設置される。対向電極１２のスリットから引き出され
たビームはＺ−Ｘ面では、ほぼ平行ビームであるので、
ｘ方向収束電極１４によりビーム幅のみを調整すればよ
い。一方、Ｚ−Ｙ面のイオンビームは等方的に出射され
るため、ｙ方向収束電極１３により平行ビームに調整し
てＳ−スリット１５を透過させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は質量分析装置に係わり、
特に角度分散の小さな高透過率のイオンビームを引き出
すのに好適な電界脱離イオン源あるいは電界イオン化イ
オン源等のイオン源及びこれを備えた質量分析装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】図４に従来の電界脱離イオン源（以下、
ＦＤイオン源と称す）を備えた質量分析装置の鳥瞰図を
示す。同図においてエミッタ11は直径数十マイクロメー
タのタングステン線上に無数の細かいウィスカ（ひげ）
を密生させ、エミッタ11と対向電極12の間に10kV程度の
高電圧を加えるとウィスカ先端に強い電場が発生し、エ
ミッタ11に電流を通じて加熱するとイオン化が行われ
る。ＦＤイオン源ではエミッタ11に塗布した難揮発性分
子を直接イオン化することができる特長がある。また、
これと類似の電界イオン化イオン源（以下、ＦＩイオン
源と称す）ではエミッタ周辺にガスを導入してエミッタ
11に接近したガス分子をイオン化することができる。
（松田：「質量分析装置」：朝倉書店、pp.24-25,(198
3)) 対向電極12のスリットを透過したイオンビームはｘ方向
収束電極14及びｙ方向収束電極13により、ビーム幅及び
発散角度が調整される。

【０００３】更にＳ−スリット１５を通過したイオンビ
ームは、セクタ磁場３によりイオンの質量固有の旋回軌
道に分離することにより特定質量のイオンのみが通過
し、図示してない検出器によりイオン電流量が測定され
る。図中の座標系はイオンの飛行方向をｚ、セクタ磁場
３中の旋回軸方向をｙ、これらに垂直な方向をｘとして
いる。

【０００４】質量分析をする場合にはイオンの旋回半径
Ｒと加速電圧Ｕを固定して、磁場Ｂを変える。磁場Ｂと
質量Ｍは次式の関係にある。

【０００５】 ＲＢ∽√（ＭＵ） （１） 従って、数千ａｍｕ以上の高質量領域の測定では、より
強い磁場Ｂを生成する必要がある。このためには、上下
の磁極間隔（図のｙ方向間隔）を狭くすることによって
実現することが励磁電流量が増加しない点で有利であ
る。

【０００６】セクタ磁場３の狭い磁極間隙を通過させる
ためにＱレンズをＳ−スリット15とセクタ磁場３の間に
設置することにより、より広いビーム幅と発散角に対し
てイオンビームが磁極に当たることなく透過させること
ができる新しい光学系が提案されている。（松田：「質
量分析装置」：朝倉書店、ｐｐ．６１−６４，（１９８
３））

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上記の新しい光学系で
は、Ｑレンズの設置によりｙ方向のビーム幅と発散角を
減少させることができるが、逆にｘ方向のビーム幅と発
散角が増大する。このため発散角の比較的大きな従来の
イオン源ではセクタ磁場３内でｘ方向のビーム幅が広が
り、セクタ磁場３の径方向幅を増大させないと感度が低
下するため、装置が大型化するという問題があった。

【０００８】特にＦＤイオン源やＦＩイオン源は以下の
理由により、発散角の比較的大きなイオン源である。図
５（ａ）はＦＤイオン源のエミッタ１１周辺の電位分布
２０とイオン軌道２の模式図である。

【０００９】また、図５（ｂ）はエミッタ１１と対向電
極１２間の電位を示している。エミッタ１１の中心から
の距離ｒに対し電位はほぼ−ｌｎ（ｒ）で変化する。エ
ミッタ１１と対向電極１２との間隔が１ｍｍから２ｍｍ
程度であるのに対し、エミッタ１１の直径は数十マイク
ロメータと極めて細いため、エミッタ１１周辺にはほぼ
等方的でかつ１０ＭＶ／ｃｍ程度の強い電界が集中す
る。この結果、イオンビーム２は，ほぼ等方的に出射さ
れ、高電界により等方的に加速されるため、発散角の大
きなイオンビームとなってしまう。

【００１０】図６は従来のＦＤイオン源内でのＺ−Ｘ断
面及びＺ−Ｙ断面のイオンビーム軌道を示している。Ｚ
−Ｘ断面では分析器を透過可能なイオンの発散角の制限
が数ミリラジアン程度であり、かつ質量分解能の観点か
らビーム幅についても０．５ｍｍ程度が要求されるた
め、ｘ方向収束電極１４により発散角とビーム幅を調整
する構造となっている。

【００１１】しかし、発散角の極めて大きなイオンビー
ム２を一つのｘ方向収束電極１４を用いて発散角とビー
ム幅を同時に制御することは困難である。このため、発
散角とビーム幅の制限値を同時に満足できるイオンビー
ムは対向電極１２のスリット１９の中央部を通過した極
一部となり、感度が極端に低下してしまう。

【００１２】一方、Ｚ−Ｙ断面のイオンビームはほぼ平
行ビームであり、特別に調整することなく分析器を透過
可能である。ただし、制御が必要な場合にはｙ方向収束
電極13を設置する場合もある。

【００１３】このように従来のＦＤイオン源ではｙ方向
の収束がほとんど不要である反面、ｘ方向についてはビ
ーム幅と発散角を同時に削減する必要があるが、一段の
ｘ方向収束電極でビーム幅と発散角を同時に削減するこ
とは困難である。

【００１４】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
ものであり、特にｘ方向のビーム幅及び発散角を同時に
小さくすることができるイオン源及びこれを備えた高質
量域において高分解能化及び高感度化を図った質量分析
装置を提供することを目的とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
には、質量分析装置のイオン源から射出されるイオンビ
ームのビーム幅と発散角の制御をそれぞれｘ方向とｙ方
向に分離して行なうようにイオン源を構成するようにす
ればよい。すなわち、ｘ方向についてはエミッタからビ
ーム幅は広いが発散角の小さなイオンビームを引出し、
ビーム幅のみを制御する。

【００１６】一方、ｙ方向については発散角の大きなイ
オンビームを引出し、ビーム幅は或る程度広くても、発
散角を制御する。これは、線状のエミッタの設置方向を
従来に比べてＺ軸回りに概略９０度回転することによっ
て実現できる。具体的に課題を解決する手段を列挙する
と、以下のようである。

【００１７】本発明のイオン源は、線状あるいはこれと
類似形状のエミッタ表面に集中した高電界により生成し
たイオンを引出電極系により引き出してイオンビ−ムを
生成するイオン源において、前記エミッタの長手方向が
イオンビ−ムの旋回軸方向とほぼ直交するように構成し
たことを特徴とする。

【００１８】また本発明のイオン源は、前記引出電極系
を構成する対向電極下流側に前記エミッタの長手方向の
スリットを形成するように配置された二枚の板電極から
なる収束電極を有し、前記エミッタの直角方向にイオン
ビームの収束性を有するとともに、前記二枚の板電極に
独立の電圧を印加することにより、前記エミッタの直角
方向にイオンビームを偏向可能に構成したことを特徴と
する。

【００１９】また本発明のイオン源は、前記エミッタの
うち対向電極のスリットに面する部分を挟んだエミッタ
両端部近傍にエミッタと概略同電位のリペラ電極を設
け、前記エミッタ長手方向についてイオンビームを収束
させるようにしたことを特徴とする。

【００２０】また本発明のイオン源は、前記エミッタの
うち前記対向電極のスリットに面するエミッタ中央部分
でかつ対向電極の反対側に対向する位置に前記対向電極
とほぼ同電位のリペラ電極を設け、エミッタ長手方向に
ついてイオンビームを収束させるように構成したことを
特徴とする。

【００２１】本発明のイオン源は、前記エミッタのうち
前記対向電極のスリットに面する部分が、対向電極の反
対方向に湾曲させることにより、前記エミッタの長手方
向についてイオンビームを収束させるように構成したこ
とを特徴とする。

【００２２】本発明のイオン源は、前記エミッタのうち
対向電極スリットに面する部分を挟んだ両側のエミッタ
径を中央部分より太くすることによりエミッタ長手方向
についてイオンビームを収束性させるように構成したこ
とを特徴とする。

【００２３】本発明のイオン源は、前記対向電極のスリ
ット位置に対して前記エミッタ位置を可変とする移動手
段を有することを特徴とする。

【００２４】本発明のイオン源は、前記対向電極のスリ
ット位置を可変とする移動手段を有し、該移動手段は、
前記対向電極とエミッタとの相対位置関係を調整するこ
とを特徴とする。

【００２５】本発明のイオン源は、前記引出電極系の対
向電極下流側に静電四重極収束電極を設け、前記エミッ
タ長手方向及びその直角方向にイオンビームを収束させ
るように構成したことを特徴とする。

【００２６】本発明のイオン源は、エミッタに塗布した
難揮発性分子を直接イオン化する電界脱離イオン源であ
ることを特徴とする。

【００２７】本発明のイオン源は、イオン源部にガスを
導入してガス分子をイオン化する電界イオン化イオン源
であることを特徴とする。

【００２８】本発明の質量分析装置は、上記いずれかの
イオン源を有することを特徴とする。

【００２９】

【作用】図３に本発明が適用されるＦＤイオン源でのＺ
−Ｘ断面及びＺ−Ｙ断面のイオンビーム軌道を示す。同
図に示すようにＺ−Ｘ断面では、最終的にＳ−スリット
１５で必要なビーム幅に比べて、数倍程度広い幅のイオ
ンビーム２を対向電極１２のスリット１９から引き出
す。エミッタ１１と対向電極１２が平行配置されている
のでスリット１９から引き出されたビーム２は、ほぼ平
行ビームである。従って、ｘ方向収束電極１４によりビ
ーム幅のみをＳ−スリット１５位置において数分の１に
縮小するように調整すればよい。ただし、この際イオン
ビーム２の発散角が所定の制限値以内に納まるようにす
る必要がある。

【００３０】一方、Ｚ−Ｙ断面のイオンビーム２は等方
的に出射されるため、ｙ方向収束電極１３により平行ビ
ームに調整してＳ−スリット１５を透過させる。ｙ方向
のビーム幅の制約は数ｍｍであり、ｘ方向に比べて１０
倍以上緩やかであるため、ｙ方向では等方的に発散する
イオンビーム２の発散角のみを制御すれば制約を満足で
きる。

【００３１】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。本発明に係る質量分析装置の一実施例の構成を図
１及び図２に基づいて説明する。図２には本発明が適用
される質量分析装置の構成が示されている。同図におい
て、質量分析装置は、大別してイオン源１と、セクタ磁
場３と、トロイダル電場４と、検出器６と、イオン源電
源８と、分析部電源９と、運転制御・計測データ処理部
７と、図中には記載されていない真空排気系とから構成
されている。

【００３２】また、本実施例では磁場と電場を用いる標
準的な二重収束型の質量分析装置を示しているが、磁場
のみを用いる質量分析装置、重畳場型質量分析装置、お
よび多重極レンズを組み込んだ最近の高質量域において
高分解能で、かつ高感度の質量分析装置へもそのまま適
用できる。

【００３３】図１には本発明に係る質量分析装置に使用
されるイオン源の構成が示されている。同図においてイ
オン源１は、エミッタ１１と、対向電極１２と、ｙ方向
収束電極と、ｘ方向収束電極と、Ｓ−スリット１５とを
有している。

【００３４】イオン源１では、直径数十マイクロメータ
の線状のエミッタ１１と対向電極１２が１ｍｍ程度、離
して平行に配置され、これらの間にイオン源電源８から
数ＫＶの電圧が印加される。

【００３５】また、エミッタ１１に流す電流量を調整す
ることによってエミッタ１１の温度を所定温度まで加熱
され、電界脱離によるイオン化が行なわれる。

【００３６】本実施例では従来と同様に、横方向からエ
ミッタ支持体１６を挿入するように構成しているため、
エミッタ１１のエミッタ支持体１６への取り付け方を変
更している。この際、エミッタ１１周辺の電位分布が非
対称に歪まないように、エミッタ支持体１６がエミッタ
１１を取り囲むように構成されている。

【００３７】対向電極１２、ｙ方向収束電極１３及びｘ
方向収束電極１４にはイオン源電源８によって所定の電
圧が印加される。

【００３８】上記構成においてエミッタ１１から射出さ
れたイオンビームの一部は対向電極１２のスリットを透
過し、ｙ方向及びｘ方向の収束を受けてＳ-スリット１
５に至る。

【００３９】更にＳ−スリット１５を通過したイオンビ
ームは、セクタ磁場３によりイオンの質量固有の旋回軌
道に分離される。セクタ磁場３とトロイダル電場４を組
み合わせることによりエネルギー分散を補正している。
これにより、多少のエネルギー的な拡がりがあるイオン
ビームであっても特定質量のイオンを質量分離スリット
５上に結像し、検出器６で高分解能かつ高感度にイオン
電流を測定できる。

【００４０】質量走査をする場合には、運転制御・計測
データ処理部７は測定する質量に応じて分析部電源９を
通してセクタ磁場３の励磁電流とトロイダル電場４の電
極電圧を時間的に変化させる。

【００４１】検出器６により検出されたイオンの電流量
6aは運転制御・計測データ処理部７で処理され、記憶さ
れる。記憶された計測データはマススペクトルに加工さ
れて運転制御・計測データ処理部７のモニタ画面上に表
示される。

【００４２】図７には、各部のイオンビーム断面形状と
発散角が、従来装置と本発明の装置とで模式的に比較し
て示されている。同図に示すように対向電極スリットで
のビーム形状は従来の縦型に対し、本発明では横型にな
っている点が大きく異なる。また、従来はイオンビーム
の発散角が横方向に大きかったが、本発明では反対に縦
方向に大きくなっている。

【００４３】本発明に係る質量分析装置のＳ-スリット
以降の装置構成は従来装置と等しいので、ビーム形状に
ついてもほぼ等しくなる。しかし本発明では従来に比べ
横方向の発散角が小さいので、Ｓ-スリットやセクタ磁
場の壁に衝突して失われる成分が大幅に低減する。

【００４４】次に、本発明に係る質量分析装置のイオン
源の他の実施例の要部の構成を図８に示す。対向電極１
２スリット上で横長のビーム形状をＳ-スリット１５上
で縦長にするため、上述した実施例ではｘ方向収束電極
１４を設置したが、このようなｘ方向の収束機能は他の
構成によっても実現できる。

【００４５】図８に示す本実施例では、エミッタ１１の
うち対向電極１２のスリットに面する部分を挟んだ両端
の周辺にエミッタ１１とほぼ同電位のリペラ電極１８を
設置し、エミッタ長手（ｘ）方向のイオンビームの収束
性を持たせるように構成されている。

【００４６】リペラ電極１８はエミッタ１１への電界集
中を緩和する作用を有し、エミッタ１１周辺の等電位線
２０は対向電極１２の反対側に押されて湾曲する。

【００４７】最初、エミッタ１１から垂直に出射したイ
オンビーム２は等電位線２０の湾曲によってｘ方向へ僅
か１０ミリラジアン程度、収束させることができる。

【００４８】次に本発明に係る質量分析装置のイオン源
の他の実施例の要部の構成を図９に示す。本実施例では
エミッタ１１のうち対向電極１２のスリットに面するエ
ミッタ中央部分でかつ対向電極１２の反対側に対向電極
１２と、ほぼ同電位のリペラ電極１８を設置するように
構成されている。

【００４９】本実施例によっても、エミッタ１１長手方
向にイオンビームを収束することができる。この場合の
リペラ電極１８はエミッタ１１への電界集中を促進する
ため、等電位線２０は湾曲する。この際、リペラ電極１
８をｘ方向及びｙ方向に分割し、独立に電圧を印加する
ことによって等電位線２０の湾曲の状態を微調整でき、
イオンビーム２の軸合わせを行なうことができる。

【００５０】更に本発明に係る質量分析装置のイオン源
の他の実施例の要部の構成を図１０に示す。エミッタ１
１は通常、直線状であるが、図１０に示すように対向電
極１２のスリットに面する部分が、対向電極１２の反対
方向に湾曲した形状とすることによっても、ｘ方向への
収束性を持たせることができる。

【００５１】本実施例ではエミッタ１１の周辺には電界
が集中しているため、エミッタ１１に沿って等電位線２
０も湾曲している。エミッタ１１の法線方向に出射した
イオンビーム２は出射方向を保持したまま対向電極１２
のスリットを透過し、ｘ方向に自動的に収束する。

【００５２】次に本発明に係る質量分析装置のイオン源
の他の実施例の要部の構成を図１１に示す。

【００５３】本実施例では図１１に示すようにエミッタ
１１の端部をその中央部に比べて太くすることによりエ
ミッタ１１の端部での電界集中が緩和するため、等電位
線２０が図示したように湾曲し、エミッタ１１長手方向
のイオンビームに収束性を持たせることができる。

【００５４】本実施例ではエミッタ１１の端部の太くす
る範囲、勾配及びその最終的な太さによってイオンビー
ムの収束の強さが変化するが、この構成だけでは運転中
のイオンビームの集束の微調整が難しい。

【００５５】そこで、他の実施例で示したリペラ電極を
イオンビームの集束の微調整用に併用することにより、
使い勝手が向上する。

【００５６】次に本発明に係る質量分析装置のイオン源
の他の実施例の要部の構成を図１２に示す。

【００５７】エミッタ１１は対向電極１２のスリット中
心に精度よく配置しないとイオンビーム２の位置ずれ及
び発散角の増大を招く。そこで、図１２に示す実施例で
はＳ-スリット１５直後または、検出器６（図２）での
イオン電流量をモニタしながら、エミッタ１１位置を調
整するエミッタ移動機構２１が設けられている。

【００５８】本実施例ではイオンビーム２の位置ずれ及
び発散角の最終的な微調整は、ｙ方向収束電極１３を分
離した２枚の板電極から構成し、独立に電圧を印加する
ことにより実行する。

【００５９】更に本発明に係る質量分析装置のイオン源
の他の実施例の要部の構成を図１３に示す。

【００６０】エミッタ１１を対向電極１２のスリット中
心に精度よく配置する手段は、図１３に示すように対向
電極１２のスリット位置を調整することによっても実現
できる。

【００６１】本実施例では、対向電極１２を２枚の板電
極で構成し、それぞれの電極に電極移動機構２２を結合
し、各電極をｙ方向に微少距離だけ移動可能に構成して
いる。 対向電極１２の移動距離は０．１ｍｍ程度であ
るのに対し、ｙ方向収束電極１３及びＳ−スリット１５
のｙ方向幅は数ｍｍと約一桁大きいため、エミッタ１１
と対向電極１２のスリットの相対位置が精密に調整でき
れば、対向電極12が微少に移動した影響は小さい。

【００６２】更に本発明に係る質量分析装置のイオン源
の他の実施例の要部の構成を図１４に示す。

【００６３】本実施例では、対向電極１２とＳ−スリッ
ト１５との間に静電四重極収束電極１７を設置し、単一
の電極電圧でｘ方向及びｙ方向に同時に収束性を持たせ
ている。

【００６４】本実施例によれば、静電四重極収束電極１
７と対向電極１２の電圧が任意に調整できるので、ｙ方
向への収束性は対向電極１２と静電四重極収束電極１７
との電位差により制御し、ｘ方向への収束性は接地電位
であるＳ−スリット１５と静電四重極収束電極１７との
電位差により制御することができる。

【００６５】本実施例は、ｘ方向とｙ方向に別々の収束
電極を備える場合に比べ、電源が１つ少なくなる特長が
ある。

【００６６】

【発明の効果】以上に説明したように本発明によれば、
線状あるいはこれと類似形状のエミッタ表面に集中した
高電界により生成したイオンを引出電極系により引き出
してイオンビ−ムを生成するイオン源と、該イオン源よ
り射出されたイオンビ−ムを磁場中でイオンの質量固有
の旋回軌道に分離することにより特定質量のイオン電流
量を測定する分析器からなる質量分析装置のイオン源に
おいて、前記エミッタの長手方向がイオンビ−ムの旋回
軸方向とほぼ直交するように構成したので、特にｘ方向
のビーム幅及び発散角を同時に小さくすることができる
イオン源及びこれを備えた高質量域において高分解能化
及び高感度化を図った質量分析装置を実現することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る質量分析装置を構成するＦＤイオ
ン源の一実施例の構成を示す構成図である。

【図２】本発明に係る質量分析装置の全体構成を示すブ
ロック図である。

【図３】本発明に係る質量分析装置を構成するＦＤイオ
ン源のＺ−Ｘ面及びＺ−Ｙ面におけるイオンビーム軌道
を示す説明図である。

【図４】従来の質量分析装置を構成するＦＤイオン源の
構成を示す構成図である。

【図５】質量分析装置にを構成するイオン源のおけるエ
ミッタ近傍の電位分布とイオンの出射方向を示す説明図
である。

【図６】従来の質量分析装置を構成するＦＤイオン源の
Ｚ−Ｘ面及びＺ−Ｙ面におけるイオンビーム軌道を示す
説明図である。

【図７】従来の質量分析装置と本発明に係る質量分析装
置の各部におけるイオンビーム断面形状と発散角を比較
して示す説明図である。

【図８】本発明に係る質量分析装置のイオン源の他の実
施例の要部の構成を示す図である。

【図９】本発明に係る質量分析装置のイオン源の他の実
施例の要部の構成を示す図である。

【図１０】本発明に係る質量分析装置のイオン源の他の
実施例の要部の構成を示す図である。

【図１１】本発明に係る質量分析装置のイオン源の他の
実施例の要部の構成を示す図である。

【図１２】本発明に係る質量分析装置のイオン源の他の
実施例の要部の構成を示す図である。

【図１３】本発明に係る質量分析装置のイオン源の他の
実施例の要部の構成を示す図である。

【図１４】本発明に係る質量分析装置のイオン源の他の
実施例の要部の構成を示す図である。

【符号の説明】

１ イオン源 ２ イオンビーム ３ セクタ磁場 ４ トロイダル電場 ５ 質量分離スリット ６ 検出器 ７ 運転制御・計測データ処理部 ８ イオン源電源 ９ 分析部電源 １１ エミッタ １２ 対向電極 １３ ｙ方向収束電極 １４ ｘ方向収束電極 １５ Ｓ−スリット １６ エミッタ支持体 １７ 静電四重極収束電極 １８ リペラ電極 １９ スリット ２０ 等電位線 ２１ エミッタ移動機構 ２２ 電極移動機構

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 三村 忠男 茨城県ひたちなか市市毛882番地 株式会 社日立製作所計測器事業部内

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 線状あるいはこれと類似形状のエミッタ
   表面に集中した高電界により生成したイオンを引出電極
   系により引き出してイオンビ−ムを生成するイオン源に
   おいて、 前記エミッタの長手方向がイオンビ−ムの旋回軸方向と
   ほぼ直交するように構成したことを特徴とするイオン
   源。
2. 【請求項２】 前記引出電極系を構成する対向電極下流
   側に前記エミッタの長手方向のスリットを形成するよう
   に配置された二枚の板電極からなる収束電極を有し、前
   記エミッタの直角方向にイオンビームの収束性を有する
   とともに、前記二枚の板電極に独立の電圧を印加するこ
   とにより、前記エミッタの直角方向にイオンビームを偏
   向可能に構成したことを特徴とする請求項１に記載のイ
   オン源。
3. 【請求項３】 前記エミッタのうち対向電極のスリット
   に面する部分を挟んだエミッタ両端部近傍にエミッタと
   概略同電位のリペラ電極を設け、前記エミッタ長手方向
   についてイオンビームを収束させるようにしたことを特
   徴とする請求項１または２のいずれかに記載のイオン
   源。
4. 【請求項４】 前記エミッタのうち前記対向電極のスリ
   ットに面するエミッタ中央部分でかつ対向電極の反対側
   に対向する位置に前記対向電極とほぼ同電位のリペラ電
   極を設け、エミッタ長手方向についてイオンビームを収
   束させるように構成したことを特徴とする請求項１また
   は２のいずれかに記載のイオン源。
5. 【請求項５】 前記エミッタのうち前記対向電極のスリ
   ットに面する部分が、対向電極の反対方向に湾曲させる
   ことにより、前記エミッタの長手方向についてイオンビ
   ームを収束させるように構成したことを特徴とする請求
   項１または２のいずれかに記載のイオン源。
6. 【請求項６】 前記エミッタのうち対向電極スリットに
   面する部分を挟んだ両側のエミッタ径を中央部分より太
   くすることによりエミッタ長手方向についてイオンビー
   ムを収束性させるように構成したことを特徴とする請求
   項１または２のいずれかに記載のイオン源。
7. 【請求項７】 前記対向電極のスリット位置に対して前
   記エミッタ位置を可変とする移動手段を有することを特
   徴とする請求項１または２のいずれかに記載のイオン
   源。
8. 【請求項８】 前記対向電極のスリット位置を可変とす
   る移動手段を有し、該移動手段は、前記対向電極とエミ
   ッタとの相対位置関係を調整することを特徴とする請求
   項１または２のいずれかに記載のイオン源。
9. 【請求項９】 前記引出電極系の対向電極下流側に静電
   四重極収束電極を設け、前記エミッタ長手方向及びその
   直角方向にイオンビームを収束させるように構成したこ
   とを特徴とする請求項１に記載のイオン源。
10. 【請求項１０】 前記イオン源は、エミッタに塗布した
    難揮発性分子を直接イオン化する電界脱離イオン源であ
    ることを特徴とする請求項１乃至９のいずれかに記載の
    イオン源。
11. 【請求項１１】 前記イオン源は、イオン源部にガスを
    導入してガス分子をイオン化する電界イオン化イオン源
    であることを特徴とする請求項１乃至９のいずれかに記
    載のイオン源。
12. 【請求項１２】 請求項１乃至１１のいずれかに記載の
    イオン源を有することを特徴とする質量分析装置。