JPH0825768B2 - オプチカル ファイバ プリフォ−ム管から反応生成物を排出する方法および装置 - Google Patents
オプチカル ファイバ プリフォ−ム管から反応生成物を排出する方法および装置Info
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- JPH0825768B2 JPH0825768B2 JP56029472A JP2947281A JPH0825768B2 JP H0825768 B2 JPH0825768 B2 JP H0825768B2 JP 56029472 A JP56029472 A JP 56029472A JP 2947281 A JP2947281 A JP 2947281A JP H0825768 B2 JPH0825768 B2 JP H0825768B2
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- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/018—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma- or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
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Description
【発明の詳細な説明】 本発明はオプチカルフアイバのプリフオーム管から反
応生成物を排出する方法および装置に関する。
応生成物を排出する方法および装置に関する。
オプチカルフアイバを形成することのできるプリフオ
ームを構成する場合、例えばSiCl4,GeCl4およびPOCl3の
ような材料の物質の蒸気が酸素のようなキヤリアガスに
伴つて蒸気流としてガラスプリフオーム管の内部に引き
込まれる。プリフオーム管はトーチがその全長にわたつ
て繰り返えしよぎる間回転される。蒸気流が管を通過し
かつトーチの近くで熱の帯に出合うと、蒸気流は反応し
て酸化物を生成し、このような酸化物は管の内面上に付
着する。トーチの通過が何回も行われることにより多数
の付着層が形成された後、管は固体の棒型のプリフオー
ムに圧壊される。
ームを構成する場合、例えばSiCl4,GeCl4およびPOCl3の
ような材料の物質の蒸気が酸素のようなキヤリアガスに
伴つて蒸気流としてガラスプリフオーム管の内部に引き
込まれる。プリフオーム管はトーチがその全長にわたつ
て繰り返えしよぎる間回転される。蒸気流が管を通過し
かつトーチの近くで熱の帯に出合うと、蒸気流は反応し
て酸化物を生成し、このような酸化物は管の内面上に付
着する。トーチの通過が何回も行われることにより多数
の付着層が形成された後、管は固体の棒型のプリフオー
ムに圧壊される。
一般に、修正化学蒸着法と呼ばれている前記した操作
の間に、反応生成物の全てがプリフオーム管の内部に付
着する訳ではない。いくらかの反応生成物は粉末の形態
となつて排出されるキヤリアガスと共に管から排出され
る。従来、これらの付着しない反応生成物はプリフォー
ム管の一体的延長部分として形成されたプリフオーム管
よりも大きい直径を持つ排出管を通つてプリフォーム管
から運び出されていた。しかしながら、通常何時間も続
けられる蒸着プロセスの間、プリフオーム管から排出さ
れた粉末状の反応生成物のいくらかは排出管に付着しか
つ排出管内にたまつてしまう。このような集積物はその
後に排出管を通過させられる流体および他の反応生成物
の流れに対して徐々に大きな障害物を形成し、一方それ
によりプリフオーム管自体の内部の蒸気流の圧力にも影
響を及ぼすことになる。プリフオーム管の出口端におけ
る圧力および流れパターンの極めて小さな変化でも蒸着
プロセスに対してかなりの影響を及ぼす。なぜならば、
蒸気は精密に制御された質量流量でプリフオーム管に供
給されなければならないからである。したがつて、この
ように排出管内における障害物や流れパターンの変化が
徐々に増大すると、蒸着プロセスに対して悪影響を与え
ることになる。なぜならば、蒸着プロセスは予測ができ
ず、また制御ができないからである。
の間に、反応生成物の全てがプリフオーム管の内部に付
着する訳ではない。いくらかの反応生成物は粉末の形態
となつて排出されるキヤリアガスと共に管から排出され
る。従来、これらの付着しない反応生成物はプリフォー
ム管の一体的延長部分として形成されたプリフオーム管
よりも大きい直径を持つ排出管を通つてプリフォーム管
から運び出されていた。しかしながら、通常何時間も続
けられる蒸着プロセスの間、プリフオーム管から排出さ
れた粉末状の反応生成物のいくらかは排出管に付着しか
つ排出管内にたまつてしまう。このような集積物はその
後に排出管を通過させられる流体および他の反応生成物
の流れに対して徐々に大きな障害物を形成し、一方それ
によりプリフオーム管自体の内部の蒸気流の圧力にも影
響を及ぼすことになる。プリフオーム管の出口端におけ
る圧力および流れパターンの極めて小さな変化でも蒸着
プロセスに対してかなりの影響を及ぼす。なぜならば、
蒸気は精密に制御された質量流量でプリフオーム管に供
給されなければならないからである。したがつて、この
ように排出管内における障害物や流れパターンの変化が
徐々に増大すると、蒸着プロセスに対して悪影響を与え
ることになる。なぜならば、蒸着プロセスは予測ができ
ず、また制御ができないからである。
前記した問題を緩和するため、かき取棒が排出管内に
置かれ、このかき取棒はその回転中に管の下部まで連続
的に下降する。これにより排出管の内壁上に付着しかつ
集積された反応生成物のあるものは撹拌および振動させ
られ、それによつて反応生成物を蒸気流により運び去る
ことができる。また、定期的に、かき取棒は、排出管が
プリフオーム管および排出管に結合されるのど領域に集
積した粉末状の生成物をかき落とすことにより排出管の
内部の清浄化を増すように、軸方向および半径方向の両
方向に手動かされてきた。しかしながら、このような方
法はある程度の良好な結果を得ることはできるが、反応
生成物が蒸着プロセスの速度に対して大きな影響を与え
る程度に集積することを阻止することはできなかつた。
反応生成物はたとえ撹拌された時でも反応生成物はある
程度上流に拡散し、付着層中に変態物を生成する傾向が
ある。さらに、排出管をプリフオーム管と軸方向に精密
に整合させて一体物として形成することは非常に手間の
かかる方法であることが証明されている。
置かれ、このかき取棒はその回転中に管の下部まで連続
的に下降する。これにより排出管の内壁上に付着しかつ
集積された反応生成物のあるものは撹拌および振動させ
られ、それによつて反応生成物を蒸気流により運び去る
ことができる。また、定期的に、かき取棒は、排出管が
プリフオーム管および排出管に結合されるのど領域に集
積した粉末状の生成物をかき落とすことにより排出管の
内部の清浄化を増すように、軸方向および半径方向の両
方向に手動かされてきた。しかしながら、このような方
法はある程度の良好な結果を得ることはできるが、反応
生成物が蒸着プロセスの速度に対して大きな影響を与え
る程度に集積することを阻止することはできなかつた。
反応生成物はたとえ撹拌された時でも反応生成物はある
程度上流に拡散し、付着層中に変態物を生成する傾向が
ある。さらに、排出管をプリフオーム管と軸方向に精密
に整合させて一体物として形成することは非常に手間の
かかる方法であることが証明されている。
従来のプリフオーム管排出装置に伴う付加的な問題は
修正化学蒸着法の圧壊工程の間に生じる。この期間中、
圧壊されているプリフオーム管の内部には丸さを維持す
るために正圧を提供する必要がある。これを行なうため
には他のより望ましくない方法もあるが、最良の方法は
管の下流端を密封することによつて背圧を形成すること
である。このことは、シールが形成されるまでプリフオ
ーム管と排出管との接合部にトーチを保持することによ
つて、あるいは排出管の中に栓を挿入することによつて
行われて来た。しかしながら、このことは管の加熱およ
び回転のために使用されている旋盤を停止させ、かき取
り棒を手で除去し、かつ栓を挿入しながればならず、こ
れらの作業の全ては生産能率を制限してしまう。したが
つて、本発明が主に解決しようとするのはこれらの問題
である。
修正化学蒸着法の圧壊工程の間に生じる。この期間中、
圧壊されているプリフオーム管の内部には丸さを維持す
るために正圧を提供する必要がある。これを行なうため
には他のより望ましくない方法もあるが、最良の方法は
管の下流端を密封することによつて背圧を形成すること
である。このことは、シールが形成されるまでプリフオ
ーム管と排出管との接合部にトーチを保持することによ
つて、あるいは排出管の中に栓を挿入することによつて
行われて来た。しかしながら、このことは管の加熱およ
び回転のために使用されている旋盤を停止させ、かき取
り棒を手で除去し、かつ栓を挿入しながればならず、こ
れらの作業の全ては生産能率を制限してしまう。したが
つて、本発明が主に解決しようとするのはこれらの問題
である。
本発明に従うオプチカルファイバプリフォーム管から
反応生成物を排出する方法は、プリフォーム管の下流側
に隣接して位置しかつ該下流端と流体連通している入口
端を有し該反応生成物を該プリフォーム管から排出する
ための排出管を設け、排出管入口端に隣接する位置で該
反応生成物の流れに衝突しないようプリフォーム管から
排出管への方向を向いた反応生成物を含まないガスの流
れを導入し、該ガスの流れは該反応生成物が排出管とプ
リフォーム管の連結部を横切るとき該反応生成物を十分
な高速で前記排出管内へと引込まれるようにしている方
法である。
反応生成物を排出する方法は、プリフォーム管の下流側
に隣接して位置しかつ該下流端と流体連通している入口
端を有し該反応生成物を該プリフォーム管から排出する
ための排出管を設け、排出管入口端に隣接する位置で該
反応生成物の流れに衝突しないようプリフォーム管から
排出管への方向を向いた反応生成物を含まないガスの流
れを導入し、該ガスの流れは該反応生成物が排出管とプ
リフォーム管の連結部を横切るとき該反応生成物を十分
な高速で前記排出管内へと引込まれるようにしている方
法である。
以下、本発明を図面に示す実施例にしたがつてさらに
説明する。
説明する。
図面を詳細に見ると、第１図においては、ガラスプリ
フオーム管10の内面上に蒸着を行う修正化学蒸着法によ
りオプチカルフアイバのプリフオームを形成するための
旋盤が示されている。この旋盤はフレーム11を含み、該
フレーム11の頂部には主軸台12と心押し台13が取り付け
られている。主軸台12およびその内部機構はチヤツク15
を回転可能に支持しかつ駆動し、一方心押し台13および
その内部機構は同様にチヤツク16を回転可能に支持しか
つチヤツク15の軸線と共通の軸線の回りで駆動する。チ
ヤツクの各々は半径方向に離間したジヨー18よりなり、
これらのジヨー18はプリフオーム管またはその管状の延
長部と把持係合したり離したりするよう動作するよう構
成されている。中央に孔を開けた熱シールド20はペンダ
ント21により回転可能なチヤツクに密接に隣接して両方
の台に取り付けられている。水素−酸素トーチ23は矢印
25で示すように２つの熱シールド20の間で往復運動する
ようにキヤリツジ24の頂部に取り付けられている。トー
チ23はハンドル車26により手動でオーバーライドおよび
位置決めすることのできる図示しない自動駆動機構によ
つて往復運動させられる。同様に、主軸台12の横方向位
置はレール30の頂部のハンドル車27により調整でき、一
方心押し台13の位置はハンドル車28の動作によりレール
上で手動により調整できる。導管32は主軸台12から回転
シール33まで横方向に突出し、固定導管34は該回転シー
ル33から図示しない蒸気流供給源まで延びている。排出
ホース37は心押し台13から延びている。
フオーム管10の内面上に蒸着を行う修正化学蒸着法によ
りオプチカルフアイバのプリフオームを形成するための
旋盤が示されている。この旋盤はフレーム11を含み、該
フレーム11の頂部には主軸台12と心押し台13が取り付け
られている。主軸台12およびその内部機構はチヤツク15
を回転可能に支持しかつ駆動し、一方心押し台13および
その内部機構は同様にチヤツク16を回転可能に支持しか
つチヤツク15の軸線と共通の軸線の回りで駆動する。チ
ヤツクの各々は半径方向に離間したジヨー18よりなり、
これらのジヨー18はプリフオーム管またはその管状の延
長部と把持係合したり離したりするよう動作するよう構
成されている。中央に孔を開けた熱シールド20はペンダ
ント21により回転可能なチヤツクに密接に隣接して両方
の台に取り付けられている。水素−酸素トーチ23は矢印
25で示すように２つの熱シールド20の間で往復運動する
ようにキヤリツジ24の頂部に取り付けられている。トー
チ23はハンドル車26により手動でオーバーライドおよび
位置決めすることのできる図示しない自動駆動機構によ
つて往復運動させられる。同様に、主軸台12の横方向位
置はレール30の頂部のハンドル車27により調整でき、一
方心押し台13の位置はハンドル車28の動作によりレール
上で手動により調整できる。導管32は主軸台12から回転
シール33まで横方向に突出し、固定導管34は該回転シー
ル33から図示しない蒸気流供給源まで延びている。排出
ホース37は心押し台13から延びている。
次に第２図〜第４図を見ると、プリフオーム管10は符
号13′で図式的に示す主軸台により回転可能に支持され
た旋盤チヤツク16のジヨー18の内部に固く取り付けられ
たわずかに大きい管端部10′を有している。排出管40は
マニホルド42に取り付けられ、管端部41はプリフオーム
管の端部10′に隣接するが隙間44により該端部10′から
わずかに離間した回転可能なチヤツク16内に位置してい
る。排出管40はまた２つの管端部の中間で心押し台の回
転可能な支持部材46内に支持されている。排出管の様々
な付属部材は、マニホルド42の運動が矢印50で示すよう
に排出管の関連する運動に変換される限り、チヤツクが
プリフオーム管10を回転させるにつれて該排出管をスピ
ンさせたりあるいは静止したままにできるようなもので
ある。かき取棒48は排出管40内に位置し、一端部は隙間
44に渡されてプリフオーム管の端部10′内に置かれ、一
方その他端部はマニホルド42の外に延びている。また、
マニホルド42および排出管40を矢印50で示す方向に往復
運動させるために図示しない駆動手段が設けられる。駆
動手段はまたかき取棒48を矢印52で示す方向に動作させ
るためにも設けることができる。補助排出管54は弁V1を
通つて排出管37と連通し、この弁V1の中には、後でより
詳細に説明するように流体が矢印55で示す如く選択的に
引き込まれる。
号13′で図式的に示す主軸台により回転可能に支持され
た旋盤チヤツク16のジヨー18の内部に固く取り付けられ
たわずかに大きい管端部10′を有している。排出管40は
マニホルド42に取り付けられ、管端部41はプリフオーム
管の端部10′に隣接するが隙間44により該端部10′から
わずかに離間した回転可能なチヤツク16内に位置してい
る。排出管40はまた２つの管端部の中間で心押し台の回
転可能な支持部材46内に支持されている。排出管の様々
な付属部材は、マニホルド42の運動が矢印50で示すよう
に排出管の関連する運動に変換される限り、チヤツクが
プリフオーム管10を回転させるにつれて該排出管をスピ
ンさせたりあるいは静止したままにできるようなもので
ある。かき取棒48は排出管40内に位置し、一端部は隙間
44に渡されてプリフオーム管の端部10′内に置かれ、一
方その他端部はマニホルド42の外に延びている。また、
マニホルド42および排出管40を矢印50で示す方向に往復
運動させるために図示しない駆動手段が設けられる。駆
動手段はまたかき取棒48を矢印52で示す方向に動作させ
るためにも設けることができる。補助排出管54は弁V1を
通つて排出管37と連通し、この弁V1の中には、後でより
詳細に説明するように流体が矢印55で示す如く選択的に
引き込まれる。
排出管の端部41は、プリフオーム管の端部10′と衝合
するマニホルド42の運動によつて位置決めし直された時
に流体密シールを提供するための手段を備えている。第
３図においては、このシール手段は弾性のＯリング58の
形態として示されており、このＯリングは排出管の端部
41に取り付けられている。第４図においては、シール手
段は排出管の端部41に固く取り付けられた円錐形の端部
部材59の型式であるものとして示されている。この端部
部材59はプリフオーム管の端部10′の内径よりわずかに
小さい外径までテーパし、その小さい端部はプリフオー
ム管の端部に入れ子式に受け入れられることができる。
するマニホルド42の運動によつて位置決めし直された時
に流体密シールを提供するための手段を備えている。第
３図においては、このシール手段は弾性のＯリング58の
形態として示されており、このＯリングは排出管の端部
41に取り付けられている。第４図においては、シール手
段は排出管の端部41に固く取り付けられた円錐形の端部
部材59の型式であるものとして示されている。この端部
部材59はプリフオーム管の端部10′の内径よりわずかに
小さい外径までテーパし、その小さい端部はプリフオー
ム管の端部に入れ子式に受け入れられることができる。
化学蒸着中においては、プリフォーム管10はチヤツク
15と16により回転され、一方排出管40は隙間44により回
転するプリフオーム管から離間して保たれる。キヤリア
ガスに伴つた蒸気の流れは蒸気流発生器により発生され
る正圧によりプリフオーム管10の中に押し込まれる。蒸
気流がプリフオーム管を通過するにつれて、トーチ23は
回転しているプリフオーム管に沿つてゆつくりと動かさ
れ、発生された熱の帯の中で化学反応が生じかつ反応生
成物が管の内面上に付着する。キヤリアガスは付着しな
かつた反応生成物と共に、排出管40、マニホルド42およ
び吸引力が加えられる排出ホース37を通つてプリフオー
ム管の端部10′の外に排出される。
15と16により回転され、一方排出管40は隙間44により回
転するプリフオーム管から離間して保たれる。キヤリア
ガスに伴つた蒸気の流れは蒸気流発生器により発生され
る正圧によりプリフオーム管10の中に押し込まれる。蒸
気流がプリフオーム管を通過するにつれて、トーチ23は
回転しているプリフオーム管に沿つてゆつくりと動かさ
れ、発生された熱の帯の中で化学反応が生じかつ反応生
成物が管の内面上に付着する。キヤリアガスは付着しな
かつた反応生成物と共に、排出管40、マニホルド42およ
び吸引力が加えられる排出ホース37を通つてプリフオー
ム管の端部10′の外に排出される。
蒸着プロセスが進むにつれて、プリフオーム管の端部
10′内への実質的な付着はかき取棒48の存在により禁止
される。すなわち、このかき取棒48はプリフオーム管が
回転するにつれて該プリフオーム管の端部の底部まで連
続的に重力で下降する。それに加えて、排出管の全体に
おける反応生成物の付着、特に排出管の端部41の内部に
おける反応生成物の付着は、反応生成物の無い周囲空気
が隙間44を通つて排出管の中に連続的に引き込まれると
いう事実によつて最少にされる。この周囲空気は高速の
空気の流れとなり、隙間をよぎる反応生成物を排出管内
へと高速に引込み、それによって反応生成物が排出管の
端部付近に付着しにくいようにしている。この働きは、
隙間の回りに半径方向に位置したチヤツクのジヨー18が
羽根またはフアンブレードのように機能するという事実
によりさらに高められる。この空気の流れにより排出管
の端部41内に付着が生じるのが禁止され、このような付
着は前記したようにプリフオーム管内における圧力およ
び流れパターンに対して悪い影響を与えるものである。
加うるに、かき取棒48は排出管の中で矢印52によつて示
される方向およびわずかに撹拌動作を行う方向の両方に
周期的に動かされ、管壁上に形成されるであろう反応生
成物を除去する。
10′内への実質的な付着はかき取棒48の存在により禁止
される。すなわち、このかき取棒48はプリフオーム管が
回転するにつれて該プリフオーム管の端部の底部まで連
続的に重力で下降する。それに加えて、排出管の全体に
おける反応生成物の付着、特に排出管の端部41の内部に
おける反応生成物の付着は、反応生成物の無い周囲空気
が隙間44を通つて排出管の中に連続的に引き込まれると
いう事実によつて最少にされる。この周囲空気は高速の
空気の流れとなり、隙間をよぎる反応生成物を排出管内
へと高速に引込み、それによって反応生成物が排出管の
端部付近に付着しにくいようにしている。この働きは、
隙間の回りに半径方向に位置したチヤツクのジヨー18が
羽根またはフアンブレードのように機能するという事実
によりさらに高められる。この空気の流れにより排出管
の端部41内に付着が生じるのが禁止され、このような付
着は前記したようにプリフオーム管内における圧力およ
び流れパターンに対して悪い影響を与えるものである。
加うるに、かき取棒48は排出管の中で矢印52によつて示
される方向およびわずかに撹拌動作を行う方向の両方に
周期的に動かされ、管壁上に形成されるであろう反応生
成物を除去する。
プリフオーム管内における蒸着が完了した後、プリフ
オーム管はトーチ23により加えられる熱を増大すること
によつて圧壊される。丸さを保つため、排出管の端部41
を第３図および第４図に示すように、プリフォーム管の
端部10′と衝合状態に動作させることによつて、背圧が
適用される。この時、弁V1ならびに他の図示しない弁は
閉じられ、排出ホース37を通る流れを遮断しかつ背圧を
形成する。圧壊に続いて、プリフオームは主軸台および
心押し台のチヤツクから除去され、排出管およびかき取
棒は清浄化のために取り外される。
オーム管はトーチ23により加えられる熱を増大すること
によつて圧壊される。丸さを保つため、排出管の端部41
を第３図および第４図に示すように、プリフォーム管の
端部10′と衝合状態に動作させることによつて、背圧が
適用される。この時、弁V1ならびに他の図示しない弁は
閉じられ、排出ホース37を通る流れを遮断しかつ背圧を
形成する。圧壊に続いて、プリフオームは主軸台および
心押し台のチヤツクから除去され、排出管およびかき取
棒は清浄化のために取り外される。
次に第５図と第６図を見ると、本発明の他の一つの実
施例が示されており、この実施例においては、排出管60
はプリフオーム管10の一体的延長部として形成されてい
る。このような構造は従来から存在していた通常の構造
であり、排出管は化学蒸着が起こるにつれてプリフオー
ム管に沿つて回転させられる。しかしながら、この実施
例の場合には、そののど部またはプリフオーム管の接合
部に隣接した位置において排出管の中に反応生成物の無
いガスを引き込むための手段が設けられている。このこ
とは、凹角ネツク部64の端部に位置した出口オリフイス
63を持つ導管62の使用によつて行われる。他の一つの導
管66はブリツジ69により導管62に取り付けられ、この導
管66は、導管62の出口オリフイス63に対面しかつわずか
に離間された面取りされた入口オリフイス67を有してい
る。この他方の導管66はマニホルドハウジング70の外部
で吸込管74に接続されている。
施例が示されており、この実施例においては、排出管60
はプリフオーム管10の一体的延長部として形成されてい
る。このような構造は従来から存在していた通常の構造
であり、排出管は化学蒸着が起こるにつれてプリフオー
ム管に沿つて回転させられる。しかしながら、この実施
例の場合には、そののど部またはプリフオーム管の接合
部に隣接した位置において排出管の中に反応生成物の無
いガスを引き込むための手段が設けられている。このこ
とは、凹角ネツク部64の端部に位置した出口オリフイス
63を持つ導管62の使用によつて行われる。他の一つの導
管66はブリツジ69により導管62に取り付けられ、この導
管66は、導管62の出口オリフイス63に対面しかつわずか
に離間された面取りされた入口オリフイス67を有してい
る。この他方の導管66はマニホルドハウジング70の外部
で吸込管74に接続されている。
以上のような構成であるので、ガスまたは空気はプリ
フオーム管10との接合部の近くの位置において排出管60
の中に導入し、またこの同じ全体的な位置から導管66を
通つて引き出すことができる。
フオーム管10との接合部の近くの位置において排出管60
の中に導入し、またこの同じ全体的な位置から導管66を
通つて引き出すことができる。
導管、マニホルドおよび弁の排出装置と組み合わさ
れ、この排出装置は導管62を通つて排出管の中に流入す
る反応生成物の無いガスの流量を制御する弁V2と、導管
66および吸込管74を通るガスまたは空気の引出し流量を
制御する弁V3とを含んでいる。周期的に、例えばプリフ
オーム管の上をトーチ23が10回通過する毎に、弁V2,V4
およびV5は選択的に作動され、プリフオーム管10と排出
管60との境界においてガスの流れを間欠的に発生しても
良い。弁V4とV5は排出管60に加えられる吸込力を制御す
るために排出ホース76内に設けられ、これらの弁はまた
マニホルドハウジング70を清浄化するための弁V2,V5お
よびV6の作動と関連して周期的に循環される。
れ、この排出装置は導管62を通つて排出管の中に流入す
る反応生成物の無いガスの流量を制御する弁V2と、導管
66および吸込管74を通るガスまたは空気の引出し流量を
制御する弁V3とを含んでいる。周期的に、例えばプリフ
オーム管の上をトーチ23が10回通過する毎に、弁V2,V4
およびV5は選択的に作動され、プリフオーム管10と排出
管60との境界においてガスの流れを間欠的に発生しても
良い。弁V4とV5は排出管60に加えられる吸込力を制御す
るために排出ホース76内に設けられ、これらの弁はまた
マニホルドハウジング70を清浄化するための弁V2,V5お
よびV6の作動と関連して周期的に循環される。
弁V6は他の一つの分岐管79内に設けられ、この分岐管
79は流体流増幅器81を通る流体の流れの速度を増大させ
かつ弁V4,V5およびV6における吸込力を制御するように
圧縮空気源と連通している。弁V7を持つ制御管80は流体
流増幅器と普通に連通し、それにより弁V7を通る流量の
わずかな変化は流体流増幅器を通る流量のかなりの変化
に影響を及ぼす。前記した導管、弁、供給管、供給ガス
の回路網は蒸着中に排出管を通つて流れる流体の流れの
かなりの吸込力を供給する。
79は流体流増幅器81を通る流体の流れの速度を増大させ
かつ弁V4,V5およびV6における吸込力を制御するように
圧縮空気源と連通している。弁V7を持つ制御管80は流体
流増幅器と普通に連通し、それにより弁V7を通る流量の
わずかな変化は流体流増幅器を通る流量のかなりの変化
に影響を及ぼす。前記した導管、弁、供給管、供給ガス
の回路網は蒸着中に排出管を通つて流れる流体の流れの
かなりの吸込力を供給する。
第５図および第６図の系統の変形例は第７図に示さ
れ、この変形例では導管74はプリフオーム管10と排出管
60との接合部に隣接して位置した開口端すなわちオリフ
イス75を備えている。この導管は排出管60およびマニホ
ルドハウジング70を通つてその外部まで延びている。他
の一つの導管62は導管74内に位置し、この導管74は該導
管74のオリフイス75に隣接して位置した出口オリフイス
78を有している。オリフイスの位置は、この領域に観察
される反応生成物の特別な集積を緩和するために矢印83
によつて示されるように周期的に調節することができ
る。もし所望であれば、本実施例は導管74を排除するこ
とによつて変更しても良く、この場合排出は導管76を通
じて通常制御され、この導管76はさもなくば単にマニホ
ルドハウジング70を周期的に清浄化する時に用いられる
に過ぎないものである。その場合に、排出管60は温度制
御を改善するため、プリフオーム管と同じ直径を有する
のが好ましいであろう。
れ、この変形例では導管74はプリフオーム管10と排出管
60との接合部に隣接して位置した開口端すなわちオリフ
イス75を備えている。この導管は排出管60およびマニホ
ルドハウジング70を通つてその外部まで延びている。他
の一つの導管62は導管74内に位置し、この導管74は該導
管74のオリフイス75に隣接して位置した出口オリフイス
78を有している。オリフイスの位置は、この領域に観察
される反応生成物の特別な集積を緩和するために矢印83
によつて示されるように周期的に調節することができ
る。もし所望であれば、本実施例は導管74を排除するこ
とによつて変更しても良く、この場合排出は導管76を通
じて通常制御され、この導管76はさもなくば単にマニホ
ルドハウジング70を周期的に清浄化する時に用いられる
に過ぎないものである。その場合に、排出管60は温度制
御を改善するため、プリフオーム管と同じ直径を有する
のが好ましいであろう。
以上のように、本発明によれば、蒸着中にプリフオー
ム管から反応生成物を排出するための方法および装置が
提供されることが理解される。驚くべきことに、本発明
は関連する排出管およびハウジングを清浄化する能力の
みならず、それらを周期的にシールする能力の両方を有
し、フプリフオームの圧壊中に背圧を確立し、また圧壊
中のプリフオームを自動的に遮断することができる。し
かしながら、前記した実施例は単に本発明の選ばれた形
態を原理的に示すのにすぎないことを理解すべきであ
る。もちろん、特許請求の範囲に示すように、本発明の
精神および範囲から逸脱することなく、多数の変形、付
加ならびに削除を行うことが可能である。
ム管から反応生成物を排出するための方法および装置が
提供されることが理解される。驚くべきことに、本発明
は関連する排出管およびハウジングを清浄化する能力の
みならず、それらを周期的にシールする能力の両方を有
し、フプリフオームの圧壊中に背圧を確立し、また圧壊
中のプリフオームを自動的に遮断することができる。し
かしながら、前記した実施例は単に本発明の選ばれた形
態を原理的に示すのにすぎないことを理解すべきであ
る。もちろん、特許請求の範囲に示すように、本発明の
精神および範囲から逸脱することなく、多数の変形、付
加ならびに削除を行うことが可能である。
第１図はオプチカルフアイバプリフオーム管が化学蒸着
のために取り付けられている旋盤の斜視図、 第２図は本発明によるオプチカルフアイバプリフオーム
管の排出装置の断面図、 第３図は相互に衝合するよう並進された第２図に示す排
出管とプリフオーム管の対面する端部の拡大断面図、 第４図は第３図に示す形状とは別の形状のシールを有す
る排出管とプリフオーム管の対面する端部の断面図、 第５図は本発明の変形例によるプリフオーム管の排出装
置の断面図、 第６図は第５図に示す排出管の端部の拡大断面図、 第７図はさらに他の実施例によるプリフオーム管の排出
装置の断面図である。 10……プリフオーム管、10′……管端、11……旋盤のフ
レーム、15,16……チヤツク、18……ジヨー、23……ト
ーチ、37……排出ホース、40……排出管、41……管端、
44……隙間、48……かき取棒、60……排出管、62……導
管、66……導管、74……吸込管、76……排出ホース、78
……出口オリフイス。
のために取り付けられている旋盤の斜視図、 第２図は本発明によるオプチカルフアイバプリフオーム
管の排出装置の断面図、 第３図は相互に衝合するよう並進された第２図に示す排
出管とプリフオーム管の対面する端部の拡大断面図、 第４図は第３図に示す形状とは別の形状のシールを有す
る排出管とプリフオーム管の対面する端部の断面図、 第５図は本発明の変形例によるプリフオーム管の排出装
置の断面図、 第６図は第５図に示す排出管の端部の拡大断面図、 第７図はさらに他の実施例によるプリフオーム管の排出
装置の断面図である。 10……プリフオーム管、10′……管端、11……旋盤のフ
レーム、15,16……チヤツク、18……ジヨー、23……ト
ーチ、37……排出ホース、40……排出管、41……管端、
44……隙間、48……かき取棒、60……排出管、62……導
管、66……導管、74……吸込管、76……排出ホース、78
……出口オリフイス。
Claims (5)
- 【請求項１】化学反応および蒸着のためキャリアガスと
共に上流の管端部を通して蒸気が導入されるオプチカル
ファイバプリフォーム管から反応生成物を排出する方法
において、 前記プリフォーム管の下流端に隣接して位置しかつ該下
流端と流体連通している入口端（例えば41）を有し、該
反応生成物を該プリフォーム管から排出するための排出
管（例えば40）を設け、 前記排出管入口端に隣接する位置で該反応生成物の流れ
に衝突しないよう該プリフォーム管から該排出管への方
向を向いた反応生成物を含まないガスの流れを導入し、
該ガスの流れは該反応生成物が前記排出管とプリフォー
ム管の連結部を横切るとき該反応生成物を十分な高速で
前記排出管内へと引込まれるようにしていることを特徴
とする方法。 - 【請求項２】特許請求の範囲第１項記載の蒸着反応生成
物の排出方法において、 前記排出管入口端で前記排出管に堆積してしまった反応
生成物をかき取り棒（例えば48）で除去し、 前記排出管の入口端を前記プリフォーム管の下流端から
離間させてそれらの間に隙間を形成し、前記ガスの流れ
が前記排出管の中に導入される際前記隙間を通って導入
されるようにし、前記かき取りは少なくとも部分的に該
隙間にまたがる端部を有する該かき取り棒を前記排出管
内に位置させそして化学反応と蒸着の際前記排出管を回
転させることでなされていることを特徴とする方法。 - 【請求項３】特許請求の範囲第２項記載の蒸着反応生成
物の排出方法において、 前記隙間を選択的に閉じてプリフォームの崩壊のための
背圧を形成することを特徴とする方法。 - 【請求項４】特許請求の範囲第１項に記載の反応生成物
の排出方法において、 排出導管を前記排出管内に位置させ、供給導管を反応生
成物のないガスを供給するよう設け、 該排出導管は前記排出管内に配置されて該供給導管から
のガスを引込んで該反応生成物のないガスの流れを導入
していることを特徴とする方法。 - 【請求項５】特許請求の範囲第４項に記載の反応生成物
の排出方法において、 前記供給管は前記排出導管内に同心円として配置され、
前記排出導管は前記排出管内に同心円として配置されて
いることを特徴とする方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US126605 | 1980-03-03 | ||
| US06/126,605 US4278459A (en) | 1980-03-03 | 1980-03-03 | Method and apparatus for exhausting optical fiber preform tubes |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56134531A JPS56134531A (en) | 1981-10-21 |
| JPH0825768B2 true JPH0825768B2 (ja) | 1996-03-13 |
Family
ID=22425749
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56029472A Expired - Lifetime JPH0825768B2 (ja) | 1980-03-03 | 1981-03-03 | オプチカル ファイバ プリフォ−ム管から反応生成物を排出する方法および装置 |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4278459A (ja) |
| JP (1) | JPH0825768B2 (ja) |
| KR (1) | KR840001323B1 (ja) |
| CA (1) | CA1155009A (ja) |
| DE (1) | DE3107597A1 (ja) |
| FR (1) | FR2477132A1 (ja) |
| GB (1) | GB2071645B (ja) |
| NL (1) | NL190609C (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9011028B2 (en) | 2009-03-31 | 2015-04-21 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Tape cassette |
| US9132682B2 (en) | 2009-03-31 | 2015-09-15 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Tape unit and tape cassette |
| US9174476B2 (en) | 2010-02-26 | 2015-11-03 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ribbon guide in a tape cassette |
| US9409425B2 (en) | 2009-03-31 | 2016-08-09 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Tape cassette |
| US9498987B2 (en) | 2009-03-31 | 2016-11-22 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Tape cassette |
| US9498997B2 (en) | 2008-12-25 | 2016-11-22 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Tape cassette |
| US9566808B2 (en) | 2009-03-31 | 2017-02-14 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Tape cassette |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57100934A (en) * | 1980-12-12 | 1982-06-23 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Manufacturing of optical fiber preform |
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| DE3206144A1 (de) * | 1982-02-20 | 1983-09-01 | Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt | Verfahren zur herstellung eines lichtwellenleiters |
| DE3206145A1 (de) * | 1982-02-20 | 1983-09-01 | Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt | Verfahren und anordnung zur rueckgewinnung von ausgangsstoffen |
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| DE3921086A1 (de) * | 1989-06-28 | 1991-01-03 | Kabelmetal Electro Gmbh | Verfahren zur herstellung von lichtwellenleitern mit aufschmelzen eines ueberwurfrohres auf eine roh-vorform |
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-
1980
- 1980-03-03 US US06/126,605 patent/US4278459A/en not_active Expired - Lifetime
-
1981
- 1981-02-17 CA CA000371074A patent/CA1155009A/en not_active Expired
- 1981-02-26 FR FR8103854A patent/FR2477132A1/fr active Granted
- 1981-02-27 DE DE19813107597 patent/DE3107597A1/de active Granted
- 1981-03-02 NL NL8101010A patent/NL190609C/xx not_active IP Right Cessation
- 1981-03-02 GB GB8106436A patent/GB2071645B/en not_active Expired
- 1981-03-03 JP JP56029472A patent/JPH0825768B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1981-03-04 KR KR1019810000700A patent/KR840001323B1/ko not_active Expired
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| US9011028B2 (en) | 2009-03-31 | 2015-04-21 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Tape cassette |
| US9132682B2 (en) | 2009-03-31 | 2015-09-15 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Tape unit and tape cassette |
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| US9566808B2 (en) | 2009-03-31 | 2017-02-14 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Tape cassette |
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Also Published As
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|---|---|
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| GB2071645A (en) | 1981-09-23 |
| KR840001323B1 (ko) | 1984-09-17 |
| GB2071645B (en) | 1983-11-02 |
| NL8101010A (nl) | 1981-10-01 |
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| NL190609B (nl) | 1993-12-16 |
| FR2477132B1 (ja) | 1984-02-10 |
| CA1155009A (en) | 1983-10-11 |
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| JPS56134531A (en) | 1981-10-21 |
| NL190609C (nl) | 1994-05-16 |
| US4278459A (en) | 1981-07-14 |
| DE3107597C2 (ja) | 1990-01-04 |
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