JPH08262103A - Ｉｃ搬送器が循環するオートハンドラの再選別方法 - Google Patents
Ｉｃ搬送器が循環するオートハンドラの再選別方法Info
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- JPH08262103A JPH08262103A JP7091795A JP9179595A JPH08262103A JP H08262103 A JPH08262103 A JP H08262103A JP 7091795 A JP7091795 A JP 7091795A JP 9179595 A JP9179595 A JP 9179595A JP H08262103 A JPH08262103 A JP H08262103A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 30
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 15
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims description 13
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 6
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- 238000012216 screening Methods 0.000 claims 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 abstract 1
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＩＣ搬送器１０が循環するオートハンドラに
おいて、収容ローダから供給ローダにトレイ２０を再搭
載することなく、前記オートハンドラ内部で再選別する
方法を提供する。 【構成】 オートハンドラ１を動作する制御部３に、選
別手段３Ａと、再選別判定手段３Ｃと、測定後のＩＣを
選別する選別条件３Ｂと、測定後のＩＣを再選別する再
選別条件３Ｄを予め備える。再選別判定手段３Ｃで再選
別指定されたＩＣ１Ａは分類部１４においてＩＣ搬送器
１０に保留され、前記ＩＣ搬送器１０は供給部１１に移
動し、再試験される
おいて、収容ローダから供給ローダにトレイ２０を再搭
載することなく、前記オートハンドラ内部で再選別する
方法を提供する。 【構成】 オートハンドラ１を動作する制御部３に、選
別手段３Ａと、再選別判定手段３Ｃと、測定後のＩＣを
選別する選別条件３Ｂと、測定後のＩＣを再選別する再
選別条件３Ｄを予め備える。再選別判定手段３Ｃで再選
別指定されたＩＣ１Ａは分類部１４においてＩＣ搬送器
１０に保留され、前記ＩＣ搬送器１０は供給部１１に移
動し、再試験される
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ＩＣ搬送器が内部循
環するオートハンドラの再選別方法についてのものであ
る。
環するオートハンドラの再選別方法についてのものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】次に、この発明に係わるオートハンドラ
の構成を図３により説明する。図３アはオートハンドラ
の平面図であり、図３イは正面図である。図３の１０は
ＩＣ搬送器、１１は供給部、１２は予熱部、１３は測定
部、１４は分類部、１５は収容部である。また、２０は
トレイ、２１は供給ローダ、２２〜２４は収容ローダ、
２５は待機部である。
の構成を図３により説明する。図３アはオートハンドラ
の平面図であり、図３イは正面図である。図３の１０は
ＩＣ搬送器、１１は供給部、１２は予熱部、１３は測定
部、１４は分類部、１５は収容部である。また、２０は
トレイ、２１は供給ローダ、２２〜２４は収容ローダ、
２５は待機部である。
【０００３】図３では、ＩＣ１Ａが複数搭載されたトレ
イ２０は供給ローダ２１に50枚搭載される。供給ハンド
３１は供給ローダ２１の最上段のトレイ２０からＩＣ１
Ａを供給部１１のＩＣ搬送器１０に逐次移送する。供給
部１１のＩＣ搬送器１０への搬送動作が完了すると、移
動機構４０が水平に移動し、トレイ２０内のＩＣ１Ａの
有無を検出する。空のトレイ２０は移動機構４０で搬送
され、待機部２５に収納される。
イ２０は供給ローダ２１に50枚搭載される。供給ハンド
３１は供給ローダ２１の最上段のトレイ２０からＩＣ１
Ａを供給部１１のＩＣ搬送器１０に逐次移送する。供給
部１１のＩＣ搬送器１０への搬送動作が完了すると、移
動機構４０が水平に移動し、トレイ２０内のＩＣ１Ａの
有無を検出する。空のトレイ２０は移動機構４０で搬送
され、待機部２５に収納される。
【０００４】供給部１１のＩＣ搬送器１０は予熱部１２
に移動し、ＩＣ搬送器１０内のＩＣ１Ａが一定時間加熱
される。一定時間経過後、ＩＣ搬送器１０は測定部１３
に移動し、ＩＣ１Ａが試験される。なお、図３は高温ハ
ンドラであり、予熱部１２と測定部１３は高温槽に内蔵
される。低温ハンドラの場合は、予熱部１２は予冷部と
なり、予冷部と測定部は低温槽に内蔵される。
に移動し、ＩＣ搬送器１０内のＩＣ１Ａが一定時間加熱
される。一定時間経過後、ＩＣ搬送器１０は測定部１３
に移動し、ＩＣ１Ａが試験される。なお、図３は高温ハ
ンドラであり、予熱部１２と測定部１３は高温槽に内蔵
される。低温ハンドラの場合は、予熱部１２は予冷部と
なり、予冷部と測定部は低温槽に内蔵される。
【０００５】ＩＣ１Ａが試験完了後のＩＣ搬送器１０は
分類部１４に移動する。分類部１４では、試験結果と予
め設定された分類条件にしたがって、収容ハンド３２は
ＩＣ１Ａを収容ローダのトレイ２０に分類移載する。空
のＩＣ搬送器１０は供給部１１に戻る。
分類部１４に移動する。分類部１４では、試験結果と予
め設定された分類条件にしたがって、収容ハンド３２は
ＩＣ１Ａを収容ローダのトレイ２０に分類移載する。空
のＩＣ搬送器１０は供給部１１に戻る。
【０００６】図３では、収容ローダは３つ用意されてい
る。第１の収容ローダ２２はＩＣが収容されるのトレイ
２０が50枚搭載可能であるが、ＩＣ１Ａ１が収容不足の
場合は、既に空であることが確認されたトレイ２０を待
機部２５から供給する。第２の収容ローダ２３には、待
機部２５から空のトレイ２０が移載される。第３の収容
ローダ２４には空のトレイ２０が複数段搭載される。第
３の収容ローダ２４はＩＣ１Ａを例えば、グレード別に
分類するときに使用される。第３の収容ローダ２４のト
レイ２０は収容部１５に移動し、収容ハンド３２でＩＣ
１Ａが収納され、第３の収容ローダ２４に戻る。
る。第１の収容ローダ２２はＩＣが収容されるのトレイ
２０が50枚搭載可能であるが、ＩＣ１Ａ１が収容不足の
場合は、既に空であることが確認されたトレイ２０を待
機部２５から供給する。第２の収容ローダ２３には、待
機部２５から空のトレイ２０が移載される。第３の収容
ローダ２４には空のトレイ２０が複数段搭載される。第
３の収容ローダ２４はＩＣ１Ａを例えば、グレード別に
分類するときに使用される。第３の収容ローダ２４のト
レイ２０は収容部１５に移動し、収容ハンド３２でＩＣ
１Ａが収納され、第３の収容ローダ２４に戻る。
【０００７】次に、図３に示されるＩＣ搬送器が内部循
環するオートハンドラの制御方法を図４の機能ブロック
図により説明する。図４の１は図３で説明されるオート
ハンドラ、２はＩＣテスタ、３は制御部である。
環するオートハンドラの制御方法を図４の機能ブロック
図により説明する。図４の１は図３で説明されるオート
ハンドラ、２はＩＣテスタ、３は制御部である。
【０００８】図４では、測定部１３から試験開始要求信
号２ＡがＩＣテスタ２に送信されると、ＩＣテスタ２は
測定部１３のＩＣ１Ａを試験する。測定部１３のＩＣ搬
送器１０内のＩＣ１Ａは、例えば32個のＩＣ１Ａが並列
測定される。試験終了後、ＩＣテスタ２は試験終了信号
２Ｂを測定部１３に送信する。
号２ＡがＩＣテスタ２に送信されると、ＩＣテスタ２は
測定部１３のＩＣ１Ａを試験する。測定部１３のＩＣ搬
送器１０内のＩＣ１Ａは、例えば32個のＩＣ１Ａが並列
測定される。試験終了後、ＩＣテスタ２は試験終了信号
２Ｂを測定部１３に送信する。
【０００９】ＩＣテスタ２は試験終了信号２Ｂを送信す
るとともに、前記ＩＣ１Ａの測定データ２Ｃを制御部３
に送出する。前記測定データ２Ｃは制御部３の選別手段
３Ａに入力される。制御部３内の選別条件３Ｂには、Ｉ
Ｃ１Ａを選別する選別条件が予め設定されており、制御
部３は測定データ２Ｃと選別条件３Ｂを比較する。
るとともに、前記ＩＣ１Ａの測定データ２Ｃを制御部３
に送出する。前記測定データ２Ｃは制御部３の選別手段
３Ａに入力される。制御部３内の選別条件３Ｂには、Ｉ
Ｃ１Ａを選別する選別条件が予め設定されており、制御
部３は測定データ２Ｃと選別条件３Ｂを比較する。
【００１０】前記比較結果にしたがって、制御部３は分
類部１４での選別を指令する。前記選別指令にしたがっ
て、分類部１４では、個々のＩＣ１Ａが収容ローダ２２
〜２４に分類収納される。なお、制御部３では、図示さ
れないＣＰＵによって動作が指令される。例えば、オー
トハンドラ１の内部動作は制御部３から指令されるが、
この発明と係わらない動作については、説明を省略す
る。
類部１４での選別を指令する。前記選別指令にしたがっ
て、分類部１４では、個々のＩＣ１Ａが収容ローダ２２
〜２４に分類収納される。なお、制御部３では、図示さ
れないＣＰＵによって動作が指令される。例えば、オー
トハンドラ１の内部動作は制御部３から指令されるが、
この発明と係わらない動作については、説明を省略す
る。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】図４では、分類された
ＩＣの中で不良品として分類されたＩＣを再選別する場
合がある。例えば、１ロットにおける歩どまりが想定す
る歩どまりと異なる場合に、不良品のＩＣを収容するこ
とに設定した収容ローダから、トレイ２０を引き出し、
前記トレイ２０を供給ローダ２１に搭載する。
ＩＣの中で不良品として分類されたＩＣを再選別する場
合がある。例えば、１ロットにおける歩どまりが想定す
る歩どまりと異なる場合に、不良品のＩＣを収容するこ
とに設定した収容ローダから、トレイ２０を引き出し、
前記トレイ２０を供給ローダ２１に搭載する。
【００１２】この発明は、ＩＣ搬送器が内部循環するオ
ートハンドラにおいて、収容ローダから供給ローダにト
レイを再搭載することなく、前記オートハンドラ内部で
再選別する方法を提供することを目的とする。
ートハンドラにおいて、収容ローダから供給ローダにト
レイを再搭載することなく、前記オートハンドラ内部で
再選別する方法を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、この発明は、供給部１１ではＩＣ搬送器１０にＩＣ
１Ａが逐次供給され、前記ＩＣ搬送器１０は測定部１３
に移動してＩＣ１Ａが試験され、試験完了後の前記ＩＣ
搬送器１０は分類部１４に移動し、前記分類部１４では
前記試験結果に基づき前記ＩＣ搬送器１０内のＩＣ１Ａ
を分類してＩＣ１Ａを複数のトレイ２０に分類移載し、
前記ＩＣ搬送器１０は供給部１１に移動するＩＣ搬送器
が循環するオートハンドラであって、オートハンドラ１
の制御部３は少なくとも選別手段３Ａと再選別判定手段
３Ｃをもち、選別手段３Ａは測定後のＩＣ１Ａを選別す
る選別条件３Ｂが設定され、再選別判定手段３Ｃは測定
後のＩＣを再選別する再選別条件３Ｄが設定され、選別
手段３Ａには測定後のＩＣ搬送器１０の個々のＩＣ１Ａ
の測定データ２Ｃが送出され、選別手段３Ａが選別条件
３Ｂと測定データ２Ｃを比較し、選別手段３Ａが不良品
と判定したＩＣ１Ａの測定データ２Ｃは再選別判定手段
３Ｃに送出され、再選別判定手段３Ｃは再選別条件３Ｄ
と前記測定データ２Ｃを比較し、再選別判定手段３Ｃは
前記不良判定ＩＣをＩＣ搬送器１０に保留する第１の指
令と、前記不良判定ＩＣを不良品ＩＣを収容指定のトレ
イ２０に移載する第２の指令の内、いずれかを指令す
る。
め、この発明は、供給部１１ではＩＣ搬送器１０にＩＣ
１Ａが逐次供給され、前記ＩＣ搬送器１０は測定部１３
に移動してＩＣ１Ａが試験され、試験完了後の前記ＩＣ
搬送器１０は分類部１４に移動し、前記分類部１４では
前記試験結果に基づき前記ＩＣ搬送器１０内のＩＣ１Ａ
を分類してＩＣ１Ａを複数のトレイ２０に分類移載し、
前記ＩＣ搬送器１０は供給部１１に移動するＩＣ搬送器
が循環するオートハンドラであって、オートハンドラ１
の制御部３は少なくとも選別手段３Ａと再選別判定手段
３Ｃをもち、選別手段３Ａは測定後のＩＣ１Ａを選別す
る選別条件３Ｂが設定され、再選別判定手段３Ｃは測定
後のＩＣを再選別する再選別条件３Ｄが設定され、選別
手段３Ａには測定後のＩＣ搬送器１０の個々のＩＣ１Ａ
の測定データ２Ｃが送出され、選別手段３Ａが選別条件
３Ｂと測定データ２Ｃを比較し、選別手段３Ａが不良品
と判定したＩＣ１Ａの測定データ２Ｃは再選別判定手段
３Ｃに送出され、再選別判定手段３Ｃは再選別条件３Ｄ
と前記測定データ２Ｃを比較し、再選別判定手段３Ｃは
前記不良判定ＩＣをＩＣ搬送器１０に保留する第１の指
令と、前記不良判定ＩＣを不良品ＩＣを収容指定のトレ
イ２０に移載する第２の指令の内、いずれかを指令す
る。
【００１４】
【作用】この発明は、オートハンドラを動作する制御部
に、選別手段と、再選別判定手段、測定後のＩＣを選別
する選別条件と、測定後のＩＣを再選別する再選別条件
を予め備えている。再選別判定手段で再選別指定された
ＩＣは分類部においてＩＣ搬送器に保留され、前記ＩＣ
搬送器は供給部に移動し、再試験されるので、再選別の
工程が短縮できる。
に、選別手段と、再選別判定手段、測定後のＩＣを選別
する選別条件と、測定後のＩＣを再選別する再選別条件
を予め備えている。再選別判定手段で再選別指定された
ＩＣは分類部においてＩＣ搬送器に保留され、前記ＩＣ
搬送器は供給部に移動し、再試験されるので、再選別の
工程が短縮できる。
【００１５】
【実施例】次に、この発明による構成を図１の実施例に
より説明する。図１の３Ｃは再選別判定手段、３Ｄは再
選別条件であり、その他は図４と同じものである。すな
わち、図１は図４の制御部３に再選別判定手段３Ｃと再
選別条件３Ｄを追加したものである。
より説明する。図１の３Ｃは再選別判定手段、３Ｄは再
選別条件であり、その他は図４と同じものである。すな
わち、図１は図４の制御部３に再選別判定手段３Ｃと再
選別条件３Ｄを追加したものである。
【００１６】図１では、選別手段３Ａが選別条件３Ｂと
測定データ２Ｃを比較し、選別手段３Ａが不良品と判定
したＩＣ１Ａの測定データ２Ｃは再選別判定手段３Ｃに
送出される。再選別判定手段３Ｃは再選別条件３Ｄと前
記測定データ２Ｃを比較し、再選別判定手段３Ｃは前記
不良判定ＩＣをＩＣ搬送器１０に保留する第１の指令
と、前記不良判定ＩＣを不良品ＩＣを収容指定のトレイ
２０に移載する第２の指令の内、いずれかを指令する。
なお、ここでいう再選別条件とは、測定データ２Ｃと比
較される設定データの他に、不良品判定が２度目のとき
は不良ＩＣとみなすという設定条件も含まれる。
測定データ２Ｃを比較し、選別手段３Ａが不良品と判定
したＩＣ１Ａの測定データ２Ｃは再選別判定手段３Ｃに
送出される。再選別判定手段３Ｃは再選別条件３Ｄと前
記測定データ２Ｃを比較し、再選別判定手段３Ｃは前記
不良判定ＩＣをＩＣ搬送器１０に保留する第１の指令
と、前記不良判定ＩＣを不良品ＩＣを収容指定のトレイ
２０に移載する第２の指令の内、いずれかを指令する。
なお、ここでいう再選別条件とは、測定データ２Ｃと比
較される設定データの他に、不良品判定が２度目のとき
は不良ＩＣとみなすという設定条件も含まれる。
【００１７】次に、この発明の実施例の動作を図２のフ
ローチャートにより説明する。図２のステップ１０１で
は、供給ハンド３１は供給ローダ２１のトレイ２０から
供給部１１に位置するＩＣ搬送器１０へＩＣ１ＡをＮ個
移載する。この場合、再選別すべき不良品のＩＣ１Ａが
ＩＣ搬送器１０に残存しているときは、供給ハンド３１
は前記ＩＣ１Ａの収容個所を避けてＩＣ１Ａを移載す
る。
ローチャートにより説明する。図２のステップ１０１で
は、供給ハンド３１は供給ローダ２１のトレイ２０から
供給部１１に位置するＩＣ搬送器１０へＩＣ１ＡをＮ個
移載する。この場合、再選別すべき不良品のＩＣ１Ａが
ＩＣ搬送器１０に残存しているときは、供給ハンド３１
は前記ＩＣ１Ａの収容個所を避けてＩＣ１Ａを移載す
る。
【００１８】ステップ１０２では、Ｎ個供給完了したＩ
Ｃ搬送器１０は予熱部１２へ移動する。ステップ１０３
では、前記ＩＣ搬送器１０は測定部１３へ移動する。ス
テップ１０４では、ＩＣテスタ２に対し、ＩＣの試験開
始を要求する。
Ｃ搬送器１０は予熱部１２へ移動する。ステップ１０３
では、前記ＩＣ搬送器１０は測定部１３へ移動する。ス
テップ１０４では、ＩＣテスタ２に対し、ＩＣの試験開
始を要求する。
【００１９】ステップ１０５では、ＩＣテスタ２はオー
トハンドラ１に試験終了信号を送出する。ステップ１０
６では、ＩＣテスタ２は測定データ２Ｃを選別手段３Ａ
に送出する。
トハンドラ１に試験終了信号を送出する。ステップ１０
６では、ＩＣテスタ２は測定データ２Ｃを選別手段３Ａ
に送出する。
【００２０】ステップ１０７では、選別手段３Ａは測定
データ２Ｃと選別条件３Ｂを比較し、分類すべき収容ロ
ーダを指令する。ステップ１０８で、不良品と判定され
るＩＣが無いときは、ステップ１０９に進み、不良品と
判定されるＩＣが有るときは、ステップ１１０に進む。
ステップ１０９では、収容ハンド３２はステップ１０７
の指令にしたがい、ＩＣを所定の収容ローダに移載す
る。
データ２Ｃと選別条件３Ｂを比較し、分類すべき収容ロ
ーダを指令する。ステップ１０８で、不良品と判定され
るＩＣが無いときは、ステップ１０９に進み、不良品と
判定されるＩＣが有るときは、ステップ１１０に進む。
ステップ１０９では、収容ハンド３２はステップ１０７
の指令にしたがい、ＩＣを所定の収容ローダに移載す
る。
【００２１】ステップ１１０では、選別手段３Ａは測定
データ２Ｃを再選別判定手段３Ｃに送出する。ステップ
１１１では、再選別判定手段３Ｃは測定データ２Ｃと再
選別条件３Ｄを比較する。ステップ１１２で、再選別の
必要がある場合は、ステップ１１３に進み、再選別する
必要がないと判定された場合は、ステップ１０９の前段
に戻る。
データ２Ｃを再選別判定手段３Ｃに送出する。ステップ
１１１では、再選別判定手段３Ｃは測定データ２Ｃと再
選別条件３Ｄを比較する。ステップ１１２で、再選別の
必要がある場合は、ステップ１１３に進み、再選別する
必要がないと判定された場合は、ステップ１０９の前段
に戻る。
【００２２】ステップ１１３では、再選別判定手段３Ｃ
はＩＣをＩＣ搬送器１０に保留するよう指令する。ステ
ップ１１４では、前記保留ＩＣを搭載したＩＣ搬送器は
供給部１１で移動し、初期のステップに戻る。全ての分
類作業が終了した時点で、一連の作業が終了する。
はＩＣをＩＣ搬送器１０に保留するよう指令する。ステ
ップ１１４では、前記保留ＩＣを搭載したＩＣ搬送器は
供給部１１で移動し、初期のステップに戻る。全ての分
類作業が終了した時点で、一連の作業が終了する。
【００２３】
【発明の効果】この発明は、オートハンドラを動作する
制御部に、選別手段と、再選別判定手段、測定後のＩＣ
を選別する選別条件と、測定後のＩＣを再選別する再選
別条件を予め備えている。再選別判定手段で再選別指定
されたＩＣは分類部においてＩＣ搬送器に保留され、前
記ＩＣ搬送器は供給部に移動し、再試験されるので、再
選別の工程が短縮できる。
制御部に、選別手段と、再選別判定手段、測定後のＩＣ
を選別する選別条件と、測定後のＩＣを再選別する再選
別条件を予め備えている。再選別判定手段で再選別指定
されたＩＣは分類部においてＩＣ搬送器に保留され、前
記ＩＣ搬送器は供給部に移動し、再試験されるので、再
選別の工程が短縮できる。
【図１】この発明の実施例による機能ブロックの構成図
である。
である。
【図２】この発明の動作を示すフローチャートである。
【図３】この発明に係わるオートハンドラの構成図であ
る。
る。
【図４】従来技術による機能ブロックの構成図である。
１ オートハンドラ １Ａ ＩＣ ２ ＩＣテスタ ２Ａ 試験開始要求信号 ２Ｂ 試験終了信号 ２Ｃ 測定データ ３ 制御部 ３Ａ 選別手段 ３Ｂ 選別条件 ３Ｃ 再選別判定手段 ３Ｄ 再選別条件 １０ ＩＣ搬送器 １１ 供給部 １２ 予熱部 １３ 測定部 １４ 分類部 １５ 収容部 ２０ トレイ ２１ 供給ローダ ２２ 収容ローダ ２３ 収容ローダ ２４ 収容ローダ ２５ 待機部
Claims (1)
- 【請求項１】 供給部ではＩＣ搬送器にＩＣが逐次供給
され、前記ＩＣ搬送器は測定部に移動してＩＣが試験さ
れ、試験完了後の前記ＩＣ搬送器は分類部に移動し、前
記分類部では前記試験結果に基づき前記ＩＣ搬送器内の
ＩＣを分類してＩＣを複数のトレイに分類移載し、前記
ＩＣ搬送器は前記供給部に移動するＩＣ搬送器が循環す
るオートハンドラであって、 前記オートハンドラの制御部は少なくとも選別手段と再
選別判定手段をもち、 前記選別手段は測定後のＩＣを選別する選別条件が設定
され、 前記再選別判定手段は測定後のＩＣを再選別する再選別
条件が設定され、 前記選別手段には測定後のＩＣ搬送器の個々のＩＣの測
定データが送出され、 前記選別手段が前記選別条件と前記測定データを比較
し、 前記選別手段が不良品と判定したＩＣの前記測定データ
は前記再選別判定手段に送出され、 前記再選別判定手段は前記再選別条件と前記測定データ
を比較し、 前記再選別判定手段は前記不良判定ＩＣを前記ＩＣ搬送
器に保留する第１の指令と、前記不良判定ＩＣを不良品
ＩＣを収容指定のトレイに移載する第２の指令の内、い
ずれかを指令することを特徴とするＩＣ搬送器が循環す
るオートハンドラの再選別方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7091795A JPH08262103A (ja) | 1995-03-24 | 1995-03-24 | Ｉｃ搬送器が循環するオートハンドラの再選別方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7091795A JPH08262103A (ja) | 1995-03-24 | 1995-03-24 | Ｉｃ搬送器が循環するオートハンドラの再選別方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08262103A true JPH08262103A (ja) | 1996-10-11 |
Family
ID=14036556
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7091795A Pending JPH08262103A (ja) | 1995-03-24 | 1995-03-24 | Ｉｃ搬送器が循環するオートハンドラの再選別方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08262103A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5686834A (en) * | 1995-09-28 | 1997-11-11 | Ando Electric Co., Ltd. | Handling system |
| JP2007040864A (ja) * | 2005-08-04 | 2007-02-15 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品の特性測定・選別方法および装置 |
| TWI498266B (ja) * | 2014-08-07 | 2015-09-01 | ||
| JP2017067591A (ja) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | セイコーエプソン株式会社 | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 |
-
1995
- 1995-03-24 JP JP7091795A patent/JPH08262103A/ja active Pending
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