JPH08262327A - Ｘ−ｙテーブルの移動制御装置 - Google Patents
Ｘ−ｙテーブルの移動制御装置Info
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- JPH08262327A JPH08262327A JP6275895A JP6275895A JPH08262327A JP H08262327 A JPH08262327 A JP H08262327A JP 6275895 A JP6275895 A JP 6275895A JP 6275895 A JP6275895 A JP 6275895A JP H08262327 A JPH08262327 A JP H08262327A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ジョイスティックを操作したり、移動量を数
値入力することなく、Ｘ−Ｙテーブルを任意の方向に任
意の移動量だけ簡単に且つ正確に移動させることができ
るようにすることを目的としている。 【構成】 Ｘ方向及びＹ方向に移動可能に配設されたＸ
−Ｙテーブル４と、これを各方向に夫々任意の移動量だ
け移動させる駆動装置5x，5yと、前記テーブル４上を撮
影するカメラ６と、その映像を画面に映し出すディスプ
レイ装置８と、画面上の任意の位置にマーカＭを移動さ
せるマウス９とを備え、移動起点Psとなる任意の位置の
Ｘ−Ｙ座標を検出する移動起点設定手段11と、移動終点
Peとなる任意の位置のＸ−Ｙ座標を検出する移動終点設
定手段12と、移動起点Ps及び移動終点PeのＸ−Ｙ座標に
基づいて各方向の移動量を算出する移動量設定手段13
と、算出された夫々の移動量に基づいて前記駆動装置5
x，5yに移動制御信号を出力するコントローラ14を備え
たことを特徴とする。
値入力することなく、Ｘ−Ｙテーブルを任意の方向に任
意の移動量だけ簡単に且つ正確に移動させることができ
るようにすることを目的としている。 【構成】 Ｘ方向及びＹ方向に移動可能に配設されたＸ
−Ｙテーブル４と、これを各方向に夫々任意の移動量だ
け移動させる駆動装置5x，5yと、前記テーブル４上を撮
影するカメラ６と、その映像を画面に映し出すディスプ
レイ装置８と、画面上の任意の位置にマーカＭを移動さ
せるマウス９とを備え、移動起点Psとなる任意の位置の
Ｘ−Ｙ座標を検出する移動起点設定手段11と、移動終点
Peとなる任意の位置のＸ−Ｙ座標を検出する移動終点設
定手段12と、移動起点Ps及び移動終点PeのＸ−Ｙ座標に
基づいて各方向の移動量を算出する移動量設定手段13
と、算出された夫々の移動量に基づいて前記駆動装置5
x，5yに移動制御信号を出力するコントローラ14を備え
たことを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、Ｘ−Ｙ平面上をＸ方向
及びＹ方向に沿って移動可能に配設されたＸ−Ｙテーブ
ルをＸ方向及びＹ方向に夫々任意の移動量だけ移動させ
ることのできるＸ−Ｙテーブルの移動制御装置に関し、
特に、顕微鏡のステージや工作機械の加工テーブルに使
用して好適なものである。
及びＹ方向に沿って移動可能に配設されたＸ−Ｙテーブ
ルをＸ方向及びＹ方向に夫々任意の移動量だけ移動させ
ることのできるＸ−Ｙテーブルの移動制御装置に関し、
特に、顕微鏡のステージや工作機械の加工テーブルに使
用して好適なものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば、レーザ光を顕微鏡内に導いて対
物レンズで集光し、これを粒子に照射することにより光
の放射圧を生じさせ、その圧力により当該粒子を捕捉す
るレーザトラッピングにおいては、顕微鏡下において、
捕捉しようとする粒子を焦点位置に移動する必要が生
じ、しかもその移動量はミクロンオーダーと極めて微量
なので、これを制御するために精密モータによりＸ−Ｙ
方向に移動されるＸ−Ｙテーブルが使用されている。
物レンズで集光し、これを粒子に照射することにより光
の放射圧を生じさせ、その圧力により当該粒子を捕捉す
るレーザトラッピングにおいては、顕微鏡下において、
捕捉しようとする粒子を焦点位置に移動する必要が生
じ、しかもその移動量はミクロンオーダーと極めて微量
なので、これを制御するために精密モータによりＸ−Ｙ
方向に移動されるＸ−Ｙテーブルが使用されている。
【０００３】そして、このＸ−Ｙテーブルをを移動させ
る場合は、例えば、顕微鏡の像をみながらＸ方向移動モ
ータ及びＹ方向移動モータのスイッチとなるジョイステ
ックを操作して各モータをオンオフさせることにより、
またはＸ方向移動量及びＹ方向移動量を数値入力するこ
とにより任意の位置に移動させるようにしている。
る場合は、例えば、顕微鏡の像をみながらＸ方向移動モ
ータ及びＹ方向移動モータのスイッチとなるジョイステ
ックを操作して各モータをオンオフさせることにより、
またはＸ方向移動量及びＹ方向移動量を数値入力するこ
とにより任意の位置に移動させるようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、例えば
ジョイスティック等で各モータのオンオフ操作をする場
合、移動させようとする粒子が移動終点となる位置に達
するまで移動する粒子を見続けなければならず、顕微鏡
の像にその粒子が一つしか存在しないときはまだしも、
多数の粒子があるときはこれらが同時に移動するので特
定の粒子を目視により追跡することは極めて困難であ
る。
ジョイスティック等で各モータのオンオフ操作をする場
合、移動させようとする粒子が移動終点となる位置に達
するまで移動する粒子を見続けなければならず、顕微鏡
の像にその粒子が一つしか存在しないときはまだしも、
多数の粒子があるときはこれらが同時に移動するので特
定の粒子を目視により追跡することは極めて困難であ
る。
【０００５】また、特定の粒子を目視により追跡するこ
とができたとしても、Ｘ方向とＹ方向に別々に移動させ
なければならないので、斜めに移動させる場合は階段状
に移動させていかなければならず、また、粒子が移動終
点となる位置に達したことを目で見て認識したときと、
これに基づいて行うジョイスティックのスイッチ操作
と、ジョイスティックのスイッチ操作に応動するＸ−Ｙ
テーブルの動きとの間に夫々タイムラグがあるので、移
動終点に正確に位置決めするのが非常に面倒であるとい
う問題があった。
とができたとしても、Ｘ方向とＹ方向に別々に移動させ
なければならないので、斜めに移動させる場合は階段状
に移動させていかなければならず、また、粒子が移動終
点となる位置に達したことを目で見て認識したときと、
これに基づいて行うジョイスティックのスイッチ操作
と、ジョイスティックのスイッチ操作に応動するＸ−Ｙ
テーブルの動きとの間に夫々タイムラグがあるので、移
動終点に正確に位置決めするのが非常に面倒であるとい
う問題があった。
【０００６】一方、移動量を数値入力して各モータを移
動させる場合は、正確に移動させることができるが、何
らかの方法で移動量を測定しなければならないので、そ
の測定手段にコストがかかり、構成も複雑になり、操作
も面倒になるという問題がある。そこで本発明は、ジョ
イスティックを操作したり、移動量を数値入力すること
なく、Ｘ−Ｙテーブルを任意の方向に任意の移動量だけ
簡単に且つ正確に移動させることができるようにするこ
とを技術的課題としている。
動させる場合は、正確に移動させることができるが、何
らかの方法で移動量を測定しなければならないので、そ
の測定手段にコストがかかり、構成も複雑になり、操作
も面倒になるという問題がある。そこで本発明は、ジョ
イスティックを操作したり、移動量を数値入力すること
なく、Ｘ−Ｙテーブルを任意の方向に任意の移動量だけ
簡単に且つ正確に移動させることができるようにするこ
とを技術的課題としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に、本発明は、Ｘ−Ｙ平面上をＸ方向及びＹ方向に沿っ
て移動可能に配設されたＸ−Ｙテーブルと、当該Ｘ−Ｙ
テーブルをＸ方向及びＹ方向に夫々任意の移動量だけ移
動させる駆動装置と、前記テーブル上を撮影するカメラ
と、当該カメラの映像を画面に映し出すディスプレイ装
置と、当該ディスプレイ装置の画面上の任意の位置にマ
ーカを移動させるマウスとを備えると共に、マウス操作
によりディスプレイ装置の画面上に映し出されたマーカ
を移動起点となる任意の位置に位置決めして当該移動起
点のＸ−Ｙ座標を検出する移動起点設定手段と、マウス
操作によりディスプレイ装置の画面上に映し出されたマ
ーカを移動終点となる任意の位置に位置決めして当該移
動終点のＸ−Ｙ座標を検出する移動終点設定手段と、前
記移動起点設定手段及び移動終点設定手段により設定さ
れた移動起点及び移動終点のＸ−Ｙ座標に基づいてＸ−
ＹテーブルのＸ方向及びＹ方向の移動量を算出する移動
量設定手段と、算出された夫々の移動量に基づいて前記
駆動装置に移動制御信号を出力するコントローラを備え
たことを特徴とする。なお、移動終点が予め設定されて
いる場合には、移動終点を設定する必要がないので移動
終点設定手段がなく、移動起点設定手段により設定され
た移動起点のＸ−Ｙ座標及び予め設定された移動終点の
Ｘ−Ｙ座標に基づいてＸ−ＹテーブルのＸ方向及びＹ方
向の移動量を算出する移動量設定手段と、算出された夫
々の移動量に基づいて前記駆動手段に移動制御信号を出
力するコントローラを備えたことを特徴とする。
に、本発明は、Ｘ−Ｙ平面上をＸ方向及びＹ方向に沿っ
て移動可能に配設されたＸ−Ｙテーブルと、当該Ｘ−Ｙ
テーブルをＸ方向及びＹ方向に夫々任意の移動量だけ移
動させる駆動装置と、前記テーブル上を撮影するカメラ
と、当該カメラの映像を画面に映し出すディスプレイ装
置と、当該ディスプレイ装置の画面上の任意の位置にマ
ーカを移動させるマウスとを備えると共に、マウス操作
によりディスプレイ装置の画面上に映し出されたマーカ
を移動起点となる任意の位置に位置決めして当該移動起
点のＸ−Ｙ座標を検出する移動起点設定手段と、マウス
操作によりディスプレイ装置の画面上に映し出されたマ
ーカを移動終点となる任意の位置に位置決めして当該移
動終点のＸ−Ｙ座標を検出する移動終点設定手段と、前
記移動起点設定手段及び移動終点設定手段により設定さ
れた移動起点及び移動終点のＸ−Ｙ座標に基づいてＸ−
ＹテーブルのＸ方向及びＹ方向の移動量を算出する移動
量設定手段と、算出された夫々の移動量に基づいて前記
駆動装置に移動制御信号を出力するコントローラを備え
たことを特徴とする。なお、移動終点が予め設定されて
いる場合には、移動終点を設定する必要がないので移動
終点設定手段がなく、移動起点設定手段により設定され
た移動起点のＸ−Ｙ座標及び予め設定された移動終点の
Ｘ−Ｙ座標に基づいてＸ−ＹテーブルのＸ方向及びＹ方
向の移動量を算出する移動量設定手段と、算出された夫
々の移動量に基づいて前記駆動手段に移動制御信号を出
力するコントローラを備えたことを特徴とする。
【０００８】
【作用】本発明によれば、マウス操作により画面上で移
動起点と移動終点を設定するだけで、夫々のＸ−Ｙ座標
が検出され、その座標値に基づいてＸ−ＹテーブルのＸ
方向及びＹ方向の移動量が設定されてＸ−Ｙテーブルが
移動する。したがって、例えばレーザトラッピング装置
のＸ−Ｙテーブルとして使用し、このＸ−Ｙテーブルを
Ｘ方向及びＹ方向に移動させることにより、画面上の任
意の粒子をレーザ光軸位置に移動させたい場合、マウス
操作により画面上の任意の粒子の位置にマーカを合わせ
て移動起点を設定し、次いでマーカを光軸位置に合わせ
て移動終点を設定すれば、自動的にＸ−Ｙテーブルが移
動して、粒子が光軸位置まで移動する。なお、レーザ光
軸位置が予め設定されている場合には、移動終点を改め
て設定することなく、移動起点を設定するだけで、自動
的にＸ−Ｙテーブルが移動して、粒子が光軸位置まで移
動する。
動起点と移動終点を設定するだけで、夫々のＸ−Ｙ座標
が検出され、その座標値に基づいてＸ−ＹテーブルのＸ
方向及びＹ方向の移動量が設定されてＸ−Ｙテーブルが
移動する。したがって、例えばレーザトラッピング装置
のＸ−Ｙテーブルとして使用し、このＸ−Ｙテーブルを
Ｘ方向及びＹ方向に移動させることにより、画面上の任
意の粒子をレーザ光軸位置に移動させたい場合、マウス
操作により画面上の任意の粒子の位置にマーカを合わせ
て移動起点を設定し、次いでマーカを光軸位置に合わせ
て移動終点を設定すれば、自動的にＸ−Ｙテーブルが移
動して、粒子が光軸位置まで移動する。なお、レーザ光
軸位置が予め設定されている場合には、移動終点を改め
て設定することなく、移動起点を設定するだけで、自動
的にＸ−Ｙテーブルが移動して、粒子が光軸位置まで移
動する。
【０００９】
【実施例】以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて
具体的に説明する。図１は本発明に係るＸ−Ｙテーブル
の移動制御装置を示すフローシート、図２はそのブロッ
ク図、図３は操作画面を示す説明図、図４は本発明に係
る他の移動制御装置を示すブロック図であって、本例で
はレーザトラッピング装置の顕微鏡ステージに適用した
場合について説明する。
具体的に説明する。図１は本発明に係るＸ−Ｙテーブル
の移動制御装置を示すフローシート、図２はそのブロッ
ク図、図３は操作画面を示す説明図、図４は本発明に係
る他の移動制御装置を示すブロック図であって、本例で
はレーザトラッピング装置の顕微鏡ステージに適用した
場合について説明する。
【００１０】図中１は、真空又は媒質中の粒子にレーザ
光源２からレーザ光を照射してその粒子を捕捉するレー
ザトラッピング装置であって、媒質及び粒子の入った容
器３を載せるステージ（Ｘ−Ｙテーブル）４がパルスモ
ータ（駆動装置）５ｘ，５ｙによりＸ−Ｙ平面上をＸ方
向及びＹ方向に沿って移動可能に配設されると共に、当
該ステージ４の上方には容器３内を所定の倍率で拡大撮
影するＣＣＤカメラ６が配設されている。
光源２からレーザ光を照射してその粒子を捕捉するレー
ザトラッピング装置であって、媒質及び粒子の入った容
器３を載せるステージ（Ｘ−Ｙテーブル）４がパルスモ
ータ（駆動装置）５ｘ，５ｙによりＸ−Ｙ平面上をＸ方
向及びＹ方向に沿って移動可能に配設されると共に、当
該ステージ４の上方には容器３内を所定の倍率で拡大撮
影するＣＣＤカメラ６が配設されている。
【００１１】７は、ステージ４の移動方向及び移動量を
決定する移動制御装置であって、その入力側に、前記Ｃ
ＣＤカメラ６と、当該カメラ６の映像を画面に映し出す
ディスプレイ装置８の画面上でマーカＭを任意の位置に
移動させるマウス９が接続されると共に、その出力側
に、前記ディスプレイ装置８と、前記パルスモータ５
ｘ，５ｙが接続されている。
決定する移動制御装置であって、その入力側に、前記Ｃ
ＣＤカメラ６と、当該カメラ６の映像を画面に映し出す
ディスプレイ装置８の画面上でマーカＭを任意の位置に
移動させるマウス９が接続されると共に、その出力側
に、前記ディスプレイ装置８と、前記パルスモータ５
ｘ，５ｙが接続されている。
【００１２】そして、この移動制御装置７は、前記ＣＣ
Ｄカメラ６やマウス９から入力された信号を処理してか
ら入力された画像信号やマウス９から入力された信号に
応じてディスプレイ装置８に画像やマーカＭを映し出す
主制御装置１０と、マウス操作によりディスプレイ装置
８の画面上に映し出されたマーカを移動起点Ｐｓとなる
任意の位置に位置決めして当該移動起点ＰｓのＸ−Ｙ座
標を検出する移動起点設定手段１１と、マウス操作によ
りディスプレイ装置８の画面上に映し出されたマーカＭ
を移動終点Ｐｅとなる任意の位置に位置決めして当該移
動終点ＰｅのＸ−Ｙ座標を検出する移動終点設定手段１
２と、前記移動起点設定手段１１及び移動終点設定手段
１２により設定された移動起点Ｐｓ及び移動終点Ｐｅの
Ｘ−Ｙ座標に基づいてステージ４のＸ方向及びＹ方向の
移動量を算出する移動量設定手段１３と、算出された夫
々のＸ方向及びＹ方向の移動量に基づいて前記パルスモ
ータ５ｘ，５ｙに移動制御信号を出力するコントローラ
１４を備えている。
Ｄカメラ６やマウス９から入力された信号を処理してか
ら入力された画像信号やマウス９から入力された信号に
応じてディスプレイ装置８に画像やマーカＭを映し出す
主制御装置１０と、マウス操作によりディスプレイ装置
８の画面上に映し出されたマーカを移動起点Ｐｓとなる
任意の位置に位置決めして当該移動起点ＰｓのＸ−Ｙ座
標を検出する移動起点設定手段１１と、マウス操作によ
りディスプレイ装置８の画面上に映し出されたマーカＭ
を移動終点Ｐｅとなる任意の位置に位置決めして当該移
動終点ＰｅのＸ−Ｙ座標を検出する移動終点設定手段１
２と、前記移動起点設定手段１１及び移動終点設定手段
１２により設定された移動起点Ｐｓ及び移動終点Ｐｅの
Ｘ−Ｙ座標に基づいてステージ４のＸ方向及びＹ方向の
移動量を算出する移動量設定手段１３と、算出された夫
々のＸ方向及びＹ方向の移動量に基づいて前記パルスモ
ータ５ｘ，５ｙに移動制御信号を出力するコントローラ
１４を備えている。
【００１３】移動起点設定手段１１は、例えば、マウス
９のボタン９ａをクリックしたときのマーカＭのＸ−Ｙ
座標を検出するように成されると共に、移動終点設定手
段１２はクリックしたマウスのボタン９ａから指を離し
たときのマーカＭのＸ−Ｙ座標を検出するように成され
ている。したがって、例えば移動起点ＰｓにマーカＭを
合わせた状態で、マウス９のボタン９ａをクリックする
と移動起点設定手段１１によりその座標Ｐｓ（Ｘｓ，Ｙ
ｓ）が読み取られ、そのままマウス９を動かしてマーカ
Ｍを移動終点Ｐｅまで移動させてボタン９ａから指を離
すと移動終点設定手段１２によりその座標Ｐｅ（Ｘｅ，
Ｙｅ）が読み取られる。
９のボタン９ａをクリックしたときのマーカＭのＸ−Ｙ
座標を検出するように成されると共に、移動終点設定手
段１２はクリックしたマウスのボタン９ａから指を離し
たときのマーカＭのＸ−Ｙ座標を検出するように成され
ている。したがって、例えば移動起点ＰｓにマーカＭを
合わせた状態で、マウス９のボタン９ａをクリックする
と移動起点設定手段１１によりその座標Ｐｓ（Ｘｓ，Ｙ
ｓ）が読み取られ、そのままマウス９を動かしてマーカ
Ｍを移動終点Ｐｅまで移動させてボタン９ａから指を離
すと移動終点設定手段１２によりその座標Ｐｅ（Ｘｅ，
Ｙｅ）が読み取られる。
【００１４】移動量設定手段１３では、移動起点Ｐｓ及
び移動終点Ｐｅの座標から、Ｘ方向及びＹ方向の移動量
を算出する。本例の場合、Ｘ方向及びＹ方向の移動量Ｌ
ｘ及びＬｙは、 Ｌｘ＝Ｘｅ−Ｘｓ， Ｌｙ＝Ｙｅ−Ｙｓ， で算出される。
び移動終点Ｐｅの座標から、Ｘ方向及びＹ方向の移動量
を算出する。本例の場合、Ｘ方向及びＹ方向の移動量Ｌ
ｘ及びＬｙは、 Ｌｘ＝Ｘｅ−Ｘｓ， Ｌｙ＝Ｙｅ−Ｙｓ， で算出される。
【００１５】そして、この移動量の値に基づいて、コン
トローラ１４から各パルスモータ５ｘ，５ｙに移動制御
信号が出力される。移動制御信号は、移動量Ｌｘ及びＬ
ｙの正負により各パルスモータ５ｘ，５ｙの回転方向を
決定し、その絶対値により回転角を定める。例えば、例
えば移動量Ｌｘ及びＬｙが正のときはモータ５ｘ，５ｙ
を正転させることによりステージ４を夫々の方向に沿っ
て前進させ、負のときはモータ５ｘ，５ｙを逆転させる
ことによりステージ４を夫々の方向に沿って後退させる
ように成されている。また、移動量に応じた数の駆動パ
ルスが出力されてパルスモータ５ｘ，５ｙが所定角度だ
け回転される。
トローラ１４から各パルスモータ５ｘ，５ｙに移動制御
信号が出力される。移動制御信号は、移動量Ｌｘ及びＬ
ｙの正負により各パルスモータ５ｘ，５ｙの回転方向を
決定し、その絶対値により回転角を定める。例えば、例
えば移動量Ｌｘ及びＬｙが正のときはモータ５ｘ，５ｙ
を正転させることによりステージ４を夫々の方向に沿っ
て前進させ、負のときはモータ５ｘ，５ｙを逆転させる
ことによりステージ４を夫々の方向に沿って後退させる
ように成されている。また、移動量に応じた数の駆動パ
ルスが出力されてパルスモータ５ｘ，５ｙが所定角度だ
け回転される。
【００１６】以上が、本発明の一構成例であり、次にそ
の作用について図３を伴って説明する。図３はディスプ
レイ装置８の画面を示す説明図であって、ＣＣＤカメラ
６により多数の粒子１５，１５・・が拡大されて撮影さ
れると共に、レーザスポットＬＳの位置が明るく輝いて
映っている。
の作用について図３を伴って説明する。図３はディスプ
レイ装置８の画面を示す説明図であって、ＣＣＤカメラ
６により多数の粒子１５，１５・・が拡大されて撮影さ
れると共に、レーザスポットＬＳの位置が明るく輝いて
映っている。
【００１７】ここで、特定の粒子１５ａをレーザ光によ
りレーザトラッピングさせるためにレーザスポットＬＳ
の位置まで移動させる場合について説明すると、まず、
マウス９によりマーカＭを粒子１５ａに一致させ、ボタ
ン９ａをクリックすることにより移動起点Ｐｓを設定
し、次いで、そのままマウス９のボタン９ａをクリック
したままの状態でマーカＭを移動させてレーザスポット
ＬＳに一致させて、ボタン９ａから指を離し移動終点Ｐ
ｓを設定する。
りレーザトラッピングさせるためにレーザスポットＬＳ
の位置まで移動させる場合について説明すると、まず、
マウス９によりマーカＭを粒子１５ａに一致させ、ボタ
ン９ａをクリックすることにより移動起点Ｐｓを設定
し、次いで、そのままマウス９のボタン９ａをクリック
したままの状態でマーカＭを移動させてレーザスポット
ＬＳに一致させて、ボタン９ａから指を離し移動終点Ｐ
ｓを設定する。
【００１８】このとき、移動起点Ｐｓや移動終点Ｐｅを
設定する前後でマーカＭの形や色を変えれば、移動起点
Ｐｓや移動終点Ｐｅが未定であるか既定であるかを画面
上で識別することができ、また、移動起点Ｐｓを設定し
た後はマーカＭの移動に従い、移動起点ＰｓとマーカＭ
を結ぶ線分を表示させることにより粒子の移動する方向
を画面上で認識できる。
設定する前後でマーカＭの形や色を変えれば、移動起点
Ｐｓや移動終点Ｐｅが未定であるか既定であるかを画面
上で識別することができ、また、移動起点Ｐｓを設定し
た後はマーカＭの移動に従い、移動起点ＰｓとマーカＭ
を結ぶ線分を表示させることにより粒子の移動する方向
を画面上で認識できる。
【００１９】移動起点Ｐｓ及び移動終点Ｐｅの設定を終
了すると、そのＸ−Ｙ座標に基づいて移動量設定手段１
３によりステージ４のＸ方向及びＹ方向の移動量Ｌｘ及
びＬｙが算出され、この値に基づいてコントローラ１４
から各パルスモータ５ｘ，５ｙに移動制御信号が出力さ
れ、ステージ４の移動に伴って、粒子１５ａがレーザス
ポットＬＳの位置まで移動し、そのレーザ光により捕捉
される。
了すると、そのＸ−Ｙ座標に基づいて移動量設定手段１
３によりステージ４のＸ方向及びＹ方向の移動量Ｌｘ及
びＬｙが算出され、この値に基づいてコントローラ１４
から各パルスモータ５ｘ，５ｙに移動制御信号が出力さ
れ、ステージ４の移動に伴って、粒子１５ａがレーザス
ポットＬＳの位置まで移動し、そのレーザ光により捕捉
される。
【００２０】なお、ボタン９ａをクリックすることによ
り移動起点Ｐｓを設定し、マウス９のボタン９ａをクリ
ックしたままの状態でマーカＭを移動させてボタン９ａ
から指を離すことにより移動終点Ｐｓを設定する場合に
ついて説明したが、移動起点及び移動終点の双方ともボ
タン９ａをクリックすることにより設定する場合であっ
てもよい。ただし、実施例のように、移動起点Ｐｓの設
定後ボタン９ａをクリックしたままマウス９を移動させ
て移動終点Ｐｅを設定すると、あたかもマウス９でステ
ージ４を直接押しているかの如く操作できるので、操作
性に優れ、誤操作を起こすことも少ない。また、移動起
点Ｐｓを先に設定する場合に限らず、移動終点Ｐｅを先
に設定する場合であってもよい。
り移動起点Ｐｓを設定し、マウス９のボタン９ａをクリ
ックしたままの状態でマーカＭを移動させてボタン９ａ
から指を離すことにより移動終点Ｐｓを設定する場合に
ついて説明したが、移動起点及び移動終点の双方ともボ
タン９ａをクリックすることにより設定する場合であっ
てもよい。ただし、実施例のように、移動起点Ｐｓの設
定後ボタン９ａをクリックしたままマウス９を移動させ
て移動終点Ｐｅを設定すると、あたかもマウス９でステ
ージ４を直接押しているかの如く操作できるので、操作
性に優れ、誤操作を起こすことも少ない。また、移動起
点Ｐｓを先に設定する場合に限らず、移動終点Ｐｅを先
に設定する場合であってもよい。
【００２１】図４は本発明に係る他のＸ−Ｙテーブルの
移動制御装置を示すブロック図であって、本例は、例え
ばレーザ光の光軸位置が固定されたレーザトラッピング
装置等のように、移動終点が予め設定されている場合に
使用されるものである。なお、図２と共通する部分につ
いては同一符号を付して詳細説明は省略する。
移動制御装置を示すブロック図であって、本例は、例え
ばレーザ光の光軸位置が固定されたレーザトラッピング
装置等のように、移動終点が予め設定されている場合に
使用されるものである。なお、図２と共通する部分につ
いては同一符号を付して詳細説明は省略する。
【００２２】本例の移動制御装置７は、前記ＣＣＤカメ
ラ６やマウス９から入力された信号を処理してから入力
された画像信号やマウス９から入力された信号に応じて
ディスプレイ装置８に画像やマーカＭを映し出す主制御
装置１０と、マウス操作によりディスプレイ装置８の画
面上に映し出されたマーカを移動起点Ｐｓとなる任意の
位置に位置決めして当該移動起点ＰｓのＸ−Ｙ座標を検
出する移動起点設定手段１１と、移動終点ＰｅのＸ−Ｙ
座標が予め設定された記憶装置２１と、前記移動起点設
定手段１１により設定された移動起点Ｐｓ及び記憶装置
２１に予め設定された移動終点ＰｅのＸ−Ｙ座標に基づ
いてステージ４のＸ方向及びＹ方向の移動量を算出する
移動量設定手段１３と、算出された夫々のＸ方向及びＹ
方向の移動量に基づいて前記パルスモータ５ｘ，５ｙに
移動制御信号を出力するコントローラ１４を備えてい
る。
ラ６やマウス９から入力された信号を処理してから入力
された画像信号やマウス９から入力された信号に応じて
ディスプレイ装置８に画像やマーカＭを映し出す主制御
装置１０と、マウス操作によりディスプレイ装置８の画
面上に映し出されたマーカを移動起点Ｐｓとなる任意の
位置に位置決めして当該移動起点ＰｓのＸ−Ｙ座標を検
出する移動起点設定手段１１と、移動終点ＰｅのＸ−Ｙ
座標が予め設定された記憶装置２１と、前記移動起点設
定手段１１により設定された移動起点Ｐｓ及び記憶装置
２１に予め設定された移動終点ＰｅのＸ−Ｙ座標に基づ
いてステージ４のＸ方向及びＹ方向の移動量を算出する
移動量設定手段１３と、算出された夫々のＸ方向及びＹ
方向の移動量に基づいて前記パルスモータ５ｘ，５ｙに
移動制御信号を出力するコントローラ１４を備えてい
る。
【００２３】そして、本例の操作を図３を参照して説明
すると、本例では特定の粒子１５ａをレーザスポットＬ
Ｓの位置まで移動させる場合、移動終点Ｐｅとなるレー
ザスポットＬＳの位置が固定されておりそのＸ−Ｙ座標
は予め設定されているので、改めて移動終点Ｐｓを設定
する必要がない。したがって、マウス９によりマーカＭ
を粒子１５ａに一致させ、ボタン９ａをクリックするこ
とにより移動起点Ｐｓを設定するだけでよく、操作をよ
り簡素化することができる。
すると、本例では特定の粒子１５ａをレーザスポットＬ
Ｓの位置まで移動させる場合、移動終点Ｐｅとなるレー
ザスポットＬＳの位置が固定されておりそのＸ−Ｙ座標
は予め設定されているので、改めて移動終点Ｐｓを設定
する必要がない。したがって、マウス９によりマーカＭ
を粒子１５ａに一致させ、ボタン９ａをクリックするこ
とにより移動起点Ｐｓを設定するだけでよく、操作をよ
り簡素化することができる。
【００２４】次いで、移動起点ＰｅのＸ−Ｙ座標と予め
設定された移動終点のＸ−Ｙ座標に基づいて移動量設定
手段１３によりステージ４のＸ方向及びＹ方向の移動量
Ｌｘ及びＬｙが算出され、この値に基づいてコントロー
ラ１４から各パルスモータ５ｘ，５ｙに移動制御信号が
出力され、ステージ４が目標位置まで自動的に移動さ
れ、これに伴って、粒子１５ａがレーザスポットＬＳの
位置まで移動し、そのレーザ光により捕捉される。
設定された移動終点のＸ−Ｙ座標に基づいて移動量設定
手段１３によりステージ４のＸ方向及びＹ方向の移動量
Ｌｘ及びＬｙが算出され、この値に基づいてコントロー
ラ１４から各パルスモータ５ｘ，５ｙに移動制御信号が
出力され、ステージ４が目標位置まで自動的に移動さ
れ、これに伴って、粒子１５ａがレーザスポットＬＳの
位置まで移動し、そのレーザ光により捕捉される。
【００２５】なお、実施例の説明ではいずれも、Ｘ−Ｙ
テーブルとしてレーザトラッピング装置のステージを移
動制御する場合について説明したが、本発明はこれに限
らず、任意のＸ−Ｙテーブルに適用できることは言うま
でもない。
テーブルとしてレーザトラッピング装置のステージを移
動制御する場合について説明したが、本発明はこれに限
らず、任意のＸ−Ｙテーブルに適用できることは言うま
でもない。
【００２６】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、マ
ウス操作により画面上で移動起点と移動終点を設定する
だけで、夫々のＸ−Ｙ座標が検出され、その座標値に基
づいてＸ−ＹテーブルのＸ方向及びＹ方向の移動量が設
定されてＸ−Ｙテーブルを自動的に目標位置まで正確に
移動させることができ、ジョイスティックを操作したり
移動量を数値入力する手間や面倒が面倒が一切なく、ま
た、移動終点が予め設定されている場合には、移動終点
を改めて設定することなく、移動起点を設定するだけ
で、自動的にＸ−Ｙテーブルを移動させることができる
という大変優れた効果を有する。
ウス操作により画面上で移動起点と移動終点を設定する
だけで、夫々のＸ−Ｙ座標が検出され、その座標値に基
づいてＸ−ＹテーブルのＸ方向及びＹ方向の移動量が設
定されてＸ−Ｙテーブルを自動的に目標位置まで正確に
移動させることができ、ジョイスティックを操作したり
移動量を数値入力する手間や面倒が面倒が一切なく、ま
た、移動終点が予め設定されている場合には、移動終点
を改めて設定することなく、移動起点を設定するだけ
で、自動的にＸ−Ｙテーブルを移動させることができる
という大変優れた効果を有する。
【図１】本発明に係るＸ−Ｙテーブルの移動制御装置を
示すフローシート。
示すフローシート。
【図２】そのブロック図、
【図３】操作画面を示す説明図。
【図４】本発明に係る他の移動制御装置を示すブロック
図。
図。
１・・・レーザトラッピング装置 ４・・・ステージ（Ｘ−Ｙテーブル） ５ｘ，５ｙ・・・パルスモータ（駆動装置） ６・・・ＣＣＤカメラ ７・・・移動制御装置 ８・・・ディスプレイ装置 ９・・・マウス Ｐｓ・・・移動起点 １１・・・移動起点設定手段 Ｐｅ・・・移動終点 １２・・・移動終点設定手段 １３・・・移動量設定手段 １４・・・コントローラ ２１・・・記憶手段
Claims (2)
- 【請求項１】 Ｘ−Ｙ平面上をＸ方向及びＹ方向に沿っ
て移動可能に配設されたＸ−Ｙテーブル（４）と、当該
Ｘ−Ｙテーブル（４）をＸ方向及びＹ方向に夫々任意の
移動量だけ移動させる駆動装置（5x，5y）と、前記テー
ブル（４）上を撮影するカメラ（６）と、当該カメラ
（６）の映像を画面に映し出すディスプレイ装置（８）
と、当該ディスプレイ装置（８）の画面上の任意の位置
にマーカ（Ｍ）を移動させるマウス（９）とを備えると
共に、 マウス操作によりディスプレイ装置（８）の画面上に映
し出されたマーカ（Ｍ）を移動起点（Ps）となる任意の
位置に位置決めして当該移動起点（Ps）のＸ−Ｙ座標を
検出する移動起点設定手段（11）と、マウス操作により
ディスプレイ装置（８）の画面上に映し出されたマーカ
（Ｍ）を移動終点（Pe）となる任意の位置に位置決めし
て当該移動終点（Pe）のＸ−Ｙ座標を検出する移動終点
設定手段（12）と、前記移動起点設定手段（11）及び移
動終点設定手段（12）により設定された移動起点（Ps）
及び移動終点（Pe）のＸ−Ｙ座標に基づいてＸ−Ｙテー
ブル（４）のＸ方向及びＹ方向の移動量を算出する移動
量設定手段（13）と、算出された夫々の移動量に基づい
て前記駆動装置（5x，5y）に移動制御信号を出力するコ
ントローラ（14）を備えたことを特徴とするＸ−Ｙテー
ブルの移動制御装置。 - 【請求項２】 Ｘ−Ｙ平面上をＸ方向及びＹ方向に沿っ
て移動可能に配設されたＸ−Ｙテーブル（４）と、当該
Ｘ−Ｙテーブル（４）をＸ方向及びＹ方向に夫々任意の
移動量だけ移動させる駆動装置（5x，5y）と、前記テー
ブル（４）上を撮影するカメラ（６）と、当該カメラ
（６）の映像を画面に映し出すディスプレイ装置（８）
と、当該ディスプレイ装置（８）の画面上の任意の位置
にマーカ（Ｍ）を移動させるマウス（９）とを備えると
共に、 マウス操作によりディスプレイ装置（８）の画面上に映
し出されたマーカ（Ｍ）を移動起点（Ps）となる任意の
位置に位置決めして当該移動起点（Ps）のＸ−Ｙ座標を
検出する移動起点設定手段（11）と、当該移動起点設定
手段（11）により設定された移動起点（Ps）のＸ−Ｙ座
標及び予め設定された移動終点（Pe）のＸ−Ｙ座標に基
づいてＸ−Ｙテーブル（４）のＸ方向及びＹ方向の移動
量を算出する移動量設定手段（13）と、算出された夫々
の移動量に基づいて前記駆動装置（5x，5y）に移動制御
信号を出力するコントローラ（14）を備えたことを特徴
とするＸ−Ｙテーブルの移動制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6275895A JPH08262327A (ja) | 1995-03-22 | 1995-03-22 | Ｘ−ｙテーブルの移動制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6275895A JPH08262327A (ja) | 1995-03-22 | 1995-03-22 | Ｘ−ｙテーブルの移動制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08262327A true JPH08262327A (ja) | 1996-10-11 |
Family
ID=13209626
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6275895A Pending JPH08262327A (ja) | 1995-03-22 | 1995-03-22 | Ｘ−ｙテーブルの移動制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08262327A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000241310A (ja) * | 1999-02-19 | 2000-09-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 微細物体の操作装置および操作方法 |
| JP2001091854A (ja) * | 1999-09-21 | 2001-04-06 | Jasco Corp | 簡易操作顕微装置 |
| EP2565619A2 (en) | 2011-08-31 | 2013-03-06 | Mitutoyo Corporation | Hardness tester |
| JP2013238817A (ja) * | 2012-05-17 | 2013-11-28 | Alpine Electronics Inc | 表示装置 |
| CN107289868A (zh) * | 2016-03-31 | 2017-10-24 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 运动台位移测量装置及方法 |
-
1995
- 1995-03-22 JP JP6275895A patent/JPH08262327A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000241310A (ja) * | 1999-02-19 | 2000-09-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 微細物体の操作装置および操作方法 |
| JP2001091854A (ja) * | 1999-09-21 | 2001-04-06 | Jasco Corp | 簡易操作顕微装置 |
| EP2565619A2 (en) | 2011-08-31 | 2013-03-06 | Mitutoyo Corporation | Hardness tester |
| US9207156B2 (en) | 2011-08-31 | 2015-12-08 | Mitutoyo Corporation | Hardness tester |
| JP2013238817A (ja) * | 2012-05-17 | 2013-11-28 | Alpine Electronics Inc | 表示装置 |
| CN107289868A (zh) * | 2016-03-31 | 2017-10-24 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 运动台位移测量装置及方法 |
| CN107289868B (zh) * | 2016-03-31 | 2019-08-23 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 运动台位移测量装置及方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20031201 |
|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20031031 |
|
| RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Effective date: 20031215 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040224 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040629 |