JPH08264148A - 透過電子顕微鏡 - Google Patents
透過電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPH08264148A JPH08264148A JP7063704A JP6370495A JPH08264148A JP H08264148 A JPH08264148 A JP H08264148A JP 7063704 A JP7063704 A JP 7063704A JP 6370495 A JP6370495 A JP 6370495A JP H08264148 A JPH08264148 A JP H08264148A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron microscope
- camera
- microscope image
- phosphor
- transmission electron
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【構成】一般的な透過電子顕微鏡と光軸に出し入れでき
る蛍光板付きＴＶカメラ装置１１。 【効果】試料ダメージが少なくかつ効果的な電顕像の観
察ができる。
る蛍光板付きＴＶカメラ装置１１。 【効果】試料ダメージが少なくかつ効果的な電顕像の観
察ができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は透過電子顕微鏡に関す
る。
る。
【０００２】
【従来の技術】ＴＶカメラで撮影する電子顕微鏡像は通
常５００〜５５０ｎｍの緑色の蛍光体を塗布した蛍光板
に投影してその像を撮影し観察していたが、その波長の
蛍光体はＴＶカメラの分光感度に適合しないことが多か
ったので多くの電子ビーム電流を流して観察していた。
それは通常ＴＶカメラを使用しない時には蛍光板の像を
オペレータが観察していたからであり、目視観察が主で
緑色が直接観察するのに適していたからでもある。
常５００〜５５０ｎｍの緑色の蛍光体を塗布した蛍光板
に投影してその像を撮影し観察していたが、その波長の
蛍光体はＴＶカメラの分光感度に適合しないことが多か
ったので多くの電子ビーム電流を流して観察していた。
それは通常ＴＶカメラを使用しない時には蛍光板の像を
オペレータが観察していたからであり、目視観察が主で
緑色が直接観察するのに適していたからでもある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】観察対象である試料の
電子ビームダメージを最少にし、すなわち、暗い蛍光板
の電子顕微鏡像をＴＶカメラで効率好く撮影する手段を
提供する。
電子ビームダメージを最少にし、すなわち、暗い蛍光板
の電子顕微鏡像をＴＶカメラで効率好く撮影する手段を
提供する。
【０００４】
【課題を解決するための手段】ＴＶカメラの分光感度は
人間の目の感度特性に合っているとは限らない。そのた
めには目視観察する時とＴＶカメラで撮影する時との蛍
光体を変えて、異なる蛍光体蛍光板を使用すれば双方に
効果的な電顕像が得られる。
人間の目の感度特性に合っているとは限らない。そのた
めには目視観察する時とＴＶカメラで撮影する時との蛍
光体を変えて、異なる蛍光体蛍光板を使用すれば双方に
効果的な電顕像が得られる。
【０００５】
【作用】本発明によりＴＶカメラの性能を余すところな
く発揮でき、試料に照射される電子ビームを最少にし、
また試料の電子ビームダメージを最少にできる。
く発揮でき、試料に照射される電子ビームを最少にし、
また試料の電子ビームダメージを最少にできる。
【０００６】
【実施例】図１に従来の透過電子顕微鏡の装置構成と本
発明のＴＶカメラ装置を備えた透過電子顕微鏡とを示
す。
発明のＴＶカメラ装置を備えた透過電子顕微鏡とを示
す。
【０００７】まず、電子銃と加速管１から出た電子ビー
ム２は、コンデンサレンズ３で適切なスポット径と明る
さに設定され試料４に照射される。試料４を透過し試料
４の情報を含んだ電子ビーム２の信号は、対物レンズ５
と投影レンズ６で拡大され蛍光板７の蛍光体９に投影さ
れ電顕像８が得られる。
ム２は、コンデンサレンズ３で適切なスポット径と明る
さに設定され試料４に照射される。試料４を透過し試料
４の情報を含んだ電子ビーム２の信号は、対物レンズ５
と投影レンズ６で拡大され蛍光板７の蛍光体９に投影さ
れ電顕像８が得られる。
【０００８】通常、この蛍光板７の電顕像８はオペレー
タが目視で観察するが、必要に応じてその電顕像８はＴ
Ｖカメラ１０で撮影することがある。この時、蛍光板７
の蛍光体８はＴＶカメラ１０の分光感度に最適な素材を
使用することは少なく、オペレータが観察しやすい様な
緑色の蛍光体９が使用されることが多い。その結果、Ｔ
Ｖカメラ１０を使って電顕像８を観察する場合には、Ｔ
Ｖカメラ１０と蛍光体９との感度特性の違いから、目視
観察では十分な明るさの電顕像８も暗く観察されること
がある。この様な場合には普通試料４に照射する電子ビ
ーム２の電流値を大きくして観察するが、これは試料４
に過大な電子ビーム２を照射することになり、大切な試
料４がダメージを受けてしまうことが多い。
タが目視で観察するが、必要に応じてその電顕像８はＴ
Ｖカメラ１０で撮影することがある。この時、蛍光板７
の蛍光体８はＴＶカメラ１０の分光感度に最適な素材を
使用することは少なく、オペレータが観察しやすい様な
緑色の蛍光体９が使用されることが多い。その結果、Ｔ
Ｖカメラ１０を使って電顕像８を観察する場合には、Ｔ
Ｖカメラ１０と蛍光体９との感度特性の違いから、目視
観察では十分な明るさの電顕像８も暗く観察されること
がある。この様な場合には普通試料４に照射する電子ビ
ーム２の電流値を大きくして観察するが、これは試料４
に過大な電子ビーム２を照射することになり、大切な試
料４がダメージを受けてしまうことが多い。
【０００９】これはＴＶカメラ１０の分光感度と蛍光体
９の波長が異なるために発生するもので、波長によって
はほとんど電顕像８をＴＶカメラ１０に感じないことさ
えもある。このためにはＴＶカメラ１０の分光感度と蛍
光体９の波長を合わせて使用すれば、効率良く電顕像８
を撮影することができる。
９の波長が異なるために発生するもので、波長によって
はほとんど電顕像８をＴＶカメラ１０に感じないことさ
えもある。このためにはＴＶカメラ１０の分光感度と蛍
光体９の波長を合わせて使用すれば、効率良く電顕像８
を撮影することができる。
【００１０】ここで通常の観察時には緑色に発光する蛍
光体９を塗布した蛍光板７を使用し、またＴＶカメラを
使用する時には図示した様なＴＶカメラ装置１１を電子
光学系の内部に入れて使用すれば問題の解決が図れる。
なおこのＴＶカメラ装置１１は通常のオペレータ観察時
には、全体を電子光学系の外部に配置しておき、ＴＶカ
メラで観察する時のみ電子光学系の内部に設定して電顕
像を撮影する。また、このＴＶカメラ装置１１の出し入
れに関する機構的な部分は本発明の説明に不要なため省
略した。
光体９を塗布した蛍光板７を使用し、またＴＶカメラを
使用する時には図示した様なＴＶカメラ装置１１を電子
光学系の内部に入れて使用すれば問題の解決が図れる。
なおこのＴＶカメラ装置１１は通常のオペレータ観察時
には、全体を電子光学系の外部に配置しておき、ＴＶカ
メラで観察する時のみ電子光学系の内部に設定して電顕
像を撮影する。また、このＴＶカメラ装置１１の出し入
れに関する機構的な部分は本発明の説明に不要なため省
略した。
【００１１】ＴＶカメラ装置１１の構造はベースの上
に、蛍光体１２を塗布した透明板１４とミラー１５、そ
してＴＶカメラ１６を固定しておき全体の出し入れをす
る。さらに透明板１４にはＴＶカメラ１６の分光感度に
合わせた波長特性の蛍光体１２を選んで塗布しておく。
これによって蛍光体１２に投影された電顕像１３は、透
過板１４を通りミラー１５で反射されてＴＶカメラ１６
で撮影できる。
に、蛍光体１２を塗布した透明板１４とミラー１５、そ
してＴＶカメラ１６を固定しておき全体の出し入れをす
る。さらに透明板１４にはＴＶカメラ１６の分光感度に
合わせた波長特性の蛍光体１２を選んで塗布しておく。
これによって蛍光体１２に投影された電顕像１３は、透
過板１４を通りミラー１５で反射されてＴＶカメラ１６
で撮影できる。
【００１２】ここではＴＶカメラ１６で観察する時にこ
のＴＶカメラ装置１１を操作して出し入れするが、実際
にはＴＶカメラ１６は図示した様に固定し、蛍光体１２
とミラー１５からなるブロックのみを、図の左側から出
し入れして操作することも可能であり実際的な手段でも
ある。
のＴＶカメラ装置１１を操作して出し入れするが、実際
にはＴＶカメラ１６は図示した様に固定し、蛍光体１２
とミラー１５からなるブロックのみを、図の左側から出
し入れして操作することも可能であり実際的な手段でも
ある。
【００１３】
【発明の効果】電顕像を目視観察する時とＴＶカメラで
撮影する時とで、電顕像を写しだす蛍光板の蛍光体をそ
れぞれ変えて、目視観察の時は目に最適な蛍光体を、Ｔ
Ｖカメラで撮影する時はＴＶカメラの分光感度に合わせ
た蛍光体を使用すれば、試料ダメージが少なく効果的な
電顕像が観察できる。
撮影する時とで、電顕像を写しだす蛍光板の蛍光体をそ
れぞれ変えて、目視観察の時は目に最適な蛍光体を、Ｔ
Ｖカメラで撮影する時はＴＶカメラの分光感度に合わせ
た蛍光体を使用すれば、試料ダメージが少なく効果的な
電顕像が観察できる。
【図１】従来の透過電子顕微鏡と本発明のＴＶカメラ装
置を備えた透過電子顕微鏡の説明図。
置を備えた透過電子顕微鏡の説明図。
１…電子銃と加速管、２…電子ビーム、３…コンデンサ
レンズ、４…試料、５…対物レンズ、６…投影レンズ、
７…蛍光板、８，１３…電顕像、９，１２…蛍光体、１
０，１６…ＴＶカメラ、１１…ＴＶカメラ装置、１４…
透明板、１５…ミラー。
レンズ、４…試料、５…対物レンズ、６…投影レンズ、
７…蛍光板、８，１３…電顕像、９，１２…蛍光体、１
０，１６…ＴＶカメラ、１１…ＴＶカメラ装置、１４…
透明板、１５…ミラー。
Claims (1)
- 【請求項１】電子顕微鏡像を撮影するＴＶカメラを備え
た透過電子顕微鏡において、前記ＴＶカメラで撮影する
前記電子顕微鏡像を前記ＴＶカメラの分光感度に合わせ
た蛍光体に投影し、効率良く明るい像として試料の電子
ビームダメージを最少にして撮影することを特徴とする
透過電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7063704A JPH08264148A (ja) | 1995-03-23 | 1995-03-23 | 透過電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7063704A JPH08264148A (ja) | 1995-03-23 | 1995-03-23 | 透過電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08264148A true JPH08264148A (ja) | 1996-10-11 |
Family
ID=13237040
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7063704A Pending JPH08264148A (ja) | 1995-03-23 | 1995-03-23 | 透過電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08264148A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19752724C2 (de) * | 1997-02-07 | 2002-11-07 | Soft Imaging System Gmbh | Kamerasystem für ein Transmissions-Elektronenmikroskop |
| US7964846B2 (en) | 2008-08-01 | 2011-06-21 | Gatan, Inc. | Retractable lens-coupled electron microscope camera with image sensor in electron microscope vacuum chamber |
-
1995
- 1995-03-23 JP JP7063704A patent/JPH08264148A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19752724C2 (de) * | 1997-02-07 | 2002-11-07 | Soft Imaging System Gmbh | Kamerasystem für ein Transmissions-Elektronenmikroskop |
| US7964846B2 (en) | 2008-08-01 | 2011-06-21 | Gatan, Inc. | Retractable lens-coupled electron microscope camera with image sensor in electron microscope vacuum chamber |
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