JPH08264617A - 半導体装置の搬送方法および搬送装置 - Google Patents
半導体装置の搬送方法および搬送装置Info
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- JPH08264617A JPH08264617A JP6811195A JP6811195A JPH08264617A JP H08264617 A JPH08264617 A JP H08264617A JP 6811195 A JP6811195 A JP 6811195A JP 6811195 A JP6811195 A JP 6811195A JP H08264617 A JPH08264617 A JP H08264617A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 搬送中の半導体装置の脱落を防止し、半導体
装置の搬送時間が短縮可能な半導体装置の搬送方法およ
び搬送装置の提供。 【構成】 磁性体４を搭載した半導体装置５を、電磁石
２および弾性体３から構成される吸着アーム１を用いて
搬送する半導体装置の搬送方法、並びに、移動方向の所
定間隔毎に電磁石９が固定・配設されたベルトコンベア
７と、ベルトコンベア７に並設された一対の電極８と、
電磁石９に半導体装置５を着脱するための、電磁石２お
よび弾性体３から構成される吸着アーム１ａおよび１ｂ
とからなり、電磁石９が前記電極８との通電用のブラシ
１０を有する半導体装置の搬送装置。
装置の搬送時間が短縮可能な半導体装置の搬送方法およ
び搬送装置の提供。 【構成】 磁性体４を搭載した半導体装置５を、電磁石
２および弾性体３から構成される吸着アーム１を用いて
搬送する半導体装置の搬送方法、並びに、移動方向の所
定間隔毎に電磁石９が固定・配設されたベルトコンベア
７と、ベルトコンベア７に並設された一対の電極８と、
電磁石９に半導体装置５を着脱するための、電磁石２お
よび弾性体３から構成される吸着アーム１ａおよび１ｂ
とからなり、電磁石９が前記電極８との通電用のブラシ
１０を有する半導体装置の搬送装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置の製造工程
において、ＬＳＩの耐久性試験であるＢＩ（Ｂｕｒｎ−
Ｉｎ）工程、テスト工程等、大量の半導体装置を処理す
る工程における半導体装置の搬送方法および搬送装置に
関する。
において、ＬＳＩの耐久性試験であるＢＩ（Ｂｕｒｎ−
Ｉｎ）工程、テスト工程等、大量の半導体装置を処理す
る工程における半導体装置の搬送方法および搬送装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体装置の製造工程において
は、真空吸着を利用し、半導体装置を吸着パッドにより
吸着し搬送していた。しかし、真空吸着による方法は、
吸着部の半導体装置の形状により、吸着力が大きく変化
するため、安定した吸着力が得られず、搬送中に半導体
装置の脱落が生じ、脱落した半導体装置がラインの機械
に挟まれ機械を停止または破損し、原因究明および修理
のためラインの稼働率が低下するという問題があった。
は、真空吸着を利用し、半導体装置を吸着パッドにより
吸着し搬送していた。しかし、真空吸着による方法は、
吸着部の半導体装置の形状により、吸着力が大きく変化
するため、安定した吸着力が得られず、搬送中に半導体
装置の脱落が生じ、脱落した半導体装置がラインの機械
に挟まれ機械を停止または破損し、原因究明および修理
のためラインの稼働率が低下するという問題があった。
【０００３】また、真空吸着による方法は、従来搬送ア
ームを用いて搬送していたため、搬送アームの往復動作
が必要であり、搬送アームの動作時間の半分が無駄な時
間となり、利用効率が劣るという問題があった。
ームを用いて搬送していたため、搬送アームの往復動作
が必要であり、搬送アームの動作時間の半分が無駄な時
間となり、利用効率が劣るという問題があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記問題点
を解決し、搬送中の半導体装置の脱落を防止し、半導体
装置の搬送時間が短縮可能な半導体装置の搬送方法およ
び搬送装置を提供することを目的とする。
を解決し、搬送中の半導体装置の脱落を防止し、半導体
装置の搬送時間が短縮可能な半導体装置の搬送方法およ
び搬送装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の第１の発明は、
磁性体４を搭載した半導体装置５を、電磁石２および弾
性体３から構成される吸着アーム１を用いて搬送するこ
とを特徴とする半導体装置の搬送方法である。また本発
明の第２の発明は、磁性体４を搭載した半導体装置５
を、電磁石２および弾性体３から構成される吸着アーム
１ａを用いて、ベルトコンベア７上に固定・配設された
電磁石９上に搬送、固定し、半導体装置５が前記ベルト
コンベア７により、所定の位置迄搬送された時点で、半
導体装置５を、吸着アーム１ｂを用いて再度搬送するこ
とを特徴とする半導体装置の搬送方法である。
磁性体４を搭載した半導体装置５を、電磁石２および弾
性体３から構成される吸着アーム１を用いて搬送するこ
とを特徴とする半導体装置の搬送方法である。また本発
明の第２の発明は、磁性体４を搭載した半導体装置５
を、電磁石２および弾性体３から構成される吸着アーム
１ａを用いて、ベルトコンベア７上に固定・配設された
電磁石９上に搬送、固定し、半導体装置５が前記ベルト
コンベア７により、所定の位置迄搬送された時点で、半
導体装置５を、吸着アーム１ｂを用いて再度搬送するこ
とを特徴とする半導体装置の搬送方法である。
【０００６】また本発明の第３の発明は、移動方向の所
定間隔毎に電磁石９が固定・配設されたベルトコンベア
７と、ベルトコンベア７に並設された一対の電極８と、
電磁石９に半導体装置５を着脱するための、電磁石２お
よび弾性体３から構成される吸着アーム１ａおよび１ｂ
とからなり、電磁石９が前記電極８との通電用のブラシ
１０を有することを特徴とする半導体装置の搬送装置で
ある。
定間隔毎に電磁石９が固定・配設されたベルトコンベア
７と、ベルトコンベア７に並設された一対の電極８と、
電磁石９に半導体装置５を着脱するための、電磁石２お
よび弾性体３から構成される吸着アーム１ａおよび１ｂ
とからなり、電磁石９が前記電極８との通電用のブラシ
１０を有することを特徴とする半導体装置の搬送装置で
ある。
【０００７】
【作 用】半導体装置の製造工程の搬送工程において
は、多数個の半導体装置を搬送する必要があり、前記の
通り半導体装置の脱落のない信頼性の高い搬送方法が必
須となる。さらに、例えば、プリント基板にＬＳＩパッ
ケージを組み込んだ後、１２０〜１３０℃の恒温槽中で
電流を流して耐久性試験を行うＢＩ（Ｂｕｒｎ−Ｉｎ）
工程では、ＬＳＩパッケージの端子をプリント基板のソ
ケット部に嵌め込む際の位置ずれが０．２ｍｍ以下であ
る必要があり、搬送工程においては、常に位置をホール
ドした状態で搬送することが要求される。
は、多数個の半導体装置を搬送する必要があり、前記の
通り半導体装置の脱落のない信頼性の高い搬送方法が必
須となる。さらに、例えば、プリント基板にＬＳＩパッ
ケージを組み込んだ後、１２０〜１３０℃の恒温槽中で
電流を流して耐久性試験を行うＢＩ（Ｂｕｒｎ−Ｉｎ）
工程では、ＬＳＩパッケージの端子をプリント基板のソ
ケット部に嵌め込む際の位置ずれが０．２ｍｍ以下であ
る必要があり、搬送工程においては、常に位置をホール
ドした状態で搬送することが要求される。
【０００８】本発明によれば、半導体装置の吸着方法と
して、電磁石および弾性体から構成される吸着アーム
と、半導体装置に取り付けた磁性体との間の磁力を用い
るため、吸着部のすき間等、半導体装置の形状に左右さ
れず吸着可能となり、半導体装置の搬送時の脱落が皆無
となる。また、吸着アームの電磁石の磁力を調整するこ
とにより、搬送中の吸着アームと半導体装置の位置ずれ
が確実に防止でき、前記の吸着アームによるＬＳＩパッ
ケージ端子のプリント基板ソケット部への嵌め込み等を
確実に行うことができる。
して、電磁石および弾性体から構成される吸着アーム
と、半導体装置に取り付けた磁性体との間の磁力を用い
るため、吸着部のすき間等、半導体装置の形状に左右さ
れず吸着可能となり、半導体装置の搬送時の脱落が皆無
となる。また、吸着アームの電磁石の磁力を調整するこ
とにより、搬送中の吸着アームと半導体装置の位置ずれ
が確実に防止でき、前記の吸着アームによるＬＳＩパッ
ケージ端子のプリント基板ソケット部への嵌め込み等を
確実に行うことができる。
【０００９】さらに、吸着アームが半導体装置を吸着す
る際の吸着アームの上下方向の移動速度、例えば、吸着
アームの下降速度を適切に設定可能なように、吸着アー
ムの移動速度の調節機構を備えることにより、吸着アー
ムの電磁石の磁界の中心に半導体装置が吸着され、吸着
位置の位置決めが正確に行える効果も有する。これは、
吸着時の吸着アームの下降速度が充分小さければ、トレ
ー等に配置されている半導体装置の位置のずれがあった
場合でも、吸着アームの電磁石の磁界の中心となるよう
に半導体装置が吸着されるためである。したがって、従
来の真空吸引を利用した吸着パッドよりも吸着時の位置
のずれを極めて小さくできる。
る際の吸着アームの上下方向の移動速度、例えば、吸着
アームの下降速度を適切に設定可能なように、吸着アー
ムの移動速度の調節機構を備えることにより、吸着アー
ムの電磁石の磁界の中心に半導体装置が吸着され、吸着
位置の位置決めが正確に行える効果も有する。これは、
吸着時の吸着アームの下降速度が充分小さければ、トレ
ー等に配置されている半導体装置の位置のずれがあった
場合でも、吸着アームの電磁石の磁界の中心となるよう
に半導体装置が吸着されるためである。したがって、従
来の真空吸引を利用した吸着パッドよりも吸着時の位置
のずれを極めて小さくできる。
【００１０】また、本発明によれば、ベルトコンベア上
に固定・配設された電磁石上に半導体装置を磁力により
固定して搬送するため、前記と同じく搬送中の半導体装
置の位置のずれが生ぜず、またベルトコンベアの送給部
および回収部の各々に吸着アームを設置することによ
り、従来のような搬送アームの往復動作が不要となり、
半導体装置の搬送時間が短縮可能となる。
に固定・配設された電磁石上に半導体装置を磁力により
固定して搬送するため、前記と同じく搬送中の半導体装
置の位置のずれが生ぜず、またベルトコンベアの送給部
および回収部の各々に吸着アームを設置することによ
り、従来のような搬送アームの往復動作が不要となり、
半導体装置の搬送時間が短縮可能となる。
【００１１】さらに本発明によれば、ベルトコンベアが
幅方向に位置ずれを生じても、前記と同じく、吸着アー
ムの上下方向の移動速度の調節機構を備えることによ
り、ベルトコンベア上に固定・配設された電磁石または
吸着アームの電磁石による半導体装置の吸着時に、各々
の電磁石の磁界の中心に半導体装置が吸着され、半導体
装置の吸着位置が常に一定となる特有の効果も有する。
幅方向に位置ずれを生じても、前記と同じく、吸着アー
ムの上下方向の移動速度の調節機構を備えることによ
り、ベルトコンベア上に固定・配設された電磁石または
吸着アームの電磁石による半導体装置の吸着時に、各々
の電磁石の磁界の中心に半導体装置が吸着され、半導体
装置の吸着位置が常に一定となる特有の効果も有する。
【００１２】すなわち、本発明によれば半導体を、搬送
先の正確な位置に、しかも半導体の向きも正しく配置可
能となる。
先の正確な位置に、しかも半導体の向きも正しく配置可
能となる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の実施例を図１〜図４により詳
細に説明する。図１は、本発明の搬送装置を示す斜視図
である。図２は、断面が円形の磁性体を搭載した半導体
装置、および断面が同じく円形の電磁石を有する吸着ア
ームを示す斜視図であり、（ａ）、（ｂ）は各々吸着
前、吸着後の状態を示す。
細に説明する。図１は、本発明の搬送装置を示す斜視図
である。図２は、断面が円形の磁性体を搭載した半導体
装置、および断面が同じく円形の電磁石を有する吸着ア
ームを示す斜視図であり、（ａ）、（ｂ）は各々吸着
前、吸着後の状態を示す。
【００１４】図３は、断面が四角形の磁性体を搭載した
半導体装置、および断面が同じく四角形の電磁石を有す
る吸着アームを示す斜視図であり、（ａ）、（ｂ）は各
々吸着前、吸着後の状態を示す。図４は、トレーからト
レーへの半導体装置の搬送方法を示す斜視図である。図
１〜図４において、１、１ａ、１ｂは吸着アーム、２は
電磁石、３は弾性体、４は磁性体、５は半導体装置、６
は吸着アームの移動方向、７はベルトコンベア、８は一
対の電極、９は電磁石、１０はブラシ、１１はベルトコ
ンベア上の送給部、１２はベルトコンベア上の回収部、
１３はベルトコンベア移動方向、１４、１５は吸着装
置、１６、１７はトレイである。
半導体装置、および断面が同じく四角形の電磁石を有す
る吸着アームを示す斜視図であり、（ａ）、（ｂ）は各
々吸着前、吸着後の状態を示す。図４は、トレーからト
レーへの半導体装置の搬送方法を示す斜視図である。図
１〜図４において、１、１ａ、１ｂは吸着アーム、２は
電磁石、３は弾性体、４は磁性体、５は半導体装置、６
は吸着アームの移動方向、７はベルトコンベア、８は一
対の電極、９は電磁石、１０はブラシ、１１はベルトコ
ンベア上の送給部、１２はベルトコンベア上の回収部、
１３はベルトコンベア移動方向、１４、１５は吸着装
置、１６、１７はトレイである。
【００１５】なお、半導体装置５に搭載する磁性体４は
磁性を有する金属テープ、金属片等の磁性体を半導体装
置５に貼るか、モールドパッケージに埋め込む等、任意
の方法で半導体装置５に搭載することができる。弾性体
３は、ゴム、樹脂等が例示され、特に制限されるもので
はないが、吸着後の位置ずれを完全に防止可能とするた
めに、吸着部の形状が凹状のゴムパッド、樹脂パッドが
好ましい。
磁性を有する金属テープ、金属片等の磁性体を半導体装
置５に貼るか、モールドパッケージに埋め込む等、任意
の方法で半導体装置５に搭載することができる。弾性体
３は、ゴム、樹脂等が例示され、特に制限されるもので
はないが、吸着後の位置ずれを完全に防止可能とするた
めに、吸着部の形状が凹状のゴムパッド、樹脂パッドが
好ましい。
【００１６】ベルトコンベアの材質はゴム、樹脂、非磁
性の金属等が例示されるが、特に限定されるものではな
く、またベルトコンベアの構造も特に限定されるもので
はない。また、電極８は一対の電極レール等が例示され
る。 （実施例１）図２、図３に示される通り、本実施例にお
いては、磁性体４を搭載した半導体装置５を、電磁石２
およびゴムパッドである弾性体３から構成される吸着ア
ーム１を用いて移動する。
性の金属等が例示されるが、特に限定されるものではな
く、またベルトコンベアの構造も特に限定されるもので
はない。また、電極８は一対の電極レール等が例示され
る。 （実施例１）図２、図３に示される通り、本実施例にお
いては、磁性体４を搭載した半導体装置５を、電磁石２
およびゴムパッドである弾性体３から構成される吸着ア
ーム１を用いて移動する。
【００１７】電磁石２は電流の調整によって磁界の強さ
を調節する。また、吸着アーム１は、図示されてはいな
いが、吸着アーム１の移動速度ｖの調節機構を備えてお
り、吸着アームの移動速度の調節により、吸着アームの
電磁石２の磁界の中心に半導体装置が吸着可能となる。
この場合、吸着アームの電磁石２および半導体に搭載す
る磁性体４の断面形状は、形成される磁界Ｈが断面の周
辺方向で異なるように、図３（ａ）に示す四角形等とす
ることが吸着位置の正確な位置合わせの面から好まし
い。
を調節する。また、吸着アーム１は、図示されてはいな
いが、吸着アーム１の移動速度ｖの調節機構を備えてお
り、吸着アームの移動速度の調節により、吸着アームの
電磁石２の磁界の中心に半導体装置が吸着可能となる。
この場合、吸着アームの電磁石２および半導体に搭載す
る磁性体４の断面形状は、形成される磁界Ｈが断面の周
辺方向で異なるように、図３（ａ）に示す四角形等とす
ることが吸着位置の正確な位置合わせの面から好まし
い。
【００１８】前記本発明を、生産量が１０００個／１ｈ
の工程の搬送ラインに適用した結果、従来の真空による
吸着方法においては１個／１ｈの吸着ミスが発生し、１
回／１ｈの頻度でラインを停止する必要があったが、本
発明により、吸着ミスによるラインの停止が皆無となっ
た。 （実施例２）本発明の半導体装置の搬送装置および搬送
方法を、図１および図４により説明する。
の工程の搬送ラインに適用した結果、従来の真空による
吸着方法においては１個／１ｈの吸着ミスが発生し、１
回／１ｈの頻度でラインを停止する必要があったが、本
発明により、吸着ミスによるラインの停止が皆無となっ
た。 （実施例２）本発明の半導体装置の搬送装置および搬送
方法を、図１および図４により説明する。
【００１９】図１に示される通り、本発明においては、
磁性体４を搭載した半導体装置５を、ベルトコンベア上
の送給部１１の上部に配設された可動型の吸着アーム１
ａを用いて、ベルトコンベア７上に固定・配設された電
磁石９上に搬送、固定する。半導体装置５がベルトコン
ベアにより、ベルトコンベアの回収部１２の所定の位置
迄搬送された時点で、半導体装置５を、回収部１２の上
部に配設された可動型の吸着アーム１ｂを用いて再度所
定の場所迄搬送する。
磁性体４を搭載した半導体装置５を、ベルトコンベア上
の送給部１１の上部に配設された可動型の吸着アーム１
ａを用いて、ベルトコンベア７上に固定・配設された電
磁石９上に搬送、固定する。半導体装置５がベルトコン
ベアにより、ベルトコンベアの回収部１２の所定の位置
迄搬送された時点で、半導体装置５を、回収部１２の上
部に配設された可動型の吸着アーム１ｂを用いて再度所
定の場所迄搬送する。
【００２０】この場合、電極レール等で例示される電極
８をベルトコンベアの移動方向に対して複数に区分して
設置し、ベルトコンベアの回収部１２において電磁石９
への電流を切断し、吸着アーム１ｂを用いて半導体装置
５を回収し、再度搬送する。図４には、吸着アームが各
々４個付属した吸着装置１４、吸着装置１５を用いて半
導体装置５をトレイ１６からトレイ１７に搬送する方法
を示す。
８をベルトコンベアの移動方向に対して複数に区分して
設置し、ベルトコンベアの回収部１２において電磁石９
への電流を切断し、吸着アーム１ｂを用いて半導体装置
５を回収し、再度搬送する。図４には、吸着アームが各
々４個付属した吸着装置１４、吸着装置１５を用いて半
導体装置５をトレイ１６からトレイ１７に搬送する方法
を示す。
【００２１】図４の方法を用いることにより、半導体装
置５を１個ずつ真空で吸着し、搬送する従来法に比べて
半導体装置のトレイ１６からトレイ１７への移し換え時
間が１／８に短縮された。
置５を１個ずつ真空で吸着し、搬送する従来法に比べて
半導体装置のトレイ１６からトレイ１７への移し換え時
間が１／８に短縮された。
【００２２】
【発明の効果】本発明により、吸着エラーによる半導体
装置の搬送中の脱落が皆無となり、半導体製造工程のラ
インの稼働率の向上が可能となった。また、本発明によ
り、半導体装置の位置を正確にホールドした状態で搬送
可能となり、例えばＬＳＩパッケージの端子のプリント
基板ソケット部への嵌め込み等を確実に行うことができ
る。また、本発明によれば、半導体装置の搬送時間が大
幅に短縮可能となる効果も有する。
装置の搬送中の脱落が皆無となり、半導体製造工程のラ
インの稼働率の向上が可能となった。また、本発明によ
り、半導体装置の位置を正確にホールドした状態で搬送
可能となり、例えばＬＳＩパッケージの端子のプリント
基板ソケット部への嵌め込み等を確実に行うことができ
る。また、本発明によれば、半導体装置の搬送時間が大
幅に短縮可能となる効果も有する。
【図１】本発明の搬送装置を示す斜視図。
【図２】磁性体を搭載した半導体装置、および電磁石を
有する吸着アームを示す斜視図であり、（ａ）、（ｂ）
は各々吸着前、吸着後の状態を示す。
有する吸着アームを示す斜視図であり、（ａ）、（ｂ）
は各々吸着前、吸着後の状態を示す。
【図３】磁性体を搭載した半導体装置、および電磁石を
有する吸着アームを示す斜視図であり、（ａ）、（ｂ）
は各々吸着前、吸着後の状態を示す。
有する吸着アームを示す斜視図であり、（ａ）、（ｂ）
は各々吸着前、吸着後の状態を示す。
【図４】トレイからトレイへの半導体装置の搬送方法を
示す斜視図。
示す斜視図。
１ 吸着アーム ２ 電磁石 ３ 弾性体 ４ 磁性体 ５ 半導体装置 ７ ベルトコンベア ８ 電極 ９ 電磁石 １４、１５ 吸着装置 １６、１７ トレイ
Claims (3)
- 【請求項１】 磁性体４を搭載した半導体装置５を、電
磁石２および弾性体３から構成される吸着アーム１を用
いて搬送することを特徴とする半導体装置の搬送方法。 - 【請求項２】 磁性体４を搭載した半導体装置５を、電
磁石２および弾性体３から構成される吸着アーム１ａを
用いて、ベルトコンベア７上に固定・配設された電磁石
９上に搬送、固定し、半導体装置５が前記ベルトコンベ
ア７により、所定の位置迄搬送された時点で、半導体装
置５を、吸着アーム１ｂを用いて再度搬送することを特
徴とする半導体装置の搬送方法。 - 【請求項３】 移動方向の所定間隔毎に電磁石９が固定
・配設されたベルトコンベア７と、ベルトコンベア７に
並設された一対の電極８と、電磁石９に半導体装置５を
着脱するための、電磁石２および弾性体３から構成され
る吸着アーム１ａおよび１ｂとからなり、電磁石９が前
記電極８との通電用のブラシ１０を有することを特徴と
する半導体装置の搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6811195A JPH08264617A (ja) | 1995-03-27 | 1995-03-27 | 半導体装置の搬送方法および搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6811195A JPH08264617A (ja) | 1995-03-27 | 1995-03-27 | 半導体装置の搬送方法および搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08264617A true JPH08264617A (ja) | 1996-10-11 |
Family
ID=13364309
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6811195A Pending JPH08264617A (ja) | 1995-03-27 | 1995-03-27 | 半導体装置の搬送方法および搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08264617A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101487278B1 (ko) * | 2013-11-25 | 2015-01-29 | 미래산업 주식회사 | 인라인 테스트 핸들러 |
| CN104528341A (zh) * | 2015-01-06 | 2015-04-22 | 横店集团东磁股份有限公司 | 一种压机自动取坯排列装盘机及其实现方法 |
| JP2017098471A (ja) * | 2015-11-27 | 2017-06-01 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
| CN107863243A (zh) * | 2017-11-29 | 2018-03-30 | 横店集团东磁股份有限公司 | 一种粘结磁压制至固化的自动生产线及其实现方法 |
| CN109755162A (zh) * | 2019-01-15 | 2019-05-14 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种转移装置、Micro-LED晶粒及转移方法 |
-
1995
- 1995-03-27 JP JP6811195A patent/JPH08264617A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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