JPH08269695A - 蒸着用るつぼ - Google Patents
蒸着用るつぼInfo
- Publication number
- JPH08269695A JPH08269695A JP9975995A JP9975995A JPH08269695A JP H08269695 A JPH08269695 A JP H08269695A JP 9975995 A JP9975995 A JP 9975995A JP 9975995 A JP9975995 A JP 9975995A JP H08269695 A JPH08269695 A JP H08269695A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crucible
- vapor deposition
- width
- metal
- opening
- Prior art date
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- Pending
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Crucibles And Fluidized-Bed Furnaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 るつぼ内壁面に沿っての溶融金属のはい上り
を防止する。 【構成】 真空雰囲気中で金属を溶融し蒸発させるるつ
ぼの開口部の幅が、るつぼ内の金属の蒸発面の幅よりも
狭いことを特徴とする蒸着用るつぼ。
を防止する。 【構成】 真空雰囲気中で金属を溶融し蒸発させるるつ
ぼの開口部の幅が、るつぼ内の金属の蒸発面の幅よりも
狭いことを特徴とする蒸着用るつぼ。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、真空蒸着に用いられ
る、金属を溶融、蒸発させる蒸着用るつぼに関し、特
に、Ａｌ系金属を高周波誘導加熱によって蒸発させる際
に用いられる、外形が長尺の直方体のカーボンるつぼに
適用して好適な蒸着用るつぼに関する。
る、金属を溶融、蒸発させる蒸着用るつぼに関し、特
に、Ａｌ系金属を高周波誘導加熱によって蒸発させる際
に用いられる、外形が長尺の直方体のカーボンるつぼに
適用して好適な蒸着用るつぼに関する。
【０００２】
【従来の技術】真空蒸着においては、Ａｌなどの金属を
高周波誘導加熱法によって蒸着させるため、通常、丸形
のカーボンるつぼが使用されている。カーボンるつぼ
は、溶融アルミニウムとの親和性が強く、このため蒸着
中に溶融アルミニウムがるつぼの内壁面をはい上り、る
つぼの外側へ流れ出す、いわゆるはい上り現象が大きな
問題になっている。これを防ぐため、Ｔｉ金属を溶融し
たＡｌに添加したり、カーボンるつぼにアルミナを含浸
する工夫がなされているが、上記はい上り現象を防止で
きるには至っていない。
高周波誘導加熱法によって蒸着させるため、通常、丸形
のカーボンるつぼが使用されている。カーボンるつぼ
は、溶融アルミニウムとの親和性が強く、このため蒸着
中に溶融アルミニウムがるつぼの内壁面をはい上り、る
つぼの外側へ流れ出す、いわゆるはい上り現象が大きな
問題になっている。これを防ぐため、Ｔｉ金属を溶融し
たＡｌに添加したり、カーボンるつぼにアルミナを含浸
する工夫がなされているが、上記はい上り現象を防止で
きるには至っていない。
【０００３】一方、丸形るつぼに対し、外形が直方体状
で、かつ、長尺のるつぼが知られている。本発明者ら
は、丸形るつぼに代え直方体形状の長尺るつぼを使用す
る事を検討した結果、このような長尺るつぼを使用して
も、単に従来の丸形るつぼと同じ断面形状を有するるつ
ぼを用いるだけでは、従来のＴｉ添加やアルミナ含浸を
行っても上記はい上りを完全には防止できないことを見
出した。
で、かつ、長尺のるつぼが知られている。本発明者ら
は、丸形るつぼに代え直方体形状の長尺るつぼを使用す
る事を検討した結果、このような長尺るつぼを使用して
も、単に従来の丸形るつぼと同じ断面形状を有するるつ
ぼを用いるだけでは、従来のＴｉ添加やアルミナ含浸を
行っても上記はい上りを完全には防止できないことを見
出した。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は、溶融
金属のはい上りのない高周波誘導加熱用蒸着るつぼを提
供することを目的とする。
金属のはい上りのない高周波誘導加熱用蒸着るつぼを提
供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この目的に沿う本発明の
蒸着用るつぼは、真空雰囲気中で金属を溶融し蒸発させ
るるつぼの開口部の幅が、るつぼ内の金属の蒸発面の幅
よりも狭いことを特徴とするものからなる。
蒸着用るつぼは、真空雰囲気中で金属を溶融し蒸発させ
るるつぼの開口部の幅が、るつぼ内の金属の蒸発面の幅
よりも狭いことを特徴とするものからなる。
【０００６】本発明に係る蒸着用るつぼを、従来の直方
体状の長尺るつぼと比較しながら説明する。図３、図４
は、従来の外形が直方体形状の長尺るつぼ１１を示して
おり、開口部１２の幅ａ’は、るつぼ１１内の金属１３
の蒸発面１４の幅ｂと同じである。ここでいう金属の蒸
発面とは溶融金属の気液界面を指す。
体状の長尺るつぼと比較しながら説明する。図３、図４
は、従来の外形が直方体形状の長尺るつぼ１１を示して
おり、開口部１２の幅ａ’は、るつぼ１１内の金属１３
の蒸発面１４の幅ｂと同じである。ここでいう金属の蒸
発面とは溶融金属の気液界面を指す。
【０００７】このような従来の長尺るつぼ１１では、溶
融金属１３がるつぼ１１の内壁面をはい上り、蒸発せず
にるつぼ１１の外へ流出してしまうことがある。
融金属１３がるつぼ１１の内壁面をはい上り、蒸発せず
にるつぼ１１の外へ流出してしまうことがある。
【０００８】これに対し本発明に係るるつぼ１は、図１
および図２に示すように、開口部２の幅ａが、るつぼ１
内の金属３の蒸発面４の幅ｂよりも狭くなっており、こ
れによって金属のはい上り現象が大幅に改善される。開
口部２の幅ａは蒸発面４の幅ｂに応じて決めればよい
が、ｂの１／２以上７／９以下が好ましく、２／３以上
３／４以下がより好ましい。
および図２に示すように、開口部２の幅ａが、るつぼ１
内の金属３の蒸発面４の幅ｂよりも狭くなっており、こ
れによって金属のはい上り現象が大幅に改善される。開
口部２の幅ａは蒸発面４の幅ｂに応じて決めればよい
が、ｂの１／２以上７／９以下が好ましく、２／３以上
３／４以下がより好ましい。
【０００９】本発明は、丸形るつぼにも有効であるが、
特に図１、図２に示したような外形が実質的に直方体形
状の長尺るつぼに適用して顕著な効果を示す。
特に図１、図２に示したような外形が実質的に直方体形
状の長尺るつぼに適用して顕著な効果を示す。
【００１０】るつぼを構成する材料の組成は、誘導電流
が流れ、かつ合金を形成しない材料であれば特に限定さ
れないが、高周波誘導加熱でき、かつ種々の金属と合金
を作らないカーボンが良く、特に構成成分の９０重量
％、より好ましくは９５重量％がカーボンであるるつぼ
が良い。また溶融金属との濡れ性を悪くするため、アル
ミナを含浸するとより良い結果をもたらす。
が流れ、かつ合金を形成しない材料であれば特に限定さ
れないが、高周波誘導加熱でき、かつ種々の金属と合金
を作らないカーボンが良く、特に構成成分の９０重量
％、より好ましくは９５重量％がカーボンであるるつぼ
が良い。また溶融金属との濡れ性を悪くするため、アル
ミナを含浸するとより良い結果をもたらす。
【００１１】本発明のるつぼを用いる蒸発金属は特に限
定されるものではないが、Ａｌ、Ｃｕあるいはこれらの
合金が適している。特にはい上りの顕著なＡｌあるいは
Ａｌ合金に特に良い結果をもたらす。
定されるものではないが、Ａｌ、Ｃｕあるいはこれらの
合金が適している。特にはい上りの顕著なＡｌあるいは
Ａｌ合金に特に良い結果をもたらす。
【００１２】
【実施例】以下、実施例によって本発明をより詳細に説
明する。なお本発明は本実施例に限定されるものではな
い。 実施例１、比較例１ 図１、図２および図３、図４に示したアルミナ含浸カー
ボンるつぼをそれぞれ作成した。カーボン成分：９９重
量％以上、アルミナ含浸量：０．６重量％、嵩比重：
１．９、固有抵抗：９２μΩ・ｃｍで、外形形状は幅：
７５ｍｍ、高さ：７５ｍｍ、長さ：９５０ｍｍの直方体
である。図３、図４のるつぼの内のりは、幅ｂ：４５ｍ
ｍ、高さ：６０ｍｍ、長さ：９２０ｍｍであり、開口部
の幅はａ′＝ｂで、かつ、長さは９２０ｍｍで内のりの
長さと同じである。一方、本発明の図１、図２のるつぼ
の内のりは、幅ｂ：４５ｍｍ、高さ：６０ｍｍ、長さ：
９２０ｍｍは同じであるが、開口部の幅ａ：３０ｍｍで
ａ＜ｂ、長さを９０５ｍｍとして蒸発面の長さ９２０ｍ
ｍより短くしてある。
明する。なお本発明は本実施例に限定されるものではな
い。 実施例１、比較例１ 図１、図２および図３、図４に示したアルミナ含浸カー
ボンるつぼをそれぞれ作成した。カーボン成分：９９重
量％以上、アルミナ含浸量：０．６重量％、嵩比重：
１．９、固有抵抗：９２μΩ・ｃｍで、外形形状は幅：
７５ｍｍ、高さ：７５ｍｍ、長さ：９５０ｍｍの直方体
である。図３、図４のるつぼの内のりは、幅ｂ：４５ｍ
ｍ、高さ：６０ｍｍ、長さ：９２０ｍｍであり、開口部
の幅はａ′＝ｂで、かつ、長さは９２０ｍｍで内のりの
長さと同じである。一方、本発明の図１、図２のるつぼ
の内のりは、幅ｂ：４５ｍｍ、高さ：６０ｍｍ、長さ：
９２０ｍｍは同じであるが、開口部の幅ａ：３０ｍｍで
ａ＜ｂ、長さを９０５ｍｍとして蒸発面の長さ９２０ｍ
ｍより短くしてある。
【００１３】これらのるつぼに周波数６．２ＫＨｚ、電
力３０ｋＷを供給し、Ａｌを溶融、蒸発させた。蒸着時
間１時間、溶融Ａｌを大気中で７００℃まで冷却し、保
持した時間３０分、真空中で蒸発する１２００℃以上の
温度まで昇温する時間２５分を１サイクルとし、溶融Ａ
ｌが蒸着中にはい上るまでのサイクルを調べた結果、従
来のるつぼでは９〜１２回ではい上った（比較例１）の
に比べ、本発明のるつぼ（実施例１）では、るつぼの上
部が欠けはじめる３０回まではい上りが認められず、従
来品に比べ著しい改良効果を示した。
力３０ｋＷを供給し、Ａｌを溶融、蒸発させた。蒸着時
間１時間、溶融Ａｌを大気中で７００℃まで冷却し、保
持した時間３０分、真空中で蒸発する１２００℃以上の
温度まで昇温する時間２５分を１サイクルとし、溶融Ａ
ｌが蒸着中にはい上るまでのサイクルを調べた結果、従
来のるつぼでは９〜１２回ではい上った（比較例１）の
に比べ、本発明のるつぼ（実施例１）では、るつぼの上
部が欠けはじめる３０回まではい上りが認められず、従
来品に比べ著しい改良効果を示した。
【００１４】
【発明の効果】本発明によれば、るつぼの開口部を金属
蒸発面より狭くしたことにより、溶融金属のはい上りを
顕著に防ぐことができた。
蒸発面より狭くしたことにより、溶融金属のはい上りを
顕著に防ぐことができた。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例に係るるつぼの平面図であ
る。
る。
【図２】図１のるつぼのＩＩ−ＩＩ線に沿う縦断面図で
ある。
ある。
【図３】従来の長尺るつぼの平面図である。
【図４】図３のるつぼのＩＶ−ＩＶ線に沿う縦断面図で
ある。
ある。
１ るつぼ ２ 開口部 ３ 溶融金属 ４ 蒸発面 ａ、ａ′ るつぼの開口部の幅 ｂ るつぼ内の金属蒸発面の幅
Claims (6)
- 【請求項１】 真空雰囲気中で金属を溶融し蒸発させる
るつぼの開口部の幅が、るつぼ内の金属の蒸発面の幅よ
りも狭いことを特徴とする蒸着用るつぼ。 - 【請求項２】 前記開口部の幅が前記金属蒸発面の幅の
１／２以上７／９以下である、請求項１の蒸着用るつ
ぼ。 - 【請求項３】 るつぼの外形が実質的に直方体である、
請求項１または２の蒸着用るつぼ。 - 【請求項４】 構成成分の９０重量％以上がカーボンか
らなる、請求項１ないし３のいずれかに記載の蒸着用る
つぼ。 - 【請求項５】 Ａｌ又はＡｌ系合金を蒸発させるための
るつぼである、請求項１ないし４のいずれかに記載の蒸
着用るつぼ。 - 【請求項６】 高周波誘導加熱される、請求項１ないし
５のいずれかに記載の蒸着用るつぼ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9975995A JPH08269695A (ja) | 1995-03-30 | 1995-03-30 | 蒸着用るつぼ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9975995A JPH08269695A (ja) | 1995-03-30 | 1995-03-30 | 蒸着用るつぼ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08269695A true JPH08269695A (ja) | 1996-10-15 |
Family
ID=14255915
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9975995A Pending JPH08269695A (ja) | 1995-03-30 | 1995-03-30 | 蒸着用るつぼ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08269695A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003502494A (ja) * | 1998-11-12 | 2003-01-21 | フレックス プロダクツ インコーポレイテッド | 直線開口蒸着装置および被覆方法 |
| KR100473485B1 (ko) * | 2002-03-19 | 2005-03-09 | 주식회사 이노벡스 | 유기 반도체 소자 박막 제작을 위한 선형 증발원 |
| KR100480363B1 (ko) * | 2002-04-09 | 2005-03-30 | 네오뷰코오롱 주식회사 | 증발 증착 셀 |
-
1995
- 1995-03-30 JP JP9975995A patent/JPH08269695A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003502494A (ja) * | 1998-11-12 | 2003-01-21 | フレックス プロダクツ インコーポレイテッド | 直線開口蒸着装置および被覆方法 |
| KR100473485B1 (ko) * | 2002-03-19 | 2005-03-09 | 주식회사 이노벡스 | 유기 반도체 소자 박막 제작을 위한 선형 증발원 |
| KR100480363B1 (ko) * | 2002-04-09 | 2005-03-30 | 네오뷰코오롱 주식회사 | 증발 증착 셀 |
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