JPH08271742A - フィルタ付導波路及びフィルタ固定用ブロックの製造方法 - Google Patents
フィルタ付導波路及びフィルタ固定用ブロックの製造方法Info
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- JPH08271742A JPH08271742A JP7800695A JP7800695A JPH08271742A JP H08271742 A JPH08271742 A JP H08271742A JP 7800695 A JP7800695 A JP 7800695A JP 7800695 A JP7800695 A JP 7800695A JP H08271742 A JPH08271742 A JP H08271742A
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- thin film
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- fixing block
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 薄膜フィルタを導波路素子のスリットに挿入
固定する際に、薄膜フィルタを反らすことなく、しかも
コアと薄膜フィルタとが垂直になるように効率的に固定
できるフィルタ付導波路及びフィルタ固定用ブロックの
製造方法を提供する。 【構成】 導波路基板１上に形成された導波路素子４の
コア２を横断するスリット５に薄膜フィルタ６を挿入し
た後固定するフィルタ付導波路において、スリット５に
挿入する薄膜フィルタ６をフィルタ固定用ブロック１０
に固定した後、その薄膜フィルタ６をスリット５に挿入
すると共にフィルタ固定用ブロック１０ごと導波路素子
４に固定することを特徴としている。
固定する際に、薄膜フィルタを反らすことなく、しかも
コアと薄膜フィルタとが垂直になるように効率的に固定
できるフィルタ付導波路及びフィルタ固定用ブロックの
製造方法を提供する。 【構成】 導波路基板１上に形成された導波路素子４の
コア２を横断するスリット５に薄膜フィルタ６を挿入し
た後固定するフィルタ付導波路において、スリット５に
挿入する薄膜フィルタ６をフィルタ固定用ブロック１０
に固定した後、その薄膜フィルタ６をスリット５に挿入
すると共にフィルタ固定用ブロック１０ごと導波路素子
４に固定することを特徴としている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、フィルタ付導波路及び
フィルタ固定用ブロックの製造方法に関する。
フィルタ固定用ブロックの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】光通信に用いられる光部品の中には特定
の波長帯の光信号のみ通過（あるいは遮断）させるフィ
ルタ付導波路がある。
の波長帯の光信号のみ通過（あるいは遮断）させるフィ
ルタ付導波路がある。
【０００３】図１２は従来のフィルタ付導波路の外観斜
視図であり、図１３はその拡散分解図である。
視図であり、図１３はその拡散分解図である。
【０００４】導波路基板１上に、コア２及びクラッド３
からなる導波路素子４が形成されており、コア２を横断
するようにスリット５が形成されている。そのスリット
５に薄膜フィルタ６を挿入した後、導波路素子４と薄膜
フィルタ６とを接着剤７でモールドして固定することで
フィルタ付導波路８が製造される。
からなる導波路素子４が形成されており、コア２を横断
するようにスリット５が形成されている。そのスリット
５に薄膜フィルタ６を挿入した後、導波路素子４と薄膜
フィルタ６とを接着剤７でモールドして固定することで
フィルタ付導波路８が製造される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで図１２及び図
１３に示したフィルタ付導波路８において、薄膜フィル
タ６のサイズが小さい（数ｍｍ角）ため、薄膜フィルタ
６をスリット５へ挿入する時のハンドリングや接着剤７
をモールドするまでの薄膜フィルタ６の固定等に作業性
の悪さがあった。また、薄膜フィルタ６がスリット５の
長手方向に長い場合には薄膜フィルタ６に反りが生じて
スリット５への挿入が困難となる。さらに、薄膜フィル
タ６を導波路素子４にモールド固定する時に、コア２に
対して傾斜して（直角でなくなり）所望の特性が得られ
なくなるおそれがある。
１３に示したフィルタ付導波路８において、薄膜フィル
タ６のサイズが小さい（数ｍｍ角）ため、薄膜フィルタ
６をスリット５へ挿入する時のハンドリングや接着剤７
をモールドするまでの薄膜フィルタ６の固定等に作業性
の悪さがあった。また、薄膜フィルタ６がスリット５の
長手方向に長い場合には薄膜フィルタ６に反りが生じて
スリット５への挿入が困難となる。さらに、薄膜フィル
タ６を導波路素子４にモールド固定する時に、コア２に
対して傾斜して（直角でなくなり）所望の特性が得られ
なくなるおそれがある。
【０００６】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、薄膜フィルタを導波路素子のスリットに挿入固定す
る際に、薄膜フィルタを反らすことなく、しかもコアと
薄膜フィルタとが垂直になるように効率的に固定できる
フィルタ付導波路及びフィルタ固定用ブロックの製造方
法を提供することにある。
し、薄膜フィルタを導波路素子のスリットに挿入固定す
る際に、薄膜フィルタを反らすことなく、しかもコアと
薄膜フィルタとが垂直になるように効率的に固定できる
フィルタ付導波路及びフィルタ固定用ブロックの製造方
法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明のフィルタ付導波路は、導波路基板上に形成さ
れた導波路素子のコアを横断するスリットに薄膜フィル
タを挿入した後固定するフィルタ付導波路において、ス
リットに挿入する薄膜フィルタをフィルタ固定用ブロッ
クに固定した後、その薄膜フィルタをスリットに挿入す
ると共にフィルタ固定用ブロックごと導波路素子に固定
するものである。
に本発明のフィルタ付導波路は、導波路基板上に形成さ
れた導波路素子のコアを横断するスリットに薄膜フィル
タを挿入した後固定するフィルタ付導波路において、ス
リットに挿入する薄膜フィルタをフィルタ固定用ブロッ
クに固定した後、その薄膜フィルタをスリットに挿入す
ると共にフィルタ固定用ブロックごと導波路素子に固定
するものである。
【０００８】上記構成に加え本発明に用いるフィルタ固
定用ブロックは、導波路基板と同じ材質からなるもので
ある。
定用ブロックは、導波路基板と同じ材質からなるもので
ある。
【０００９】上記構成に加え本発明に用いるフィルタ固
定用ブロックは、薄膜フィルタを固定するときのずれを
防ぐため、薄膜フィルタ固定面の端部付近に段差が形成
されたものである。
定用ブロックは、薄膜フィルタを固定するときのずれを
防ぐため、薄膜フィルタ固定面の端部付近に段差が形成
されたものである。
【００１０】上記構成に加え本発明に用いるフィルタ固
定用ブロックには、薄膜フィルタを固定するときに接着
剤が溜まる接着剤溜りが形成されたものである。
定用ブロックには、薄膜フィルタを固定するときに接着
剤が溜まる接着剤溜りが形成されたものである。
【００１１】上記構成に加え本発明に用いるフィルタ固
定用ブロックは、薄膜フィルタ先端がフィルタ固定用ブ
ロックと導波路基板との接続面より導波路基板のスリッ
ト深さ分だけ突出するように、フィルタ固定用ブロック
の上部の段差と導波路接続面までの距離を設定したもの
である。
定用ブロックは、薄膜フィルタ先端がフィルタ固定用ブ
ロックと導波路基板との接続面より導波路基板のスリッ
ト深さ分だけ突出するように、フィルタ固定用ブロック
の上部の段差と導波路接続面までの距離を設定したもの
である。
【００１２】上記構成に加え本発明に用いる薄膜フィル
タは、フィルタ固定用ブロックに固定した後、薄膜フィ
ルタをフィルタ固定用ブロックの導波路接続面に垂直に
なるようにしたものである。
タは、フィルタ固定用ブロックに固定した後、薄膜フィ
ルタをフィルタ固定用ブロックの導波路接続面に垂直に
なるようにしたものである。
【００１３】上記構成に加え本発明に用いるフィルタ固
定用ブロックは、薄膜フィルタ固定部を平坦にしたもの
である。
定用ブロックは、薄膜フィルタ固定部を平坦にしたもの
である。
【００１４】上記構成に加え本発明に用いるフィルタ固
定用ブロックには、薄膜フィルタ固定部が複数か所形成
されているものである。
定用ブロックには、薄膜フィルタ固定部が複数か所形成
されているものである。
【００１５】本発明のフィルタ固定用ブロックの製造方
法は、導波路基板上に形成された導波路素子のコアを横
断するスリットに薄膜フィルタを固定し、その薄膜フィ
ルタをスリットに挿入して導波路素子に固定するための
固定用ブロックの製造方法において、ウエハ基板上に薄
膜フィルタを固定するためのガイドラインをエッチング
加工して薄膜フィルタ固定部を形成した後、ウエハ基板
の表面を横断するようにＶ溝加工して接着剤溜まり部を
形成し、ウエハ基板をダイシングにより切断分割するも
のである。
法は、導波路基板上に形成された導波路素子のコアを横
断するスリットに薄膜フィルタを固定し、その薄膜フィ
ルタをスリットに挿入して導波路素子に固定するための
固定用ブロックの製造方法において、ウエハ基板上に薄
膜フィルタを固定するためのガイドラインをエッチング
加工して薄膜フィルタ固定部を形成した後、ウエハ基板
の表面を横断するようにＶ溝加工して接着剤溜まり部を
形成し、ウエハ基板をダイシングにより切断分割するも
のである。
【００１６】
【作用】上記構成によれば、薄膜フィルタをフィルタ固
定用ブロックに固定することにより、薄膜フィルタが反
るのが防止される。また薄膜フィルタはフィルタ固定用
ブロックに固定されることにより、接触面積が増大して
安定度が増すので、薄膜フィルタをスリットに挿入して
もぐらつくことがない。このためコアと薄膜フィルタと
がなす角度が規制される。すなわち、コアと薄膜フィル
タとがなす角度が９０度となるように薄膜ブロックを形
成しておけば、スリットに薄膜フィルタを挿入するだけ
でコアと薄膜フィルタとが垂直になるように固定され
る。さらに薄膜フィルタを導波路基板のスリットに挿入
すると共にフィルタ固定用ブロックごと導波路基板に固
定することにより、製造が容易かつ効率的になる。
定用ブロックに固定することにより、薄膜フィルタが反
るのが防止される。また薄膜フィルタはフィルタ固定用
ブロックに固定されることにより、接触面積が増大して
安定度が増すので、薄膜フィルタをスリットに挿入して
もぐらつくことがない。このためコアと薄膜フィルタと
がなす角度が規制される。すなわち、コアと薄膜フィル
タとがなす角度が９０度となるように薄膜ブロックを形
成しておけば、スリットに薄膜フィルタを挿入するだけ
でコアと薄膜フィルタとが垂直になるように固定され
る。さらに薄膜フィルタを導波路基板のスリットに挿入
すると共にフィルタ固定用ブロックごと導波路基板に固
定することにより、製造が容易かつ効率的になる。
【００１７】
【実施例】以下、本発明の一実施例を添付図面に基づい
て詳述する。
て詳述する。
【００１８】図１は本発明のフィルタ付導波路の一実施
例の外観斜視図である。尚、図１２及び図１３に示した
従来例と同様の部材には共通の符号を用いた。
例の外観斜視図である。尚、図１２及び図１３に示した
従来例と同様の部材には共通の符号を用いた。
【００１９】図１において、例えばシリコンからなる導
波路基板１上に、コア２及びクラッド３からなる導波路
素子４が形成されている。導波路素子４にはコア２を横
断するスリット（図では見えない）が形成され、フィル
タ固定用ブロック１０に薄膜フィルタ６が固定され、ス
リット内に薄膜フィルタ６が挿入されると共にフィルタ
固定用ブロック１０ごと導波路素子４に接着剤７，７ａ
で固定されてフィルタ付導波路１１が形成されている。
波路基板１上に、コア２及びクラッド３からなる導波路
素子４が形成されている。導波路素子４にはコア２を横
断するスリット（図では見えない）が形成され、フィル
タ固定用ブロック１０に薄膜フィルタ６が固定され、ス
リット内に薄膜フィルタ６が挿入されると共にフィルタ
固定用ブロック１０ごと導波路素子４に接着剤７，７ａ
で固定されてフィルタ付導波路１１が形成されている。
【００２０】図２〜図５は図１に示したフィルタ付導波
路の製造工程を示す図であり、図６は図３のＡ−Ａ線断
面であり、図７は図３の矢印Ｂ方向の側面図である。
路の製造工程を示す図であり、図６は図３のＡ−Ａ線断
面であり、図７は図３の矢印Ｂ方向の側面図である。
【００２１】図２に示すように、フィルタ固定用ブロッ
ク１０は表面に凹凸のある平板状に形成されている。フ
ィルタ固定用ブロック１０の表面中央の凹部は薄膜フィ
ルタ６を固定するための薄膜フィルタ固定面１２であ
り、平坦に形成されている。薄膜フィルタ固定面１２の
端部付近には段差が形成され、その凸部は薄膜フィルタ
を固定するときのガイド１３、１４、１５となってい
る。フィルタ固定用ブロック１０の表面には薄膜フィル
タ固定面１２を横断するようにＶ溝１６が形成されてお
り、フィルタ固定用ブロック１０の角部には傾斜部１７
が形成されている。フィルタ固定用ブロック１０は導波
路素子４と同じ材質からなっている。例えば、石英ガラ
ス等の誘電体、ＬｉＮｂＯ3 等の強誘電体、あるいはＳ
ｉ、ＧａＡｓ、ＩｎＰ等の半導体が用いられている。
ク１０は表面に凹凸のある平板状に形成されている。フ
ィルタ固定用ブロック１０の表面中央の凹部は薄膜フィ
ルタ６を固定するための薄膜フィルタ固定面１２であ
り、平坦に形成されている。薄膜フィルタ固定面１２の
端部付近には段差が形成され、その凸部は薄膜フィルタ
を固定するときのガイド１３、１４、１５となってい
る。フィルタ固定用ブロック１０の表面には薄膜フィル
タ固定面１２を横断するようにＶ溝１６が形成されてお
り、フィルタ固定用ブロック１０の角部には傾斜部１７
が形成されている。フィルタ固定用ブロック１０は導波
路素子４と同じ材質からなっている。例えば、石英ガラ
ス等の誘電体、ＬｉＮｂＯ3 等の強誘電体、あるいはＳ
ｉ、ＧａＡｓ、ＩｎＰ等の半導体が用いられている。
【００２２】図３に示すように、フィルタ固定用ブロッ
ク１０の薄膜フィルタ固定面１２に薄膜フィルタ６を配
置する。フィルタ固定用ブロック１０の接続面１０ａは
薄膜フィルタ６の貼り合せ面と垂直になるように形成さ
れている。また、フィルタ固定用ブロック１０の接続面
１０ａから薄膜フィルタ固定用ガイドライン（図６）１
８までの長さＬ1 は、薄膜フィルタ６のフィルタ固定用
ブロック１０からはみ出した部分（薄膜フィルタ先端）
６ａの長さＬ2 が、スリット５の深さより短く、かつ、
導波路素子４のコア２を横切るように設定されている。
すなわち、フィルタ固定用ブロック１０は、薄膜フィル
タ先端６ａがフィルタ固定用ブロック１０と導波路素子
４との接続面より導波路素子４のスリット深さ分だけ突
出するように、フィルタ固定用ブロック１０の上部の段
差と導波路接続面１０ａまでの距離が設定されている
（図６）。
ク１０の薄膜フィルタ固定面１２に薄膜フィルタ６を配
置する。フィルタ固定用ブロック１０の接続面１０ａは
薄膜フィルタ６の貼り合せ面と垂直になるように形成さ
れている。また、フィルタ固定用ブロック１０の接続面
１０ａから薄膜フィルタ固定用ガイドライン（図６）１
８までの長さＬ1 は、薄膜フィルタ６のフィルタ固定用
ブロック１０からはみ出した部分（薄膜フィルタ先端）
６ａの長さＬ2 が、スリット５の深さより短く、かつ、
導波路素子４のコア２を横切るように設定されている。
すなわち、フィルタ固定用ブロック１０は、薄膜フィル
タ先端６ａがフィルタ固定用ブロック１０と導波路素子
４との接続面より導波路素子４のスリット深さ分だけ突
出するように、フィルタ固定用ブロック１０の上部の段
差と導波路接続面１０ａまでの距離が設定されている
（図６）。
【００２３】図４に示すように、接着剤塗布部１２ａに
フィルタ固定用ブロック１０と薄膜フィルタ６を接着す
るための接着剤７ａを塗布する。接着剤７ａはエポキシ
系やシリコーン系等いずれのものであってもよい。薄膜
フィルタ６を固定するのに不要となった接着剤７ａは、
傾斜部１７やＶ溝（接着剤溜り）１６に流れ込むので、
薄膜フィルタ６やその先端６ａを保護するようになって
いる。
フィルタ固定用ブロック１０と薄膜フィルタ６を接着す
るための接着剤７ａを塗布する。接着剤７ａはエポキシ
系やシリコーン系等いずれのものであってもよい。薄膜
フィルタ６を固定するのに不要となった接着剤７ａは、
傾斜部１７やＶ溝（接着剤溜り）１６に流れ込むので、
薄膜フィルタ６やその先端６ａを保護するようになって
いる。
【００２４】図５に示すように、薄膜フィルタ６が導波
路素子４に垂直になるようにスリット５内に挿入する。
薄膜フィルタ６挿入後、フィルタ固定用ブロック１０及
び薄膜フィルタ６と導波路素子４との接続部の周囲に接
着剤７を塗布してモールド固定することにより図１に示
すようなフィルタ付導波路１１が形成される。接着剤７
は、導波路素子４のコア２と薄膜フィルタ６との間隙に
入り込むことを考慮して、使用する光信号の波長帯（例
えば、１．３〜１．６μｍ）を通過する材質のものを用
いる。例えば、エポキシ系ＵＶ硬化型の接着剤を用いる
のが望ましい。
路素子４に垂直になるようにスリット５内に挿入する。
薄膜フィルタ６挿入後、フィルタ固定用ブロック１０及
び薄膜フィルタ６と導波路素子４との接続部の周囲に接
着剤７を塗布してモールド固定することにより図１に示
すようなフィルタ付導波路１１が形成される。接着剤７
は、導波路素子４のコア２と薄膜フィルタ６との間隙に
入り込むことを考慮して、使用する光信号の波長帯（例
えば、１．３〜１．６μｍ）を通過する材質のものを用
いる。例えば、エポキシ系ＵＶ硬化型の接着剤を用いる
のが望ましい。
【００２５】次に実施例の作用を述べる。
【００２６】薄膜フィルタ６をフィルタ固定用ブロック
１０に固定することにより、薄膜フィルタ６が反るのが
防止される。また薄膜フィルタ６はフィルタ固定用ブロ
ック１０に固定されることにより、接触面積が増大して
安定度が増すので、薄膜フィルタ６をスリット５に挿入
してもぐらつくことがない。このためコア２と薄膜フィ
ルタ６とがなす角度が規制される。すなわち、コア２と
薄膜フィルタ６とがなす角度が９０度となるようにフィ
ルタ固定用ブロック１０を形成しておけば、スリット５
に薄膜フィルタ６を挿入するだけでコア２と薄膜フィル
タ６とが垂直になるように固定される。さらに薄膜フィ
ルタ６を導波路素子４のスリット５に挿入すると共にフ
ィルタ固定用ブロック１０ごと導波路素子４に固定する
ことにより、製造が容易かつ効率的になる。
１０に固定することにより、薄膜フィルタ６が反るのが
防止される。また薄膜フィルタ６はフィルタ固定用ブロ
ック１０に固定されることにより、接触面積が増大して
安定度が増すので、薄膜フィルタ６をスリット５に挿入
してもぐらつくことがない。このためコア２と薄膜フィ
ルタ６とがなす角度が規制される。すなわち、コア２と
薄膜フィルタ６とがなす角度が９０度となるようにフィ
ルタ固定用ブロック１０を形成しておけば、スリット５
に薄膜フィルタ６を挿入するだけでコア２と薄膜フィル
タ６とが垂直になるように固定される。さらに薄膜フィ
ルタ６を導波路素子４のスリット５に挿入すると共にフ
ィルタ固定用ブロック１０ごと導波路素子４に固定する
ことにより、製造が容易かつ効率的になる。
【００２７】図８は本発明のフィルタ固定用ブロックの
変形例である。
変形例である。
【００２８】図１〜図７に示した実施例との相違点は、
薄膜フィルタの固定部が２つ形成されている点である。
薄膜フィルタの固定部が２つ形成されている点である。
【００２９】同図において、フィルタ固定用ブロック２
０上には２つの薄膜フィルタ固定面２１，２２が形成さ
れ、両薄膜フィルタ固定面２１，２２を横断するように
Ｖ溝２３が形成されている。両薄膜フィルタ固定面２
１，２２の端部付近には段差が形成されており、各凸部
は薄膜フィルタ固定用ガイド２４，２５，２６となって
いる。フィルタ固定用ブロック２０の角部には斜面２７
が形成されている。導波路素子との接続面２０ａは薄膜
フィルタ固定面２１，２２に垂直に形成されている。
０上には２つの薄膜フィルタ固定面２１，２２が形成さ
れ、両薄膜フィルタ固定面２１，２２を横断するように
Ｖ溝２３が形成されている。両薄膜フィルタ固定面２
１，２２の端部付近には段差が形成されており、各凸部
は薄膜フィルタ固定用ガイド２４，２５，２６となって
いる。フィルタ固定用ブロック２０の角部には斜面２７
が形成されている。導波路素子との接続面２０ａは薄膜
フィルタ固定面２１，２２に垂直に形成されている。
【００３０】フィルタ固定用ブロック２０はこのような
構造を有しているため、フィルタ固定用ブロック２０は
一つの導波路素子に２つの薄膜フィルタを、反ることな
く導波路に対して垂直に固定することができる。尚、薄
膜フィルタ固定面２１，２２は図では２つであるが、こ
れに限定されるものではなく、３つ以上形成してもよい
のはいうまでもない。
構造を有しているため、フィルタ固定用ブロック２０は
一つの導波路素子に２つの薄膜フィルタを、反ることな
く導波路に対して垂直に固定することができる。尚、薄
膜フィルタ固定面２１，２２は図では２つであるが、こ
れに限定されるものではなく、３つ以上形成してもよい
のはいうまでもない。
【００３１】図９〜図１１は図１に示したフィルタ付導
波路に用いられるフィルタ固定用ブロックの製造方法を
示す図である。
波路に用いられるフィルタ固定用ブロックの製造方法を
示す図である。
【００３２】ウエハ基板３０上に薄膜固定用ガイドライ
ン３１をエッチングにより形成する。尚、凹の字状に形
成された薄膜固定用ガイドライン３１にはガイド１３、
１４、１５が形成される（図９）。その後、薄膜固定用
ガイドライン３１を横断するようにＶ溝加工を施すこと
により接着剤溜り３２を形成する。尚、図中３３はダイ
シングラインである。（図１０）。ウエハ基板３０上の
フィルタ固定用ブロック部分をダイシングにより分割す
ることによりフィルタ固定用ブロック３４が形成される
（図１１）。
ン３１をエッチングにより形成する。尚、凹の字状に形
成された薄膜固定用ガイドライン３１にはガイド１３、
１４、１５が形成される（図９）。その後、薄膜固定用
ガイドライン３１を横断するようにＶ溝加工を施すこと
により接着剤溜り３２を形成する。尚、図中３３はダイ
シングラインである。（図１０）。ウエハ基板３０上の
フィルタ固定用ブロック部分をダイシングにより分割す
ることによりフィルタ固定用ブロック３４が形成される
（図１１）。
【００３３】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のよう
な優れた効果を発揮する。
な優れた効果を発揮する。
【００３４】スリットに挿入する薄膜フィルタをフィル
タ固定用ブロックに固定した後、その薄膜フィルタをス
リットに挿入すると共にフィルタ固定用ブロックごと導
波路素子に固定するので、薄膜フィルタを導波路素子の
スリットに挿入固定する際に、薄膜フィルタを反らすこ
となく、しかもコアと薄膜フィルタとが垂直になるよう
に効率的に固定できる。
タ固定用ブロックに固定した後、その薄膜フィルタをス
リットに挿入すると共にフィルタ固定用ブロックごと導
波路素子に固定するので、薄膜フィルタを導波路素子の
スリットに挿入固定する際に、薄膜フィルタを反らすこ
となく、しかもコアと薄膜フィルタとが垂直になるよう
に効率的に固定できる。
【図１】本発明のフィルタ付導波路の一実施例の外観斜
視図である。
視図である。
【図２】図１に示したフィルタ付導波路の製造工程を示
す図である。
す図である。
【図３】図１に示したフィルタ付導波路の製造工程を示
す図である。
す図である。
【図４】図１に示したフィルタ付導波路の製造工程を示
す図である。
す図である。
【図５】図１に示したフィルタ付導波路の製造工程を示
す図である。
す図である。
【図６】図３のＡ−Ａ線断面である。
【図７】図３の矢印Ｂ方向の側面図である。
【図８】本発明のフィルタ固定用ブロックの変形例であ
る。
る。
【図９】図１に示したフィルタ付導波路に用いられるフ
ィルタ固定用ブロックの製造方法を示す図である。
ィルタ固定用ブロックの製造方法を示す図である。
【図１０】図１に示したフィルタ付導波路に用いられる
フィルタ固定用ブロックの製造方法を示す図である。
フィルタ固定用ブロックの製造方法を示す図である。
【図１１】図１に示したフィルタ付導波路に用いられる
フィルタ固定用ブロックの製造方法を示す図である。
フィルタ固定用ブロックの製造方法を示す図である。
【図１２】従来のフィルタ付導波路の外観斜視図であ
る。
る。
【図１３】図１２の拡散分解図である。
１ 導波路基板 ２ コア ４ 導波路素子 ５ スリット ６ 薄膜フィルタ １０ フィルタ固定用ブロック
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 上塚 尚登 茨城県日立市日高町５丁目１番１号 日立 電線株式会社オプトロシステム研究所内 (72)発明者 黒沢 正昭 茨城県日立市日高町５丁目１番１号 日立 電線株式会社オプトロシステム研究所内 (72)発明者 岡野 広明 茨城県日立市日高町５丁目１番１号 日立 電線株式会社オプトロシステム研究所内 (72)発明者 竹谷 則明 茨城県日立市日高町５丁目１番１号 日立 電線株式会社オプトロシステム研究所内
Claims (9)
- 【請求項１】 導波路基板上に形成された導波路素子の
コアを横断するスリットに薄膜フィルタを挿入した後固
定するフィルタ付導波路において、スリットに挿入する
薄膜フィルタをフィルタ固定用ブロックに固定した後、
その薄膜フィルタをスリットに挿入すると共にフィルタ
固定用ブロックごと導波路素子に固定することを特徴と
するフィルタ付導波路。 - 【請求項２】 上記フィルタ固定用ブロックは、導波路
基板と同じ材質からなる請求項１記載のフィルタ付導波
路。 - 【請求項３】 上記フィルタ固定用ブロックは、薄膜フ
ィルタを固定するときのずれを防ぐため、薄膜フィルタ
固定面の端部付近に段差が形成されている請求項２記載
のフィルタ付導波路。 - 【請求項４】 上記フィルタ固定用ブロックには、薄膜
フィルタを固定するときに接着剤が溜まる接着剤溜りが
形成されている請求項３記載のフィルタ付導波路。 - 【請求項５】 上記フィルタ固定用ブロックは、薄膜フ
ィルタ先端がフィルタ固定用ブロックと導波路素子との
接続面より導波路素子のスリット深さ分だけ突出するよ
うに、フィルタ固定用ブロックの上部の段差と導波路接
続面までの距離を設定した請求項４記載のフィルタ付導
波路。 - 【請求項６】 上記薄膜フィルタを上記フィルタ固定用
ブロックに固定した後、薄膜フィルタをフィルタ固定用
ブロックの導波路接続面に垂直になるようにした請求項
５記載のフィルタ付導波路。 - 【請求項７】 上記フィルタ固定用ブロックの薄膜フィ
ルタ固定部を平坦にした請求項６記載のフィルタ付導波
路。 - 【請求項８】 上記フィルタ固定用ブロックには、薄膜
フィルタ固定部が複数か所形成されている請求項７記載
のフィルタ付導波路。 - 【請求項９】 導波路基板上に形成された導波路素子の
コアを横断するスリットに薄膜フィルタを固定し、その
薄膜フィルタをスリットに挿入して導波路素子に固定す
るための固定用ブロックの製造方法において、ウエハ基
板上に薄膜フィルタを固定するためのガイドラインをエ
ッチング加工して薄膜フィルタ固定部を形成した後、ウ
エハ基板の表面を横断するようにＶ溝加工して接着剤溜
まり部を形成し、ウエハ基板をダイシングにより切断分
割することを特徴とするフィルタ固定用ブロックの製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7800695A JPH08271742A (ja) | 1995-04-03 | 1995-04-03 | フィルタ付導波路及びフィルタ固定用ブロックの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7800695A JPH08271742A (ja) | 1995-04-03 | 1995-04-03 | フィルタ付導波路及びフィルタ固定用ブロックの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08271742A true JPH08271742A (ja) | 1996-10-18 |
Family
ID=13649709
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7800695A Pending JPH08271742A (ja) | 1995-04-03 | 1995-04-03 | フィルタ付導波路及びフィルタ固定用ブロックの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08271742A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6085000A (en) * | 1997-10-06 | 2000-07-04 | Fujitsu Limited | Wavelength division multiplexing optical device and manufacturing method therefor |
-
1995
- 1995-04-03 JP JP7800695A patent/JPH08271742A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6085000A (en) * | 1997-10-06 | 2000-07-04 | Fujitsu Limited | Wavelength division multiplexing optical device and manufacturing method therefor |
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