JPH08273814A - セラミックヒーター - Google Patents
セラミックヒーターInfo
- Publication number
- JPH08273814A JPH08273814A JP9423395A JP9423395A JPH08273814A JP H08273814 A JPH08273814 A JP H08273814A JP 9423395 A JP9423395 A JP 9423395A JP 9423395 A JP9423395 A JP 9423395A JP H08273814 A JPH08273814 A JP H08273814A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ceramic heater
- rhenium
- heat pattern
- silicon nitride
- green sheet
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- Pending
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- Surface Heating Bodies (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 急速な昇温を可能にすると共に、耐熱衝撃性
を確保しつつ製造コストをも低減化することができるセ
ラミックヒーターを製造するものである。 【構成】 窒化珪素を主成分とする絶縁体グリーンシー
ト（１０）に対してレニウム含有量を１０〜３０ｗｔ％
とするレニウム−タングステン合金粉末を印刷用インキ
に混合して調製される印刷用ペーストをもってヒートパ
ターン（３）を印刷すると共に、更に絶縁体グリーンシ
ート（１１）を積層し一体とした後、適宜成形及び焼成
してセラミックヒーター（１）とすることで、耐熱衝撃
性が向上するので、セラミックヒーター自体の急速な昇
温を可能なものとすることができ、更に高価なレニウム
の使用量を低減しつつ効率よくヒートパターンを作成で
きるため、製造コストをも低減化することができるもの
である。
を確保しつつ製造コストをも低減化することができるセ
ラミックヒーターを製造するものである。 【構成】 窒化珪素を主成分とする絶縁体グリーンシー
ト（１０）に対してレニウム含有量を１０〜３０ｗｔ％
とするレニウム−タングステン合金粉末を印刷用インキ
に混合して調製される印刷用ペーストをもってヒートパ
ターン（３）を印刷すると共に、更に絶縁体グリーンシ
ート（１１）を積層し一体とした後、適宜成形及び焼成
してセラミックヒーター（１）とすることで、耐熱衝撃
性が向上するので、セラミックヒーター自体の急速な昇
温を可能なものとすることができ、更に高価なレニウム
の使用量を低減しつつ効率よくヒートパターンを作成で
きるため、製造コストをも低減化することができるもの
である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、主としてディーゼル
エンジンの低温始動時における燃料の着火、燃焼機器の
着火及び酸素センサーの活性化に使用されるセラミック
ヒーターの構造に関する。
エンジンの低温始動時における燃料の着火、燃焼機器の
着火及び酸素センサーの活性化に使用されるセラミック
ヒーターの構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、主としてディーゼルエンジンの低
温始動時における燃料の着火や燃焼機器の着火及び酸素
センサーの活性化に使用されるセラミックヒーターに
は、レニウム（Ｒｅ）−タングステン（Ｗ）合金線材を
巻回してコイル状とし、このコイル状としたレニウム
（Ｒｅ）−タングステン（Ｗ）合金線材を発熱体として
窒化珪素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）焼結体基体中に内蔵してヒータ
ー素子としてなるものの他、酸化アルミニウム（Ａｌ2
Ｏ3 ）を主成分とする絶縁体シート上にタングステン
（Ｗ）或はモリブデン（Ｍｏ）等の粉末を含むペースト
によりヒートパターンを印刷すると共に棒状に成形した
後、焼成することにより、特に酸素センサー用のセラミ
ックヒーターとしてなるものや、窒化珪素（Ｓｉ3 Ｎ
4 ）を主成分とする絶縁体シート上に、タングステン
（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）、炭化タングステン（Ｗ
Ｃ）等の金属粉末や炭化タングステン（ＷＣ）等の導電
性セラミック粉末によりヒートパターンを印刷すると共
に適宜ヒーターの形状に成形した後、焼成することでセ
ラミックヒーターとしてなるものが一般的に知られてい
る。
温始動時における燃料の着火や燃焼機器の着火及び酸素
センサーの活性化に使用されるセラミックヒーターに
は、レニウム（Ｒｅ）−タングステン（Ｗ）合金線材を
巻回してコイル状とし、このコイル状としたレニウム
（Ｒｅ）−タングステン（Ｗ）合金線材を発熱体として
窒化珪素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）焼結体基体中に内蔵してヒータ
ー素子としてなるものの他、酸化アルミニウム（Ａｌ2
Ｏ3 ）を主成分とする絶縁体シート上にタングステン
（Ｗ）或はモリブデン（Ｍｏ）等の粉末を含むペースト
によりヒートパターンを印刷すると共に棒状に成形した
後、焼成することにより、特に酸素センサー用のセラミ
ックヒーターとしてなるものや、窒化珪素（Ｓｉ3 Ｎ
4 ）を主成分とする絶縁体シート上に、タングステン
（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）、炭化タングステン（Ｗ
Ｃ）等の金属粉末や炭化タングステン（ＷＣ）等の導電
性セラミック粉末によりヒートパターンを印刷すると共
に適宜ヒーターの形状に成形した後、焼成することでセ
ラミックヒーターとしてなるものが一般的に知られてい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来のものにおいて、主としてディーゼルエンジンの低
温始動時における燃料の着火や燃焼機器の着火などに使
用されるセラミックヒーターにおいて、レニウム（Ｒ
ｅ）−タングステン（Ｗ）合金線材を巻回してコイル状
とし、このコイル状としたレニウム（Ｒｅ）−タングス
テン（Ｗ）合金線材からなる発熱体を窒化珪素（Ｓｉ3
Ｎ4 ）基体中に内蔵してヒーター素子としてなるものの
場合、ヒーター素子を構成する窒化珪素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）
基体中に内蔵される発熱体、すなわちコイル状としたレ
ニウム（Ｒｅ）−タングステン（Ｗ）合金線材は、通電
によって発生する自己発熱により極めて高温となるため
ディーゼルエンジンの低温始動時における吸入空気の予
熱あるいは燃料の着火には適するものであるが、窒化珪
素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）基体中でコイル状に内蔵されるレニウ
ム（Ｒｅ）−タングステン（Ｗ）合金線材は著しく高価
であるため、セラミックヒーターの製造コストが著しく
上昇してしまう欠点がある。
従来のものにおいて、主としてディーゼルエンジンの低
温始動時における燃料の着火や燃焼機器の着火などに使
用されるセラミックヒーターにおいて、レニウム（Ｒ
ｅ）−タングステン（Ｗ）合金線材を巻回してコイル状
とし、このコイル状としたレニウム（Ｒｅ）−タングス
テン（Ｗ）合金線材からなる発熱体を窒化珪素（Ｓｉ3
Ｎ4 ）基体中に内蔵してヒーター素子としてなるものの
場合、ヒーター素子を構成する窒化珪素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）
基体中に内蔵される発熱体、すなわちコイル状としたレ
ニウム（Ｒｅ）−タングステン（Ｗ）合金線材は、通電
によって発生する自己発熱により極めて高温となるため
ディーゼルエンジンの低温始動時における吸入空気の予
熱あるいは燃料の着火には適するものであるが、窒化珪
素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）基体中でコイル状に内蔵されるレニウ
ム（Ｒｅ）−タングステン（Ｗ）合金線材は著しく高価
であるため、セラミックヒーターの製造コストが著しく
上昇してしまう欠点がある。
【０００４】更に、酸化アルミニウム（Ａｌ2 Ｏ3 ）を
主成分とする絶縁体シート上にヒートパターンを印刷す
ると共に棒状に成形した後、焼成することにより、特に
酸素センサー用のセラミックヒーターとしてなるものの
場合、発熱体をコイル状としたレニウム（Ｒｅ）−タン
グステン（Ｗ）合金線材からなるものとする代わりに、
タングステン（Ｗ）或はモリブデン（Ｍｏ）等の粉末を
含むペーストにより印刷するヒートパターンを用いるこ
とでセラミックヒーターとしての製造コスト自体は引き
下げることが可能となるが、ヒートパターンが印刷され
る絶縁体シートが酸化アルミニウム（Ａｌ2 Ｏ3 ）を主
成分とするものであるため耐熱衝撃性が低く、セラミッ
クヒーターにおいて急速な昇温を実施するとセラミック
ヒーターを構成する絶縁体シート自体が破損し易く実用
に供することができない。
主成分とする絶縁体シート上にヒートパターンを印刷す
ると共に棒状に成形した後、焼成することにより、特に
酸素センサー用のセラミックヒーターとしてなるものの
場合、発熱体をコイル状としたレニウム（Ｒｅ）−タン
グステン（Ｗ）合金線材からなるものとする代わりに、
タングステン（Ｗ）或はモリブデン（Ｍｏ）等の粉末を
含むペーストにより印刷するヒートパターンを用いるこ
とでセラミックヒーターとしての製造コスト自体は引き
下げることが可能となるが、ヒートパターンが印刷され
る絶縁体シートが酸化アルミニウム（Ａｌ2 Ｏ3 ）を主
成分とするものであるため耐熱衝撃性が低く、セラミッ
クヒーターにおいて急速な昇温を実施するとセラミック
ヒーターを構成する絶縁体シート自体が破損し易く実用
に供することができない。
【０００５】一方、窒化珪素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）を主成分と
する絶縁体シート上において、タングステン（Ｗ）、モ
リブデン（Ｍｏ）、炭化タングステン（ＷＣ）等の金属
粉末や導電性セラミック粉末のペーストによりヒートパ
ターンを印刷すると共に適宜ヒーターの形状に成形した
後、焼成することでセラミックヒーターとしてなるもの
では、ヒートパターンを印刷する絶縁体シートに窒化珪
素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）を使用するものであるため、絶縁体シ
ート自体の耐熱衝撃性は向上するものとなり、急速な昇
温を実施してもセラミックヒーターを構成する絶縁体シ
ート自体の熱衝撃による破損は確実に解消できるものと
なるが、発熱するヒートパターンがタングステン
（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）、炭化タングステン（Ｗ
Ｃ）等の金属粉末や導電性セラミック粉末により形成さ
れたものであるため、比較的固有抵抗が小さく通電によ
る自己発熱の温度が十分に確保できず、ディーゼルエン
ジンの低温始動時における始動性能が低下してしまう問
題がある。
する絶縁体シート上において、タングステン（Ｗ）、モ
リブデン（Ｍｏ）、炭化タングステン（ＷＣ）等の金属
粉末や導電性セラミック粉末のペーストによりヒートパ
ターンを印刷すると共に適宜ヒーターの形状に成形した
後、焼成することでセラミックヒーターとしてなるもの
では、ヒートパターンを印刷する絶縁体シートに窒化珪
素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）を使用するものであるため、絶縁体シ
ート自体の耐熱衝撃性は向上するものとなり、急速な昇
温を実施してもセラミックヒーターを構成する絶縁体シ
ート自体の熱衝撃による破損は確実に解消できるものと
なるが、発熱するヒートパターンがタングステン
（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）、炭化タングステン（Ｗ
Ｃ）等の金属粉末や導電性セラミック粉末により形成さ
れたものであるため、比較的固有抵抗が小さく通電によ
る自己発熱の温度が十分に確保できず、ディーゼルエン
ジンの低温始動時における始動性能が低下してしまう問
題がある。
【０００６】そこで、この発明は上記従来のものの持つ
欠点を改善するものであり、耐熱衝撃性を十分に確保し
つつ、急速な昇温を可能とすると共に、製造に当たって
の製造コストの低減化を達成することができるようにす
るものである。
欠点を改善するものであり、耐熱衝撃性を十分に確保し
つつ、急速な昇温を可能とすると共に、製造に当たって
の製造コストの低減化を達成することができるようにす
るものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】そのために、レニウム−
タングステン合金粉末を印刷用インキと混合することに
より調製される印刷用ペーストをもって、窒化珪素を主
成分とする絶縁体グリーンシート上に、電極取出部と一
体に任意形状及び厚さを有するヒートパターンを印刷す
ると共に、このヒートパターンを印刷した絶縁体グリー
ンシートに対して、該ヒ−トパターンを覆うようにヒー
トパターンを印刷しない窒化珪素を主成分とする絶縁体
グリーンシートを積層し一体にし焼成してなるものであ
る。
タングステン合金粉末を印刷用インキと混合することに
より調製される印刷用ペーストをもって、窒化珪素を主
成分とする絶縁体グリーンシート上に、電極取出部と一
体に任意形状及び厚さを有するヒートパターンを印刷す
ると共に、このヒートパターンを印刷した絶縁体グリー
ンシートに対して、該ヒ−トパターンを覆うようにヒー
トパターンを印刷しない窒化珪素を主成分とする絶縁体
グリーンシートを積層し一体にし焼成してなるものであ
る。
【０００８】
【作用】上記の構成を具えるので、高価であるレニウム
−タングステン合金の使用量を少なくして製造コストを
低減することができると共に、レニウム−タングステン
合金粉末は固有抵抗が大きく、急速な昇温を可能とする
ことができる。
−タングステン合金の使用量を少なくして製造コストを
低減することができると共に、レニウム−タングステン
合金粉末は固有抵抗が大きく、急速な昇温を可能とする
ことができる。
【０００９】更に、レニウム−タングステン合金粉末を
有機バインダーと溶剤からなる印刷用インキと混合する
ことにより調製される印刷用ペーストをもってヒートパ
ターンを印刷する絶縁体シートを窒化珪素を主成分とす
るため、耐熱衝撃性が向上するため、レニウム−タング
ステン合金粉末によるヒートパターンの急速な昇温に対
しても破損することなく十分に対応することができる。
有機バインダーと溶剤からなる印刷用インキと混合する
ことにより調製される印刷用ペーストをもってヒートパ
ターンを印刷する絶縁体シートを窒化珪素を主成分とす
るため、耐熱衝撃性が向上するため、レニウム−タング
ステン合金粉末によるヒートパターンの急速な昇温に対
しても破損することなく十分に対応することができる。
【００１０】
【実施例】この発明を図に示す実施例により更に説明す
る。（１）は、この発明の実施例である板状のセラミッ
クヒーターであり、この板状のセラミックヒーター
（１）は、内部にレニウム−タングステン合金粉末によ
るヒートパターン（３）を内蔵する窒化珪素を主成分と
するセラミックヒーター本体（２）と、このセラミック
ヒーター本体（２）内に内蔵されるレニウム−タングス
テン合金粉末によるヒートパターン（３）より、セラミ
ックヒーター本体（２）の表面に導出される正、負の電
極取出部（４）（５）に対して電気的導通を図るべく各
々リード線（８）（９）に接続する電極板（６）（７）
から構成されるものである。
る。（１）は、この発明の実施例である板状のセラミッ
クヒーターであり、この板状のセラミックヒーター
（１）は、内部にレニウム−タングステン合金粉末によ
るヒートパターン（３）を内蔵する窒化珪素を主成分と
するセラミックヒーター本体（２）と、このセラミック
ヒーター本体（２）内に内蔵されるレニウム−タングス
テン合金粉末によるヒートパターン（３）より、セラミ
ックヒーター本体（２）の表面に導出される正、負の電
極取出部（４）（５）に対して電気的導通を図るべく各
々リード線（８）（９）に接続する電極板（６）（７）
から構成されるものである。
【００１１】そして、上記内部にレニウム（Ｒｅ）−タ
ングステン（Ｗ）合金粉末によるヒートパターン（３）
を内蔵する窒化珪素を主成分とするセラミックヒーター
本体（２）は、レニウム（Ｒｅ）含有量を１０〜３０ｗ
ｔ％とするレニウム−タングステン合金粉末を有機バイ
ンダー（例えばポリビニールブチラール、ＥＶＡ、アク
リル樹脂など）と溶剤（例えば、エチルアルコール、ト
ルエンなど）を加えてなる印刷用インキと混合すること
により調製される印刷用ペーストを、窒化珪素（Ｓｉ3
Ｎ4 ）を主成分とする絶縁体グリーンシート（１０）表
面に、正、負の電極取出部（４）（５）と一体に任意形
状及び厚さを有するヒートパターン（３’）を印刷する
と共に、このヒートパターン（３’）を印刷する窒化珪
素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）を主成分とする絶縁体グリーンシート
（１０）に対して、該ヒ−トパターンを覆うようにヒー
トパターン（３）を印刷しない窒化珪素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）
を主成分とする絶縁体グリーンシート（１１）を積層し
一体にした上で、板状に成形し、ホットプレスにて焼成
してなるものである。なお、このセラミックヒーター
（１）の成形に当たっては、上述する板状の他に、使用
用途、目的又は場所に応じて上記積層したプレス成形体
を円筒状或は巻回状などに成形した後焼成することも考
えられる。
ングステン（Ｗ）合金粉末によるヒートパターン（３）
を内蔵する窒化珪素を主成分とするセラミックヒーター
本体（２）は、レニウム（Ｒｅ）含有量を１０〜３０ｗ
ｔ％とするレニウム−タングステン合金粉末を有機バイ
ンダー（例えばポリビニールブチラール、ＥＶＡ、アク
リル樹脂など）と溶剤（例えば、エチルアルコール、ト
ルエンなど）を加えてなる印刷用インキと混合すること
により調製される印刷用ペーストを、窒化珪素（Ｓｉ3
Ｎ4 ）を主成分とする絶縁体グリーンシート（１０）表
面に、正、負の電極取出部（４）（５）と一体に任意形
状及び厚さを有するヒートパターン（３’）を印刷する
と共に、このヒートパターン（３’）を印刷する窒化珪
素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）を主成分とする絶縁体グリーンシート
（１０）に対して、該ヒ−トパターンを覆うようにヒー
トパターン（３）を印刷しない窒化珪素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）
を主成分とする絶縁体グリーンシート（１１）を積層し
一体にした上で、板状に成形し、ホットプレスにて焼成
してなるものである。なお、このセラミックヒーター
（１）の成形に当たっては、上述する板状の他に、使用
用途、目的又は場所に応じて上記積層したプレス成形体
を円筒状或は巻回状などに成形した後焼成することも考
えられる。
【００１２】この発明の実施例であるセラミックヒータ
ー（１）は、以上の構成を具えるので、実際にリード線
（８）（９）を介して正、負の電極取出部（６）（７）
を通じて、この電極取出部（６）（７）と一体となるセ
ラミックヒーター本体（２）内に内蔵されるヒートパタ
ーン（３）に対して通電を行うと、この通電により自己
発熱を行うヒートパターン（３）が、レニウム（Ｒｅ）
含有量を１０〜３０ｗｔ％とするレニウム（Ｒｅ）−タ
ングステン（Ｗ）合金粉末を印刷用インキと混合するこ
とにより調製される印刷用ペーストをもって、窒化珪素
（Ｓｉ3 Ｎ4 ）を主成分とする絶縁体グリーンシート
（１０）に印刷されたものであるので、膨張係数がＳｉ
3 Ｎ4 シートに近似し、ディーゼルエンジン等の低温始
動時における予熱等のために、断線することなく急速な
昇温を可能にすると共に、高価であるレニウム（Ｒｅ）
−タングステン（Ｗ）合金のヒートパターン（３）にお
ける使用量を少なくして、効率よくヒートパターン
（３）を作成することができるものとなるため、セラミ
ックヒーター（１）自体の製造コストを低減することが
できるものとなる。
ー（１）は、以上の構成を具えるので、実際にリード線
（８）（９）を介して正、負の電極取出部（６）（７）
を通じて、この電極取出部（６）（７）と一体となるセ
ラミックヒーター本体（２）内に内蔵されるヒートパタ
ーン（３）に対して通電を行うと、この通電により自己
発熱を行うヒートパターン（３）が、レニウム（Ｒｅ）
含有量を１０〜３０ｗｔ％とするレニウム（Ｒｅ）−タ
ングステン（Ｗ）合金粉末を印刷用インキと混合するこ
とにより調製される印刷用ペーストをもって、窒化珪素
（Ｓｉ3 Ｎ4 ）を主成分とする絶縁体グリーンシート
（１０）に印刷されたものであるので、膨張係数がＳｉ
3 Ｎ4 シートに近似し、ディーゼルエンジン等の低温始
動時における予熱等のために、断線することなく急速な
昇温を可能にすると共に、高価であるレニウム（Ｒｅ）
−タングステン（Ｗ）合金のヒートパターン（３）にお
ける使用量を少なくして、効率よくヒートパターン
（３）を作成することができるものとなるため、セラミ
ックヒーター（１）自体の製造コストを低減することが
できるものとなる。
【００１３】更に、セラミックヒーター本体（２）内に
おいて内蔵されるヒートパターン（３）を、レニウム
（Ｒｅ）−タングステン（Ｗ）合金粉末を印刷用インキ
と混合することにより調製される印刷用ペーストをもっ
て印刷する絶縁体シート（１０）を窒化珪素（Ｓｉ3 Ｎ
4 ）を主成分とすることにより、焼成してセラミックヒ
ーター（１）とした後は、セラミックヒーター本体
（２）の耐熱衝撃性が向上するため、レニウム−タング
ステン合金粉末からなるヒートパターン（３）による急
速な昇温に対しても破損することなく十分に対応するこ
とができるものとなる。
おいて内蔵されるヒートパターン（３）を、レニウム
（Ｒｅ）−タングステン（Ｗ）合金粉末を印刷用インキ
と混合することにより調製される印刷用ペーストをもっ
て印刷する絶縁体シート（１０）を窒化珪素（Ｓｉ3 Ｎ
4 ）を主成分とすることにより、焼成してセラミックヒ
ーター（１）とした後は、セラミックヒーター本体
（２）の耐熱衝撃性が向上するため、レニウム−タング
ステン合金粉末からなるヒートパターン（３）による急
速な昇温に対しても破損することなく十分に対応するこ
とができるものとなる。
【００１４】また、レニウムータングステン合金粉末は
レニウム含有量が多い程固有抵抗が大きく発熱特性の面
から好ましいが、３０ｗｔ％より多くなると膨張係数も
大きくなり絶縁体シ−トにクラックが生ずるおそれがあ
るため、レニウム含有量は１０〜３０ｗｔ％合金が好ま
しい。更に印刷用ペーストには膨張係数及び固有抵抗の
調整及び絶縁体シ−トとヒ−トパターンとの密着性を強
めるためとしてＳｉ3Ｎ4 粉末を少量混入しても良い。
レニウム含有量が多い程固有抵抗が大きく発熱特性の面
から好ましいが、３０ｗｔ％より多くなると膨張係数も
大きくなり絶縁体シ−トにクラックが生ずるおそれがあ
るため、レニウム含有量は１０〜３０ｗｔ％合金が好ま
しい。更に印刷用ペーストには膨張係数及び固有抵抗の
調整及び絶縁体シ−トとヒ−トパターンとの密着性を強
めるためとしてＳｉ3Ｎ4 粉末を少量混入しても良い。
【００１５】
【発明の効果】以上のとおり、レニウム（Ｒｅ）−タン
グステン（Ｗ）合金粉末を有機バインダと溶剤からなる
印刷用インキと混合することにより調製される印刷用ペ
ーストをもって、窒化珪素を主成分とする絶縁体グリー
ンシート上にヒートパターンを印刷し、更に窒化珪素を
主成分とする絶縁体グリーンシートを積層して一体とし
た上で焼成することによりセラミックヒーターとするこ
とにより、高価であるレニウム（Ｒｅ）の使用量を抑制
しつつ効率よくヒートパターンを形成して製造コストを
低減化することができると共に、耐熱衝撃性を向上させ
て急速な昇温に伴う破損を防止することができる優れた
効果を有するものである。
グステン（Ｗ）合金粉末を有機バインダと溶剤からなる
印刷用インキと混合することにより調製される印刷用ペ
ーストをもって、窒化珪素を主成分とする絶縁体グリー
ンシート上にヒートパターンを印刷し、更に窒化珪素を
主成分とする絶縁体グリーンシートを積層して一体とし
た上で焼成することによりセラミックヒーターとするこ
とにより、高価であるレニウム（Ｒｅ）の使用量を抑制
しつつ効率よくヒートパターンを形成して製造コストを
低減化することができると共に、耐熱衝撃性を向上させ
て急速な昇温に伴う破損を防止することができる優れた
効果を有するものである。
【図１】この発明の実施例である板状のセラミックヒー
ターの拡大斜視図である。
ターの拡大斜視図である。
【図２】この発明の実施例である板状のセラミックヒー
ターの要部拡大断面図である。
ターの要部拡大断面図である。
【図３】焼成前のセラミックヒーター本体の要部拡大分
解斜視図である。
解斜視図である。
１ セラミックヒーター ２ セラミックヒーター本体 ３ ヒートパターン ３’（焼成前の）ヒートパターン ４ 電極取出部 ５ 電極取出部 ６ 電極板 ７ 電極板 ８ リード線 ９ リード線 １０ 絶縁体グリーンシート １１ 絶縁体グリーンシート
Claims (2)
- 【請求項１】 レニウム−タングステン合金粉末を印刷
用インキと混合することにより調製される印刷用ペース
トをもって、窒化珪素を主成分とする絶縁体グリーンシ
ート上に、電極取出部と一体に任意形状及び厚さを有す
るヒートパターンを印刷すると共に、このヒートパター
ンを印刷した絶縁体グリーンシートに対して該ヒ−トパ
ターンを覆うようにヒートパターンを印刷しない窒化珪
素を主成分とする絶縁体グリーンシートを積層し一体に
し、焼成したことを特徴とするセラミックヒーター。 - 【請求項２】 前記レニウム−タングステン合金粉末
は、レニウム含有量を１０〜３０ｗｔ％とした請求項１
記載のセラミックヒーター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9423395A JPH08273814A (ja) | 1995-03-29 | 1995-03-29 | セラミックヒーター |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9423395A JPH08273814A (ja) | 1995-03-29 | 1995-03-29 | セラミックヒーター |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08273814A true JPH08273814A (ja) | 1996-10-18 |
Family
ID=14104596
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9423395A Pending JPH08273814A (ja) | 1995-03-29 | 1995-03-29 | セラミックヒーター |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08273814A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000076273A1 (fr) * | 1999-06-09 | 2000-12-14 | Ibiden Co., Ltd. | Corps de chauffe en ceramique et procede de fabrication, et pate conductrice pour element chauffant |
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