JPH0827400B2 - 疑似白色ｘ線源 - Google Patents
疑似白色ｘ線源Info
- Publication number
- JPH0827400B2 JPH0827400B2 JP17239487A JP17239487A JPH0827400B2 JP H0827400 B2 JPH0827400 B2 JP H0827400B2 JP 17239487 A JP17239487 A JP 17239487A JP 17239487 A JP17239487 A JP 17239487A JP H0827400 B2 JPH0827400 B2 JP H0827400B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- target
- ray source
- ray
- rays
- white
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- X-Ray Techniques (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この発明は様々な波長のＸ線を発生させることができ
る疑似白色Ｘ線源に関する。
る疑似白色Ｘ線源に関する。
「従来の技術」 従来のＸ線源は第３図に示すように、電子銃11より放
射された電子線12をターゲット13に入射させ、そのター
ゲット13の物質に特有の波長の特性Ｘ線14を放出させる
ものである。なおターゲット13は匣体15に保持され、匣
体15内にターゲット13を冷却する冷却用媒質16が通過さ
れている。
射された電子線12をターゲット13に入射させ、そのター
ゲット13の物質に特有の波長の特性Ｘ線14を放出させる
ものである。なおターゲット13は匣体15に保持され、匣
体15内にターゲット13を冷却する冷却用媒質16が通過さ
れている。
この第３図に示したＸ線源のＸ線は特性Ｘ線であるた
め、本質的には単波長である。特性Ｘ線は一つの元素で
数種類の波長のものがあり、従っていくつかの元素の入
った物質をターゲットとして用いれば多波長のＸ線源と
なる。しかし多くの物質を均質に固めたターゲットを作
ることは困難であり、沢山の波長の特性Ｘ線を放出させ
ることは困難である。
め、本質的には単波長である。特性Ｘ線は一つの元素で
数種類の波長のものがあり、従っていくつかの元素の入
った物質をターゲットとして用いれば多波長のＸ線源と
なる。しかし多くの物質を均質に固めたターゲットを作
ることは困難であり、沢山の波長の特性Ｘ線を放出させ
ることは困難である。
白色的な連続Ｘ線を出すＸ線源としてはプラズマＸ線
源、シンクロトロン軌道放射などがあるが、これらはい
ずれも装置が大がかりで高価である。
源、シンクロトロン軌道放射などがあるが、これらはい
ずれも装置が大がかりで高価である。
この発明の目的はＸ線光学素子の評価やＸ線リソグラ
フィなどで必要となる白色Ｘ線を比較的簡便に疑似的に
作り出すことができる疑似白色Ｘ線源を提供することに
ある。
フィなどで必要となる白色Ｘ線を比較的簡便に疑似的に
作り出すことができる疑似白色Ｘ線源を提供することに
ある。
「問題点を解決するための手段」 この発明によれば回転板の一面にその回転中心を中心
とする同一円上に複数の異なる物質が順次配列されてタ
ーゲットとされる。そのターゲットに対し電子銃より電
子線を入射させる。
とする同一円上に複数の異なる物質が順次配列されてタ
ーゲットとされる。そのターゲットに対し電子銃より電
子線を入射させる。
回転板の回転につれ、電子線はターゲット上の異なる
物質に順次入射され、従って順次異なる波長の特性Ｘ線
が放出される。異なる物質の数を多くすることにより多
数の波長のＸ線を放出させることができる。各物質に多
数の元素を含有するものを用い、又は複数の物質の混合
物を使用することによって多数の波長のＸ線を放出させ
ることができる。
物質に順次入射され、従って順次異なる波長の特性Ｘ線
が放出される。異なる物質の数を多くすることにより多
数の波長のＸ線を放出させることができる。各物質に多
数の元素を含有するものを用い、又は複数の物質の混合
物を使用することによって多数の波長のＸ線を放出させ
ることができる。
「実施例」 第１図及び第２図にこの発明の実施例を示す。円形回
転板21は軸22上に取付けられ、軸22は回転駆動機構23に
より回転される。回転板21の一面に、軸22を中心とする
リング状凹部24が形成され、凹部24内に少しずつ波長の
違った特性Ｘ線を出す物質25a,25b…25hが扇状に加工さ
れて順次埋込まれてターゲット25が構成される。ターゲ
ット25の内周縁部が円形抑え27により、外周縁部がリン
グ状抑え28によりそれぞれ回転板21に抑え保持される。
ねじ27はこれら抑え25,26を回転板21に固定するための
ものである。
転板21は軸22上に取付けられ、軸22は回転駆動機構23に
より回転される。回転板21の一面に、軸22を中心とする
リング状凹部24が形成され、凹部24内に少しずつ波長の
違った特性Ｘ線を出す物質25a,25b…25hが扇状に加工さ
れて順次埋込まれてターゲット25が構成される。ターゲ
ット25の内周縁部が円形抑え27により、外周縁部がリン
グ状抑え28によりそれぞれ回転板21に抑え保持される。
ねじ27はこれら抑え25,26を回転板21に固定するための
ものである。
電子銃28から放射された電子線29はターゲット25に入
射させられる。ターゲット25の電子線29が入射される位
置と対向して回転板21の他面に冷却媒質31が押し付けら
れ、ターゲット25の発熱が抑えられている。
射させられる。ターゲット25の電子線29が入射される位
置と対向して回転板21の他面に冷却媒質31が押し付けら
れ、ターゲット25の発熱が抑えられている。
回転板21を回転させながら電子銃28よりの電子線29を
ターゲット25に入射させると、ターゲット25から特性Ｘ
線32が放射される。回転板21の回転につれ、電子線29が
入射されるターゲット25の部分は順次異なる物質25a,25
b,…25hとなるため、順次異なる波長の特性Ｘ線が放射
される。
ターゲット25に入射させると、ターゲット25から特性Ｘ
線32が放射される。回転板21の回転につれ、電子線29が
入射されるターゲット25の部分は順次異なる物質25a,25
b,…25hとなるため、順次異なる波長の特性Ｘ線が放射
される。
例えば物質25aを塩化ナトリウム、25bをマグネシウ
ム、25cをアルミニウム、25dをシリコン、25eをリン、2
5fを硫黄、25gを塩化カリウム、25hをカルシウムとする
と、これらから放出されるＫα系のＸ線は物質25aから
は1.1nm,及び0.47nm,25bからは0.99nm,25cからは0.83n
m,25dからは0.71nm,25eからは0.62nm,25fからは0.53nm,
25gからは0.37nm及び0.47nm,25hからは0.33nmの各波長
のものとなる。実際にはＬ系、Ｍ系などのＸ線も放出さ
れるが、簡単のためＫα系だけを考えると等間隔ではな
いが、0.3nm〜1.1nmの波長領域のＸ線を出すことができ
る。よって回転板21を高速に回転することにより疑似的
にほぼ連続に近い白色Ｘ線が得られる。
ム、25cをアルミニウム、25dをシリコン、25eをリン、2
5fを硫黄、25gを塩化カリウム、25hをカルシウムとする
と、これらから放出されるＫα系のＸ線は物質25aから
は1.1nm,及び0.47nm,25bからは0.99nm,25cからは0.83n
m,25dからは0.71nm,25eからは0.62nm,25fからは0.53nm,
25gからは0.37nm及び0.47nm,25hからは0.33nmの各波長
のものとなる。実際にはＬ系、Ｍ系などのＸ線も放出さ
れるが、簡単のためＫα系だけを考えると等間隔ではな
いが、0.3nm〜1.1nmの波長領域のＸ線を出すことができ
る。よって回転板21を高速に回転することにより疑似的
にほぼ連続に近い白色Ｘ線が得られる。
「発明の効果」 従来、白色Ｘ線源を得るにはシンクロトロン放射やレ
ーザプラズマなどを利用せねばならず、これらの装置は
非常に大がかりであり、しかも高価である。しかしこの
発明の疑似白色Ｘ線源によれば小形で、比較的安価に作
ることができ、また回転板21が回転しているため電子線
29が入射される個所がターゲット25上を等価的に移動す
ることになり、一個所だけ温度が上昇するのを防ぐこと
ができ、それだけ冷却機構を簡略にすることができる。
ーザプラズマなどを利用せねばならず、これらの装置は
非常に大がかりであり、しかも高価である。しかしこの
発明の疑似白色Ｘ線源によれば小形で、比較的安価に作
ることができ、また回転板21が回転しているため電子線
29が入射される個所がターゲット25上を等価的に移動す
ることになり、一個所だけ温度が上昇するのを防ぐこと
ができ、それだけ冷却機構を簡略にすることができる。
例えば最近Ｘ線リソグラフィ、Ｘ線顕微鏡などで多層
膜構造のＸ線光学素子が開発されているが多層膜構造の
ため、波長依存性があり、例えば反射率の波長依存性な
どを測定することが、Ｘ線光学素子の重要な評価の一つ
となる。従来はこのような評価を行うため、白色Ｘ線源
を備えた所まで、その作成したＸ線光学素子を持って行
わねばならなかったが、この発明のＸ線源によれば小形
であるため、蒸着装置などの多層膜作成装置中に組込む
ことができ、作成すると直ちに、あるいは作成中にＸ線
光学素子を評価することができる。連続光源ではないた
め、正確ではないが、非常に簡便に使用することができ
る。
膜構造のＸ線光学素子が開発されているが多層膜構造の
ため、波長依存性があり、例えば反射率の波長依存性な
どを測定することが、Ｘ線光学素子の重要な評価の一つ
となる。従来はこのような評価を行うため、白色Ｘ線源
を備えた所まで、その作成したＸ線光学素子を持って行
わねばならなかったが、この発明のＸ線源によれば小形
であるため、蒸着装置などの多層膜作成装置中に組込む
ことができ、作成すると直ちに、あるいは作成中にＸ線
光学素子を評価することができる。連続光源ではないた
め、正確ではないが、非常に簡便に使用することができ
る。
第１図はこの発明による疑似白色Ｘ線源の一例を示す一
部断面とした側面図、第２図はその回転板21の正面図、
第３図は従来のＸ線源を示す断面図である。
部断面とした側面図、第２図はその回転板21の正面図、
第３図は従来のＸ線源を示す断面図である。
Claims (1)
- 【請求項１】回転板と、 その回転板の一面においてその回転中心を中心とする同
一円上に複数の異なる物質が順次配列されたターゲット
と、 そのターゲットに電子線を入射させる電子銃とを備えた
疑似白色Ｘ線源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17239487A JPH0827400B2 (ja) | 1987-07-10 | 1987-07-10 | 疑似白色ｘ線源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17239487A JPH0827400B2 (ja) | 1987-07-10 | 1987-07-10 | 疑似白色ｘ線源 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6417000A JPS6417000A (en) | 1989-01-20 |
| JPH0827400B2 true JPH0827400B2 (ja) | 1996-03-21 |
Family
ID=15941120
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17239487A Expired - Lifetime JPH0827400B2 (ja) | 1987-07-10 | 1987-07-10 | 疑似白色ｘ線源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0827400B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2517671A (en) * | 2013-03-15 | 2015-03-04 | Nikon Metrology Nv | X-ray source, high-voltage generator, electron beam gun, rotary target assembly, rotary target and rotary vacuum seal |
-
1987
- 1987-07-10 JP JP17239487A patent/JPH0827400B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6417000A (en) | 1989-01-20 |
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