JPH08274691A - Ｒｆ信号自動試験装置のアーキテクチャ - Google Patents

Ｒｆ信号自動試験装置のアーキテクチャ

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JPH08274691A
JPH08274691A JP28758495A JP28758495A JPH08274691A JP H08274691 A JPH08274691 A JP H08274691A JP 28758495 A JP28758495 A JP 28758495A JP 28758495 A JP28758495 A JP 28758495A JP H08274691 A JPH08274691 A JP H08274691A
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    • G01R27/28—Measuring attenuation, gain, phase shift or derived characteristics of electric four pole networks, i.e. two-port networks; Measuring transient response
    • G01R27/32—Measuring attenuation, gain, phase shift or derived characteristics of electric four pole networks, i.e. two-port networks; Measuring transient response in circuits having distributed constants, e.g. having very long conductors or involving high frequencies

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ＲＦ信号自動試験装置のためのアーキテクチ
ャを提供すること。 【解決手段】 本発明によるモジュール（２００）は、
１つの受信機が、１つの試験位置からの入力信号と出力
信号との両方を測定できるようにする、指向性素子（２
２０）を含む。更に、モジュール（２００）によって、
複数の入力信号が、相互変調試験のために組み合わされ
る。モジュール（２００）の複数のコピーを用いて、Ｒ
Ｆテスタにおける複数のチャネル（２１０ａ、２１０
ｂ）が構成される。少なくとも１つのＲＦ源と少なくと
も１つのＲＦ受信機を各チャネルに接続できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は、広くは自動試験装
置に関し、更に詳しくは、被試験デバイスに高周波信号
を印加するアーキテクチャに関する。
【０００２】
【従来技術】自動試験装置（一般的には、テスタ）は、
半導体デバイスの製造において用いられる。純粋にデジ
タル的なデバイスは、デジタル信号を駆動（ドライブ）
し受信するテスタを用いて試験するのが通常である。デ
ジタル信号だけではなくアナログ信号も処理する半導体
デバイスは、アナログ及びデジタル信号を生じ受信し得
るテスタを用いて試験されなければならない。これらの
信号は、混合（ｍｉｘｅｄ）信号テスタと呼ばれる。
【０００３】図１は、典型的な従来技術による混合信号
テスタ１００のアーキテクチャを示す。テスタのメイン
フレーム１０２が、試験を制御し、試験信号を発生し応
答を分析して、試験中のエラーを識別する。
【０００４】テスタのメインフレーム１０２は、テスト
・ヘッド１０４を介して、被試験デバイス（ＤＵＴ）１
０６に接続される。自動試験の１つの目的は、製造作業
の間のできるだけ早い段階で、欠陥のある素子を識別す
ることであるから、素子は、まだ半導体ウエハの上にあ
る間に試験される。よって、ＤＵＴ１０６は、非常に小
さく、通常は、１平方インチの何分の１程度である。
【０００５】テスト・ヘッド１０４は、ＤＵＴ１０６を
試験するのに必要な種々の試験信号をこの小さな面積に
導く。テスト・ヘッド１０４は、また、ＤＵＴ１０６に
近接し信号を適切に印加しなければならない電子回路を
含む。
【０００６】テスタ１００は、テスタのメインフレーム
１０２の内部にある制御電子装置１０８によって制御さ
れる。制御電子装置１０８は、高速コンピュータであ
り、テスタ１００が種々の半導体デバイスの上で多くの
試験を実行できるようにプログラムされ得るメモリ（図
示せず）を含む。
【０００７】制御電子装置１０８は、１又は複数のバス
１１０を介してテスタのサブシステムに接続される。テ
スタ１００は、ＲＦ信号を処理するサブシステムを含
む。ＲＦ信号とは、約１０ＭＨｚから約６ＧＨｚまでの
範囲内の周波数を有する信号と、大まかに定義される。
テスタ１００は、また、時にはベースバンド信号と呼ば
れるより低い周波数の交流信号を処理するサブシステム
も含む。テスタ１００は、また、直流信号を処理するサ
ブシステムと、デジタル信号を処理する別のサブシステ
ムとを含む。
【０００８】ＲＦサブシステムは、複数のＲＦ源及び受
信機１１２から成る。各ＲＦ源は、試験信号を、制御電
子装置１０８によって特定された周波数とレベルとで発
生するようにプログラムされ得る。ＲＦ源のいくつか又
はすべては、信号経路１３６を通して、低周波のサブシ
ステムからのベースバンド信号を受信する。このベース
バンド信号を用いて、ＲＦ源によって生じるＲＦ信号が
変調される。
【０００９】それぞれのＲＦ受信機は、ある範囲の周波
数に亘る受信された信号のパワーを測定する。パワー・
レベルや周波数範囲などの、ＲＦ源と受信機との動作パ
ラメータは、制御電子装置１０８によって制御され得
る。受信機のいくつか又はすべてが、ＲＦ信号をダウン
コンバートして、低周波のサブシステムに送られるベー
スバンド信号にすることができる。
【００１０】時には、ＲＦ源と受信機とのこの組み合わ
せが、ＤＵＴ１０６の種々のパラメータを決定するのに
要求されるＲＦ測定をＤＵＴ１０６上で行うのに、十分
でないことがある。そのような場合には、専用装置１２
０が、ＲＦサブシステムに付加される。それぞれの専用
装置１２０は、一般的に、ベクトル・ネットワーク分析
などの、１つの機能を実行する。より最近では、２つの
機能を実行する専用装置も、いくつかが入手可能になっ
ている。これらの専用装置は、ＶＸＩ又はｇｐｉｂなど
の標準的な制御インターフェースを有することが多く、
テスタ１００への組み込みは容易である。
【００１１】低周波（ベースバンド）のサブシステム
は、低周波のアナログ源及び受信機１１４で構成され
る。これらのデバイスは、デジタル信号処理技術を用い
て実現されている。典型的なシステムは、２００ＭＨｚ
で動作し、ほとんど任意の形状の波形を生じさせ、ま
た、分析することが可能である。
【００１２】直流のサブシステムは、直流源及びメータ
１１６で構成される。これらのデバイスは、直流バイア
ス条件を生じさせたり、測定したりできる。
【００１３】デジタル・サブシステムは、デジタル信号
を発生・受信し、デジタル・ドライバ及び受信機１１８
で構成される。
【００１４】ＲＦ源及び受信機１１２と、低周波源及び
受信機１１４と、直流源及び受信機１１６と、デジタル
源及び受信機１１８と、専用装置１２０とは、すべて
が、テスト・ヘッド１０４に接続される。多くの場合
に、テスト・ヘッド１０４は、分散型の電子装置１２２
を含むが、これは、精度を向上させる目的やその他の理
由でＤＵＴ１０６に近接して配置されなければならな
い、ＲＦ、低周波、直流、及びデジタルの各サブシステ
ムにおける源（ソース）又は受信機の一部を表す。
【００１５】ＲＦ源及び受信機１１２と専用装置とへの
接続は、ＲＦスイッチング回路１３４を介してなされ
る。ＤＵＴ１０６を完全に試験するには、複数の試験を
行うことが必要である。ＲＦサブシステムは、各試験に
対して、異なって構成されなければならない。構成は、
ケーブルを移動させ、ＲＦスイッチング回路１３４の内
部のスイッチを開閉することによって、構築される。こ
れらのスイッチは、制御電子装置１０８の制御の下で、
動作する。これらのスイッチは、典型的には、市販のマ
イクロ波スイッチを用いて、実現される。これらのスイ
ッチを構成することによって、ＤＵＴ１０６の１つのリ
ード線を試験するのに用いられるそれぞれの源又は受信
機が、そのリード線に接続され得る。
【００１６】低周波源及び受信機１１４、直流源及び受
信機１１６、及びデジタル源及び受信機１１８によって
発生される信号は、相互接続回路１３２を介して、ＤＵ
Ｔ１０６のリード線に至る。必要な場合には、相互接続
回路１３２は、適切な接続を行うスイッチを含む。
【００１７】相互接続回路１３２は、信号経路１３８を
介して、ＲＦスイッチング回路に接続される。信号経路
１３８によって、直流バイアス条件が、ＲＦサブシステ
ムの中に導入される、又はその中で測定されることが可
能になる。
【００１８】ＤＵＴ１０６を試験するために、制御電子
装置１０８は、プログラムを実行する。このプログラム
は、テスタ１００に、装置１１２、１１４、１１６、１
１８、１２０に対する設定と、ＲＦスイッチング回路１
３４と相互接続回路１３２とにおけるスイッチの設定と
を特定することによって、第１の測定を行わせる。測定
が行われ、制御電子装置１０８に戻る。次に、テスタ１
００が再び構成されて、次の測定を行う。このプロセス
は、すべての必要な測定が行われるまで反復される。
【００１９】ＲＦ回路を含むＤＵＴを試験するには、ｓ
パラメータ、グループ遅延、位相、ノイズ・フィギュア
（雑音指数）、負荷プリング（ｐｕｌｌｉｎｇ）、相互
変調歪み、インターセプト・ポイント、１ｄＢ圧縮ポイ
ント、位相ノイズなどの多くのパラメータが測定され
る。
【００２０】図１に示されているＲＦパラメータを測定
するテスタのためのアーキテクチャは、各装置をＤＵＴ
１０６にマニュアルで接続するよりは望ましいのだが、
複数の短所を有する。カスタムのＲＦスイッチング１３
４は、いくつかの理由で望ましくない。第１に、特定の
半導体デバイスを試験するのに用いられる装置は、用い
られるデバイスのタイプに依存する。結果的に、ＲＦス
イッチング回路１３４は、試験されるデバイスのそれぞ
れのタイプに応じて、カスタムメードされなければなら
ない。カスタムメードのハードウェアとそれを制御する
のに必要になるソフトウェアとに付随するコストは相当
なものである。
【００２１】第２に、カスタムの較正ルーチンが、ＲＦ
装置１１２、１２０のために書かれなければならない。
ＲＦ試験装置は、通常は、ソフトウェア較正ルーチンを
含む。これらのルーチンは、しかし、ＤＵＴがその装置
に直接に接続される試験においてだけ、その装置を較正
する。その装置とＤＵＴ１０６との間にスイッチング回
路がある場合には、別の較正ルーチンが書かれなければ
ならない。このスイッチング回路は試験されるデバイス
の各タイプに対してカスタムで作成されているので、較
正ルーチンもまた、カスタムで、試験されるデバイスの
タイプに応じて書かれなければならない。
【００２２】第３の短所は、ＲＦスイッチング回路１３
４が多くのマイクロ波スイッチから構成されていること
である。これらのスイッチは、一般的に大型であり、Ｄ
ＵＴ１０６に接近させて配置することが困難である。結
果的に、分散型の電子装置１２２を、望ましい位置より
もはるかに離れた位置に、ＤＵＴ１０６から離間させて
置かなければならない。更に、マイクロ波スイッチは、
動作が遅く、そのために、１回の製造シフトにおいて試
験できるデバイスの数が減少する。更に、マイクロ波ス
イッチは、高価であり、信頼性が低い。数百回程度の動
作の後で、故障したり、性能が低下したりする傾向があ
る。
【００２３】図１のアーキテクチャに伴う更なる短所
は、専用装置１２０のコストである。ＲＦ源及び受信機
１１２を用いて更に多くの測定を行えることが望まれ
る。
【００２４】
【発明が解決しようとする課題】以上の点に鑑みて、本
発明の目的は、ＲＦ源及び受信機を、多くのＲＦパラメ
ータの測定を可能にする構成における試験位置に接続さ
せ得るモジュールを提供することである。
【００２５】また、本発明の更なる目的は、ＲＦ装置を
試験位置に接続するためにテスタにおいて必要とされる
マイクロ波スイッチ、カスタム回路、及びカスタム配線
の数を減少させることである。
【００２６】また、本発明の更なる目的は、ＲＦ回路を
含むデバイスを完全に試験するのに必要な専用装置の数
を減少させることである。
【００２７】
【課題を解決するために手段】以上の及びそれ以外の目
的は、ＲＦ源に接続された第１の入力と、第２のＲＦ源
の接続を可能にする第２の入力とを有するモジュールに
よって達成される。このモジュールは、また、ＲＦ源か
らの信号経路において接続された指向性（方向性）素子
を含む。この指向性素子の２つのポートは、スイッチを
介して受信機に接続され、それによって、順方向の及び
逆方向の信号の測定が可能になる。この指向性素子の別
のポートは、バイアスＴ回路を介して、試験位置に接続
され、これにより、直流バイアス条件の導入と測定とが
可能になる。
【００２８】本発明のある実施例では、複数のモジュー
ルが、複数のＲＦチャネルを含む混合信号テスタにおい
て用いられる。各チャネル又は少数のチャネルのグルー
プが、モジュールに接続されたＲＦ源とＲＦ受信機とを
それに付随して有している。このアーキテクチャによれ
ば、ＲＦ源と受信機とは１つのチャネル又はチャネル群
に対して、異なる数だけ存在することができる。各モジ
ュールは、更に、１つのチャネルからのＲＦ源が、別の
チャネルにおける第２のＲＦ源として接続されることを
可能にするスイッチング素子を含む。
【００２９】本発明の別の実施例では、各モジュール
は、ソリッドステート素子を用いて実現される。
【００３０】本発明の更に別の実施例では、１又は複数
のスイッチが信号経路において含まれており、それぞれ
のＲＦ源及び受信機を較正するのに用いられ得る。
【００３１】
【実施例】本発明によれば、ＲＦスイッチング回路１３
４が、１又は複数のチャネル・カードによって置き換え
られる。それぞれのチャネル・カードは、チャネルと呼
ばれ、ＲＦ信号を被試験デバイス（ＤＵＴ）１０６との
間で送受信するように設計された１又は複数の回路を含
む。それぞれのチャネル・カードは、ソースと受信機と
を多数の方法でＤＵＴに接続することを可能にするアー
キテクチャを有している。ソースと受信機とは、ＲＦ素
子上で通常行われるすべての標準的な測定が専用の装置
を付加しなくても行えるように、接続できる。よって、
本発明によるチャネル・カードを用いることによって、
専用装置１２０は、除去できる。
【００３２】次に図２を参照すると、チャネル・カード
の回路図が示されている。好ましくは、各チャネル・カ
ード２００上には、少なくとも２つのチャネル２１０
ａ、２１０ｂがあり、それにより、複数のチャネルの間
の相互作用が可能になる。チャネルは、同一であり得
る。しかし、好適実施例では、チャネル２１０ａは、ハ
イパワーの信号を受信するのに最適化されており、チャ
ネル２１０ｂは、ローパワーの信号を受信するのに最適
化されている。
【００３３】各チャネル２１０は、ＲＦデバイスを試験
するのに従来用いられているようなＲＦ源（ソース）に
接続された入力を有するスイッチ２１２を含む。スイッ
チ２１２によって、このＲＦ源からの信号が、増幅器２
１４、パッド２１６Ａ、又はパッド２１６Ｂに切り換え
られることが可能になる。パッド２１６は、信号を減衰
し、２１６Ａと２１６Ｂとは、異なる量の減衰を提供す
る。このようにして、ＲＦ源のダイナミックレンジを大
きく拡張することができ、１つのＲＦ源が、ハイパワー
の測定とローパワーの測定との両方を行うのに必要な信
号を提供できるようになる。
【００３４】増幅器２１４とパッド２１６との出力は、
スイッチ２１８に至る。スイッチ２１８は、通常は、ス
イッチ２１２と同時に操作（連動）される（ｇａｎｇｅ
ｄ）ように用いられ、増幅器２１４とパッド２１６との
どちらかを通過する経路を完成させる。しかし、スイッ
チ２１２、２１８は、独立に動作し、ＲＦ源を孤立させ
るように機能することもできる。
【００３５】スイッチ２１８の出力は、指向性素子２２
０の入力ポートに結合される。指向性素子は、少なくと
も３つのポートを有するデバイスである。１つのポート
が、入力として定義され、１つのポートが出力として定
義される。これらのポートは、通過経路を定義するが、
これは、入力に印加された信号を出力へ伝搬するからで
ある。しかし、ポートを入力又は出力と称することは、
純粋に意味上のものに過ぎないことを理解すべきであ
る。というのは、出力に印加された信号もまた入力に伝
搬するからである。付加的なポートは、通常、方向を付
して命名される。これらのポートは、「順方向」と「逆
方向」とのどちらかとして称され得るが、順方向ポート
を結合ポート、逆方向ポートを孤立ポートと呼ぶことも
ある。入力に印加された信号は、順方向ポートに結合さ
れるが、逆方向ポートには結合されない。出力に印加さ
れた信号は、逆方向ポートに結合されるが、順方向ポー
トには結合されない。この逆もまた真であり、順方向ポ
ートに印加された信号は入力に結合されるが、出力には
結合されない。逆方向ポートに印加された信号は出力に
結合されるが、入力には結合されない。
【００３６】３つのポートを有する指向性素子は、市販
されており、通常は、指向性カプラと呼ばれる。４ポー
トの指向性素子が入手できない場合には、２つの同じ指
向性カプラを背面で接触させて、すなわち、指向性カプ
ラの出力ポートを相互に接続し、一方の入力がその指向
性素子の出力となるように構成することによって実現で
きる。
【００３７】指向性素子２２０は、好ましくは４つのポ
ートを有する。すなわち、入力、出力、順方向ポート、
及び逆方向ポートである（参照番号なし）。指向性素子
２２０の逆方向ポートは、ＩＭinで表され、隣接するチ
ャネル２１０ｂの点ＩＭoutからの信号を受け取る。よ
って、スイッチ２１８からの信号と隣接するチャネル２
１６ｂからの信号とは、もしあれば、両方ともが、指向
性素子２２０の出力ポートに結合される。両方の信号が
印加される場合には、指向性素子２２０の右のポートか
らの信号は、この２つの信号の和である。
【００３８】指向性素子２２０の出力ポートは、スイッ
チ２２２に接続される。スイッチ２２２は、スイッチ２
１８からの信号が、チャネル２１０ａの残りの素子を介
して、チャネル２１０ａのＩＭout 点かＤＵＴ１０６か
のどちらかに結合されることを可能にする位置を有して
いる。
【００３９】スイッチ２２２の１つの出力位置は、指向
性素子２２４の入力ポートに接続される。指向性素子２
２４の出力ポートは、スイッチ２３０に接続され、それ
によって、チャネル２１０ａに接続されたソース（ＲＦ
源）からの信号は、それを介して結合されることが可能
になる。
【００４０】指向性素子２２４の順方向ポートは、スイ
ッチ２２６に接続される。同様に、指向性素子２２４の
逆方向ポートは、スイッチ２２６に接続される。スイッ
チ２２６は、これらの２つの入力の間で選択する。この
ようにして、スイッチ２２６は、チャネル２１０ａを介
してＤＵＴ１０６に至る信号と、チャネル２１０ａを介
してＤＵＴ１０６から戻る信号とのどちらかを選択す
る。スイッチ２２６の出力は、スイッチ２５４を介し
て、ＲＦ受信機に結合される。このように、ＤＵＴに印
加される信号又はＤＵＴから受信される信号が、測定さ
れる。ＲＦ受信機は、従来入手できる受信機である。好
ましくは、ｄｓｐベースの受信機が用いられる。
【００４１】図２に示されているように、スイッチ２３
０は、複数のバイアスＴ素子２３２、２３４に接続す
る。バイアスＴ素子２３２、２３４のそれぞれは、ＤＵ
Ｔ１０６の上の１つのリード線に接続される。よって、
スイッチ２３０は、ＤＵＴ１０６上のどのリード線がチ
ャネル２１０ａに接続されるかを選択する。ＤＵＴ１０
６上のすべてのＲＦリード線が、ＤＵＴ１０６上でのす
べての試験のためにソース又は受信機に同時に接続され
る必要はないことが多い。チャネルを多重化することに
よって、テスタ１００で提供されるソース又は受信機の
全体の数は、ＤＵＴ１０６上のＲＦピンの全体の数より
も少なくなり得る。バイアスＴ素子からＤＵＴ１０６の
リード線への接続は、従来の方法に従ってなされる。
【００４２】バイアスＴ素子２３２、２３４のそれぞれ
は、相互接続回路１３２（図１）に接続されたＦ及びＳ
端子を有する。これらの接続を介して、直流バイアス信
号をＤＵＴ１０６に印加される信号に付加することがで
き、又は、ＤＵＴ１０６から出てくる信号への直流バイ
アスを測定することができる。直流バイアスを付加する
ために、直流信号がＦ（フォース）端子に印加される。
直流バイアスのレベルは、Ｓ端子で測定される。導入さ
れる実際の直流バイアスのレベルは電流の量と直流電源
とＤＵＴ１０６との間の抵抗値とによって影響されるの
で、直流バイアスの実際のレベルは、入力レベルが正確
に測定され得るように、Ｓ端子において測定される。直
流バイアスが加えられていないときの信号の直流レベル
を測定するために、測定は、Ｆ又はＳのどちらかの端子
において行われる。
【００４３】バイアスＴ素子２３２、２３４のそれぞれ
は、実際には、Ｆ端子に１つ、Ｓ端子に１つの、２つの
バイアスＴ回路によって実現される。しかし、Ｓ端子
は、直流信号を印加する際の更に正確なフィードバック
制御に必要なだけであり、よって、オプショナルであ
る。
【００４４】チャネル２１０ｂは、好ましくは、いくつ
かの例外を除いて、チャネル２１０ａと同一である。図
２の実施例は、チャネル２１０ｂに加えられた、ローノ
イズの増幅器２５６とスイッチ２５８とを示している。
これらの付加的な素子によって、チャネル２１０ｂは、
より低いパワーの信号を測定できる。そのような信号を
測定するためには、スイッチ２５８が付勢されローノイ
ズ増幅器２５６の入力を、スイッチ２３０を介して、Ｄ
ＵＴ１０６に接続する。スイッチ２５４が付勢され、ロ
ーノイズ増幅器２５６の出力を、ＲＦ受信機に接続す
る。このようにして、信号は、ＲＦ受信機に印加される
のに先立って、指向性カプラを通過することなく増幅さ
れ、よって、指向性カプラに付随する信号損失を回避で
きる。
【００４５】チャネル・カード２００は、また、ＲＦ源
及び受信機の両方の較正を補助する回路を含む。複数の
較正基準２５２が、含まれる。この較正基準は、スイッ
チ２５２を介して、ＲＦ源又は受信機のどちらかに接続
され得る。マイクロ波デバイスの較正は、従来は、この
デバイスを、ショート（ρ１）、オープン（ρ２）、ス
ルー（レシプロカル）として知られている直列の基準標
準（ｒｅｆｅｒｅｎｃｅ ｓｔａｎｄａｒｄｓ）に接続
することによって達成される。較正基準回路２５２は、
これらの標準と、それらの中の任意の１つをスイッチ２
３０に接続させるスイッチング回路とを含む。
【００４６】温度ドリフトとして知られている現象のた
めに、更なる較正が必要となることが多い。多くのマイ
クロ波素子は、温度の関数である減衰又は利得を有す
る。これにより、発生した又は測定された信号は、温度
の変化と共に変化する。常に同じ信号を発生し、常に同
じ結果を報告する試験ユニットを作成することが望まし
い。温度ドリフトを較正するためには、チャネル・カー
ドは、オプションであるが、較正回路２５０を含む。１
つの較正回路２５０を、各チャネル２１０ａ、２１０ｂ
における次の指向性素子２２４に含ませ得る。また、１
つの較正回路２５０を、スイッチ２５４の後に、ＲＦ受
信機に至る経路に含ませることができる。この後者の構
成によると、同じ較正回路を両方のチャネルに用いるこ
とが可能になる。
【００４７】図３は、較正回路２５０を更に詳細に示し
ている。較正回路２５０は、１対のスイッチ２８０、２
８２を含む。端子２７６に印加された信号は、スイッチ
２８０、２８２の付勢によって、直接に、端子２７８ま
で通過する。スイッチ２７８、２８０は、較正回路２５
０が較正に用いられていないときには、これらの位置に
設置されている。
【００４８】端子２７８は、信号経路の受信機側に結合
され、端子２７６は、ＲＦ源側に接続される。ＲＦ源を
較正するには、スイッチ２８０、２８２が最初に付勢さ
れ、ＡＬＲＯ２８８をＤＥＴ２８６に接続する。
【００４９】ＤＥＴ２８６は、温度とは無関係に、関心
対象のすべての周波数において均一の応答を生じる検出
器である。このような検出器は、周波数についてフラッ
ト（ｆｌａｔ ｏｖｅｒ ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ）である
といわれる。出力の実際の大きさは、温度の関数として
変動し得る。よって、ＤＥＴ２８６は、関数Ｖ０＝α
（Ｔ）Ｖｉによって記述される。ここで、Ｖ０は出力レ
ベルであり、α（Ｔ）は温度の関数として変動するある
値であり、Ｖｉは入力レベルである。ＲＦ源を較正する
ためには、α（Ｔ）を決定する必要がある。
【００５０】α（Ｔ）を決定するために、ＡＬＲＯ２８
８が、スイッチ２８０、２８２を介して、ＤＥＴ２８６
に接続される。ＡＬＲＯ２８８は、ある周波数におい
て、温度に亘って一定のパワーであるＲＦ源である（た
とえば、発振器）。別言すれば、ＡＬＲＯ２８８は、温
度とは関係なく、そのある周波数において既知の振幅の
出力信号を生じる。ＲＦ源を較正するために、ＡＬＲＯ
２８８の出力が、ＤＥＴ２８６によって測定される。こ
の測定は、既知のＶｉに対して、Ｖ０の信頼できる測定
を与え、よって、α（Ｔ）の計算が可能になる。
【００５１】ソース信号は、次に、ＡＬＲＯ２８８と同
じ周波数に設定され、スイッチ２８０、２８２を介し
て、ＤＥＴ２８６に接続される。次に、ＲＦ源のＶ
ｉが、ＤＥＴ２８６がＡＬＲＯ２８８の値を測定してい
るときと同じ出力を有するまで調整される。
【００５２】α（Ｔ）は、ただ１つの周波数において測
定されるが、すべての周波数について本質的に同じ値を
有する。ＲＦ源の入力周波数は、その動作レンジに亘っ
て変動する。各周波数において、ＲＦ源は、ＤＥＴ２８
６がＡＬＲＯ２８８からの信号を測定しているときに生
じるのと同じレベルを測定するまで調整される。市販の
ＲＦ源は、このタイプの調整を可能にする較正機構を含
む。これらのステップは、制御電子装置１０８（図１）
の制御の下に指示される。
【００５３】受信機を較正するために、スイッチ２８２
は、その中間の位置に設定される。スイッチ２８２は、
付勢され、ＡＬＲＣ２９０に接続する。ＡＬＲＣ２９０
は、サンプリング・コンパレータを用いて実現され得る
ような、絶対レベルの基準コンパレータである。入力信
号が特定のレベルを有するときに、指示を出す。また、
温度とは無関係に、１つの周波数において正確である。
【００５４】スイッチ２８０は、付勢され、ＢＣＳ２８
４に接続する。ＢＣＳ２８４は、ノイズ・ダイオードを
用いて実現し得るような、完全にフラットな信号源であ
る。ＢＣＳ２８４は、周波数上でフラットであり、しか
し、その出力は温度と共に変動する。
【００５５】ＡＬＲＣ２９０は、ＢＣＳ２８４によって
生じる信号のレベルを測定する。この測定は、ＢＣＳ２
８４のレベルに対する、正しい値を与える。
【００５６】次に、スイッチ２８２は、付勢され、ポー
ト２７８に接続する。ＢＣＳ２８４からの信号は、よっ
て、受信機に接続される。信号は、種々の周波数で、受
信機の動作範囲に亘って、測定される。それぞれの周波
数で、受信機の出力は、ＢＣＳ２８４によって生じた信
号の真の値と比較される。受信機は、受信された値がＢ
ＣＳ２８４によって生じたレベルに対応すると指示する
まで調整される。
【００５７】較正に必要なスイッチングと制御とは、制
御電子装置１０８（図１）によって制御される。市販の
受信機は、コントローラ１０８によって生じるようなコ
マンドに応答し、較正のための内部調整をする。
【００５８】周波数とパワー・レベルとの両方でフラッ
トな受信機又はＲＦ源を作ることは非常に困難であるこ
とが理解できよう。ＲＦ源又は受信機を両者同時にでは
なくどちらか一方に関してフラットにする設計技術はあ
り、ＲＦ源と受信機とを較正のために作成する又は選択
するのに用いられる。適切な素子の例は、既に述べた
が、任意の数の別の設計を用いることができる。
【００５９】図３に示された較正回路２５０のための実
際の構成は、較正回路２５０がスイッチ２５４と受信機
との間に接続されているときに、用いられるのに適す
る。較正回路２５０が指向性素子２２４とスイッチ２３
０との間に接続されるときには、ＲＦ源と受信機とは、
両方とも、ポート２７６に結合される（図３）。この構
成において適切な接続を可能にするためには、ＢＣＳ２
８４とＡＬＲＣ２９０との位置を逆にする必要がある。
それ以外の動作は、同じである。
【００６０】較正回路２５０は、ＲＦ源と受信機とを較
正するのに、有用である。較正基準２５２もまた含まれ
ており、モジュール２００が、ベクトル・ネットワーク
分析（ＶＮＡ）測定のために較正されることを可能にす
る。ＶＮＡ分析のためになされる測定は、信号が、順方
向及び逆方向の信号が別個に測定できるように、指向性
素子を通過することを要求する。理想的には、入力に印
加された信号は出力と順方向ポートとに結合され、逆方
向ポートからは完全に分離される。しかし、完全な指向
性素子を構成することは不可能である。不完全さを較正
するために、較正基準が用いられる。
【００６１】不完全な指向性素子は、数学的には、方程
式の組によって記述される。たとえば、順方向ポートに
おける信号は、入力信号と出力信号との線形（一次）結
合として、記述される。逆方向ポートにおける信号は、
同じ信号の別の線形結合として、記述できる。
【００６２】較正基準２５２によって、異なるインピー
ダンスが指向性素子に印加されることが可能になる。次
に、順方向及び逆方向のポートにおける信号が、測定さ
れ得る。これらの測定は、指向性素子を記述している方
程式の組を解くのに十分なデータを与える。これらの方
程式の解法は、種々のものが知られている。しかし、い
ったん解かれてしまえば、その指向性素子の不完全さを
数学的に較正することが可能である。較正は、制御電子
装置１０８をプログラムすることによって、実行され
る。
【００６３】指向性素子の較正が信号経路におけるすべ
てのエラー源を考慮（修正）することが望ましい。この
理由で、較正基準は、通常は、測定回路が被試験デバイ
スに接続された地点に設けられる。しかし、図２では、
較正基準は、モジュール２００の内部にある。
【００６４】較正基準２５２をモジュール２００の内部
に設置することによって、基準をＤＵＴ１０６への接触
に用いられるデリケートなリード線に接続する必要、又
は、試験ヘッド１０４の内部の信号経路に接触させる必
要がなくなる。しかし、外部的なインピーダンス標準と
制御電子装置１０８のソフトウェア・プログラミングと
を用いて、ＤＵＴ１０６への信号経路におけるすべての
エラー源を較正することが可能である。
【００６５】この較正をするために、外部的な基準が信
号経路の端部に可能な限り密着させて接続される。外部
的な基準は、較正基準２５２において見いだされるのと
同じ較正基準である。この接続は、一度だけ必要であ
る。たとえば、テスタ１００が製造される工場において
なされ得る。
【００６６】外部的な較正基準が接続されると、標準的
なＶＮＡ較正ルーチンが実行される。次に、同じＶＮＡ
較正測定が反復され、スイッチ２３０は、付勢され、較
正基準２５２に接続される。外部較正基準を用いてなさ
れた測定と内部較正基準によるものとを比較することに
よって、内部基準のための調整を計算することが可能に
なる。これらの調整は、任意の便宜的な不揮発性記憶媒
体において、テスタに記憶される。
【００６７】以後は、ＶＮＡ較正ルーチンが較正基準２
５２を用いて行われる際には常に、測定値は、記憶され
た量によって調整される。このようにして、内部較正基
準は、外部基準と同じように機能する。
【００６８】スイッチ２１２、２１８、２２２、２２
６、２２８、２３０、２５４、２５８は、すべて、制御
入力を有するが、図示はされていない。これらの制御入
力は、制御電子装置１０８（図１）に接続される。この
ようにして、チャネル２１０ａは、制御電子装置１０８
上で動作する試験プログラムによって要求されるよう
に、試験のために構成され得る。また、ＲＦ回路におい
て、設計上の目的で通常組み入れられるものは、図２及
び図３には、示されていない。通常の設計において含ま
れ得るそのような例としては、パワー接続、バイアス素
子、シールディングなどがある。
【００６９】図２及び図３に図解されている素子は、Ｒ
Ｆ回路を構成するのに用いられる標準的な素子である。
好ましくは、これらは、ＭＭＩＣ製造技術を用いてプリ
ント回路板上に集積されたソリッドステート素子であ
る。そのような回路に必要な回路素子は、市販されてお
り、入手可能である。これらの構成要素の選択の際に
は、設計上の配慮もすべきである。たとえば、インピー
ダンスは、反射を減少させるために、整合されなければ
ならない。
【００７０】図２に示されているモジュールによれば、
ＤＵＴ１０６上で、多くの種類の測定をすることができ
る。たとえば、デバイスのゲインは、チャネル２１０ａ
を、このチャネル２１０ａに接続されたＲＦ源からの信
号を用いてＤＵＴの入力リード線を駆動するように構成
することによって、測定できる。同時に、チャネル２１
０ｂを、このデバイスの出力リード線における信号測定
するように、構成し得る。
【００７１】図２に示されたチャネル・カードの可撓性
の別の例として、本発明によるテスタを用いて、Ｔ／Ｒ
スイッチ付きの２０９２電力増幅器／ローノイズ増幅器
（２０９２ Ｐｏｗｅｒ Ａｍｐｌｉｆｉｅｒ／Ｌｏｗ
Ｎｏｉｓｅ Ａｍｐｌｉｆｉｅｒ Ｗｉｔｈ Ｔ／Ｒ
Ｓｗｉｔｃｈ）として知られている部品を試験でき
る。この部品は、２つのＲＦ入力／出力と、デジタル制
御入力とを有している。この部品は、デジタル制御装置
が第１の値をとるときに、内部電力増幅器を介して、一
方の入力／出力における信号を増幅するように設計され
ている。デジタル制御装置が別の値をとるときには、こ
の部品は、他方の入力／出力における信号を、ローノイ
ズ増幅器を介して増幅する。このような部品は、たとえ
ば、セルラー電話の送受信部分において用いられる。
【００７２】このような部品を試験するためには、２つ
のポートにおける入力及び出力インピーダンスを測定す
ることが望ましい。これらの測定は、通常は、ベクトル
・ネットワーク・分析装置（ＶＮＡ）をその部品に接続
することによってなされる。ゲイン、高周波、及びイン
ターセプト・ポイントを測定することが望ましい。これ
らの測定は、伝統的には、スペクトル分析装置と信号発
生器とをその部品に接続することによって行われる。ノ
イズ・フィギュアを試験することもまた望ましい。これ
らの測定は、通常は、ノイズ・フィギュア・メータをそ
のデバイスに接続することによってなされる。
【００７３】本発明では、これらの測定はすべて、チャ
ネル２１０ａの１つをその部品のＲＦ入力の１つに接続
し、チャネル２１０ｂを他方の入力に接続することによ
って行える。これらの測定はすべてが、カスタム・スイ
ッチ・ネットワークの必要や、器具を手動で接続したり
切断したりすることなく、テスタを用いてすることがで
きる。
【００７４】以上で、本発明の好適実施例を説明してき
たが、種々の別の実施例も構成できる。たとえば、好適
実施例では、本発明によるモジュールを混合信号テスタ
のＲＦチャネルの中に組み入れてあるが、本発明は、そ
れほど限定される必要はなく、複数のＲＦ測定が同じ地
点で行われなければならない場合であれば、どのような
場合でも、用いられ得る。
【００７５】更に、種々の素子が相互に接続されるよう
に説明され、また、直接に相互に接続されているように
図解されているが、本発明は、それには限定されない。
たとえば、直接に相互に接続されているように示されて
いる任意の素子は、スイッチ、増幅器、減衰器、指向性
素子、又はそれ以外の回路素子を介しても、接続し得
る。
【００７６】上述の説明では、指向性素子は、受動素子
を用いて実現されるように説明された。しかし、同様
に、能動素子を用いることもできる。また、４ポートの
指向性素子は、２つの背中合わせの指向性カプラから構
成できるとした。同様の機能は、指向性カプラと直列の
スプリッタによっても達成できる。この素子構成では、
入力ポートは、スプリッタの入力となる。順方向のポー
トは、スプリッタの１つの脚部となる。スプリッタの第
２の脚部は、指向性カプラの入力に接続される。指向性
カプラの出力が、４ポート指向性素子の出力であり、指
向性カプラの結合された出力は、４ポート指向性素子の
逆向きのポートとなる。
【００７７】また、好適実施例では、ソリッドステート
素子を用いるとした。本発明のアーキテクチャでは素子
の間の接続がカスタマイズされる必要がないためにソリ
ッドステート素子を用いた構成に向いているが、ソリッ
ドステート素子の使用は、本発明にとって本質的ではな
い。代わりに、伝統的な、マイクロ波スイッチング素子
を用いてもよい。ハイパワーの部品を試験する際には、
そのようになろう。
【００７８】更に、好適実施例では、入力信号が、異な
るゲインを有する３つの経路の間で切り換えられること
を可能にするスイッチ２１２が組み込まれている。この
経路の数は３に限定されない。試験が広範囲のパワー・
レベルに亘って行われるのではない場合には、複数の経
路は不要である。逆に、試験が広範囲のパワー・レベル
に亘って行われる場合には、それぞれが異なるゲインや
減衰を有する３よりも多くの複数の経路を用いることも
ある。
【００７９】同様に、１つの増幅器が示されているが、
複数の増幅器を用いて、ゲインに関して複数の選択肢を
与えてもよい。また、増幅器又は減衰器を直列に接続し
て、ゲイン又は減衰の複数の段を提供してもよい。
【００８０】同様にして、スイッチ２３０は、ＤＵＴ１
０６上の２つだけのリード線の間で１つのチャネルを多
重化している。多重化は、必要とされるＲＦ源及び受信
機の数を減少させるという利点を有するが、使用する必
要はない。逆に、ある場合には、ＤＵＴ１０６上の２つ
よりも多くのリード線の間で各チャネルを多重化するこ
とが望ましいこともあろう。そのような場合には、スイ
ッチ２３０は、２つよりも多くの出力接点を有すること
になる。
【００８１】好適実施例では、１つのチャネル・カード
上に実現された２つのチャネルが示されている。１つの
カードの上に２つのチャネルがあることで、２ポートの
ｓパラメータ測定が容易になり、２つのＲＦ源が相互変
調試験のために、同じチャネルに接続できるようにな
る。しかし、同様の接続は、複数のチャネルが別個の複
数のカードの上に物理的に分離して位置していても可能
である。同様に、同じ相互接続は、２つよりも多くのチ
ャネルが１つのボードの上に実現されていても達成し得
る。更には、１つのチャネルを、１ポートのデバイスに
用いることもできる。
【００８２】好適実施例には、１つのチャネルからの信
号を、指向性素子２２０を介して、別のチャネルにおけ
る信号に加算することができることが示されている。本
発明のモジュールは、任意の数の信号を加算するように
構成できる。
【００８３】各チャネル・カード又はモジュールに対す
る受信機の数は変動し得る。各チャネルに別個の受信機
を用いることもできる。更には、好適実施例では、１つ
の受信機を多重化して順方向の信号と逆方向と信号との
両方を測定している。そうではなく、２つの別個の受信
機を用いることもできる。
【００８４】また、好適実施例では、チャネル２１０ｂ
は、ローレベルの信号を測定するように構成されてい
る。両方のチャネルを同じにすることもできる。また、
１つのチャネルを、増幅器２１４の代わりにハイパワー
増幅器を用いて構成することが可能であり、又は、１つ
のチャネルを、ハイパワーの測定のために、付加的な減
衰を有するように構成することができる。
【００８５】また、従来型のＲＦ源と受信機とを用いて
試験を行うと説明した。すべてのＲＦ源と受信機とが同
じタイプである必要はないし、すべてのＲＦ源と受信機
とが従来型である必要もない。本明細書で用いているＲ
Ｆ源という語は、ＲＦ信号を発する任意の素子を意味し
得ることを理解すべきである。同様に、受信機という語
は、それに印加されたＲＦ信号に基づいて何らかの出力
を生じる任意のデバイスを意味し得る。位相の測定が可
能であるという理由で、ｄｓｐベースの受信機が好適で
あるとしたが、特にそれよりも劣る機能でも十分である
場合には、そのような受信機は必要でない。
【００８６】図２は、特定のスイッチング構成を示して
いる。ＲＦ源のルートと、図２のモジュールを通過する
信号の受信に関しても、別の構成を用いることもでき
る。
【００８７】更には、図１は、すべての特徴を備えた混
合信号テスタを示している。そこでは、ＲＦ及びデジタ
ル素子が試験される。しかし、本発明は、ＲＦ信号に作
用する任意のシステムと共に用いることができる。たと
えば、メインフレーム１０２の内部により数の少ない構
成しか含んでいない、「ラック」型のシステムと共にで
も用いることができる。
【００８８】また、よく設計されたすべての特徴を備え
た混合信号テスタは、比較的多数の試験ヘッドを含む
が、これは、ある電子装置を被試験デバイスにできるか
ぎり接近させておきたいからである。しかし、試験ヘッ
ドは、大型の構造である必要はない。被試験デバイスに
付属するほんの僅かな機構だけを含む非常に単純な構造
でよい。また、ＲＦスイッチングを被試験デバイスにで
きるだけ接近させることが望ましいが、テスト・ヘッド
の内部に位置させる必要はない。
【００８９】また、図２及び図３に示した素子は、被試
験デバイスとの間に信号経路を定義する。多くの場合に
おいて、電子素子が信号経路において登場する順序は重
要ではない。たとえば、スイッチ２１２、２１８と、増
幅器２１４と、入力信号のダイナミックレンジを拡張す
るパッド２１６とから成る素子のブロックは、信号経路
の別の地点において用いることができる。たとえば、ス
イッチ２２２の後に置くこともできる。
【００９０】好適実施例において開示されたすべての特
徴が本発明の効果を得るのに必要なわけではないことを
理解すべきである。たとえば、スイッチ２２８は、較正
を可能にするために含まれているに過ぎない。本発明
は、より低い精度でも十分であり、又は、別の較正方法
が用いられている場合には、較正なしでも用いることが
できる。
【００９１】別の例としては、好適実施例は、ＲＦ源と
受信機との両方のために較正回路を含む。較正回路は、
より低い精度でも十分であったり、較正を必要としない
非常に高品質の素子が用いられている回路では、不要で
ある。較正回路が、ＲＦ源だけに含まれる、受信機だけ
に含まれる、両方に含まれる、どちらにも含まれない、
という種々のシステムが有り得る。
【００９２】同様に、指向性素子２２０とスイッチ２２
２は、相互変調信号の発生を可能にするために含まれ
る。チャネルが相互変調信号を提供することは、本発明
の効果を得るためには必要ない。また、テスタに含まれ
るチャネルの一部だけを設置して、相互変調信号を生じ
させることができる。
【００９３】したがって、本発明は、冒頭の特許請求の
範囲の精神と範囲とだけによって、限定されるものとす
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を使用し得る、混合信号テスタのブロッ
ク図である。
【図２】本発明によるＲＦモジュールの回路図である。
【図３】図２のＲＦモジュールにおいて用いられる較正
モジュールの回路図である。

Claims (33)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ＲＦ回路装置であって、 （ａ）少なくとも２つの第１のタイプのポートと少なく
    とも２つの第２のタイプのポートとを有する第１の指向
    性素子であって、一方のタイプのポートへの入力として
    印加された信号は他方のタイプのポート上に出力として
    生じる、第１の指向性素子と、 （ｂ）前記指向性素子の第１のタイプのポートに結合さ
    れた第１のＲＦ源と、 （ｃ）少なくとも２つの入力ポートと、前記入力ポート
    の中の１つに切り換え可能に結合された１つの出力ポー
    トとを有する第１のスイッチであって、前記入力ポート
    の中の第１のものは、前記指向性素子の第１のタイプの
    ポートに結合され、前記入力ポートの中の第２のもの
    は、前記指向性素子の第２のタイプのポートに結合され
    ている、第１のスイッチと、 （ｄ）前記第１のスイッチの前記出力ポートに結合され
    た受信機と、 を備えていることを特徴とするＲＦ回路装置。
  2. 【請求項２】 請求項１記載のＲＦ回路装置において、
    前記指向性素子の前記第２のタイプのポートの中の１つ
    に結合されたバイアスＴネットワークを更に備えている
    ことを特徴とするＲＦ回路装置。
  3. 【請求項３】 請求項２記載のＲＦ回路装置において、
    多重化スイッチと、前記指向性素子の前記第２のタイプ
    のポートの中の１つに結合された少なくとも１つの付加
    的なバイアスＴネットワークとを備えており、前記バイ
    アスＴネットワークは、前記多重化スイッチを介して、
    前記指向性素子に結合されることを特徴とするＲＦ回路
    装置。
  4. 【請求項４】 請求項３記載のＲＦ回路装置において、 （ａ）（i）少なくとも２つの第１のタイプのポートと
    少なくとも１つの第２のタイプのポートとを有する第２
    の指向性素子であって、一方のタイプのポートへの入力
    として印加された信号は他方のタイプのポート上に出力
    として生じる、第２の指向性素子と、（ii）前記第２の
    指向性素子の前記第１のタイプのポートの前記１つに結
    合された第２のＲＦ源と、を更に備えており、 （ｂ）前記第１のＲＦ源は、前記第２の指向性素子を介
    して、前記第１の指向性素子に結合され、前記第１のＲ
    Ｆ源は、前記第２の指向性素子の前記第１のタイプのポ
    ートの中の１つに結合され、前記第２の指向性素子の前
    記第２のタイプのポートの１つは、前記第１の指向性素
    子の第１のタイプのポートに結合されることを特徴とす
    るＲＦ回路装置。
  5. 【請求項５】 請求項４記載のＲＦ回路装置において、
    少なくとも１つの増幅器と、前記第１のＲＦ源と前記第
    ２の指向性素子との間の信号経路において切り換え可能
    に接続された減衰器とを更に備えていることを特徴とす
    るＲＦ回路装置。
  6. 【請求項６】 請求項４記載のＲＦ回路装置において、
    前記第２の指向性素子の第２のタイプのポートに結合さ
    れた入力ポートと少なくとも２つの出力ポートとを有す
    る第２のスイッチを更に備えており、前記入力ポート
    は、前記出力ポートに切り換え可能に接続可能であり、
    前記第２のスイッチの第１の出力ポートは、前記第１の
    指向性素子の前記第１のタイプのポートの１つに接続さ
    れることを特徴とするＲＦ回路装置。
  7. 【請求項７】 請求項６記載のＲＦ回路装置において、
    同様のＲＦ回路装置を更に備えており、各ＲＦ回路装置
    の前記第２のスイッチの前記第２の出力ポートは、他方
    のＲＦ回路装置の前記第２のＲＦ源として接続されるこ
    とを特徴とするＲＦ回路装置。
  8. 【請求項８】 請求項７記載のＲＦ回路装置において、
    前記第１の指向性素子と、前記第２の指向性素子と、前
    記同様のＲＦ回路装置の両方の前記第１及び第２のスイ
    ッチとは、１つのプリント回路板上に作成されることを
    特徴とするＲＦ回路装置。
  9. 【請求項９】 請求項１記載のＲＦ回路装置において、 （ａ）（i）少なくとも２つの第１のタイプのポートと
    少なくとも１つの第２のタイプのポートとを有する第２
    の指向性素子であって、一方のタイプのポートへの入力
    として印加された信号は他方のタイプのポート上に出力
    として生じる、第２の指向性素子と、（ii）前記第２の
    指向性素子の前記第１のタイプのポートの前記１つに結
    合された第２のＲＦ源と、を更に備えており、 （ｂ）前記第１のＲＦ源は、前記第２の指向性素子を介
    して、前記第１の指向性素子に結合され、前記第１のＲ
    Ｆ源は、前記第２の指向性素子の前記第１のタイプのポ
    ートの中の１つに結合され、前記第２の指向性素子の前
    記第２のタイプのポートの１つは、前記第１の指向性素
    子の第１のタイプのポートに結合されることを特徴とす
    るＲＦ回路装置。
  10. 【請求項１０】 請求項９記載のＲＦ回路装置におい
    て、前記第２の指向性素子の第２のタイプのポートに結
    合された入力ポートと少なくとも２つの出力ポートとを
    有する第２のスイッチを更に備えており、前記入力ポー
    トは、前記出力ポートに切り換え可能に接続可能であ
    り、前記第２のスイッチの第１の出力ポートは、前記第
    １の指向性素子の前記第１のタイプのポートの１つに接
    続されることを特徴とするＲＦ回路装置。
  11. 【請求項１１】 請求項１０記載のＲＦ回路装置におい
    て、同様のＲＦ回路装置を更に備えており、各ＲＦ回路
    装置の前記第２のスイッチの前記第２の出力ポートは、
    他方のＲＦ回路装置の前記第２のＲＦ源として接続され
    ることを特徴とするＲＦ回路装置。
  12. 【請求項１２】 ＲＦスイッチング・モジュールであっ
    て、 （ａ）試験信号を受信機の出力に向けて方向付ける手段
    と、 （ｂ）応答信号を同じ受信機に向けて方向付ける手段
    と、 を備えていることを特徴とするＲＦスイッチング・モジ
    ュール。
  13. 【請求項１３】 請求項１２記載のＲＦスイッチング・
    モジュールにおいて、試験信号を方向付ける前記手段に
    結合されており、第１の信号と第２の信号とを相互変調
    することによって前記試験信号を生じる手段を、更に備
    えていることを特徴とするＲＦスイッチング・モジュー
    ル。
  14. 【請求項１４】 請求項１３記載のＲＦスイッチング・
    モジュールにおいて、試験信号を方向付ける前記手段に
    応答して、前記試験信号を少なくとも２つの試験点の間
    で多重化する手段とを、更に備えていることを特徴とす
    るＲＦスイッチング・モジュール。
  15. 【請求項１５】 請求項１４記載のＲＦスイッチング・
    モジュールにおいて、前記試験信号を直流バイアスする
    手段を更に備えていることを特徴とするＲＦスイッチン
    グ・モジュール。
  16. 【請求項１６】 請求項１５記載のＲＦスイッチング・
    モジュールにおいて、直流バイアスする前記手段は、各
    試験点に多重化された前記試験信号を独立にバイアスす
    る手段を備えていることを特徴とするＲＦスイッチング
    ・モジュール。
  17. 【請求項１７】 請求項１２記載のＲＦスイッチング・
    モジュールにおいて、試験信号を出力に向けて方向付け
    る前記手段は、試験信号を複数の出力の１つに方向付け
    る手段を備えていることを特徴とするＲＦスイッチング
    ・モジュール。
  18. 【請求項１８】 請求項１２記載のＲＦスイッチング・
    モジュールにおいて、異なる試験信号を異なる出力に向
    けて方向付ける手段を更に備えていることを特徴とする
    ＲＦスイッチング・モジュール。
  19. 【請求項１９】 請求項１２記載のＲＦスイッチング・
    モジュールにおいて、応答信号を方向付ける前記手段
    は、複数の応答信号の１つを方向付ける手段を備えてい
    ることを特徴とするＲＦスイッチング・モジュール。
  20. 【請求項２０】 ＲＦ素子のための自動試験装置であっ
    て、 （ａ）信号を被試験デバイスに結合する試験ヘッドと、 （ｂ）複数のＲＦ源の部分と、複数のＲＦ受信機の部分
    とを含むメインフレームと、 （ｃ）各チャネルが、前記ＲＦ源の中の選択された１つ
    からの試験信号を、前記被試験デバイス上の複数のリー
    ド線の中の少なくとも１つ、又は、前記複数のＲＦ受信
    機の中の選択された１つに向けて方向付ける手段を含
    む、前記試験ヘッドの内部に設置された電子回路の複数
    のチャネルと、 を備えていることを特徴とする自動試験装置。
  21. 【請求項２１】 請求項２０記載の自動試験装置におい
    て、前記ＲＦ源の中の前記選択された１つからの前記試
    験信号を前記ＲＦ受信機の中の前記選択された１つに向
    けて方向付ける手段を、更に備えていることを特徴とす
    る自動試験装置。
  22. 【請求項２２】 請求項２１記載の自動試験装置におい
    て、前記チャネルの中の少なくとも２つからの信号を相
    互変調する手段を、更に備えていることを特徴とする自
    動試験装置。
  23. 【請求項２３】 請求項２１記載の自動試験装置におい
    て、前記選択されたＲＦ源からの前記試験信号のダイナ
    ミックレンジを拡張する手段を、更に備えていることを
    特徴とする自動試験装置。
  24. 【請求項２４】 請求項２０記載の自動試験装置におい
    て、少なくとも１つのモジュールを備え、前記複数のチ
    ャネルの中の少なくとも２つにおいて方向付ける前記手
    段は、前記モジュールの内部に配置されていることを特
    徴とする自動試験装置。
  25. 【請求項２５】 請求項２４記載の自動試験装置におい
    て、前記モジュールの内部に少なくとも１組のＶＮＡ較
    正基準を、更に備えていることを特徴とする自動試験装
    置。
  26. 【請求項２６】 請求項２５記載の自動試験装置におい
    て、 （ａ）前記較正基準への調整を示す値を記憶する手段
    と、 （ｂ）前記記憶された値に基づいて、較正測定を調整す
    る手段と、 を更に備えていることを特徴とする自動試験装置。
  27. 【請求項２７】 ＲＦスイッチング・モジュールであっ
    て、 （ａ）ＲＦ源に接続するソース・ポートと、 （ｂ）ＲＦ受信機に接続する受信機ポートと、 （ｃ）被試験デバイスに接続する試験ポートと、 （ｄ）前記ソース・ポートと前記受信機ポートと前記試
    験ポートとに接続された電子回路であって、前記ソース
    ・ポートからの信号を前記試験ポートに結合し、前記ソ
    ース・ポートと前記試験ポートとからの信号が選択的に
    前記受信機ポートに与えられることを可能にする指向性
    特性を更に有する、電子回路と、 （ｅ）前記電子回路に切り換え可能に接続されたＶＮＡ
    較正基準と、 を備えていることを特徴とするＲＦスイッチング・モジ
    ュール。
  28. 【請求項２８】 請求項２７記載のＲＦスイッチング・
    モジュールにおいて、前記較正基準のために調整値を記
    憶する手段を、更に備えていることを特徴とするＲＦス
    イッチング・モジュール。
  29. 【請求項２９】 ＲＦ回路を含む電子素子を試験する方
    法であって、 （ａ）少なくとも１つのソースと受信機とをスイッチン
    グ・モジュールに接続するステップと、 （ｂ）前記スイッチング・モジュールの少なくとも２つ
    のポートを前記素子に接続するステップと、 （ｃ）前記素子の入力インピーダンスを前記２つのポー
    トにおいて測定するステップと、 （ｄ）前記モジュール又は前記素子への前記接続は変更
    せずに、前記素子の高周波を測定するステップと、 を含むことを特徴とする方法。
  30. 【請求項３０】 請求項２９記載の方法において、少な
    くとも１つのソースと受信機とを接続する前記ステップ
    は、１つだけの受信機を接続するステップを含むことを
    特徴とする方法。
  31. 【請求項３１】 ソース、試験ポート及び少なくとも１
    つの受信機の間で指向性特性を有するタイプのＶＮＡ回
    路を較正する方法であって、前記試験ポートに向かって
    又は前記試験ポートから離れる方向に伝搬する信号が測
    定される、方法において、 （ａ）前記ＶＮＡ回路を前記試験ポートを介して複数の
    外部基準に接続し、複数の測定を行うステップと、 （ｂ）前記ＶＮＡ回路を前記ＶＮＡ回路の内部の異なる
    複数の基準に接続し、複数の測定を行うステップと、 （ｃ）前記外部基準の前記測定に基づいて前記内部基準
    に対する調整を計算するステップと、 （ｄ）結果的に、前記内部基準と前記計算された調整と
    を用いて、前記ＶＮＡ回路を較正するステップと、 を含むことを特徴とする方法。
  32. 【請求項３２】 請求項３１記載の方法において、前記
    計算された調整を不揮発性のメモリに記憶するステップ
    を、更に含むことを特徴とする方法。
  33. 【請求項３３】 請求項３２記載の方法において、前記
    較正方法は、前記ＶＮＡ回路の指向性における不完全性
    を較正することを特徴とする方法。
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