JPH08275498A - リニアモータ - Google Patents
リニアモータInfo
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- JPH08275498A JPH08275498A JP7075613A JP7561395A JPH08275498A JP H08275498 A JPH08275498 A JP H08275498A JP 7075613 A JP7075613 A JP 7075613A JP 7561395 A JP7561395 A JP 7561395A JP H08275498 A JPH08275498 A JP H08275498A
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- stator
- bobbin
- sensor
- mover
- linear motor
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
- H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
- H02K41/03—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K29/00—Motors or generators having non-mechanical commutating devices, e.g. discharge tubes or semiconductor devices
- H02K29/06—Motors or generators having non-mechanical commutating devices, e.g. discharge tubes or semiconductor devices with position sensing devices
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Combustion & Propulsion (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Linear Motors (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Control Of Linear Motors (AREA)
Abstract
(57)【要約】 (修正有)
【目的】 可動子をコンパクトに形成でき、しかも、固
定子上の磁気的又は光学的情報を検出するセンサ類を情
報を感度よく高精度で検出できる位置に配置できるリニ
アモータを提供する。 【構成】 推進用界磁マグネット11を有する固定子1
と、これに外嵌する可動子2とを備え、可動子2の電機
子コイル22が固定子1に外嵌するボビン21上に設け
られ、筒形可動子ヨーク23に納められているリニアモ
ータLDMであり、ボビン21に、固定子1上の磁気的
情報及び(又は)光学的情報を検出させるセンサ(ホー
ル素子)hu、hv、hw、並びに磁気センサ43a又
は光学式センサ43bを固定子1に近づけて配置するた
めの薄肉部211a、212a又は213、214、又
は透孔部215、216を部分的に形成し、薄肉部や透
孔部にセンサを取り付けたリニアモータ。
定子上の磁気的又は光学的情報を検出するセンサ類を情
報を感度よく高精度で検出できる位置に配置できるリニ
アモータを提供する。 【構成】 推進用界磁マグネット11を有する固定子1
と、これに外嵌する可動子2とを備え、可動子2の電機
子コイル22が固定子1に外嵌するボビン21上に設け
られ、筒形可動子ヨーク23に納められているリニアモ
ータLDMであり、ボビン21に、固定子1上の磁気的
情報及び(又は)光学的情報を検出させるセンサ(ホー
ル素子)hu、hv、hw、並びに磁気センサ43a又
は光学式センサ43bを固定子1に近づけて配置するた
めの薄肉部211a、212a又は213、214、又
は透孔部215、216を部分的に形成し、薄肉部や透
孔部にセンサを取り付けたリニアモータ。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、推進用界磁マグネット
を有する棒状の固定子と、前記界磁マグネットに外嵌す
る電機子コイルを有する可動子とを備え、前記電機子コ
イルが前記固定子に外嵌するボビン上に設けられている
とともに筒形の可動子ヨーク内に納められているリニア
モータに関する。
を有する棒状の固定子と、前記界磁マグネットに外嵌す
る電機子コイルを有する可動子とを備え、前記電機子コ
イルが前記固定子に外嵌するボビン上に設けられている
とともに筒形の可動子ヨーク内に納められているリニア
モータに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、この種のリニアモータでは、可動
子を製造するにあたり、図5中、図(A)に例示するよ
うなコイルボビン201が使用され、このボビン201
に、図(B)や図(C)に例示するように電機子コイル
202が設けられる。図(A)のボビン201は、円筒
部分201aの両端に円形フランジ201bを形成した
ものである。電機子コイル202は該フランジ間におい
て円筒部分201aの外周に形成される。さらに、電機
子コイル202の外周には円筒形の可動子ヨーク203
が被着される。かくして可動子20が形成され、ボビン
201の部分で、界磁マグネット101を有する断面円
形棒状の固定子10に嵌められ、リニアモータが提供さ
れる。
子を製造するにあたり、図5中、図(A)に例示するよ
うなコイルボビン201が使用され、このボビン201
に、図(B)や図(C)に例示するように電機子コイル
202が設けられる。図(A)のボビン201は、円筒
部分201aの両端に円形フランジ201bを形成した
ものである。電機子コイル202は該フランジ間におい
て円筒部分201aの外周に形成される。さらに、電機
子コイル202の外周には円筒形の可動子ヨーク203
が被着される。かくして可動子20が形成され、ボビン
201の部分で、界磁マグネット101を有する断面円
形棒状の固定子10に嵌められ、リニアモータが提供さ
れる。
【0003】可動子20の電機子コイル202は、電気
的に複数相のコイルからなっており、図(B)の可動子
20ではこれら相のコイルは隙間なく配置されており、
図(C)の可動子20ではコイル間に隙間が設けられて
いる。ところで、リニアモータの可動子には、通常、そ
の位置に関係なく一定の推力を得られるように、電機子
コイルの各相コイルについて、その位置に応じて通電を
制御するための、界磁マグネットに対する現在位置を検
出する位置検出センサが付設される。かかる位置検出セ
ンサとして一般に採用されるのは、磁電変換素子の一種
であるホール素子である。これは界磁マグネットによる
磁束の大きさと向きを感知する。ホール素子が感知した
磁束の大きさと向きに対応する大きさと向きの電流をコ
イルに流すことで可動子推力が位置に関係なく連続して
得られる。
的に複数相のコイルからなっており、図(B)の可動子
20ではこれら相のコイルは隙間なく配置されており、
図(C)の可動子20ではコイル間に隙間が設けられて
いる。ところで、リニアモータの可動子には、通常、そ
の位置に関係なく一定の推力を得られるように、電機子
コイルの各相コイルについて、その位置に応じて通電を
制御するための、界磁マグネットに対する現在位置を検
出する位置検出センサが付設される。かかる位置検出セ
ンサとして一般に採用されるのは、磁電変換素子の一種
であるホール素子である。これは界磁マグネットによる
磁束の大きさと向きを感知する。ホール素子が感知した
磁束の大きさと向きに対応する大きさと向きの電流をコ
イルに流すことで可動子推力が位置に関係なく連続して
得られる。
【0004】前記図(B)の可動子20では、ホール素
子hが各相コイルに対応させてコイル外面に付設されて
いる。図(C)の可動子20では、ホール素子hがコイ
ル間においてボビン201の円筒部分201aに付設さ
れている。コイルの間にホール素子を配置する方式は、
例えば特開昭58−36162号公報も教えている。リ
ニアモータの可動子には、前記した位置検出センサの
他、可動子の移動距離の検出や可動子の速度検出乃至速
度制御のために使用されるエンコーダのスケール検出セ
ンサが設けられる場合が多い。
子hが各相コイルに対応させてコイル外面に付設されて
いる。図(C)の可動子20では、ホール素子hがコイ
ル間においてボビン201の円筒部分201aに付設さ
れている。コイルの間にホール素子を配置する方式は、
例えば特開昭58−36162号公報も教えている。リ
ニアモータの可動子には、前記した位置検出センサの
他、可動子の移動距離の検出や可動子の速度検出乃至速
度制御のために使用されるエンコーダのスケール検出セ
ンサが設けられる場合が多い。
【0005】エンコーダには、光学式エンコーダ、磁気
方式のエンコーダ等が採用される。光学式エンコーダを
採用するとき、スケール検出センサは光学式センサであ
り、スケールは該センサに検出され得る信号を提供する
光学式スケールである。磁気方式エンコーダを採用する
とき、スケール検出センサは磁気センサ(代表的にはM
R素子と呼ばれている磁気抵抗素子利用のセンサ)であ
り、スケールには磁極を細かいピッチで配列したファイ
ン着磁部(磁気スケール)が採用される。
方式のエンコーダ等が採用される。光学式エンコーダを
採用するとき、スケール検出センサは光学式センサであ
り、スケールは該センサに検出され得る信号を提供する
光学式スケールである。磁気方式エンコーダを採用する
とき、スケール検出センサは磁気センサ(代表的にはM
R素子と呼ばれている磁気抵抗素子利用のセンサ)であ
り、スケールには磁極を細かいピッチで配列したファイ
ン着磁部(磁気スケール)が採用される。
【0006】これらのスケール検出センサも可動子の適
当な位置に配置される。
当な位置に配置される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図5
中、図(B)に示すように、コイルの外面に磁気的情報
を検出するホール素子、MR素子等のセンサ類を設ける
ときは、センサとコイル中心部の固定子上の界磁マグネ
ット、磁気スケール等の磁気的情報提供部分との距離が
長くなるため、センサの感度が悪くなり、サンサ類の出
力信号パワーが小さくなる。そのため、信号の増幅が必
要になる。あるいは、増幅率を高くする必要が生じ、そ
の結果、ノイズの影響を受けやすくなるという問題があ
る。
中、図(B)に示すように、コイルの外面に磁気的情報
を検出するホール素子、MR素子等のセンサ類を設ける
ときは、センサとコイル中心部の固定子上の界磁マグネ
ット、磁気スケール等の磁気的情報提供部分との距離が
長くなるため、センサの感度が悪くなり、サンサ類の出
力信号パワーが小さくなる。そのため、信号の増幅が必
要になる。あるいは、増幅率を高くする必要が生じ、そ
の結果、ノイズの影響を受けやすくなるという問題があ
る。
【0008】図(C)に示すように、コイルの間に磁気
的情報を検出するセンサ類を設けるときは、それを固定
子上の磁気的情報提供部分の近くに配置できるため、セ
ンサ類の感度はよくなるが、コイルを間隔を開けて配置
するため、モータ自体が大形化し、また、コイルを間隔
をあけて保持する必要があるため、コイルを保持するコ
イルボビンの形状が複雑化及び(又は)大型化するとい
う問題がある。
的情報を検出するセンサ類を設けるときは、それを固定
子上の磁気的情報提供部分の近くに配置できるため、セ
ンサ類の感度はよくなるが、コイルを間隔を開けて配置
するため、モータ自体が大形化し、また、コイルを間隔
をあけて保持する必要があるため、コイルを保持するコ
イルボビンの形状が複雑化及び(又は)大型化するとい
う問題がある。
【0009】また、光学式エンコーダを採用する場合に
おいては、スケール検出センサを光学式スケールに直接
且つ近く臨ませて配置しなければならないので、光学式
スケールを固定子上に設けるときは、スケール検出セン
サをコイルの外面や間に配置することはできず、コイル
から外れた部分に設ける必要があり、そうすると、可動
子がそれだけ大型化、複雑化するといった問題が生じ
る。
おいては、スケール検出センサを光学式スケールに直接
且つ近く臨ませて配置しなければならないので、光学式
スケールを固定子上に設けるときは、スケール検出セン
サをコイルの外面や間に配置することはできず、コイル
から外れた部分に設ける必要があり、そうすると、可動
子がそれだけ大型化、複雑化するといった問題が生じ
る。
【0010】そこで本発明は、推進用界磁マグネットを
有する棒状の固定子と、前記界磁マグネットに外嵌する
電機子コイルを有する可動子とを備え、前記電機子コイ
ルが前記固定子に外嵌するボビン上に設けられていると
ともに筒形の可動子ヨーク内に納められているリニアモ
ータであって、可動子をコンパクトに形成でき、しか
も、固定子上のモータ運転に用いる情報を検出するセン
サ類を該情報を感度よく、高精度で検出できる位置に配
置できるリニアモータを提供することを課題とする。
有する棒状の固定子と、前記界磁マグネットに外嵌する
電機子コイルを有する可動子とを備え、前記電機子コイ
ルが前記固定子に外嵌するボビン上に設けられていると
ともに筒形の可動子ヨーク内に納められているリニアモ
ータであって、可動子をコンパクトに形成でき、しか
も、固定子上のモータ運転に用いる情報を検出するセン
サ類を該情報を感度よく、高精度で検出できる位置に配
置できるリニアモータを提供することを課題とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
本発明は、一つには、推進用界磁マグネットを有する棒
状の固定子と、前記界磁マグネットに外嵌する電機子コ
イルを有する可動子とを備え、前記電機子コイルが前記
固定子に外嵌するボビン上に設けられているとともに筒
形の可動子ヨーク内に納められているリニアモータにお
いて、前記ボビンに、前記固定子上の磁気的情報を検出
させるセンサを前記固定子に近づけて配置するための薄
肉部を部分的に形成し、該薄肉部に該センサを取り付け
たことを特徴とするリニアモータを提供する。
本発明は、一つには、推進用界磁マグネットを有する棒
状の固定子と、前記界磁マグネットに外嵌する電機子コ
イルを有する可動子とを備え、前記電機子コイルが前記
固定子に外嵌するボビン上に設けられているとともに筒
形の可動子ヨーク内に納められているリニアモータにお
いて、前記ボビンに、前記固定子上の磁気的情報を検出
させるセンサを前記固定子に近づけて配置するための薄
肉部を部分的に形成し、該薄肉部に該センサを取り付け
たことを特徴とするリニアモータを提供する。
【0012】このモータにおいては、前記センサとの配
線接続のために前記薄肉部からボビン端面(可動子移動
方向におけるボビン端面)まで連通する配線用部を前記
ボビンに形成してもよい。この場合、配線用部として
は、ボビンに形成した溝、透孔、これらの組み合わせ等
が考えられる。また、かかる「薄肉部」は、ボビン表面
を断面形状においてD字状等に削り取ったような態様の
もの、ボビンに溝、凹部等を設けて形成したもの、これ
らの組み合わせ等種々の態様のものが考えられる。また
該薄肉部を形成するための凹部や溝等は、ボビンの電機
子コイル側の外周面に形成されていても、固定子に対向
する内周面に形成されていても、これら双方に形成され
ていてもよい。
線接続のために前記薄肉部からボビン端面(可動子移動
方向におけるボビン端面)まで連通する配線用部を前記
ボビンに形成してもよい。この場合、配線用部として
は、ボビンに形成した溝、透孔、これらの組み合わせ等
が考えられる。また、かかる「薄肉部」は、ボビン表面
を断面形状においてD字状等に削り取ったような態様の
もの、ボビンに溝、凹部等を設けて形成したもの、これ
らの組み合わせ等種々の態様のものが考えられる。また
該薄肉部を形成するための凹部や溝等は、ボビンの電機
子コイル側の外周面に形成されていても、固定子に対向
する内周面に形成されていても、これら双方に形成され
ていてもよい。
【0013】また、本発明は、前記課題を解決するた
め、もう一つには、推進用界磁マグネットを有する棒状
の固定子と、前記界磁マグネットに外嵌する電機子コイ
ルを有する可動子とを備え、前記電機子コイルが前記固
定子に外嵌するボビン上に設けられているとともに筒形
の可動子ヨーク内に納められているリニアモータにおい
て、前記ボビンに、前記固定子上の磁気的情報を検出さ
せるセンサ及び(又は)光学的情報を検出させるセンサ
を前記固定子に近づけて直接臨ませるように配置するた
めの透孔部を部分的に形成し、該透孔部に該センサを取
り付けたことを特徴とするリニアモータを提供する。
め、もう一つには、推進用界磁マグネットを有する棒状
の固定子と、前記界磁マグネットに外嵌する電機子コイ
ルを有する可動子とを備え、前記電機子コイルが前記固
定子に外嵌するボビン上に設けられているとともに筒形
の可動子ヨーク内に納められているリニアモータにおい
て、前記ボビンに、前記固定子上の磁気的情報を検出さ
せるセンサ及び(又は)光学的情報を検出させるセンサ
を前記固定子に近づけて直接臨ませるように配置するた
めの透孔部を部分的に形成し、該透孔部に該センサを取
り付けたことを特徴とするリニアモータを提供する。
【0014】このモータにおいても、前記センサとの配
線接続のために前記透孔部からボビン端面(可動子移動
方向におけるボビン端面)まで連通する配線用部を前記
ボビンに形成してもよい。この場合も、配線用部として
は、ボビンに形成した溝、透孔、これらの組み合わせ等
が考えられる。なお、本発明に係る前記いずれのリニア
モータにおいても、前記ボビンには、前記薄肉部と透孔
部とを設け、これらにセンサ類を設置してもよい。
線接続のために前記透孔部からボビン端面(可動子移動
方向におけるボビン端面)まで連通する配線用部を前記
ボビンに形成してもよい。この場合も、配線用部として
は、ボビンに形成した溝、透孔、これらの組み合わせ等
が考えられる。なお、本発明に係る前記いずれのリニア
モータにおいても、前記ボビンには、前記薄肉部と透孔
部とを設け、これらにセンサ類を設置してもよい。
【0015】本発明に係るいずれのモータについても、
より具体的なものの例として、前記固定子が前記推進用
界磁マグネット、及び磁気方式エンコーダのスケール検
出センサに検出させるファイン着磁部を備え、前記可動
子におけるボビンが、該ボビンに形成した前記薄肉部、
或いは前記透孔部に、或いはかかる薄肉部及び透孔部
に、コイル通電制御用のホール素子等の位置検出センサ
及び前記エンコーダのMR素子等によるスケール検出セ
ンサ(磁気センサ)を備えているリニアモータを挙げる
ことができる。
より具体的なものの例として、前記固定子が前記推進用
界磁マグネット、及び磁気方式エンコーダのスケール検
出センサに検出させるファイン着磁部を備え、前記可動
子におけるボビンが、該ボビンに形成した前記薄肉部、
或いは前記透孔部に、或いはかかる薄肉部及び透孔部
に、コイル通電制御用のホール素子等の位置検出センサ
及び前記エンコーダのMR素子等によるスケール検出セ
ンサ(磁気センサ)を備えているリニアモータを挙げる
ことができる。
【0016】また、ボビンにセンサ設置用の透孔部を設
けたリニアモータについては、より具体的なものの例と
して、前記固定子が光学式エンコーダのスケール検出セ
ンサに検出させる光学式スケールを備え、前記可動子に
おけるボビンが、該ボビンに形成した前記透孔部に該ス
ケール検出センサを備えているリニアモータを挙げるこ
とができる。
けたリニアモータについては、より具体的なものの例と
して、前記固定子が光学式エンコーダのスケール検出セ
ンサに検出させる光学式スケールを備え、前記可動子に
おけるボビンが、該ボビンに形成した前記透孔部に該ス
ケール検出センサを備えているリニアモータを挙げるこ
とができる。
【0017】また、本発明のいずれのリニアモータにお
いても、前記固定子が機械加工可能且つ着磁可能の材料
から形成した棒状部材を含み、該棒状部材に少なくとも
推進用界磁マグネットを形成するための着磁を施し、或
いはさらにエンコーダのスケール検出センサによる検出
のためのファイン着磁部(磁気スケール)又は光学式ス
ケールを設けたものでもよい。
いても、前記固定子が機械加工可能且つ着磁可能の材料
から形成した棒状部材を含み、該棒状部材に少なくとも
推進用界磁マグネットを形成するための着磁を施し、或
いはさらにエンコーダのスケール検出センサによる検出
のためのファイン着磁部(磁気スケール)又は光学式ス
ケールを設けたものでもよい。
【0018】このような固定子を採用すると、棒状固定
子表面を平滑化して可動子をそれだけ負荷少なく円滑に
移動させることができる。また、固定子の構造を簡素化
できる。
子表面を平滑化して可動子をそれだけ負荷少なく円滑に
移動させることができる。また、固定子の構造を簡素化
できる。
【0019】
【作用】本発明のリニアモータによると、電機子コイル
に制御下に通電することで可動子が固定子に沿って移動
できる。固定子上の磁気的情報を検出する可動子上のセ
ンサは、可動子のボビンにおける薄肉部、或いは透孔
部、或いは薄肉部及び透孔部に設置できるので、該セン
サと固定子上の磁気的情報提供部分の距離を短くでき、
それだけ該センサは感度よく、高精度で磁気的情報を検
出することができる。そしてセンサをボビンにおける薄
肉部、或いは透孔部、或いは薄肉部及び透孔部に設置で
きるので、電機子コイルを構成するコイルを間を詰めて
ボビン上に設けることができ、それだけ可動子、ひいて
はモータの小形化、コンパト化が達成される。
に制御下に通電することで可動子が固定子に沿って移動
できる。固定子上の磁気的情報を検出する可動子上のセ
ンサは、可動子のボビンにおける薄肉部、或いは透孔
部、或いは薄肉部及び透孔部に設置できるので、該セン
サと固定子上の磁気的情報提供部分の距離を短くでき、
それだけ該センサは感度よく、高精度で磁気的情報を検
出することができる。そしてセンサをボビンにおける薄
肉部、或いは透孔部、或いは薄肉部及び透孔部に設置で
きるので、電機子コイルを構成するコイルを間を詰めて
ボビン上に設けることができ、それだけ可動子、ひいて
はモータの小形化、コンパト化が達成される。
【0020】また、可動子に固定子上の光学的情報を検
出するセンサを設けるときは、該センサを可動子のボビ
ンにおける透孔部に設置して光学的情報提供部分に直接
臨ませ、且つ、十分近づけることができるので、該セン
サは感度よく、高精度で光学的情報を検出することがで
きる。そして可動子、ひいてはモータの小形化、コンパ
ト化も達成される。
出するセンサを設けるときは、該センサを可動子のボビ
ンにおける透孔部に設置して光学的情報提供部分に直接
臨ませ、且つ、十分近づけることができるので、該セン
サは感度よく、高精度で光学的情報を検出することがで
きる。そして可動子、ひいてはモータの小形化、コンパ
ト化も達成される。
【0021】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。図1は本発明に係るリニアモータの1例の斜視図
である。このモータLDMは棒状の固定子1とこれに外
嵌する可動子2を含んでいる。固定子1は機械加工可能
且つ着磁可能の材料から表面平滑に形成した棒状部材1
0に、推進用界磁マグネット11とファイン着磁部(磁
気スケール)12とを形成したものである。界磁マグネ
ット11は棒状部材10の表面にN極とS極とを棒状部
材長手方向に交互に着磁して形成してあり、ファイン着
磁部12は棒状部材10の表面にN極とS極とを細かい
ピッチで交互に部材長手方向に着磁して形成してある。
可動子2は固定子1に外嵌して該固定子1に沿って往復
動できるコイルボビン21を含む。このボビンは図5
(A)に示すボビンと基本形態を同じくするもので、円
筒部21aの両端にフランジ21bを有するものであ
る。
する。図1は本発明に係るリニアモータの1例の斜視図
である。このモータLDMは棒状の固定子1とこれに外
嵌する可動子2を含んでいる。固定子1は機械加工可能
且つ着磁可能の材料から表面平滑に形成した棒状部材1
0に、推進用界磁マグネット11とファイン着磁部(磁
気スケール)12とを形成したものである。界磁マグネ
ット11は棒状部材10の表面にN極とS極とを棒状部
材長手方向に交互に着磁して形成してあり、ファイン着
磁部12は棒状部材10の表面にN極とS極とを細かい
ピッチで交互に部材長手方向に着磁して形成してある。
可動子2は固定子1に外嵌して該固定子1に沿って往復
動できるコイルボビン21を含む。このボビンは図5
(A)に示すボビンと基本形態を同じくするもので、円
筒部21aの両端にフランジ21bを有するものであ
る。
【0022】ボビン22の円筒部21aの外周には電機
子コイル22が設けられており、このコイル22は円筒
形の可動子ヨーク23に囲繞されている。電機子コイル
22は、後ほど説明するように、3相駆動方式にてモー
タ運転を行えるように、電気角にして2π/3ずつずら
した位置(2π/3ずれた位置と同位相の位置でもよ
い)に配置したu相、v相、w相の3相のコイルからな
っている。これらコイルは間を詰めて隙間なく配列され
ている。
子コイル22が設けられており、このコイル22は円筒
形の可動子ヨーク23に囲繞されている。電機子コイル
22は、後ほど説明するように、3相駆動方式にてモー
タ運転を行えるように、電気角にして2π/3ずつずら
した位置(2π/3ずれた位置と同位相の位置でもよ
い)に配置したu相、v相、w相の3相のコイルからな
っている。これらコイルは間を詰めて隙間なく配列され
ている。
【0023】u相のコイルに対し、位置検出素子として
ホール素子huが、同じくv相コイルについてホール素
子hvが、w相コイルについてホール素子hwがそれぞ
れ設けられている。また、ファイン着磁部12からの磁
気的情報を読み取る磁気センサ43aも設けてある。こ
の磁気センサ43aはMR素子と呼ばれている磁気抵抗
素子利用のセンサであり、後述するエンコーダの一構成
要素である。
ホール素子huが、同じくv相コイルについてホール素
子hvが、w相コイルについてホール素子hwがそれぞ
れ設けられている。また、ファイン着磁部12からの磁
気的情報を読み取る磁気センサ43aも設けてある。こ
の磁気センサ43aはMR素子と呼ばれている磁気抵抗
素子利用のセンサであり、後述するエンコーダの一構成
要素である。
【0024】各ホール素子hu、hv、hwは、ボビン
21の円筒部21aの表面に各相のコイルの配列方向
(可動子移動方向)に長く形成した溝211により提供
されるその底部の薄肉部211aに、該溝内に配設され
る状態で設けられている。なお、溝211は界磁マグネ
ット11に対応する位置で設けられている。溝211は
一方のボビンフランジ21bまで達し、該フランジに形
成した透孔21cに連通している。各ホール素子との配
線L1はこの溝に配置され、透孔21cから引き出さ
れ、図示しない回路に接続される。すなわち、溝211
は配線用部の一部を兼ね、これと透孔21cは配線用部
を提供している。
21の円筒部21aの表面に各相のコイルの配列方向
(可動子移動方向)に長く形成した溝211により提供
されるその底部の薄肉部211aに、該溝内に配設され
る状態で設けられている。なお、溝211は界磁マグネ
ット11に対応する位置で設けられている。溝211は
一方のボビンフランジ21bまで達し、該フランジに形
成した透孔21cに連通している。各ホール素子との配
線L1はこの溝に配置され、透孔21cから引き出さ
れ、図示しない回路に接続される。すなわち、溝211
は配線用部の一部を兼ね、これと透孔21cは配線用部
を提供している。
【0025】一方磁気センサ43aは、コイルボビン円
筒部21aの表面に形成した凹部212により提供され
るその底部の薄肉部212aに、該凹部内に設置される
状態で設けられている。なお、凹部212はファイン着
磁部12に対応する位置で設けられている。ボビン21
には、一方のフランジ21bに設けた透孔21dからこ
の凹部212に連通する透孔21eを設けてあり、ここ
にセンサ43aとの配線が配置されている。すなわち、
透孔21d、21eは配線用部である。
筒部21aの表面に形成した凹部212により提供され
るその底部の薄肉部212aに、該凹部内に設置される
状態で設けられている。なお、凹部212はファイン着
磁部12に対応する位置で設けられている。ボビン21
には、一方のフランジ21bに設けた透孔21dからこ
の凹部212に連通する透孔21eを設けてあり、ここ
にセンサ43aとの配線が配置されている。すなわち、
透孔21d、21eは配線用部である。
【0026】以上説明したリニアモータLDMは、可動
子2の電機子コイル22に、後ほど説明するように制御
下に通電されることで推力が発生し、可動子2が固定子
1に沿って駆動される。このリニアモータでは、固定子
1上の界磁マグネット11からの磁束の大きさと向きを
検出するホール素子hu、hv、hwが薄肉部211a
に設けられているので、それらホール素子と界磁マグネ
ット11との距離が短く、従って該ホール素子は感度よ
く、正確に磁気的情報を読み取ることができ、それだけ
モータ運転が精度よく行われる。
子2の電機子コイル22に、後ほど説明するように制御
下に通電されることで推力が発生し、可動子2が固定子
1に沿って駆動される。このリニアモータでは、固定子
1上の界磁マグネット11からの磁束の大きさと向きを
検出するホール素子hu、hv、hwが薄肉部211a
に設けられているので、それらホール素子と界磁マグネ
ット11との距離が短く、従って該ホール素子は感度よ
く、正確に磁気的情報を読み取ることができ、それだけ
モータ運転が精度よく行われる。
【0027】また磁気センサ43aも薄肉部212aに
設けられていてファイン着磁部12に近いので、このセ
ンサ43aもファイン着磁部12からの磁気的情報を感
度よく、ノイズの少ない状態で高精度に読み取ることが
でき、この点でもモータ運転の精度が向上する。しか
も、ホール素子hu、hv、hwや磁気センサ43aを
設けてあるにもかかわらず、電機子コイル22の各相コ
イル間に間隙を設けていないので、可動子2が、ひいて
はモータLDM全体がコンパクト化、小形化されてい
る。
設けられていてファイン着磁部12に近いので、このセ
ンサ43aもファイン着磁部12からの磁気的情報を感
度よく、ノイズの少ない状態で高精度に読み取ることが
でき、この点でもモータ運転の精度が向上する。しか
も、ホール素子hu、hv、hwや磁気センサ43aを
設けてあるにもかかわらず、電機子コイル22の各相コ
イル間に間隙を設けていないので、可動子2が、ひいて
はモータLDM全体がコンパクト化、小形化されてい
る。
【0028】次に図2に示すリニアモータLDMについ
て説明する。このリニアモータでは、図1のモータにお
けるコイルボビン21上の溝211及び凹部212に代
えて、ボビン円筒部21aの外周面を断面形状にして略
D字状に切除してあり、これにより、ホール素子を界磁
マグネット11の近くに配置するための薄肉部213及
び磁気センサ43aをファイン着磁部12の近くに配置
するための薄肉部214を設けてあり、一方の薄肉部2
13にはホール素子hu、hv、hwを、他方の薄肉部
214には磁気センサ43aを設置してある。なお、図
面には示していないが、薄肉部213、214をボビン
フランジ21bまで延ばして配線用部としてある。その
他の点は図1のモータと同構成であり、図1のモータと
同じ部品には同じ参照符号を付してある。
て説明する。このリニアモータでは、図1のモータにお
けるコイルボビン21上の溝211及び凹部212に代
えて、ボビン円筒部21aの外周面を断面形状にして略
D字状に切除してあり、これにより、ホール素子を界磁
マグネット11の近くに配置するための薄肉部213及
び磁気センサ43aをファイン着磁部12の近くに配置
するための薄肉部214を設けてあり、一方の薄肉部2
13にはホール素子hu、hv、hwを、他方の薄肉部
214には磁気センサ43aを設置してある。なお、図
面には示していないが、薄肉部213、214をボビン
フランジ21bまで延ばして配線用部としてある。その
他の点は図1のモータと同構成であり、図1のモータと
同じ部品には同じ参照符号を付してある。
【0029】このモータについても、薄肉部213、2
14へのホール素子及び磁気センサの設置により図1の
モータと同様に固定子1上の磁気的情報をこれらセンサ
により感度よく、高精度に読み取ることができる。次に
図3に示すリニアモータLDMについて説明する。この
モータは、図1のモータにおける固定子1の磁気スケー
ル12に代えて光学式スケール13を設けてあるととも
に、可動子2には磁気センサ43aに代えて光学式セン
サ43bを設けてある。これらにより光学式エンコーダ
が提供されている。
14へのホール素子及び磁気センサの設置により図1の
モータと同様に固定子1上の磁気的情報をこれらセンサ
により感度よく、高精度に読み取ることができる。次に
図3に示すリニアモータLDMについて説明する。この
モータは、図1のモータにおける固定子1の磁気スケー
ル12に代えて光学式スケール13を設けてあるととも
に、可動子2には磁気センサ43aに代えて光学式セン
サ43bを設けてある。これらにより光学式エンコーダ
が提供されている。
【0030】光学式スケール13にはセンサ43bに読
み取らせるための信号が付けてある。それはここでは微
小ピッチで凹凸をつけることで光反射率を変えたもので
あるが、このほか、微小ピッチで表面粗さを変える、塗
料を塗る等の方法で信号を付したものなどでもよい。光
学式センサ43bはこれらの信号を読み取るものであれ
ば特に制限はない。
み取らせるための信号が付けてある。それはここでは微
小ピッチで凹凸をつけることで光反射率を変えたもので
あるが、このほか、微小ピッチで表面粗さを変える、塗
料を塗る等の方法で信号を付したものなどでもよい。光
学式センサ43bはこれらの信号を読み取るものであれ
ば特に制限はない。
【0031】また、このモータにおいては、ホール素子
hu、hv、hwはボビン円筒部21aに設けた透孔部
215に設置されており、これにより界磁マグネット1
1の近くに、且つ、直接対向するように配置されてい
る。従って、ホール素子hu、hv、hwによる界磁マ
グネット11の磁束の大きさと向きの検出は図1のモー
タにおける場合と同様に感度よく行われる。
hu、hv、hwはボビン円筒部21aに設けた透孔部
215に設置されており、これにより界磁マグネット1
1の近くに、且つ、直接対向するように配置されてい
る。従って、ホール素子hu、hv、hwによる界磁マ
グネット11の磁束の大きさと向きの検出は図1のモー
タにおける場合と同様に感度よく行われる。
【0032】また、光学式センサ43bはボビン円筒部
21aに設けた透孔部216に設置され、これにより、
光学式スケール13に接近して、直接対面しており、そ
のため、センサ43bによるスケール13の読み取りを
感度よく高精度で行うことができる。これらによりモー
タ運転の精度が向上する。また、モータのコンパクト
化、小形化も達成される。
21aに設けた透孔部216に設置され、これにより、
光学式スケール13に接近して、直接対面しており、そ
のため、センサ43bによるスケール13の読み取りを
感度よく高精度で行うことができる。これらによりモー
タ運転の精度が向上する。また、モータのコンパクト
化、小形化も達成される。
【0033】その他の基本構成は図1のモータと同様で
あり、図1のモータと同部品には同じ参照符号を付して
ある。次に、前記のリニアモータLDMの運転制御につ
いて説明する。既述のとおり、固定子1の界磁マグネッ
ト11はN極、S極を一周期とする正弦波の磁束密度の
分布を持つように着磁してある。また、既述のとおり、
可動子2の電機子コイル22は電気角で2π/3ずつず
らした位置(なお、2π/3ずれた位置と同位相の位置
でもよい)に配置した3相のコイルu、v、wからなっ
ており、また、可動子2にはホール素子hu、hv、h
wを配設してある。このホール素子は、本例ではその位
置での界磁マグネット11の磁束の大きさと向きを検知
する。そしてこれらホール素子が感知した磁束の大きさ
と向きに対応する大きさと向きの電流をコイルに通電す
ることでモータLDMが運転されるのである。
あり、図1のモータと同部品には同じ参照符号を付して
ある。次に、前記のリニアモータLDMの運転制御につ
いて説明する。既述のとおり、固定子1の界磁マグネッ
ト11はN極、S極を一周期とする正弦波の磁束密度の
分布を持つように着磁してある。また、既述のとおり、
可動子2の電機子コイル22は電気角で2π/3ずつず
らした位置(なお、2π/3ずれた位置と同位相の位置
でもよい)に配置した3相のコイルu、v、wからなっ
ており、また、可動子2にはホール素子hu、hv、h
wを配設してある。このホール素子は、本例ではその位
置での界磁マグネット11の磁束の大きさと向きを検知
する。そしてこれらホール素子が感知した磁束の大きさ
と向きに対応する大きさと向きの電流をコイルに通電す
ることでモータLDMが運転されるのである。
【0034】すなわち、ここではいわゆる3相駆動方式
が採用され、120度ずつ位相のずれた信号をコイルに
入力し、結果的に可動子2の位置に関係なく一定推力を
得るようにしてある。また、ここでは、前記3相駆動方
式を採用するとともに、可動子2を目標速度で駆動する
ために、一般にPLLと呼ばれている位相同期制御方式
を採用している。
が採用され、120度ずつ位相のずれた信号をコイルに
入力し、結果的に可動子2の位置に関係なく一定推力を
得るようにしてある。また、ここでは、前記3相駆動方
式を採用するとともに、可動子2を目標速度で駆動する
ために、一般にPLLと呼ばれている位相同期制御方式
を採用している。
【0035】図4(A)にモータLDMの運転制御のた
めの電気回路の概略ブロック図を、図4(B)に位相同
期制御方式による速度制御回路を含む運転制御回路の要
部を示す。図4(A)及び図4(B)において、41は
直流電源、42は前記のホール素子等を含む通電制御回
路部、43は可動子7の移動速度を検出するエンコーダ
であり、これにはスケール検出センサが含まれている。
44は位相同期制御方式による速度制御部である。エン
コーダ43は、図1、図2に示すモータについては、可
動子2上の磁気センサ43aが固定子1上のファイン着
磁部12の磁気を読み取る磁気方式のエンコーダであ
り、図3に示すモータでは、可動子2上の光学式センサ
43bが固定子1上の光学式スケール13からの光学的
情報を読み取る光学方式のエンコーダである。
めの電気回路の概略ブロック図を、図4(B)に位相同
期制御方式による速度制御回路を含む運転制御回路の要
部を示す。図4(A)及び図4(B)において、41は
直流電源、42は前記のホール素子等を含む通電制御回
路部、43は可動子7の移動速度を検出するエンコーダ
であり、これにはスケール検出センサが含まれている。
44は位相同期制御方式による速度制御部である。エン
コーダ43は、図1、図2に示すモータについては、可
動子2上の磁気センサ43aが固定子1上のファイン着
磁部12の磁気を読み取る磁気方式のエンコーダであ
り、図3に示すモータでは、可動子2上の光学式センサ
43bが固定子1上の光学式スケール13からの光学的
情報を読み取る光学方式のエンコーダである。
【0036】図4(B)において、45はモータLDM
の所定の動作を指示するとともに、位相同期制御部49
に基準クロック信号を出力するマイクロコンピュータ、
46はコンピュータ45の入出力ポート、47は増幅
器、48はスイッチング部、49は前記の位相同期制御
部、50は補償回路、51は増幅回路である。図4に示
す制御回路によると、コンピュータ45から目的とする
速度に応じた基準クロック信号が位相同期制御部49に
入力されるとともに、エンコーダ43から可動子2の移
動速度信号が制御部49にフィードバック入力される。
位相同期制御部49は、基準クロックのパルスとエンコ
ーダ43からのフィードバック信号のパルスの周波数と
位相の差に応じた信号を出力し、補償回路50で伝達系
の進み遅れ補償を行い、その出力電圧をホール素子の基
準入力電圧とする。ホール素子は既述のとおり、それが
ある位置での磁束の大きさと向きに対応する電圧を出力
するが、その出力電圧は基準入力電圧に比例する特性を
持っている。従って、基準クロック信号とフィードバッ
ク信号の差に応じた出力電圧がホール素子から出力され
ることになる。ホール素子からの出力電圧は増幅回路5
1により比例増幅され、電機子コイルに通電される。以
上により、基準クロックのパルスとフィードバック信号
のパルスの周波数と位相を合わせる、換言すれば、可動
子2の目標速度と一致するようにモータLDMが運転さ
れる。
の所定の動作を指示するとともに、位相同期制御部49
に基準クロック信号を出力するマイクロコンピュータ、
46はコンピュータ45の入出力ポート、47は増幅
器、48はスイッチング部、49は前記の位相同期制御
部、50は補償回路、51は増幅回路である。図4に示
す制御回路によると、コンピュータ45から目的とする
速度に応じた基準クロック信号が位相同期制御部49に
入力されるとともに、エンコーダ43から可動子2の移
動速度信号が制御部49にフィードバック入力される。
位相同期制御部49は、基準クロックのパルスとエンコ
ーダ43からのフィードバック信号のパルスの周波数と
位相の差に応じた信号を出力し、補償回路50で伝達系
の進み遅れ補償を行い、その出力電圧をホール素子の基
準入力電圧とする。ホール素子は既述のとおり、それが
ある位置での磁束の大きさと向きに対応する電圧を出力
するが、その出力電圧は基準入力電圧に比例する特性を
持っている。従って、基準クロック信号とフィードバッ
ク信号の差に応じた出力電圧がホール素子から出力され
ることになる。ホール素子からの出力電圧は増幅回路5
1により比例増幅され、電機子コイルに通電される。以
上により、基準クロックのパルスとフィードバック信号
のパルスの周波数と位相を合わせる、換言すれば、可動
子2の目標速度と一致するようにモータLDMが運転さ
れる。
【0037】
【発明の効果】以上説明したように本発明によると、推
進用界磁マグネットを有する棒状の固定子と、前記界磁
マグネットに外嵌する電機子コイルを有する可動子とを
備え、前記電機子コイルが前記固定子に外嵌するボビン
上に設けられているとともに筒形の可動子ヨーク内に納
められているリニアモータであって、可動子をコンパク
トに形成でき、しかも、固定子上のモータ運転に用いる
情報を検出するセンサ類を該情報を感度よく、高精度で
検出できる位置に配置できるリニアモータを提供するこ
とができる。
進用界磁マグネットを有する棒状の固定子と、前記界磁
マグネットに外嵌する電機子コイルを有する可動子とを
備え、前記電機子コイルが前記固定子に外嵌するボビン
上に設けられているとともに筒形の可動子ヨーク内に納
められているリニアモータであって、可動子をコンパク
トに形成でき、しかも、固定子上のモータ運転に用いる
情報を検出するセンサ類を該情報を感度よく、高精度で
検出できる位置に配置できるリニアモータを提供するこ
とができる。
【図1】本発明の1実施例の概略斜視図である。
【図2】本発明の他の実施例の固定子に垂直な断面図で
ある。
ある。
【図3】本発明のさらに他の実施例の固定子長手方向に
沿う断面図である
沿う断面図である
【図4】図(A)は本発明に係るリニアモータの運転制
御回路の概略を示すブロック図、図(B)は位相同期制
御方式の速度制御回路を含む運転制御回路の要部を示す
図である。
御回路の概略を示すブロック図、図(B)は位相同期制
御方式の速度制御回路を含む運転制御回路の要部を示す
図である。
【図5】図(A)は従来のリニアモータにおいて電機子
コイルを設けるボビンの斜視図、図(B)はリニアモー
タの従来例の概略斜視図、図(C)はリニアモータの他
の従来例の概略斜視図である。
コイルを設けるボビンの斜視図、図(B)はリニアモー
タの従来例の概略斜視図、図(C)はリニアモータの他
の従来例の概略斜視図である。
LDM リニアモータ 1 固定子 11 界磁マグネット 12 ファイン着磁部(磁気スケール) 13 光学式スケール 2 可動子 21 コイルボビン 21a ボビン21の円筒部 21b ボビン21のフランジ部 21c、21d フランジ部の透孔 211 溝 211a 薄肉部 212 凹部 212a 薄肉部 213、214 薄肉部 215、216 透孔部 22 電機子コイル u、v、w 電機子コイル22を形成する3相のコイル hu、hv、hw ホール素子 23 筒形可動子ヨーク 43a 磁気センサ 43b 光学式センサ L1、L2 配線
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松本 安弘 大阪市中央区安土町二丁目3番13号 大阪 国際ビルミノルタ株式会社内 (72)発明者 難波 克宏 大阪市中央区安土町二丁目3番13号 大阪 国際ビルミノルタ株式会社内
Claims (4)
- 【請求項1】 推進用界磁マグネットを有する棒状の固
定子と、前記界磁マグネットに外嵌する電機子コイルを
有する可動子とを備え、前記電機子コイルが前記固定子
に外嵌するボビン上に設けられているとともに筒形の可
動子ヨーク内に納められているリニアモータにおいて、
前記ボビンに、前記固定子上の磁気的情報を検出させる
センサを前記固定子に近づけて配置するための薄肉部を
部分的に形成し、該薄肉部に該センサを取り付けたこと
を特徴とするリニアモータ。 - 【請求項2】 前記センサとの配線接続のために前記薄
肉部からボビン端面まで連通する配線用部を前記ボビン
に形成した請求項1記載のリニアモータ。 - 【請求項3】 推進用界磁マグネットを有する棒状の固
定子と、前記界磁マグネットに外嵌する電機子コイルを
有する可動子とを備え、前記電機子コイルが前記固定子
に外嵌するボビン上に設けられているとともに筒形の可
動子ヨーク内に納められているリニアモータにおいて、
前記ボビンに、前記固定子上の磁気的情報を検出させる
センサ及び(又は)光学的情報を検出させるセンサを前
記固定子に近づけて直接臨ませるように配置するための
透孔部を部分的に形成し、該透孔部に該センサを取り付
けたことを特徴とするリニアモータ。 - 【請求項4】 前記センサとの配線接続のために前記透
孔部からボビン端面まで連通する配線用部を前記ボビン
に形成した請求項3記載のリニアモータ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7075613A JPH08275498A (ja) | 1995-03-31 | 1995-03-31 | リニアモータ |
| US08/624,083 US5872407A (en) | 1995-03-31 | 1996-03-29 | Linear motor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7075613A JPH08275498A (ja) | 1995-03-31 | 1995-03-31 | リニアモータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08275498A true JPH08275498A (ja) | 1996-10-18 |
Family
ID=13581246
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7075613A Withdrawn JPH08275498A (ja) | 1995-03-31 | 1995-03-31 | リニアモータ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5872407A (ja) |
| JP (1) | JPH08275498A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005148057A (ja) * | 2003-10-20 | 2005-06-09 | Daicel Chem Ind Ltd | 高速引張試験機 |
| JP2008236818A (ja) * | 2007-03-16 | 2008-10-02 | Yaskawa Electric Corp | θZアクチュエータ |
| JP2011147333A (ja) * | 2010-01-15 | 2011-07-28 | Maxon Motor Ag | リニアドライブ |
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