JPH08287444A - 磁気ディスク装置 - Google Patents
磁気ディスク装置Info
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- JPH08287444A JPH08287444A JP9122095A JP9122095A JPH08287444A JP H08287444 A JPH08287444 A JP H08287444A JP 9122095 A JP9122095 A JP 9122095A JP 9122095 A JP9122095 A JP 9122095A JP H08287444 A JPH08287444 A JP H08287444A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】ＭＲ素子を搭載した磁気ディスク装置におい
て、磁気ヘッドが磁気ディスク表面と接触した時にＭＲ
素子に発生する熱ノイズ（サーマル・アスピリティ）を
抑制する。 【構成】磁気ヘッド１の薄膜磁気ヘッド部１２のスライ
ダレール面４２に対し、ＭＲ素子５のトラック幅部の周
りを囲む様に凸部形状である丘８として加工され、この
丘８の高さを５ｎｍ以上にすると、磁気ヘッド１と磁気
ディスク２の接触において、接触熱がＭＲ素子５に影響
を与えにくくなる。これによりＭＲ素子５の抵抗は変化
せず、再生波形への熱ノイズの影響が抑制される。
て、磁気ヘッドが磁気ディスク表面と接触した時にＭＲ
素子に発生する熱ノイズ（サーマル・アスピリティ）を
抑制する。 【構成】磁気ヘッド１の薄膜磁気ヘッド部１２のスライ
ダレール面４２に対し、ＭＲ素子５のトラック幅部の周
りを囲む様に凸部形状である丘８として加工され、この
丘８の高さを５ｎｍ以上にすると、磁気ヘッド１と磁気
ディスク２の接触において、接触熱がＭＲ素子５に影響
を与えにくくなる。これによりＭＲ素子５の抵抗は変化
せず、再生波形への熱ノイズの影響が抑制される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスク装置に関
し、特に、高密度記録を実現する手段として磁気ディス
クに記録された信号再生用の磁気ヘッドとして磁気抵抗
効果型素子（以下ＭＲ素子と略称する）を搭載した磁気
ヘッドを有する磁気ディスク装置に関する。
し、特に、高密度記録を実現する手段として磁気ディス
クに記録された信号再生用の磁気ヘッドとして磁気抵抗
効果型素子（以下ＭＲ素子と略称する）を搭載した磁気
ヘッドを有する磁気ディスク装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、磁気ディスクに記録された信号再
生用の磁気ヘッドとしては、広くインダクティブヘッド
が使われてきた。このインダクティブヘッドの再生出力
はコイル巻数と磁束の時間変化率に比例することが知ら
れている。現在磁気ディスク装置は高密度記録と小型化
が要求され、これを実現するためはビット面積の縮小、
装置の小型化に伴う相対速度の減少により、コイル巻数
の増加が必須となる。しかしこのことはインピーダンス
増加を伴いヘッドノイズ増加が問題となる。
生用の磁気ヘッドとしては、広くインダクティブヘッド
が使われてきた。このインダクティブヘッドの再生出力
はコイル巻数と磁束の時間変化率に比例することが知ら
れている。現在磁気ディスク装置は高密度記録と小型化
が要求され、これを実現するためはビット面積の縮小、
装置の小型化に伴う相対速度の減少により、コイル巻数
の増加が必須となる。しかしこのことはインピーダンス
増加を伴いヘッドノイズ増加が問題となる。
【０００３】そこで最近このヘッドノイズ対策として、
信号再生用にＭＲ素子を用いた磁気ヘッドの実用化の努
力がなされている。一般に、ＭＲ素子は素子の抵抗値が
素子に流れる電流と磁気ディスク上の媒体磁化のなす角
により変化する原理を利用している。このため、ＭＲ素
子はコイルが不要なだけでなく、再生感度が大きくま
た、再生出力が磁気ディスクと磁気ヘッドの相対速度に
依存しない特徴を有するので、次世代の磁気ヘッドとし
て期待されている。
信号再生用にＭＲ素子を用いた磁気ヘッドの実用化の努
力がなされている。一般に、ＭＲ素子は素子の抵抗値が
素子に流れる電流と磁気ディスク上の媒体磁化のなす角
により変化する原理を利用している。このため、ＭＲ素
子はコイルが不要なだけでなく、再生感度が大きくま
た、再生出力が磁気ディスクと磁気ヘッドの相対速度に
依存しない特徴を有するので、次世代の磁気ヘッドとし
て期待されている。
【０００４】しかしＭＲ素子は、素子又は素子周辺が磁
気ディスクに接触すると接触による発熱により、素子抵
抗値が増大し熱ノイズ（サーマル・アスピリティ）が発
生することが知られている。このことから磁気ディスク
表面の突起との接触、磁気ヘッドの低浮上化による磁気
ディスク表面との間歇接触、コンタクトレコーディング
での連続接触に於ては前記熱ノイズの発生が問題とな
る。
気ディスクに接触すると接触による発熱により、素子抵
抗値が増大し熱ノイズ（サーマル・アスピリティ）が発
生することが知られている。このことから磁気ディスク
表面の突起との接触、磁気ヘッドの低浮上化による磁気
ディスク表面との間歇接触、コンタクトレコーディング
での連続接触に於ては前記熱ノイズの発生が問題とな
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】したがって、本発明の
主な目的は、ＭＲ素子を用いた磁気ヘッドと磁気ディス
クを備えた磁気ディスク装置において、磁気ヘッドと磁
気ディスクとの間歇又は連続接触に起因する前記熱ノイ
ズを低減させることである。
主な目的は、ＭＲ素子を用いた磁気ヘッドと磁気ディス
クを備えた磁気ディスク装置において、磁気ヘッドと磁
気ディスクとの間歇又は連続接触に起因する前記熱ノイ
ズを低減させることである。
【０００６】本発明の具体的な目的は、有る程度小さな
突起との接触に対し前記熱ノイズが発生しないような、
または低浮上での接触に於て前記熱ノイズ発生を抑制さ
せるような磁気ヘッドのスライダレール面形状を与える
ことである。
突起との接触に対し前記熱ノイズが発生しないような、
または低浮上での接触に於て前記熱ノイズ発生を抑制さ
せるような磁気ヘッドのスライダレール面形状を与える
ことである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の基本的な特徴は、スライダと一体的に設けた
ＭＲ素子のトラック幅部が磁気ディスク表面の突起と直
接接触するのを防止する手段を設けることである。これ
は、後に詳述するが、本発明者らが、磁気ディスク表面
の突起に対するＭＲヘッドトラック幅位置と熱ノイズ発
生との関係を調べた結果、熱ノイズはＭＲ素子のトラッ
ク幅部が突起と直接接触した場合にのみ発生し、突起か
ら数ミクロン離れた位置での接触では熱ノイズは発生し
ないことを確認したことに基づく、新しい知見によるも
のである。
の本発明の基本的な特徴は、スライダと一体的に設けた
ＭＲ素子のトラック幅部が磁気ディスク表面の突起と直
接接触するのを防止する手段を設けることである。これ
は、後に詳述するが、本発明者らが、磁気ディスク表面
の突起に対するＭＲヘッドトラック幅位置と熱ノイズ発
生との関係を調べた結果、熱ノイズはＭＲ素子のトラッ
ク幅部が突起と直接接触した場合にのみ発生し、突起か
ら数ミクロン離れた位置での接触では熱ノイズは発生し
ないことを確認したことに基づく、新しい知見によるも
のである。
【０００８】上記課題を解決するための本発明の具体的
な特徴は、上記本発明の基本的な特徴における、スライ
ダと一体的に設けたＭＲ素子のトラック幅部が磁気ディ
スク表面の突起と直接接触するのを防止する手段とし
て、スライダの具体的形状、特に、ＭＲ素子周辺のスラ
イダの具体的形状に係わり、その一つは、スライダのＭ
Ｒ素子トラック幅部を凹形状にすることである。
な特徴は、上記本発明の基本的な特徴における、スライ
ダと一体的に設けたＭＲ素子のトラック幅部が磁気ディ
スク表面の突起と直接接触するのを防止する手段とし
て、スライダの具体的形状、特に、ＭＲ素子周辺のスラ
イダの具体的形状に係わり、その一つは、スライダのＭ
Ｒ素子トラック幅部を凹形状にすることである。
【０００９】本発明の他の具体的特徴は、スライダのＭ
Ｒ素子トラック幅部周辺を凸形状で囲むことである。
Ｒ素子トラック幅部周辺を凸形状で囲むことである。
【００１０】本発明のさらに他の具体的特徴は、スライ
ダのＭＲ素子トラック幅部の流出端側に凸形状を設ける
ことである。
ダのＭＲ素子トラック幅部の流出端側に凸形状を設ける
ことである。
【００１１】また上記各具体的特徴において、上記凹形
状又は凸形状の段差量は通常、５ｎｍないし５０ｎｍ程
度が望ましいことも判明した。
状又は凸形状の段差量は通常、５ｎｍないし５０ｎｍ程
度が望ましいことも判明した。
【００１２】
【作用】上記した本発明の基本的特徴によれば、スライ
ダと一体的に設けたＭＲ素子のトラック幅部が磁気ディ
スク表面の突起と直接接触することが防止できるので、
磁気ディスク面上の突起または直接磁気ディスク面と接
触した時に発生する熱ノイズが抑制できる。
ダと一体的に設けたＭＲ素子のトラック幅部が磁気ディ
スク表面の突起と直接接触することが防止できるので、
磁気ディスク面上の突起または直接磁気ディスク面と接
触した時に発生する熱ノイズが抑制できる。
【００１３】上記した本発明の具体的な諸特徴によれ
ば、スライダの、ＭＲ素子周辺の凹又は凸形状により、
ＭＲ素子の、トラック幅部が磁気ディスク表面の突起と
直接接触することが防止できるので、磁気ディスク面上
の突起または直接磁気ディスク面と接触した時に発生す
る熱ノイズが、簡単確実に抑制できる。
ば、スライダの、ＭＲ素子周辺の凹又は凸形状により、
ＭＲ素子の、トラック幅部が磁気ディスク表面の突起と
直接接触することが防止できるので、磁気ディスク面上
の突起または直接磁気ディスク面と接触した時に発生す
る熱ノイズが、簡単確実に抑制できる。
【００１４】
【実施例】以下図面を参照しながら実施例を説明する。
図１は本発明を適用する磁気ディスク装置において、磁
気ヘッド１と磁気ディスク２の関係を側面から見た断面
図である。磁気ヘッド１は、ヘッドアーム８１にサスペ
ンション８２により支持されている。磁気ディスク装置
の動作中、磁気ヘッド１は磁気ディスク２の回転によ
り、図２に示されている両翼のスライダレール面３及び
中央のスライダレール面４と、磁気ディスク２の表面と
の間に生ずる空気軸受によって発生する揚力とサスペン
ション８２のバネ力によって釣合って、微少空隙で浮上
している。
図１は本発明を適用する磁気ディスク装置において、磁
気ヘッド１と磁気ディスク２の関係を側面から見た断面
図である。磁気ヘッド１は、ヘッドアーム８１にサスペ
ンション８２により支持されている。磁気ディスク装置
の動作中、磁気ヘッド１は磁気ディスク２の回転によ
り、図２に示されている両翼のスライダレール面３及び
中央のスライダレール面４と、磁気ディスク２の表面と
の間に生ずる空気軸受によって発生する揚力とサスペン
ション８２のバネ力によって釣合って、微少空隙で浮上
している。
【００１５】磁気ヘッド１は、スライダ本体１１と磁気
ディスク２表面に記録、再生する素子を含みスパッタリ
ング又はメッキ処理によって形成されている薄膜磁気ヘ
ッド部１２から成りたっている。薄膜磁気ヘッド部１２
は、磁気信号を記録するためのインダクティブヘッド６
と磁気信号を再生するためのＭＲ素子５とそれら取り囲
む様に形成された、図示しない下地膜と保護膜から構成
され、スライダ本体１の後端位置に取り付けられてい
る。磁気信号を記録するためのインダクティブヘッド６
は、コイル部６１に書き込み電流を流しコアからの漏洩
磁束により磁気ディスク２の表面の薄膜磁気記録媒体に
情報を記録する。
ディスク２表面に記録、再生する素子を含みスパッタリ
ング又はメッキ処理によって形成されている薄膜磁気ヘ
ッド部１２から成りたっている。薄膜磁気ヘッド部１２
は、磁気信号を記録するためのインダクティブヘッド６
と磁気信号を再生するためのＭＲ素子５とそれら取り囲
む様に形成された、図示しない下地膜と保護膜から構成
され、スライダ本体１の後端位置に取り付けられてい
る。磁気信号を記録するためのインダクティブヘッド６
は、コイル部６１に書き込み電流を流しコアからの漏洩
磁束により磁気ディスク２の表面の薄膜磁気記録媒体に
情報を記録する。
【００１６】またこの情報を再生するためのＭＲ素子５
は、図２と図３に示すように磁気シールド膜５２の上に
形成され、ＭＲ素子５の両端には電極５１が付けられた
構造と成っている。磁気信号の再生は、磁気ディスク２
表面に記録された磁気の変化でＭＲ素子５の抵抗が変化
するため、電極６の間に流れている電流が変化し、この
電流変化は磁気ディスク装置内の電流電圧変換器によっ
て検出され、さらに増幅回路を通して増幅される。
は、図２と図３に示すように磁気シールド膜５２の上に
形成され、ＭＲ素子５の両端には電極５１が付けられた
構造と成っている。磁気信号の再生は、磁気ディスク２
表面に記録された磁気の変化でＭＲ素子５の抵抗が変化
するため、電極６の間に流れている電流が変化し、この
電流変化は磁気ディスク装置内の電流電圧変換器によっ
て検出され、さらに増幅回路を通して増幅される。
【００１７】一般に、ＭＲ素子５を含む薄膜磁気ヘッド
部１２は、スライダ本体１の後端に位置し、磁気ヘッド
１の浮上時においては磁気ディスク２表面に対し、最小
空隙位置の近傍になる様に設計されている。このことか
ら磁気ディスク２表面に存在する表面特記２１とか付着
した異物２２などとＭＲ素子５のＭＲトラック幅部５ａ
が接触した場合、または磁気ヘッド１の浮上量が低下し
磁気ディスク２と間歇接触した場合には、ＭＲ素子５は
接触熱により一次的に抵抗が変化し、再生信号は図６に
示したように変化し、大きなノイズＴＡが発生し一時的
に再生出来なくなる。この現象を熱ノイズ（サーマル・
アスピリティ）という。
部１２は、スライダ本体１の後端に位置し、磁気ヘッド
１の浮上時においては磁気ディスク２表面に対し、最小
空隙位置の近傍になる様に設計されている。このことか
ら磁気ディスク２表面に存在する表面特記２１とか付着
した異物２２などとＭＲ素子５のＭＲトラック幅部５ａ
が接触した場合、または磁気ヘッド１の浮上量が低下し
磁気ディスク２と間歇接触した場合には、ＭＲ素子５は
接触熱により一次的に抵抗が変化し、再生信号は図６に
示したように変化し、大きなノイズＴＡが発生し一時的
に再生出来なくなる。この現象を熱ノイズ（サーマル・
アスピリティ）という。
【００１８】ここで、ＭＲ素子を搭載した磁気ヘッド
を、磁気ディスク表面の突起に接触させ熱ノイズを発生
させた、本発明者逹による実験について図３で説明す
る。磁気ディスク２としてはスパッタディスクを用い、
ディスク表面上に、各々２μｍの幅をもつ、高さ５０ｎ
ｍの突起２１ａと３０ｎｍの突起２１ｂを、半径方向に
形成した。この磁気ディスクに対して、ＭＲ素子を搭載
した磁気ヘッドを浮上量２８ｎｍで浮上させ、５μｍピ
ッチで半径方向に移動させ、磁気ディスク表面の突起２
１ａ、２１ｂに対するＭＲヘッドトラック幅位置と熱ノ
イズ発生との関係を調べた。熱ノイズはＭＲ素子５のト
ラック幅部５ａが突起２１ａ、２１ｂと直接接触した場
合にのみ発生し、突起２１ａ、２１ｂから数ミクロン離
れた位置での接触によっては熱ノイズは発生しないこと
が確認された。
を、磁気ディスク表面の突起に接触させ熱ノイズを発生
させた、本発明者逹による実験について図３で説明す
る。磁気ディスク２としてはスパッタディスクを用い、
ディスク表面上に、各々２μｍの幅をもつ、高さ５０ｎ
ｍの突起２１ａと３０ｎｍの突起２１ｂを、半径方向に
形成した。この磁気ディスクに対して、ＭＲ素子を搭載
した磁気ヘッドを浮上量２８ｎｍで浮上させ、５μｍピ
ッチで半径方向に移動させ、磁気ディスク表面の突起２
１ａ、２１ｂに対するＭＲヘッドトラック幅位置と熱ノ
イズ発生との関係を調べた。熱ノイズはＭＲ素子５のト
ラック幅部５ａが突起２１ａ、２１ｂと直接接触した場
合にのみ発生し、突起２１ａ、２１ｂから数ミクロン離
れた位置での接触によっては熱ノイズは発生しないこと
が確認された。
【００１９】スライダレール表面と、ＭＲ素子５のトラ
ック幅部５ａとが平坦な磁気ヘッドと、ＭＲ素子のトラ
ック幅部５ａが、図７に示すように、スライダレール表
面からの段差量１０ｎｍの凹形状の溝内にある磁気ヘッ
ドとを、普通の磁気ディスク表面に浮上させ、浮上量を
変化させて浮上量と熱ノイズの発生数との関係を調べた
のが図４である。図４から判るように浮上量を低下させ
ても１０ｎｍの凹形状を設けた磁気ヘッドでは熱ノイズ
が発生せず、磁気ディスク表面との接触において熱ノイ
ズの発生が抑制出来ていることが確認できた。
ック幅部５ａとが平坦な磁気ヘッドと、ＭＲ素子のトラ
ック幅部５ａが、図７に示すように、スライダレール表
面からの段差量１０ｎｍの凹形状の溝内にある磁気ヘッ
ドとを、普通の磁気ディスク表面に浮上させ、浮上量を
変化させて浮上量と熱ノイズの発生数との関係を調べた
のが図４である。図４から判るように浮上量を低下させ
ても１０ｎｍの凹形状を設けた磁気ヘッドでは熱ノイズ
が発生せず、磁気ディスク表面との接触において熱ノイ
ズの発生が抑制出来ていることが確認できた。
【００２０】また、凹形状の段差量の影響に関して、磁
気ヘッド浮上量１０ｎｍで段差量を変化させ、段差量と
熱ノイズの発生数との関係を調べたのが図５である。熱
ノイズの発生は、段差量５ｎｍ以下で急増することが判
った。このことから５ｎｍ以上の段差があれば熱ノイズ
は抑制される効果があることが確認できた。ほとんどの
ＭＲ素子付き磁気ヘッドのスライダレール面には数ｎｍ
から十数ｎｍの保護膜が付いている。この保護膜は磁気
ディスクとの接触に対する耐摩耗性を向上させる目的
と、ＭＲ素子が磁気ディスクと接触した時に発生する放
電を防止する効果が有ることは確認されているが、熱ノ
イズに対しては、磁気ディスク表面との接触によりＭＲ
素子表面の保護膜が熱せられ、素子抵抗値に影響を与え
熱ノイズが発生することが確認されている。
気ヘッド浮上量１０ｎｍで段差量を変化させ、段差量と
熱ノイズの発生数との関係を調べたのが図５である。熱
ノイズの発生は、段差量５ｎｍ以下で急増することが判
った。このことから５ｎｍ以上の段差があれば熱ノイズ
は抑制される効果があることが確認できた。ほとんどの
ＭＲ素子付き磁気ヘッドのスライダレール面には数ｎｍ
から十数ｎｍの保護膜が付いている。この保護膜は磁気
ディスクとの接触に対する耐摩耗性を向上させる目的
と、ＭＲ素子が磁気ディスクと接触した時に発生する放
電を防止する効果が有ることは確認されているが、熱ノ
イズに対しては、磁気ディスク表面との接触によりＭＲ
素子表面の保護膜が熱せられ、素子抵抗値に影響を与え
熱ノイズが発生することが確認されている。
【００２１】上記図４、図５で行った実験は、保護膜１
０ｎｍの磁気ヘッドを用いた結果である。また、前記凹
形状の深さは５ｎｍ以上あれば熱ノイズは抑制できる
が、実用上においては、５０ｎｍ以上あると、図５に示
すように、磁気ディスク面上に記録された磁気信号の再
生出力が減衰し、磁気ヘッドとして成り立たないことも
わかった。
０ｎｍの磁気ヘッドを用いた結果である。また、前記凹
形状の深さは５ｎｍ以上あれば熱ノイズは抑制できる
が、実用上においては、５０ｎｍ以上あると、図５に示
すように、磁気ディスク面上に記録された磁気信号の再
生出力が減衰し、磁気ヘッドとして成り立たないことも
わかった。
【００２２】以上の事実から、スライダレール表面のＭ
Ｒ素子５のトラック幅部５ａが、磁気ディスク２の表面
の突起と直接接触するのを防止する手段を設けてやるこ
とにより、磁気ディスク面上の突起または直接磁気ディ
スク面と接触した時に発生する熱ノイズが抑制できるこ
とがわかった。この手段としては、後に具体的に説明す
るが、図７に示すように、スライダレール表面のＭＲ素
子５のトラック幅部５ａを凹形状にするか、図８に示す
ように、ＭＲ素子５のトラック幅部５ａの周辺を凸形状
で囲むか、または図９に示すように、ＭＲ素子５のトラ
ック幅部５ａの流出端側に凸形状を設けるなどによって
実現される。図７ないし図９に示す実施例における凹形
状又は凸形状は、次に述べる公知の加工段差とは全く異
なるものである。
Ｒ素子５のトラック幅部５ａが、磁気ディスク２の表面
の突起と直接接触するのを防止する手段を設けてやるこ
とにより、磁気ディスク面上の突起または直接磁気ディ
スク面と接触した時に発生する熱ノイズが抑制できるこ
とがわかった。この手段としては、後に具体的に説明す
るが、図７に示すように、スライダレール表面のＭＲ素
子５のトラック幅部５ａを凹形状にするか、図８に示す
ように、ＭＲ素子５のトラック幅部５ａの周辺を凸形状
で囲むか、または図９に示すように、ＭＲ素子５のトラ
ック幅部５ａの流出端側に凸形状を設けるなどによって
実現される。図７ないし図９に示す実施例における凹形
状又は凸形状は、次に述べる公知の加工段差とは全く異
なるものである。
【００２３】すなわち、図２に示すように、中央のスラ
イダレール面４はスライダ本体１１のスライダレール面
４１と薄膜磁気ヘッド部１２のスライダレール面４２か
らなる。スライダ材料の例として、スライダ本体１１が
アルミナチタンカーバイト（Ａｌ2Ｏ3・ＴｉＣ）で、薄
膜磁気ヘッド部１２の下地膜と保護膜がアルミナ（Ａｌ
2Ｏ3）の場合、スライダ本体１１の材質が硬いため、ス
ライダレール面４の加工（研磨）において、薄膜磁気ヘ
ッド部１２のスライダレール面４２はスライダ本体１１
のスライダレール面４１より研磨され易く、結果として
は数ｎｍ段差が生ずる場合がある。この段差を加工段差
いう。この加工段差は、一見、平面的にはＭＲ素子５の
ＭＲトラック幅部５ａと磁気ディスク２表面に存在する
表面欠陥２１との接触を回避できるように考えられる
が、実際には浮上時において、磁気ヘッド１は傾きを持
つため、最小浮上位置は薄膜磁気ヘッド部１２のスライ
ダレール面４２であり、また加工段差は開放端であるた
め、表面欠陥２１は容易に入り込み、ＭＲ素子５のＭＲ
トラック幅部に接触してしまう。
イダレール面４はスライダ本体１１のスライダレール面
４１と薄膜磁気ヘッド部１２のスライダレール面４２か
らなる。スライダ材料の例として、スライダ本体１１が
アルミナチタンカーバイト（Ａｌ2Ｏ3・ＴｉＣ）で、薄
膜磁気ヘッド部１２の下地膜と保護膜がアルミナ（Ａｌ
2Ｏ3）の場合、スライダ本体１１の材質が硬いため、ス
ライダレール面４の加工（研磨）において、薄膜磁気ヘ
ッド部１２のスライダレール面４２はスライダ本体１１
のスライダレール面４１より研磨され易く、結果として
は数ｎｍ段差が生ずる場合がある。この段差を加工段差
いう。この加工段差は、一見、平面的にはＭＲ素子５の
ＭＲトラック幅部５ａと磁気ディスク２表面に存在する
表面欠陥２１との接触を回避できるように考えられる
が、実際には浮上時において、磁気ヘッド１は傾きを持
つため、最小浮上位置は薄膜磁気ヘッド部１２のスライ
ダレール面４２であり、また加工段差は開放端であるた
め、表面欠陥２１は容易に入り込み、ＭＲ素子５のＭＲ
トラック幅部に接触してしまう。
【００２４】これに対して、本発明により、ＭＲ素子５
のＭＲトラック幅部５ａの周辺に設けた凹形状又は凸形
状は、ＭＲ素子５のＭＲトラック幅部５ａが磁気ディス
ク表面突起又は異物と衝突するのを防止し得る構造とな
っており、上記加工段差とは本質的に異なるものであ
る。
のＭＲトラック幅部５ａの周辺に設けた凹形状又は凸形
状は、ＭＲ素子５のＭＲトラック幅部５ａが磁気ディス
ク表面突起又は異物と衝突するのを防止し得る構造とな
っており、上記加工段差とは本質的に異なるものであ
る。
【００２５】図７は、ＭＲ素子５のトラック幅部を含む
周辺がスライダレール表面４２に対し凹形状である溝７
として加工された磁気ヘッド１の平面図（図７ｂ）と磁
気ヘッド１を側面から見たａ−ａ断面図（図７ａ）であ
る。ｔは溝７の深さを示す。この溝７はスライダ面加工
後ミーリングにより加工されたものである。また一般的
にはスライダレール表面３、４の加工後に保護膜として
カーボン膜がスパッタ成膜により付けられている。
周辺がスライダレール表面４２に対し凹形状である溝７
として加工された磁気ヘッド１の平面図（図７ｂ）と磁
気ヘッド１を側面から見たａ−ａ断面図（図７ａ）であ
る。ｔは溝７の深さを示す。この溝７はスライダ面加工
後ミーリングにより加工されたものである。また一般的
にはスライダレール表面３、４の加工後に保護膜として
カーボン膜がスパッタ成膜により付けられている。
【００２６】先に説明した図４は、図７に示した形状に
おいて、薄膜磁気ヘッド部１２のスライダレール面４２
の素子周辺に１０ｎｍの溝を設けた場合と溝の無い場合
について、磁気ヘッド１の浮上量を低下させた時、磁気
ディスク２表面とＭＲ素子５が接触することによって発
生する熱ノイズの数を表にしたものである。明らかに判
る様に、ＭＲ素子５周辺に溝を付けた場合は間歇接触浮
上量である３０ｎｍ以下において熱ノイズの発生が抑制
されている。
おいて、薄膜磁気ヘッド部１２のスライダレール面４２
の素子周辺に１０ｎｍの溝を設けた場合と溝の無い場合
について、磁気ヘッド１の浮上量を低下させた時、磁気
ディスク２表面とＭＲ素子５が接触することによって発
生する熱ノイズの数を表にしたものである。明らかに判
る様に、ＭＲ素子５周辺に溝を付けた場合は間歇接触浮
上量である３０ｎｍ以下において熱ノイズの発生が抑制
されている。
【００２７】また、図５は、溝段差量ｔをパラメーター
にして浮上量１０ｎｍにした場合の熱ノイズ発生数を表
にしたものである。評価数は少ないが５ｎｍ付近から明
らかに熱ノイズの発生が抑制されている。
にして浮上量１０ｎｍにした場合の熱ノイズ発生数を表
にしたものである。評価数は少ないが５ｎｍ付近から明
らかに熱ノイズの発生が抑制されている。
【００２８】図８は、薄膜磁気ヘッド部１２のスライダ
レール面４２に対し、ＭＲ素子５のトラック幅部５ａの
周りを囲む様に凸部形状である丘８として加工された磁
気ヘッド１の平面図（図８ｂ）と磁気ヘッド１を側面か
ら見たｂ−ｂ断面の断面図（図８ａ）である。ＭＲ素子
５のトラック幅部の周りを囲む様に凸部形状は、磁気ヘ
ッド１が、他の半径方向位置の情報を記録、再生するた
めに移動（シーク動作）する場合に、磁気ディスク２の
表面に書き込まれたサーボ情報を再生するとき、半径方
向移動時に側面から来る表面欠陥２１とＭＲ素子５のＭ
Ｒトラック幅部の接触を回避する役割を持つ。
レール面４２に対し、ＭＲ素子５のトラック幅部５ａの
周りを囲む様に凸部形状である丘８として加工された磁
気ヘッド１の平面図（図８ｂ）と磁気ヘッド１を側面か
ら見たｂ−ｂ断面の断面図（図８ａ）である。ＭＲ素子
５のトラック幅部の周りを囲む様に凸部形状は、磁気ヘ
ッド１が、他の半径方向位置の情報を記録、再生するた
めに移動（シーク動作）する場合に、磁気ディスク２の
表面に書き込まれたサーボ情報を再生するとき、半径方
向移動時に側面から来る表面欠陥２１とＭＲ素子５のＭ
Ｒトラック幅部の接触を回避する役割を持つ。
【００２９】図９は、薄膜磁気ヘッド部１２のスライダ
レール面４２に対し、ＭＲ素子５のトラック幅部の流出
端側に凸部形状である丘９をとして加工された磁気ヘッ
ド１の平面図（図９ｂ）と、磁気ヘッド１を側面から見
たｃ−ｃ断面の断面図（図９ａ）である。磁気ヘッド１
の浮上量が低下し、磁気ディスク２と間歇接触した場
合、凸部形状である丘９が磁気ディスク２表面と接触
し、ＭＲ素子５のトラック幅部との接触を回避し低減す
る効果を持つ。図８、図９の実施例共に、図７の実施例
と同様に熱ノイズの発生を抑制する効果を持つ。
レール面４２に対し、ＭＲ素子５のトラック幅部の流出
端側に凸部形状である丘９をとして加工された磁気ヘッ
ド１の平面図（図９ｂ）と、磁気ヘッド１を側面から見
たｃ−ｃ断面の断面図（図９ａ）である。磁気ヘッド１
の浮上量が低下し、磁気ディスク２と間歇接触した場
合、凸部形状である丘９が磁気ディスク２表面と接触
し、ＭＲ素子５のトラック幅部との接触を回避し低減す
る効果を持つ。図８、図９の実施例共に、図７の実施例
と同様に熱ノイズの発生を抑制する効果を持つ。
【００３０】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、ＭＲ
素子を搭載した磁気ヘッドにおいて、ＭＲ素子５トラッ
ク幅部が磁気ディスク表面の突起又は異物と接触するの
を防止する手段を設けることにより、磁気ヘッドが磁気
ディスクの表面または磁気ディスクの表面上の突起ある
いは付着物に接触した時に発生する熱ノイズが大幅に抑
制された信頼性の高い磁気ディスク装置を提供すること
ができる。
素子を搭載した磁気ヘッドにおいて、ＭＲ素子５トラッ
ク幅部が磁気ディスク表面の突起又は異物と接触するの
を防止する手段を設けることにより、磁気ヘッドが磁気
ディスクの表面または磁気ディスクの表面上の突起ある
いは付着物に接触した時に発生する熱ノイズが大幅に抑
制された信頼性の高い磁気ディスク装置を提供すること
ができる。
【図１】磁気ディスク装置の磁気ヘッドと磁気ディスク
の関係を示した側面図。
の関係を示した側面図。
【図２】磁気ヘッドの側断面図（図２ａ）と平面図（図
２ｂ）。
２ｂ）。
【図３】磁気ディスク表面上の突起と熱ノイズ発生の関
係を示すグラフ。
係を示すグラフ。
【図４】ＭＲ素子周辺形状と熱ノイズ発生の関係を示す
グラフ。
グラフ。
【図５】溝段差量をパラメーターにした場合の熱ノイズ
数と再生出力比のグラフ。
数と再生出力比のグラフ。
【図６】熱ノイズの波形図。
【図７】第１の実施例の磁気ヘッドの側断面図（図７
ａ）と平面図（図７ｂ）。
ａ）と平面図（図７ｂ）。
【図８】第２の実施例の磁気ヘッドの側断面図（図８
ａ）と平面図（図８ｂ）。
ａ）と平面図（図８ｂ）。
【図９】第３の実施例の磁気ヘッドの側断面図（図９
ａ）と平面図（図９ｂ）。
ａ）と平面図（図９ｂ）。
１…磁気ヘッド １１…スライダ本体 １２…薄膜
磁気ヘッド部 ２…磁気ディスク ２１ａ、２１ｂ…表面突起 ２２…異物付着 ３…両翼のスライダレール面 ４…中央のスライダレ
ール面 ４１…スライダ本体のスライダレール面 ４２…薄膜磁気ヘッド部のスライダレール面 ５…ＭＲ素子 ５ａ…ＭＲ素子トラック幅部 ５１…電極 ５２…磁気シールド膜 ６…インダクティブヘッド ６１…コイル ７…
溝部 ８…ＭＲ素子周辺の丘 ９…ＭＲ素子の流出端側の
丘
磁気ヘッド部 ２…磁気ディスク ２１ａ、２１ｂ…表面突起 ２２…異物付着 ３…両翼のスライダレール面 ４…中央のスライダレ
ール面 ４１…スライダ本体のスライダレール面 ４２…薄膜磁気ヘッド部のスライダレール面 ５…ＭＲ素子 ５ａ…ＭＲ素子トラック幅部 ５１…電極 ５２…磁気シールド膜 ６…インダクティブヘッド ６１…コイル ７…
溝部 ８…ＭＲ素子周辺の丘 ９…ＭＲ素子の流出端側の
丘
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 竹中 卓史 神奈川県小田原市国府津2880番地株式会社 日立製作所ストレージシステム事業部内 (72)発明者 本田 正信 神奈川県小田原市国府津2880番地株式会社 日立製作所ストレージシステム事業部内 (72)発明者 松山 巌 神奈川県小田原市国府津2880番地株式会社 日立製作所ストレージシステム事業部内
Claims (6)
- 【請求項１】回転する磁気ディスクの表面に対して浮
上、間歇接触又は連続接触するスライダに磁気記録、再
生素子を一体的に設けてなる磁気ヘッドにより、上記磁
気ディスクに対して情報を記録、再生する磁気ディスク
装置において、前記磁気ディスクに記録された磁気記録
信号を再生する再生素子としてＭＲ素子（磁気抵抗効果
型素子）を用い、前記スライダに、前記ＭＲ素子のトラ
ック幅部が前記磁気ディスク表面と接触するのを防止す
るＭＲ素子接触防止手段を設けた磁気ヘッドを搭載した
ことを特徴とする磁気ディスク装置。 - 【請求項２】ＭＲ素子接触防止手段として、ＭＲ素子の
トラック幅部又はＭＲ素子のトラック幅部を含む周辺を
底部とする、凹形状に形成された溝を設けたことを特徴
とする請求項１に記載の磁気ディスク装置。 - 【請求項３】ＭＲ素子接触防止手段として、ＭＲ素子の
トラック幅部の周りを囲むように凸形状に形成された丘
を設けたことを特徴とする請求項１に記載の磁気ディス
ク装置。 - 【請求項４】ＭＲ素子接触防止手段として、スライダ
の、ＭＲ素子のトラック幅部の流出側に凸部を設けたこ
とを特徴とする請求項１に記載の磁気ディスク装置。 - 【請求項５】凹形状の溝の深さ又は凸形状の丘の高さが
５ｎｍ以上５０ｎｍ以下であることを特徴とする請求項
２又は請求項３に記載の磁気ディスク装置。 - 【請求項６】磁気ヘッドのスライダの表面が保護膜付き
であることを特徴とする請求項１に記載の磁気ディスク
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9122095A JPH08287444A (ja) | 1995-04-18 | 1995-04-18 | 磁気ディスク装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9122095A JPH08287444A (ja) | 1995-04-18 | 1995-04-18 | 磁気ディスク装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08287444A true JPH08287444A (ja) | 1996-11-01 |
Family
ID=14020349
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9122095A Pending JPH08287444A (ja) | 1995-04-18 | 1995-04-18 | 磁気ディスク装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08287444A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0860812A3 (en) * | 1997-02-25 | 1999-03-10 | International Business Machines Corporation | Magnetic data storage drives |
| WO1999013459A1 (en) * | 1997-09-08 | 1999-03-18 | Seagate Technology, Inc. | Reader for a low-flying magnetoresistive sensor |
| US5978176A (en) * | 1997-04-11 | 1999-11-02 | Tdk Corporation | Magnetic head for a magnetic disk having a slider with indented portions for providing heat dissipation |
| US6239954B1 (en) | 1997-09-08 | 2001-05-29 | Seagate Technology Llc | Reader for a low-flying magnetoresistive sensor |
| US7495856B2 (en) | 2004-10-29 | 2009-02-24 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Disk drive slider design for thermal fly-height control and burnishing-on-demand |
| US8325570B1 (en) | 2012-02-01 | 2012-12-04 | Tdk Corporation | Thermally-assisted magnetic recording head including a protruding member |
-
1995
- 1995-04-18 JP JP9122095A patent/JPH08287444A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0860812A3 (en) * | 1997-02-25 | 1999-03-10 | International Business Machines Corporation | Magnetic data storage drives |
| US5978176A (en) * | 1997-04-11 | 1999-11-02 | Tdk Corporation | Magnetic head for a magnetic disk having a slider with indented portions for providing heat dissipation |
| WO1999013459A1 (en) * | 1997-09-08 | 1999-03-18 | Seagate Technology, Inc. | Reader for a low-flying magnetoresistive sensor |
| GB2343055A (en) * | 1997-09-08 | 2000-04-26 | Seagate Technology | Reader for a low-flying magnetoresistive sensor |
| US6239954B1 (en) | 1997-09-08 | 2001-05-29 | Seagate Technology Llc | Reader for a low-flying magnetoresistive sensor |
| US7495856B2 (en) | 2004-10-29 | 2009-02-24 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Disk drive slider design for thermal fly-height control and burnishing-on-demand |
| US8325570B1 (en) | 2012-02-01 | 2012-12-04 | Tdk Corporation | Thermally-assisted magnetic recording head including a protruding member |
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