JPH08292008A - 平面表示パネル検査修正装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 修正装置において欠陥位置を特定する位置決
め精度を向上させて、欠陥確認機能を省略することで低
コストとスループット向上を実現する。 【構成】 検査装置１と、装置間パネル搬送系２０の装
置間パネル搬送装置２１と、ネットワーク２２のデータ
通信処理装置２３と修正装置２４からなる。検査装置１
からの検査情報データに基づき、リニアスケールカウン
タ４２による位置検出をＸ軸、Ｙ軸の各モータ４６，４
７をコントロールするモータ制御装置４３へフィードバ
ックさせて、機械駆動系の誤差の影響を受けない欠陥位
置の再現を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、液晶ディスプレイ、Ｅ
Ｌディスプレイ、プラズマディスプレイ等の平面表示パ
ネルの検査修正装置に関し、特に、検査装置と修正装置
を別々にして、装置間を情報データを伝達する情報伝達
手段と、各装置間で平面表示パネルを搬送する手段で結
ぶことにより自動的に欠陥修正を行う平面表示パネルの
検査修正装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の平面表示パネルの検査装置には、
目視によるものと、自動によるものとがあり、修正装置
には、手動によるものと、自動によるものとがある。ま
た、検査と修正を組み合わせた検査修正装置には、目視
もしくは自動による検査部分と、手動もしくは自動によ
る修正部分とが、別々になった装置と一体となった装置
がある。

【０００３】目視で検査を行う場合、パターンの異なる
数種類のパネル駆動信号により被検査平面表示パネルを
点灯表示させながら、人間が目視により欠陥検査を行
う。

【０００４】手動で修正を行う場合、検査情報データに
基づいて人間が欠陥の種類、修正方法、レーザ光の照射
位置を確認しながら、レーザ光による異物粉砕、配線パ
ターン切断、配線パターンの接続等の修正を行う。

【０００５】しかし、前述の目視により検査を行う方式
では、検査に時間がかかり、必ず人間がついて作業を行
わなくてはならないため、人件費が必要となり、その結
果自動で検査を行う場合に比べて、製品のコストが高く
なるという問題が生じる。また、パネル点灯検査に関し
て人間は定量化が難しいため個人差により製品レベルに
ばらつきが発生する可能性が高い。手動で修正する場合
も同様の問題点があり、人間がつく必要があるため、自
動で修正する場合に比べ、人件費が必要な分、製品コス
トが高くなり、個人差により製品レベルにばらつきが発
生する可能性が高い。そこで、生産ラインにおいては、
自動の検査修正装置が用いられるのが一般的である。

【０００６】自動で検査を行う場合、パターンの異なる
数種類のパネル駆動信号により被検査平面表示パネルを
点灯表示させながら、ＣＣＤカメラ等の撮像装置により
パネル全体もしくは一部の画像を取り込む。もしくは、
レーザ光などのスポット光を被検査平面表示パネルの絵
素ひとつひとつに順次走査し、反射、散乱光をＣＣＤカ
メラ等の撮像装置により取り込み、それらの画像データ
を微分、二値化、平滑化等の画像処理することにより、
欠陥の検出を行う。また画像処理だけでは検出できない
欠陥に関しては、被検査表示パネルの複数の信号入力端
子間の抵抗値測定等により、配線パターンの電気的特性
を調べる方法を併用して欠陥の検出を行う。

【０００７】検査が終了すると、あらかじめ決められた
検査基準と比較して修正が必要な欠陥かどうかの判別を
行い、欠陥の種類、欠陥の位置、修正方法、修正すべき
位置等を検査情報データとして出力する。欠陥の座標に
関しては、撮像装置により取り込んだ画像データにより
求めたり、欠陥確認カメラを設けて、欠陥確認カメラを
欠陥位置まで移動、もしくはパネルをセットしたＸＹス
テージを移動させて、欠陥位置を欠陥確認カメラの位置
に合わせることにより、その移動量から求める等の方法
がある。パネル上の欠陥座標を求められると、パネルの
絵素サイズ、絵素ピッチ等の仕様より欠陥絵素の特定を
行うことが可能となる。

【０００８】検査装置と修正装置が別々の場合は、欠陥
のあったパネルを修正装置に搬送し、検査装置により出
力された検査情報データを修正装置に送り、その情報に
基づいて修正を行う。修正装置側で欠陥位置を再現しよ
うとして、パネルのセットされた修正ステージを移動さ
せた場合、欠陥位置に誤差のある可能性が高い。なぜな
ら、例えばモータとボールねじとの組み合わせでステー
ジを移動させた場合、ボールねじのリード誤差の影響を
受けるし、モータとベルト、プーリの組み合わせでステ
ージを移動させた場合、ベルトの滑り、伸びの影響を受
け、誤差が発生する。そのため、欠陥のあると予想され
る位置周辺をもう一度点灯表示させて、位置を確認した
後、修正を行う。同じ装置内に検査機能と修正機能があ
る場合は、検査直後に検査情報データに基づいて修正を
行う。

【０００９】自動で修正を行う場合、検査情報データに
より得られる修正方法等より、レーザ光などによる異物
粉砕、配線パターン切断、配線パターンの接続等の修正
を行う。レーザ光を照射する場合の位置は、パネルの特
徴となる配線パターンを利用したパターン認識等によ
り、正確な位置が得られる。

【００１０】また、特開平２−２６６３５７号に示され
るように検査機能がそのまま修正機能になる方式もあ
る。具体的には、被検査表示パネルへレーザ光などの検
査光を走査し、その反射光が被検査表示パネル中の異物
により変化した場合、検査光を増幅することにより、異
物を焼き払って欠陥を修正する方式である。その他、特
開平２−２６６３５７号には、被検査表示パネルへレー
ザ光などの検査光を走査し、その反射光が被検査表示パ
ネル中の異物により変化した場合、 （１）検査光の光源の一部を取り出し、装置内で位相共
役により増幅して修正光とし、別の方向から異物に照射
して焼き払って修正する方式 （２）検査光と修正光に波長の違うレーザ光を使用し、
検査光と修正光の光軸が同じでもフィタルにより検査光
の反射光のみを取り出すことができ、修正中でも検査が
可能になる方式 （３）修正光を検査光より遅らせて位置をずらせて照射
し、修正中でも検査が可能になる方式等が示されてい
る。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】

（１）自動検査装置と自動修正装置が別々の場合の問題
点 上述の自動で検査修正を行う方式では、検査装置と修正
装置が別々の場合、検査装置が検出した欠陥の位置を修
正装置側で再現しようとすると、欠陥位置に誤差がある
可能性がある。そのため、欠陥のあると予想される位置
周辺をもう一度点灯表示して位置を確認する必要があ
り、修正装置側に欠陥確認用の点灯表示機能と検出機能
が必要になる。従って、 点灯表示させるためには、駆動信号の発生、切り換え
のための点灯回路、そして駆動信号を入力するためのプ
ローバが必要になり、コストが高くなる。 パネルの駆動信号入力端子とプローバのコンタクトミ
スにより、欠陥が無いのに誤検出を行って誤った修正を
行う可能性が増える。 コンタクトミスを減らすための頻繁なクリーニング、
メンテナンスが必要となりスループットが低下する。等
の問題が生じる。

【００１２】また、検出機能をつける場合、 検査装置と同じレベルの欠陥検出機能を持つ画像処理
装置を備えると、装置全体のコストの内で画像処理装置
の占める割合は大きいので、コストが高くなる。 修正装置だけで検査装置の機能のかなりの部分を含め
てしまい、検査装置と修正装置を別々にした意味がなく
なる。という問題が生じる。コストを低くするため、修
正装置側に性能を落とした欠陥検出用画像処理装置を使
用すると、検査装置で発見した欠陥で低輝点などのよう
な検出しづらい欠陥を、修正装置で確認できなくなる可
能性がある。

【００１３】（２）自動検査装置と自動修正装置が同一
の場合の問題点 同じ装置内で検査機能と修正機能がある場合、装置の構
造が複雑になる。また修正を行っている間検査作業が止
まってしまうため、同一装置コストに対する検査修正量
が低下する。高速な欠陥検出システムを搭載しても修正
の度に検査が中断されるため、全体として高速な検査修
正ができない。

【００１４】特願平２−２６６３５７号に示される方式
では、検査と修正が同時に行われるのだが、検査の段階
で絵素ひとつひとつを走査していくため検査時間がかな
りかかる。さらにこの方式では検査のみをしている間、
修正機能は使われてなく、修正が必要なパネルの比率が
少なくなると、検査装置と修正装置が別々ならば台数比
により調節できるが、この方式では装置の稼働率が悪く
なり、その結果、パネルの生産コストの上昇を招く。

【００１５】また、特願平２−２６６３５７号には、こ
の方式で異物による欠陥だけでなく配線パターンのショ
ート欠陥でも修正可能であると記述してあるが、レーザ
光等の検査光を走査してその反射光、散乱光を受光して
光量を調べるだけでは、配線パターンショートの種類、
ＴＦＴ駆動方式の液晶パネルの例で挙げるなら、ソース
バスラインとゲートバスラインのショートなのかソース
バスライン同士のショートなのかゲートバスライン同士
のショートなのか等を判別して、どこにレーザ光を照射
すればよいかというような正確な修正情報を得るのは困
難である。また異物による欠陥と配線パターンショート
による欠陥を判別して、欠陥の種類に応じた修正を行う
のも困難である。その結果、正しい修正情報を入力して
修正を行った場合に比べ、修正成功率が低くなり、修正
歩留まりが低下するためパネルの生産コストの上昇を招
く。

【００１６】本発明の目的は、修正装置において欠陥位
置を特定する位置決め精度を向上させて、欠陥確認機能
を省略することで低コストとスループット向上を実現す
る平面表示パネル検査修正装置を提供することにある。

【００１７】

【課題を解決するための手段】本発明は、平面表示パネ
ルの欠陥を検査する検査装置と、該欠陥の修正機構を有
する修正装置と、各装置間で検査情報データもしくは修
正情報データを伝達する情報伝達手段と、各装置間で平
面表示パネルを搬送する搬送手段とを備え、前記搬送手
段によって検査装置から修正装置に搬送された平面表示
パネルの欠陥を、自動的に前記検査情報データに基づい
て修正する平面表示パネル検査修正装置を前提とする。
そして、本発明の特徴は、前記修正装置が、前記平面表
示パネルあるいは修正機構を移動させる駆動手段と、前
記平面表示パネルあるいは修正機構の位置を検出する位
置検出手段と、該位置検出手段の出力信号によって駆動
手段を制御する制御手段と、からなり、修正時に欠陥確
認することなく欠陥位置を再現可能であることを特徴と
する点である。

【００１８】位置検出手段は、分解能が平面パネルの絵
素幅より小さいものでよい。

【００１９】また、位置検出手段は、平面パネルの光量
を検出する光センサを備え、該光センサにより平面パネ
ルの絵素移動による光量変化をパルス化し、該パルスを
カウントして、絵素位置を検出する手段でもよい。

【００２０】他の本発明は、前記修正装置が、平面表示
パネルあるいは修正機構を移動させる駆動手段と、該駆
動手段の駆動量と平面表示パネルあるいは修正機構の移
動量の相関に基づいて所定の位置に移動できるように前
記駆動手段を制御する制御手段と、からなり、修正時に
欠陥確認することなく欠陥位置を再現可能であることを
特徴とする。

【００２１】

【作用】本発明において、制御手段が位置検出手段の出
力信号によって駆動手段を制御する。つまり、常に位置
検出手段によって移動量が制御手段にフィードバックさ
れており、制御手段が駆動手段を駆動系の誤差の影響を
受けないように制御する。従って、検査装置からの検査
情報データに基づいて、平面表示パネルの欠陥位置の再
現を正確に行うことができ、修正装置に欠陥確認機能を
備える必要がなくなる。

【００２２】ここで、位置検出手段の分解能が、平面表
示パネルの絵素幅より小さいと、再現した欠陥座標位置
は欠陥絵素内に収まり、確実に欠陥位置を特定できる。

【００２３】また、平面表示パネルの絵素にあらかじめ
番号を割り振って番地を設定し、検査装置において検出
した絵素欠陥を絵素番号で修正装置に情報として伝達す
るものがある。この場合には、修正装置の位置検出手段
は、光センサによって絵素を検出するものを用いるのが
有効である。すなわち、光センサの光量変化をパルス化
し、該パルスをカウントして、検査情報データの欠陥絵
素の番号から欠陥位置を検出できる。

【００２４】他の発明においては、あらかじめ駆動手段
の駆動量と平面表示パネルあるいは修正機構の移動量の
相関について、測定を行っておく。駆動量とは、駆動手
段に動作させる量であり、この量によって駆動手段の動
作量が変動する。例えば、駆動手段がモータとして、該
モータを動かすパルス量が駆動量である。駆動量と実際
の移動量の相関が分かっていれば、駆動系に誤差があっ
ても、制御手段により、誤差を補正して駆動手段を制御
する。検査装置からの検査情報データに基づいて、平面
表示パネルの欠陥位置の再現を正確に行うことができ、
修正装置に欠陥確認機能を備える必要がなくなるし、位
置検出手段を備える必要もない。

【００２５】

【実施例】以下、本発明の実施例について、液晶パネル
を例にあげて説明する。図１は、本発明に係る平面表示
パネルの検査修正装置の第１の実施例を示す概略構成図
である。この検査修正装置は、検査装置１と、装置間パ
ネル搬送系２０の装置間パネル搬送装置２１と、ネット
ワーク２２のデータ通信処理装置２３と修正装置２４か
ら構成される。

【００２６】検査装置１は、番号読取撮像装置２と、欠
陥検出用撮像装置３と、アライメント用撮像装置４と、
パネル収納カセット５とパネルロード・アンロード装置
６と、被検査パネルである液晶パネル７と、アライメン
トステージ８と、検査ステージ９と、バックライト１０
と、プローバ１１と、番号認識装置１２と、欠陥検出用
画像処理装置１３と、アライメント制御装置１４と、点
灯回路制御装置１５と、欠陥検出用抵抗測定装置１６
と、パネルロード・アンロード制御装置１７と、通信ユ
ニット１８と、これら装置１２〜１８を制御する全体制
御装置１９とを備える。

【００２７】修正装置２４は、番号読取撮像装置２５
と、パターン認識用撮像装置２６と、レーザ照射装置２
７と、アライメント用撮像装置２８と、パネル収容カセ
ット２９と、パネルロード・アンロード装置３０と、被
修正パネルである液晶パネル３１と、アライメントステ
ージ３２と、修正ステージ３３と、バックライト３４
と、モータ３５と、リニアスケール３６と、通信ユニッ
ト３７と、番号認識装置３８と、パターン認識ユニット
３９と、レーザ制御装置４０と、アライメント制御装置
４１と、リニアスケールカウンタ４２と、モータ制御装
置４３と、パネルロード・アンロード制御装置４４と、
これら装置３７〜４４を制御する全体制御装置４５とを
備える。

【００２８】あらかじめ液晶パネル７，３１には位置合
わせ基準用のマーク、パネル識別用の番号をつけてお
く。検査装置１により液晶パネル７の検査を行い、欠陥
の検出、検出された欠陥の種類、平面パネル上の欠陥の
位置を求める。欠陥の位置はパネル上に基準点、Ｘ軸、
Ｙ軸等を設定し、絵素の中心、もしくは絵素のコーナ、
ＴＦＴ部等の特徴ある部分をＸＹ座標で表現したり、パ
ネルの絵素に番号を割り振って番地を設定し、絵素単位
の番地で表現したりする等の方法がある。

【００２９】従来の技術で記載したように、欠陥の座標
に関しては、撮像装置により取り込んだ画像データによ
り求める方法や、欠陥確認カメラ又はパネルをセットし
たテーブルのいずれかを可動とし、欠陥位置まで移動し
て欠陥位置を欠陥確認カメラの位置に合わせることによ
り、その移動量から求める方法等がある。パネル上の欠
陥数は多数存在する場合も予想され、その場合は画像デ
ータにより一括して座標位置を求めるのがスループット
向上に有効であると考えられる。また、いずれの場合で
も欠陥検出用の撮像装置と画像処理装置は必要である。
そのためタクトタイム短縮とコスト抑制の面から、本実
施例においては欠陥検出用撮像装置３により取り込んだ
画像データにより欠陥の位置を求め、液晶パネル７のセ
ットされる検査ステージ９は駆動部、移動量測定部の必
要の無い固定式とし、欠陥位置座標はゲートバスライン
方向をＸ軸、ソースバスライン方向をＹ軸、原点をパネ
ルの左下と設定した絵素の中心のＸＹ座標を用いるとし
て記述を行う。

【００３０】第１実施例の検査修正装置の動作について
説明する。パネルロード・アンロード制御装置１７によ
ってパネルロード・アンロード装置６を動かし、液晶パ
ネル７を検査ステージ９上に設置されているアライメン
トステージ８にセットする。アライメント用撮像装置４
で撮像した位置基準用マークをもとに、アライメント制
御装置１４によりアライメントステージ８を回転もしく
は移動させることにより液晶パネル７の位置合わせを行
う。液晶パネルどうしを区別するためのパネル番号を番
号読取用撮像装置２で読み取り、信号を番号認識装置１
２に出力し、番号を認識する。細い針金等を用いて並べ
ることにより電極としたプローバ１１をパネル信号入力
端子に接触させて、プローバ１１からパターンの異なる
数種類のパネル点灯駆動信号を入力して液晶パネル７の
点灯表示を行う。この点灯駆動信号は点灯回路制御装置
１５によりコントロールされる。その間ずっとバックラ
イト１０からの光を被検査液晶パネル７に照射してお
き、液晶パネル７全面の透過光をＣＣＤカメラ等の欠陥
検出用撮像装置３にて取り込む。欠陥検出用撮像装置３
は被検査液晶パネル７の大きさと欠陥検出用撮像装置３
の分解能等の性能に応じて、使用台数を決定するものと
する。欠陥検出用撮像装置３からの出力を欠陥検出用画
像処理装置１３に取り込み、画像データを微分、二値
化、平滑化等の処理を行い、検査を行う。さらに必要で
あればプローバ１１を液晶パネル７に接触させたときに
欠陥検出用抵抗測定装置１６により配線パターンの抵抗
という電気的特性を調べ、ソースバスライン、ゲートバ
スライン等の配線パターンショートの欠陥の検査を行
う。

【００３１】検査終了後、欠陥が検出されれば、あらか
じめ決められている基準より、修正が必要な欠陥かどう
かの判別を行い、パネル番号、欠陥の種類、平面パネル
上の欠陥の位置、修正方法、修正すべき位置等を検査情
報データにする。パネルのワークサイズ、絵素サイズ、
絵素ピッチ、バスライン等の配線パターン幅等は、設計
仕様により既知であるため、欠陥の座標位置が求まる
と、欠陥絵素の特定が可能となる。すなわち座標位置計
測にごく微小な誤差があった場合でも、求めた座標位置
がその絵素内、例えば６．４インチＶＧＡ仕様の液晶パ
ネルの場合、絵素サイズ縦約２００μｍ×横約６７μｍ
程度の内側に入っていれば欠陥絵素の特定が可能とな
る。その欠陥絵素の中心の座標は仕様より既知であるた
め、その座標を欠陥位置の座標とすれば正確なものとな
り、位置計測の誤差は補正されてパネル検査、修正に全
く影響しなくなる。

【００３２】検査後、液晶パネル７を修正必要なし、修
正必要、修正しても製品としての基準を満たすことがで
きないに分類して、異なるパネル収納カセット５へ収納
する。修正が必要なパネルは、装置間パネル搬送系２０
の装置間パネル搬送装置２１により修正装置２５に搬送
する。同時に、検査情報データを、ネットワーク２２の
データ通信処理装置２３を介して、検査装置１の通信ユ
ニット１８から修正装置２４の通信ユニット３７に転送
する。

【００３３】次に、修正装置２４により液晶パネル３１
の欠陥修正を行う。搬送されてきた液晶パネル３１を、
パネルロード・アンロード制御装置４４により、パネル
ロード・アンロード装置３０にて修正ステージ３３上に
設置されているアライメントステージ３２にセットす
る。検査装置で行ったのと同じように、アライメント用
撮像装置２８で撮像した位置基準用マークをもとに、ア
ライメント制御装置４１によりアライメントステージ３
２を回転もしくは移動させることにより液晶パネル３１
の位置合わせを行う。パネルどうしを区別するためのパ
ネル番号を番号読取用撮像装置２５で読み取り、信号を
番号認識装置３８に出力し、番号を認識する。パネル認
識後、セットされている液晶パネル３１の欠陥の種類、
欠陥位置、修正すべき位置、修正方法等をネットワーク
２２により送られてきた検査情報データにより取り出
し、リニアスケール３６の読み取り信号をリニアスケー
ルカウンタ４２に送出して正確に欠陥位置を再現する。

【００３４】具体的には、図２のように位置決め制御ル
ープをクローズドループとし、リニアスケールカウンタ
４２による位置検出をＸ軸、Ｙ軸の各モータ４６，４７
をコントロールするモータ制御装置４３へフィードバッ
クさせて、機械駆動系の誤差の影響を受けない欠陥位置
の再現を行う。ここで、修正ステージ３３のＸ軸、Ｙ軸
の移動は、Ｘ軸ボールねじ４９、Ｙ軸ボールねじ４８に
よって行う。

【００３５】エンコーダからのパルス量により位置を再
現しようとすると、本発明が解決しようとする課題でも
記載したように、ボールねじのリード誤差等の機械駆動
系の誤差により、欠陥絵素周辺の絵素を誤って特定する
可能性があるため欠陥確認機能が必要となってしまう。
本実施例では、機械駆動系の誤差の影響を受けない欠陥
位置の再現を行うので、欠陥確認機能は必要ない。

【００３６】本実施例の方法で、分解能の高いリニアス
ケールを使用すると位置検出が細かすぎて、慣性、剛
性、振動等の機械系の影響により位置決め時に振動が発
生し続け、ハンチングが生じる事があるが、その場合は
位置決め完了信号出力のパルス幅を広げる方向で調整、
もしくはハンチングが継続している時に位置偏差パルス
を強制的にクリアすればよい。

【００３７】マイクロステップドライバを使用した場合
のモータの分解能、リニアスケールの分解能は、絵素幅
に比べて充分細かいため、振幅は絵素幅以内へ、再現し
た欠陥座標位置は欠陥絵素内に収まり、欠陥絵素特定が
失敗する事はないと考えられる。欠陥絵素が特定される
と、レーザ制御装置４０からの指示によりレーザ照射装
置２７がレーザ光を照射し、異物粉砕、配線パターン切
断、接続等の修正を行う。修正すべき位置は、絵素の形
状、特徴ある配線パターン等を利用したパターン認識を
行い、修正ステージの移動により欠陥絵素の基準点の移
動を行い、その位置からの相対座標により求める。パタ
ーン認識は、被修正パネルである液晶パネル３１の裏側
からバックライト３４の光を照射し、パターン認識用撮
像装置２６を用いて欠陥絵素とその周辺の配線パターン
の画像を取り込み、ＴＦＴ部、バスライン等の配線パタ
ーン形状の特徴ある部分と、装置内の画像メモリに用意
してある図形パターンとの比較をパターン認識ユニット
３９により行う。求めた修正すべき位置をレーザ照射装
置２７のレーザ光光軸と重なるように修正ステージ３３
を移動させる。

【００３８】本実施例では、修正ステージ３３を移動さ
せるとしたが、レーザ照射装置２７を可動とし、レーザ
照射装置２７を移動させる事により行う事も可能であ
る。修正すべき位置、すなわち配線パターンの切断、接
続等を行う位置等は、欠陥の種類に応じてあらかじめ決
定しておく。またレーザ光の出力、照射範囲等の設定は
異物粉砕、配線パターンの切断、接続等の修正作業内
容、修正位置等によりあらかじめ決定しておく。欠陥位
置の再現を行い欠陥絵素の特定するとは、実際の動作と
して、パターン認識用撮像装置２６の視野内の基準点が
欠陥絵素内に収まるように、修正ステージを移動させる
ということである。修正が成功したかどうかの認識を行
いたい場合は、修正済みの液晶パネル３１を検査装置１
に装置間パネル搬送装置２１にて搬送し、ネットワーク
２２により検査装置１に転送された修正情報データを使
用して、検査装置１にて欠陥の修正確認を行う。修正終
了後、製品としての基準を満たす様になったパネルと、
修正失敗により製品としての基準を満たすことができな
かったパネルに分類して、異なるパネル収納カセット２
９へ収納する。

【００３９】本発明の第２の実施例を説明する。本実施
例は、第１の実施例において、修正装置のステージ移動
をモータとボールねじを利用して行うのではなく、リニ
アモータを利用して行う。図３のように、修正ステージ
３３のＸ軸、Ｙ軸両方向の移動に、リニアモータ制御装
置５４によってそれぞれ制御されるリニアモータ５０，
５１を使用する。このリニアモータ５０，５１は、リニ
アスケール等の位置検出機構を内蔵もしくは取り付けた
クローズドループ・サーボシステムの方式とする。

【００４０】この方法では、リニアモータガイド５２，
５３から位置検出機構により直接移動量を検出するた
め、駆動系の誤差は全く無くなる。第１の実施例と同様
に、分解能の高い位置検出機構を使用すると位置検出が
細かすぎて、慣性、傾斜、振動等の機械系の影響により
位置決め時に振動が発生し続け、ハンチングが生じる事
があるが、その場合は位置決め完了信号出力のパルス幅
を広げる方向で調整、もしくはハンチングが継続してい
る時に位置偏差パルスを強制的にクリアすればよい。マ
イクロステップドライバを使用した場合のリニアモータ
５０，５１の分解能、位置検出機構の分解能は絵素幅に
比べて充分細かいため、振幅は絵素幅以内へ、再現した
欠陥座標位置は欠陥絵素内に収まり、欠陥絵素特定が失
敗する事はないと考えられる。その後第１の実施例と同
様な修正作業を行う。

【００４１】本発明の第３の実施例を説明する。本実施
例は、第１の実施例のように、リニアスケール等の位置
検出手段を使用するのではなく、ステージを移動させた
時のボールネジのリード誤差を補正を行うことに特徴が
ある。ステージを動かす場合、モータによりボールネジ
を回転させて行うのだが、加工精度の問題によりボール
ネジにはリード誤差が存在し、そのためモータのエンコ
ーダによる位置検出には必ず誤差が発生する。すなわち
図４のグラフのようにステージの移動量とモータドライ
バのパルス出力は完全な比例関係にはなっていない。し
かしステージ位置とモータのパルス出力に対するボール
ネジのリード誤差は、何回でも同じように再現されるた
め、これを利用すれば精度の高い移動が可能となる。

【００４２】例としてサーボモータを使用するとして説
明を行う。修正装置２４を稼動させる前に、修正ステー
ジ３３の移動量と、エンコーダによる位置計測の対応を
調べておく。具体的には修正ステージ３３のＸ方向、Ｙ
方向各軸毎に移動可能範囲を移動端から反対側の移動端
まで移動させながら、レーザ干渉計等の正確に距離を測
定できる機器により移動量を計測し、各軸におけるステ
ージ移動量とエンコーダパルス量の全対応を記録する。
予圧等によりバックラッシュがないタイプのボールねじ
を使用する場合、順方向のみ調べればよいが、バックラ
ッシュのあるボールねじを使用する場合は、順方向と逆
方向で差異があると考えられるため、相方向について調
べる必要がある。この操作は、修正装置２４の立ち上げ
時に一度行っておけばよい。このようにして、修正ステ
ージ３３の移動量は、そのステージ移動区間において、
ボールねじリード誤差を補正したエンコーダパルス量を
用いて測定を行う。

【００４３】この方法により修正装置２４側で欠陥絵素
の中心座標の再現を行った場合、６．４インチＶＧＡ仕
様の液晶パネルであれば縦約２００μｍ×横約６７μｍ
の絵素サイズ内に収まるのに充分な精度を有す。欠陥絵
素の特定が行われれば、第１の実施例と同様な平面表示
パネルの修正を行う。

【００４４】例としてサーボモータを使用するとして説
明を行ったが、サーボ機構のないステッピングモータで
も可能である。制御系を脱調の発生しないように組み、
ボールねじのリード誤差を利用して補正を行ったステー
ジ移動量とモータドライバのモータへのパルス量との相
関をあらかじめ調べておけば、そのステージ移動区間に
おける補正パルス量により移動量の正確な予測が可能と
なり、同様な誤差の小さい位置決めができる。

【００４５】本発明の第４の実施例を説明する。本実施
例は、第１の実施例のように、欠陥の座標に移動して、
そこに存在する欠陥絵素を特定するのではなく、パネル
の絵素にはあらかじめ番号を割り振って番地を設定して
おき、ネットワークを通じて得た検査情報データの欠陥
の座標より欠陥絵素の番地の算出、もしくは検査装置側
で検出した欠陥絵素の番地をネットワークより修正装置
へ送り、パネルの絵素数をソースバスライン方向、ゲー
トバスライン方向それぞれ直接カウントする事により直
接その絵素番地の検索を行う装置である。

【００４６】図５は、本発明に係る検査修正装置の第４
の実施例を示す概略構成図である。この装置は、第１の
実施例とほぼ同じ構成であるので、対応する部分には同
一符号を付し、説明は省略する。この検査修正装置は、
第１の実施例と同様、検査装置１と、装置間パネル搬送
系２０の装置間パネル搬送装置２１と、ネットワーク２
２のデータ通信処理装置２３と修正装置５５から構成さ
れる。

【００４７】検査装置１、装置間パネル搬送系２０及び
ネットワーク２２は、第１の実施例と全く同様の構成で
ある。図５の検査装置１は、パネルロード・アンロード
制御装置１７と通信ユニット１８以外を省略している。
本実施例の特徴は、修正装置５５において、第１の実施
例のリニアスケールカウンタ４２の替わりに、光量検査
パルス発生装置５６を配した点である。

【００４８】この修正装置のパターン認識用撮像装置の
動作を説明する。図６は、修正装置の動作の説明図であ
る。図６にあるように、被修正パネル３１の裏側からバ
ックライト３４の光を照射しておき、パターン認識用撮
像装置２６を利用して、倍率の調整、スリット等の利用
により撮像視野をソースバスライン幅×ゲートバスライ
ン幅程度になるように工夫する。パターン認識用撮像装
置２６により撮像した画像の光量を光量検査パルス発生
装置５６により検査することにより、絵素番地を割り振
られた絵素をカウントする。本実施例では光センサの使
用により光量を検査するものとする。図７の（ａ）に示
すように、撮像画像が絵素のカラーフィルタの場合は光
量が増加し、撮像画像が配線パターンの場合は光量が減
少する。従って、図７の（ａ）に示すように、修正ステ
ージの移動により光量が変化し、図７の（ｂ）に示すよ
うに、センサがＯＮ，ＯＦＦを繰り返してパルスを発生
するように、光センサの感度と移動速度の調節を行う。
そのパルス量をソースバスライン方向、ゲートバスライ
ン方向それぞれ計測することにより絵素番地を得る事が
可能となる。さらにその光センサからのパルス量をモー
タドライバへフィードバックさせることにより、確実な
欠陥絵素の特定が可能となる。欠陥絵素の特定が行われ
れば、第１の実施例と同様な平面表示パネルの修正を行
う。

【００４９】

【発明の効果】本発明によれば、制御手段が位置検出手
段の出力信号によって駆動手段をフィードバック制御し
たり、駆動手段の駆動量と実際の移動量の相関に基づい
て駆動手段を制御するから、検査装置からの検査情報デ
ータに基づいて欠陥位置を正確に再現でき、駆動信号の
発生や切り換えのための点灯回路と駆動信号を入力する
ためのプローバが必要なくなりコストを抑えることがで
き、プロービング動作が必要なくなるため、コクタクト
不良による誤検出、誤修正を行う可能性が減り、プロー
ブの頻繁なクリーニング、メンテナンスが必要なくな
り、スループットが向上するという効果がある。さらに
欠陥検出のための画像処理装置が必要無いため、コスト
が低くなるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る検査修正装置の第１の実施例を示
す概略構成図である。

【図２】第１の実施例の修正装置のステージ部分を示す
構成図である。

【図３】本発明に係る検査修正装置の第２の実施例にお
ける修正装置のステージ部分を示す構成図である。

【図４】本発明に係る検査修正装置の第３の実施例にお
けるモータパルス量とステージ移動量の相関を示す特性
図である。

【図５】本発明に係る検査修正装置の第４の実施例を示
す概略構成図である。

【図６】第４の実施例における修正装置のパターン認識
用撮像装置の動作を示す説明図である。

【図７】（ａ）及び（ｂ）は、第４の実施例における修
正装置のステージ移動量とパターン認識用撮像装置と光
量及び光センサ出力との相関を示す特性図である。

【符号の説明】

１ 検査装置 ３ 欠陥検出用撮像装置 １８、３７ 通信ユニット ２１ 装置間パネル搬送装置 ２３ データ通信処理装置 ２４ 修正装置 ２６ パターン認識用撮像装置 ２７ レーザ ３５ モータ ３６ リニアスケール ４２ リニアスケールカウンタ ４３ モータ制御装置

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 平面表示パネルの欠陥を検査する検査装
   置と、該欠陥の修正機構を有する修正装置と、各装置間
   で検査情報データもしくは修正情報データを伝達する情
   報伝達手段と、各装置間で平面表示パネルを搬送する搬
   送手段とを備え、 前記搬送手段によって検査装置から修正装置に搬送され
   た平面表示パネルの欠陥を、自動的に前記検査情報デー
   タに基づいて修正する平面表示パネル検査修正装置にお
   いて、 前記修正装置は、 前記平面表示パネルあるいは修正機構を移動させる駆動
   手段と、 前記平面表示パネルあるいは修正機構の位置を検出する
   位置検出手段と、 該位置検出手段の出力信号によって駆動手段を制御する
   制御手段と、からなり修正時に欠陥確認することなく欠
   陥位置を再現可能であることを特徴とする平面表示パネ
   ル検査修正装置。
2. 【請求項２】 位置検出手段は、分解能が平面パネルの
   絵素幅より小さいことを特徴とする請求項１記載の平面
   表示パネル検査修正装置。
3. 【請求項３】 位置検出手段は、平面パネルの光量を検
   出する光センサを備え、該光センサにより平面パネルの
   絵素移動による光量変化をパルス化し、該パルスをカウ
   ントして、絵素位置を検出する手段であることを特徴と
   する請求項１記載の平面表示パネル検査修正装置。
4. 【請求項４】 平面表示パネルの欠陥を検査する検査装
   置と、該欠陥の修正機構を有する修正装置と、各装置間
   で検査情報データもしくは修正情報データを伝達する情
   報伝達手段と、各装置間で平面表示パネルを搬送する搬
   送手段とを備え、 前記搬送手段によって検査装置から修正装置に搬送され
   た平面表示パネルの欠陥を、自動的に前記検査情報デー
   タに基づいて修正する平面表示パネル検査修正装置にお
   いて、 前記修正装置は、 平面表示パネルあるいは修正機構を移動させる駆動手段
   と、 該駆動手段の駆動量と平面表示パネルあるいは修正機構
   の移動量の相関に基づいて所定の位置に移動できるよう
   に前記駆動手段を制御する制御手段と、からなり、 修正時に欠陥確認することなく欠陥位置を再現可能であ
   ることを特徴とする平面表示パネル検査修正装置。