JPH08292015A - 非接触画像計測システム及びエッジ追跡測定方法 - Google Patents
非接触画像計測システム及びエッジ追跡測定方法Info
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- 238000000034 method Methods 0.000 title description 28
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 61
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 8
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 claims description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 17
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 10
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 5
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 2
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 description 2
- 239000013256 coordination polymer Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000003708 edge detection Methods 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
にエッジ追跡を行って必要な計測情報を抽出することを
可能とし、操作性を向上させる。 【解決手段】 追従すべきエッジ42を含む被測定画像
にエッジ42の一部を含むようにウィンドウ43を設定
し、設定されたウィンドウ43内の画像情報から複数の
エッジ点44を検出する。検出された複数のエッジ点4
4に近似直線Lを当てはめ、この近似直線Lに沿って一
部の領域が現在のウィンドウ43に重なるように次の新
たなウィンドウ43を設定する。そして、新たなウィン
ド43内の画像情報に基づいてエッジ点の検出、直線の
当てはめ、及び新たなウィンドウの生成を順次繰り返す
ことにより、ウィンドウ43を被測定画像のエッジ42
に沿って順次移動させながらウィンドウ43内の必要な
計測情報を抽出していく。
Description
撮像手段で被測定対象を撮像すると共に、被測定対象の
画像に含まれる輪郭を検出して必要な計測情報を抽出す
る非接触画像計測システム及びエッジ追跡測定方法に関
する。
は、接触測定では困難なICのリードフレームのような
薄板の測定や配線パターン等の測定に使用されている。
非接触画像計測を行う場合には、被測定対象(ワーク)
を測定テーブルにセットしたのち、CCDカメラ等の撮
像装置をワークの測定したい箇所に移動させ、フォーカ
ス調整を行ってCRTディスプレイ上にワークの拡大画
像を表示させる。そして、測定する箇所をマウスのカー
ソルやウィンドウで指示し、画像処理技術に基づいて画
像のエッジ部分を抽出して所望する計測値を演算処理に
より求めていく。
た従来の非接触画像計測システムでは、画像情報の特定
のエッジ部分をエッジに沿って連続的に測定したい場
合、測定領域を指定するウィンドウをエッジに沿って連
続的に移動させなくてはならず、操作が面倒であるとい
う問題がある。一方、画像処理の分野では、種々のエッ
ジ追跡処理の方式が知られている。しかし、従来知られ
ている方式は、多くのものが近傍画素を参照しながら追
跡を行うもので、追跡に時間がかかる上、任意の間隔で
サンプリングを行う非接触測定には適さないという問題
がある。更に、従来の方式では、1画素よりも小さな単
位のエッジ計測に適さないという問題もある。
になされたもので、形状が未知又は変化する物体に対し
ても柔軟にエッジ追跡を行って必要な計測情報を抽出す
ることができる操作性に優れた非接触測定装置及びエッ
ジ追跡測定方法を提供することを目的とする。
測定方法は、追従すべきエッジを含む被測定画像に前記
エッジの一部を含むようにウィンドウを設定するための
ステップと、設定されたウィンドウ内の画像情報から前
記ウィンドウ内の複数のエッジ点を検出するステップ
と、このステップで検出された複数のエッジ点に近似直
線を当てはめるステップと、このステップで当てはめら
れた近似直線に沿って一部の領域が現在のウィンドウに
重なるように次の新たなウィンドウを設定するステップ
とを備え、前記新たなウィンド内の画像情報に基づいて
前記エッジ点の検出、前記直線の当てはめ、及び前記新
たなウィンドウの生成を順次繰り返すことにより、前記
ウィンドウを前記被測定画像のエッジに沿って順次移動
させながら前記ウィンドウ内で必要な測定点を抽出して
いくことを特徴とする。
被測定対象を撮像することによって表示画面に表示され
た追従すべきエッジを含む被測定画像に前記エッジの一
部を含むようにウィンドウを設定するためのステップ
と、設定されたウィンドウ内の画像情報から前記ウィン
ドウ内の複数のエッジ点を検出するステップと、このス
テップで検出された複数のエッジ点に近似直線を当ては
めるステップと、このステップで当てはめられた近似直
線に沿って一部の領域が現在のウィンドウに重なるよう
に次の新たなウィンドウを設定するステップと、このス
テップで生成された新たなウィンドウが前記表示画面の
中に収まるように前記新たなウィンドウの発生と協動さ
せて前記被測定対象の撮像位置を変更するステップとを
備え、前記新たなウィンド内の画像情報に基づいて前記
エッジ点の検出、前記直線の当てはめ、前記新たなウィ
ンドウの生成、及び前記撮像位置の変更を順次繰り返す
ことにより、前記ウィンドウを前記被測定画像のエッジ
に沿って順次移動させながら前記ウィンドウ内で必要な
測定点を抽出していくことを特徴とする。
ムは、被測定対象を撮像する撮像手段と、この撮像手段
で撮像された前記被測定対象の画像を表示する表示手段
と、この表示手段に前記被測定対象の画像に重ねて測定
領域を示すウィンドウを表示させると共に、前記被測定
対象の画像に含まれるエッジに沿って前記ウィンドウを
移動させて前記ウィンドウ内の画像情報から計測に必要
な情報を抽出する制御手段とを備え、前記制御手段は、
前記ウィンドウ内の画像情報から前記ウィンドウ内の複
数のエッジ点を検出し、得られた複数のエッジ点に近似
直線を当てはめると共に、この近似直線に沿って一部の
領域が現在のウィンドウに重なるように次の新たなウィ
ンドウを生成するものであることを特徴とする。
ては、前記ウィンドウ内でエッジ点を見失ったときに、
最後に検出されたエッジ点を中心として前記ウィンドウ
を回転させて前記最後に検出されたエッジ点に続くエッ
ジ点を検出する。
ィンドウ内に含むか否かを判別し、前記指定された測定
終了点を前記ウィンドウ内に含むと判別された場合に、
エッジ追跡を終了させる。
初にウィンドウの初期位置を設定すれば、その後はウィ
ンドウがエッジに沿って自律的に移動して必要なエッジ
点をサンプリングしていくので、エッジに関する必要な
情報を極めて簡単な操作で得ることができる。
する際には、ウィンドウの移動と被測定対象の撮像位置
とを協動させることにより、常に表示画面内にウィンド
ウが収まるようにすることができる。このため、比較的
大型の被測定対象についても、エッジ抽出と測定点抽出
とを支障なく行うことができる。
得られた複数のエッジ点から近似直線を求め、この近似
直線に沿って次のウィンドウ位置を決定しているので、
サンプル値に異常点が含まれていても、次のウィンドウ
位置の決定に大きく影響を及ぼす事はない。次のウィン
ドウの位置は、前のウィンドウに一部の領域が重なるよ
うに決定されるので、エッジが急峻に変化している場合
でも、次のウィンドウでエッジを見失う事がない。
でウィンドウ内でエッジ点を見失った場合でも、最後に
検出されたエッジ点を中心として前記ウィンドウを回転
させ、上記エッジ点に続くエッジ点を検出して次の新た
なウィンドウを設定することにより、前記新たなウィン
ド内の画像情報に基づいて再び前記エッジ点の検出、前
記直線の当てはめ、及び前記新たなウィンドウの生成を
支障なく続行することができる。
を指定すれば、この測定終了点を前記ウィンドウ内に含
むと判別された場合に、当該ウィンド内の画像情報に基
づいて新たなウィンドウは生成されず、前記ウィンドウ
内の必要な測定点の抽出が終了するので、一連の処理を
自動的に終了させることができる。
は、制御手段がウィンドウを被測定対象の画像のエッジ
に沿って移動させて計測に必要な情報を抽出するので、
形状が未知又は変化する物体に対しても必要な計測情報
を効率良く抽出することができる。
明の実施例について説明する。図1は、本発明の実施例
に係る非接触画像計測システムの全体構成を示す斜視図
である。このシステムは、非接触画像計測型の三次元測
定機1と、この三次元測定機1を駆動制御すると共に、
必要なデータ処理を実行するコンピュータシステム2
と、計測結果をプリントアウトするプリンタ3とにより
構成されている。
いる。即ち、架台11上には、ワーク12を載置する測
定テーブル13が装着されており、この測定テーブル1
3は、図示しないY軸駆動機構によってY軸方向に駆動
される。架台11の両側縁中央部には上方に延びる支持
アーム14,15が固定されており、この支持アーム1
4,15の両上端部を連結するようにX軸ガイド16が
固定されている。このX軸ガイド16には、撮像ユニッ
ト17が支持されている。撮像ユニット17は、図示し
ないX軸駆動機構によってX軸ガイド16に沿って駆動
される。撮像ユニット17の下端部には、CCDカメラ
18が測定テーブル13と対向するように装着されてい
る。また、撮像ユニット17の内部には、図示しない照
明装置及びフォーカシング機構の他、CCDカメラ18
のZ軸方向の位置を移動させるZ軸駆動機構が内蔵され
ている。
本体21、キーボード22、ジョイスティックボックス
23、マウス24及びCRTディスプレイ25を備えて
構成されている。コンピュータ本体21は、例えば図2
に示すように構成されている。即ち、CCDカメラ18
から入力される画像情報は、インタフェース(以下、I
/Fと呼ぶ)31を介して多値画像メモリ32に格納さ
れる。多値画像メモリ32に格納された多値画像情報
は、表示制御部33を介してCRTディスプレイ25に
表示される。一方、マウス24から入力される位置情報
は、I/F34を介してCPU35に入力される。CP
U35は、プログラムメモリ36に格納されたプログラ
ムに従って、マウス24で指定された位置、大きさ及び
向きの矩形領域をウィンドウとして表示するためのデー
タを生成し、このウィンドウの内部の多値画像情報を多
値画像メモリ32から抽出してエッジ点の検出、検出さ
れたエッジ点への近似直線の当てはめ処理、及び求めら
れた近似直線に沿った次のウィンドウの生成処理を順次
実行する。ワークメモリ37は、CPU35での各種処
理のための作業領域を提供する。
測システムにおけるエッジ追跡測定手順について説明す
る。図3は、このエッジ追跡測定のためのCPU35の
処理の手順を示すフローチャート、図4は、この処理を
説明するためCRTディスプレイ25に表示されたワー
ク12の一部を示す画像情報41を示す図である。図4
に示す画像情報41には、追跡しようとするエッジ42
が含まれている。そこで、まず、マウス24等を操作し
てエッジ42の一部を内部に含むように測定領域を示す
矩形のウィンドウ43の初期位置を設定する(S1)。
ウィンドウ43は、例えば、その四隅A,B,C,Dを
マウス24のクリック操作で設定するか、又は矩形の対
角方向の2点を指定したのち、その矩形領域をドラッグ
操作で任意の角度に傾け、移動させる等の操作によって
指定する。なお、このとき、エッジ42に沿って追跡す
る方向も指定する。
ら、次にCPU35は、ウィンドウ43内の多値画像情
報からエッジ点44を複数検出する(S2)。図5に
は、このサンプリングの詳細が示されている。エッジ点
のサンプリングの間隔Δは、予めワークメモリ37に設
定しておく。CPU35は、まず、始点A(xa,y
a)から終点B(xb,yb)まで、x座標をcos θ
[但し、θはウィンドウ43の傾きである。]、y座標
をsin θずつ変化させながら、多値画像メモリ32から
x,y座標で示されるアドレスの多値画像情報を抽出し
ていく。得られた多値の点列データから適当なスレッシ
ョルドレベルを設定し、このスレッショルドレベルと点
列データとの交差するポイントをエッジ点としてサンプ
リングする。次に、始点と終点とを、それぞれΔ・sin
θ及びΔ・cos θだけ移動させて、同様のサンプリング
を実行する。以上の処理を始点C(xc,yc)及び終
点D(xd,yd)まで連続して行うと、予め設定され
た間隔Δでの複数のエッジ点44のサンプリングが終了
する。
ジ点44のサンプリング値に例えば最小2乗法により、
近似直線を当てはめる(S3)。いま、図6に示すよう
に、ウィンドウ43により得られたエッジ点44のサン
プリング値から近似直線Lが求められたとすると、CP
U35は、この近似直線Lに沿うように、次のウィンド
ウ43′を決定する(S4)。このため、まず、現ウィ
ンドウ43で求められたウィンドウ43の移動方向にお
ける最も端のエッジ点43aから近似直線Lに垂線を下
ろし、この垂線と近似直線Lとの交点から、近似直線L
に沿ってウィンドウ43の移動方向とは逆向きにH・m
/100(但し、Hはウィンドウの高さ、mは予め設定
された重複率(%))だけ離れた点P1とこの点P1か
らウィンドウ43の移動方向にHだけ離れた点P2とを
求める。次に、点P1,P2で近似直線Lにそれぞれ直
交する直線上で、近似直線LからそれぞれW/2(但
し、Wはウィンドウの幅)だけ離れた点をそれぞれ新た
なウィンドウ43′の四隅の点A′,B′,C′,D′
とする。これにより、次のウィンドウ43′が決定され
る。
述と同様のウィンドウ43′内のエッジ点のサンプリン
グと近似直線の当てはめを行いながら、順次ウィンドウ
43を移動していく。そして、追跡すべきエッジを全て
追跡したら、処理を終了する(S5)。
る際、マウス24等を操作してエッジ42上に測定終了
点を設定するか、又はワーク座標系上の点として直接数
値を入力する等の方法により、一連の処理を測定終了点
で自動的に終了させることができる。図7は、この測定
終了のためのCPU35の処理の手順を示すフローチャ
ート、図8は、この処理を説明するためCRTディスプ
レイ25に表示されたワーク12の一部を示す画像情報
41を示す図、図9及び図10は、終了判定処理を説明
するための図である。いま、説明の簡単化のため、図9
に示すように、ウィンドウ43の中心を基準としてウィ
ンドウ座標系m,nを定め、その原点をOwとする。
でウィンドウ43の中心Owと終了点Eとの相対位置を
表すベクトルEを算出する(S11)。次に、ワークメ
モリ37上でベクトルEを例えばワーク座標系とウィン
ドウ座標系との間の傾きが0°になるように回転させる
(S12)。回転されたベクトルE′のベクトル成分E
x,Eyが、図10に示すように、ウィンドウ43′の
幅W及び高さHの1/2よりも小さい場合、即ち Ex
<W/2, Ey <H/2であれば(S13)、終
了条件を満足すると判断して、新たなウィンドウ43は
生成せず、ウィンドウ43内の必要な測定点を抽出した
ら、一連の処理を終了する。一方、回転されたベクトル
E′のベクトル成分Ex,Eyが、図10に示すよう
に、 Ex<W/2, Ey <H/2のいずれか一方
の条件を満さなければ(S13)、終了条件を満足する
と判断するまで、新たに生成されるウィンドウ43につ
いて上述した処理を繰り返す(S11〜S13)。な
お、ワーク12が円のように閉じられた形状である場合
には、測定の開始点及び終了点が一致する。このため、
最初のウィンドウ43の生成時においては、上述した終
了条件の判別を行わず、2回目以降のウィンドウ43の
生成時において、判別を行うようにすればよい。2回目
には、ウィンドウ43の移動によって測定終了点がウィ
ンドウ43から外れるからである。
ば、最初にウィンドウの初期位置を設定すれば、その後
はウィンドウがエッジに沿って自律的に移動して必要な
エッジ点をサンプリングしていくので、エッジに関する
必要な情報が極めて簡単な操作で得られるという利点が
ある。なお、曲線近似によって次のウィンドウ位置を決
定することも考えられるが、この場合には、サンプリン
グ点に異常点が含まれている場合、その点に左右されて
次のウィンドウでエッジを見失う事が考えられる。この
点、このシステムでは、ウィンドウ内で得られた複数の
エッジ点から最小2乗法により近似直線を求め、この近
似直線に沿って次のウィンドウ位置を決定しているの
で、サンプル値に異常点が含まれていても、次のウィン
ドウ位置の決定に大きく影響を及ぼす事はない。
複率mで前のウィンドウに重なるように次のウィンドウ
が決定されるので、例えば図11に示すように、エッジ
が急峻に変化している場合でも、次のウィンドウでエッ
ジを見失う事がない。この重複率mは、エッジの急峻度
とエッジの追従効率とを勘案して、任意の値に設定すれ
ばよい。図示の例は、重複率が約20%の例を示してい
る。
以上に急峻なエッジに対しては、エッジを見失うことも
ある。この場合、図12に示すように、近似直線に沿っ
た方向ではワーク12の形状が不連続になっていると判
断し、ウィンドウ43内で得られた最後のエッジ点Pn
の近傍を捜し回ることにより、見失ったエッジ42を捜
し出すことができる。図13は、このエッジ追跡測定の
ためのCPU35の処理の手順を示すフローチャート、
図14は、この処理を説明するための図である。
像情報からエッジ点を検出して(S2)、エッジ点が検
出されなければ(S21)、エッジ点Pnの近傍につい
て明るさ(例えば、反射強度)を調べ(S22)、ワー
ク12の形状が図14(a)に示すような鋭角である
か、あるいは図14(b)に示すような鈍角であるかを
判別する(S23)。ここで、明るさを調べる位置は、
最終エッジ検出点Pnを基準として角度と距離によって
決める。図12に示すように、エッジを見失ったときの
ウィンドウ43は近似直線に対して垂直に設定されるた
め、その方向を基準として連続するエッジの方向を推定
する。エッジが得られなかった点Pn+1は、連続する
エッジを見失う直前の位置からサンプリング間隔Δだけ
離れた位置であるため、実際のワーク12の形状に対し
て矛盾する場合が少なく、明るさを調べる位置として最
適であると考えられる。
図15(a)に示すように、ウィンドウ43をエッジ点
Pnを中心にして−90°回転させ(S24)、ウィン
ドウ43内の多値画像情報からエッジ点Pn+1を検出
する(S25)。ここで、エッジ点Pn+1が検出され
れば(S26)、見失われたエッジ42を捜し出したと
して、上述した直線の当てはめ処理を行う。一方、エッ
ジ点Pn+1が再び検出されなければ(S26)、図1
5(b)に示すように、ウィンドウ43をエッジ点Pn
を中心にして−45°回転させ(S27)、ウィンドウ
43内の多値画像情報からエッジ点Pn+1を検出する
(S28)。ここで、エッジ点Pn+1が検出されれば
(S29)、見失われたエッジ42を捜し出したとし
て、上述した直線の当てはめ処理を行う。一方、エッジ
点Pn+1が再び検出されなければ(S29)、測定の
続行を断念し、例えばCRTディスプレイ25を介して
ユーザに警告する。以下、ワーク12の形状が図14
(b)に示すような鈍角である場合にも、回転角を例え
ば+90°,+45°と変更して同様の処理を行う(S
30〜S33)。
りきらないワーク12を測定する際には、ウィンドウ4
3の移動とワーク12の撮像位置とを協動させることに
より、常に表示画面内にウィンドウ43が収まるように
することができる。このため、比較的大型のワーク12
についても、エッジ抽出と測定点抽出とを支障なく行う
ことができる。図16は、このエッジ追跡測定のための
CPU35の処理の手順を示すフローチャート、図17
は、この処理を説明するための図である。
ウィンドウ43′を決定して(S4)、画面41の中央
Oaとウィンドウ43′の中心Ow′との相対位置を表
すベクトルAを算出し(S41)、ウィンドウ43′が
画面41に収まるか否かを判別する(S42)。ウィン
ドウ43′が画面41に収まらない場合には、次の画面
41′の中央Obから近似直線に沿って境界FF′に至
るまでの距離を所定の割合(例えば、50%)で内分す
るベクトルBを算出した後(S43)、画面41の中央
Oaと画面41′の中央Obとの相対位置を表すベクト
ルB−A(移動量)を算出し(S44)、ベクトルB−
Aの向きとは逆向きに B−A だけステージを移動さ
せる(S45)。なお、上述した割合の指定はプログラ
ムメモリ36に記憶されたソフトウェアで実現している
ので、変数として取り扱い変更を容易に行うことができ
る。
ィンドウが被測定対象の画像のエッジに沿って移動して
計測に必要な情報を抽出するので、形状が未知又は変化
する物体に対しても必要な情報を効率良く抽出すること
ができるという効果を奏する。
たプログラムの作成を要せず、初期設定をするだけでエ
ッジ追跡測定における一連の処理を自動的に行うことが
でき、操作を短時間で修得できるという効果を奏する。
ムの構成を示す斜視図である。
ック図である。
チャートである。
る。
検出を説明するための図である。
定手順を説明するための図である。
トである。
る。
するための図である。
ための図である。
を示す図である。
点検出を説明するための図である。
ーチャートである。
を説明するための図である。
決定手順を説明するための図である。
ローチャートである。
順を説明するための図である。
リンタ、11…架台、12…ワーク、13…測定テーブ
ル、14,15…支持アーム、16…X軸ガイド、17
…撮像ユニット、18…CCDカメラ、21…コンピュ
ータ本体、22…キーボード、23…ジョイスティック
ボックス、24…マウス、25…CRTディスプレイ、
31,34…インタフェース、32…多値画像メモリ、
33…表示制御部、35…CPU、36…プログラムメ
モリ、37…ワークメモリ、41,41′…画像情報、
42…エッジ、43,43′,43″…ウィンドウ、4
4…エッジ点。
Claims (8)
- 【請求項1】 追従すべきエッジを含む被測定画像に前
記エッジの一部を含むようにウィンドウを設定するため
のステップと、 設定されたウィンドウ内の画像情報から前記ウィンドウ
内の複数のエッジ点を検出するステップと、 このステップで検出された複数のエッジ点に近似直線を
当てはめるステップと、 このステップで当てはめられた近似直線に沿って一部の
領域が現在のウィンドウに重なるように次の新たなウィ
ンドウを設定するステップとを備え、 前記新たなウィンド内の画像情報に基づいて前記エッジ
点の検出、前記直線の当てはめ、及び前記新たなウィン
ドウの生成を順次繰り返すことにより、前記ウィンドウ
を前記被測定画像のエッジに沿って順次移動させながら
前記ウィンドウ内で必要な測定点を抽出していくことを
特徴とするエッジ追跡測定方法。 - 【請求項2】 被測定対象を撮像することによって表示
画面に表示された追従すべきエッジを含む被測定画像に
前記エッジの一部を含むようにウィンドウを設定するた
めのステップと、 設定されたウィンドウ内の画像情報から前記ウィンドウ
内の複数のエッジ点を検出するステップと、 このステップで検出された複数のエッジ点に近似直線を
当てはめるステップと、 このステップで当てはめられた近似直線に沿って一部の
領域が現在のウィンドウに重なるように次の新たなウィ
ンドウを設定するステップと、 このステップで生成された新たなウィンドウが前記表示
画面の中に収まるように前記新たなウィンドウの発生と
協動させて前記被測定対象の撮像位置を変更するステッ
プとを備え、 前記新たなウィンド内の画像情報に基づいて前記エッジ
点の検出、前記直線の当てはめ、前記新たなウィンドウ
の生成、及び前記撮像位置の変更を順次繰り返すことに
より、前記ウィンドウを前記被測定画像のエッジに沿っ
て順次移動させながら前記ウィンドウ内で必要な測定点
を抽出していくことを特徴とするエッジ追跡測定方法。 - 【請求項3】 前記エッジ点を検出するステップは、前
記設定されたウィンドウ内でエッジ点を見失ったとき
に、最後に検出されたエッジ点を中心として前記ウィン
ドウを回転させて前記最後に検出されたエッジ点に続く
エッジ点を検出するステップであることを特徴とする請
求項1又は2記載のエッジ追跡測定方法。 - 【請求項4】 前記被測定対象における測定終了点を指
定するステップと、 指定された測定終了点を前記ウィンドウ内に含むか否か
を判別するステップと、 前記指定された測定終了点を前記ウィンドウ内に含むと
判別された場合に、エッジ追跡を終了させるステップと
を更に備えたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか
1項記載のエッジ追跡測定方法。 - 【請求項5】 被測定対象を撮像する撮像手段と、 この撮像手段で撮像された前記被測定対象の画像を表示
する表示手段と、 この表示手段に前記被測定対象の画像に重ねて測定領域
を示すウィンドウを表示させると共に、前記被測定対象
の画像に含まれるエッジに沿って前記ウィンドウを移動
させて前記ウィンドウ内の画像情報から計測に必要な情
報を抽出する制御手段とを備え、 前記制御手段は、前記ウィンドウ内の画像情報から前記
ウィンドウ内の複数のエッジ点を検出し、得られた複数
のエッジ点に近似直線を当てはめると共に、この近似直
線に沿って一部の領域が現在のウィンドウに重なるよう
に次の新たなウィンドウを生成するものであることを特
徴とする非接触画像計測システム。 - 【請求項6】 前記制御手段は、前記生成された新たな
ウィンドウが前記表示手段の表示画面内に収まるように
前記新たなウィンドウの発生と協動させて前記被測定対
象に対する前記撮像手段の位置を移動させるものである
ことを特徴とする請求項5記載の非接触画像計測システ
ム。 - 【請求項7】 前記制御手段は、前記ウィンドウ内でエ
ッジ点を見失ったときに、最後に検出されたエッジ点を
中心として前記ウィンドウを回転させて前記最後に検出
されたエッジ点に続くエッジ点を検出するものであるこ
とを特徴とする請求項5又は6記載の非接触画像計測シ
ステム。 - 【請求項8】 前記制御手段は、予め指定された測定終
了点を前記ウィンドウ内に含むか否かを判別し、 前記指定された測定終了点を前記ウィンドウ内に含むと
判別された場合に、エッジ追跡を終了させるものである
ことを特徴とする請求項5〜7のいずれか1項記載の非
接触画像計測システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03410696A JP3650205B2 (ja) | 1995-02-24 | 1996-02-21 | 非接触画像計測システム及びエッジ追跡測定方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6206295 | 1995-02-24 | ||
| JP7-62062 | 1995-02-24 | ||
| JP03410696A JP3650205B2 (ja) | 1995-02-24 | 1996-02-21 | 非接触画像計測システム及びエッジ追跡測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08292015A true JPH08292015A (ja) | 1996-11-05 |
| JP3650205B2 JP3650205B2 (ja) | 2005-05-18 |
Family
ID=26372902
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03410696A Expired - Fee Related JP3650205B2 (ja) | 1995-02-24 | 1996-02-21 | 非接触画像計測システム及びエッジ追跡測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3650205B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004509346A (ja) * | 2000-09-22 | 2004-03-25 | ベルス・メステヒニーク・ゲーエムベーハー | 座標測定装置によって測定対象物の幾何学的形状を測定する方法。 |
| US6813382B2 (en) * | 2001-01-17 | 2004-11-02 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Image outline determination method, image outline determination apparatus, image outline determination program storage medium, image input apparatus and image input program storage medium |
| JP2012088162A (ja) * | 2010-10-19 | 2012-05-10 | Mitsutoyo Corp | 画像測定装置及びその駆動制御方法 |
| CN120846242A (zh) * | 2025-07-17 | 2025-10-28 | 北京康吉森技术有限公司 | 一种工件边沿自动跟踪方法和系统 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2024089320A (ja) * | 2022-12-21 | 2024-07-03 | 株式会社Subaru | 画像処理装置 |
-
1996
- 1996-02-21 JP JP03410696A patent/JP3650205B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JP2004509346A (ja) * | 2000-09-22 | 2004-03-25 | ベルス・メステヒニーク・ゲーエムベーハー | 座標測定装置によって測定対象物の幾何学的形状を測定する方法。 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3650205B2 (ja) | 2005-05-18 |
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|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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