JPH08293752A - 表面実装型電子部品およびその製造方法 - Google Patents
表面実装型電子部品およびその製造方法Info
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- JPH08293752A JPH08293752A JP12093195A JP12093195A JPH08293752A JP H08293752 A JPH08293752 A JP H08293752A JP 12093195 A JP12093195 A JP 12093195A JP 12093195 A JP12093195 A JP 12093195A JP H08293752 A JPH08293752 A JP H08293752A
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- electrode
- electronic component
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/34—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
- H05K3/341—Surface mounted components
- H05K3/3431—Leadless components
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】実装時の半田付け性を改善し、小型化できる表
面実装型電子部品およびその製造方法を提供する。 【構成】アルミナ基板10の表裏面に複数の取付電極1
3,14が形成され、表裏いずれかの取付電極上に電子
部品素子20が搭載され、アルミナ基板10の側縁部に
厚み方向に連続する複数の凹溝11,12が形成され
る。凹溝11,12の内面には表裏の取付電極13,1
4を互いに導通させる端面電極15,16が形成され、
これら端面電極上に溶融半田層17,18が形成され
る。
面実装型電子部品およびその製造方法を提供する。 【構成】アルミナ基板10の表裏面に複数の取付電極1
3,14が形成され、表裏いずれかの取付電極上に電子
部品素子20が搭載され、アルミナ基板10の側縁部に
厚み方向に連続する複数の凹溝11,12が形成され
る。凹溝11,12の内面には表裏の取付電極13,1
4を互いに導通させる端面電極15,16が形成され、
これら端面電極上に溶融半田層17,18が形成され
る。
Description
【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は表面実装型電子部品およ
びその製造方法に関するものである。
びその製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、表面実装型の圧電発振子として、
図1に示すものが知られている。この圧電発振子は、取
付電極2,3を形成したアルミナ基板1に圧電素子4を
搭載し、その上からアルミナ製キャップ5を被せ、接着
剤6で封止する構造となっている。上記取付電極2,3
は表裏面に帯状に形成されており、表裏の取付電極2,
3は側縁部に形成された端面電極7,8によって互いに
接続されている。端面電極7,8はアルミナ基板1の側
縁部に形成された凹溝1a,1bの内面に形成されてい
る。上記凹溝1a,1bは、表裏の取付電極2,3を接
続するための端面電極7,8の形成、および回路基板へ
の半田付け時のフィレット確保という2つの目的のため
に設けられる。
図1に示すものが知られている。この圧電発振子は、取
付電極2,3を形成したアルミナ基板1に圧電素子4を
搭載し、その上からアルミナ製キャップ5を被せ、接着
剤6で封止する構造となっている。上記取付電極2,3
は表裏面に帯状に形成されており、表裏の取付電極2,
3は側縁部に形成された端面電極7,8によって互いに
接続されている。端面電極7,8はアルミナ基板1の側
縁部に形成された凹溝1a,1bの内面に形成されてい
る。上記凹溝1a,1bは、表裏の取付電極2,3を接
続するための端面電極7,8の形成、および回路基板へ
の半田付け時のフィレット確保という2つの目的のため
に設けられる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで、一般に印刷
による電極形成には銀(Ag)が使用されるが、従来で
はアルミナ基板1の表裏面の取付電極2,3および端面
電極7,8の材料として、実装半田付け時の銀食われを
防ぐために、AgPd(Pd含有量0.5〜20%)を
用いていた。
による電極形成には銀(Ag)が使用されるが、従来で
はアルミナ基板1の表裏面の取付電極2,3および端面
電極7,8の材料として、実装半田付け時の銀食われを
防ぐために、AgPd(Pd含有量0.5〜20%)を
用いていた。
【0004】しかしながら、銀にパラジウム(Pd)を
加えることで半田付き性が悪くなり、フィレットの高さ
が目標値を満足できない場合があった。また、半田付け
性の向上と銀食われ防止のために、銀の上にメッキを施
す方法もあるが、この方法ではコスト上昇を招くという
問題があった。また、キャップ5をアルミナ基板1へ接
着するための接着剤6が凹溝1a,1bへ流れ込むと、
半田付き性が低下する。これを防止するため、アルミナ
基板1のサイズをキャップ5よりかなり大きくする必要
があり、製品の小型化が困難であった。
加えることで半田付き性が悪くなり、フィレットの高さ
が目標値を満足できない場合があった。また、半田付け
性の向上と銀食われ防止のために、銀の上にメッキを施
す方法もあるが、この方法ではコスト上昇を招くという
問題があった。また、キャップ5をアルミナ基板1へ接
着するための接着剤6が凹溝1a,1bへ流れ込むと、
半田付き性が低下する。これを防止するため、アルミナ
基板1のサイズをキャップ5よりかなり大きくする必要
があり、製品の小型化が困難であった。
【0005】そこで、本発明の目的は、安価でかつ実装
時の半田付け性を改善できる表面実装型電子部品および
その製造方法を提供することにある。他の目的は、基板
サイズを小さくでき、小型化を図ることができる表面実
装型電子部品およびその製造方法を提供することにあ
る。
時の半田付け性を改善できる表面実装型電子部品および
その製造方法を提供することにある。他の目的は、基板
サイズを小さくでき、小型化を図ることができる表面実
装型電子部品およびその製造方法を提供することにあ
る。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1に記載の発明は、絶縁基板の表裏面に複数
の取付電極が形成され、表裏いずれかの取付電極上に電
子部品素子が搭載され、絶縁基板の側縁部に厚み方向に
のびる複数の凹溝が形成され、これら凹溝の内面に表裏
の取付電極を互いに導通させる端面電極が形成され、こ
れら端面電極上に溶融半田層が形成された表面実装型電
子部品である。上記電子部品において、電子部品素子と
して圧電素子を用い、絶縁基板としてアルミナ基板を用
い、アルミナ基板の上に圧電素子を覆うキャップを接着
してもよい。また、電子部品素子として圧電素子を用
い、絶縁基板として両側縁に凹溝を形成した方形のアル
ミナ基板を用いた場合、このアルミナ基板に第1と第2
の取付電極とその間に第3の電極とを形成し、第1の取
付電極と第3の電極との間、および第2の取付電極と第
3の電極との間に容量部を形成してもよい。さらに、こ
れら3個の電極を凹溝の内面に形成された端面電極とそ
れぞれ導通するようにアルミナ基板の側縁部へ引き延ば
し、さらにアルミナ基板の上に圧電素子を覆うキャップ
を接着してもよい。請求項4に記載の発明は、絶縁基板
に電子部品素子を搭載した表面実装型電子部品の製造方
法において、絶縁性のマザー基板に、複数のスルーホー
ルを形成する工程、上記マザー基板の表裏面に複数の取
付電極を形成する工程、上記スルーホールの内面に表裏
の取付電極を導通させる端面電極を形成する工程、上記
マザー基板の表裏いずれかの取付電極上に電子部品素子
を搭載する工程、上記スルーホールに半田ペーストを埋
め込む工程、上記スルーホールに埋め込まれた半田ペー
ストを溶融させる工程、および上記マザー基板を溶融半
田が付着したスルーホールの部位で分断し、絶縁基板と
する工程とを含む。なお、スルーホールに埋め込まれた
半田ペーストを溶融させた後、マザー基板の分断前に、
マザー基板にエアーを吹きつけて溶融半田に穴を開け、
溶融半田をスルーホールの内周面に寄せる工程を追加し
てもよい。
め、請求項1に記載の発明は、絶縁基板の表裏面に複数
の取付電極が形成され、表裏いずれかの取付電極上に電
子部品素子が搭載され、絶縁基板の側縁部に厚み方向に
のびる複数の凹溝が形成され、これら凹溝の内面に表裏
の取付電極を互いに導通させる端面電極が形成され、こ
れら端面電極上に溶融半田層が形成された表面実装型電
子部品である。上記電子部品において、電子部品素子と
して圧電素子を用い、絶縁基板としてアルミナ基板を用
い、アルミナ基板の上に圧電素子を覆うキャップを接着
してもよい。また、電子部品素子として圧電素子を用
い、絶縁基板として両側縁に凹溝を形成した方形のアル
ミナ基板を用いた場合、このアルミナ基板に第1と第2
の取付電極とその間に第3の電極とを形成し、第1の取
付電極と第3の電極との間、および第2の取付電極と第
3の電極との間に容量部を形成してもよい。さらに、こ
れら3個の電極を凹溝の内面に形成された端面電極とそ
れぞれ導通するようにアルミナ基板の側縁部へ引き延ば
し、さらにアルミナ基板の上に圧電素子を覆うキャップ
を接着してもよい。請求項4に記載の発明は、絶縁基板
に電子部品素子を搭載した表面実装型電子部品の製造方
法において、絶縁性のマザー基板に、複数のスルーホー
ルを形成する工程、上記マザー基板の表裏面に複数の取
付電極を形成する工程、上記スルーホールの内面に表裏
の取付電極を導通させる端面電極を形成する工程、上記
マザー基板の表裏いずれかの取付電極上に電子部品素子
を搭載する工程、上記スルーホールに半田ペーストを埋
め込む工程、上記スルーホールに埋め込まれた半田ペー
ストを溶融させる工程、および上記マザー基板を溶融半
田が付着したスルーホールの部位で分断し、絶縁基板と
する工程とを含む。なお、スルーホールに埋め込まれた
半田ペーストを溶融させた後、マザー基板の分断前に、
マザー基板にエアーを吹きつけて溶融半田に穴を開け、
溶融半田をスルーホールの内周面に寄せる工程を追加し
てもよい。
【0007】
【作用】本発明の電子部品によれば、絶縁基板の側縁部
に形成された凹溝の内面に端面電極が形成され、この端
面電極上に溶融半田層が形成されているので、実装時に
半田が溶融半田層と良好に密着し、十分なフィレットの
高さを確保できる。そのため、半田付け性が良好とな
る。また、本発明の製造方法によれば、マザー基板の段
階のスルーホール内に半田ペーストを埋め込み、この半
田を溶融させた後、マザー基板を分割するようにしたの
で、凹溝の内面に効率よく溶融半田層を形成できる。
に形成された凹溝の内面に端面電極が形成され、この端
面電極上に溶融半田層が形成されているので、実装時に
半田が溶融半田層と良好に密着し、十分なフィレットの
高さを確保できる。そのため、半田付け性が良好とな
る。また、本発明の製造方法によれば、マザー基板の段
階のスルーホール内に半田ペーストを埋め込み、この半
田を溶融させた後、マザー基板を分割するようにしたの
で、凹溝の内面に効率よく溶融半田層を形成できる。
【0008】本発明は圧電部品に限らず、表面実装型で
あれば、他の電子部品(例えば抵抗ネットワーク、コン
デンサネットワークなど)にも適用できる。本発明にお
いて、圧電素子としては圧電発振子、水晶発振子、圧電
フィルタ、LTフィルタ、セラミックディスクリミネー
タ、トラップ素子、SAW素子などを含む。また、絶縁
基板としては、アルミナ基板のほか、ガラス基板、ガラ
スエポキシ基板などを含む。さらに、キャップとしては
アルミナ製キャップや金属キャップを用いることができ
る。
あれば、他の電子部品(例えば抵抗ネットワーク、コン
デンサネットワークなど)にも適用できる。本発明にお
いて、圧電素子としては圧電発振子、水晶発振子、圧電
フィルタ、LTフィルタ、セラミックディスクリミネー
タ、トラップ素子、SAW素子などを含む。また、絶縁
基板としては、アルミナ基板のほか、ガラス基板、ガラ
スエポキシ基板などを含む。さらに、キャップとしては
アルミナ製キャップや金属キャップを用いることができ
る。
【0009】
【実施例】図2は本発明の第1実施例である表面実装型
圧電発振子を示す。この圧電発振子は、絶縁基板10
と、発振子素子20と、キャップ30とで構成されてい
る。基板10はアルミナセラミックスをシート成形ある
いはタブレット成形した厚み0.3〜0.7mmの長方
形状の薄板であり、その長辺の両側縁部には厚み方向に
のびる4個の凹溝11,12が形成されている。基板1
0の表裏面には2本の帯状の取付電極13,14が形成
されており、凹溝11,12の内面には端面電極15,
16が形成されている。基板10の表裏面に形成された
取付電極13,14は端面電極15,16を介して接続
されている。凹溝11,12の内面に形成された端面電
極15,16上には、図3のように、溶融半田層17,
18(符号18は図示せず)が形成されている。
圧電発振子を示す。この圧電発振子は、絶縁基板10
と、発振子素子20と、キャップ30とで構成されてい
る。基板10はアルミナセラミックスをシート成形ある
いはタブレット成形した厚み0.3〜0.7mmの長方
形状の薄板であり、その長辺の両側縁部には厚み方向に
のびる4個の凹溝11,12が形成されている。基板1
0の表裏面には2本の帯状の取付電極13,14が形成
されており、凹溝11,12の内面には端面電極15,
16が形成されている。基板10の表裏面に形成された
取付電極13,14は端面電極15,16を介して接続
されている。凹溝11,12の内面に形成された端面電
極15,16上には、図3のように、溶融半田層17,
18(符号18は図示せず)が形成されている。
【0010】取付電極13,14の上には、発振子素子
20が導電性接着剤や半田のような導電性と接着性とを
併せ持つ材料19によって接着固定されている。この実
施例の発振子素子20は公知の厚みすべり振動モード発
振子であり、図4のように、圧電セラミックスまたは圧
電単結晶からなる圧電基板21の表面の一端側から約2
/3の領域に渡って電極22が形成され、裏面の他端側
から約2/3の領域に渡って電極23が形成されてい
る。両電極22,23の一端部は圧電基板21を間にし
てその中間部位で対向し、振動部を構成している。この
振動部は基板10と接触しないように、導電性接着剤1
9の厚みによって一定の空間が確保されている。上記電
極22,23の他端部22a,23aは圧電基板21の
端面を経て他面側まで回り込んでいる。上記のように導
電性接着剤19で接着することにより、発振子素子20
の電極22,23はそれぞれ取付電極13,14と電気
的に導通する。なお、発振子素子20の電極パターンは
上記のものに限らず、図5のようなパターンであっても
よい。図5において、図4と同一部分には同一符号を付
して説明を省略する。
20が導電性接着剤や半田のような導電性と接着性とを
併せ持つ材料19によって接着固定されている。この実
施例の発振子素子20は公知の厚みすべり振動モード発
振子であり、図4のように、圧電セラミックスまたは圧
電単結晶からなる圧電基板21の表面の一端側から約2
/3の領域に渡って電極22が形成され、裏面の他端側
から約2/3の領域に渡って電極23が形成されてい
る。両電極22,23の一端部は圧電基板21を間にし
てその中間部位で対向し、振動部を構成している。この
振動部は基板10と接触しないように、導電性接着剤1
9の厚みによって一定の空間が確保されている。上記電
極22,23の他端部22a,23aは圧電基板21の
端面を経て他面側まで回り込んでいる。上記のように導
電性接着剤19で接着することにより、発振子素子20
の電極22,23はそれぞれ取付電極13,14と電気
的に導通する。なお、発振子素子20の電極パターンは
上記のものに限らず、図5のようなパターンであっても
よい。図5において、図4と同一部分には同一符号を付
して説明を省略する。
【0011】キャップ30は、発振子素子20を覆うよ
うに基板10上に接着剤25によって接着されている。
キャップ30は金属板を縦断面U字形に深絞り形成した
ものであるが、圧印加工やダイキャスト加工を用いても
よい。キャップ30の材質としては、アルミニウム,ア
ルミニウム合金(A−5000系),洋白(Ni・Cu
合金),42Ni−Fe合金が用いられるが、他の材料
を用いてもよい。接着剤25としては、耐熱性や耐薬品
性からエポキシ系,エポキシ−アクリレート系,シリコ
ーン系の接着剤が考えられるが、金属製キャップ30と
の接着性とコスト面からエポキシ系接着剤が望ましい。
なお、圧電セラミック材料よりなる発振子素子20の場
合、高温下でディポールする性質があるが、エポキシ系
接着剤は通常200℃以下で硬化するため、発振子素子
20がディポールする恐れはない。
うに基板10上に接着剤25によって接着されている。
キャップ30は金属板を縦断面U字形に深絞り形成した
ものであるが、圧印加工やダイキャスト加工を用いても
よい。キャップ30の材質としては、アルミニウム,ア
ルミニウム合金(A−5000系),洋白(Ni・Cu
合金),42Ni−Fe合金が用いられるが、他の材料
を用いてもよい。接着剤25としては、耐熱性や耐薬品
性からエポキシ系,エポキシ−アクリレート系,シリコ
ーン系の接着剤が考えられるが、金属製キャップ30と
の接着性とコスト面からエポキシ系接着剤が望ましい。
なお、圧電セラミック材料よりなる発振子素子20の場
合、高温下でディポールする性質があるが、エポキシ系
接着剤は通常200℃以下で硬化するため、発振子素子
20がディポールする恐れはない。
【0012】次に、上記実施例の圧電発振子の製造方法
を説明する。まず、図6に示すようなマザー基板10A
を準備する。マザー基板10Aには予めスルーホール1
1A,12Aが一列に並ぶように形成されている。この
マザー基板10Aの表裏面の互いに対向する位置に、帯
状の取付電極13,14を形成し、スルーホール11
A,12Aの内面にも、表裏の取付電極13,14を接
続する端面電極15,16を形成する。これら電極11
〜14の形成には、スパッタリング、蒸着、印刷、溶射
など公知の方法を用いることができるが、この実施例で
は、Ag/Pd系の電極材料(Pd含有量:0.5〜2
0%)を5〜20μmの厚みに印刷し、800〜900
℃/1時間で焼成した。
を説明する。まず、図6に示すようなマザー基板10A
を準備する。マザー基板10Aには予めスルーホール1
1A,12Aが一列に並ぶように形成されている。この
マザー基板10Aの表裏面の互いに対向する位置に、帯
状の取付電極13,14を形成し、スルーホール11
A,12Aの内面にも、表裏の取付電極13,14を接
続する端面電極15,16を形成する。これら電極11
〜14の形成には、スパッタリング、蒸着、印刷、溶射
など公知の方法を用いることができるが、この実施例で
は、Ag/Pd系の電極材料(Pd含有量:0.5〜2
0%)を5〜20μmの厚みに印刷し、800〜900
℃/1時間で焼成した。
【0013】次に、スルーホール11A,12A内に半
田ペースト17Aを埋め込む(図7(A)参照)。この
半田ペースト17Aは、半田とフラックスとの混合物で
あり、メタル印刷、スクリーン印刷、ディスペンス等の
方法で埋め込まれる。次に、図8のように、マザー基板
10A上に発振子素子20を搭載するとともに、キャッ
プ30を接着する。なお、図8では1個のキャップ30
のみを示したが、マザー基板10A上には破線CLで囲
まれた各素子部分に発振子素子20およびキャップ30
がそれぞれ接着される。
田ペースト17Aを埋め込む(図7(A)参照)。この
半田ペースト17Aは、半田とフラックスとの混合物で
あり、メタル印刷、スクリーン印刷、ディスペンス等の
方法で埋め込まれる。次に、図8のように、マザー基板
10A上に発振子素子20を搭載するとともに、キャッ
プ30を接着する。なお、図8では1個のキャップ30
のみを示したが、マザー基板10A上には破線CLで囲
まれた各素子部分に発振子素子20およびキャップ30
がそれぞれ接着される。
【0014】次に、このマザー基板10Aをリフロー半
田付け装置に挿入し、スルーホール11A,12Aに埋
め込まれた半田ペースト17Aを溶融させる。この時、
溶融半田17は、図7(B)のように表面張力によりス
ルーホール11A,12Aを膜状に閉じ、溶融半田17
がスルーホール11A,12Aから流れ落ちる恐れがな
い。次に、半田が溶融した状態のマザー基板10Aの上
からエアーを吹きつけ、溶融半田17に穴を開ける(図
7(C)参照)。これにより、溶融半田17は表面張力
によりスルーホール11A,12Aの内面に引き寄せら
れ、端面電極15,16上に環状にかつ均等な厚みで密
着する。
田付け装置に挿入し、スルーホール11A,12Aに埋
め込まれた半田ペースト17Aを溶融させる。この時、
溶融半田17は、図7(B)のように表面張力によりス
ルーホール11A,12Aを膜状に閉じ、溶融半田17
がスルーホール11A,12Aから流れ落ちる恐れがな
い。次に、半田が溶融した状態のマザー基板10Aの上
からエアーを吹きつけ、溶融半田17に穴を開ける(図
7(C)参照)。これにより、溶融半田17は表面張力
によりスルーホール11A,12Aの内面に引き寄せら
れ、端面電極15,16上に環状にかつ均等な厚みで密
着する。
【0015】半田が固化した後、図8の破線CLに従っ
てマザー基板10Aを分断し、図2に示す圧電発振子を
得る。即ち、マザー基板10Aがスルーホール11A,
12Aの位置で分断されるため、スルーホール11A,
12Aは凹溝11,12となる。分断時において、半田
層17,18は、図7(B)のような膜状ではなく図7
(C)のようにスルーホール11A,12Aの内面に引
き寄せられた状態となっているので、分断時に半田が欠
落したりせず、マザー基板10Aとともに半田も精度よ
く分断される(図7(D)参照)。
てマザー基板10Aを分断し、図2に示す圧電発振子を
得る。即ち、マザー基板10Aがスルーホール11A,
12Aの位置で分断されるため、スルーホール11A,
12Aは凹溝11,12となる。分断時において、半田
層17,18は、図7(B)のような膜状ではなく図7
(C)のようにスルーホール11A,12Aの内面に引
き寄せられた状態となっているので、分断時に半田が欠
落したりせず、マザー基板10Aとともに半田も精度よ
く分断される(図7(D)参照)。
【0016】上記製造方法では、スルーホール11,1
2に半田ペースト17Aを埋め込んだ後、マザー基板1
0Aに発振子素子20およびキャップ30を接着し、そ
の後で半田ペースト17Aを溶融するようにしたが、こ
れに代えて、マザー基板10Aに発振子素子20および
キャップ30を接着した後、スルーホール11,12に
半田ペースト17Aを埋め込み、その後、半田ペースト
17Aを溶融してもよい。さらに、スルーホール11,
12に半田ペースト17Aを埋め込み、この半田ペース
ト17Aを溶融した後で、マザー基板10Aに発振子素
子20およびキャップ30を接着してもよい。
2に半田ペースト17Aを埋め込んだ後、マザー基板1
0Aに発振子素子20およびキャップ30を接着し、そ
の後で半田ペースト17Aを溶融するようにしたが、こ
れに代えて、マザー基板10Aに発振子素子20および
キャップ30を接着した後、スルーホール11,12に
半田ペースト17Aを埋め込み、その後、半田ペースト
17Aを溶融してもよい。さらに、スルーホール11,
12に半田ペースト17Aを埋め込み、この半田ペース
ト17Aを溶融した後で、マザー基板10Aに発振子素
子20およびキャップ30を接着してもよい。
【0017】図9は上記実施例の圧電発振子を回路基板
Pに実装した状態を示す。図から明らかなように、基板
10の端面電極15上に予め半田層17が形成されてい
るので、この半田層17と実装時の半田Sとの密着性が
よく、十分な高さhを持つフィレットを確保することが
できる。なお、図9では半田層17が半田Sと溶融しな
い例を示したが、一体に溶融してもよい。また、キャッ
プ30の接着剤25が凹溝11内に多少流れ込んでも、
凹溝11の内面には既に半田層17が形成されているの
で、半田付け性が低下する恐れがない。その結果、基板
10を必要以上に大きくする必要がなく、製品の小型化
が容易となる。
Pに実装した状態を示す。図から明らかなように、基板
10の端面電極15上に予め半田層17が形成されてい
るので、この半田層17と実装時の半田Sとの密着性が
よく、十分な高さhを持つフィレットを確保することが
できる。なお、図9では半田層17が半田Sと溶融しな
い例を示したが、一体に溶融してもよい。また、キャッ
プ30の接着剤25が凹溝11内に多少流れ込んでも、
凹溝11の内面には既に半田層17が形成されているの
で、半田付け性が低下する恐れがない。その結果、基板
10を必要以上に大きくする必要がなく、製品の小型化
が容易となる。
【0018】図10は本発明にかかる電子部品の第2実
施例を示す。この実施例は、コルピッツ型発振回路に用
いられる1個の発振子素子Oと2個のコンデンサC1 ,
C2とを備えた容量内蔵型発振子であり、その電気回路
は図11のようになる。
施例を示す。この実施例は、コルピッツ型発振回路に用
いられる1個の発振子素子Oと2個のコンデンサC1 ,
C2とを備えた容量内蔵型発振子であり、その電気回路
は図11のようになる。
【0019】基板40は、第1実施例と同様に、アルミ
ナセラミックスよりなり、基板40の表面中央部には第
1容量電極41が形成され、表面両端部には2個の取付
電極42,43が形成されている。基板40の裏面にも
同様の形状の電極41〜43が形成されている。上記電
極41〜43の両端部は、基板40の両側縁部に形成さ
れた凹溝40a〜40cまで引き出され、凹溝40aの
内面に形成された端面電極44〜46を介して表裏の電
極41〜43が互いに導通している。なお、図10には
図示しないが、凹溝40a〜40cの内面、つまり端面
電極44〜46上には図3と同様の溶融半田層が形成さ
れている。
ナセラミックスよりなり、基板40の表面中央部には第
1容量電極41が形成され、表面両端部には2個の取付
電極42,43が形成されている。基板40の裏面にも
同様の形状の電極41〜43が形成されている。上記電
極41〜43の両端部は、基板40の両側縁部に形成さ
れた凹溝40a〜40cまで引き出され、凹溝40aの
内面に形成された端面電極44〜46を介して表裏の電
極41〜43が互いに導通している。なお、図10には
図示しないが、凹溝40a〜40cの内面、つまり端面
電極44〜46上には図3と同様の溶融半田層が形成さ
れている。
【0020】上記基板40の第1容量電極41上、およ
びキャップ接着部に相当する部位上には、誘電体層47
が一定厚みにかつ同時に形成されている。誘電体層47
の厚みは、目的とする容量値によって異なるが、電極4
1〜43による凹凸を緩和し、かつ後述するキャップ5
5と電極41〜43との間の十分な絶縁性が確保される
ような厚みに設定される。この実施例の誘電体層47
は、第1容量電極41を覆う容量部47aとキャップ接
着部に対応する枠状の接着部47bとを連続的に形成し
たものであるが、容量部47aと接着部47bとを分離
してもよい。
びキャップ接着部に相当する部位上には、誘電体層47
が一定厚みにかつ同時に形成されている。誘電体層47
の厚みは、目的とする容量値によって異なるが、電極4
1〜43による凹凸を緩和し、かつ後述するキャップ5
5と電極41〜43との間の十分な絶縁性が確保される
ような厚みに設定される。この実施例の誘電体層47
は、第1容量電極41を覆う容量部47aとキャップ接
着部に対応する枠状の接着部47bとを連続的に形成し
たものであるが、容量部47aと接着部47bとを分離
してもよい。
【0021】上記誘電体層47の上には、2個の第2容
量電極48,49がスパッタリング、蒸着、印刷、溶射
など公知の方法で形成される。これら容量電極48,4
9は、その主要部が容量部47aを間にして第1容量電
極41と対向しており、一部が窓穴47cを介してそれ
ぞれ取付電極42,43と導通する。
量電極48,49がスパッタリング、蒸着、印刷、溶射
など公知の方法で形成される。これら容量電極48,4
9は、その主要部が容量部47aを間にして第1容量電
極41と対向しており、一部が窓穴47cを介してそれ
ぞれ取付電極42,43と導通する。
【0022】第2容量電極48,49の上には、導電性
接着剤のような導電性と接着性の機能を併せ持つ材料5
7によって発振子素子50が接着固定されている。この
実施例の発振子素子50も、第1実施例と同様の厚みす
べり振動モードの発振子素子である。即ち、圧電基板5
1の表面の一端側から約2/3の領域に渡って電極52
が形成され、裏面の他端側から約2/3の領域に渡って
電極53が形成されている。両電極52,53の一端部
は圧電基板51を間にしてその中間部位で対向し、振動
部を構成しており、この振動部は導電性接着剤57の厚
みによって第2容量電極48,49と接触しないように
一定の空間が確保されている。上記電極52,53の他
端部52a,53aは圧電基板51の端面を経て他面側
まで回り込んでいる。上記のように導電性接着剤57で
接着することにより、発振子素子50の電極52,53
はそれぞれ第2容量電極48,49と電気的に導通す
る。
接着剤のような導電性と接着性の機能を併せ持つ材料5
7によって発振子素子50が接着固定されている。この
実施例の発振子素子50も、第1実施例と同様の厚みす
べり振動モードの発振子素子である。即ち、圧電基板5
1の表面の一端側から約2/3の領域に渡って電極52
が形成され、裏面の他端側から約2/3の領域に渡って
電極53が形成されている。両電極52,53の一端部
は圧電基板51を間にしてその中間部位で対向し、振動
部を構成しており、この振動部は導電性接着剤57の厚
みによって第2容量電極48,49と接触しないように
一定の空間が確保されている。上記電極52,53の他
端部52a,53aは圧電基板51の端面を経て他面側
まで回り込んでいる。上記のように導電性接着剤57で
接着することにより、発振子素子50の電極52,53
はそれぞれ第2容量電極48,49と電気的に導通す
る。
【0023】キャップ55は、上記発振子素子50を覆
うように基板40上に接着剤56によって接着される。
キャップ55の材料としては、第1実施例と同様の材料
を用いた。接着剤56も、第1実施例と同様の材料を用
い、キャップ55の開口部底面に塗布した後、誘電体層
47の上に接着し、硬化させた。
うように基板40上に接着剤56によって接着される。
キャップ55の材料としては、第1実施例と同様の材料
を用いた。接着剤56も、第1実施例と同様の材料を用
い、キャップ55の開口部底面に塗布した後、誘電体層
47の上に接着し、硬化させた。
【0024】この実施例の場合も、製造に際し、図12
のような多数のスルーホール58を有するマザー基板4
0Aを使用する。このマザー基板40Aの表裏面に容量
電極41、取付電極42,43を印刷などの公知の方法
で形成するとともに、スルーホール58の内面に端面電
極44〜46を形成する。電極材料としては第1実施例
と同様のものを使用する。その後、スルーホール58の
中に半田ペースト59を埋め込み、マザー基板40A上
への誘電体層47の形成、第2容量電極48,49の形
成、発振子素子50の搭載、キャップ55の接着などを
順次行う。図13はこの状態を示す。その後、半田ペー
スト59をリフローさせるとともに、この溶融した半田
に図7(B)と同様にエアーを吹きつけ、穴を開ける。
これにより、溶融半田がスルーホール58の内面に環状
に付着する。その後、マザー基板40Aをスルーホール
58上の破線CLで分断することにより、図10のよう
な容量内蔵型発振子を得る。
のような多数のスルーホール58を有するマザー基板4
0Aを使用する。このマザー基板40Aの表裏面に容量
電極41、取付電極42,43を印刷などの公知の方法
で形成するとともに、スルーホール58の内面に端面電
極44〜46を形成する。電極材料としては第1実施例
と同様のものを使用する。その後、スルーホール58の
中に半田ペースト59を埋め込み、マザー基板40A上
への誘電体層47の形成、第2容量電極48,49の形
成、発振子素子50の搭載、キャップ55の接着などを
順次行う。図13はこの状態を示す。その後、半田ペー
スト59をリフローさせるとともに、この溶融した半田
に図7(B)と同様にエアーを吹きつけ、穴を開ける。
これにより、溶融半田がスルーホール58の内面に環状
に付着する。その後、マザー基板40Aをスルーホール
58上の破線CLで分断することにより、図10のよう
な容量内蔵型発振子を得る。
【0025】図14は本発明にかかる圧電部品の第3実
施例を示す。この実施例も、第2実施例と同様の容量内
蔵型発振子である。第2実施例では、容量部を形成する
ために基板40上に誘電体層47および第2容量電極4
8,49を形成したが、この実施例では別体のコンデン
サ素子を用いている。
施例を示す。この実施例も、第2実施例と同様の容量内
蔵型発振子である。第2実施例では、容量部を形成する
ために基板40上に誘電体層47および第2容量電極4
8,49を形成したが、この実施例では別体のコンデン
サ素子を用いている。
【0026】基板60は、第1実施例と同様に、アルミ
ナセラミックスよりなり、基板60の中央部と両端部の
表裏面には3個の取付電極61〜63が形成されてい
る。取付電極61〜63の端部は、基板60の両側縁部
に形成された凹溝60a〜60cまで引き出され、凹溝
60a〜60cの内面に形成された端面電極64〜66
を介して表裏の取付電極61〜63が互いに導通してい
る。凹溝60a〜60cの内面、つまり端面電極64〜
66上には図3と同様の溶融半田層(図示せず)が形成
されている。上記基板60の上面でかつ上記電極61〜
63の上側には、キャップ接着部に相当する枠形の絶縁
体層67が一定厚みに形成されている。
ナセラミックスよりなり、基板60の中央部と両端部の
表裏面には3個の取付電極61〜63が形成されてい
る。取付電極61〜63の端部は、基板60の両側縁部
に形成された凹溝60a〜60cまで引き出され、凹溝
60a〜60cの内面に形成された端面電極64〜66
を介して表裏の取付電極61〜63が互いに導通してい
る。凹溝60a〜60cの内面、つまり端面電極64〜
66上には図3と同様の溶融半田層(図示せず)が形成
されている。上記基板60の上面でかつ上記電極61〜
63の上側には、キャップ接着部に相当する枠形の絶縁
体層67が一定厚みに形成されている。
【0027】上記基板60上には、導電性接着剤のよう
な導電性と接着性の機能を併せ持つ材料90〜92によ
って、発振子素子70とコンデンサ素子60とを積層一
体化したものが接着固定されている。この実施例の発振
子素子70も、第1実施例と同様の厚みすべり振動モー
ドの発振子素子である。即ち、図15に示すように、圧
電基板71の表面の一端側から約2/3の領域に渡って
電極72が形成され、裏面の他端側から約2/3の領域
に渡って電極73が形成されている。電極72,73の
一端部は圧電基板71を間にしてその中間部位で対向
し、振動部を構成している。上記電極72,73の他端
部72a,73aは圧電基板71の両端面を経て他面側
まで回り込んでいる。
な導電性と接着性の機能を併せ持つ材料90〜92によ
って、発振子素子70とコンデンサ素子60とを積層一
体化したものが接着固定されている。この実施例の発振
子素子70も、第1実施例と同様の厚みすべり振動モー
ドの発振子素子である。即ち、図15に示すように、圧
電基板71の表面の一端側から約2/3の領域に渡って
電極72が形成され、裏面の他端側から約2/3の領域
に渡って電極73が形成されている。電極72,73の
一端部は圧電基板71を間にしてその中間部位で対向
し、振動部を構成している。上記電極72,73の他端
部72a,73aは圧電基板71の両端面を経て他面側
まで回り込んでいる。
【0028】また、コンデンサ素子80は、図16に示
すように、発振子素子70と同長,同幅の誘電体基板
(例えばセラミックス基板)81の表面に、両端から中
央に向かって延びる2個の個別電極82,83を形成
し、裏面には上記個別電極82,83と対向する1個の
共通電極84を形成したものであり、個別電極82,8
3と共通電極84との対向部で2個の容量部が形成され
る。なお、個別電極82,83の端部82a,83a
は、誘電体基板81の両端面を経て裏面側まで回り込ん
でいる。
すように、発振子素子70と同長,同幅の誘電体基板
(例えばセラミックス基板)81の表面に、両端から中
央に向かって延びる2個の個別電極82,83を形成
し、裏面には上記個別電極82,83と対向する1個の
共通電極84を形成したものであり、個別電極82,8
3と共通電極84との対向部で2個の容量部が形成され
る。なお、個別電極82,83の端部82a,83a
は、誘電体基板81の両端面を経て裏面側まで回り込ん
でいる。
【0029】発振子素子70の裏面とコンデンサ素子8
0の表面は、その両端部で導電性接着剤のような導電性
と接着性の機能を併せ持つ材料93,94によって、接
着固定されている。この時、発振子素子70の振動部と
コンデンサ素子80との間には、材料93,94の厚み
によって所定の振動空間が形成される。このようにし
て、発振子素子70の一方の電極73とコンデンサ素子
80の一方の個別電極82とが接続され、他方の電極7
2と他方の個別電極83とが接続される。なお、発振子
素子70の表面の両端部上には、樹脂などからなる周波
数調整用のダンピング材95,96が塗布されている。
0の表面は、その両端部で導電性接着剤のような導電性
と接着性の機能を併せ持つ材料93,94によって、接
着固定されている。この時、発振子素子70の振動部と
コンデンサ素子80との間には、材料93,94の厚み
によって所定の振動空間が形成される。このようにし
て、発振子素子70の一方の電極73とコンデンサ素子
80の一方の個別電極82とが接続され、他方の電極7
2と他方の個別電極83とが接続される。なお、発振子
素子70の表面の両端部上には、樹脂などからなる周波
数調整用のダンピング材95,96が塗布されている。
【0030】発振子素子70とコンデンサ素子80とを
接着一体化した後、コンデンサ素子80の裏面側を材料
90〜92によって基板60に接着すると、コンデンサ
素子80の一方の個別電極82の端部82aが取付電極
61に、他方の個別電極83の端部83aが取付電極6
3に、共通電極84が取付電極62にそれぞれ接続され
る。
接着一体化した後、コンデンサ素子80の裏面側を材料
90〜92によって基板60に接着すると、コンデンサ
素子80の一方の個別電極82の端部82aが取付電極
61に、他方の個別電極83の端部83aが取付電極6
3に、共通電極84が取付電極62にそれぞれ接続され
る。
【0031】キャップ100は、上記発振子素子70お
よびコンデンサ素子80を覆うように基板60上に接着
剤101によって接着される。キャップ100の材料と
しては、第1実施例と同様の材料を用いた。接着剤10
1も、第1実施例と同様の材料を用い、キャップ100
の開口部底面に塗布した後、絶縁体層67の上に接着
し、硬化させた。
よびコンデンサ素子80を覆うように基板60上に接着
剤101によって接着される。キャップ100の材料と
しては、第1実施例と同様の材料を用いた。接着剤10
1も、第1実施例と同様の材料を用い、キャップ100
の開口部底面に塗布した後、絶縁体層67の上に接着
し、硬化させた。
【0032】この実施例の場合も、製造方法は図12,
13とほぼ同様である。即ち、図17のような多数のス
ルーホール68を有するマザー基板60Aを準備し、こ
のマザー基板60Aの表裏面に取付電極61〜63を印
刷などの公知の方法で形成するとともに、スルーホール
68の内面に端面電極64〜66を形成する。その後、
スルーホール68の中に半田ペースト69を埋め込み、
マザー基板60A上への絶縁体層67の形成、発振子素
子70およびコンデンサ素子80の搭載、キャップ10
0の接着などを順次行う。図18はこの状態を示す。そ
の後、半田ペースト69をリフローさせるとともに、こ
の溶融した半田にエアーを吹きつけ、穴を開ける。これ
により、溶融半田がスルーホール68の内面に環状に付
着する。その後、マザー基板60Aをスルーホール68
に沿って分断することにより、図14のような容量内蔵
型発振子を得る。
13とほぼ同様である。即ち、図17のような多数のス
ルーホール68を有するマザー基板60Aを準備し、こ
のマザー基板60Aの表裏面に取付電極61〜63を印
刷などの公知の方法で形成するとともに、スルーホール
68の内面に端面電極64〜66を形成する。その後、
スルーホール68の中に半田ペースト69を埋め込み、
マザー基板60A上への絶縁体層67の形成、発振子素
子70およびコンデンサ素子80の搭載、キャップ10
0の接着などを順次行う。図18はこの状態を示す。そ
の後、半田ペースト69をリフローさせるとともに、こ
の溶融した半田にエアーを吹きつけ、穴を開ける。これ
により、溶融半田がスルーホール68の内面に環状に付
着する。その後、マザー基板60Aをスルーホール68
に沿って分断することにより、図14のような容量内蔵
型発振子を得る。
【0033】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
よれば、絶縁基板の側縁部に形成された凹溝の内面に端
面電極が形成され、この端面電極上に半田層が形成され
ているので、実装時の半田付け性が良好となり、十分な
高さのフィレットを形成できる。特に、半田層は半田ペ
ーストではなく溶融半田であるから、端面電極への密着
性がよく、半田食われを防ぐため端面電極の材料として
AgPdを用いても、半田付き性が悪化しない。しか
も、端面電極上にメッキを施す必要もなく、安価に構成
できる。また、キャップを基板へ接着する場合、その接
着剤が凹溝へ流れ込むと、半田付き性が低下するが、本
発明では凹溝の内面に半田層が形成されているので、多
少の接着剤が凹溝へ流れ込んでも半田付け性を低下させ
ない。そのため、基板のサイズを大きくする必要がな
く、製品の小型化が容易となる。また、本発明の製造方
法によれば、マザー基板の段階のスルーホール内に半田
ペーストを埋め込み、この半田を溶融させた後、マザー
基板を分割するようにしたので、凹溝の内面に簡単に溶
融半田層を形成できる。
よれば、絶縁基板の側縁部に形成された凹溝の内面に端
面電極が形成され、この端面電極上に半田層が形成され
ているので、実装時の半田付け性が良好となり、十分な
高さのフィレットを形成できる。特に、半田層は半田ペ
ーストではなく溶融半田であるから、端面電極への密着
性がよく、半田食われを防ぐため端面電極の材料として
AgPdを用いても、半田付き性が悪化しない。しか
も、端面電極上にメッキを施す必要もなく、安価に構成
できる。また、キャップを基板へ接着する場合、その接
着剤が凹溝へ流れ込むと、半田付き性が低下するが、本
発明では凹溝の内面に半田層が形成されているので、多
少の接着剤が凹溝へ流れ込んでも半田付け性を低下させ
ない。そのため、基板のサイズを大きくする必要がな
く、製品の小型化が容易となる。また、本発明の製造方
法によれば、マザー基板の段階のスルーホール内に半田
ペーストを埋め込み、この半田を溶融させた後、マザー
基板を分割するようにしたので、凹溝の内面に簡単に溶
融半田層を形成できる。
【図1】従来の表面実装型圧電発振子の分解斜視図であ
る。
る。
【図2】本発明の第1実施例である表面実装型圧電発振
子の分解斜視図である。
子の分解斜視図である。
【図3】図2のIII-III 線断面図である。
【図4】図2の圧電発振子に用いられる発振子素子の表
裏面図である。
裏面図である。
【図5】発振子素子の他の例の表裏面図である。
【図6】図2の圧電発振子を製造するためのマザー基板
の斜視図である。
の斜視図である。
【図7】図2の圧電発振子における溶融半田層を形成す
る方法を示す説明図である。
る方法を示す説明図である。
【図8】図6のマザー基板のスルーホールに半田ペース
トを埋め込み、かつマザー基板にキャップを接着した状
態の斜視図である。
トを埋め込み、かつマザー基板にキャップを接着した状
態の斜視図である。
【図9】図2の圧電発振子を回路基板に実装した時の断
面図である。
面図である。
【図10】本発明の第2実施例である容量内蔵型圧電発
振子の分解斜視図である。
振子の分解斜視図である。
【図11】図10に示された圧電発振子の回路図であ
る。
る。
【図12】図12の圧電発振子を製造するためのマザー
基板の斜視図である。
基板の斜視図である。
【図13】図12のマザー基板のスルーホールに半田ペ
ーストを埋め込み、かつマザー基板にキャップを接着し
た状態の斜視図である。
ーストを埋め込み、かつマザー基板にキャップを接着し
た状態の斜視図である。
【図14】本発明の第3実施例である容量内蔵型圧電発
振子の分解斜視図である。
振子の分解斜視図である。
【図15】図14の圧電発振子に用いられる発振子素子
の表裏面図である。
の表裏面図である。
【図16】図14の圧電発振子に用いられるコンデンサ
素子の表裏面図である。
素子の表裏面図である。
【図17】図14の圧電発振子を製造するためのマザー
基板の斜視図である。
基板の斜視図である。
【図18】図17のマザー基板のスルーホールに半田ペ
ーストを埋め込み、かつマザー基板にキャップを接着し
た状態の斜視図である。
ーストを埋め込み、かつマザー基板にキャップを接着し
た状態の斜視図である。
10 基板 11,12 凹溝 13,14 取付電極 15,16 端面電極 17,18 溶融半田層 20 圧電素子 30 キャップ
Claims (5)
- 【請求項1】絶縁基板の表裏面に複数の取付電極が形成
され、表裏いずれかの取付電極上に電子部品素子が搭載
され、絶縁基板の側縁部に厚み方向にのびる複数の凹溝
が形成され、これら凹溝の内面に表裏の取付電極を互い
に導通させる端面電極が形成され、これら端面電極上に
溶融半田層が形成されていることを特徴とする表面実装
型電子部品。 - 【請求項2】請求項1に記載の表面実装型電子部品にお
いて、 上記電子部品素子は圧電素子であり、 上記絶縁基板はアルミナ基板であり、 このアルミナ基板の上には、圧電素子を覆うキャップが
接着されていることを特徴とする表面実装型電子部品。 - 【請求項3】請求項1に記載の表面実装型電子部品にお
いて、 上記電子部品素子は圧電発振子素子であり、 上記絶縁基板は両側縁に凹溝を形成した方形のアルミナ
基板であり、 このアルミナ基板には第1と第2の取付電極とその間に
第3の電極が形成されるとともに、第1の取付電極と第
3の電極との間、および第2の取付電極と第3の電極と
の間に容量部が形成され、 上記3個の電極は上記凹溝の内面に形成された端面電極
とそれぞれ導通するようにアルミナ基板の側縁部へ引き
延ばされ、 アルミナ基板の上には、圧電素子を覆うキャップが接着
されていることを特徴とする表面実装型電子部品。 - 【請求項4】絶縁基板に電子部品素子を搭載した表面実
装型電子部品の製造方法において、 絶縁性のマザー基板に、複数のスルーホールを形成する
工程、 上記マザー基板の表裏面に複数の取付電極を形成する工
程、 上記スルーホールの内面に表裏の取付電極を導通させる
端面電極を形成する工程、 上記マザー基板の表裏いずれかの取付電極上に電子部品
素子を搭載する工程、 上記スルーホールに半田ペーストを埋め込む工程、 上記スルーホールに埋め込まれた半田ペーストを溶融さ
せる工程、および上記マザー基板を溶融半田が付着した
スルーホールの部位で分断し、絶縁基板とする工程とを
含む表面実装型電子部品の製造方法。 - 【請求項5】請求項4に記載の製造方法において、 上記スルーホールに埋め込まれた半田ペーストを溶融さ
せた後、マザー基板の分断前に、マザー基板にエアーを
吹きつけて溶融半田に穴を開け、溶融半田をスルーホー
ルの内周面に寄せる工程を含むことを特徴とする表面実
装型電子部品の製造方法。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12093195A JP3261926B2 (ja) | 1995-04-21 | 1995-04-21 | 表面実装型電子部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12093195A JP3261926B2 (ja) | 1995-04-21 | 1995-04-21 | 表面実装型電子部品の製造方法 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08293752A true JPH08293752A (ja) | 1996-11-05 |
| JP3261926B2 JP3261926B2 (ja) | 2002-03-04 |
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12093195A Expired - Fee Related JP3261926B2 (ja) | 1995-04-21 | 1995-04-21 | 表面実装型電子部品の製造方法 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3261926B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6570262B1 (en) | 1999-04-02 | 2003-05-27 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Mother substrate and electronic component utilizing the mother substrate |
| DE10016064B4 (de) * | 1999-04-02 | 2006-05-11 | Murata Mfg. Co., Ltd., Nagaokakyo | Substrat,Einzelsubstrat und Verfahren zur Herstellung derselben |
-
1995
- 1995-04-21 JP JP12093195A patent/JP3261926B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6570262B1 (en) | 1999-04-02 | 2003-05-27 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Mother substrate and electronic component utilizing the mother substrate |
| US6835601B2 (en) | 1999-04-02 | 2004-12-28 | Murata Manufacturing Co., Ltd | Mother substrate, substrate element, and method for manufacturing the same |
| DE10016064B4 (de) * | 1999-04-02 | 2006-05-11 | Murata Mfg. Co., Ltd., Nagaokakyo | Substrat,Einzelsubstrat und Verfahren zur Herstellung derselben |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3261926B2 (ja) | 2002-03-04 |
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