JPH0829507A - 磁束測定装置 - Google Patents

磁束測定装置

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JPH0829507A
JPH0829507A JP6165166A JP16516694A JPH0829507A JP H0829507 A JPH0829507 A JP H0829507A JP 6165166 A JP6165166 A JP 6165166A JP 16516694 A JP16516694 A JP 16516694A JP H0829507 A JPH0829507 A JP H0829507A
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JP
Japan
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magnetic flux
detectors
correction
measurement
magnetic
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JP6165166A
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English (en)
Inventor
Shigeharu Oyu
重治 大湯
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • G01D3/028Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups mitigating undesired influences, e.g. temperature, pressure
    • G01D3/032Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups mitigating undesired influences, e.g. temperature, pressure affecting incoming signal, e.g. by averaging; gating undesired signals
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/02Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
    • G01R33/035Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using superconductive devices
    • G01R33/0354SQUIDS
    • G01R33/0358SQUIDS coupling the flux to the SQUID
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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    • Y10S505/825Apparatus per se, device per se, or process of making or operating same
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    • Y10S505/843Electrical
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Abstract

(57)【要約】 【目的】複数のピックアップコイルを有するものにおい
て、磁束測定及び磁場測定の精度が低下ぜずにクロスト
ークの影響を削減する。 【構成】各ピックアップコイル11a〜11N、各SQ
UIDチップ12a〜12N及び各FLL回路13a〜
13Nから構成される各チャンネルから信号が入力され
る信号収集部14に、その各信号から得られるデジタル
データのクロストークの影響を排除する補正を行うクロ
ストーク補正部17を設けたもの。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、複数個のSQUID
( 超伝導量子干渉素子 )を使用して、例えば脳や心臓等
の磁束測定対象から放射される磁束を測定し、磁束測定
対象の磁場を検出するマルチチャンネルSQUID磁束
計等の磁束測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図8は、従来のマルチチャンネルSQU
ID磁束計の要部構成を示すブロック図である。磁束を
検出するための第1のピックアップコイル1a、第2の
ピックアップコイル1b、第3のピックアップコイル1
c、…、第Nのピックアップコイル1Nには、それぞれ
第1のSQUIDチップ2a、第2のSQUIDチップ
2b、第3のSQUIDチップ2c、…、第NのSQU
IDチップ2Nが接続され、この第1のSQUIDチッ
プ2a、第2のSQUIDチップ2b、第3のSQUI
Dチップ2c、…、第NのSQUIDチップ2Nには、
それぞれ第1のFLL( フラックス・ロックド・ループ
)回路3a、第2のFLL回路3b、第3のFLL回路
3c、…第NのFLL回路3Nが接続されている。
【0003】前記各ピックアップコイル1a〜1Nは、
例えば図9に示すように、磁束測定対象( 人体頭部 )P
の表面を覆うように所定間隔で設置される。なお図9は
側面図であるため、ピックアップコイル1a〜1Nが1
列に配置されているように図示されているが、実際には
磁束測定対象Pの表面を覆うように曲面状( 平面状 )に
2次元的に配置されている。
【0004】前記各SQUIDチップ2a〜2Nには、
図示しないがインプットコイル及びモジュレーションコ
イル等が設けられており、前記各FLL回路3a〜3N
は、それらのコイルを通電制御して前記各SQUIDチ
ップ2a〜2Nを駆動させる。すなわち、ピックアップ
コイル、SQUIDチップ及びFLL回路により単位チ
ャンネルが構成され、この従来のマルチチャンネルSQ
UID磁束計はNチャンネルのSQUID磁束計であ
る。
【0005】磁束測定対象Pから発生され前記各ピック
アップコイル1a〜1N内をそれぞれ鎖交した磁束の量
は、前記各FLL回路3a〜3Nにより駆動された前記
各SQUIDチップ2a〜2Nを介してそれぞれ対応し
た電気信号に変換され、前記各FLL回路3a〜3Nか
ら出力される。
【0006】前記各FLL回路3a〜3Nから出力され
た電気信号は、信号収集部4で取込められる。この信号
収集部4は、A/D(analogue/digital)変換部5及びデ
ータ記録部6等から構成され、取込んだ電気信号( アナ
ログ信号 )を前記A/D変換器5によりデジタルデータ
に変換する。
【0007】この変換されたデジタルデータは、ハード
ディスク装置( 図示せず )等を備えた前記データ記録部
6に入力され、このデータ記録部6で、ハードディスク
装置に記憶される。
【0008】ハードディスク装置に記憶されたデジタル
データは、そのまま磁場分布や時間波形として解析結果
表示部8に備えられた表示器( 図示せず )で表示される
か、又はデータ解析部7に一旦転送され、このデータ解
析部7において解析されて、生体内電流源分布が求めら
れて解析結果表示部8で表示される。
【0009】このマルチチャンネルSQUID磁束計
は、ピックアップコイル、SQUIDチップ及びFLL
回路等を各1個ずつから構成される単位チャンネルのS
QUID磁束計を多数設けて構成されたもので、生体磁
場( 例えば脳や心臓 )の測定に使用され、磁場を測定す
るピックアップコイルを多数設けることにより、多点の
磁場を同時に測定できるようになっている。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】しかし、マルチチャン
ネルSQUID磁束計では、ピックアップコイル及びS
QUIDチップが複数設けられているので、ピックアッ
プコイル、ピックアップコイルとSQUIDチップとの
間を接続する配線、SQUIDチップにおいて、各チャ
ンネルの間で電磁気的相互作用が生じる。
【0011】すなわち、あるチャンネルの信号が他のチ
ャンネルの信号に影響を与えると共に、他のチャンネル
の信号があるチャンネルの信号に影響を与えるというク
ロストークが、チャンネル間に存在するということが知
られている。
【0012】このクロストークの影響を小さくするた
め、従来のマルチチャンネルSQUID磁束計では、特
にそのクロストークの原因としてピックアップコイル間
の磁気的相互作用が最も大きいので、各チャンネルのピ
ックアップコイル間の距離を大きくして、その磁気的相
互作用を小さくしていた。しかし、測定領域( 測定範
囲)を一定とした場合、ピックアップコイル間の距離を
大きくするには、ピックアップコイルの個数( チャンネ
ル数 )を減少させるか、又はピックアップコイルのコイ
ル径を小さくするしかない。ピックアップコイルの個数
を減少させると測定点が減少して磁場測定の精度が低下
するという問題があり、また、ピックアップコイルのコ
イル径を小さくすると、磁束が鎖交するピックアップコ
イルのコイル面積が小さくなり、個々のコイルの磁束測
定の精度が低下する( 信号対ノイズ比又はS/Nが悪化
する )という問題があった。
【0013】そこでこの発明は、複数のピックアップコ
イルを有するものにおいて、磁束測定及び磁場測定の精
度が低下せずに、クロストークの影響を削減することが
できる磁束測定装置を提供することを目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】請求項1対応の発明は、
磁束検出コイルと超伝導量子干渉素子とからなる磁束検
出器を複数個使用して、磁束測定対象から放射される磁
束を測定し、磁束測定対象の磁場を検出する磁束測定装
置において、各磁束検出器から得られるデータに、他の
磁束検出器との電磁気的な相互作用の影響を排除する補
正を施す補正手段を設けたものである。
【0015】請求項2対応の発明は、磁束検出コイルと
超伝導量子干渉素子とからなる磁束検出器を複数個使用
して、磁束測定対象から放射される磁束を測定し、磁束
測定対象の磁場を検出する磁束測定装置において、各磁
束検出コイルの自己インダクタンス及び他の磁束検出コ
イルに対する相互インダクタンスに基づいて、各磁束検
出器から得られるデータに、他の磁束検出器との電磁気
的な相互作用の影響を排除する補正を施す補正手段を設
けたものである。
【0016】請求項3対応の発明は、磁束検出コイルと
超伝導量子干渉素子とからなる磁束検出器を複数個使用
して、磁束測定対象から放射される磁束を測定し、磁束
測定対象の磁場を検出する磁束測定装置において、概知
の磁場発生源を磁束測定対象として測定した結果に基づ
いて、各磁束検出器から得られるデータに、他の磁束検
出器との電磁気的な相互作用の影響を排除する補正を施
す補正手段を設けたものである。
【0017】請求項4対応の発明は、磁束検出コイルと
超伝導量子干渉素子とからなる磁束検出器を複数個使用
して、磁束測定対象から放射される磁束を測定し、磁束
測定対象の磁場を検出する磁束測定装置において、各磁
束検出器から得られるデータに、他の磁束検出器との電
磁気的な相互作用の影響を排除する補正を施す補正手段
と、この補正手段により補正されたデータを記憶する補
正データ記憶手段とを設けたものである。
【0018】請求項5対応の発明は、磁束検出コイルと
超伝導量子干渉素子とからなる磁束検出器を複数個使用
して、磁束測定対象から放射される磁束を測定し、磁束
測定対象の磁場を検出する磁束測定装置において、各磁
束検出器から得られるデータを記憶する測定データ記憶
手段と、この測定データ記憶手段から読取られた各磁束
検出器からのデータに、磁束測定対象の磁場解析前に、
他の磁束検出器との電磁気的な相互作用の影響を排除す
る補正を施す補正手段とを設けたものである。
【0019】
【作用】請求項1対応の発明においては、各磁束検出器
から得られるデータに、補正手段により、他の磁束検出
器との電磁気的な相互作用の影響を排除する補正が施さ
れる。
【0020】請求項2対応の発明においては、理論的に
算出された各磁束検出コイルの自己インダクタンス及び
他の磁束検出コイルに対する相互インダクタンスに基づ
いて、補正手段により、各磁束検出器から得られるデー
タに、他の磁束検出器との電磁気的な相互作用の影響を
排除する補正が施される。
【0021】請求項3対応の発明においては、概知の磁
場発生源を測定した結果に基づいて、補正手段により、
各磁束検出器から得られるデータに他の磁束検出器との
電磁気的な相互作用の影響を排除する補正が施される。
【0022】請求項4対応の発明においては、各磁束検
出器から得られるデータに、補正手段により、他の磁束
検出器との電磁気的な相互作用の影響を排除する補正が
施され、この補正されたデータは補正データ記憶手段に
記憶される。
【0023】請求項5対応の発明においては、各磁束検
出器から得られるデータは測定データ記憶手段に記憶さ
れる。この測定データ記憶手段から読取られた各磁束検
出器からのデータに、磁束測定対象の磁場解析前に、補
正手段により、他の磁束検出器との電磁気的な相互作用
の影響を排除する補正が施される。
【0024】
【実施例】以下、この発明の第1実施例を図1乃至図6
を参照して説明する。図1は、この発明を適用したマル
チチャンネル磁束計の要部構成を示すブロック図であ
る。
【0025】磁束を検出するための磁束検出コイルとし
ての第1のピックアップコイル11a、第2のピックア
ップコイル11b、第3のピックアップコイル11c、
…、第Nのピックアップコイル11Nには、それぞれ超
伝導量子干渉素子からなる第1のSQUIDチップ12
a、第2のSQUIDチップ12b、第3のSQUID
チップ12c、…、第NのSQUIDチップ12Nが接
続され、この第1のSQUIDチップ12a、第2のS
QUIDチップ12b、第3のSQUIDチップ12
c、…、第NのSQUIDチップ12Nには、それぞれ
第1のFLL( フラックス・ロックド・ループ )回路1
3a、第2のFLL回路13b、第3のFLL回路13
c、…第NのFLL回路13Nが接続されている。
【0026】前記各ピックアップコイル11a〜11N
は、図9に示した従来のピックアップコイル1a,1
b,…,1Nと同様に、磁束測定対象の表面を覆うよう
に2次元的に所定間隔で設置される。前記各SQUID
チップ12a〜12Nには、図示しないがインプットコ
イル及びモジュレーションコイル等が設けられており、
前記各FLL回路13a〜13Nは、それらのコイルを
通電制御して前記各SQUIDチップ12a〜12Nを
駆動させる。すなわち、ピックアップコイル、SQUI
Dチップ及びFLL回路により単位チャンネルが構成さ
れ、この第1実施例のマルチチャンネルSQUID磁束
計はNチャンネル( マルチチャンネル )のSQUID磁
束計である。
【0027】前記ピックアップコイル11a〜11N及
び前記SQUIDチップ12a〜12Nにより磁束検出
器が構成されている。磁束測定対象Pから発生された磁
束は、各ピックアップコイル11a〜11N内をそれぞ
れ鎖交することにより、前記各FLL回路13a〜13
Nにより駆動された前記各SQUIDチップ12a〜1
2Nを介して電気信号に変換され、前記各FLL回路1
3a〜13Nから出力される。
【0028】前記各FLL回路13a〜13Nから出力
された電気信号は、信号収集部14で取込まれる。この
信号収集部14は、A/D(analogue/digital)変換部1
5、データ記録部16及び補正手段としてのクロストー
ク補正部17等から構成され、取込んだ電気信号( アナ
ログ信号 )を前記A/D変換器15によりデジタルデー
タに変換する。
【0029】この変換されたデジタルデータは、ハード
ディスク装置や光磁気ディスク等(図示せず )のデータ
記録媒体を備えた前記データ記録部16に入力され、こ
のデータ記録部16で、データ記録媒体に記憶される。
【0030】データ記録媒体に記憶されたデジタルデー
タは、前記クロストーク補正部17で後述するように各
チャンネル毎にクロストークの影響を排除する補正を行
い、この補正したデータが、そのまま磁場分布や時間波
形として、解析結果表示部19に備えられた表示器( 図
示せず )、例えばCRT( cathode ray tube )等に表示
( カラー表示 )されるか、データ解析部18に転送さ
れ、このデータ解析部18で解析されて、生体内電流源
分布が求められて解析結果表示部19で表示される。
【0031】前記クロストーク補正部17におけるクロ
ストークの影響を排除する補正の方法について以下説明
する。例えば、図2( a )に示す単線円形コイルの自己
インダクタンスは( 1 )式で算出され、図2( b )に示
す単線方形コイルの自己インダクタンスは( 2 )式及び
( 3 )式で算出されることが知られている。
【0032】
【数1】
【0033】なお、( 1 )式及び( 2 )式でδは( 電磁
波の )周波数補正係数である。従って、図3に示すピッ
クアップコイル11a〜11Nの自己インダクタンス
も、( 1 )式又は( 2 )式に基づいてあるいは組合わせ
た式により算出することができる。また、細い電線から
なる閉回路s1とs2との間の相互インダクタンスは、
ノイマンの式と呼ばれる( 4 )式で算出される。
【0034】
【数2】
【0035】ここで、チャンネル間の相互インダクタン
スを無視した( クロストークを考慮しない )場合、図4
に示すように、それぞれピックアップコイル、配線、イ
ンプットコイルにより構成される各超伝導磁束トランス
を鎖交する全磁束は0である、すなわち外部( 磁束測定
対象 )からピックアップコイルを鎖交する磁束とそれを
打消そうとする遮蔽電流により発生する磁束との和は0
であると考えられるので、( 5 )式が得られる。
【0036】
【数3】
【0037】ここでφi′( 「′」を添えたのは、この
磁束には実際にはクロストークの影響により鎖交した磁
束を含んでいるからである。 )は、外部から第iのピッ
クアップコイル11i内に侵入する磁束であり、Lpiは
第iのピックアップコイルの自己インダクタンス、Lsi
は第iのSQUIDチップ12iのインプットコイルの
自己インダクタンス、Iiは第iの磁束トランスに流れ
る電流、すなわち、第1のピックアップコイルと第iの
インプットコイルに共通に流れる電流である。なお、ピ
ックアップコイルとインプットコイルとを接続する配線
のインダクタンスは非常に小さいので、式( 5 )におい
てはこれを無視したがこれを考慮しても良い。従って、
第iのSQUIDチップ12iに流れる電流Iiは、(
6 )式により得られる。
【0038】
【数4】 チャンネル間の相互インダクタンスを考慮する場合、(
5 )式は、相互作用項を追加して( 7 )式となる。
【0039】
【数5】
【0040】ここで、φiは測定対象からのみの磁束で
あり、クロストークの影響により鎖交した磁束は含んで
いない。Mijは第iのピックアップコイル( SQUID
チップ )と第jのピックアップコイル( SQUIDチッ
プ )との間の相互インダクタンスである。( 7 )式に(
6 )式を代入すると、( 8 )式となり、ベクトル式で表
現すれば( 9 )式となる。
【0041】
【数6】
【0042】ここで、クロストークの影響を排除した実
際の測定対象からのみの磁束ベクトルΦ及びクロストー
クの影響を含めた全磁束ベクトルΦ′は、( 10 )式に
より与えられ、N×N行列Aの各要素Aijは、( 11 )
式により与えられる。
【0043】すなわち、この補正行列Aを用いて( 9 )
式の演算を行うことにより、クロストークの影響を排除
することができる。上述した方法は、ピックアップコイ
ル11a〜11Nの自己インダクタンス及び相互インダ
クタンスを理論的に算出してクロストーク補正行列を求
めるものであるが、以下に概知の磁場発生源を測定し、
その測定結果から補正行列Aを算出する方法の1つの例
を説明する。
【0044】磁場発生源を所定の位置におき、このとき
実際に各チャンネルで測定された磁束をベクトルΦ1′
とする。またその時の理論的に求めた各チャンネルで測
定される磁束をΦ1とする。
【0045】次に、磁場発生源の位置を移動させ、この
とき実際に各チャンネルで測定された磁束をベクトルΦ
2′とし、またその時の理論的に求めた各チャンネルで
測定される磁束Φ2とする。
【0046】同様にして、磁場発生源の位置を移動さ
せ、最終的に合計N回測定して、実際に各チャンネルで
測定された磁束をベクトルΦ3′、Φ4′、…、ΦN′
とし、また理論的に求めた磁束Φ3、Φ4、…、ΦNと
する。この時、補正行列Aは、Φ1、Φ2、…、ΦNに
より構成されるN×N行列とΦ1′、Φ2′、…、Φ
N′により構成されるN×N行列の逆行列との積、すな
わち( 12 )式により与えられる。
【0047】
【数7】
【0048】すなわち、概知の磁場発生源を使用したN
回の測定を行い、( 12 )式で与えられる補正行列Aを
使用してクロストークの影響を排除することができる。
測定はN回以上( N回以下でも望ましくないが可能 )行
うことも可能である。例えば、M( =N+m,m>0 )
回とすると、実際に各チャンネルで測定された磁束をベ
クトルΦ1′、Φ2′、…、ΦM′とし、また理論的に
求めた磁束とする。この時、補正行列Aは、Φ1、Φ
2、…、ΦMにより構成されるN×M行列とΦ1′、Φ
2′、…、ΦM′により構成されるN×M行列の逆行列
との積、すなわち( 13 )式により与えられる。
【0049】
【数8】
【0050】なお、Φ1′、Φ2′、…、ΦM′により
構成されるN×M行列の逆行列は、一般逆行列( M×N
行列 )で、この一般逆行列としては、ムーア・ペンロー
ズ型一般逆行列が良い。測定回数N回以上の場合、測定
ノイズが低減され、補正行列をより精度良く求めること
ができるという効果が得られる。
【0051】このような構成の第1実施例においては、
測定対象からの磁束は各ピックアップコイル11a〜1
1N内に侵入する。この各磁束は、各FLL回路13a
〜13Nにより駆動されたSQUIDチップ12a〜1
2Nを介して磁束の量に対応した電気信号に変換され、
各FLL回路13a〜13Nから信号収集部14へ出力
される。この時各FLL回路13a〜13Nから電気信
号が、各チャンネルの電気信号として信号収集部14に
取込まれる。
【0052】この信号収集部14では、入力された電気
信号は、A/D変換部15によりデジタルデータに変換
され、この変換されたデジタルデータは、データ記録部
16に備えられたハードディスクや光磁気ディスク等の
データ記録媒体に記憶される。
【0053】このデータ記録部16で記憶されたデジタ
ルデータを解析する時には、各チャンネルのデジタルデ
ータがデータ記録部16から読み出されると、クロスト
ーク補正部17により、補正行列Aにより、各デジタル
データ毎に補正される。
【0054】また、データ解析部18では、補正後のデ
ジタルデータが解析されて、測定対象の電流源分布のデ
ータが得られる。なお、この第1実施例では、信号収集
部14内にクロストーク補正部17を設けた構成になっ
ているが、従来のように、信号収集部14をA/D変換
部15とデータ記録部16により構成し、クロストーク
補正部17をデータ解析部18内に設けても良い。
【0055】このようにして得られた測定対象の電流源
分布のデータは、解析結果表示部19へ出力され、この
解析表示部19に備えられた表示器、例えばCRTディ
スプレイ等に表示される。
【0056】このように第1実施例によれば、各ピック
アップコイル11a〜11N、各SQUIDチップ12
a〜12N及び各FLL回路13a〜13Nから構成さ
れる各チャンネルから信号が入力される信号収集部14
に、その各信号から得られるデジタルデータのクロスト
ークの影響を排除する補正を行うクロストーク補正部1
7を設けたことにより、各ピックアップコイル11a〜
11N間に発生するクロストークの影響を算出して、こ
れを補償することによりクロストークのない測定対象か
らの磁束のみを測定することができる。従って、ピック
アップコイルの間隔を大きくしなくても磁束測定及び磁
場測定の精度が低下せず、クロストークの影響を削減す
ることができる。
【0057】従って、S/Nを大きくするためにピック
アップコイルの面積を大きくするため、図5( a )及び
図5( b )に示すように、ピックアップコイルを正五角
形及び正六角形に形成し、図6( a )及び図6( b )に
示すように、ピックアップコイルどうしを密集して( 隣
接して )配置しても、クロストークの影響による磁束測
定の精度を低下がない。
【0058】さらに、この第1実施例では、各チャンネ
ルから得られたデジタルデータは、信号収集部14に設
けられたデータ記録部16で記憶され、このデータ記録
部16に記憶されたデジタルデータをデータ解析部18
で解析する前に、クロストーク補正部17によりクロス
トークの影響を排除する補正を行うようになっているの
で、各チャンネルからの測定されて得たデジタルデータ
をそのまま記憶できるという効果を得ることができる。
【0059】また、次に提示する第2実施例( 図7参照
)においては、後述するように処理装置としてA/D変
換、クロストーク補正、記録をリアルタイムに実行でき
ることが要求されるものであるが、上述した第1実施例
は、処理装置としてA/D変換、記録をリアルタイムに
実行できることは要求されるが、クロストーク補正はリ
アルタイムに行う必要がないので容易に構成することが
できる。
【0060】この発明の第2実施例を図7を参照して説
明する。なお、上述した第1実施例においては、クロス
トーク補正部17をデータ記録部16とデータ解析部1
8との間に設け、データ記録部16から読取ったデータ
を解析する前にクロストークの影響を排除する補正を行
うようになっていたが、この第2実施例では、クロスト
ーク補正部17をA/D変換部15とデータ記録部16
との間に設け、各チャンネルからの信号をA/D変換部
15によりデジタル変換して得たデジタルデータを、ク
ロストーク補正部17によりクロストークの影響を排除
する補正を行ってから、データ記録部16で記憶させる
ものである。
【0061】従って、データ記録部16から読出したデ
ータは、そのままデータ解析部18により解析すること
ができる。このように第2実施例においても、各ピック
アップコイル11a〜11N、各SQUIDチップ12
a〜12N及び各FLL回路13a〜13Nから構成さ
れる各チャンネルから信号が入力される信号収集部14
に、その各信号から得られるデジタルデータのクロスト
ークの影響を排除する補正を行うクロストーク補正部1
7を設けたことにより、上述した第1実施例と同様な効
果を得ることができる。
【0062】さらにこの第2実施例では、各チャンネル
から得られたデジタルデータは、データ記録部16に記
憶される前に、クロストーク補正部17によりクロスト
ークの影響を排除する補正を行うようになっているの
で、データ記録部16にはクロストークの影響を排除す
る補正を行ったデジタルデータを記憶することができ、
このデータ記録部16に記憶されたデジタルデータはそ
のまま直ぐにデータ解析部18で解析できる。
【0063】なお、この第2実施例でも、信号収集部1
4内にクロストーク補正部17を設けた構成になってい
るが、従来のように、信号収集部14をA/D変換部1
5とデータ記録部16により構成し、クロストーク補正
部17をデータ解析部18内に設けても良い。
【0064】
【発明の効果】以上詳述したようにこの発明によれば、
複数のピックアップコイルを有するものにおいて、磁束
測定及び磁場測定の精度が低下せずに、クロストークの
影響を削減することができる磁束測定装置を提供でき
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の第1実施例のマルチチャンネル磁束
計の要部構成を示すブロック図。
【図2】同実施例のマルチチャンネル磁束計のピックア
ップコイルの例としての単線円形コイル及び単線方形コ
イルの自己インダクタンスの算出方法を説明するための
図。
【図3】同実施例のマルチチャンネル磁束計のピックア
ップコイルを示す図。
【図4】同実施例のマルチチャンネル磁束計の複数のピ
ックアップコイルの相互インダクタンスの算出方法を説
明するための図。
【図5】同実施例のマルチチャンネル磁束計で使用可能
なピックアップコイルの形状の例を示す図。
【図6】同実施例のマルチチャンネル磁束計で、図5に
示すピックアップコイルを使用した時の各ピックアップ
コイルの配置を示す図。
【図7】この発明の第2実施例のマルチチャンネル磁束
計の要部構成を示すブロック図。
【図8】従来のマルチチャンネル磁束計の要部構成を示
すブロック図。
【図9】従来の複数のピックアップコイルを頭部に配置
したときの図。
【符号の説明】
11a〜11N…ピックアップコイル、 12a〜12N…SQUIDチップ、 13a〜13N…FLL回路、 14…信号収集部、 15…A/D変換部、 16…データ記録部、 17…クロストーク補正部、 18…データ解析部。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 磁束検出コイルと超伝導量子干渉素子と
    からなる磁束検出器を複数個使用して、磁束測定対象か
    ら放射される磁束を測定し、前記磁束測定対象の磁場を
    検出する磁束測定装置において、前記各磁束検出器から
    得られるデータに、他の磁束検出器との電磁気的な相互
    作用の影響を排除する補正を施す補正手段を設けたこと
    を特徴とする磁束測定装置。
  2. 【請求項2】 磁束検出コイルと超伝導量子干渉素子と
    からなる磁束検出器を複数個使用して、磁束測定対象か
    ら放射される磁束を測定し、前記磁束測定対象の磁場を
    検出する磁束測定装置において、前記各磁束検出コイル
    の自己インダクタンス及び他の磁束検出コイルに対する
    相互インダクタンスに基づいて、前記各磁束検出器から
    得られるデータに、他の磁束検出器との電磁気的な相互
    作用の影響を排除する補正を施す補正手段を設けたこと
    を特徴とする磁束測定装置。
  3. 【請求項3】 磁束検出コイルと超伝導量子干渉素子と
    からなる磁束検出器を複数個使用して、磁束測定対象か
    ら放射される磁束を測定し、前記磁束測定対象の磁場を
    検出する磁束測定装置において、概知の磁場発生源を磁
    束測定対象として測定した結果に基づいて、前記各磁束
    検出器から得られるデータに、他の磁束検出器との電磁
    気的な相互作用の影響を排除する補正を施す補正手段を
    設けたことを特徴とする磁束測定装置。
  4. 【請求項4】 磁束検出コイルと超伝導量子干渉素子と
    からなる磁束検出器を複数個使用して、磁束測定対象か
    ら放射される磁束を測定し、前記磁束測定対象の磁場を
    検出する磁束測定装置において、前記各磁束検出器から
    得られるデータに、他の磁束検出器との電磁気的な相互
    作用の影響を排除する補正を施す補正手段と、この補正
    手段により補正されたデータを記憶する補正データ記憶
    手段とを設けたことを特徴とする磁束測定装置。
  5. 【請求項5】 磁束検出コイルと超伝導量子干渉素子と
    からなる磁束検出器を複数個使用して、磁束測定対象か
    ら放射される磁束を測定し、前記磁束測定対象の磁場を
    検出する磁束測定装置において、前記各磁束検出器から
    得られるデータを記憶する測定データ記憶手段と、この
    測定データ記憶手段から読取られた前記各磁束検出器か
    らのデータに、前記磁束測定対象の磁場解析前に、他の
    磁束検出器との電磁気的な相互作用の影響を排除する補
    正を施す補正手段とを設けたことを特徴とする磁束測定
    装置。
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