JPH0829614A - 液晶表示装置用カラーフィルター - Google Patents
液晶表示装置用カラーフィルターInfo
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- JPH0829614A JPH0829614A JP16183494A JP16183494A JPH0829614A JP H0829614 A JPH0829614 A JP H0829614A JP 16183494 A JP16183494 A JP 16183494A JP 16183494 A JP16183494 A JP 16183494A JP H0829614 A JPH0829614 A JP H0829614A
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- Japan
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Abstract
(57)【要約】
【目的】パターン形状が良好で、セル化時のアライメン
トエラーが起こらないアライメントマークを備えた、ブ
ラックマトリックスを持たないカラーフィルターを提供
すること。 【構成】ブラックマトリックスを持たないカラーフィル
ター基板において、そのアライメントマークが、予め第
１色（赤）にて形成されたベースパターンの上に第３色
（青）にてマーカー形状のパターンに積層形成されてな
る液晶表示装置用カラーフィルター。
トエラーが起こらないアライメントマークを備えた、ブ
ラックマトリックスを持たないカラーフィルターを提供
すること。 【構成】ブラックマトリックスを持たないカラーフィル
ター基板において、そのアライメントマークが、予め第
１色（赤）にて形成されたベースパターンの上に第３色
（青）にてマーカー形状のパターンに積層形成されてな
る液晶表示装置用カラーフィルター。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、カラー液晶表示装置に
内蔵されるカラーフィルターに関する。
内蔵されるカラーフィルターに関する。
【０００２】
【従来の技術】カラー液晶表示装置に求められる課題と
して、画素の開口率を大きくして高輝度化および低消費
電力化を追求することがある。その方策の一つとして、
薄膜トランジスタ（以下ＴＦＴという）基板側にブラッ
クマトリックスを形成する方法がある。これによれば、
従来のようにＴＦＴ基板と、ブラックマトリックスを形
成したカラーフィルター基板との貼り合わせ誤差を考慮
したアライメントマージンをブラックマトリックス部に
取る必要がなく、開口率を上げることに貢献する。
して、画素の開口率を大きくして高輝度化および低消費
電力化を追求することがある。その方策の一つとして、
薄膜トランジスタ（以下ＴＦＴという）基板側にブラッ
クマトリックスを形成する方法がある。これによれば、
従来のようにＴＦＴ基板と、ブラックマトリックスを形
成したカラーフィルター基板との貼り合わせ誤差を考慮
したアライメントマージンをブラックマトリックス部に
取る必要がなく、開口率を上げることに貢献する。
【０００３】ところで、従来はカラーフィルター基板上
に形成するアライメントマーク等のマーク類はブラック
マトリックスに使われるクロム膜で形成していたため、
マークのパターン形状（直線性）が良く、セル化時の貼
り合わせは容易であった。しかしながら、ＴＦＴ基板側
にブラックマトリックスを形成する場合、カラーフィル
ター基板側ではカラーフィルターの赤、緑、青のいずれ
かでマークを形成する必要がある。そこで、例えば１色
目の赤色で入色すると、図２に示すように、素ガラスに
直接形成するためガラスからのハレーション等によりフ
リンジ５等の形状の悪いマーク３が形成され、セル化工
程でのアライメントエラーが起こりやすくなり問題であ
った。
に形成するアライメントマーク等のマーク類はブラック
マトリックスに使われるクロム膜で形成していたため、
マークのパターン形状（直線性）が良く、セル化時の貼
り合わせは容易であった。しかしながら、ＴＦＴ基板側
にブラックマトリックスを形成する場合、カラーフィル
ター基板側ではカラーフィルターの赤、緑、青のいずれ
かでマークを形成する必要がある。そこで、例えば１色
目の赤色で入色すると、図２に示すように、素ガラスに
直接形成するためガラスからのハレーション等によりフ
リンジ５等の形状の悪いマーク３が形成され、セル化工
程でのアライメントエラーが起こりやすくなり問題であ
った。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記のよう
な問題を考慮し、マーク形状が良好で、セル化時のアラ
イメントエラーが起こらないマークを備えた、ブラック
マトリックスを持たないカラーフィルターを提供するこ
とを目的とする。
な問題を考慮し、マーク形状が良好で、セル化時のアラ
イメントエラーが起こらないマークを備えた、ブラック
マトリックスを持たないカラーフィルターを提供するこ
とを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、ブ
ラックマトリックスを持たないカラーフィルター基板に
おいて、そのアライメントマークが、予め赤色にて形成
されたベースパターンの上に青色にてマーク形状のパタ
ーンを積層形成したことを特徴とする液晶表示装置用カ
ラーフィルターである。具体的には、カラーフィルター
用ガラス基板上のアライメントマーク形成部に、予め赤
色にて、マークのサイズより大きめの四角形あるいは円
形等のベースパターンを、カラーフィルター部のパター
ンと共に形成する。次いで緑色にてカラーフィルター部
のパターンを形成し、最後に青色にて、カラーフィルタ
ー部のパターンと共にアライメントマークのパターンを
前記の赤色膜によるベースパターン上に積層して形成す
る。
ラックマトリックスを持たないカラーフィルター基板に
おいて、そのアライメントマークが、予め赤色にて形成
されたベースパターンの上に青色にてマーク形状のパタ
ーンを積層形成したことを特徴とする液晶表示装置用カ
ラーフィルターである。具体的には、カラーフィルター
用ガラス基板上のアライメントマーク形成部に、予め赤
色にて、マークのサイズより大きめの四角形あるいは円
形等のベースパターンを、カラーフィルター部のパター
ンと共に形成する。次いで緑色にてカラーフィルター部
のパターンを形成し、最後に青色にて、カラーフィルタ
ー部のパターンと共にアライメントマークのパターンを
前記の赤色膜によるベースパターン上に積層して形成す
る。
【０００６】
【作用】以上のような構成とすれば、下部層の赤色レジ
ストが500nm付近までの短波長領域を吸収するため、青
色レジストでマークのパターンを形成する際、ハレーシ
ョン防止の役割を果たし、形状の良好なマークのパター
ンが得られる。
ストが500nm付近までの短波長領域を吸収するため、青
色レジストでマークのパターンを形成する際、ハレーシ
ョン防止の役割を果たし、形状の良好なマークのパター
ンが得られる。
【０００７】
【実施例】以下に本発明の一実施例を順を追って説明す
る。ガラス基板上にフォトリソグラフィーにより顔料分
散レジストからなる各色フィルターを形成するが、ま
ず、赤色レジスト（フジハント社製、商品名「CR- 200
0」）を用いて全面に1.0〜2.0μｍの厚さにスピンコー
トし、70℃、20分の条件でプレベークを行う。次いでフ
ォトマスクを介して120mJ／cm2で露光を行い、上記レジ
ストの専用現像液を用いて現像し、230℃、60分の条件
でポストベークを行う。
る。ガラス基板上にフォトリソグラフィーにより顔料分
散レジストからなる各色フィルターを形成するが、ま
ず、赤色レジスト（フジハント社製、商品名「CR- 200
0」）を用いて全面に1.0〜2.0μｍの厚さにスピンコー
トし、70℃、20分の条件でプレベークを行う。次いでフ
ォトマスクを介して120mJ／cm2で露光を行い、上記レジ
ストの専用現像液を用いて現像し、230℃、60分の条件
でポストベークを行う。
【０００８】ここで赤色用のフォトマスク（以下「赤
版」のように表記する）上には、後で緑版および青版を
合わせるための図２に示す色合わせマーク２用のパター
ンと、ＴＦＴデバイスの組み立てに必要なマーク３を形
成すべきエリアにマーク３より十分に大きめの四角形も
しくは円形のパターン４用のパターンとを形成してお
く。なお、前記パターン４の形状は、マーク３のサイズ
より大きめであれば、任意の形状を用いることができ
る。
版」のように表記する）上には、後で緑版および青版を
合わせるための図２に示す色合わせマーク２用のパター
ンと、ＴＦＴデバイスの組み立てに必要なマーク３を形
成すべきエリアにマーク３より十分に大きめの四角形も
しくは円形のパターン４用のパターンとを形成してお
く。なお、前記パターン４の形状は、マーク３のサイズ
より大きめであれば、任意の形状を用いることができ
る。
【０００９】次いで緑色レジスト（フジハント社製、商
品名「CG-2000」）を用いて同様に緑版のパターンを形
成する。最後に青色レジスト（フジハント社製、商品名
「CB-2000」）を用いて同様に青版のパターンを形成す
るが、ここで青版にはＴＦＴデバイスの組み立てに必要
なマーク３用のパターンを形成しておき、図１に示すよ
うに予め赤色レジストにて形成されているパターン４の
上にマーク３が積層して形成されるようにする。
品名「CG-2000」）を用いて同様に緑版のパターンを形
成する。最後に青色レジスト（フジハント社製、商品名
「CB-2000」）を用いて同様に青版のパターンを形成す
るが、ここで青版にはＴＦＴデバイスの組み立てに必要
なマーク３用のパターンを形成しておき、図１に示すよ
うに予め赤色レジストにて形成されているパターン４の
上にマーク３が積層して形成されるようにする。
【００１０】このようにしてできたカラーフィルターを
用いてＴＦＴ基板と貼り合わせ、セル化する工程におい
ては、マーク形状が良好なためアライメントエラーが起
こらず、精度の高い液晶セルが得られた。
用いてＴＦＴ基板と貼り合わせ、セル化する工程におい
ては、マーク形状が良好なためアライメントエラーが起
こらず、精度の高い液晶セルが得られた。
【００１１】
【発明の効果】以上の様なカラーフィルターによれば、
ブラックマトリックスを持たないカラーフィルター基板
にあっても、形状の良好なパターンが得られ、しかも赤
色と青色との減色混合により黒色のマークが得られるた
めセル化時のアライメントが容易となり、精度が良く、
エラーのない位置合わせができる。
ブラックマトリックスを持たないカラーフィルター基板
にあっても、形状の良好なパターンが得られ、しかも赤
色と青色との減色混合により黒色のマークが得られるた
めセル化時のアライメントが容易となり、精度が良く、
エラーのない位置合わせができる。
【００１２】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のカラーフィルターに用いるアライメン
トマークの一実施例を示す説明図である。
トマークの一実施例を示す説明図である。
【図２】従来のアライメントマークの一例を示す説明図
である。
である。
【符号の説明】 １ ガラス基板 ２ 色合わせマーク ３ マーク ４ パターン ５ フリンジ
Claims (1)
- 【請求項１】ブラックマトリックスを持たないカラーフ
ィルター基板において、そのアライメントマークが、予
め赤色にて形成されたベースパターンの上に青色にてマ
ーク形状のパターンを積層形成したことを特徴とする液
晶表示装置用カラーフィルター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16183494A JP3274283B2 (ja) | 1994-07-14 | 1994-07-14 | 液晶表示装置用カラーフィルター |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16183494A JP3274283B2 (ja) | 1994-07-14 | 1994-07-14 | 液晶表示装置用カラーフィルター |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0829614A true JPH0829614A (ja) | 1996-02-02 |
| JP3274283B2 JP3274283B2 (ja) | 2002-04-15 |
Family
ID=15742820
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16183494A Expired - Fee Related JP3274283B2 (ja) | 1994-07-14 | 1994-07-14 | 液晶表示装置用カラーフィルター |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3274283B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7008829B2 (en) | 1999-07-29 | 2006-03-07 | Nec Lcd Technologies, Ltd. | Alignment marks and manufacturing method for the same |
| KR100599064B1 (ko) * | 2003-09-29 | 2006-07-12 | 세이코 엡슨 가부시키가이샤 | 컬러 필터 기판, 컬러 필터 기판의 제조방법, 컬러 필터기판의 제조장치 |
| KR100808466B1 (ko) * | 2001-07-30 | 2008-03-03 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정 표시 장치용 어레이 기판 및 그의 제조 방법 |
-
1994
- 1994-07-14 JP JP16183494A patent/JP3274283B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7008829B2 (en) | 1999-07-29 | 2006-03-07 | Nec Lcd Technologies, Ltd. | Alignment marks and manufacturing method for the same |
| KR100808466B1 (ko) * | 2001-07-30 | 2008-03-03 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정 표시 장치용 어레이 기판 및 그의 제조 방법 |
| KR100599064B1 (ko) * | 2003-09-29 | 2006-07-12 | 세이코 엡슨 가부시키가이샤 | 컬러 필터 기판, 컬러 필터 기판의 제조방법, 컬러 필터기판의 제조장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3274283B2 (ja) | 2002-04-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |