JPH08297969A - ダイナミック型半導体記憶装置 - Google Patents

ダイナミック型半導体記憶装置

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JPH08297969A
JPH08297969A JP7102473A JP10247395A JPH08297969A JP H08297969 A JPH08297969 A JP H08297969A JP 7102473 A JP7102473 A JP 7102473A JP 10247395 A JP10247395 A JP 10247395A JP H08297969 A JPH08297969 A JP H08297969A
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signal
input
circuit
internal
output
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Goro Hayakawa
吾郎 早川
Yasuhiko Tsukikawa
靖彦 月川
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Mitsubishi Electric Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 スタンバイ状態時に、貫通電流を生じること
がなく低消費電流化が可能なダイナミック型半導体記憶
装置を提供する。 【構成】 第1の論理ゲート回路202は、内部行スト
ローブ信号ZRASFおよび内部列ストローブ信号ZC
ASFならびにセルフリフレッシュモード信号ZBBU
を入力して動作状態検出信号Sを出力する。動作状態検
出信号Sは、スタンバイ状態およびセルフリフレッシュ
状態において“H”レベルとなる。第2のCMOS論理
ゲート回路204は、動作状態検出信号Sが“H”レベ
ルの場合、閉状態となる。したがって、外部入出力制御
信号EXTZWEは内部に伝達されず、また、EXTZ
WE信号のレベルにかかわらず、第2のCMOS論理ゲ
ート回路に貫通電流が流れない。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、バッファ回路を介して
入力される入出力制御信号により、データ入出力動作が
制御される半導体記憶装置に関し、特にリフレッシュ動
作により記憶情報の再書込を行なう、入出力制御信号入
力CMOSバッファ回路を有するダイナミック型半導体
記憶装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、半導体記憶装置、特にDRAMに
おいては、高速化および低消費電力化が重要視されてい
る。特に、バッテリ動作時等においてはスタンバイ電流
の低減が重要となっている。
【0003】DRAMにおいて、スタンバイ電流は電源
電位VCC、VSSを印加し、制御信号である行ストローブ
信号(/RAS信号)、列ストローブ信号(/CAS信
号)を“H”レベルにしたときの消費電流を言い、製品
規格上では、/RAS信号、/CAS信号以外の入力ピ
ンレベルは任意となっている。
【0004】一方、DRAMと外部とのデータの入出力
は、書込動作に対する外部制御信号であるライトイネー
ブル信号(/WE信号)および読出動作に対する外部制
御信号であるアウトプットイネーブル信号(/OE信
号)によって制御される。これらの外部入出力信号は、
CMOS回路による入力バッファ回路を介してDRAM
内部回路に伝達される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記スタンバイ状態に
おいては、これら外部入出力制御信号の入力ピンレベル
は任意であるので、何らかの原因で、これらのピンの電
位レベルがCMOS回路の“H”レベルと“L”レベル
の中間電位である場合は、CMOS回路に貫通電流が流
れ、消費電流の増大を招く。
【0006】以下、上記問題点についてより詳しく説明
する。図5は、/WE信号または/OE信号の入力初段
バッファの第1の従来例を示している。なお、以下のバ
ッファ回路の動作の説明においては、外部入出力制御信
号と、入力バッファ回路を経た内部入出力制御信号とを
区別するために、外部ライトイネーブル信号および外部
アウトプットイネーブル信号を、それぞれEXTZWE
およびEXTZOEで表わし、内部ライトイネーブル信
号および内部アウトプットイネーブル信号を、それぞれ
ZWEFおよびZOEFで表わすこととする。
【0007】EXTZWE信号は、一方の入力端が
“L”レベルに固定されたNOR回路216の他の入力
端に入力する。したがって、この場合NOR回路216
の出力信号は、EXTZWE信号を反転した信号とな
る。この出力信号は、PチャネルMOSトランジスタ3
12およびインバータ314から構成されるハーフラッ
チ回路に入力して、その値が保持される。このラッチ回
路の出力は、インバータ316および318で構成され
るドライブ回路に入力し、ZWEF信号として出力され
る。
【0008】外部入出力制御信号EXTZOEについて
も全く同様である。図11は、NOR回路216の回路
構成の一例を示す図である。
【0009】NOR回路216は、“H”レベルに相当
する電源電位VCCおよび“L”レベルに相当する電源電
位VSSとの間に、直列接続されたPチャネルMOSトラ
ンジスタ220、222とそれらに接続する、並列接続
されたNチャネルMOSトランジスタ226、224か
ら構成される。
【0010】図5の第1の従来例においては、NOR回
路216の一方の入力信号である信号Sは、“L”レベ
ルに固定されているので、PチャネルMOSトランジス
タ220は常に導通状態となっている。したがって、E
XTZWE信号が中間電位レベルである場合は、Pチャ
ネルMOSトランジスタ220およびPチャネルMOS
トランジスタ222ならびにNチャネルMOSトランジ
スタ224を介して貫通電流が流れることになる。
【0011】図6は、上記貫通電流の発生をセルフリフ
レッシュ動作中は防止することを目的とした、/WE信
号または/OE信号の入力バッファ回路の第2の従来例
を示す。
【0012】DRAMのメモリセルは、通常、キャパシ
タに蓄えた電荷により情報を記憶する構成となってい
る。
【0013】したがって、一度情報を書込むことでキャ
パシタに電荷が蓄えられても、アクセストランジスタの
サブスレショルド電流等の種々のリークにより電荷が徐
々に失われていくので、記憶された情報が失われる前
に、データを一旦読出して再度書込むリフレッシュ動作
が必要である。
【0014】このリフレッシュ動作には、読出・書込と
いったランダムアクセス動作中に割込んで行なうリフレ
ッシュ動作と、電池バックアップ期間中のようにチップ
内の記憶情報を保持するためだけに行なうリフレッシュ
動作がある。前者では、たとえばCBR(/CAS b
efore /RAS)リフレッシュ動作が、また後者
では、セルフリフレッシュ動作が標準になっている。
【0015】したがって、このセルフリフレッシュ期間
中においてのみ、そのレベルが変化する信号により、上
記外部入出力制御信号入力バッファ回路を非活性とする
構成とすれば、セルフリフレッシュ期間中は、このバッ
ファ回路における貫通電流が発生しないようにすること
が可能である。
【0016】図6に示した第2の従来例においては、こ
のセルフリフレッシュ期間中においてのみレベルが変化
する信号として、ZBBU信号を用いている。
【0017】以下、ZBBU信号により制御されるDR
AMの回路動作の一例について説明する。
【0018】一般に、DRAMは低消費電力化のために
分割動作が採用されており、そのブロック分割数は大容
量化とともに増加している傾向にある。しかし、分割動
作が進むとリフレッシュサイクル数(チップ状の全メモ
リセルをリフレッシュするのに必要なリフレッシュ動作
の回数)も増えていく。
【0019】一方で、大容量化とともにメモリセルキャ
パシタ容量の絶対値が減少し、キャパシタ誘電体膜の薄
膜化、アクセストランジスタのサブスレショルド特性の
劣化およびメモリセル間距離の減少等により、メモリセ
ルキャパシタのリーク電流が増加する。このため、メモ
リのリフレッシュ特性(メモリセルがリフレッシュ動作
なしにデータを保持していられる時間に相当)は、劣化
する傾向にある。
【0020】したがって、リフレッシュサイクル数はな
るべく小さくすることが望ましい。このため、セルフリ
フレッシュ動作時の動作電流を減らし、かつリフレッシ
ュサイクル数を減らす手段として、セルフリフレッシュ
動作時には通常動作時より多くのブロックを動作させる
手法がとられる場合がある。
【0021】図7に、8ブロック分割構成のDRAMの
場合を示す。信号ZBBUは、セルフリフレッシュモー
ド信号であり、セルフリフレッシュ動作中は、“L”と
なるような信号である。通常動作時は、信号ZBBUは
“H”レベルであり、Z0 〜Z2 のブロックアドレスで
選択される8ブロックのうちの1ブロックアドレスで選
択される8ブロックのうちの1ブロックだけが動作す
る。
【0022】これに対し、セルフリフレッシュ動作時に
は、信号ZBBUが“L”となり、8ブロック内の2ブ
ロックが動作する。たとえば、(Z2 、Z1 、Z0 )=
(0、0、0)の場合、信号ZBBU=“L”であれ
ば、Z2 の値にかかわらず、OR回路508および52
8の出力は“H”レベルとなるので、ブロック(0、
0、0)と(1、0、0)が同時に選択される。
【0023】なお、ZBBU信号としては、このような
信号に限定されるものではなく、セルフリフレッシュ期
間中のみそのレベルが変化するものであれば、以下に述
べるものと同様の動作を実現できる。
【0024】すなわち、図6に示した第2の従来例のよ
うに、NOR回路216の一方の入力端に、ZBBU信
号をインバータ218で反転させた信号を入力させる構
成とすれば、セルフリフレッシュ動作中は、NOR回路
216は、EXTZWE信号のレベルにかかわらず、常
に閉状態となる。
【0025】つまり、図11において、PチャネルMO
Sトランジスタ220が、セルフリフレッシュ期間中は
閉状態となるので、EXTZWE信号が中間レベルであ
っても、NOR回路216に貫通電流は流れない。
【0026】しかしながら、従来の入出力制御信号入力
バッファ回路は、上記のような構成であったので、DR
AMがスタンバイ状態である場合、すなわち、/RAS
信号および/CAS信号がともに“H”レベルであっ
て、他の入力ピンレベルが任意である場合には、外部入
出力制御信号入力バッファ回路において、貫通電流が生
じる可能性があるという問題点を有していた。
【0027】本発明は、上記のような問題点を解決する
ためになされたものであって、その目的は、スタンバイ
状態においても貫通電流が生じない、すなわち、消費電
流を増大させることがない入出力制御信号入力バッファ
回路を提供することである。
【0028】この発明の他の目的は、外部入出力制御信
号の変動に、内部入出力制御信号が影響されることのな
い外部入出力信号入力バッファ回路を提供することであ
る。
【0029】
【課題を解決するための手段】請求項1記載のダイナミ
ック型半導体記憶装置は、第1の外部信号および第2の
外部信号の信号レベルの組合せにより、スタンバイ状
態、セルフリフレッシュ状態および読出/書込動作状態
の3つの動作モードが指定可能なダイナミック型半導体
記憶装置であって、第1の外部信号および第2の外部信
号に応じて、それぞれに対応する第1の内部信号および
第2の内部信号と、セルフリフレッシュモード信号とを
出力するタイミング信号発生手段と、第1の内部信号、
第2の内部信号、セルフリフレッシュモード信号および
外部入出力制御信号を受けて、内部入出力制御信号を出
力する制御信号入力バッファ手段とを備え、制御信号入
力バッファ手段は、第1の内部信号、第2の内部信号お
よびセルフリフレッシュモード信号を受けて、動作状態
検出信号を出力する第1の論理ゲート回路と、動作状態
検出信号により制御され、外部入出力制御信号を受け
て、読出/書込動作状態の場合は、対応する内部入出力
制御信号を出力し、スタンバイ状態およびセルフリフレ
ッシュ状態の場合は、閉状態となる第2のCMOS論理
ゲート回路とを含み、内部入出力制御信号に応じて、外
部とデータの入出力を行なうデータ入出力バッファ手段
をさらに備える。
【0030】請求項2記載のダイナミック型半導体記憶
装置は、請求項1記載のダイナミック型半導体記憶装置
の構成に加えて、制御信号入力バッファ手段は、第2の
CMOS論理ゲート回路の出力信号を受けて、出力信号
レベルの保持動作を行なうラッチ回路と、ラッチ回路の
出力を受けて、内部入出力制御信号を出力するドライブ
回路とをさらに含む。
【0031】請求項3記載のダイナミック型半導体記憶
装置は、請求項1または2記載のダイナミック型半導体
記憶装置の構成に加えて、第1の外部信号は、行ストロ
ーブ信号であり、第2の外部信号は、列ストローブ信号
であり、第1の論理回路は、第1の内部信号および第2
の内部信号を受ける第1のNAND回路と、第1のNA
ND回路の出力およびセルフリフレッシュモード信号を
受ける第2のNAND回路とを含み、第2のCMOS論
理ゲート回路は、第2のNAND回路の出力および外部
入出力制御信号を受けるCMOS NOR回路である。
【0032】
【作用】請求項1記載のダイナミック型半導体記憶装置
においては、外部入出力制御信号が直接入力する第2の
CMOS論理ゲート回路は、読出/書込動作状態以外の
場合は、閉状態となっている。
【0033】請求項2記載のダイナミック型半導体記憶
装置においては、外部入出力制御信号に応じて出力され
る第2のCMOS論理ゲート回路の出力は、ラッチ回路
において一旦保持された後、ドライブ回路により、内部
回路に出力される。
【0034】請求項3記載のダイナミック型半導体記憶
装置においては、行ストローブ信号、列ストローブ信号
およびセルフリフレッシュモード信号によって、制御信
号入力バッファ手段が制御される。その結果、外部入出
力制御信号が直接入力される第2のCMOS論理ゲート
回路は、スタンバイ状態およびセルフリフレッシュ状態
においては閉状態となる。
【0035】
【実施例】図3は、本発明に係る入出力制御信号入力バ
ッファ回路を含むダイナミック型半導体記憶装置の構成
を表わす概略ブロック図である。
【0036】図3においてアドレスバッファ402は、
外部から供給されたアドレス信号A0〜A8を行デコー
ダ406および列デコーダ404に選択的に供給する。
行デコーダ406は、アドレスバッファ402から供給
される行アドレス信号に応答して、複数のワード線WL
のうち1つを選択して駆動する。列デコーダ404は、
アドレスバッファ402から供給される列アドレス信号
に応答して、複数のビット線対のうち1つを選択する。
【0037】センスアンプ408は、その各々に対応す
るビット線対の間の電位差を増幅する。列デコーダ40
4によって選択されたビット線対に対応する増幅された
信号は、出力バッファ414に供給される。出力バッフ
ァ414は、その供給された電位を増幅して出力データ
DQ1〜DQ8として外部に供給する。データ入力バッ
ファ412は、外部から供給された入力データDQ1〜
DQ8を増幅する。この増幅された信号が、列デコーダ
404によって選択されたビット線対に供給される。
【0038】次に、図3の概略ブロック図で示される従
来のダイナミック型半導体記憶装置の書込動作を外部信
号のタイミングチャート図8に従って説明する。/RA
S信号が立下がる時点で行アドレス信号かアドレスバッ
ファ402に取込まれ、行デコーダ406に入力され
る。続いて/CAS信号が立下がる時点で、列アドレス
信号がアドレスバッファ402に取込まれ、列デコーダ
404に入力される。この場合、/CAS信号の立下が
り時に列アドレスがバッファ404に取込まれるととも
にDin(入力データ)がデータ入力バッファ412に取
込まれる。取込まれたデータは、データ入力バッファ4
12から、列アドレスによって選択されたビット線に書
込まれる。この書込動作は、/CAS信号と/WE信号
がともに“L”レベルになったときに起動される。
【0039】つまり、/WE信号、すなわち外部入力制
御信号EXTZWEが、入出力制御信号入力バッファ回
路100aを介してデータ入出力バッファ412に入力
することで、データの取込が行なわれる。
【0040】このとき、外部入出力制御信号入力バッフ
ァ回路100aは、/RAS信号および/CAS信号、
すなわち、外部行ストローブ信号および外部列ストロー
ブ信号に応じてタイミング発生回路400において発生
される、内部行ストローブ信号(ZRASF信号)およ
び内部列ストローブ信号(ZCASF信号)ならびにセ
ルフリフレッシュモード信号(ZBBU信号)によって
制御される。書込動作においては、入出力制御信号入力
バッファ回路100aは、EXTZWE信号に応じた内
部入出力制御信号ZWEFを出力する。
【0041】次に、図3および図9を参照して、読出動
作について説明する。行アドレスおよび列アドレスがア
ドレスバッファ402に取込まれる動作は書込動作と同
様である。列アドレス信号が、列デコーダ404に取込
まれるとき、/WE信号が“H”レベルに保持される
と、以下の一連の読出動作が行なわれる。すなわち、指
定された行および列の位置の記憶データが増幅され、デ
ータ出力バッファ414に転送される。アウトプットイ
ネーブル信号(/OE信号)、すなわち、外部アウトプ
ットイネーブル信号EXTZOEが“L”レベルになる
ことで、外部入出力制御信号入力バッファ回路100b
を介して、データ出力バッファ414に内部出力制御信
号(ZOEF信号)が入力され、出力ピンにデータが出
力される。
【0042】このとき、外部入出力制御信号入力バッフ
ァ回路100bは、ZRASF信号、ZCASF信号お
よびZBBU信号によって制御され、EXTZOE信号
に応じた内部入出力制御信号ZOEFを出力する。
【0043】次に、図10を参照して、セルフリフレッ
シュ動作の場合の、外部信号の変化を説明する。
【0044】通常のメモリサイクル終了後、上記読出/
書込動作とは逆に、/CAS信号が立下がった後に、/
RAS信号が立下がり、その時点において、/WE信号
が“H”レベルであり、かつ、たとえば、/RAS信号
の立下がり時間が100μs以上であることが検出され
ると、セルフリフレッシュ動作が開始される。この場
合、/WE信号は、/RAS信号の立下がりの時点にお
いて、“H”レベルである必要があるものの、その他の
時点では、任意の信号レベルをとり得る。図10におい
ては、任意の信号レベルであり得る領域を、斜線で示し
ている。
【0045】/RAS信号および/CAS信号がともに
“L”レベルである限り、セルフリフレッシュ動作が継
続する。
【0046】このとき、内部行ストローブ信号ZRAS
Fは、タイミング発生回路400により発生され、周期
的に“H”レベルと“L”レベルを繰り返し、セルフリ
フレッシュ動作を制御する。
【0047】このセルフリフレッシュ動作期間中は、前
述のとおり、ZBBU信号は、“L”レベルとなってい
る。
【0048】また、前述したとおり、スタンバイ状態に
おいては、/RAS信号および/CAS信号はともに
“H”レベルであり、その他の外部信号レベルは任意で
ある。
【0049】ここで、以上の説明により内部制御信号の
ZRASF信号、ZCASF信号およびZBBU信号に
ついては、以下のことが言える。
【0050】読出/書込動作においては、ZRAS信号
およびZCASF信号がともに“L”レベルであり、か
つ、ZBBU信号が“H”レベルである場合か、ZRA
SF信号が“H”レベルであり、ZCASF信号が
“L”レベルであり、かつ、ZBBU信号が“H”レベ
ルである場合の2通りの場合がある。
【0051】スタンバイ状態においては、ZRASF信
号、ZCASF信号およびZBBU信号はすべて“H”
レベルである。
【0052】セルフリフレッシュ状態においては、ZC
ASF信号およびZBBU信号は“L”レベルであり、
ZRASF信号は“L”レベルまたは“H”レベルであ
る。
【0053】以上の前提条件の下に、続いて、外部入出
力制御信号入力バッファ回路100の構成および動作に
ついてさらに詳しく説明する。
【0054】図1は、本発明に係る外部入出力制御信号
入力バッファ回路100の構成を示す概略ブロック図で
ある。
【0055】第1の論理ゲート回路202は、内部信号
であるZRASF信号、ZCASF信号およびZBBU
信号を受けて、動作状態検出信号Sを出力する。ここで
動作状態検出信号Sは、読出/書込状態においては、
“L”レベルとなり、スタンバイ状態およびセルフリフ
レッシュ状態においては、“H”レベルとなるような信
号である。
【0056】第2のCMOS論理ゲート回路204は、
動作状態検出信号Sおよび外部入出力制御信号EXTZ
WEを入力して、対応する信号WEFを出力する。ラッ
チ回路302は、WEF信号の状態を保持し、ドライバ
回路304は、ラッチ回路302の出力を受けて、内部
入出力制御信号ZWEFを出力する。
【0057】図2は、図1に示した外部入出力制御信号
入力バッファ回路の回路構成の一例を示す詳細回路図で
ある。
【0058】ZRASF信号およびZCASF信号はN
AND回路212に入力する。NAND回路212の出
力およびZBBU信号は、NAND回路214に入力す
る。NAND回路214の出力信号Sおよび外部入出力
制御信号EXTZWEは、NOR回路216に入力す
る。NOR回路216は、内部信号WEFを出力する。
以上の各信号間の信号レベルの関係を図4に示す。
【0059】スタンバイ状態においては、ZRASF信
号、ZCASF信号およびZBBU信号がともに“H”
レベルであるので、動作状態検出信号Sは“H”レベル
となる。このため、EXTZWE信号の信号レベルにか
かわりなく、WEF信号のレベルは“L”レベルとな
る。
【0060】セルフリフレッシュ状態においても、ZC
ASF信号およびZBBU信号は“L”レベルであり、
ZRASF信号レベルにかかわりなく、動作状態検出信
号Sは“H”レベルとなる。したがって、この場合も内
部信号WEFは、EXTZWE信号のレベルにかかわり
なく、“L”レベルとなる。
【0061】読出/書込状態においては、動作状態検出
信号Sは“L”レベルとなるので、内部信号WEFは、
EXTZWE信号を反転した信号となる。
【0062】したがって、読出/書込状態においての
み、外部入出力制御信号EXTZWEに対応した信号す
なわち、内部信号WEFがラッチ回路およびドライバ回
路を経た内部入出力制御信号ZWEFとして出力され
る。
【0063】以上により、スタンバイ状態およびセルフ
リフレッシュ状態においては、外部入出力制御信号入力
バッファ回路100は、非活性状態となることになる。
【0064】したがって、NOR回路216は、スタン
バイ状態およびセルフリフレッシュ状態において閉状態
となり、外部入出力制御信号EXTZWEのレベルにか
かわりなく、貫通電流が生じない。
【0065】しかも、NOR回路216の出力が、ラッ
チ回路に一旦保持された後ドライバ回路を経て内部入出
力制御信号として出力されるので、外部入出力制御信号
の変動が、内部入出力制御信号に与える影響を小さくす
ることが可能である。
【0066】以上説明した、外部入出力制御信号入力バ
ッファ回路100の動作は、外部アウトプットイネーブ
ル信号(EXTZOE信号)の場合においても、まった
く同様である。
【0067】また、第1の論理ゲート回路202の構成
は、上述のものに限定されるものではなく、ZRASF
信号、ZCASF信号およびZBBU信号に応じて、ス
タンバイ状態およびセルフリフレッシュ状態の場合と読
出/書込状態の場合で異なるレベルの信号を出力する回
路であればよい。
【0068】また、第2のCMOS論理ゲート回路20
4の構成も、動作状態検出信号Sに応じて、導通状態あ
るいは遮断状態に変化する回路であれば上記構成に限定
されるものではない。
【0069】
【発明の効果】請求項1記載のダイナミック型半導体記
憶装置においては、制御信号入力バッファ手段におい
て、外部入出力制御信号が直接入力する第2のCMOS
論理ゲート回路は、スタンバイ状態およびセルフリフレ
ッシュ状態においては、閉状態となるので、これらの状
態においては貫通電流が生じることがない。したがっ
て、ダイナミック型半導体記憶装置の消費電力の増大を
防止することが可能である。
【0070】請求項2記載のダイナミック型半導体記憶
装置においては、制御信号入力バッファ手段は、ラッチ
回路およびドライブ回路を介して内部入出力制御信号を
出力するので、外部入出力制御信号の変動が、内部入出
力制御信号に与える影響を小さくすることが可能であ
る。
【0071】請求項3記載のダイナミック型半導体記憶
装置においては、制御信号入力バッファ手段は、行スト
ローブ信号、列ストローブ信号およびセルフリフレッシ
ュモード信号によって制御されるので、請求項1記載の
ダイナミック型半導体記憶装置と同様の効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施例に係るダイナミック型半導体
記憶装置における外部入出力制御信号入力バッファ回路
の構成を示す概略ブロック図である。
【図2】 本発明に係る外部入出力制御信号入力バッフ
ァ回路の回路構成を示す詳細回路図である。
【図3】 本発明に係るダイナミック型半導体記憶装置
の構成を示す概略ブロック図である。
【図4】 本発明に係る外部入出力制御信号入力バッフ
ァ回路の動作を示す信号レベル関係図である。
【図5】 入出力制御信号入力バッファ回路の第1の従
来例を示す回路図である。
【図6】 入出力制御信号入力バッファ回路の第2の従
来例を示す回路図である。
【図7】 ブロック分割されたダイナミック型半導体記
憶装置の構成を示す概略ブロック図である。
【図8】 ダイナミック型半導体記憶装置の書込動作に
おけるタイミングチャートである。
【図9】 ダイナミック型半導体記憶装置の読出動作に
おけるタイミングチャートである。
【図10】 ダイナミック型半導体記憶装置のセルフリ
フレッシュモードにおけるタイミングチャートである。
【図11】 CMOS NOR回路を示す回路図であ
る。
【符号の説明】
100 外部入出力制御信号入力バッファ回路、100
a 外部入力制御信号入力バッファ回路、100b 外
部出力制御信号入力バッファ回路、200 論理ゲート
バッファ回路、202 第1の論理ゲート回路、204
第2のCMOS論理ゲート回路、212、214 N
AND回路、216 NOR回路、220、222 P
チャネルMOSトランジスタ、224、226 Nチャ
ネルMOSトランジスタ、300 内部駆動回路、30
2 ラッチ回路、304 ドライバ回路、312 Pチ
ャネルMOSトランジスタ、314、316、318
インバータ、400 タイミング発生回路、402 ア
ドレスバッファ、404列デコーダ、406 行デコー
ダ、408 センスアンプ・I/O制御回路、410
メモリセルアレイ、412 データ入力バッファ、41
4 データ出力バッファ、500、520 センスアン
プドライブ回路、502、522 アドレスデコーダ回
路、504、524 遅延回路、506、510、52
6、530ブロック選択信号発生AND回路、508、
512、528、532 OR回路、1000 ダイナ
ミック型半導体記憶装置。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1の外部信号および第2の外部信号の
    信号レベルの組合せにより、スタンバイ状態、セルフリ
    フレッシュ状態および読出/書込動作状態の3つの動作
    モードが指定可能なダイナミック型半導体記憶装置であ
    って、 前記第1の外部信号および前記第2の外部信号に応じ
    て、それぞれに対応する第1の内部信号および第2の内
    部信号と、セルフリフレッシュモード信号とを出力する
    タイミング信号発生手段と、 前記第1の内部信号、前記第2の内部信号、前記セルフ
    リフレッシュモード信号および外部入出力制御信号を受
    けて、内部入出力制御信号を出力する制御信号入力バッ
    ファ手段とを備え、 前記制御信号入力バッファ手段は、 前記第1の内部信号、前記第2の内部信号および前記セ
    ルフリフレッシュモード信号を受けて、動作状態検出信
    号を出力する第1の論理ゲート回路と、 前記動作状態検出信号により制御され、前記外部入出力
    制御信号を受けて、前記読出/書込動作状態の場合は、
    対応する前記内部入出力制御信号を出力し、スタンバイ
    状態およびセルフリフレッシュ状態の場合は、閉状態と
    なる第2のCMOS論理ゲート回路とを含み、 前記内部入出力制御信号に応じて、外部とデータの入出
    力を行なうデータ入出力バッファ手段をさらに備える、
    ダイナミック型半導体記憶装置。
  2. 【請求項2】 前記制御信号入力バッファ手段は、 前記第2のCMOS論理ゲート回路の出力信号を受け
    て、前記出力信号レベルの保持動作を行なうラッチ回路
    と、 前記ラッチ回路の出力を受けて、前記内部入出力制御信
    号を出力するドライブ回路とをさらに含む、請求項1記
    載のダイナミック型半導体記憶装置。
  3. 【請求項3】 前記第1の外部信号は、行ストローブ信
    号であり、 前記第2の外部信号は、列ストローブ信号であり、 前記第1の論理回路は、 前記第1の内部信号および前記第2の内部信号を受ける
    第1のNAND回路と、 前記第1のNAND回路の出力および前記セルフリフレ
    ッシュモード信号を受ける第2のNAND回路とを含
    み、 前記第2のCMOS論理ゲート回路は、 前記第2のNAND回路の出力および前記外部入出力制
    御信号を受けるCMOS NOR回路である、請求項1
    または2記載のダイナミック型半導体記憶装置。
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