JPH08303053A - クリーンルームの建屋構造 - Google Patents
クリーンルームの建屋構造Info
- Publication number
- JPH08303053A JPH08303053A JP7105285A JP10528595A JPH08303053A JP H08303053 A JPH08303053 A JP H08303053A JP 7105285 A JP7105285 A JP 7105285A JP 10528595 A JP10528595 A JP 10528595A JP H08303053 A JPH08303053 A JP H08303053A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- building
- utility
- clean room
- main body
- rubber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 claims abstract description 43
- 239000005060 rubber Substances 0.000 claims abstract description 43
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims abstract description 30
- 238000004378 air conditioning Methods 0.000 claims abstract description 12
- 229920003051 synthetic elastomer Polymers 0.000 claims abstract description 7
- 239000005061 synthetic rubber Substances 0.000 claims abstract description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 12
- 238000010276 construction Methods 0.000 abstract description 9
- 238000013016 damping Methods 0.000 abstract description 9
- 244000043261 Hevea brasiliensis Species 0.000 abstract description 6
- 229920003052 natural elastomer Polymers 0.000 abstract description 6
- 229920001194 natural rubber Polymers 0.000 abstract description 6
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 9
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 241000196324 Embryophyta Species 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 241001590997 Moolgarda engeli Species 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 239000011150 reinforced concrete Substances 0.000 description 1
- 239000000779 smoke Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000011345 viscous material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Building Environments (AREA)
- Buildings Adapted To Withstand Abnormal External Influences (AREA)
- Central Air Conditioning (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】空調機械室や用役室のユーティリィティー建屋
の建設敷地を必要としないので狭い敷地面積を有効利用
することができると共に、微振動環境及び地震に対する
免震環境を効果的に構成することのできるクリーンルー
ムの建屋構造を提供する。 【構成】内部にクリーンルーム２４が形成される本体建
屋１２の上に空調系や用役系の機器類を設置するユーテ
ィリィティー建屋１４を設けると共に、本体建屋１２と
ユーティリィティー建屋１４との間には、微振動に対す
る防振効果の大きな天然ゴム製の積層ゴム３８を用いた
多段積層ゴム３０と粘性ダンパー３２とを並列配置して
成る第１の除振機構１６を介在させる。そして、本体建
屋１２と地盤１８に埋設される基礎２０との間には、高
減衰能を有し免震効果の大きな合成ゴム製の積層ゴム５
８を用いた多段積層ゴム５２から成る第２の除振機構２
２を介在させる。
の建設敷地を必要としないので狭い敷地面積を有効利用
することができると共に、微振動環境及び地震に対する
免震環境を効果的に構成することのできるクリーンルー
ムの建屋構造を提供する。 【構成】内部にクリーンルーム２４が形成される本体建
屋１２の上に空調系や用役系の機器類を設置するユーテ
ィリィティー建屋１４を設けると共に、本体建屋１２と
ユーティリィティー建屋１４との間には、微振動に対す
る防振効果の大きな天然ゴム製の積層ゴム３８を用いた
多段積層ゴム３０と粘性ダンパー３２とを並列配置して
成る第１の除振機構１６を介在させる。そして、本体建
屋１２と地盤１８に埋設される基礎２０との間には、高
減衰能を有し免震効果の大きな合成ゴム製の積層ゴム５
８を用いた多段積層ゴム５２から成る第２の除振機構２
２を介在させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はクリーンルームの建屋構
造に係り、特に、半導体製造工場や光学製品の製造・組
立工場等において製造や組立等の工程で使用する精密機
器を設置するクリーンルームの建屋の構造に関する。
造に係り、特に、半導体製造工場や光学製品の製造・組
立工場等において製造や組立等の工程で使用する精密機
器を設置するクリーンルームの建屋の構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体の製造工場、光学製品の製造・組
立工場では、クリーンルームを設けて、温度、湿度、塵
埃量などの環境条件を適正に制御する他に、振動を軽減
する対策を講じている。振動の要因としては、製造や組
立のための機器自体から発生する振動以外にも、ユーテ
ィリィティー関連機器から発生する振動、或いは工場外
から地盤を伝搬してくる外的振動がある。ユーティリィ
ティー関連機器による振動の主たる要因は、クリーンル
ーム内に清浄な空調エアを供給する空調系の機械や、製
造ラインから発生するガス等の排気や給水等の用役系の
機械である。外的振動の主たる要因は、他工場からの振
動、交通機関から地盤を伝播してくる振動である。
立工場では、クリーンルームを設けて、温度、湿度、塵
埃量などの環境条件を適正に制御する他に、振動を軽減
する対策を講じている。振動の要因としては、製造や組
立のための機器自体から発生する振動以外にも、ユーテ
ィリィティー関連機器から発生する振動、或いは工場外
から地盤を伝搬してくる外的振動がある。ユーティリィ
ティー関連機器による振動の主たる要因は、クリーンル
ーム内に清浄な空調エアを供給する空調系の機械や、製
造ラインから発生するガス等の排気や給水等の用役系の
機械である。外的振動の主たる要因は、他工場からの振
動、交通機関から地盤を伝播してくる振動である。
【０００３】従来の代表的なクリーンルームの建屋構造
は、地下に空調機械や用水、排水、排ガス処理機器等の
用役機械を置くと共に、１階にクリーンルームを設置
し、地下に置いた空調機械や用役機械には振動を吸収す
るダンパを装填している。更には地下室部分と１階の建
屋部分の基礎を分離して、振動の伝播を防止しているも
のもある。別の代表的なクリーンルームの建屋構造に
は、クリーンルームを設置する本体建屋の隣接地に空調
機械室や用役室のためのユーティリィティー建屋を備え
たものがある。そして、振動対策を考慮して、クリーン
ルームは２階以下の低階層に設置するのが一般的であ
る。
は、地下に空調機械や用水、排水、排ガス処理機器等の
用役機械を置くと共に、１階にクリーンルームを設置
し、地下に置いた空調機械や用役機械には振動を吸収す
るダンパを装填している。更には地下室部分と１階の建
屋部分の基礎を分離して、振動の伝播を防止しているも
のもある。別の代表的なクリーンルームの建屋構造に
は、クリーンルームを設置する本体建屋の隣接地に空調
機械室や用役室のためのユーティリィティー建屋を備え
たものがある。そして、振動対策を考慮して、クリーン
ルームは２階以下の低階層に設置するのが一般的であ
る。
【０００４】また、工場外から地盤を伝播してくる外的
振動対策としては、周辺の交通環境や他工場からの振動
発生環境を調査して、振動環境を満足する地域に工場を
建設するのが一般的である。
振動対策としては、周辺の交通環境や他工場からの振動
発生環境を調査して、振動環境を満足する地域に工場を
建設するのが一般的である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、地下に
空調機械や用役機械を置く従来の方式は、空調機械室や
用役室に建設敷地が取られないメリットはあるものの、
必ずしも十分な除振効果が得られていない。また、地下
室部分と１階の建屋部分の基礎を分離した場合には、柱
が増えて構造が複雑になり機械の配置に制限を受けやす
いという弊害が生じる。
空調機械や用役機械を置く従来の方式は、空調機械室や
用役室に建設敷地が取られないメリットはあるものの、
必ずしも十分な除振効果が得られていない。また、地下
室部分と１階の建屋部分の基礎を分離した場合には、柱
が増えて構造が複雑になり機械の配置に制限を受けやす
いという弊害が生じる。
【０００６】一方、空調機械室や用役室のユーティリィ
ティー建屋をクリーンルーム建屋に隣接させる従来の方
式は、防振の点では理想的であるが、大きな敷地面積を
必要とするので、工場の立地条件によっては採用できな
いという欠点がある。また、工場外から伝播してくる外
的振動の主要因である交通振動は、交通量の増加や新た
な交通機関の開設等により年々増加する。このため、工
場建設当時の振動とは振動の内容が大きく変化するとい
う問題がある。更に、近年においては、地震に対する免
震対策の併用を考えていかなくてはならない時代であ
り、振動と地震の両方を制御するクリーンルームの建屋
構造が要望されている。
ティー建屋をクリーンルーム建屋に隣接させる従来の方
式は、防振の点では理想的であるが、大きな敷地面積を
必要とするので、工場の立地条件によっては採用できな
いという欠点がある。また、工場外から伝播してくる外
的振動の主要因である交通振動は、交通量の増加や新た
な交通機関の開設等により年々増加する。このため、工
場建設当時の振動とは振動の内容が大きく変化するとい
う問題がある。更に、近年においては、地震に対する免
震対策の併用を考えていかなくてはならない時代であ
り、振動と地震の両方を制御するクリーンルームの建屋
構造が要望されている。
【０００７】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、空調機械室や用役室のユーティリィティー建
屋の建設敷地を必要としないので狭い敷地面積を有効利
用することができると共に、振動を制御した環境を効果
的に構成することのできるクリーンルームの建屋構造を
提供することを目的とする。
たもので、空調機械室や用役室のユーティリィティー建
屋の建設敷地を必要としないので狭い敷地面積を有効利
用することができると共に、振動を制御した環境を効果
的に構成することのできるクリーンルームの建屋構造を
提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決する為の手段】本発明は前記目的を達成す
る為に、内部にクリーンルームが形成される本体建屋の
上に空調系や用役系の機器類を設置するユーティリィテ
ィー建屋を設けると共に、前記本体建屋と前記ユーティ
リィティー建屋との間には天然ゴム製の積層ゴムを用い
た多段積層ゴムとダンパー装置とを並列配置して成る第
１の除振機構を介在させ、本体建屋と地盤に埋設される
基礎との間には合成ゴム製の積層ゴムを用いた多段積層
ゴムから成る第２の除振機構を介在させたことを特徴と
する。
る為に、内部にクリーンルームが形成される本体建屋の
上に空調系や用役系の機器類を設置するユーティリィテ
ィー建屋を設けると共に、前記本体建屋と前記ユーティ
リィティー建屋との間には天然ゴム製の積層ゴムを用い
た多段積層ゴムとダンパー装置とを並列配置して成る第
１の除振機構を介在させ、本体建屋と地盤に埋設される
基礎との間には合成ゴム製の積層ゴムを用いた多段積層
ゴムから成る第２の除振機構を介在させたことを特徴と
する。
【０００９】
【作用】本発明によれば、内部にクリーンルームが形成
される本体建屋の上に、振幅の小さな機械から発生する
振動に対して防振効果の大きな天然ゴム製の積層ゴムを
用いた多段積層ゴムとダンパー装置とを並列配置した第
１の除振機構を介してユーティリィティー建屋を設け
る。これにより、ユーティリィティー建屋に設置される
機器類の振動が本体建屋に伝搬しない条件を満足させな
がらユーティリィティー建屋のための建設敷地を要しな
いようにした。
される本体建屋の上に、振幅の小さな機械から発生する
振動に対して防振効果の大きな天然ゴム製の積層ゴムを
用いた多段積層ゴムとダンパー装置とを並列配置した第
１の除振機構を介してユーティリィティー建屋を設け
る。これにより、ユーティリィティー建屋に設置される
機器類の振動が本体建屋に伝搬しない条件を満足させな
がらユーティリィティー建屋のための建設敷地を要しな
いようにした。
【００１０】また、本体建屋と地盤に埋設される基礎と
の間には、高減衰能を有し免震効果の大きな合成ゴム製
の積層ゴムを用いた多段積層ゴムから成る第２の除振機
構を介在させるようにし、効果的な地震対策を図ると共
に、地盤を伝播してくる交通機関等の外的振動をも減衰
できるようにした。
の間には、高減衰能を有し免震効果の大きな合成ゴム製
の積層ゴムを用いた多段積層ゴムから成る第２の除振機
構を介在させるようにし、効果的な地震対策を図ると共
に、地盤を伝播してくる交通機関等の外的振動をも減衰
できるようにした。
【００１１】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係るクリーン
ルームの建屋構造の好ましい実施例について詳説する。
図１はクリーンルーム建屋の全体構成の一例を説明する
説明図である。図１に示すように、本発明のクリーンル
ーム建屋１０は、４階建ての鉄筋コンクリート構造の本
体建屋１２と、その本体建屋１２の上に設けられた鉄骨
構造のユーティリィティー建屋１４と、本体建屋１２と
ユーティリィティー建屋１４との間に介在される第１の
除振機構１６と、本体建屋１２の底面と地盤１８に埋設
される基礎２０との間に介在される第２の除振機構２２
から構成される。本体建屋１２の各階には例えば半導体
製造ラインの精密機器を設置するクリーンルーム２４が
形成される。ユーティリィティー建屋１４内には、空調
機械室２６や用役室２８が形成され、空調機械室２６内
には空調機、送風ファン、外気導入ファン、冷却ファ
ン、冷凍機等の空調系機械類が設置される。用役室２８
内には製造ラインで発生する排ガスの排気処理装置や煙
突、ガスを浄化するスクラバ、クリーンルーム内に清浄
水を供給する給水装置等の用役系機器類が設置される。
このように、空調系及び用役系のユーティリィティー関
連機器は、クリーンルーム２４が形成される本体建屋１
２の上に設けたユーティリィティー建屋１４内に収納す
るように構成した。
ルームの建屋構造の好ましい実施例について詳説する。
図１はクリーンルーム建屋の全体構成の一例を説明する
説明図である。図１に示すように、本発明のクリーンル
ーム建屋１０は、４階建ての鉄筋コンクリート構造の本
体建屋１２と、その本体建屋１２の上に設けられた鉄骨
構造のユーティリィティー建屋１４と、本体建屋１２と
ユーティリィティー建屋１４との間に介在される第１の
除振機構１６と、本体建屋１２の底面と地盤１８に埋設
される基礎２０との間に介在される第２の除振機構２２
から構成される。本体建屋１２の各階には例えば半導体
製造ラインの精密機器を設置するクリーンルーム２４が
形成される。ユーティリィティー建屋１４内には、空調
機械室２６や用役室２８が形成され、空調機械室２６内
には空調機、送風ファン、外気導入ファン、冷却ファ
ン、冷凍機等の空調系機械類が設置される。用役室２８
内には製造ラインで発生する排ガスの排気処理装置や煙
突、ガスを浄化するスクラバ、クリーンルーム内に清浄
水を供給する給水装置等の用役系機器類が設置される。
このように、空調系及び用役系のユーティリィティー関
連機器は、クリーンルーム２４が形成される本体建屋１
２の上に設けたユーティリィティー建屋１４内に収納す
るように構成した。
【００１２】図２に示すように、本体建屋１２とユーテ
ィリィティー建屋１４の間に介在される第１の除振機構
は、４基の多段積層ゴム３０、３０…と４基のダンパー
装置３２、３２…とを並列に設けて成り、それぞれの多
段積層ゴム３０はユーティリィティー建屋１４の底面４
隅に配置され、ダンパー装置３２は多段積層ゴム３０同
士の中間位置に並列配置される。多段積層ゴム３０は、
上部安定板３４と下部安定板３６との間に天然ゴム製の
積層ゴム３８と中間安定板４０とを交互に積層した積層
構造を有し、積層ゴム３８は各安定板３４、３６、４０
の４隅位置に配置される。ダンパー装置３２としては粘
性ダンパーが用いられ、図３に示すように円板状の水平
板４２と、水平板４２の中心に一方端が支持されたロッ
ド４４と、粘性液４６が充填された充填容器４８とで構
成され、水平板４２と充填容器４８の底との間に発生す
る粘性力を利用して振動を減衰させる。図２に示したよ
うに、本体建屋１２の上面と多段積層ゴム３０の下部安
定板３６、及び多段積層ゴム３０の上部安定板３４とユ
ーティリィティー建屋１４の底面とがそれぞれアンカー
ボルト５０で固定される。粘性ダンパー３２の充填容器
４８と本体建屋１２の上面とがアンカーボルト５０で固
定され、水平板４２のロッド４４の他方端がユーティリ
ィティー建屋１４の底面に固定される。ユーティリィテ
ィー建屋１４に設置される各種機器の重量は、多段積層
ゴム３０の錘（加重）として利用している。
ィリィティー建屋１４の間に介在される第１の除振機構
は、４基の多段積層ゴム３０、３０…と４基のダンパー
装置３２、３２…とを並列に設けて成り、それぞれの多
段積層ゴム３０はユーティリィティー建屋１４の底面４
隅に配置され、ダンパー装置３２は多段積層ゴム３０同
士の中間位置に並列配置される。多段積層ゴム３０は、
上部安定板３４と下部安定板３６との間に天然ゴム製の
積層ゴム３８と中間安定板４０とを交互に積層した積層
構造を有し、積層ゴム３８は各安定板３４、３６、４０
の４隅位置に配置される。ダンパー装置３２としては粘
性ダンパーが用いられ、図３に示すように円板状の水平
板４２と、水平板４２の中心に一方端が支持されたロッ
ド４４と、粘性液４６が充填された充填容器４８とで構
成され、水平板４２と充填容器４８の底との間に発生す
る粘性力を利用して振動を減衰させる。図２に示したよ
うに、本体建屋１２の上面と多段積層ゴム３０の下部安
定板３６、及び多段積層ゴム３０の上部安定板３４とユ
ーティリィティー建屋１４の底面とがそれぞれアンカー
ボルト５０で固定される。粘性ダンパー３２の充填容器
４８と本体建屋１２の上面とがアンカーボルト５０で固
定され、水平板４２のロッド４４の他方端がユーティリ
ィティー建屋１４の底面に固定される。ユーティリィテ
ィー建屋１４に設置される各種機器の重量は、多段積層
ゴム３０の錘（加重）として利用している。
【００１３】図４に示すように、本体建屋１２と基礎２
０の間に介在される第２の除振機構は４基の多段積層ゴ
ム５２から成り、それぞれの多段積層ゴム５２は本体建
屋１２の底面４隅に配置される。多段積層ゴム５２は、
上部安定板５４と下部安定板５６との間に高減衰能を有
する合成ゴム製の積層ゴム５８と中間安定板６０とを交
互に積層した積層構造を有し、積層ゴム５８は各安定板
５４、５６、６０の４隅位置に配置される。本体建屋１
２の底面と多段積層ゴム５２の上部安定板５４、及び多
段積層ゴム５２の下部安定板５６と基礎２０とがそれぞ
れアンカーボルト５０で固定される。ユーティリィティ
ー建屋１４及び本体建屋の重量は、多段積層ゴム５２の
錘（加重）として利用している。
０の間に介在される第２の除振機構は４基の多段積層ゴ
ム５２から成り、それぞれの多段積層ゴム５２は本体建
屋１２の底面４隅に配置される。多段積層ゴム５２は、
上部安定板５４と下部安定板５６との間に高減衰能を有
する合成ゴム製の積層ゴム５８と中間安定板６０とを交
互に積層した積層構造を有し、積層ゴム５８は各安定板
５４、５６、６０の４隅位置に配置される。本体建屋１
２の底面と多段積層ゴム５２の上部安定板５４、及び多
段積層ゴム５２の下部安定板５６と基礎２０とがそれぞ
れアンカーボルト５０で固定される。ユーティリィティ
ー建屋１４及び本体建屋の重量は、多段積層ゴム５２の
錘（加重）として利用している。
【００１４】上記の如く構成された本発明のクリーンル
ーム建屋１０の構造によれば、クリーンルーム２４が形
成される本体建屋１２の上に、ユーティリィティー関連
機器を設置するユーティリィティー建屋１４を、第１の
除振機構を介して設けるようにしたので、クリーンルー
ム建屋１０の建設の際にユーティリィティー建屋１４の
ための建設敷地を要しない。しかも、第１の除振機構
は、振動に対する防振効果の大きな天然ゴム製の積層ゴ
ム３８を用いた多段積層ゴム３０とダンパー装置３２と
を並列配置して構成したので、ユーティリィティー関連
機器によるユーティリィティー建屋１４からの振動を効
果的に除振して本体建屋１２に伝搬しないようにでき
る。地震波が本体建屋１２に加えられた時、第２の除振
機構でかなり軽減されるが、当然建物は揺動する。揺動
は上の階ほど大きくなり、第１の除振機構部で最大にな
る。粘性材料を使ったダンパ装置３２は比較的長い波長
にも対応するので、地震波の遅延・分散効果を起こし本
体建屋１２の揺動を低減することができる。従って、建
設敷地が狭い場合でも、クリーンルーム建屋１０のスペ
ースを大きく取ることができるので、建設敷地の有効利
用を図ることができる。
ーム建屋１０の構造によれば、クリーンルーム２４が形
成される本体建屋１２の上に、ユーティリィティー関連
機器を設置するユーティリィティー建屋１４を、第１の
除振機構を介して設けるようにしたので、クリーンルー
ム建屋１０の建設の際にユーティリィティー建屋１４の
ための建設敷地を要しない。しかも、第１の除振機構
は、振動に対する防振効果の大きな天然ゴム製の積層ゴ
ム３８を用いた多段積層ゴム３０とダンパー装置３２と
を並列配置して構成したので、ユーティリィティー関連
機器によるユーティリィティー建屋１４からの振動を効
果的に除振して本体建屋１２に伝搬しないようにでき
る。地震波が本体建屋１２に加えられた時、第２の除振
機構でかなり軽減されるが、当然建物は揺動する。揺動
は上の階ほど大きくなり、第１の除振機構部で最大にな
る。粘性材料を使ったダンパ装置３２は比較的長い波長
にも対応するので、地震波の遅延・分散効果を起こし本
体建屋１２の揺動を低減することができる。従って、建
設敷地が狭い場合でも、クリーンルーム建屋１０のスペ
ースを大きく取ることができるので、建設敷地の有効利
用を図ることができる。
【００１５】また、本体建屋１２の上にユーティリィテ
ィー建屋１４を設けたことによりユーティリィティー建
屋１４内に設置する機器類が高所に設けられることにな
る。この結果、狭い建設敷地にクリーンルーム建屋１０
を建設した場合にも、騒音の大きな機器類や排ガスを排
出する煙突等と周辺地上部との距離を確保することがで
きるので、騒音の距離減衰効果や煙の距離拡散効果を得
ることができる。
ィー建屋１４を設けたことによりユーティリィティー建
屋１４内に設置する機器類が高所に設けられることにな
る。この結果、狭い建設敷地にクリーンルーム建屋１０
を建設した場合にも、騒音の大きな機器類や排ガスを排
出する煙突等と周辺地上部との距離を確保することがで
きるので、騒音の距離減衰効果や煙の距離拡散効果を得
ることができる。
【００１６】また、本体建屋１２と基礎２０との間に
は、高減衰能を有し免震効果の大きな合成ゴム製の積層
ゴム５８を用いた多段積層ゴム５２を介在させたので、
効果的な地震対策を行えると共に、交通機関や他工場か
ら地盤４５を伝搬してくる外的振動（地表波や地中波）
をも減衰させることができる。尚、本実施例では半導体
製造に使用する精密機器の例で説明したが、これに限定
されるものではなく、振動環境が必要な精密機器産業の
全てに適用することができる。本実施例では第１の除振
機構として４基の多段積層ゴムと４基のダンパー装置を
用いたが、使用する数はこれに限定されるものではな
い。要はユーティリィティー建屋からの振動が本体建屋
に伝搬しないようにできればよい。同様に第２の除振機
構の多段積層ゴムも４基に限定されるものではない。ダ
ンパー装置として粘性ダンパーを使用したが、これに限
定されるものではなく空気ダンパー等でもよい。
は、高減衰能を有し免震効果の大きな合成ゴム製の積層
ゴム５８を用いた多段積層ゴム５２を介在させたので、
効果的な地震対策を行えると共に、交通機関や他工場か
ら地盤４５を伝搬してくる外的振動（地表波や地中波）
をも減衰させることができる。尚、本実施例では半導体
製造に使用する精密機器の例で説明したが、これに限定
されるものではなく、振動環境が必要な精密機器産業の
全てに適用することができる。本実施例では第１の除振
機構として４基の多段積層ゴムと４基のダンパー装置を
用いたが、使用する数はこれに限定されるものではな
い。要はユーティリィティー建屋からの振動が本体建屋
に伝搬しないようにできればよい。同様に第２の除振機
構の多段積層ゴムも４基に限定されるものではない。ダ
ンパー装置として粘性ダンパーを使用したが、これに限
定されるものではなく空気ダンパー等でもよい。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のクリーン
ルームの建屋構造によれば、内部にクリーンルームが形
成される本体建屋の上に、振動に対する防振効果の大き
な第１の除振機構を介してユーティリィティー建屋を設
けるようにしたので、クリーンルーム建屋を建設する際
にユーティリィティー建屋のための専用敷地を必要とせ
ず、且つユーティリィティー建屋に設置する機器類の振
動が本体建屋に伝搬しないようにできる。
ルームの建屋構造によれば、内部にクリーンルームが形
成される本体建屋の上に、振動に対する防振効果の大き
な第１の除振機構を介してユーティリィティー建屋を設
けるようにしたので、クリーンルーム建屋を建設する際
にユーティリィティー建屋のための専用敷地を必要とせ
ず、且つユーティリィティー建屋に設置する機器類の振
動が本体建屋に伝搬しないようにできる。
【００１８】また、本体建屋と地盤に埋設される基礎と
の間には、高減衰能を有し免震効果の大きな第２の除振
機構を介在させるようにしたので、第１の除振機構に組
み込んだダンパ装置の機能と相まって効果的な地震対策
を図ることができると共に、地盤を伝搬してくる外的振
動をも減衰することができる。従って、本発明のクリー
ンルームの建屋構造は、特に都会等のように広い建設敷
地スペースが確保できにくく、また交通機関等の外的振
動の多い立地条件においてクリーンルーム建屋を建設す
る場合に極めて有効である。
の間には、高減衰能を有し免震効果の大きな第２の除振
機構を介在させるようにしたので、第１の除振機構に組
み込んだダンパ装置の機能と相まって効果的な地震対策
を図ることができると共に、地盤を伝搬してくる外的振
動をも減衰することができる。従って、本発明のクリー
ンルームの建屋構造は、特に都会等のように広い建設敷
地スペースが確保できにくく、また交通機関等の外的振
動の多い立地条件においてクリーンルーム建屋を建設す
る場合に極めて有効である。
【図１】本発明のクリーンルームの建屋構造の全体構成
の概要を説明する説明図
の概要を説明する説明図
【図２】本体建屋とユーティリィティー建屋との間に介
在させる第１の除振機構を説明する説明図
在させる第１の除振機構を説明する説明図
【図３】本体建屋と基礎との間に介在させる第２の除振
機構を説明する説明図
機構を説明する説明図
【図４】粘性ダンパーの説明図
１０…クリーンルーム建屋 １２…本体建屋 １４…除振装置 １４…ユーティリィティー建屋 １６…第１の除振機構 １８…地盤 ２０…基礎 ２２…第２の除振機構 ２４…クリーンルーム ３０…天然ゴム製の積層ゴムを用いた多段積層ゴム ３２…粘性ダンパー ５２…合成ゴム製の積層ゴムを用いた多段積層ゴム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｆ２４Ｆ 3/16 Ｆ２４Ｆ 3/16 7/06 7/06 Ｃ (72)発明者 佐藤 史 東京都千代田区内神田１丁目１番14号 日 立プラント建設株式会社内 (72)発明者 河西 正隆 東京都千代田区内神田１丁目１番14号 日 立プラント建設株式会社内 (72)発明者 下野 一宏 京都府京都市右京区西院溝崎町21番地 ロ ーム株式会社内 (72)発明者 山本 浩史 京都府京都市右京区西院溝崎町21番地 ロ ーム株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】 内部にクリーンルームが形成される本体
建屋の上に空調系や用役系の機器類を設置するユーティ
リィティー建屋を設けると共に、前記本体建屋と前記ユ
ーティリィティー建屋との間には天然ゴム製の積層ゴム
を用いた多段積層ゴムとダンパー装置とを並列配置して
成る第１の除振機構を介在させ、本体建屋と地盤に埋設
される基礎との間には合成ゴム製の積層ゴムを用いた多
段積層ゴムから成る第２の除振機構を介在させたことを
特徴とするクリーンルームの建屋構造。 - 【請求項２】 前記本体建屋には複数階のクリーンルー
ムが形成されることを特徴とする請求項１のクリーンル
ームの建屋構造。 - 【請求項３】 前記ダンパー装置は粘性ダンパーである
ことを特徴とする請求項１のクリーンルームの建屋構
造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7105285A JPH08303053A (ja) | 1995-04-28 | 1995-04-28 | クリーンルームの建屋構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7105285A JPH08303053A (ja) | 1995-04-28 | 1995-04-28 | クリーンルームの建屋構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08303053A true JPH08303053A (ja) | 1996-11-19 |
Family
ID=14403414
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7105285A Pending JPH08303053A (ja) | 1995-04-28 | 1995-04-28 | クリーンルームの建屋構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08303053A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11217930A (ja) * | 1998-02-03 | 1999-08-10 | Shimizu Corp | 低アウトガスクリーンルームの構築方法及び低アウトガスクリーンルーム |
| JP2007270438A (ja) * | 2006-03-30 | 2007-10-18 | Kumagai Gumi Co Ltd | クリーンルームを備えた建物の構造 |
| JP2007270437A (ja) * | 2006-03-30 | 2007-10-18 | Kumagai Gumi Co Ltd | クリーンルームを備えた建物の構造 |
| JP2013104231A (ja) * | 2011-11-14 | 2013-05-30 | Takenaka Komuten Co Ltd | 免震建物、及び免震建物の設計方法 |
| JP2015108268A (ja) * | 2013-12-05 | 2015-06-11 | 株式会社大林組 | 免震構造物 |
| CN110616818A (zh) * | 2019-08-27 | 2019-12-27 | 广东省建筑工程机械施工有限公司 | 一种建筑隔震层施工方法 |
| CN115012552A (zh) * | 2022-06-17 | 2022-09-06 | 江苏科技大学 | 一种分阶段震后功能可恢复剪力墙结构及其设计方法 |
-
1995
- 1995-04-28 JP JP7105285A patent/JPH08303053A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11217930A (ja) * | 1998-02-03 | 1999-08-10 | Shimizu Corp | 低アウトガスクリーンルームの構築方法及び低アウトガスクリーンルーム |
| JP2007270438A (ja) * | 2006-03-30 | 2007-10-18 | Kumagai Gumi Co Ltd | クリーンルームを備えた建物の構造 |
| JP2007270437A (ja) * | 2006-03-30 | 2007-10-18 | Kumagai Gumi Co Ltd | クリーンルームを備えた建物の構造 |
| JP2013104231A (ja) * | 2011-11-14 | 2013-05-30 | Takenaka Komuten Co Ltd | 免震建物、及び免震建物の設計方法 |
| JP2015108268A (ja) * | 2013-12-05 | 2015-06-11 | 株式会社大林組 | 免震構造物 |
| CN110616818A (zh) * | 2019-08-27 | 2019-12-27 | 广东省建筑工程机械施工有限公司 | 一种建筑隔震层施工方法 |
| CN115012552A (zh) * | 2022-06-17 | 2022-09-06 | 江苏科技大学 | 一种分阶段震后功能可恢复剪力墙结构及其设计方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR102367750B1 (ko) | 반복 재사용이 가능한 공장제작 조립식 건물 단위 모듈러 | |
| KR20180083194A (ko) | 층간소음 방지를 위한 바닥에서 들뜬 구조의 층간소음방지재 | |
| JP5755130B2 (ja) | 免震構造物 | |
| JP2006070494A (ja) | 床構造 | |
| JPH08303051A (ja) | クリーンルーム建屋構造 | |
| JP3336516B2 (ja) | クリーンルーム用建屋構造 | |
| KR0138123Y1 (ko) | 건축물의 층별 소음 및 진동 흡수장치 | |
| KR100920200B1 (ko) | 제진합판을 사용한 플라이우드패널 방식의 이중바닥 시스템 | |
| JP4651502B2 (ja) | クリーンルームの防振架構構造 | |
| KR102420058B1 (ko) | 건물의 층간소음 방지장치 | |
| JP2993848B2 (ja) | ユニット型防振装置及びそれを用いた浮床構造 | |
| JP3407728B2 (ja) | 既存構造物の耐震補強構造 | |
| JP4824979B2 (ja) | 建物 | |
| KR102790774B1 (ko) | 건축물의 방음 및 방진 구조물 | |
| KR100629309B1 (ko) | 액체용기에 의한 진동소음 방지구조 | |
| JPS6346213B2 (ja) | ||
| JP2000008647A (ja) | 建物の制振構造 | |
| JP2004169429A (ja) | 天井遮音構造及び天井遮音方法 | |
| JPH09318119A (ja) | クリーンルームを有する建物の架構構造 | |
| JPS6332256Y2 (ja) | ||
| KR102420057B1 (ko) | 건물의 층간소음 방지장치 | |
| JP5464814B2 (ja) | 複合構造建物 | |
| JP2020070641A (ja) | 建物の天井構造、及び建物の天井構造の施工方法 | |
| JP2618163B2 (ja) | 床・天井部の構造 | |
| JPS603236Y2 (ja) | 防音防振構造 |