JPH08304357A - 直接接触型超音波センサー - Google Patents
直接接触型超音波センサーInfo
- Publication number
- JPH08304357A JPH08304357A JP13866395A JP13866395A JPH08304357A JP H08304357 A JPH08304357 A JP H08304357A JP 13866395 A JP13866395 A JP 13866395A JP 13866395 A JP13866395 A JP 13866395A JP H08304357 A JPH08304357 A JP H08304357A
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- Japan
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- piezoelectric element
- ultrasonic sensor
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- Withdrawn
Links
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Landscapes
- Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 被検査部が狭隘な部分又は流体中にある場合
でも、これらの影響を受けずに正確な非破壊検査を行う
ことができる直接接触型超音波センサーを提供する。 【構成】 振動を電気信号に変換する圧電素子１と、圧
電素子１の前面に樹脂接着剤２により固設した棒状の弾
性体接触部３と、圧電素子１の後面に接して設けた弾性
体バッキング材５とを具えている。
でも、これらの影響を受けずに正確な非破壊検査を行う
ことができる直接接触型超音波センサーを提供する。 【構成】 振動を電気信号に変換する圧電素子１と、圧
電素子１の前面に樹脂接着剤２により固設した棒状の弾
性体接触部３と、圧電素子１の後面に接して設けた弾性
体バッキング材５とを具えている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、狭隘な部分に存在する
被検査部の非破壊検査に好適な直接接触型超音波センサ
ーに関する。
被検査部の非破壊検査に好適な直接接触型超音波センサ
ーに関する。
【０００２】
【従来の技術】非破壊検査用超音波センサーは主に非接
触型と間接接触型が用いられており、非接触型超音波セ
ンサーはセンサーと被検査部との間に空間が存在し、間
接接触型超音波センサーはセンサーと被検査部との間に
音響用カップラーを用いて測定を行う。従来の非接触型
超音波センサー及び間接接触型超音波センサーを図２縦
断面図に示すと、圧電素子１１は保護のためフレーム１
２中に固定されており、その圧電素子１１の前面には＋
側電極１３としてアルミ等の金属が蒸着してあり、後面
は−側電極１４として薄いアルミ板等を用い、その後に
金属のバッキング材１５を当てている。そして圧電素子
１１より非検査部１０に向け矢印のように超音波を送受
波し、非破壊検査を行い、間接接触型の場合は図示のよ
うに＋側電極１３の前面にシリコン等のカップラー１６
を用いる。
触型と間接接触型が用いられており、非接触型超音波セ
ンサーはセンサーと被検査部との間に空間が存在し、間
接接触型超音波センサーはセンサーと被検査部との間に
音響用カップラーを用いて測定を行う。従来の非接触型
超音波センサー及び間接接触型超音波センサーを図２縦
断面図に示すと、圧電素子１１は保護のためフレーム１
２中に固定されており、その圧電素子１１の前面には＋
側電極１３としてアルミ等の金属が蒸着してあり、後面
は−側電極１４として薄いアルミ板等を用い、その後に
金属のバッキング材１５を当てている。そして圧電素子
１１より非検査部１０に向け矢印のように超音波を送受
波し、非破壊検査を行い、間接接触型の場合は図示のよ
うに＋側電極１３の前面にシリコン等のカップラー１６
を用いる。
【０００３】しかしながらこのような従来の超音波セン
サーにおいては、非接触型超音波センサーは、センサー
と被検査部１０との間の空間における気体，液体の状態
が一定でない場合には、精度の高い測定は不可能であ
り、更にセンサーから被検査部１０との距離を正確に把
握する必要があるため、人の手が届かない狭隘な部分に
存在する被検査部１０の探傷は不可能となる。また間接
接触型超音波センサーについても、カップラー１６の厚
みによって測定結果が異なるため、正確な厚みを把握し
なければならず、非接触型超音波センサーの場合と同様
に、被検査部１０が狭隘な部分に存在する場合正確な探
傷は不可能となる。
サーにおいては、非接触型超音波センサーは、センサー
と被検査部１０との間の空間における気体，液体の状態
が一定でない場合には、精度の高い測定は不可能であ
り、更にセンサーから被検査部１０との距離を正確に把
握する必要があるため、人の手が届かない狭隘な部分に
存在する被検査部１０の探傷は不可能となる。また間接
接触型超音波センサーについても、カップラー１６の厚
みによって測定結果が異なるため、正確な厚みを把握し
なければならず、非接触型超音波センサーの場合と同様
に、被検査部１０が狭隘な部分に存在する場合正確な探
傷は不可能となる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
事情に鑑みて提案されたもので、被検査部が狭隘な部分
又は流体中に存在する場合でも、これらの影響を受けず
に正確な非破壊検査を行うことができる直接接触型超音
波センサーを提供することを目的とする。
事情に鑑みて提案されたもので、被検査部が狭隘な部分
又は流体中に存在する場合でも、これらの影響を受けず
に正確な非破壊検査を行うことができる直接接触型超音
波センサーを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】そのために本発明は、振
動を電気信号に変換する圧電素子と、同圧電素子に固設
した棒状の弾性体よりなる接触部と、上記圧電素子に接
して設けたバッキング材とを具えたことを特徴とする。
動を電気信号に変換する圧電素子と、同圧電素子に固設
した棒状の弾性体よりなる接触部と、上記圧電素子に接
して設けたバッキング材とを具えたことを特徴とする。
【０００６】
【作用】本発明直接接触型超音波センサーで非破壊検査
を行うにあたっては、棒状の弾性体よりなる接触部の先
端を被検査部に直接接触させる。弾性体よりなる接触部
は導波路として作用するため、被検査部周囲の雰囲気に
関係なく測定が可能となる。また弾性体よりなる接触部
の先端を円錐形状に加工した場合は、加工を施していな
い円柱のものに比べ更に狭隘な部分へと進入し、的確な
測定が可能となる。なお直接接触型であるために、セン
サーと被検査部との距離を考慮する必要もない。
を行うにあたっては、棒状の弾性体よりなる接触部の先
端を被検査部に直接接触させる。弾性体よりなる接触部
は導波路として作用するため、被検査部周囲の雰囲気に
関係なく測定が可能となる。また弾性体よりなる接触部
の先端を円錐形状に加工した場合は、加工を施していな
い円柱のものに比べ更に狭隘な部分へと進入し、的確な
測定が可能となる。なお直接接触型であるために、セン
サーと被検査部との距離を考慮する必要もない。
【０００７】
【実施例】本発明直接接触型超音波センサーの一実施例
を図１縦断面図について説明すると、振動を電気信号に
変換する圧電素子１の前面に、圧電素子１に対して化学
的に安定で接着力のあるエポキシ樹脂，シリコン樹脂等
の樹脂接着剤２により、アルミ，真ちゅう等の電気伝導
度の高い棒状の弾性体接触部３が固設されており、被検
査部１０に接触するその先端は円錐形部４に形成されて
いる。一方圧電素子１の後面には、弾性体接触部３と整
合を取るために同材料の弾性体バッキング材５が連接さ
れている。また圧電素子１，弾性体接触部３及び弾性体
バッキング材５の外周には、電位をグランド電位とする
ことによって周辺からの電気誘導による測定波形へのノ
イズの進入を防ぎ精度の良い測定を行うために、導体シ
ール６が、弾性体接触部３とは直接、圧電素子１及び弾
性体バッキング材５とは絶縁シール７を介し、被覆され
ている。なお導体シール６には−側電極リード線８が、
弾性体バッキング材５には＋側電極リード線９が、それ
ぞれ接続されている。
を図１縦断面図について説明すると、振動を電気信号に
変換する圧電素子１の前面に、圧電素子１に対して化学
的に安定で接着力のあるエポキシ樹脂，シリコン樹脂等
の樹脂接着剤２により、アルミ，真ちゅう等の電気伝導
度の高い棒状の弾性体接触部３が固設されており、被検
査部１０に接触するその先端は円錐形部４に形成されて
いる。一方圧電素子１の後面には、弾性体接触部３と整
合を取るために同材料の弾性体バッキング材５が連接さ
れている。また圧電素子１，弾性体接触部３及び弾性体
バッキング材５の外周には、電位をグランド電位とする
ことによって周辺からの電気誘導による測定波形へのノ
イズの進入を防ぎ精度の良い測定を行うために、導体シ
ール６が、弾性体接触部３とは直接、圧電素子１及び弾
性体バッキング材５とは絶縁シール７を介し、被覆され
ている。なお導体シール６には−側電極リード線８が、
弾性体バッキング材５には＋側電極リード線９が、それ
ぞれ接続されている。
【０００８】このような直接接触型超音波センサーで、
狭隘な部分に存在する被検査部１０の非破壊検査を行う
にあたっては、棒状の弾性体接触部３の先端を被検査部
１０に直接接触させる。弾性体接触部３は導波路として
作用するため、被検査部１０周囲の雰囲気に関係なく正
確な測定が可能となる。また弾性体接触部３の先端は円
錐形部４に形成加工しているので、加工していない円柱
のものに比べ更に狭隘な部分へと進入し、的確な測定が
可能となる。なお直接接触型であるために、センサーと
被検査部１０との距離を考慮する必要もない。
狭隘な部分に存在する被検査部１０の非破壊検査を行う
にあたっては、棒状の弾性体接触部３の先端を被検査部
１０に直接接触させる。弾性体接触部３は導波路として
作用するため、被検査部１０周囲の雰囲気に関係なく正
確な測定が可能となる。また弾性体接触部３の先端は円
錐形部４に形成加工しているので、加工していない円柱
のものに比べ更に狭隘な部分へと進入し、的確な測定が
可能となる。なお直接接触型であるために、センサーと
被検査部１０との距離を考慮する必要もない。
【０００９】
【発明の効果】要するに本発明によれば、振動を電気信
号に変換する圧電素子と、同圧電素子に固設した棒状の
弾性体よりなる接触部と、上記圧電素子に接して設けた
バッキング材とを具えたことにより、被検査部が狭隘な
部分又は流体中に存在する場合でも、これらの影響を受
けずに正確な非破壊検査を行うことができる直接接触型
超音波センサーを得るから、本発明は産業上極めて有益
なものである。
号に変換する圧電素子と、同圧電素子に固設した棒状の
弾性体よりなる接触部と、上記圧電素子に接して設けた
バッキング材とを具えたことにより、被検査部が狭隘な
部分又は流体中に存在する場合でも、これらの影響を受
けずに正確な非破壊検査を行うことができる直接接触型
超音波センサーを得るから、本発明は産業上極めて有益
なものである。
【図１】本発明直接接触型超音波センサーの一実施例の
縦断面図である。
縦断面図である。
【図２】従来の超音波センサーの縦断面図である。
１ 圧電素子 ２ 樹脂接着剤 ３ 弾性体接触部 ４ 円錐形部 ５ 弾性体バッキング材 ６ 導体シール ７ 絶縁シール ８ −側電極リード線 ９ ＋側電極リード線 10 被検査部
Claims (3)
- 【請求項１】 振動を電気信号に変換する圧電素子と、
同圧電素子に固設した棒状の弾性体よりなる接触部と、
上記圧電素子に接して設けたバッキング材とを具えたこ
とを特徴とする直接接触型超音波センサー。 - 【請求項２】 接触部の先端を円錐形状としたことを特
徴とする請求項１の直接接触型超音波センサー。 - 【請求項３】 電位をグランド電位とし、圧電素子，接
触部及びバッキング材を外部からシールする導体シール
を設けたことを特徴とする請求項１，２の直接接触型超
音波センサー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13866395A JPH08304357A (ja) | 1995-05-12 | 1995-05-12 | 直接接触型超音波センサー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13866395A JPH08304357A (ja) | 1995-05-12 | 1995-05-12 | 直接接触型超音波センサー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08304357A true JPH08304357A (ja) | 1996-11-22 |
Family
ID=15227232
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13866395A Withdrawn JPH08304357A (ja) | 1995-05-12 | 1995-05-12 | 直接接触型超音波センサー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08304357A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012032360A (ja) * | 2010-08-03 | 2012-02-16 | Ihi Inspection & Instrumentation Co Ltd | 超音波探触子の接触構造 |
-
1995
- 1995-05-12 JP JP13866395A patent/JPH08304357A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012032360A (ja) * | 2010-08-03 | 2012-02-16 | Ihi Inspection & Instrumentation Co Ltd | 超音波探触子の接触構造 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020806 |