JPH08304500A - 帯電電位測定器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】測定器の接地を必要とせずに、人体等の測定対
象等の帯電電位を測定することができ、しかも、測定者
が継続的に測定器を所持しつつ自身の帯電電位を連続的
に測定することができる帯電電位測定器を提供する。 【構成】人体等の測定対象に対向・配置する第１導体１
と、第１導体１と略絶縁した第２導体２と、これらの導
体１，２を接続する抵抗Ｒs 及びコンデンサＣsから成
る並列回路３と、測定対象の帯電時に抵抗Ｒs に生じる
電圧Ｖs を積分する積分手段３１と、積分手段３１の出
力から測定対象の帯電電位を把握し、それに応じた警報
等を行う帯電電位把握手段２６とを備える。第２導体２
は外界の大地等のアース部との間に略一定の静電容量を
生じるように配置する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、帯電電位測定器に関
し、特に人体の帯電電位を測定するのに好適な表面電位
測定器に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の帯電電位測定器としては、例えば
導体材料からなるセンサ部を測定対象に所定の間隔を存
して配置すると共に、この時、測定対象の帯電電位に応
じてセンサ部に生じる電位を検出し、その検出電位から
測定対象の帯電電位を把握するものが一般に知られてお
り、この種の帯電電位測定器は、例えば半導体製品の製
造ライン等において、種々の物体の帯電電位を測定する
場合に使用される。

【０００３】一方、前記半導体製品の製造ライン等にお
いては、一般に、帯電物が存在すると、その静電気によ
り製造上の支障をきたす場合が多々あることから、種々
の物体に限らず、作業者（人体）の帯電電位も測定する
ことが望まれている。そして、この場合、作業者が衣類
のポケット等に測定器を収容しつつ随意に移動あるいは
作業をしながら自身の帯電電位を連続的に測定すること
ができる携帯型の帯電電位測定器が望まれている。

【０００４】しかしながら、従来の帯電電位測定器で
は、上記のような要望を満たすことが以下に説明するよ
うに困難なものとなっていた。

【０００５】すなわち、従来の帯電電位測定器では、測
定対象の帯電電位に応じてセンサ部に生じる電位は、測
定器に設けたグランド部に対する相対的な電位として増
幅回路やレベル検出回路等を用いて検出することとな
る。従って、測定対象の帯電電位を正しく測定するため
には、測定器のグランド部の電位が測定器の外界の基準
電位部（アース部）とほぼ同じ一定レベルに維持される
ことが必要であり、このため、測定器のグランド部は、
通常、大地等、電位変動を生じにくい適当なアース部に
アース線を介して接地される。

【０００６】但し、測定者が所持する携帯型の従来の帯
電電位測定器にあっては、例えば測定者が把持する筐体
を導体材料により形成すると共に、該筐体を測定器のグ
ランド部として、該グランド部をアース部にアースを線
を介して接地しない場合もあるが、この種のものは、グ
ランド部である筐体がそれを把持する測定者を介して大
地に接地されるとみなせる場合に、測定者が自身以外の
物体等の帯電電位を測定するものである。

【０００７】ところが、このような従来の帯電電位測定
器にあっては、上記のように、基本的には、測定器のグ
ランド部をアース線を介して接地するため、測定器の移
動範囲が制限される。従って、前述のように随意に移動
あるいは作業を行っている作業者の帯電電位を測定する
ことは困難であり、その測定を行うためには、作業者自
身が測定器を設置した箇所に適宜出向かなければならな
い。

【０００８】また、携帯型の従来の帯電電位測定器にあ
っては、帯電していない作業者が他の作業者の帯電電位
を測定することはできるものの、自身の帯電電位を測定
しようとすると、その作業者が測定器の筐体を把持する
こととなるため、作業者と測定器との間で行われる電荷
の移動により、測定器のグランド部の電位が作業者自身
と同電位となってしまう。その結果、測定器のクランド
部に対するセンサ部の電位が０Ｖとなり、作業者自身の
帯電電位を測定することができないこととなる。この場
合、例えば作業者が測定器を絶縁物を介して所持するよ
うにしても、作業者と測定器との間で容量結合がなさ
れ、測定器ののグランド部の電位は作業者の帯電電位に
近づくため、作業者自身の帯電電位を正しく測定するこ
とは不可能である。そして、測定器を作業者が所持する
限り、測定器のグランド部の電位は作業者と同電位とな
り、従って、測定器を作業者が携帯して作業者の帯電電
位を測定することはできない。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】本発明はかかる不都合
を解消し、測定器の接地を必要とせずに、人体等の測定
対象の帯電電位を測定することができ、しかも、測定者
が継続的に測定器を所持しつつ自身の帯電電位を連続的
に測定することができる帯電電位測定器を提供すること
を目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明はかかる目的を達
成するために、帯電電位の測定対象に対向配置される第
１導体と、該第１導体に接続された抵抗及びコンデンサ
から成る並列回路と、前記測定対象及び第１導体から略
絶縁して設けられると共に前記並列回路を介して前記第
１導体に接続され、測定時に外界との間に略一定の静電
容量を形成する位置に配置される第２導体と、前記第１
導体を前記測定対象に対向配置したとき、前記並列回路
の抵抗を流れる電流又は該抵抗の電圧を積分する積分手
段と、該積分手段により得られた積分値を前記測定対象
の帯電電位に比例する量として該積分値により前記測定
対象の帯電電位を把握する帯電電位把握手段とを備えた
ことを特徴とする。

【００１１】そして、前記帯電電位把握手段は、前記測
定対象の帯電電位を示す前記積分手段の積分値が所定値
を越えたとき、警報を発する警報手段を備えることを特
徴とする。

【００１２】さらに、前記積分手段により得られる積分
値が所定値以下の状態で該積分値を周期的にリセットす
るリセット手段を備えたことを特徴とする。

【００１３】また、前記測定対象は人体であり、前記第
１導体及び第２導体は絶縁体を介して互いに固定される
と共に、前記並列回路、積分手段及び帯電電位把握手段
を内部に収容する筐体がその一部に前記第１導体及び第
２導体を含めて形成され、該筐体は衣類の収納部に前記
第１導体を人体側に向け、且つ第２導体を人体から離間
する側に向けて収容可能に形成されていることを特徴と
する。

【００１４】

【作用】本発明の作用を図１及び図２を参照して説明す
る。

【００１５】図１は本発明の帯電電位測定器Ａの基本構
成等をモデル化して示したものであり、１は前記第１導
体、２は前記第２導体、３は前記抵抗Ｒs 及びコンデン
サＣs からなる並列回路である。第１導体１及び第２導
体２は、その間に適宜の絶縁物等を介在させて略絶縁状
態とすると共に並列回路３を介して接続されている。

【００１６】帯電電位の測定に際して、第１導体１は測
定対象Ｗに対向配置し、第２導体２は、測定対象Ｗと略
絶縁された状態で測定器Ａの外界の大地Ｅ（外界の基準
定電位部）との間に略一定の静電容量が形成されるよう
に配置する。このとき、この測定系の電気的なモデルは
図１に示すように表される。

【００１７】同図１において、Ｒh は第１導体１と測定
対象Ｗとの間の抵抗（測定対象Ｗを例えば人体とした場
合、衣類等による抵抗）、Ｃh は第１導体１と測定対象
Ｗとの間の静電容量を示すコンデンサ、Ｃg は第２導体
２と大地Ｅとの間の静電容量を示すコンデンサ、Ｃc は
第１及び第２導体１，２間の静電容量を示すコンデン
サ、Ｒc は第１及び第２導体１，２間の絶縁物等による
抵抗である。尚、以下の説明において、図１の抵抗Ｒs
，Ｒh ，Ｒc 及びコンデンサＣs ，Ｃh ，Ｃc ，Ｃg
の参照符号は、必要に応じてそれらの抵抗及びコンデン
サの抵抗値及び容量値をも示すものとする。

【００１８】図１のモデルにおいて、並列回路３の抵抗
Ｒs 及びコンデンサＣs 、並びに第１及び第２導体１，
２間の抵抗Ｒc 及びコンデンサＣc について、Ｒs ≪Ｒ
c 、Ｃs ≫Ｃc となるようにＲs ，Ｃs を設定すると、
抵抗Ｒc 及びコンデンサＣcは無視することができ、こ
の場合、図１のモデルの電気的等価回路は図２に示すよ
うに表される。同図２において、Ｖ0 は測定対象Ｗの大
地Ｅに対する帯電電位、Ｖg は第２導体２の大地Ｅに対
する電位（コンデンサＣg の電圧）である。

【００１９】このような等価回路で表される測定系にお
いて、測定対象Ｗの帯電電位Ｖ0 が発生すると、第１導
体１及び第２導体２と測定対象Ｗとの間で生じる電荷の
移動により、第２導体２及び大地Ｅ間に形成されるコン
デンサ（静電容量）Ｃg に電荷が蓄えられ、最終的な定
常状態では、第２導体２の電位Ｖg は測定対象Ｗの帯電
電位Ｖ0 に一致するようになる。

【００２０】このとき、上記のようにＶg ＝Ｖ0 となる
過程で、図２の回路は次のような挙動を生じる。

【００２１】すなわち、まず、測定対象Ｗの帯電電位Ｖ
0 が発生した直後において、抵抗Ｒｈ，Ｒs を介した電
荷の移動は直ちには生じにくいので、コンデンサＣs ，
Ｃh，Ｃg の容量結合による静電誘導によって電荷の移
動が生じる。したがって、この場合には、図２の回路
は、抵抗Ｒｈ，Ｒs を除去し、単にコンデンサＣs ，Ｃ
h ，Ｃg を帯電電位Ｖ0 の電源に直列に接続した形の回
路と等価となる。

【００２２】そして、この時、各コンデンサＣs ，Ｃh
，Ｃg に生じる電圧Ｖs ，Ｖh ，Ｖg はそれぞれ次式
（１），（２），（３）により表される。

【００２３】

【数１】

【００２４】従って、各コンデンサＣs ，Ｃh ，Ｃg に
蓄えられる電荷量（＝Ｃs Ｖs 、Ｃh Ｖh 、Ｃg Ｖg ）
はいずれも等しい。すなわち、帯電電位Ｖ0 の発生直後
において、各コンデンサＣs ，Ｃh ，Ｃg に等量づつ電
荷が蓄えられる。尚、この時、各コンデンサＣs ，Ｃh
，Ｃg に等量づつ蓄えられる電荷量をＱ0 とすると、
Ｑ0 は次式（４）により表される。

【００２５】

【数２】

【００２６】このように各コンデンサＣs ，Ｃh ，Ｃg
に電荷が蓄えられた後、抵抗Ｒｈ，Ｒs を介した電荷の
移動（抵抗Ｒｈ，Ｒs に電流が流れる）が開始する。そ
して、このように抵抗Ｒｈ，Ｒs に電流が流れる段階で
は、コンデンサＣs ，Ｃh に蓄えられた電荷はそれぞれ
抵抗Ｒs ，Ｒh を介して放電し、最終的には、コンデン
サＣs ，Ｃh の電圧Ｖs ，Ｖh は０Ｖとなる。また、こ
の時、コンデンサＣgの電圧Ｖg は最終的に帯電電位Ｖ0
に一致するように上昇するため、測定対象Ｗから抵抗
Ｒｈ，Ｒs を介して電荷が流れる。尚、抵抗Ｒｈ，Ｒs
を介した電荷の移動は、最終的にコンデンサＣs ，Ｃh
の電圧Ｖs ，Ｖh が０Ｖとなると共にコンデンサＣg の
電圧Ｖg が帯電電位Ｖ0 に一致すると終了する。

【００２７】この時、図２に示すように、抵抗Ｒs を介
したコンデンサＣs の放電電流をＩs 、抵抗Ｒｈ，Ｒs
を介してコンデンサＣg に流れる電流をＩg とし、コン
デンサＣg に蓄えられる電荷量をＱg とすると、Ｑg
は、帯電電位Ｖ0 の発生直後にコンデンサＣg に蓄えら
れる前記電荷量Ｑ0 を用いて次式（５）により与えられ
る。

【００２８】

【数３】

【００２９】また、抵抗Ｒs を流れる全電荷量は、該抵
抗Ｒs の時々刻々の全電流（＝Ｉs＋Ｉg ）を積分した
ものであるから、

【００３０】

【数４】

【００３１】ここで、上式（６）の右辺第１項の積分値
は、コンデンサＣs の放電電流Ｉsの積分値であるか
ら、その積分値は、帯電電位Ｖ0 の発生直後にコンデン
サＣsに蓄えられた電荷量Ｑ0 に等しい。従って、式
（６）は次式（７）に書換えられる。

【００３２】

【数５】

【００３３】よって、前記式（５），（７）の右辺が等
しいことから、コンデンサＣg に蓄えられる電荷量Ｑg
は抵抗Ｒs を流れる全電荷量に等しいことが判る。すな
わち

【００３４】

【数６】

【００３５】一方、コンデンサＣg の最終的な電圧Ｖg
は測定対象Ｗの帯電電位Ｖ0 に一致するので、 Ｑg ＝Ｃg Ｖ0 ……（８） 従って、前記式（７）’と（８）とから、測定対象Ｗの
帯電電位Ｖ0 は次式（９）により求められる。

【００３６】

【数７】

【００３７】ここで、式（９）におけるＣg は、第２導
体２と大地Ｅとの間の距離と第２導体２の大きさによっ
て定まる静電容量であり、第２導体２と大地Ｅとの間の
距離が一定距離となる位置で第２導体２を配置しておく
ことで、Ｃg は定数となり、その値を求めることもでき
る。また、式（９）の右辺の積分項は、抵抗Ｒs を流れ
た全電流の積分値を示す。

【００３８】従って、測定対象Ｗの帯電電位Ｖ0 は、抵
抗Ｒs を流れた全電流の積分値に比例し、その積分値に
より式（９）に従って帯電電位Ｖ0 を把握することが可
能となる。

【００３９】尚、抵抗Ｒs を流れる電流＝Ｖs ／Ｒs で
あるから、式（９）は、次式（１０）に書き換えられ
る。

【００４０】

【数８】

【００４１】従って、測定対象Ｗの帯電電位Ｖ0 は、抵
抗Ｒs の電圧Ｖs の積分値にも比例し、その積分値によ
り式（１０）に従って帯電電位Ｖ0 を把握することが可
能となる。

【００４２】これが、本発明による測定対象Ｗの帯電電
位Ｖ0 の測定原理であり、本発明の構成要件中の前記積
分手段は、抵抗Ｒs に流れる電流（Ｉs ＋Ｉg ）又は抵
抗Ｒs の電圧Ｖs を積分する。そして、前記帯電電位把
握手段は、該積分手段により得られる積分値により前記
式（９）又は（１０）に従って測定対象Ｗの帯電電位Ｖ
0 を把握する。尚、帯電電位Ｖ0 が増減すれば、それに
追従するようにして前記積分値も増減し、従って、帯電
電位Ｖ0 の連続的な測定・把握が可能となる。

【００４３】かかる本発明の帯電電位測定器において、
式（９）又は（１０）を用いて測定対象Ｗの帯電電位Ｖ
0 の値そのものを求めて把握することも可能であるが、
半導体製造ライン等において、本発明の帯電電位測定器
を使用する場合、実際上、帯電電位Ｖ0 の値そのものを
把握するよりも、帯電電位Ｖ0 があるレベルを越えてい
るか否かを把握することが好ましい。そこで、前記積分
手段の積分値が所定値を越えたとき、警報を発する警報
手段を備えることにより、測定対象Ｗの帯電電位Ｖ0 が
前記積分値の所定値に相当するレベルを越えているか否
かを容易に把握することが可能となり、その警報に応じ
て測定対象の接地等の適宜の処置を施さなければならな
い事態の検知が可能となり、実用上好ましい。

【００４４】さらに、前記積分手段は、例えばオペアン
プを用いた積分回路により構成することが可能である
が、この場合、一般にオペアンプはオフセット電圧を生
じ、そのオフセット電圧も積分されてしまう。そして、
測定対象が帯電した場合の積分手段の出力は帯電電位に
応じた積分値に前記オフセット電圧の積分値が加算され
たものとなる。従って、測定対象の帯電電位の測定を長
時間にわたって連続して行うと、前記オフセット電圧の
積分値が、把握しようとする測定対象の帯電電位に応じ
た積分値に較べて過剰な大きさとなり、該帯電電位の把
握が不正確なものとなる。そこで、前記積分手段により
得られる積分値が所定値以下の状態では、積分手段の積
分値を前記リセット手段により周期的にリセットする。
このようにすることで、前記オフセット電圧の積分値は
常時、充分に小さなレベルに維持され、この状態で測定
対象が帯電すると、前記積分手段により得られる積分値
は、精度よく測定対象の帯電電位に応じたものとなる。
この場合、積分手段により得られる積分値が前記リセッ
ト手段のリセットの周期内で上記所定値を越えるような
測定対象の帯電の場合には、前記リセット手段による積
分値のリセットが行われないようになり、前記オフセッ
ト電圧の積分値が過剰にならない時間範囲で継続的に積
分手段による積分値から測定対象の帯電電位を把握する
ことが可能である。また、積分手段により得られる積分
値が上記所定値に満たないような測定対象の帯電の場合
には、前記リセット手段のリセットの周期内で積分手段
による積分値から測定対象の帯電電位を把握することが
可能である。

【００４５】本発明の帯電電位測定器を人が携帯しつ
つ、自己の帯電電位を把握する場合には、前記第１導体
及び第２導体を絶縁体を介して互いに固定すると共に、
前記並列回路、積分手段及び帯電電位把握手段を内部に
収容する筐体をその一部に前記第１導体及び第２導体を
含めて形成し、さらに、該筐体が衣類の収納部に前記第
１導体を人体側に向け、且つ第２導体を人体から離間す
る側に向けて収容可能に形成しておくことで、本発明の
帯電電位測定器を衣類のポケット等の収納部に収容して
携帯しつつ自己の帯電電位を前述のように連続的に把握
することが可能となる。尚、この場合、図１において、
第２導体２と大地Ｅとの間に形成される静電容量Ｃg
は、測定器Ａの収納箇所の相違や個々人の身長差による
第２導体２と大地Ｅとの間の距離のばらつきに起因し
て、多少のばらつきを生じるものの、そのばらつきの程
度は一般には無視できる程度に小さい。従って、前記静
電容量Ｃg は略一定とみなして差し支えない。

【００４６】

【実施例】本発明の一実施例を図３乃至図５を参照して
説明する。図３は本実施例の帯電電位測定器の外観斜視
図、図４は該帯電電位測定器の要部の回路構成を示すブ
ロック図、図５は該帯電電位測定器の作動を説明するた
めの線図である。尚、以下の説明において、前記図１に
示したものと同一の構成部分については同一の参照符号
を付して説明する。

【００４７】図３を参照して、本実施例の帯電電位測定
器Ａは、図１に示した測定対象Ｗを人体とし、その測定
対象者が半導体製造ライン等において携帯しつつ自己の
帯電電位が支障のないレベルか否かを把握するためのも
のであり、薄肉方形箱状の筐体４を備えている。この筐
体４は、その表面部及び裏面部をそれぞれ形成する方形
板状の導体板５，６と、筐体４の外周側壁部を形成する
例えばアクリル材料からなる方形枠状の絶縁体７とによ
り構成されている。導体板５，６は互いに平行な姿勢で
絶縁体７に固着され、該絶縁体７を介して互いに絶縁さ
れている。そして、筐体４は、導体板５，６のいずれか
一方を図示しない測定対象者の人体側に向け、且つ他方
の導体板５又は６を人体から離間する側に向けて該測定
対象者の衣類のポケット等の収納部（図示しない）に収
納可能とされている。この場合、導体板５，６は、測定
に際して前記図１に示した第１導体１及び第２導体２を
構成するものであり、導体板５を人体側に向けて筐体４
を衣類の収納部に収納したときには、導体板５，６はそ
れぞれ図１の第１導体１及び第２導体２となり、導体板
６を人体側に向けて筐体４を衣類の収納部に収納したと
きには、導体板５，６は上記と逆にそれぞれ図１の第２
導体２及び第１導体１となる。

【００４８】尚、筐体４の内部には、前記図１に示した
並列回路３等を含む回路構成部８と、測定対象者の帯電
時の警報等を行うための警報用圧電ブザー９と、回路構
成部８の電源である電池１０とが収容されている。ま
た、筐体４の外周側壁部を形成する絶縁体７の上面部に
は、電源スイッチ１１と、作動時の電池１０の電圧状態
を示す電源監視用ＬＥＤランプ１２と、後述の積分器の
リセット操作を行うためのリセットスイッチ１３と、測
定対象者の帯電時の警報を行うための４個の警報用ＬＥ
Ｄランプ１４〜１７とが配設されている。

【００４９】次に、筐体４の内部の回路構成部８の構成
を詳説する。

【００５０】図４に示すように、回路構成部８は、その
構成を大別すると、第１導体１（導体板５又は６）と第
２導体２（導体板６又は５）とを接続する抵抗Ｒs 及び
コンデンサＣs から成る並列回路３と、抵抗Ｒs の電圧
Ｖs を増幅する増幅回路部１８と、増幅回路部１８で増
幅された電圧Ｖs を積分する積分回路部１９（積分手
段）と、積分回路部１９の出力をリセットするためのリ
セット回路部２０（リセット手段）と、積分回路部１９
の出力をあらかじめ定めたレベルと比較する比較回路部
２１と、比較回路部２１の出力に応じた前記警報用ＬＥ
Ｄランプ１４〜１７の表示を行わしめる表示回路部２２
と、比較回路部２１の出力等に応じた前記警報用圧電ブ
ザー９の発音を行わしめるブザー回路部２３と、電池１
０の電圧（電源電圧）ＶD を監視する電源電圧監視回路
部２４とを備えている。この場合、各回路部１８〜２４
は、導体板５，６の一方をグランドレベルとして構成さ
れている。また、増幅回路部１８の入力側には、その非
作動時の過剰入力を防止するために第１導体１及び第２
導体２間で並列回路３に並列に介装された入力保護用の
リレースイッチ２５が設けられている。このリレースイ
ッチ２５は前記電源スイッチ１１（図３参照）のＯＮ操
作に連動して開成すると共に、電源スイッチ１１のＯＦ
Ｆ操作に連動して閉成する（第１導体１及び第２導体２
を短絡する）。

【００５１】尚、本発明の構成に対応して、前記比較回
路部２１、表示回路部２２及びブザー回路部２３は、帯
電電位把握手段２６を構成し、表示回路部２２及びブザ
ー回路部２３は警報用ＬＥＤランプ１４〜１７及び警報
用圧電ブザー９を含めて警報手段２７を構成するもので
ある。

【００５２】また、本実施例において、前記並列回路３
の時定数（＝Ｃs Ｒs ）は増幅回路部１８の周波数特性
を例えば１００Ｈｚ以下として、例えば０．１秒程度に
なるようにＣs ，Ｒs の値が定められている。

【００５３】前記増幅回路部１８は、３段の増幅器２８
ａ，２８ｂ，２８ｃにより構成されている。この場合、
１段目の増幅回路２８ａは、それに接続された可変抵抗
２９の抵抗値を調整することでゲイン調整を行うことが
できるようになっている。

【００５４】前記積分回路部１９は、増幅器２８ｃの出
力側にアナログスイッチ３０を介して接続された積分器
３１により構成されている。この積分器３１は、図示し
ないオペアンプに抵抗及びコンデンサを接続して構成さ
れたものであり、その出力をリセットする（出力レベル
を０にする）ためのアナログスイッチ３２が接続されて
いる。該アナログスイッチ３２はそれがＯＮされたと
き、積分器３１の出力をリセットする。尚、積分器３１
は、前記並列回路３の抵抗Ｒs の電圧Ｖs を増幅回路部
１８により所定のゲインで増幅したものを積分するの
で、その出力は、前記式（１０）から明らかなように、
基本的には測定対象者の帯電電位を示す（帯電電位に比
例する）ものである。この場合、本実施例では、測定対
象者の帯電時の積分器３１の出力が定常状態で例えば測
定対象者の帯電電位の１／１０００程度になるように増
幅回路部１８のゲイン等が設定されている。

【００５５】前記比較回路部２１は、積分器３１の出力
レベルをそれぞれ各別にあらかじめ定められた所定レベ
ルと比較する４個の比較器３３〜３６により構成されて
いる。この場合、比較器３３は積分器３１の出力レベル
を＋側の比較的高いレベルに定められた＋側基準高レベ
ルと比較し、該積分器３１の出力レベルが＋側基準高レ
ベルを越えたときに、その旨を示すＬレベルの信号（以
下、＋側本警報信号という）を出力する。また、比較器
３４は積分器３１の出力レベルを＋側の比較的低いレベ
ルに定められた＋側基準低レベル（＜＋側基準高レベ
ル）と比較し、該積分器３１の出力レベルが＋側基準低
レベルを越えたときに、その旨を示すＬレベルの信号
（以下、＋側予備警報信号という）を出力する。同様
に、比較器３５，３６は、それぞれ積分器３１の出力レ
ベルを所定の−側基準高レベル及び−側基準低レベル
（これらの大きさはそれぞれ＋側基準高レベル及び＋側
基準低レベルの大きさと等しい）と比較し、該積分器３
１の出力レベルが−側基準高レベル及び−側基準低レベ
ルを−側に越えたときに、それぞれその旨を示すＬレベ
ルの−側本警報信号及び−側予備警報信号を出力する。

【００５６】尚、本実施例では、前記＋側基準低レベル
及び−側基準低レベルは、例えば±０．０８Ｖ、前記＋
側基準高レベル及び−側基準高レベルは、例えば±０．
５Ｖとし、これらは、測定対象者の帯電電位が±８０
Ｖ、±５００Ｖの場合に相当するものである。

【００５７】前記リセット回路部２０は、複数種類の周
波数のパルス信号を生成・出力する分周器付発振器３７
と、該発振器３７の出力を受けて前記積分器３１のリセ
ット指令信号である１ショットパルスを生成・出力する
１ショットパルス発生器３８と、前記電源スイッチ１１
（図３参照）のＯＮ操作に連動して前記積分器３１のリ
セット指令信号を生成・出力するパワーオンリセット信
号生成器３９と、前記リセットスイッチ１３（図３参
照）のＯＮ操作された時に電池１０の電圧ＶD を受け、
それに応じて前記積分器３１のリセット指令信号を生成
・出力するリセット信号生成回路４０と、１ショットパ
ルス発生器３８、パワーオンリセット信号生成器３９及
びリセット信号生成回路４０からのリセット指令信号を
受けて前記アナログスイッチ３０，３２をＯＮ・ＯＦＦ
制御するアナログスイッチ切替回路４１とにより構成さ
れている。

【００５８】この場合、１ショットパルス発生器３８
は、分周器付発振器３７から所定周期（例えば６０秒周
期）のパルス信号を受け、これに同期したリセット指令
信号を周期的に生成する。また、アナログスイッチ切替
回路４１は、基本的には、１ショットパルス発生器３
８、パワーオンリセット信号生成器３９及びリセット信
号生成回路４０のいずれかからリセット指令信号を受け
た時に一時的に（例えば３ｍｓの間）アナログスイッチ
３０をＯＦＦせしめて積分器３１への入力を遮断すると
共に、アナログスイッチ３２をＯＮせしめて積分器３１
の出力をリセットせしめる。尚、アナログスイッチ切替
回路４１は、通常時は、アナログスイッチ３０，３２を
それぞれＯＮ状態及びＯＦＦ状態とし、また、後述する
ＯＲ回路からリセット禁止指令信号（Ｈレベル信号）が
付与された状態では、１ショットパルス発生器３８の前
記リセット指令信号にかかわらず、アナログスイッチ３
０，３２をそれぞれＯＮ状態及びＯＦＦ状態に維持す
る。

【００５９】前記表示回路部２２は、前記警報用ＬＥＤ
ランプ１４〜１７をそれぞれ駆動するためのＬＥＤ駆動
回路４２〜４５と、各ＬＥＤ駆動回路４２〜４５による
警報用ＬＥＤランプ１４〜１７への通電を間欠的に行わ
しめるためのパルスを生成するデューティ１／４パルス
生成回路４６とを備えている。各ＬＥＤ駆動回路４２，
４３，４４，４５には、それぞれ前記各比較器３３，３
４，３６，３５の出力がインバータ回路（レベル反転回
路）４７，４８，４９，５０を介して与えられる。そし
て、各ＬＥＤ駆動回路４２，４３，４４，４５は、それ
ぞれ前記各比較器３３，３４，３６，３５から各インバ
ータ回路４７，４８，４９，５０によりレベルを反転さ
せた前記＋側本警報信号、＋側予備警報信号、−側予備
警報信号及び−側本警報信号が与えられたとき、対応す
る警報用ＬＥＤランプ１４，１５，１６，１７に通電し
て該警報用ＬＥＤランプ１４，１５，１６，１７を点灯
せしめる。この場合、各ＬＥＤ駆動回路４２〜４５は、
デューティ１／４パルス生成回路４６から与えられるパ
ルスにより各警報用ＬＥＤランプ１４，１５，１６，１
７への通電を間欠的に行うのであるが、その通電周期は
充分に短いものとされており、各警報用ＬＥＤランプ１
４，１５，１６，１７は視覚的には、継続的に点灯する
ようになっている。このようにすることで、各警報用Ｌ
ＥＤランプ１４，１５，１６，１７の点灯時の消費電力
が軽減されて、前記電池１０の消耗が抑制される。

【００６０】尚、デューティ１／４パルス生成回路４６
は、上記のようにＬＥＤ駆動回路４２〜４５を作動させ
るためのパルスを前記分周器付発振器３７から与えられ
る２種類の周期のパルス信号から生成する。

【００６１】また、比較器３４，３６の前記＋側予備警
報信号及び−側予備警報信号のレベル（Ｌレベル）をそ
れぞれ反転させる前記インバータ回路４８，４９の出力
は、ＬＥＤ駆動回路４３，４４だけでなく、ＯＲ回路５
１に入力され、同様に、比較器３３，３５の前記＋側本
警報信号及び−側本警報信号のレベル（Ｌレベル）をそ
れぞれ反転させる前記インバータ回路４７，５０の出力
は、ＯＲ回路５２に入力される。この場合、ＯＲ回路５
１の出力は、比較器３４，３６が前記＋側予備警報信号
及び−側予備警報信号のいずれかを出力したときに、Ｈ
レベルとなり、前記＋側予備警報信号及び−側予備警報
信号のいずれも出力されていないときには、Ｌレベルと
なる。同様に、ＯＲ回路５２の出力は、比較器３３，３
５が前記＋側本警報信号及び−側本警報信号のいずれか
を出力したときに、Ｈレベルとなり、前記＋側本警報信
号及び−側本警報信号のいずれも出力されていないとき
には、Ｌレベルとなる。尚、前記＋側予備警報信号及び
−側予備警報信号のいずれかが比較器３４，３６から出
力されているときのＯＲ回路５１のＨレベルの出力は、
前記アナログスイッチ切替回路４１にリセット禁止信号
として与えられる。

【００６２】前記ブザー回路部２３は、前記警報用圧電
ブザー９を駆動するための圧電ブザー駆動回路５３と、
該駆動回路５３の作動に必要な発振信号を生成して該駆
動回路５３に付与する発振器５４とを備えている。圧電
ブザー駆動回路５３には、前記ＯＲ回路５１，５２の出
力が与えられると共に前記分周器付発振器３７から例え
ば１秒周期のパルスが与えられ、ＯＲ回路５１，５２か
らＨレベルの出力が与えられたときに、警報用圧電ブザ
ー９を駆動して警報音を発音せしめる。この場合、ＯＲ
回路５１からＨレベルの出力が与えられたとき、すなわ
ち、前記比較回路部２１から＋側予備警報信号又は−側
予備警報信号が出力されているときには、圧電ブザー駆
動回路５３は、警報用圧電ブザー９による警報音の発音
を間欠的に行わしめる。また、ＯＲ回路５２からＨレベ
ルの出力が与えられたとき、すなわち、前記比較回路部
２１から＋側本警報信号又は−側本警報信号が出力され
ているときには、圧電ブザー駆動回路５３は、警報用圧
電ブザー９による警報音の発音を継続的に行わしめる。

【００６３】尚、圧電ブザー駆動回路５３には、前記リ
セット信号生成回路４０の出力や、以下に説明する電源
電圧監視回路部２４のＬＥＤ駆動回路の出力も与えら
れ、前記リセットスイッチ１３がＯＮ操作されたとき
や、電池１０の電圧ＶD が所定電圧よりも低くなったと
きに、警報用圧電ブザー９を駆動して発音せしめる。

【００６４】前記電源電圧監視回路部２４は、前記電池
１０の電圧ＶD を所定の下限電圧と比較する比較器５５
と、前記電源監視用ＬＥＤランプ１２を駆動するための
ＬＥＤ駆動回路５６とを備え、ＬＥＤ駆動回路５６に
は、比較器５５の出力が与えられると共に、前記分周器
付発振器３７から例えば０．２５秒周期のパルスが与え
られ、さらに、前記ＬＥＤ駆動回路４２〜４５と同様に
デューティ１／４パルス生成回路４６の出力が与えられ
る。この場合、比較器５５は、電池１０の電圧ＶD が所
定の下限電圧を下回ったとき、その旨を示す信号をＬＥ
Ｄ駆動回路５６に付与し、この時、該ＬＥＤ駆動回路５
６は分周器付発振器３７から与えられるパルスの周期及
びデューティ１／４パルス生成回路４６の出力に従って
電源監視用ＬＥＤランプ１２を点滅させる。そして、Ｌ
ＥＤ駆動回路５６は、前記電源スイッチ１１（図３参
照）がＯＮ状態とされている通常時は電源監視用ＬＥＤ
ランプ１２を継続的に点灯させる。

【００６５】尚、ＬＥＤ駆動回路５６は、電池１０の電
圧ＶD が所定の下限電圧を下回って、電源監視用ＬＥＤ
ランプ１２を点滅させるときには、前記警報用圧電ブザ
ー９による警報音の発音を行わせるための信号を圧電ブ
ザー駆動回路５３に付与する。

【００６６】次に、本実施例の帯電電位測定器Ａの作動
を説明する。

【００６７】前述のように、本実施例の帯電電位測定器
Ａを図示しない測定対象者が自己の衣類のポケット等の
収納部に収容し、前記電源スイッチ１１をＯＮ操作する
と、前記回路構成部８が起動されると共に、リレースイ
ッチ２５が開成される。この時、前記リセット回路部２
０のパワーオンリセット信号生成器３９からアナログス
イッチ切替回路４１にリセット指令信号が与えられ、該
アナログスイッチ切替回路４１は、前記アナログスイッ
チ３０をＯＦＦせしめると共にアナログスイッチ３２を
ＯＮせしめ、これにより前記積分器３１の出力がリセッ
トされる。また、パワーオンリセット信号生成器３９の
リセット指令信号は、圧電ブザー駆動回路５３にブザー
駆動指令信号として付与され、該圧電ブザー駆動回路５
３は圧電ブザー９を一時的に鳴動せしめる。さらに、前
記電源電圧監視回路部２４の比較器５５は電池１０の電
圧ＶD を所定の下限電圧と比較し、このとき、電池１０
がさほど消耗しておらず、ＶD ＞下限電圧であれば、Ｌ
ＥＤ駆動回路５６により、電源監視用ＬＥＤランプ１２
が点灯状態とされる。

【００６８】このような初期動作が行われた後、本実施
例の帯電電位測定器Ａを所持した測定対象者の帯電電位
が連続的に測定され、それに応じた警報等が行われる。

【００６９】さらに詳細には、まず、測定対象者が帯電
していない状態では、前記並列回路３の抵抗Ｒs には電
流が流れず、抵抗Ｒs の電圧Ｖｓは“０”となる。従っ
て、該電圧Ｖs を増幅する前記増幅回路部１８の出力レ
ベルも“０”で、それを入力して積分する前記積分器３
１の出力も基本的には０レベルに維持される。但し、積
分器３１はそれを構成するオペアンプ（図示しない）の
オフセット電圧も積分するため、該オフセット電圧の積
分値（これは時間の経過に従って増加していく）が積分
器３１から出力される。

【００７０】一方、このような作動時において、前記リ
セット回路部２０にあっては、分周器付発振器３７から
１ショットパルス発生器３８に付与される所定周期（本
実施例では６０秒）のパルスにより、該１ショットパル
ス発生器３８は該所定周期毎にリセット指令信号をアナ
ログスイッチ切替回路４１に出力する。このとき、該ア
ナログスイッチ切替回路４１は、上記リセット指令信号
を受ける毎に（上記所定周期毎に）、一時的に（数ｍｓ
程度）アナログスイッチ３０をＯＦＦせしめると共にア
ナログスイッチ３２をＯＮせしめ、これにより、積分器
３１の出力をリセットせしめる。

【００７１】従って、測定対象者が帯電していない状態
では、積分器３１の出力は、図５に実線ａで示すように
なる。同図５中、Ｖw1，ＶW2はそれぞれ前記比較回路部
２１で積分器３１の出力と比較する基準低レベル（本実
施例では０．０８Ｖ）及び基準高レベル（本実施例では
０．５Ｖ）であり、Ｔは１ショットパルス発生器３８の
リセット指令信号の周期（本実施例では６０秒、以下、
リセット周期という）である。そして、本実施例におい
て、積分器３１がリセットされるリセット周期Ｔ内にお
ける前記オフセット電圧の積分値は、高々４．２ｍＶ程
度であり、前記基準低レベルＶW1や基準高レベルＶW2に
較べて充分に小さい。

【００７２】尚、上記のように測定対象者が帯電してい
ない状態で、リセット周期Ｔ内で積分器３１から出力さ
れるオフセット電圧の積分値は、前記基準低レベルＶW1
や基準高レベルＶW2よりも小さいため、比較回路部２１
から前記各警報信号が出力されることはなく、従って、
警報用ＬＥＤランプ１４〜１７の点灯や圧電ブザー９の
発音は行われない。

【００７３】次に、帯電電位測定器Ａが上記のように作
動している状態で、測定対象者が例えば前記基準低レベ
ルＶW1（０．０８Ｖ）に相当する大きさの帯電電位（８
０Ｖ）よりも大きな帯電電位でもって帯電し、且つ前記
基準高レベルＶW2（０．５Ｖ）に相当する大きさの帯電
電位（５００Ｖ）よりも小さな帯電電位でもって帯電す
ると、積分器３１の出力は、例えば図５の実線ｂで示す
ようになり、前記リセット周期Ｔ内の途中時点で基準低
レベルＶW1を越え、最終的には、ほぼ測定対象者の帯電
電位に相当するレベルに到達する。

【００７４】この場合、積分器３１の出力が基準低レベ
ルＶW1を越えると、比較回路部２１の比較器３４又は３
６から＋側予備警報信号（帯電電位が＋側の場合）又は
−側予備警報信号（帯電電位が−側の場合）が出力され
る。この時、表示回路部２２のＬＥＤ駆動回路４３又は
４４に予備警報信号がインバータ回路４８又は４９を介
して付与されるため、該ＬＥＤ駆動回路４３又は４４は
警報用ＬＥＤ１５又は１６を前述のように点灯させる。

【００７５】また、この時、インバータ回路４８，４９
の出力が入力される前記ＯＲ回路５１の出力レベルがＨ
レベルとなり、それが圧電ブザー９の駆動指令信号とし
て圧電ブザー駆動回路５３に付与される。このため、該
圧電ブザー駆動回路５３は、圧電ブザー９を鳴動させ
る。この場合、圧電ブザー９の鳴動は間欠的に行われ
る。

【００７６】さらに、ＯＲ回路５１から出力されるＨレ
ベルの信号は、前記アナログスイッチ切替回路４１にリ
セット禁止信号として付与され、この場合には、該アナ
ログ切替スイッチ回路４１は、１ショットパルス発生器
３８から前記リセット周期Ｔ毎に付与されるリセット指
令信号にかかわらず、前述したような積分器３１の出力
のリセットを行わない。従って、積分器３１の出力が、
測定対象者の帯電により前記基準低レベルＶw1を越えた
後には、測定対象者の帯電状態がそのまま継続している
限り、ほぼ定常的に測定対象者の帯電電位に相当するレ
ベルで継続し、前述のような警報用ＬＥＤ１５又は１６
の点灯と圧電ブザー９の鳴動が継続する。これにより、
測定対象者に警報（以下、この場合の警報を予備警報と
いう）がなされ、測定対象者は自身があまり好ましくな
い帯電電位に帯電していることを認識する。また、積分
器３１の出力は、測定対象者が帯電する前の段階で前記
リセット周期Ｔでもって周期的にリセットされているの
で、測定対象者の帯電直後に積分器３１の出力中に含ま
れる前記オフセット電圧の積分値は充分に小さなレベル
となっている。従って、警報用ＬＥＤ１５又は１６の点
灯や圧電ブザー９の鳴動が行われる際の積分器３１の出
力は、精度よく測定対象者の帯電電位を示すものとなっ
ており、測定対象者が前記基準低レベルＶw1に相当する
帯電電位で帯電したときに警報用ＬＥＤ１５又は１６の
点灯や圧電ブザー９の間欠的な鳴動による予備警報を適
正に行うことができる。尚、上記のような測定対象者の
帯電の発生時点が例えば前記リセット周期Ｔの終了近く
の時点で生じた場合等、積分器３１の出力が前記基準低
レベルＶw1に達する前に積分器３１がリセットされてし
まう場合もあるが、このような場合については後述す
る。

【００７７】尚、積分器３１の出力が前記基準低レベル
Ｖw1を越えた状態では、該積分器３１はリセットされな
いので、測定対象者の帯電状態が一定の帯電電位でその
まま継続していると、前記オフセット電圧が継続的に積
分されるため、積分器３１の出力が継続的に徐々に増加
していく。但し、一般に、測定対象者が歩行や作業等の
動作を停止すると、該測定対象者に帯電した電荷は、自
己の履物や床等を介して自然放電して自己の帯電電位は
低下していき、最終的には帯電が解消する。従って、前
述したように警報用ＬＥＤ１５又は１６の点灯や圧電ブ
ザー９の鳴動による予備警報がなされたときに、測定対
象者が動作を中止し、あるいは、自己を強制的にアース
すれば、測定対象者の帯電電位の減少により、積分器３
１の出力も低下する。このため、積分器３１の出力は基
準低レベルＶw1を下回って再びリセットされるようにな
り、以後の測定対象者の帯電電位の測定を継続すること
ができる。

【００７８】次に、測定対象者が例えば前記基準高レベ
ルＶW2（０．５Ｖ）に相当する大きさの帯電電位（５０
０Ｖ）よりも大きな帯電電位でもって帯電すると、積分
器３１の出力は、例えば図５の実線ｃで示すようにな
り、前記リセット周期Ｔ内の途中時点で基準低レベルＶ
W1及び基準高レベルＶw2を順次越え、最終的には、ほぼ
測定対象者の帯電電位に相当するレベルに到達する。

【００７９】この場合、まず、積分器３１の出力が基準
低レベルＶW1を越えたときに、前述したように警報用Ｌ
ＥＤ１５又は１６の点灯や圧電ブザー９の鳴動による警
報がなされる。また、前記ＯＲ回路５１からアナログス
イッチ切替回路４１にＨレベルのリセット禁止指令信号
が付与されることにより、積分器３１の周期的なリセッ
トが停止される。

【００８０】次いで、積分器３１の出力が基準高レベル
Ｖw2を越えたときに、比較回路部２１の比較器３３又は
３５から＋側本警報信号（帯電電位が＋側の場合）又は
−側本警報信号（帯電電位が−側の場合）が出力され
る。この時、表示回路部２２のＬＥＤ駆動回路４２又は
４５に本警報信号がインバータ回路４７又は５０を介し
て付与されるため、該ＬＥＤ駆動回路４２又は４５は警
報用ＬＥＤ１４又は１７を前述のように点灯させる。

【００８１】また、この時、インバータ回路４７，５０
の出力が入力される前記ＯＲ回路５２の出力レベルがＨ
レベルとなり、それが圧電ブザー９の駆動指令信号とし
て圧電ブザー駆動回路５３に付与される。このため、該
圧電ブザー駆動回路５３は、圧電ブザー９を連続的に鳴
動させる。

【００８２】尚、ＯＲ回路５１の出力はＨレベルに維持
されるので、積分器３１の周期的なリセットの中止は継
続する。

【００８３】従って、積分器３１の出力が、測定対象者
の帯電により前記基準高レベルＶw2を越えた後には、測
定対象者の帯電状態がそのまま継続している限り、ほぼ
定常的に測定対象者の帯電電位に相当するレベルで継続
し、前述のような警報用ＬＥＤ１４又は１７の点灯と圧
電ブザー９の鳴動が継続する。これにより、測定対象者
に警報（以下、この場合の警報を本警報という）がなさ
れ、測定対象者は自身が除電を行うべき帯電電位に帯電
していることを認識する。また、この場合においても、
前記予備警報の場合と同様に、積分器３１の出力は、測
定対象者が帯電する前の段階で前記リセット周期Ｔでも
って周期的にリセットされているので、前記本警報が行
われる際の積分器３１の出力は、精度よく測定対象者の
帯電電位を示すものとなっており、測定対象者が前記基
準高レベルＶw2に相当する帯電電位で帯電したときに前
記本警報を適正に行うことができる。

【００８４】尚、積分器３１の出力が前記基準低レベル
Ｖw1及び基準高レベルＶw2を越えた状態では、該積分器
３１はリセットされないので、前述の予備警報の場合と
同様に、積分器３１の出力がオフセット電圧の積分によ
り継続的に徐々に増加していくものの、上記のように本
警報がなされた場合には、測定対象者の除電を行うべき
状態であるので、測定対象者は例えば自己を強制的にア
ースして除電する。そして、このように除電を行えば、
前述の予備警報の場合と同様に、積分器３１の出力は基
準低レベルＶw1を下回って再びリセットされるようにな
り、以後の測定対象者の帯電電位の測定を継続すること
ができる。この場合、前記リセットスイッチ１３を操作
してもよく、該リセットスイッチ１３を操作したときに
は、前記リセット信号生成回路４０からアナログスイッ
チ切替回路４１に付与されるリセット指令信号により、
該アナログスイッチ切替回路４１が積分器３１をリセッ
トせしめる。

【００８５】ところで、本実施例の帯電電位測定器Ａに
あっては、仮に測定対象者の帯電電位が継続的に緩やか
に上昇していき、その帯電電位に応じた積分器３１の出
力（ここでは、オフセット電圧の積分値を除いたものと
する）が、例えば図５に仮想線ｄで示すように、前記リ
セット周期Ｔ内では前記基準低レベルＶw1に到達しない
ような上昇度合いでもって緩やかに上昇していくとする
と、積分器３１の出力が基準低レベルＶw1に達する前に
積分器３１の出力がリセットされるので、測定対象者の
帯電電位に応じた前記予備警報や本警報を行うことがで
きない虞れがある。尚、積分器３１のリセット後の次の
リセット周期Ｔ内で測定対象者の帯電電位が大きく上昇
すれば、予備警報あるいは本警報を行うことはできる。

【００８６】また、図５の前記実線ｂ，ｃで示したよう
な測定対象者の帯電の場合であっても、測定対象者の帯
電の発生時点が前記リセット周期Ｔの終了近くの時点で
あるような場合には、積分器３１の出力が基準低レベル
Ｖw1に到達する前に積分器３１がリセットされてしまう
場合もある。このような場合において、実線ｃで示した
ような測定対象者の帯電の場合、すなわち、基準高レベ
ルＶw2に相当する帯電電位よりも大きく帯電した場合に
は、積分器３１の出力が上昇する途中で該積分器３１が
リセットされても、その後の次のリセット周期Ｔ内にお
いて積分器３１の出力は少なくとも基準低レベルＶw1以
上には上昇して予備警報を行うことができ、また、測定
対象者の帯電電位が充分に大きければ、積分器３１の出
力はさらに基準高レベルＶw2をも越えて本警報を行うこ
とができる。従って、実用上、さほど支障はない。一
方、基準低レベルＶw1に相当する帯電電位よりも若干大
きな帯電電位でもって帯電した場合（図５の実線ｂで示
すような場合）には、積分器３１の出力が上昇する途中
で該積分器３１がリセットされると、次のリセット周期
Ｔ内で積分器３１の出力が基準低レベルＶw1に到達でき
ずに、前記図５の仮想線ｄの場合と同様に、予備警報が
行われない事態が生じる虞れがある。

【００８７】しかるに、一般に、測定対象者の帯電電位
が長い時間にわたって継続的に上昇していくことはほと
んどない。すなわち、一般に、測定対象者の帯電は、歩
行や作業等の動作時の摩擦現象等によって生じるもので
あり、測定対象者が動作を中止して停止すれば、測定対
象者に帯電した電荷は履物や床等を介して放電する。そ
して、その放電時間は一般には数十秒程度である。

【００８８】また、測定対象者の履物や床等が極めて絶
縁性の高いものである場合には、一般に、測定対象者の
帯電は急速に進行し、従って、比較的短時間で積分器３
１の出力が基準低レベルＶw1や基準高レベルＶw2を越え
るようなレベルに上昇していく。

【００８９】従って、前記リセット周期Ｔをオフセット
電圧の積分を考慮しつつ比較的長い時間に設定しておけ
ば、測定対象者の帯電電位が基準低レベルＶw1や基準高
レベルＶw2に相当するレベルを越える電位に帯電したと
きには、ほぼ確実に積分器３１の出力がリセット周期Ｔ
内で基準低レベルＶw1や基準高レベルＶw2を越えて前記
予備警報や本警報が発せられる。

【００９０】また、仮に図５の仮想線ｄで示したような
上昇度合いでもって測定対象者の帯電電位に応じた積分
器３１の出力が上昇していく場合があるとしても、測定
対象者の帯電電位が少なくとも前記基準高レベルＶw2に
相当する電位に達する前に測定対象者が動作を停止し、
あるいは自己をアースするようにすれば、実用上支障は
ない。このことは、図５の実線ｂ，ｃで示すような測定
対象者の帯電の場合に、前述したように積分器３１の出
力が上昇する途中で予備警報が行われる前に積分器３１
がリセットされるような場合においても同様である。

【００９１】この場合、前記予備警報が発せられないま
ま測定対象者の帯電電位が基準高レベルＶw2に相当する
電位に達するまでの時間は、帯電電位に応じた積分器３
１の出力が前記リセット周期Ｔ内で前記基準低レベルＶ
w1よりも僅かに小さなレベルまで上昇するような場合に
最も短くなり、その時間を図５に示すようにＴx とする
と、Ｔx ≒（Ｖw2／Ｖw1）・Ｔであり、本実施例では、
その時間Ｔx は約６分となる。従って、約６分おき毎に
測定対象者が動作を停止し、あるいは自己をアースする
ようにすれば、確実に測定対象者の帯電電位が前記本警
報を発すべき基準高レベルＶw2に相当する電位に達する
前に該測定対象者の帯電電位が低下する。これにより、
測定対象者の帯電電位が前記本警報を発すべき基準高レ
ベルＶw2に相当する電位に達した状態で該本警報が発せ
られないような事態を確実に回避することができる。ま
た、測定対象者の帯電電位が低下すれば、以後の測定対
象者の帯電電位の測定を前述したような積分器３１の周
期的なリセットを行いつつ継続して行うことができる。

【００９２】このように本実施例の帯電電位測定器Ａに
よれば、測定対象者の帯電電位を積分器３１の出力によ
り連続的に把握しつつ該帯電電位に応じた予備警報や本
警報を適正に行うことができる。

【００９３】尚、本実施例の帯電電位測定器Ａにあって
は、その作動中に前記電池１０の電圧ＶD が電源電圧監
視回路部２４の比較器５５により所定の下限レベルと比
較されており、該電圧ＶD が下限レベルを下回ると、比
較器５５の出力信号に応じてＬＥＤ駆動回路５６が電源
監視用ＬＥＤランプ１２を点灯状態から点滅させる。さ
らに、この時、圧電ブザー駆動回路５３は、ＬＥＤ駆動
回路５６から与えられる指令信号に応じて、圧電ブザー
９を鳴動させる。これにより、電池１０の交換の必要性
が測定対象者に報知される。

【００９４】尚、以上説明した実施例において、測定対
象者の帯電電位の値そのものを積分器３１の出力に基づ
き適宜の表示器に表示させるようにすることも可能であ
ることはもちろんである。

【００９５】また、本実施例では、並列回路３の抵抗Ｒ
s の電圧Ｖs を積分するようにしたが、抵抗Ｒs の流れ
る電流を適宜の電流センサを用いて検出し、それを積分
することにより測定対象の帯電電位を把握するようにし
てもよい。

【００９６】また、本実施例では、測定対象を人体とし
て帯電電位を測定するものを示したが、本発明はこれに
限定されるものではなく、種々の帯電物の帯電電位を測
定することも可能である。この場合には、測定対象物に
対向配置する第１導体に抵抗及びコンデンサから成る並
列回路を介して接続した第２導体と大地等の基準電位部
との間の静電容量が一定値となるように測定器を構成す
ると共に、並列回路の抵抗の電圧を前記実施例と同様に
積分器を用いて積分することにより、その積分値から測
定対象物の帯電電位を把握することができる。

【００９７】

【発明の効果】上記の説明から明らかなように、本発明
によれば、測定対象に対向配置する第１導体と外界に略
一定の静電容量を形成するように配置する第２導体とを
互いに略絶縁した状態で抵抗及びコンデンサから成る並
列回路を介して接続し、測定対象の帯電に際して並列回
路の抵抗を流れる電流又は該抵抗の電圧を積分手段によ
り積分し、その積分値により測定対象の帯電電位を把握
するようにしたことによって、測定器の接地を必要とせ
ずに、人体等の測定対象等の帯電電位を測定することが
できる。しかも測定者が測定器を所持しつつ自己の帯電
電位を検出・把握する場合にも、測定者が測定器を継続
的に所持しつつ自己の帯電電位を連続的に測定すること
ができる。従って、簡易で利便性に優れた帯電電位測定
器を提供することができる。

【００９８】そして、前記積分手段により得られる積分
値が所定値を越えたときに警報手段により警報を発する
ようにしたことによって、本発明の帯電電位測定器を例
えば半導体製造ライン等において使用した場合に、測定
対象の過剰な帯電を前記の警報によって容易に把握する
ことができ、その警報に応じた測定対象の接地等の適宜
の処置を的確に施すことができる。

【００９９】また、前記積分手段により得られる積分値
が所定値以下の状態で、該積分値をリセット手段により
周期的にリセットするようにしたことによって、該積分
手段をオペアンプを用いて構成した場合に、該オペアン
プのオフセット電圧を該積分手段により積分してなる積
分値を常時、充分に小さなレベルに抑えることができ、
それにより測定対象の帯電時に該積分手段の積分値から
測定対象の帯電電位を精度よく把握することができる。

【０１００】また、本発明の帯電電位測定器の筐体は互
いに絶縁体により固定した前記第１導体及び第２導体を
含めて構成され、その筐体を測定対象としての人体の衣
類のポケット等の収納部に収容可能に形成したことによ
って、測定対象者が衣類のポケット等の収納部に帯電電
位測定器を収容するだけで、該帯電電位測定器を携帯し
つつ、しかも移動や作業を行いつつ、自己の帯電電位を
連続的に支障なく把握することができる。

【０１０１】従って、本発明によれば、簡易で利便性に
優れた帯電電位測定器を提供することができ、特に、半
導体製造ライン等において、移動や作業を行っている人
が自己帯電電位を測定する場合に最適な帯電電位測定器
を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の帯電電位測定器の作動原理を説明する
ための電気的構成を示す模式図。

【図２】図１の模式図の電気的等価回路を示す回路図。

【図３】本発明の帯電電位測定器の一実施例の外観斜視
図。

【図４】図３の帯電電位測定器の要部の回路構成を示す
ブロック図。

【図５】図３の帯電電位測定器の作動を説明するための
線図。

【符号の説明】

１…第１導体、２…第２導体、３…並列回路、４…筐
体、７…絶縁体、Ｃs …コンデンサ、Ｒs …抵抗、１９
…積分手段、２６…帯電電位把握手段、２７…警報手
段、２０…リセット手段。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】帯電電位の測定対象に対向配置される第１
   導体と、該第１導体に接続された抵抗及びコンデンサか
   ら成る並列回路と、前記測定対象及び第１導体から略絶
   縁して設けられると共に前記並列回路を介して前記第１
   導体に接続され、測定時に外界との間に略一定の静電容
   量を形成する位置に配置される第２導体と、前記第１導
   体を前記測定対象に対向配置したとき、前記並列回路の
   抵抗を流れる電流又は該抵抗の電圧を積分する積分手段
   と、該積分手段により得られた積分値を前記測定対象の
   帯電電位に比例する量として該積分値により前記測定対
   象の帯電電位を把握する帯電電位把握手段とを備えたこ
   とを特徴とする帯電電位測定器。
2. 【請求項２】前記帯電電位把握手段は、前記測定対象の
   帯電電位を示す前記積分手段の積分値が所定値を越えた
   とき、警報を発する警報手段を備えることを特徴とする
   請求項１記載の帯電電位測定器。
3. 【請求項３】前記積分手段により得られる積分値が所定
   値以下の状態で該積分値を周期的にリセットするリセッ
   ト手段を備えたことを特徴とする請求項１又は２記載の
   帯電電位測定器。
4. 【請求項４】前記測定対象は人体であり、前記第１導体
   及び第２導体は絶縁体を介して互いに固定されると共
   に、前記並列回路、積分手段及び帯電電位把握手段を内
   部に収容する筐体がその一部に前記第１導体及び第２導
   体を含めて形成され、該筐体は衣類の収納部に前記第１
   導体を人体側に向け、且つ第２導体を人体から離間する
   側に向けて収容可能に形成されていることを特徴とする
   請求項１乃至３のいずれかに記載の帯電電位測定器。