JPH08304780A - プラズマアドレス表示装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】ストライプ状印刷パターンにストライプ状印刷
パターンを重ねてスクリーン印刷により印刷する際に、
容易な操作で確実にピッチずれを少なくできるプラズマ
アドレス表示装置の製造方法を提供する。 【構成】液晶セル２とプラズマセル３とを誘電体シート
４を介して積層したプラズマアドレス表示装置の製造方
法であって、第１ストライプ状印刷パターン上に第２ス
トライプ状印刷パターンをスクリーン印刷により等ピッ
チで重ね合わせて印刷する際に、第１印刷パターン形成
時にアライメントマークを２対以上形成し、この第１ア
ライメントマークに対応させて形成した第２印刷パター
ン用スクリーンの２対以上の第２アライメントマークと
第１アライメントマークとを利用して、該第１印刷パタ
ーンと該第２印刷パターンとの位置合わせする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、液晶セルとプラズマセ
ルとを誘電体シートを介して積層したプラズマアドレス
表示装置の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、液晶セルとプラズマセルとが誘電
体シートを介して積層されてなるプラズマアドレス表示
装置が提案されている。図２は、このプラズマアドレス
表示装置の構造の一例を示すものである。

【０００３】図２のプラズマアドレス表示装置は、液晶
セル２とプラズマセル３とを誘電体シート４を介して積
層したフラットパネル構造を有する。液晶セル２は、カ
ラーフィルター基板２１が液晶シール材２２を介して所
定の間隙を有した状態で誘電体シート４に接合されてい
る。カラーフィルタ基板２１内面側の面には、図示しな
いが行方向に延びる透明導電材料からなるストライプ状
のデータ電極が列方向（図面垂直方向）に並列的に形成
されている。カラーフィルタ基板２１と誘電体シートと
の間隙には液晶が充填されて液晶層２３が形成されてい
る。なお、図２では示していないが液晶層２３には間隙
の寸法を均一にするためにスペーサーが配設されてい
る。

【０００４】プラズマセル３においては、プラズマ基板
ガラス３１が誘電体シート４と所定の間隙をもって対向
している。誘電体シート４側のプラズマ基板ガラス３１
上には、列方向に延び、行方向に所定の間隙を持って並
列的に形成されたニッケル製などのストライプ状の表示
電極３２が形成され、この表示電極３２上に、絶縁性の
セラミックなどからなり、表示電極３２より幅が狭いバ
リヤリブ３３が、表示電極３２と等ピッチで重ね合わさ
れて形成されている。これらの表示電極３２とバリヤリ
ブ３３を介してプラズマ基板ガラス３１が誘電体シート
４と所定の間隙を持って対向している。これら表示電極
３２とバリヤリブ３３を隔壁５として区画された密閉空
間がプラズマ室３４として構成され、このプラズマ室３
４は、列方向に延び、行方向に所定の間隔で形成されて
いる。プラズマ室３４にはイオン化可能なガスが封入さ
れている。このガスとしては、例えばヘリウム、ネオ
ン、アルゴンあるいはこれらの混合ガスなどが使用され
る。このように、表示電極３２とバリヤリブ３３は、各
プラズマ室を区分けする隔壁５としての役割を果たすと
共に、各プラズマ室３４のギャップスペーサーとしての
役割も果たす。なお、表示電極３２は、交互にアノード
表示電極３２Ａとカソード表示電極３２Ｋとなるように
それぞれドライバに接続されている。プラズマ基板ガラ
ス３１の周辺部は低融点ガラスなどを使用したリング状
のフリットシール３５が配設され、このフリットシール
３５でプラズマ基板ガラス３１と誘電体シート４とが気
密的に接合されている。

【０００５】上記プラズマアドレス表示装置は、データ
電極とプラズマ室３４は直交し、データ電極が列駆動単
位となり、プラズマ室３４は行駆動単位となり、これら
の交差部に画素が規定されるものである。このようなプ
ラズマアドレス表示装置において、アノード表示電極３
２Ａとカソード表示電極３２Ｋとの間に所定電圧が印加
されると、そのプラズマ室３４の部分のガスが選択的に
イオン化されてプラズマ放電が発生し、その内部は略ア
ノード電位に維持される。この状態で、データ電極にデ
ータ電圧が印加されると、そのプラズマ室３４に対応し
て列方向に並ぶ画素の液晶層２３に誘電体シート４を介
してデータ電圧が書き込まれる。プラズマ放電が終了す
ると、プラズマ室３４は浮遊電位となり、対応する画素
の液晶層２３に書き込まれた電圧は、次の書き込み期間
（例えば１フレーム後）まで保持される。このとき、プ
ラズマ室３４はサンプリングスイッチとして機能し、各
画素の液晶層２３はサンプリングキャパシタとして機能
している。

【０００６】各画素の液晶層２３に対してデータ電極１
５から書き込まれたデータ電圧によって液晶が動作する
ことから画素単位で表示が行われる。従って、プラズマ
放電を発生させて列方向に並ぶ複数の画素の液晶層２３
にデータ電圧を書き込むプラズマ室３４を行方向に順次
走査していくことで、二次元画像の表示を行うことがで
きる。

【０００７】このようなプラズマアドレス表示装置の製
造方法について、図３で簡単に説明すると、まず、図３
（Ａ）に示すように、プラズマ基板ガラス３１上に表示
電極パターンをスクリーン印刷法でストライプ状に印刷
した後、乾燥して表示電極３２を形成する。

【０００８】次に、ストライプ状に形成した表示電極３
２の上にやはりスクリーン印刷でバリヤリブを、図３
（Ｂ）に示すように積層する。この場合、バリヤリブは
約２００μｍ程度の高さとするために、スクリーン印刷
を繰り返して重ね塗りを行うことでこの高さを出すよう
にしている。所定の高さのバリヤリブを印刷した後、焼
成を行い、バリヤリブの上部を研磨し、バリヤリブの高
さを所定の高さにそろえる。

【０００９】そして、図３（Ｃ）に示すように、プラズ
マ基板ガラス３１の周辺にフリットシール３５をディス
ペンサーなどで形成し、このフリットシール３５を介し
てガラス製の誘電体シート４をバリヤリブに乗せた状態
でプラズマ基板ガラスに接合し、形成されたプラズマ室
３４にガスを注入する。

【００１０】次に、図示しない配向処理を行い、図３
（Ｄ）に示すように、液晶層を均一の厚さにするための
スペーサー２４を散布し、図３（Ｅ）に示すように、液
晶シール材２２を介してカラーフィルタ２１を誘電体シ
ート４に接合して、液晶室を形成し、その後液晶を注入
して図２に示したプラズマアドレス表示装置を得ること
ができる。

【００１１】ところで、上記表示電極３２上にバリヤリ
ブ３３を重ねて積層するのは、各画素の開口率を大きく
するためであるが、このためには、図４（１）に示すよ
うに、まず、ストライプ状の表示電極３２をスクリーン
印刷法でプラズマ基板ガラス３１上に形成する。この表
示電極３２印刷と同時に、表示電極のピッチ方向（スト
ライプを構成する線と直交方向）中央付近で表示電極の
両端近傍に一対の表示電極側アライメントマークＥＡＭ
が形成される。次に、図４（２）に示すようなバリヤリ
ブ印刷用スクリーンのアライメントマークＢＡＭを既に
形成されている表示電極側アライメントマークＥＡＭ
に、図４（３）に示すように一致させてバリヤリブ印刷
用スクリーンの位置合わせをした後、バリヤリブをスク
リーン印刷する。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、表示電
極３２の幅は、図５に示すように、約２００μｍ程度で
あり、この上に幅が約１００μｍ程度のバリヤリブ３３
を等ピッチで重ねてスクリーン印刷しなければならな
い。しかも、ピッチ間隔は０．６９ｍｍと狭い。

【００１３】表示電極３２上にバリヤリブ３３を理想的
に印刷すると、図６（Ａ）に示すように、表示電極３２
の中心線とバリヤリブ３３の中心線とが一致する。とこ
ろが、現実には、スクリーン製造時の誤差やスクリーン
印刷時の誤差により、例えば図６（Ｂ）に示すように、
バリヤリブ３３の一部にピッチずれが生じやすく、この
ようなピッチずれが生じると放電の均一性に影響を与
え、更にバリヤリブ３３が表示電極３２から外れて印刷
されると、プラズマアドレス表示装置はバックライトで
照明されるので、透過率むらが生じてしまう。このよう
な部分的なピッチずれは、印刷パターンが大きくなると
スクリーンの精度が出なくなるので、生じやすくなり、
生産上問題となっている。

【００１４】本発明は、上記事情に鑑みなされたもの
で、ストライプ状印刷パターンにストライプ状印刷パタ
ーンを重ねてスクリーン印刷により印刷する際に、容易
な操作で確実にピッチずれを少なくできるプラズマアド
レス表示装置の製造方法を提供することを目的とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のプラズマアドレス表示装置の製造方法は、
液晶セルとプラズマセルとを誘電体シートを介して積層
したプラズマアドレス表示装置の製造方法であって、第
１ストライプ状印刷パターン上に第２ストライプ状印刷
パターンをスクリーン印刷により等ピッチで重ね合わせ
て印刷する際に、該第１印刷パターン形成時にアライメ
ントマークを２対以上形成し、この第１アライメントマ
ークに対応させて形成した第２印刷パターン用スクリー
ンの２対以上の第２アライメントマークと該第１アライ
メントマークとを利用して、該第１印刷パターンと該第
２印刷パターンとの位置合わせをするものである。

【００１６】この場合、前記第１印刷パターン用スクリ
ーンと前記第２印刷パターン用スクリーンそれぞれに互
いに対応した２対以上のアライメントマークを形成し、
これらのアライメントマークを利用することが好まし
い。また、２対以上印刷したうちの一対の前記第１アラ
イメントマークに対してその一対の第１アライメントマ
ークに対応する一対の前記第２アライメントマークを用
いて位置合わせをし、試験印刷し、更に他の一対のアラ
イメントマーク同士を用いて同じ手順を繰り返し、それ
らの試験印刷のうち、最も位置ずれの少ない結果が得ら
れた第１と第２アライメントマークを用いて第２印刷パ
ターンのスクリーン印刷を行うことが好ましい。

【００１７】更に、２対以上形成した前記第１アライメ
ントマークとそれに対応して２対以上形成された前記第
２アライメントマークとを同時に対応させて位置合わせ
をすることができる。

【００１８】

【作用】本発明のプラズマアドレス表示装置の製造方法
は、アライメントマークを複数対設け、これらのアライ
メントマークを利用してピッチずれを可及的に少なくす
るものである。

【００１９】即ち、従来ストライプ状印刷は、１枚のス
クリーン印刷版を用い、アライメントマークは、図４に
示したように、印刷パターンの中央部に形成されてい
た。これは、印刷ピッチのばらつきが、均一にずれるこ
とを前提にしていることに基づく。ところが、現実に
は、スクリーン印刷版は１枚毎に製造時のスクリーンの
張り具合その他でばらつき、また、印刷時のスクリーン
の伸び等によってもばらつきが発生する。このため、図
６（Ｂ）に示すような部分的なピッチずれが生じるが、
これは上記中央一点式のアライメント合わせでは対応で
きない。

【００２０】本発明においては、アライメントマークを
複数対設けることにより、いわば多点式のアライメント
マークとし、それぞれの一対のアライメントマークを基
準として例えば試験印刷し、その中で最もピッチずれが
少ないアライメントマークを選択し、そのアライメント
マークを基準として例えば表示電極パターンの上にバリ
ヤリブを印刷する。これにより、例えば図６（Ｂ）に示
したような一部にピッチずれがあったとしても、その一
部のピッチずれが表示電極からはみ出したり、極端に偏
ったりする部分を少し内側になるようにスクリーンを移
動させることで、極端にピッチずれが生じることを防止
して、ピッチずれが少ないスクリーンの位置合わせを容
易にかつ確実に行えるものである。

【００２１】この場合、複数対設けたアライメントマー
クを同時に合わせて、最もずれが少ない最大公約数的な
位置を検出して、スクリーンの位置合わせを行うことも
できる。

【００２２】

【実施例】以下、本発明について図面を参照しながら具
体的に説明する。図１は、本発明のプラズマアドレス表
示装置の製造方法の一実施例を示す概略図である。図１
に示すプラズマアドレス表示装置の製造方法は、表示電
極印刷パターン上にバリヤリブの印刷パターンを重ねる
アライメント調整法の一例を示すものである。本例にお
いては、アライメントマークを表示電極印刷用スクリー
ンとバリヤリブ印刷用スクリーン両方にそれぞれ対応さ
せて１対のアライメントマークをピッチ方向の中央及び
その前後の３カ所形成してある。

【００２３】このようなスクリーンを用いて表示電極と
バリヤリブのスクリーン印刷による形成方法を説明する
と、まず、図１（１）に示すような印刷パターンの表示
電極印刷用スクリーンを用いて、プラズマガラス上にス
クリーン印刷して、同図に示すようなパターンのストラ
イプ状表示電極３２を形成する。この時、同時に３対の
アライメントマーク、ＥＡＭ１、ＥＡＭ２、ＥＡＭ３が
印刷される。

【００２４】次に、図１（２）に示すようなパターンの
バリヤリブ印刷用スクリーンを位置設定するが、この場
合、例えばバリヤリブ側の中心に位置するアライメント
マークＢＡＭ２と、表示電極側アライメントマークＥＡ
Ｍ２とを一致させ、位置合わせをした後に、試験印刷を
行う。次に、アライメントマークＢＡＭ１とＥＡＭ１と
を一致させて同じように試験印刷を行い、更に、アライ
メントマークＢＡＭ３とＥＡＭ３とを一致させて試験印
刷を行い、これら３者の試験印刷結果を比較する。そし
て、３つの試験印刷の中で最も位置ずれの少ない印刷結
果を選定し、それに対応するアライメントマークを用い
て、図１（３）に示すように、実際の印刷を行う。これ
により、位置ずれの最も少ない位置で容易に表示電極上
にバリヤリブ印刷を行うことができる。なお、図１
（３）では、全てのアライメントマークが一致している
状態を示しているが、実際には一対のアライメントマー
ク以外は、ずれているのが通常である。

【００２５】なお、上記のように、３対のアライメント
マークを用いて次々に試験印刷を行ったが、もし、アラ
イメントマークＢＡＭ２とＥＡＭ２を一致させて行った
第１回目の試験印刷で十分位置ずれが生じていないと判
定したならば、これらのアライメントマークを基準とし
て印刷を行う。もし、位置ずれが生じているならば、次
に例えばアライメントマークのＢＡＭ１とＥＡＭ１とを
一致させて同じように試験印刷を行う手順で判定を行っ
てもよい。

【００２６】また、アライメントマークを一致させるの
は、通常ＣＣＤカメラなどを用いて、両アライメントの
重心を求めることでこれらのアライメントマークの位置
合わせをする。通常カメラは２つ用い、一対のアライメ
ントマークをそれぞれ一致させるようにするが、カメラ
を６つ用い、それらを同時に６カ所（３対）のアライメ
ントマークを一致させるようにして、アライメントマー
クの最大公約数的な位置を検出して位置合わせを行うよ
うにしてもよい。

【００２７】なお、バリヤリブは多数回印刷を行い所定
の高さとするが、２回目以降の印刷は、既にある程度の
高さのバリヤリブが形成され、この上にスクリーン印刷
がされるので、スクリーン印刷ずれはほとんど問題とな
らない。このようにして、表示電極を形成し、図３
（Ｂ）に示したように、所定の高さのバリヤリブが得ら
れた後、焼成を行い、次いでバリヤリブの上部を研磨
し、バリヤリブの高さを所定の高さにそろえる。

【００２８】そして、図３（Ｃ）に示したように、プラ
ズマ基板ガラス３１の周辺にフリットシール３５をディ
スペンサーなどで形成し、このフリットシール３５を介
してガラス製の誘電体シート４をバリヤリブに乗せた状
態でプラズマ基板ガラスに接合し、形成されたプラズマ
室３４にガスを注入する。

【００２９】次に、図示しない配向処理を行い、図３
（Ｄ）に示したように、液晶層を均一の厚さにするため
のスペーサー２４を散布し、液晶シール材２２を介して
カラーフィルタ２１を誘電体シート４に接合して、液晶
室を形成し、その後液晶を注入して図２に示したプラズ
マアドレス表示装置を得ることができる。

【００３０】なお、上記例では、３対のアライメントマ
ークを用いたが、本発明の原理から、これに限られるも
のでないことは明らかであり、また、アライメントマー
クも、スクリーンにパターンを形成しておく方法のみな
らず、別の方法で形成することもでき、その他本発明の
要旨を逸脱しない範囲で種々変更することができる。

【００３１】

【発明の効果】本発明のプラズマアドレス表示装置の製
造方法によれば、ストライプ状印刷パターンにストライ
プ状印刷パターンを重ねてスクリーン印刷により印刷す
る際に、容易な操作で確実にピッチずれを少なくでき、
品質の良好なプラズマアドレス表示装置を製造すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（１）〜（３）は、本発明のプラズマアドレス
表示装置の製造方法のフローチャートの一例を示す概略
図である。

【図２】プラズマアドレス表示装置の一例を示す断面図
である。

【図３】（Ａ）〜（Ｅ）は、図２のプラズマアドレス表
示装置の製造工程を示すフローチャートである。

【図４】アライメントマークを用いて印刷位置合わせを
する状態を説明する概略図である。

【図５】表示電極とバリヤリブの寸法の一例を示す概略
図である。

【図６】（Ａ）は理想的状態の重ね合わせ、（Ｂ）は部
分的なピッチずれが生じた状態を示す概略図である。

【符号の説明】

２ 液晶セル ３ プラズマセル ４ 誘電体シート ２１ カラーフィルタ基板 ２２ 液晶シール材 ２３ 液晶層 ３１ プラズマ基板ガラス ３２ 表示電極 ３３ バリヤリブ ３４ プラズマ室 ３５ フリットシール ＥＡＭ１〜３ 表示電極側アライメントマー
ク ＢＡＭ１〜３ バリヤリブ側アライメントマ
ーク

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】液晶セルとプラズマセルとを誘電体シート
   を介して積層したプラズマアドレス表示装置の製造方法
   であって、 第１ストライプ状印刷パターン上に第２ストライプ状印
   刷パターンをスクリーン印刷により等ピッチで重ね合わ
   せて印刷する際に、 該第１印刷パターン形成時にアライメントマークを２対
   以上形成し、この第１アライメントマークに対応させて
   形成した第２印刷パターン用スクリーンの２対以上の第
   ２アライメントマークと該第１アライメントマークとを
   利用して、該第１印刷パターンと該第２印刷パターンと
   の位置合わせすることを特徴とするプラズマアドレス表
   示装置の製造方法。
2. 【請求項２】前記第１印刷パターン用スクリーンと前記
   第２印刷パターン用スクリーンそれぞれに互いに対応し
   た２対以上のアライメントマークを形成し、これらのア
   ライメントマークを利用する請求項１記載のプラズマア
   ドレス表示装置の製造方法。
3. 【請求項３】２対以上印刷したうちの一対の前記第１ア
   ライメントマークに対してその一対の第１アライメント
   マークに対応する一対の前記第２アライメントマークを
   用いて位置合わせをし、試験印刷し、更に他の一対のア
   ライメントマーク同士を用いて同じ手順を繰り返し、そ
   れらの試験印刷のうち、最も位置ずれの少ない結果が得
   られた第１と第２アライメントマークを用いて第２印刷
   パターンのスクリーン印刷を行う請求項１又は２記載の
   プラズマアドレス表示装置の製造方法。
4. 【請求項４】２対以上形成した前記第１アライメントマ
   ークとそれに対応して２対以上形成された前記第２アラ
   イメントマークとを同時に対応させて位置合わせをする
   請求項１又は２記載のプラズマアドレス表示装置の製造
   方法。