JPH08304800A - プラズマアドレス表示装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 バリアリブ等を印刷後の焼成においてガラス
基板に反りが生じることを抑制できるプラズマアドレス
表示装置の製造方法を提供する。 【構成】 搬送ベルト２の上に支持具１を載置し、表面
に印刷物３８が形成されたガラス基板３１の裏面の中央
部付近を支持具１の表面に載置した状態で、ガラス基板
３１を炉内に搬入し、炉内において焼成を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、プラズマアドレス表示
装置の製造方法に関し、特に、電極やバリアリブなどを
印刷したガラス基板の焼成方法に特徴を有するプラズマ
アドレス表示装置の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、電気光学セルとして液晶セルを用
いたマトリクスタイプの電気光学装置、例えば液晶表示
装置を高解像度化、高コントラスト化するための手段と
しては、各画素毎に薄膜トランジスタなどのスイッチン
グ素子を設け、これを線順次で駆動するアクティブマト
リクスアドレス方式が一般に知られている。

【０００３】しかしながら、この場合、薄膜トランジス
タの様な半導体素子を基板上に多数設ける必要があり、
特に大面積化した時に製造歩留りが悪くなるという短所
がある。このため、最近、薄膜トランジスタなどがから
なるスイッチング素子に代えてプラズマ放電に基づくス
イッチを利用して電気光学セルを駆動するプラズマスイ
ッチを利用する方式が提唱されている。

【０００４】このプラズマアドレス表示装置は、ガラス
基板の上に複数のバリアリブおよびプラズマ電極が相互
に平行なストライプ状のパターンで形成してあり、プラ
ズマ電極に印加される電圧に応じて、バリアリブ相互間
に設けられたプラズマ室内に放電を発生させて誘電体シ
ートを略アノード電位とし、誘電体シートとデータ電極
との間の電位差によって液晶層を駆動する。ガラス基板
の周辺部には、ガラス基板と誘電体シートとの気密性を
確保するフリットシールが、低融点ガラスなどを用いて
形成してある。

【０００５】以下、プラズマアドレス表示装置の製造方
法について説明する。図５は、プラズマアドレス表示装
置の製造過程を説明するための図である。先ず、図５
（Ａ）に示すように、スクリーン印刷によって、ガラス
基板３１の表面にストライプ状のプラズマ電極３２を形
成した後、図５（Ｂ）に示すようにストライプ状のバリ
アリブ３３をプラズマ電極３２に積層させて形成する。
そして、プラズマ電極３２およびバリアリブ３３が形成
されたガラス基板３１を搬送ベルトに載せて炉体内に搬
送し、炉体内において焼成する。

【０００６】次に、図５（Ｃ）に示すように、ガラス基
板３１の周辺部に、低融点ガラスなどを用いてリング状
のフリットシール３５を形成した後、ガラス製の誘電体
シート４をフリットシール３５およびバリアリブ３２に
堆積させる。その後、プラズマ室３４を真空引きして誘
電体シート４をフリットシール３５およびバリアリブ３
２の表面に密着させると共に、プラズマ室３４内にガス
を注入する。

【０００７】次に、ガラス基板３１を真空吸着して固定
した状態で液晶の配向処理（ラビング処理）を行った
後、図５（Ｄ）に示すように、液晶層を均一の厚さにす
るためのスペーサ２４を散布する共に液晶シール材２２
を形成する。

【０００８】次に、図５（Ｅ）に示すように、液晶シー
ル材２２を介してカラーフィルタ２１を誘電体シート４
に接合し、これによって形成された液晶室に液晶を注入
する。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】上述したプラズマアド
レス表示装置の製造過程において、スクリーン印刷を行
った後にガラス基板を焼成したときに、バリアリブなど
の印刷物のペーストに含まれるガラスおよび金属などの
固形成分が焼結して印刷物が収縮する。また、焼成後の
冷却時において、搬送用ベルトに載置されたガラス基板
に比べて外気に表面が露出した印刷物の方が冷えやす
く、また、印刷物の方がガラス基板に比べて熱膨張係数
が高い。そのため、焼成時および焼成後の冷却時に、図
６に示すように、ガラス基板３１に反りが生じて、その
４隅がめくれ上がることがある。

【００１０】このように、ガラス基板３１および印刷物
３８に反りが生じると、焼成後に行われる液晶配向処理
において図５（Ｃ）に示すガラス基板３１を真空吸着し
て固定する際に、引張応力によって誘電体シート４が割
れることがあるという問題がある。また、ガラス基板３
１の反りを矯正した状態で、ガラス基板３１とカラーフ
ィルタ２１とを張り合わせた後に、ガラス基板３１が反
った状態に戻ろうとする応力によって、液晶シール２２
が剥がれてしまうことがあるという問題がある。

【００１１】本発明は、上述した従来技術の問題点に鑑
みてなされ、プラズマアドレス表示装置の製造過程にお
いて、ガラス基板に反りが生じることを適切に抑制でき
るプラズマアドレス表示装置の製造方法を提供すること
を目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上述した従来技術の問題
点を解決し、上述した目的を達成するために、本発明の
プラズマアドレス表示装置の製造方法は、ガラス基板の
表面に所定の印刷を行い、前記印刷が行われたガラス基
板の裏面の所定箇所を支持し、前記印刷が行われたガラ
ス基板の裏面の所定箇所を支持し、ガラス基板の周縁部
に前記ガラス基板の自重による前記裏面側に向かう反り
力が加わった状態で焼成を行う。

【００１３】また、本発明のプラズマアドレス表示装置
の製造方法は、好ましくは、前記ガラス基板の裏面の少
なくとも中央部付近を支持して焼成を行う。

【００１４】さらに、本発明のプラズマアドレス表示装
置の製造方法は、好ましくは、前記焼成は、前記ガラス
基板にフリットシールを形成する前に行われる。

【００１５】

【作用】本発明のプラズマアドレス表示装置の製造方法
では、印刷が行われたガラス基板の裏面の所定箇所を支
持し、ガラス基板の自重による前記裏面側に向かう反り
力が前記ガラス基板の周縁部に加わった状態で焼成を行
う。このように焼成を行ってその後冷却すると、印刷物
に含まれるペーストの焼結や印刷物とガラス基板との熱
膨張係数の相違によって、ガラス基板には表面側に反れ
ようとする力が働く。本発明では、ガラス基板の裏面の
所定箇所が支持されていることから、焼成時および冷却
時において、ガラス基板に働く表面側に反れようとする
力が、ガラス基板の自重による裏面側に向かう反り力に
よって軽減され、ガラス基板に反りが生じることが抑制
される。

【００１６】

【実施例】以下、本発明の実施例に係わるプラズマアド
レス表示装置の製造方法について説明する。本実施例に
係わるプラズマアドレス表示装置の製造方法では、前述
した図５（Ａ），（Ｂ）に示すように、スクリーン印刷
によって、ガラス基板３１の表面にストライプ状のプラ
ズマ電極３２を形成した後、ストライプ状のバリアリブ
３３をプラズマ電極３２に積層させて形成する。そし
て、フリットシールを形成する前に、プラズマ電極３２
およびバリアリブ３３が形成されたガラス基板３１を以
下に示す方法によって焼成する。

【００１７】図１は本実施例に係わるプラズマアドレス
表示装置の製造方法において、炉体にガラス基板３１を
搬送する際の搬送態様を説明するための外観斜視図、図
４は図１に示す搬送態様についての側面図である。図
１，図４に示すように、本実施例に係わるプラズマアド
レス表示装置の製造方法では、搬送ベルト２の上に立方
体の支持具１を載置し、支持具１の表面にガラス基板３
１の裏面の中央付近が位置するように、印刷物３８が形
成されたガラス基板３１を支持具１に載置する。ここ
で、印刷物３８は、図５（Ｂ）に示すプラズマ電極３２
およびバリアリブ３３などで構成される。また、本実施
例では、ガラス基板３１としては、軟化点が比較的高
く、熱による塑性変形を起こしにくいホウケイ酸ガラス
などが用いられる。

【００１８】図２は、図１に示す支持具１の外観斜視図
である。図２に示すように、支持具１は、ｘ，ｙ，ｚ方
向が例えば２０ｍｍ，２０ｍｍ，５〜１０ｍｍの立方体
である。支持具１の材質としては、例えば、石英ガラ
ス、ニクロム、インコネルあるいはＳＵＳ３１６などが
用いられる。

【００１９】本実施例に係わるプラズマアドレス表示装
置の製造方法では、図１に示すように搬送ベルト２の表
面に支持具１を載置する。そして、支持具１の表面にガ
ラス基板３１の裏面の中央部付近を載置させた状態で、
図３に示すように、印刷物３８が形成されたガラス基板
３１を炉体１０の内部に向かって搬送し、炉体１０の内
部において焼成する。炉体１０は、例えば、最高温度が
５７０〜６００℃の雰囲気中で焼成を行う。

【００２０】印刷物３８が形成されたガラス基板３１
は、炉体１０の内部において焼成されるときに、印刷物
３８のペーストに含まれるガラスおよび金属などの固形
成分が焼結し、印刷物３８が収縮する。これによって、
ガラス基板３１には、図４に示す印Ａの向き、すなわ
ち、ガラス基板３１が表面側に反れる向きに収縮力が働
く。本実施例では、ガラス基板３１の裏面中央部付近が
支持具１によって支持されていることから、ガラス基板
３１の周縁部にはガラス基板３１の自重による矢印Ｂの
向きの力が働いており、ガラス基板３１が印刷物３８の
収縮力によって矢印Ａの向きに反れようとする力が抑制
される。そのため、本実施例では、印刷物３８が形成さ
れたガラス基板３１を炉体１０の内部において焼成した
ときにガラス基板３１に反りが生じることが効果的に抑
制される。

【００２１】その後、ガラス基板３１は、搬送ベルト２
の移動に応じて、炉体１０の外部に搬出され、冷却され
る。このとき、搬送用ベルト２に載置されたガラス基板
３１に比べて、外気に表面が露出した印刷物３８の方が
冷えやすく、また、印刷物３８の方がホウケイ酸ガラス
基板３１に比べて熱膨張係数が高いことから、ガラス基
板３１には表面側に反れようとする矢印Ａの向きの力が
加わる。この場合においても、本実施例では、ガラス基
板３１の周縁部に加わるガラス基板３１の自重による矢
印Ｂの向きの力によって、ガラス基板３１が矢印Ａの向
きに反れることが抑制される。

【００２２】そのため、本実施例のプラズマアドレス表
示装置の製造方法では、焼成時および焼成後の冷却時に
おいて、図５に示すようにガラス基板３１に反りが生じ
て４隅がめくれ上がることを効果的に抑制できる。

【００２３】その結果、焼成後の液晶配向処理において
図５（Ｃ）に示すガラス基板３１を真空吸着して固定す
る際に、引張応力によって誘電体シートが割れることを
効果的に回避できる。また、ガラス基板３１の反りの影
響で、液晶シール２２が剥がれてしまうことを効果的に
回避できる。

【００２４】本発明は上述した実施例には限定されな
い。例えば、上述した実施例では、支持具１として立方
体のものに限定したが、支持具１の形状は特に限定され
ず例えば円柱形などでもよい。また、支持具１のサイズ
も、ガラス基板３１の反りを軽減するのに必要な自重が
ガラス基板３１の周縁部に加わるものであれば、特に限
定されない。また、支持具１は、単体である必要はな
く、複数の支持具によって、ガラス基板３１の裏面の複
数の箇所を支持するものでもよい。

【００２５】また、上述した実施例では、ガラス基板３
１としてホウケイ酸ガラスを用いる場合について例示し
たが、ガラス基板３１としてソーダライムガラス基板を
用いてもよい、この場合には、炉体１０における焼成温
度を、ソーダライムガラスの軟化点を考慮して低目に設
定することが望ましい。

【００２６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のプラズマ
アドレス表示装置の製造方法によれば、焼成時および焼
成後の冷却時において、ガラス基板および印刷物に反り
が生じて４隅がめくり上がることを効果的に抑制でき
る。そのため、焼成後の液晶配向処理においてガラス基
板を真空吸着して固定する際に、引張応力によって誘電
体シートが割れることを効果的に回避できる。また、ガ
ラス基板の反りの影響で、液晶シールが剥がれてしまう
ことを効果的に回避できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例に係わるプラズマアドレス表示
装置の製造方法におけるガラス基板の搬送態様を説明す
るための外観斜視図である。

【図２】本発明のプラズマアドレス表示装置の製造方法
に係わる支持具の外観斜視図である。

【図３】本発明のプラズマアドレス表示装置の製造方法
におけるガラス基板の炉体への搬送態様を説明するため
の外観斜視図である。

【図４】図１に示す搬送されるガラス基板の断面図であ
る。

【図５】プラズマアドレス表示装置の製造工程を説明す
るための図である。

【図６】従来のプラズマアドレス表示装置の製造工程に
おいて、焼成された後のガラス基板の反りを説明するた
めの外観斜視図である。

【符号の説明】

１… 支持具 ２… ベルト １０… 炉体 ３１… ガラス基板 ３２… プラズマ電極 ３３… バリアリブ ３５… フリットシール ３８… 印刷物

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】プラズマアドレス表示装置の製造方法にお
   いて、 ガラス基板の表面に所定の印刷を行い、 前記印刷が行われたガラス基板の裏面の所定箇所を支持
   し、ガラス基板の周縁部に前記ガラス基板の自重による
   前記裏面側に向かう反り力が加わった状態で焼成を行う
   プラズマアドレス表示装置の製造方法。
2. 【請求項２】前記ガラス基板の裏面の少なくとも中央部
   付近を支持して焼成を行う請求項１に記載のプラズマア
   ドレス表示装置の製造方法。
3. 【請求項３】前記焼成は、前記ガラス基板にフリットシ
   ールを形成する前に行われる請求項１または２に記載の
   プラズマアドレス表示装置の製造方法。