JPH08306199A - メモリ・アレイ出力における論理回路機構の内蔵型自己検査システム及び方法 - Google Patents

メモリ・アレイ出力における論理回路機構の内蔵型自己検査システム及び方法

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JPH08306199A JP8086586A JP8658696A JPH08306199A JP H08306199 A JPH08306199 A JP H08306199A JP 8086586 A JP8086586 A JP 8086586A JP 8658696 A JP8658696 A JP 8658696A JP H08306199 A JPH08306199 A JP H08306199A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】チップ上のメモリ・アレイの出力により組込型
論理回路機構の検査を行う内蔵型自己検査方法を提供す
る。 【解決手段】検査は少くともテスト・パターンの一部を
メモリ・アレイ12に書込み、及びその後でメモリ・ア
レイからその部分を組込型論理回路機構14に読取るこ
とによって、論理回路機構に提供されるテスト・パター
ンをチップ上に生成することにより実現される。3つの
特定の実施例が示されている。各々は生成されたテスト
・パターンの一部を含む決定論的ループ・テスト・パタ
ーンを使用している。前記ループ・テスト・パターンは
メモリ・アレイを経由して前記組込型論理回路機構に書
込むか、又はメモリ・アレイの周辺で前記論理回路機構
に直接書込むことができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は一般に集積回路のテ
ストに関するもので、更に詳しく言えば、メモリ・アレ
イ(配列)及び論理回路を接続する機能データ経路内に
境界走査ラッチを使用せずに、メモリ・アレイの出力に
接続された組込式論理回路の内蔵自己検査に関係してい
る。
【0002】
【発明が解決しょうとする課題】集積回路技術が進歩す
るにつれて、益々多くのデバイス、及びその結果益々多
くの回路機能が単一のチップに配置されるようになっ
た。これらの発展は、このようなチップのテストに関す
る多くの問題を提出した。例えば、極端に大きなメモリ
・アレイ・チップのテストでさえ比較的分かりやすいの
に比べ、組込まれたメモリ・アレイ及び論理回路を含
む、種々の異る機能を集積したチップは、前記の組込ま
れた構造を十分テストすることを希望している回路設計
者/テスタ(検査する人)に多くの問題を課すことにな
る。例えば、このような組込まれたメモリ・アレイは一
般的に独立型チップに占めるメモリ・アレイに比べ回路
テスタで利用可能な入出力(I/O)ピンの数が遥かに
少ない。組込まれたメモリ・アレイのテストに関連する
問題は組込まれた論理機能にも及ぶ。
【0003】上記問題に対する一般的解決策は、チップ
それ自体にテスト回路を組込むことである。このような
方法を、しばしば、内蔵式自己検査(「BIST」)又
はアレイ(「配列型」)自己テストと呼ばれる。以降こ
のような配列の仕方を一般的にBIST回路と呼ぶ。こ
れらの回路は当該技術では周知のことである。例えば、
「集積回路の内蔵型自己検査」と題する米国特許証5,
173,906号を参照されたい。
【0004】アクセス要件を軽減するためにデバイス製
造業者は、コンポーネントが機能モードで正常に作動す
るのに必要な回路に加えて、「走査回路」と呼ばれる回
路を含む構成要素(コンポーネント)を設計してきた。
前記走査回路はチップ・コンポーネントを通常作動から
テストに使用される「走査」モードに切換えることを可
能にする。この回路は、物理的アクセスが他の状況では
困難又は不可能である集積回路内でテスタがいくつかの
ノードで信号を「連写」(snapshot)すること
を可能にする。
【0005】走査編成(organization)の
1タイプは、走査回路が関係している前記ノードが通常
のコンポーネント作動で使用される入出力ポートであっ
て、前記ノードがある意味では検査すべき回路の「境
界」上にあるという理由から「境界」走査として知られ
ている。このコンポーネントが通常作動から走査モード
へ切換えられている場合は、境界走査ラッチはロードさ
れ連続して読出すことができるだけでなく、データの受
信及び送信を同時に行うこともできる。前記境界走査機
能を使用することによって、コンポーネントの前記入出
力ポートに物理的に直接アクセスを行って、すべての走
査コンポーネント端末装置で信号を効率的に使用した
り、及び検出したりできる。境界−走査作動への標準的
アプローチについてはIEEE規格1149.1に記述
されており、同規格は境界走査コンポーネントに対して
一般に認められた操作パラメータ及び定義一式が掲載さ
れている。
【0006】現在の回路検査方法は、メモリ・ブロック
間、メモリとロジック間及び、複数のロジック・ブロッ
ク間の境界走査ラッチをしばしば使用してきた。ブロッ
ク間の区切りは大抵の場合、実用的なアプローチである
走査連鎖(チェイン)から単一サイクル・テストが効果
的に実行できるようにするため、通常はサイクル境界で
行われる。しかしながら、いくつかの設計ではロジック
とメモリの区切は性能低下と前記チップの占有領域を増
す結果、高いものにつくことが判明している。更に、比
較器(comparator)のメモリ・セル及びXN
ORゲートが物理的に結合される内容アドレス・メモリ
(CAM)の場合では、前記メモリとロジック間の境界
ラッチの導入が不可能である。
【0007】メモリ・アレイの出力に組込まれた比較器
論理(comparator logic)は益々一般
的になりつつある。より速いサイクル時間、及びサイク
ル当りのオペレーションの増加は、境界走査ラッチの配
置を最小にするように要求する。例えば、メモリ・アレ
イの前記出力と広い比較器論理回路への1入力間の境界
ラッチは実現できないが、依然として、いくつかのナノ
セコンドの速さのサイクル時間に適応する。前記メモリ
・アレイ/比較器論理インターフェースにおける境界走
査ラッチの付加は前記データ変換が前記ラッチを通して
行われる関係上、前記ロジックを評価するために追加サ
イクルが必要となろう。それによって機械の性能は著し
い影響が出る。更に、広い比較器論理、例えば、288
ビット幅を使用して対応する多数の境界走査ラッチを追
加すれば、前記半導体デバイスのかなり大きな領域を利
用できるであろう。加えて、このような回路機構のテス
トには極めて多くの時間がかかるであろう。テスト時間
を最小限に抑えるために、比較器論理は一般的には離散
的な論理セクションに分割されてきた。残念ながら、比
較器の設計に境界走査ラッチの追加が必要とされ、その
結果、更なる性能低下を生ずることになる。
【0008】したがって、前記半導体技術において、メ
モリ・アレイ、及び次の論理回路の間に走査可能な境界
ラッチを使用しないテスト構造と対応するテスト方法と
が必要となるが、一方次の論理回路の検査は、最小のサ
イクル数で100%確実に行われる必要がある。
【0009】
【課題を解決するための手段】簡潔に要約すれば、本発
明はメモリ・アレイに結合された組込型論理回路の検査
のためのシステムを第1の特徴として含む。前記システ
ムは前記論理回路を検査するためのテスト・パターンを
生成する内蔵型自己検査(BIST)手段、及び前記メ
モリ・アレイにそのテスト・パターン部分を書込み、そ
の後で、前記メモリ・アレイから前記テスト・パターン
を読取り、及び前記論理回路に同パターンを検査するた
めに提供することにより、前記論理回路に前記テスト・
パターンの少くとも一部分を提供するための手段とを含
む。本基本システムに対する多数の機能強化についても
開示されている。
【0010】他の特徴として、本発明はメモリ・アレイ
を有する集積回路チップ、即ち、前記論理回路を検査す
るためのチップ上に組込まれた自己検査(BIST)手
段を具備している。前記メモリ・アレイはデータを格納
し、及び入力ポート並びに出力ポートを有する。前記論
理回路はメモリ・アレイ・フローから前記論理回路への
前記出力ポートを経由して格納されたデータを読取るよ
うにするため、前記メモリ・アレイの前記出力ポートに
電気的に結合される。前記論理回路を検査するための前
記オン・チップBIST手段は前記論理回路の検査用テ
スト・パターンを生成する手段、及び前記論理回路に前
記テスト・パターンを提供する手段とを含む。前記論理
回路に前記テスト・パターンを提供する手段は、少くと
もそれの一部を前記メモリ・アレイに書込み、及びその
後で、前記論理回路を検査するための前記論理回路への
前記出力ポートを経由して、前記メモリ・アレイからそ
の部分を読取るための手段を具備する。
【0011】更に他の特徴として、本発明はメモリ・ア
レイに結合された組込型論理回路機構を検査する方法を
具備する。前記論理回路はCAM設計にあるように、前
記メモリ・アレイの前記記憶セルに直接結合されるか、
又は前記メモリ・アレイの出力ポートに結合される。前
記方法は、前記論理回路を検査するテスト・パターンを
生成するための内蔵型自己検査(BIST)を使用する
ステップと、前記メモリ・アレイに前記テスト・パター
ンの少くとも一部を書込み、及び前記メモリ・アレイの
テスト・パターンの前記部分をそれの検査用論理回路機
構に使用するステップを含む。
【0012】換言すれば、本発明は前記メモリ・アレイ
と前記論理回路との間の前記機能データ・パス内に境界
走査ラッチを使用することなく、メモリ・アレイの出力
に組込まれた論理回路の自己検査を行うことを具備して
いる。前記インターフェースにおいて、境界走査ラッチ
又はマルチプレクサ(回路多重化装置)の必要性を無く
すことにより、機能的及び検査性能両方が向上し、テス
ト時間が減少し、及び前記検査回路機構によって使われ
るシリコン・チップ領域を最小に抑えることができる。
ここに述べられている実施例を使って、アドレス・メモ
リ・アレイの前記出力での比較器論理の「障害範囲の固
定化」を最小のテスト・サイクル数で得られる。論じら
れた前記設計は監視可能な出力として唯一のフェイル/
パス・ビットを提供する。テスター上のフェイル・ビッ
トを監視することにより、サイクル計算がフェイル(障
害)を特定することができる。前記設計はウェーハ・レ
ベル、又はシステム・レベル、例えば電源立上げ時にハ
ードウェアの自己検査の為に使用することができる。
【0013】
【発明実施の状態】ここに開示されている基本概念の多
くは実現可能である。例を挙げると、3つの具体例が提
示されている。これらの具体例の各々に特徴的なこと
は、組込型メモリ・アレイとその出力に結合された論理
回路との間の前記機能データ・パス・インターフェース
から前記論理回路のテスタビリティ(検査可能性)を弱
めずに、走査可能なラッチを削除することである。ここ
で述べられている特定のメモリ・アレイは周知のTAG
メモリ、又は現在のマイクロプロセッサ・チップに備わ
っているディレクトリ・メモリを具備していてもよい。
更に、これらのメモリ・アレイの前記出力での前記論理
回路機構は、比較器論理を具備するものと仮定される。
しかしながら、当該技術の熟練せる当業者は、ここに提
示された概念が任意のテスト・パターン、即ち、決定論
的ランダム又は疑似ランダム・テスト・パターンを使用
して、任意のメモリ・アレイの前記出力で任意の論理回
路の検査に同様に適用することができる。
【0014】複数の図全体にわたって使用されている同
一の参照番号は、同一の又は類似のコンポーネントを明
示している図面を参照して、図1は本発明に従って論理
回路検査を実行するために、回路10で表示されている
メモリ/論理検査回路機構を描いている。回路10は
「機能データ」、「機能アドレス」、及び「比較デー
タ」がマイクロプロセッサ・チップのどこか他の所から
受信した動作モード信号を含むマイクロプロセッサ・チ
ップの一部を包含することができる。回路10はメモリ
・アレイ12及びメモリ・アレイ12の前記出力ポート
に本実施例の非走査ラッチ16を通して結合された比較
器論理回路14を含む。例として、ラッチ16は境界走
査ラッチとは構造上、及び機能上異る当該技術で周知の
単一極性支持ラッチを具備することができる。特に、非
走査ラッチはデータを走査読取り、又は走査書込み(s
can in or out)するために提供すること
ができるテスト・データ入力を有していない。
【0015】本発明に従って、比較器論理14の検査
は、メモリ・アレイ12を機能的に使用することにより
部分的に達成される。内蔵型自己検査(BIST)18
は、最小サイクル数で小さなセットのテスト・パターン
を使って、前記論理を完全な形の「障害固定(stuc
k−fault)」検査をすることが可能な効果的方法
で、比較器論理14を検査するのに必要な事前定義され
た決定論的パターンを供給する。BIST18からメモ
リ・アレイ12へのテスト・データ入力は、並列に接続
された複数のマルチプレクサを具備することが可能なマ
ルチプレクサ回路20を介して行われる。マルチプレク
サ20は、例えばBIST18によって生成されるSE
LECT(選択)信号によって、機能データ、及び動作
モード及びテスト・モードに対するテスト・データ入力
と順次、適切に切換えるために制御することができる。
図示されていないが、BIST18はメモリ・アレイに
つながる在来の読取り/書込み制御線にも結合されるで
あろう。
【0016】メモリ・アレイ12は複数のワード線及び
ビット線からなり、各ワード線即ち行(row)は複数
のメモリ位置Mに分離され、そこにおいて、M≧2、各
MはNビット幅で、N≧1と仮定される。ここに更にに
説明されているように、各メモリ位置Mは複数のビット
を含み、各ビットには1個の「無効データ・ビット」を
含めることができ、同無効データ・ビットは断定(as
serted)されると、比較器論理14の当該部分か
らの出力を使用不能にするものと仮定する。例として、
「N」ビットは37ビットから成り、その内の1ビット
は前記「無効データ・ビット」であり、及び前記メモリ
位置M(location)はメモリの各行が8×37
ビットから成るように、メモリ・アレイ12の単一行内
に8メモリ・セクション即ち位置を含む。BIST18
はBIST18からのテスト・アドレス、又は前記マイ
クロプロセッサ・チップ上の他の場所からの機能アドレ
スを入力として受信するアドレス・マルチプレクサ22
を経由してアレイ12をアドレス指定する。「選択」信
号は機能モード及びテスト・モード間でマルチプレクサ
22を再度切換える。
【0017】非走査ラッチ16への送りに加えて、メモ
リ・アレイ12からの出力は出力マルチプレクサ24に
供給される。同マルチプレクサは、メモリ・アレイ12
それ自体の在来テスト用に部分的に機能する。出力MU
X(マルチプレクサ)24は、例えばBIST18から
受信する「制御信号」により判定されるように検査分析
用アレイ12内に特定のメモリ・セクションMを選択す
る。前記選択されたメモリ位置Mの選択された「N」メ
モリ・ビットからのデータは、メモリ・アレイ12から
の検索データを「期待データ」(expect dat
a)と比較する圧縮/比較回路28(compress
ion/compare circuit)に出力ラッ
チ26を経由して提供され、「期待データ」は前記アレ
イを介して前記データを送るのに必要なサイクル数によ
って遅延される前記メモリに対する入出力テスト・デー
タを簡単に含めることができる。圧縮/比較回路28か
らの出力は、メモリ・アレイ障害の検出を監視できる実
時間(リアル・タイム)「パス/フェイル(合格/不合
格)」信号である。
【0018】ここに提供されているメモリ・アレイ12
の検査は、アレイ組込型自己検査(ABIST)として
当該技術では知られている。ABISTメモリ検査に関
する詳細については、「集積回路の内蔵型自己検査法」
と題する米国特許証5173906号を参照されたい。
前記メモリ・アレイ12の検査が合格すると、その後、
メモリ・アレイ12及び比較器論理14の前記インター
フェースで境界走査ラッチを使用しないで、テスト・パ
ターンを比較器論理14に提供するために前記メモリ・
アレイが、本発明に従って機能的に使用されている。
【0019】例として、比較器論理14は、各々がメモ
リ・アレイ12内の、それぞれのメモリ位置Mからポー
トA入力でNビット受信するために接続されているM2
入力(two−input)比較器を含む。図2は比較
器40の1実施例を描いたもので、比較器論理14内で
M回繰返されるものと仮定する。各比較器40は、メモ
リ・アレイ12からのデータをポートAで、比較マルチ
プレクサ30(図1)を経由して受信される比較データ
「CMPDATA」信号をポートBで受信するために、
並列に接続されたN−1 2入力(two−inpu
t)排他NOR(XNOR)ゲートを含む。XNORゲ
ートからの出力はAND(論理積)ゲート42に送ら
れ、同ゲートは比較器40の出力を提供する。メモリ・
アレイ12(図1)の当該メモリ位置Mからインバータ
44を通過した後、前記無効データ・ビットがANDゲ
ート42にも送られる。
【0020】2入力XNORゲートの完全障害固定検査
を実行するための前記パターンは00、01、10、1
1である。ANDゲートは前記入力がゼロ・ステート
(状態)に固定化されないことを保証するために全1パ
ターンを必要とする。「1に固定(stuck−at−
one)」検査も必要であり、前記入力にすべて1を割
り当て、その後で全ての入力にゼロを横断的に移動させ
ることにより実行される。これらのパターン要件を所与
のものとし、以下のパターン・セットがN−1ビット幅
の比較器を検査するために発明された。すべてのXNO
Rゲートが釣り合うようにするために、全1の領域は最
初に使用され、及び同様にANDゲートの前記入力に全
1を提供し、それによって、1を前記比較器の出力に伝
幡させる。第2のパターンは前記XNORゲートが比較
できる全0の領域から成る。これらの2つのパターンは
前記XNORゲートに対する00及び11の場合(ca
se)、及び前記ANDゲートに対する全1の場合とを
含む。
【0021】次のパターン・セットは、前記XNOR入
力の01の場合を含む。このパターン・セットを介し
て、前記XNORゲートの前記出力はANDゲート入力
のマーチング・ゼロ(0)パターンを生成する。このパ
ターンは全0で開始され、前記比較器の2つの入力、即
ち、ポートA、及びポートBのどれか1つを介して1を
移動することにより得られる。前記非選択ポートは前記
メモリ・アレイを介して全ゼロ(0)又は全1信号パタ
ーンを受信する。図1の実施例では、前記マーチング・
パターンはポートBのみで、即ち、比較データ・マルチ
プレクサ30を経由して受信される比較器論理14に前
記比較入力が発生する。図1に示されているように、マ
ルチプレクサ30は機能的「比較データ」信号に加え
て、比較シフト・レジスタ32からテスト・パターン信
号を受信する。比較シフト・レジスタ32はBIST1
8から比較マルチプレクサ30を介して比較器論理14
の前記ポートB入力に対してテスト・データのN−1ビ
ットを提供する。(更に、メモリ・アレイ12から各N
ビット・メモリ信号の1ビットは図2に示されているよ
うに、XNORゲートを送らない無効データ・ビットを
含む。)前記マーチング・パターンはポートB上に
「1」を有する1つのゲートを除いて、すべてのXNO
Rゲートを突合わせる。これは前記比較器の最終出力が
「0」値を、即ち比較違いの値を表示させる。比較器論
理14を含む前記複数の比較器からの前記出力は、圧縮
/比較回路36に提供するためにM出力ラッチ34(図
1)に同時に送られ、圧縮/比較回路は適切な比較器か
らの前記出力を選択し、及びBIST18から受信した
対応する「期待データ」信号と比較した後で、単一の合
格/不合格(pass/fail)信号を出力する。
【0022】1つの最終パターン・セットは前記テスト
を完了するために、即ち、比較器40の前記XNORゲ
ートの他のポート(ポートA)が「0」に短絡しないこ
とを保証するために必要である。このテストは前記XN
ORゲートに対するすべての入力に「1」を配列し、前
記のテスト・パターンの場合と同様に前記ポートB入力
を横断的に「0」を移させることにより完了できる。
【0023】比較シフト・レジスタ32から受信される
前記テスト・データは、論理14(図1)の各比較器4
0(図2)のポートBに使用されると仮定する場合、そ
の後上記のパターン順序は、論理14内のすべてのM比
較器を同時に検査するために使用できる。比較器の同時
検査は前記要求されたパターン・セットをM倍縮小させ
る。図3−図5は本発明に従って論理回路検査の一実施
例をより詳細に示している。この検査の流れは図1及び
図2の前記メモリ/論理回路の例として書かれたもので
ある。
【0024】論理回路検査を開始する前に、メモリ・ア
レイ12は在来のアレイ内蔵型自己検査方法(図3)で
検査される。前記メモリ・アレイが検査に合格すると、
その後「無効データ・ビット」は、行(0)となるよう
に任意に選択されたワード線を初期化して、対応する行
(0)(row 0)無効データ・ビットを除いて全0
になることを検査され、無効データ・ビットは初期化さ
れて全1となる(ステップ52)。更にまた、断定され
ると(asserted)、前記無効データ・ビットは
対応する比較器論理出力を使用不能とする。全0は前記
比較シフト・レジスタから前記比較器論理に供給され
(ステップ54)、及び各比較器からの比較器論理出力
が「0」を含んでいることが確認される(ステップ5
6)。無効データ・ビットが活動化(activat
e)していない場合、その後、前記対応する比較器出力
からの出力は、比較(即ち「1」)信号を含む。種々の
比較器の前記出力は各出力が前記検査に合格することを
及び前記当該「無効データ・ビット」が良好であること
を保証するために、単一「0」「期待データ」とそれぞ
れ比較される。
【0025】次に、前記メモリ・アレイの行(0)のす
べてのビットが0で書込まれる(ステップ58)。その
上、前記無効データ・ビットに「0」を書込むことによ
り、前記無効データ・ビットが解除され、前記比較器論
理が機能できるようになる。前記メモリ・アレイ行
(0)からの0(ゼロ)は前記比較シフト・レジスタか
らの全0(ゼロ)と比較される(ステップ60)。すべ
ての比較器出力は「1」に変換される。このことは、種
々の比較器からの出力が期待データ「1」と比較される
圧縮/比較ブロック(図1)で確認される(ステップ6
2)。
【0026】前記比較論理内の比較器Mの数が8を含む
と仮定すると、前記メモリ・アレイの行(0)内に8個
のメモリ位置を順次並べる(即ちロード)ためにステー
ト・マシーン(BIST)を必要とする。前記無効デー
タ・ビット上の0値は、行(0)上のデータを前記比較
シフト・レジスタのその値と9番目のサイクルで比較を
可能とし、その結果、すべてのM比較器の同時検査が実
行できる。
【0027】10番目のサイクルで、ラッチ(0)で前
記BISTからの「1」は、前記比較シフト・レジスタ
に注入され(ステップ64)、及び前記比較器論理出力
で比較違いが確認される(ステップ66)。前記注入さ
れた「1」は、前記比較シフト・レジスタを含むN−1
ラッチの各々を進行する(ステップ68)。前記注入さ
れた「1」の各シフトに伴い、前記比較器論理出力での
比較違い(miscompare)の確認がステップ7
0で行われる。前記注入された「1」のこのシフトはN
−2サイクルを要する。図1のフィードバック線で示さ
れているように、前記比較シフト・レジスタの末端で、
前記ラッチからの「0」は、注入された「1」が前記比
較シフト・レジスタを伝幡したように、ラッチ(0)近
辺に戻される。前記比較シフト・レジスタを介して、前
記注入された「1」のこの動き(walking)は、
前記レジスタの前記末端ラッチに前記注入された「1」
がくるまで起きる(ステップ72)。この時点で、前記
比較シフト・レジスタを含む環状連鎖ラッチからの出力
信号は、前記BISTステート・マシーンに次の状態
(ステート)への推移を通知する。必要に応じて、例え
ば、パイプライン・アーキテクチュアに使用されている
段階数によって前記フィードバック信号は前記連鎖(c
hain)の前記末端ラッチ以外のラッチから供給する
ことができる。
【0028】前記注入された「1」が前記ポートB入力
のすべてのビットを横に移動すると、次のテスト・パタ
ーンが前記BISTにより生成される(ステップ7
4)。この新しいパターンは全0と書込まれた前記行
(0)の無効データ・ビットを除き、全1に書込むこと
を含むが(ステップ76)、前記比較シフト・レジスタ
(同時にロードされたものと仮定する)から前記比較器
論理の前記ポートB入力に全1を同時に適用することも
含む(ステップ78)。全1は前記M比較器のポートA
及びポートB入力両方に書込まれるので、各比較器の前
記出力は前記圧縮/比較回路機構により確認される比較
(即ち「1」)でなければならない(ステップ80)。
次に、「0」がラッチ(0)で前記比較シフト・レジス
タに注入され(ステップ82)、及び前記比較器論理出
力での比較違い(miscompare)の確認がステ
ップ84で行われる。前記テスト・パターンの場合のよ
うに、前記注入された「0」は前記比較シフト・レジス
タの内でシフトされ(ステップ86)、各シフトを使っ
て前記(N−1)番目のラッチからの「0」はラッチ
(0)の近辺に戻される。各々の位置で、前記M比較器
出力での比較違いの確認がステップ88で行われる。前
記注入された「0」が前記比較シフト・レジスタ90で
(N−1)番目のラッチに到達すると、本実施例に従っ
た前記比較器論理の検査はステップ92で完了する。
【0029】使用されている特別なテスト・パターン
は、前記メモリ・アレイの前記出力で前記論理回路に依
存している。ここに記述されている幅広の比較器論理を
使って、最小のサイクル数で、決定論的なパターンを検
査するのは非常に結構である。表1は前記比較器論理が
無効データ・ビットを含めた37ビット幅の8個の比較
器を含む。
【表1】
【0030】図6−図12で示されている前記回路機構
及びプロセスの実施例には図1−図5で開示されている
それらに変更を加えたものも含まれる。特に、注入され
た「1」又は「0」のループは図6−図9の実施例のよ
うに前記メモリ・アレイを介するか、図10−図12の
実施例のように前記比較器論理へ前記メモリ・アレイ及
び前記比較データ入力の両者を介して実現することがで
きる。
【0031】記述なき場合、一般的には図6の10′で
示される前記メモリ/論理検査回路機構は図1の回路機
構10と全く一致している。最初の変形として、図1の
前記比較シフト・レジスタ32で実行される前記テスト
・パターン・ループ機能はメモリ・アレイ12へ、結局
は比較器論理14内の各比較器40(図2)の前記ポー
トA入力にマルチプレクサ20を介してテスト・データ
を出力する入力シフト・レジスタ100により本実施例
で実行される。解説のために、比較器論理14は各々が
M出力ラッチ34の当該ラッチに単一ビット出力を提供
するM N−ビット幅の比較器を含むものと更に仮定さ
れる。
【0032】図1−図5の実施例と異り、全1及び全0
テスト・パターンは、マルチプレクサ30を介して直接
BIST18から図6の前記実施例の比較器論理14の
ポートBに送られる。更に、マルチプレクサ20、22
及び30は、前記マルチプレクサを機能モードとテスト
・モード間で切換えるBIST18により生成される
「選択」信号により制御される。すべての比較器を同時
に検査する代わりに、図6の前記構造は前記比較器論理
の連続検査を引き受ける。比較器論理14内に8個の比
較器が存在するようにMが8に等しいと仮定すると、図
1の回路機構10と比較される検査回路機構10′に要
求される約8倍のサイクル数が存在する。しかしなが
ら、利点としては、前記回路機構10′を実行すること
により障害の発生時の診断を容易にする。
【0033】動作上、回路機構10′の検査は図1の回
路機構10の検査と類似している。特に、全0及び全1
の検査の後で、BIST18は入力シフト・レジスタ1
00内に設定された1の領域に「0」を、又は0の領域
に「1」を注入する。この注入テスト・データはその後
前記入力シフト・レジスタを介して前記注入データがそ
れぞれシフトされると、前記第1ラッチに戻された前記
(N−1)番目のラッチのデータと共にループされる。
レジスタ100からの出力信号は前記入力シフト・レジ
スタの(N−1)番目のラッチに前記注入テスト・デー
タが到達した旨をBIST18に通知する。本実施例で
は、前記アレイの各メモリ位置Mに対する前記無効デー
タ・ビットは前記入力マルチプレクサを介して前記アレ
イに前記BISTから別個に送られることに留意する必
要がある。
【0034】更に、図1の非走査ラッチ16が、例えば
比較器論理14を備えた種々の比較器のポートAにメモ
リ・アレイ12の前記出力ポートが直接接続できるよう
にするため除去されていることも注意を要する。この設
計を以て、前記データと同一サイクルの前記メモリ・ア
レイ12からの前記比較器比較データは前記アレイに書
込まれる。更に、前記M出力ラッチ34からの出力は、
BIST18から「M選択の1つ」とラベルが付いた制
御信号を受信するマルチプレクサ102に送られること
にも留意する必要がある。したがって、単一の比較器の
出力は更にBIST18から受信された前記単一ビット
「期待データ」との比較のためMUX102(マルチプ
レクサ102)を介して圧縮/比較回路機構104に送
られる。圧縮/比較回路機構104からの出力は、既に
指摘されているように、比較器論理14内の特定の比較
器により容易に遡ることがきでる合格/不合格信号を含
む。メモリ/論理回路機構10′の検査は図7−図9の
詳細な流れ図を参照すればより良く理解できる。
【0035】更に、論理回路検査を開始する前に、メモ
リ・アレイ12は在来のアレイ内蔵型自己検査110を
使って検査される。メモリ障害が発見されないと仮定し
た場合、その後、行(0)として任意に選択されたメモ
リの1行が、ボックス112の1に書込まれる前記無効
データ・ビットを除いてすべて0と書込まれる。本出願
で検討された例では、各メモリ行がMは整数≧2で、各
メモリ位置MはNデータ・ビットを受信し、N≧2であ
って、その1つが前記「無効データ・ビット」を含む、
複数のメモリ位置Mを具備すると仮定する。第1メモリ
位置M(0)は、ステップ114を処理する行(0)の
中で選択される。メモリ位置M(0)の前記Nビット
は、比較器論理14を構成する前記M比較器の当該比較
器に書込まれる。この比較器への前記ポートB入力は前
記比較マルチプレクサを介してBIST18からN−1
「0」ビットを受信する(ステップ116)。前記無効
データ・ビットは1個の「1」を含むので、比較違いは
前記論理入力で確認されなければならない(ステップ1
18)。
【0036】次のテスト・パターンは、前記無効データ
・ビットが最早ステップ120を実行しないように行
(0)のメモリ位置Mを0に書込む。更に前記比較マル
チプレクサを介して、BIST18から前記比較器論理
のポートBにゼロ(Zeros)を当てはめる(ステッ
プ122)。全0はポートA及びポートBの両者に当て
はめられ、及び、前記無効データ・ビットが実行されな
いので、比較信号「1」が前記比較器論理の比較器M
(0)から出力されなければならない(ステップ12
4)。
【0037】次のテスト・パターンは、「1」を前記入
力シフト・レジスタにラッチ(0)で注入し、及びその
後前記入力シフト・レジスタの内容をメモリ位置M
(0)に書き込むことにより設定される(ステップ12
6)。前記当該比較器M(0)への入力時の前記設定さ
れたテスト・パターンに基いて、比較違い信号「0」は
前記比較論理の出力時に確認されなければならない(ス
テップ128)。テスト・パターンのループは前記入力
シフト・レジスタ内の次のラッチへ前記注入された
「1」をシフトし、この新しいテスト・パターンをメモ
リ位置M(0)に、及びこのことから推して、前記各比
較器の前記ポートA入力に書込むことにより実行される
(ステップ130)。更に、比較違い(「0」)は、前
記比較器の前記出力時に確認されなければならない(ス
テップ132)。このプロセスは、前記注入された
「1」が前記入力シフト・レジスタの(N−1)番目の
ラッチに到達するまで繰返される(ステップ134)。
そこに到達すると、前記BISTは、すべてのメモリ位
置Mがを実行したか否か判定する(ステップ136)。
この段階では、メモリ位置M(0)のみが実行し終った
ので、前記BISTは、次のメモリ位置、即ち、Set
M=M+1へ進むように命令される(ステップ13
8)。全0を含む最初のテスト・パターンをこの新しい
メモリ位置Mに対応する前記比較器のポートA及びポー
トBを横断的に適用するためにプロセスは元に戻る。
【0038】すべてのメモリ位置及び対応する比較器が
実行されると、前記メモリ・アレイの行(0)のメモリ
位置M(0)は、BIST18からステップ142の
「0」で未実行(unasserted)の状態の前記
各無効データ・ビットを除く、全1のパターンを受信す
るために再度ステップ140が選択される。
【0039】図9に引続いて、前記比較器論理は前記B
ISTステート・マシーンから全1のパターンをポート
Bで受信する。全1はポートA及びポートBを横断的に
存在しているので、比較信号「1」は前記比較器論理出
力で確認されなければならない(ステップ146)。
【0040】次に、「0」はラッチ(0)で前記入力シ
フト・レジスタに注入され、及び前記レジスタの内容は
メモリ位置Mに書込まれる(ステップ148)。前記当
該比較器のポートA及びポートB入力は最早比較しない
ので、比較違い信号「0」は前記比較器の前記出力で確
認されなければならない(ステップ150)。それ以
来、前記注入された「0」は前記入力シフト・レジスタ
の隣のラッチにシフトされ、前記内容はメモリ位置Mに
書込まれ(ステップ152)、及び比較違い信号「0」
は前記比較器の前記出力で確認される(ステップ15
4)。このプロセスは前記注入された「0」が前記入力
シフト・レジスタのN−1番目のラッチに回帰するまで
繰返される(ステップ156)。
【0041】次に、すべてのメモリ位置、即ちすべての
比較器は、ステップ158を実行しているか否かの調査
のプロセスが来る。調査が終了されていない場合は、前
記BISTは次のメモリ位置M、即ち、Sets M=
M+1を得る(ステップ160)。すべてのメモリ位置
がそのように実行された後、前記比較器論理の検査はス
テップ162で完了する。
【0042】図10は、本発明に従って構成されたメモ
リ/論理検査回路機構10′の更に他の実施例を描いて
いる。この実施例では、前記テスト・パターンのループ
がレジスタ172の末端ラッチから入力シフト・レジス
タ170の第1ラッチへのフィードバックを受けて、入
力シフト・レジスタ170及び比較シフト・レジスタ1
72の両者内に発生する。シフト・レジスタ170及び
シフト・レジスタ172は共にシフト・レジスタ連鎖を
含む。入力シフト・レジスタ170はN−1データ・ビ
ットをメモリ・アレイ12へ提供し、同メモリ・アレイ
は複数のメモリ位置Mに分割されるものと仮定され、そ
の各々がN−1データ・ビット及び無効データ・ビット
を有する。検査の最中に、前記無効データ・ビットはB
IST18からマルチプレクサ20を介してアレイ12
へ直接入力される。回路機構10″の優位性は図6に関
して描かれ及び上述の回路機構10′と実質的に同一で
ある。図6の前記設計に関して、非走査ラッチはメモリ
・アレイ12及び比較器論理14間のインターフェース
として図10の実施例では割愛されている。したがっ
て、前記メモリは書込まれ前記同一サイクル内で前記比
較が発生する。実際に実行された場合、もし前記比較が
前記次のサイクルで行われれば、その後注入された
「1」又は「0」がレジスタ170からレジスタ172
へシフトされる前にメモリを介して前記パターンが回帰
できるようにするため、レジスタ170及びレジスタ1
72間にダミー・ラッチ段階が必要となる。
【0043】前記発明の本実施例に従って、論理回路機
構14の検査は前記テスト・データ・レジスタ170及
び172を介して応用される、その本質的には僅か3つ
の異なるパターンに集約できる。特に、全1入力、全0
入力、及び、全1フィールド(領域)内のゼロ(0)又
は全0領域内の1のループ・パターンは、前記論理回路
機構の100%「障害固定検査(stuck−faul
t testing)」を得るのに十分である。図10
の前記メモリ/論理検査回路機構10″を使用する−検
査例は図11及び図12に示されている。
【0044】論理回路検査の前に、前記メモリ・アレイ
は前記BISTステート・マシーンを使用して一般的に
は検査されている。前記メモリ・アレイが合格(pas
s)すると仮定して、その後、論理回路検査がメモリ行
(0)を前記無効データ・ビットを含む全1に初期化す
ることで開始される(ステップ202)。これは入力シ
フト・レジスタ170に全て1をロードし、当該内容を
MUX20を介して前記メモリ・アレイへ転送し、特定
のメモリ位置M(0)が前記メモリ・アレイの行(0)
内で選択されると仮定することにより達成することがで
きる(ステップ204)。全1は前記比較シフト・レジ
スタから前記比較器論理に直接適用される(ステップ2
06)。更に、比較シフト・レジスタ172(図10)
は、前記BIST18により同時に1をロードすること
ができると仮定する。更に、比較器論理14はM比較器
のアレイを含み、各比較器は図2の前記論理回路機構を
含むものと仮定する。前記無効データ・ビットはメモリ
位置M(0)を含む各位置(location)Mで実
行されるので、比較違い信号(miscompare
signal)「0」は、前記比較器出力で確認されな
ければならない(ステップ208)。さもなければ、不
合格信号は、圧縮/比較回路機構104(図10)から
出力される。
【0045】次に、前記比較器論理がステップ210を
機能できるようにするために「0」に書込まれる当該無
効データ・ビットを除いて、行(0)のメモリ位置M
(0)は全1で書込まれる。前記比較器に対する前記デ
ータ・ポートA入力への全「1」の適用に比例して、全
「1」パターンは、前記シフト・レジスタ連鎖の前記比
較シフト・レジスタ部分からポートBの前記比較器論理
に適用される(ステップ212)。前記無効データ・ビ
ットが実行されないので、比較信号「1」は前記比較器
出力で確認されなければならない(ステップ214)。
【0046】前記次のテスト・パターンは、行(0)の
メモリ位置M(0)を前記無効データ・ビットを含む全
(0)に書込むことと(ステップ216)、及び前記比
較シフト・レジスタから前記比較器論理のポートBへ全
0パターンを適用することを要求している(ステップ2
18)。ポートA及びポートBの両者に適用された全ゼ
ロ(0)を使って、比較信号「1」は、前記比較器論理
の前記出力時に確認されなければならない(ステップ2
20)。
【0047】比較違い検査(miscompare t
esting)は、ラッチ(0)で前記入力シフト・レ
ジスタに「1」を注入し、及びメモリ位置Mに前記シフ
ト・レジスタの内容を書込むことにより開始される(ス
テップ222)。全0は前記比較シフト・レジスタを介
して前記比較器論理のポートBに適用されるものと仮定
される。これらの入力を以て、比較違い信号「0」が前
記比較器から出力されなければならない(ステップ22
4)。前記注入された「1」は、その後前記入力シフト
・レジスタ及び前記比較シフト・レジスタから成る前記
シフト・レジスタ連鎖の前記次のラッチにシフトされる
(ステップ226)。前記注入された「1」をそれぞれ
シフトすることにより、前記入力シフト・レジスタ・デ
ータはメモリ位置Mに書込まれる。その上、前記注入さ
れた「1」のテスト・データをそれぞれシフトすること
により、比較違い信号「0」は前記比較器の前記出力時
で確認されなければならない(ステップ228)。前記
「1」が前記比較シフト・レジスタの末端にくるまで前
記組合わせシフト・レジスタ連鎖内で前記ループは継続
する(ステップ230)。前記注入されたテスト・デー
タは前記シフト・レジスタ連鎖全体を介してループされ
てきた場合には必ず、メモリ・アレイ12の全メモリ位
置Mがステップ232を実行されたか否かをプロセスは
確認する。実行されていない場合、前記BISTステー
ト・マシーンは、M=M+1を設定することにより次の
メモリ位置を実行するよう命令される(ステップ23
4)。すべてのメモリ位置が実行されると前記比較器論
理の検査はステップ236で完了する。
【0048】ここで提示されている前記概念の他の実施
方法については、当該技術に熟知せられる当業者には明
白である。例えば、典型的な内容アドレス・メモリ(C
AM)セルの論理検査もまた可能である。CAMの実行
については、ワード線は、同一のワード線、即ち行の共
通する行に接続された一連のCAMセルにデータを書込
ませる。次のサイクルでは、前記ワード線は前記メモリ
・セルのデータの妨げにならないように非活性化され、
及び比較データは、前記書込みデータとして同一入力に
挿入される。前記ビット線の前記データは、その後前記
メモリ・セルの前記データと比較され、及び一致又は不
一致信号が生成される。この実施については、前記比較
器は、TAGメモリの前記出力に結合されている前述の
ものと論理的に類似している。前記の主要な違いは、X
NOR回路機構が前記メモリ・アレイ自体の物理的一部
分を成している点である。前記比較データは、前記メモ
リ・セルに書込まれるデータとして同一ビット行に提供
するか、又は前記書込み機能として同一サイクルで前記
比較機能が起こせる別行を設けることができる。
【0049】換言すれば、本発明は前記メモリ・アレイ
及び前記論理回路間の前記機能的データ・パス内に境界
走査ラッチを使用しないでメモリ・アレイの出力に組込
まれた論理回路をチップ上に組込まれた自己検査するこ
とを含む。前記インターフェースで境界走査ラッチ、又
はマルチプレクサを使わずに機能実行及び検査性能が拡
張され、検査時間が短縮され、及び検査用回路機構のシ
リコン・チップに占める領域を最小限に抑えた。アドレ
ス・メモリ・アレイの前記出力時に比較器論理の100
%「障害範囲の固定」が最小のテスト・サイクル数で、
ここに十分説明された実施例にて得られる。開示された
設計は、観察可能な出力として唯一の合格/不合格(f
ail/pass)ビットが必要である。テスタ上でこ
の不合格ビットを監視することにより、障害をサイクル
数の計算によって特定できる。前記設計は例えば電源が
投入されている間にウェーハ・レベル又はシステム・レ
ベルでハードウェアの自己検査に使用することができ
る。
【0050】まとめとして本発明の構成に関して以下の
事項を開示する。
【0051】(1) メモリ・アレイに結合された組込
型論理回路機構をテストするためのシステムであって、
(a) 前記論理回路機構をテストするためのテスト・
パターンを生成する内蔵型自己検査(BIST)回路、
及び(b) 前記メモリ・アレイに前記テスト・パター
ンの少くとも一部を書込み、及びその後、前記論理回路
機構をテストするために前記メモリ・アレイから前記テ
スト・パターンの前記一部を前記論理回路機構に提供す
るための手段を含む前記テスト・パターンを前記論理回
路機構へ提供するための手段とを有する、前記システ
ム。 (2) 前記テスト・パターンを前記論理回路機構に提
供する前記手段が前記メモリ・アレイ及び前記BIST
に接続され、前記BISTによって命令された通り、前
記テスト・パターンの前記一部を前記メモリ・アレイに
書込むマルチプレクサ回路を含む、(1)に記載のシス
テム。 (3) 前記論理回路機構は、ポートA入力及びポート
B入力を有する2つの入力論理回路を含み、前記ポート
A入力は前記メモリ・アレイの出力ポートに電気的に結
合されており、及び前記ポートB入力は前記BISTに
電気的に結合されており、前記メモリ・アレイに書込ま
れた前記テスト・パターンの前記一部が前記テスト・パ
ターンの第1の部分を含み、前記テスト・パターンを前
記論理回路機構に提供するための前記手段は、前記メモ
リ・アレイを使用せずに前記テスト・パターンの第2部
分を前記論理回路機構の前記ポートB入力へ適用するた
めの手段を更に含む、(2)に記載のシステム。 (4) 前記テスト・パターンの前記第1部分は、ゼロ
(0)ビットの領域に1ビットのシフト、又は1ビット
の領域にゼロ(0)ビットのシフトから成るループ・テ
スト・パターンを有し、前記メモリ・アレイに前記テス
ト・パターンの前記第1部分を提供するための前記手段
は、前記メモリ・アレイ及び前記BIST間で電気的に
結合された入力シフト・レジスタを含み、前記入力シフ
ト・レジスタは複数のラッチと末端のラッチから最初の
ラッチへのフィードバック・パスを有し、前記入力シフ
ト・レジスタの内容が、自動的にループしてゼロ(0)
ビットの前記領域に前記1ビット、又は1ビットの前記
領域にゼロ(0)ビットをシフトするように移動する、
(3)に記載のシステム。 (5) 前記テスト・パターンの前記第2部分は、ゼロ
(0)ビットの領域でシフトする1ビットと、1ビット
の領域でシフトするゼロ(0)ビットとから成るループ
・テスト・パターンを含み、前記テスト・パターンの前
記第2部分を前記論理回路機構に提供する前記手段が複
数のラッチと末端のラッチから最初のラッチへのフィー
ドバック・パスを有する比較シフト・レジスタを含み、
ゼロ(0)ビットの前記領域に前記1ビットを、又は1
ビットの前記領域に前記ゼロ(0)ビットをシフトする
ことにより、前記比較シフト・レジスタの末端ラッチか
らのデータが結果的に前記比較シフト・レジスタの前記
第1ラッチに自動的に送られ、よって前記テスト・パタ
ーンが画定される、(3)に記載のシステム。 (6) 前記テスト・パターンの前記第1部分及び前記
テスト・パターンの前記第2部分は共にループ・テスト
・パターンを含み、前記テスト・パターンの前記第1部
分を前記メモリ・アレイに提供する前記手段は入力シフ
ト・レジスタを含み、前記論理回路機構に前記テスト・
パターンの前記第2部分を提供する前記手段は比較シフ
ト・レジスタを含み、前記入力シフト・レジスタは複数
のラッチを有し、前記比較シフト・レジスタは複数のラ
ッチを有し、前記入力シフト・レジスタの末端ラッチは
前記比較シフト・レジスタの第1ラッチに対する出力デ
ータに電気的に結合され、前記比較シフト・レジスタの
末端ラッチは前記入力シフト・レジスタの第1ラッチに
対する出力データに電気的に結合され、前記入力シフト
・レジスタ及び前記比較シフト・レジスタにおけるゼロ
(0)ビットの領域に1ビット、又は1ビットの領域に
ゼロ(0)ビットの導入及びシフトは前記ループ・テス
ト・パターンを画定し、前記ループ・テスト・パターン
は、前記論理回路機構の前記ポートA入力及び前記ポー
トB入力に横断的に異なるテスト・パターンを提供す
る、(3)に記載のシステム。 (7) 前記論理回路機構は比較器論理回路機構を含
み、及び前記テスト・パターンは決定論的テスト・パタ
ーンを含む、(3)に記載のシステム。 (8) 前記テスト・パターンの適用にもとづいて、合
格/不合格(pass/ail)信号を前記論理回路機
構に提供する回路手段を更に含み、前記合格/不合格信
号は単一ビットの合格/不合格信号を含む、(3)に記
載のシステム。 (9) 前記合格/不合格信号を提供する前記回路手段
は、前記論理回路機構の出力、及び前記BISTから期
待データ信号を受信するために結合された圧縮/比較回
路を含み、前記単一ビット合格/不合格信号を生成する
ために、前記圧縮/比較回路機構は前記論理回路機構の
前記出力及び前記BISTからの前記期待データを比較
するための手段を具備する、(8)に記載のシステム。 (10) (a) 入力ポートと出力ポートを有するデータを格納
するためのメモリ・アレイと(b) 格納されたデータ
が前記メモリ・アレイ・フローから前記出力ポートを介
して読取られるように、前記メモリ・アレイの前記出力
ポートに電気的に結合された論理回路と、(c) 前記
論理回路をテストするためのテスト・パターンを生成す
る手段と、それの少くとも一部を前記メモリ・アレイに
書込み、及びその後前記メモリ・アレイの外部で前記テ
スト・パターンの前記一部を前記論理回路をテストする
ために前記論理回路と結合された前記出力ポートを介し
て読取る手段を含む、前記テスト・パターンを前記論理
回路へ提供する手段を含む、前記論理回路をテストする
チップ上に組込まれた自己検査(BIST)手段、とを
含む集積回路チップ。 (11) 前記論理回路はポートA入力及びポートB入
力を含み、前記ポートA入力は前記メモリ・アレイの前
記出力ポートに電気的に結合されており、及び前記メモ
リ・アレイに書込み、又は前記メモリ・アレイから読取
られる前記テスト・パターンの前記一部は前記テスト・
パターンの第1部分を含み、及び前記オン・チップBI
ST手段は更に前記テスト・パターンの第2部分を前記
テスト・パターンの前記第2部分を前記メモリ・アレイ
を介して渡さずに、前記論理回路の前記ポートB入力に
提供する手段を含む、(10)に記載の集積回路チッ
プ。 (12) 前記ポートA入力及び前記ポートB入力は各
々がN−1ビット幅であり、Nは整数≧2であって、及
び前記テスト・パターンの前記第2部分はN−20ビッ
トの領域に1ビットをシフトするか、又はN−2 1ビ
ットの領域にゼロ(0)ビットをシフトすることを含む
ループ・テスト・パターンを具備し、及び前記テスト・
パターンの前記第1部分は、N−1 1ビット又はN−
1 0ビットのどちらかを具備する、(11)に記載の
集積回路チップ。 (13) 前記ポートA入力及び前記ポートB入力は各
々がN−1ビット幅であり、Nは整数≧2であり、及び
前記テスト・パターンの前記第1部分は0ビットの領域
に1ビットをシフトするか、又は1ビットの領域に0ビ
ットをシフトすることを含むループ・テスト・パターン
を具備し、及び前記テスト・パターンの前記第2部分は
全ゼロ(0)ビット又は全1ビットのどちらかを具備す
る、(11)に記載の集積回路チップ。 (14) 前記テスト・パターンの前記第2部分を前記
論理回路に提供する前記手段は、前記テスト・パターン
を生成する前記手段と前記論理回路間に電気的に結合さ
れた比較シフト・レジスタを含み、前記比較シフト・レ
ジスタは、前記テスト・パターンの前記第2部分を前記
論理回路の前記ポートB入力に提供する手段を具備す
る、(11)に記載の集積回路チップ。 (15) 前記テスト・パターンの前記第1部分を前記
メモリに書込む前記手段は、前記テスト・パターンを生
成する前記手段と前記メモリ・アレイの前記入力ポート
間で電気的に結合された入力シフト・レジスタを含み、
前記入力シフト・レジスタは前記入力シフト・レジスタ
の末端ラッチと前記入力シフト・レジスタの第1ラッチ
間のフィード・バック手段を含み、前記テスト・パター
ンの前記第1部分は0ビットの領域に1ビットをシフト
するか、又は1ビットの領域に0ビットをシフトするこ
とを含むループ・テスト・パターンを具備する、(1
1)に記載の集積回路チップ。 (16) 前記テスト・パターンの前記第1部分はNビ
ットを含み、Nは整数≧2であって、前記Nビットの1
ビットは実行された時点で、前記論理回路の動作が使用
不能となる無効データ・ビットを具備する、(11)に
記載の集積回路チップ。 (17) 前記集積回路チップはマイクロプロセッサ・
チップを備えており、前記メモリ・アレイは直接アレイ
を備え、及び前記論理回路は比較器論理回路を具備す
る、(10)に記載の集積回路チップ。 (18) 半導体デバイス・チップ上のメモリ・アレイ
に結合された組込型論理回路機構の検査方法であって、
(a) 前記論理回路機構をテストするためのテスト・
パターンを生成する内蔵型自己検査(BIST)を使用
するステップと、(b) 前記テスト・パターンの少く
とも1部分を前記メモリ・アレイに書込むステップと、
(c) 前記メモリ・アレイの前記テスト・パターンを
前記論理回路機構をテストするための前記論理回路機構
に適用するステップと、を含む前記方法。 (19) 前記書込みステップ(b)は前記テスト・パ
ターンの第1部分を前記メモリ・アレイに書込むことを
含み、及び前記方法は前記テスト・パターンの前記第2
部分を前記メモリ・アレイに書込まずに、前記論理回路
機構に提供するステップを更に含む、(18)に記載の
方法。 (20) 前記テスト・パターンの前記第1部分は全1
ビット又は全0ビットを含み、及び前記テスト・パター
ンの前記第2部分は0ビットの領域に1ビットをシフト
させるか、又は1ビットの領域に0ビットをシフトさせ
ることから成るループ・テスト・パターンを具備する、
(19)に記載の方法。 (21) 前記テスト・パターンの前記第1部分は0ビ
ットの領域に1ビットをシフトさせるか、又は1ビット
の領域に0ビットをシフトさせることから成るループ・
テスト・パターンを具備し、及び前記テスト・パターン
の前記第2部分は全1ビット又は全0ビットを含む、
(19)に記載の方法。 (22) 前記組込型論理回路機構及びメモリ・アレイ
はマイクロプロセッサに常駐し、及び前記方法は前記マ
イクロプロセッサ・チップを起動すると、自動的にステ
ップ(a)−ステップ(c)を実行することを更に含
む、(18)に記載の方法。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に従って、オン・チップ・メモリ・アレ
イ/比較器論理検査回路機構の1実施例に関するブロッ
ク図である。
【図2】図1の比較器論理に対する比較器の1実施例の
概要図である。
【図3】図1のメモリ・アレイ/比較器論理検査回路機
構の前記メモリ・アレイの出力で組込型ロジックを検査
する検査プロセスの1実施例に関する流れ図である。
【図4】図1のメモリ・アレイ/比較器論理検査回路機
構の前記メモリ・アレイの出力で組込型ロジックを検査
する検査プロセスの1実施例に関する流れ図である。
【図5】図1のメモリ・アレイ/比較器論理検査回路機
構の前記メモリ・アレイの出力で組込型ロジックを検査
する検査プロセスの1実施例に関する流れ図である。
【図6】本発明に従って、オン・チップ・メモリ・アレ
イ/比較器論理検査回路機構の別の実施例に関するブロ
ック図である。
【図7】図6の前記メモリ・アレイ/比較器論理検査回
路機構の前記メモリ・アレイの出力で組込型ロジックを
検査する検査プロセスの1実施例に関する流れ図であ
る。
【図8】図6の前記メモリ・アレイ/比較器論理検査回
路機構の前記メモリ・アレイの出力で組込型ロジックを
検査する検査プロセスの1実施例に関する流れ図であ
る。
【図9】図6の前記メモリ・アレイ/比較器論理検査回
路機構の前記メモリ・アレイの出力で組込型ロジックを
検査する検査プロセスの1実施例に関する流れ図であ
る。
【図10】本発明に従って、オン・チップ・メモリ・ア
レイ/比較器論理検査回路機構の更なる別の実施例に関
するブロック図である。
【図11】図10の前記メモリ・アレイ/比較器論理検
査回路機構の前記メモリ・アレイの出力で組込型ロジッ
クを検査するプロセスの1実施例に関する流れ図であ
る。
【図12】図10の前記メモリ・アレイ/比較器論理検
査回路機構の前記メモリ・アレイの出力で組込型ロジッ
クを検査するプロセスの1実施例に関する流れ図であ
る。
【符号の説明】
12 メモリ・アレイ 14 比較器論理 16 スキャン不能ラッチ 18、50 内蔵型自己検査(BIST) 24 出力マルチプレクサ 26 出力ラッチ 28、36 圧縮/比較回路 30 比較データ・マルチプレクサ 32、54、60 比較シフト・レジスタ 34 M出力ラッチ 40、132、150 比較器 44 インバータ 52、110 1s 56 0s 72 レジスタ 104 圧縮/比較回路機構 116 比較マルチプレクサ 118 論理入力 148、152 メモリ位置 156 入力シフト・レジスタ 170、172 テスト・データ・レジスタ 202 無効データ・ビット 208、214 比較器出力 212 シフト・レジスタ連鎖
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ルイジ・トルネロ・ジュニア アメリカ合衆国95446、バーモント州、コ ーチェスター、グレイ・バーチ・ドライブ 19ビィ

Claims (22)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】メモリ・アレイに結合された組込型論理回
    路機構をテストするためのシステムであって、(a)
    前記論理回路機構をテストするためのテスト・パターン
    を生成する内蔵型自己検査(BIST)回路、及び
    (b) 前記メモリ・アレイに前記テスト・パターンの
    少くとも一部を書込み、及びその後、前記論理回路機構
    をテストするために前記メモリ・アレイから前記テスト
    ・パターンの前記一部を前記論理回路機構に提供するた
    めの手段を含む前記テスト・パターンを前記論理回路機
    構へ提供するための手段とを有する、前記システム。
  2. 【請求項2】前記テスト・パターンを前記論理回路機構
    に提供する前記手段が前記メモリ・アレイ及び前記BI
    STに接続され、前記BISTによって命令された通
    り、前記テスト・パターンの前記一部を前記メモリ・ア
    レイに書込むマルチプレクサ回路を含む、請求項1に記
    載のシステム。
  3. 【請求項3】前記論理回路機構は、ポートA入力及びポ
    ートB入力を有する2つの入力論理回路を含み、前記ポ
    ートA入力は前記メモリ・アレイの出力ポートに電気的
    に結合されており、及び前記ポートB入力は前記BIS
    Tに電気的に結合されており、前記メモリ・アレイに書
    込まれた前記テスト・パターンの前記一部が前記テスト
    ・パターンの第1の部分を含み、前記テスト・パターン
    を前記論理回路機構に提供するための前記手段は、前記
    メモリ・アレイを使用せずに前記テスト・パターンの第
    2部分を前記論理回路機構の前記ポートB入力へ適用す
    るための手段を更に含む、請求項2に記載のシステム。
  4. 【請求項4】前記テスト・パターンの前記第1部分は、
    ゼロ(0)ビットの領域に1ビットのシフト、又は1ビ
    ットの領域にゼロ(0)ビットのシフトから成るループ
    ・テスト・パターンを有し、前記メモリ・アレイに前記
    テスト・パターンの前記第1部分を提供するための前記
    手段は、前記メモリ・アレイ及び前記BIST間で電気
    的に結合された入力シフト・レジスタを含み、前記入力
    シフト・レジスタは複数のラッチと末端のラッチから最
    初のラッチへのフィードバック・パスを有し、前記入力
    シフト・レジスタの内容が、自動的にループしてゼロ
    (0)ビットの前記領域に前記1ビット、又は1ビット
    の前記領域にゼロ(0)ビットをシフトするように移動
    する、請求項3に記載のシステム。
  5. 【請求項5】前記テスト・パターンの前記第2部分は、
    ゼロ(0)ビットの領域でシフトする1ビットと、1ビ
    ットの領域でシフトするゼロ(0)ビットとから成るル
    ープ・テスト・パターンを含み、前記テスト・パターン
    の前記第2部分を前記論理回路機構に提供する前記手段
    が複数のラッチと末端のラッチから最初のラッチへのフ
    ィードバック・パスを有する比較シフト・レジスタを含
    み、ゼロ(0)ビットの前記領域に前記1ビットを、又
    は1ビットの前記領域に前記ゼロ(0)ビットをシフト
    することにより、前記比較シフト・レジスタの末端ラッ
    チからのデータが結果的に前記比較シフト・レジスタの
    前記第1ラッチに自動的に送られ、よって前記テスト・
    パターンが画定される、請求項3に記載のシステム。
  6. 【請求項6】前記テスト・パターンの前記第1部分及び
    前記テスト・パターンの前記第2部分は共にループ・テ
    スト・パターンを含み、前記テスト・パターンの前記第
    1部分を前記メモリ・アレイに提供する前記手段は入力
    シフト・レジスタを含み、前記論理回路機構に前記テス
    ト・パターンの前記第2部分を提供する前記手段は比較
    シフト・レジスタを含み、前記入力シフト・レジスタは
    複数のラッチを有し、前記比較シフト・レジスタは複数
    のラッチを有し、前記入力シフト・レジスタの末端ラッ
    チは前記比較シフト・レジスタの第1ラッチに対する出
    力データに電気的に結合され、前記比較シフト・レジス
    タの末端ラッチは前記入力シフト・レジスタの第1ラッ
    チに対する出力データに電気的に結合され、前記入力シ
    フト・レジスタ及び前記比較シフト・レジスタにおける
    ゼロ(0)ビットの領域に1ビット、又は1ビットの領
    域にゼロ(0)ビットの導入及びシフトは前記ループ・
    テスト・パターンを画定し、前記ループ・テスト・パタ
    ーンは、前記論理回路機構の前記ポートA入力及び前記
    ポートB入力に横断的に異なるテスト・パターンを提供
    する、請求項3に記載のシステム。
  7. 【請求項7】前記論理回路機構は比較器論理回路機構を
    含み、及び前記テスト・パターンは決定論的テスト・パ
    ターンを含む、請求項3に記載のシステム。
  8. 【請求項8】前記テスト・パターンの適用にもとづい
    て、合格/不合格(pass/ail)信号を前記論理
    回路機構に提供する回路手段を更に含み、前記合格/不
    合格信号は単一ビットの合格/不合格信号を含む、請求
    項3に記載のシステム。
  9. 【請求項9】前記合格/不合格信号を提供する前記回路
    手段は、前記論理回路機構の出力、及び前記BISTか
    ら期待データ信号を受信するために結合された圧縮/比
    較回路を含み、前記単一ビット合格/不合格信号を生成
    するために、前記圧縮/比較回路機構は前記論理回路機
    構の前記出力及び前記BISTからの前記期待データを
    比較するための手段を具備する、請求項8に記載のシス
    テム。
  10. 【請求項10】(a) 入力ポートと出力ポートを有す
    るデータを格納するためのメモリ・アレイと(b) 格
    納されたデータが前記メモリ・アレイ・フローから前記
    出力ポートを介して読取られるように、前記メモリ・ア
    レイの前記出力ポートに電気的に結合された論理回路
    と、(c) 前記論理回路をテストするためのテスト・
    パターンを生成する手段と、 それの少くとも一部を前記メモリ・アレイに書込み、及
    びその後前記メモリ・アレイの外部で前記テスト・パタ
    ーンの前記一部を前記論理回路をテストするために前記
    論理回路と結合された前記出力ポートを介して読取る手
    段を含む、前記テスト・パターンを前記論理回路へ提供
    する手段を含む、前記論理回路をテストするチップ上に
    組込まれた自己検査(BIST)手段、とを含む集積回
    路チップ。
  11. 【請求項11】前記論理回路はポートA入力及びポート
    B入力を含み、前記ポートA入力は前記メモリ・アレイ
    の前記出力ポートに電気的に結合されており、及び前記
    メモリ・アレイに書込み、又は前記メモリ・アレイから
    読取られる前記テスト・パターンの前記一部は前記テス
    ト・パターンの第1部分を含み、及び前記オン・チップ
    BIST手段は更に前記テスト・パターンの第2部分を
    前記テスト・パターンの前記第2部分を前記メモリ・ア
    レイを介して渡さずに、前記論理回路の前記ポートB入
    力に提供する手段を含む、請求項10に記載の集積回路
    チップ。
  12. 【請求項12】前記ポートA入力及び前記ポートB入力
    は各々がN−1ビット幅であり、Nは整数≧2であっ
    て、及び前記テスト・パターンの前記第2部分はN−2
    0ビットの領域に1ビットをシフトするか、又はN−
    2 1ビットの領域にゼロ(0)ビットをシフトするこ
    とを含むループ・テスト・パターンを具備し、及び前記
    テスト・パターンの前記第1部分は、N−1 1ビット
    又はN−1 0ビットのどちらかを具備する、請求項1
    1に記載の集積回路チップ。
  13. 【請求項13】前記ポートA入力及び前記ポートB入力
    は各々がN−1ビット幅であり、Nは整数≧2であり、
    及び前記テスト・パターンの前記第1部分は0ビットの
    領域に1ビットをシフトするか、又は1ビットの領域に
    0ビットをシフトすることを含むループ・テスト・パタ
    ーンを具備し、及び前記テスト・パターンの前記第2部
    分は全ゼロ(0)ビット又は全1ビットのどちらかを具
    備する、請求項11に記載の集積回路チップ。
  14. 【請求項14】前記テスト・パターンの前記第2部分を
    前記論理回路に提供する前記手段は、前記テスト・パタ
    ーンを生成する前記手段と前記論理回路間に電気的に結
    合された比較シフト・レジスタを含み、前記比較シフト
    ・レジスタは、前記テスト・パターンの前記第2部分を
    前記論理回路の前記ポートB入力に提供する手段を具備
    する、請求項11に記載の集積回路チップ。
  15. 【請求項15】前記テスト・パターンの前記第1部分を
    前記メモリに書込む前記手段は、前記テスト・パターン
    を生成する前記手段と前記メモリ・アレイの前記入力ポ
    ート間で電気的に結合された入力シフト・レジスタを含
    み、前記入力シフト・レジスタは前記入力シフト・レジ
    スタの末端ラッチと前記入力シフト・レジスタの第1ラ
    ッチ間のフィード・バック手段を含み、前記テスト・パ
    ターンの前記第1部分は0ビットの領域に1ビットをシ
    フトするか、又は1ビットの領域に0ビットをシフトす
    ることを含むループ・テスト・パターンを具備する、請
    求項11に記載の集積回路チップ。
  16. 【請求項16】前記テスト・パターンの前記第1部分は
    Nビットを含み、Nは整数≧2であって、前記Nビット
    の1ビットは実行された時点で、前記論理回路の動作が
    使用不能となる無効データ・ビットを具備する、請求項
    11に記載の集積回路チップ。
  17. 【請求項17】前記集積回路チップはマイクロプロセッ
    サ・チップを備えており、前記メモリ・アレイは直接ア
    レイを備え、及び前記論理回路は比較器論理回路を具備
    する、請求項10に記載の集積回路チップ。
  18. 【請求項18】半導体デバイス・チップ上のメモリ・ア
    レイに結合された組込型論理回路機構の検査方法であっ
    て、(a) 前記論理回路機構をテストするためのテス
    ト・パターンを生成する内蔵型自己検査(BIST)を
    使用するステップと、(b) 前記テスト・パターンの
    少くとも1部分を前記メモリ・アレイに書込むステップ
    と、(c) 前記メモリ・アレイの前記テスト・パター
    ンを前記論理回路機構をテストするための前記論理回路
    機構に適用するステップと、を含む前記方法。
  19. 【請求項19】前記書込みステップ(b)は前記テスト
    ・パターンの第1部分を前記メモリ・アレイに書込むこ
    とを含み、及び前記方法は前記テスト・パターンの前記
    第2部分を前記メモリ・アレイに書込まずに、前記論理
    回路機構に提供するステップを更に含む、請求項18に
    記載の方法。
  20. 【請求項20】前記テスト・パターンの前記第1部分は
    全1ビット又は全0ビットを含み、及び前記テスト・パ
    ターンの前記第2部分は0ビットの領域に1ビットをシ
    フトさせるか、又は1ビットの領域に0ビットをシフト
    させることから成るループ・テスト・パターンを具備す
    る、請求項19に記載の方法。
  21. 【請求項21】前記テスト・パターンの前記第1部分は
    0ビットの領域に1ビットをシフトさせるか、又は1ビ
    ットの領域に0ビットをシフトさせることから成るルー
    プ・テスト・パターンを具備し、及び前記テスト・パタ
    ーンの前記第2部分は全1ビット又は全0ビットを含
    む、請求項19に記載の方法。
  22. 【請求項22】前記組込型論理回路機構及びメモリ・ア
    レイはマイクロプロセッサに常駐し、及び前記方法は前
    記マイクロプロセッサ・チップを起動すると、自動的に
    ステップ(a)−ステップ(c)を実行することを更に
    含む、請求項18に記載の方法。
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