JPH0830951A - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents
垂直磁気記録媒体Info
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- JPH0830951A JPH0830951A JP16530894A JP16530894A JPH0830951A JP H0830951 A JPH0830951 A JP H0830951A JP 16530894 A JP16530894 A JP 16530894A JP 16530894 A JP16530894 A JP 16530894A JP H0830951 A JPH0830951 A JP H0830951A
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Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は高い保磁力を有する垂直磁気記録媒体
を提供することを目的とする。 【構成】非磁性基板上に軟磁性裏打ち層、第１中間層、
第２中間層及び垂直磁気異方性を有する人工格子構造を
持つ記録磁性層を積層してなる垂直磁気記録媒体であっ
て、前記第１中間層を炭素とすることによって高密度記
録に適した高い保磁力を得ることができる。また、第１
中間層を炭素とし、記録磁性層と第２中間層の構成を、
それぞれＣｏ／Ｐｔ及びＰｔ、又はＣｏ／Ｐｄ及びＰｄ
とすることによって高密度記録に適した高い保磁力の垂
直磁気記録媒体を得ることができる。
を提供することを目的とする。 【構成】非磁性基板上に軟磁性裏打ち層、第１中間層、
第２中間層及び垂直磁気異方性を有する人工格子構造を
持つ記録磁性層を積層してなる垂直磁気記録媒体であっ
て、前記第１中間層を炭素とすることによって高密度記
録に適した高い保磁力を得ることができる。また、第１
中間層を炭素とし、記録磁性層と第２中間層の構成を、
それぞれＣｏ／Ｐｔ及びＰｔ、又はＣｏ／Ｐｄ及びＰｄ
とすることによって高密度記録に適した高い保磁力の垂
直磁気記録媒体を得ることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は垂直磁気記録方式に用い
る垂直磁気記録媒体に関するものである。
る垂直磁気記録媒体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、コンピューター等で使用されるハ
ードディスクドライブには、ソフトの高容量化により、
いっそう高い記録容量が要求されている。また、パーソ
ナルコンピューターの小型化によりハードディスクドラ
イブも必然的に小型化され、磁気記録媒体としては高い
記録密度のものが求められている。このような、高い記
録密度を達成する一つの手法として垂直磁気記録方式が
提案されている。
ードディスクドライブには、ソフトの高容量化により、
いっそう高い記録容量が要求されている。また、パーソ
ナルコンピューターの小型化によりハードディスクドラ
イブも必然的に小型化され、磁気記録媒体としては高い
記録密度のものが求められている。このような、高い記
録密度を達成する一つの手法として垂直磁気記録方式が
提案されている。
【０００３】垂直磁気記録方式においては、垂直方向に
配向された記録ビットに記録することにより、超高記録
密度の記録が達成されるが、記録ビットの安定性を図る
には、記録ビットを垂直方向に記録しているために強い
反磁界の影響を受ける。この反磁界や外部磁界に耐え得
るため、高い保磁力のものが要求されている。
配向された記録ビットに記録することにより、超高記録
密度の記録が達成されるが、記録ビットの安定性を図る
には、記録ビットを垂直方向に記録しているために強い
反磁界の影響を受ける。この反磁界や外部磁界に耐え得
るため、高い保磁力のものが要求されている。
【０００４】高い保磁力を有する垂直磁気記録媒体とし
て、Ｃｏ／Ｐｔ及びＣｏ／Ｐｄ人工格子層からなる垂直
磁気記録層を有する媒体が提案されている。この人工格
子層からなる垂直磁気記録媒体は、通常、スパッタ法や
真空蒸着等で作製されるが、保磁力を高くする方法とし
て種々の検討がなされている。
て、Ｃｏ／Ｐｔ及びＣｏ／Ｐｄ人工格子層からなる垂直
磁気記録層を有する媒体が提案されている。この人工格
子層からなる垂直磁気記録媒体は、通常、スパッタ法や
真空蒸着等で作製されるが、保磁力を高くする方法とし
て種々の検討がなされている。
【０００５】例えば、スパッタガスとしてＡｒよりもＫ
ｒやＸｅを用いて、スパッタリングする方法（P.F. Car
cia and W. B. Zeper, IEEE Trans. Magn., Vol. 26, 1
703,1990 ）や軟磁性層と人工格子層との間にＰｔやＰ
ｄ金属等の適当な中間層を用いたもの（C-Y You, J. Hu
r and S-C Shin, J. Appl. Phys., Vol. 73, 5951,199
3）などが報告されている。
ｒやＸｅを用いて、スパッタリングする方法（P.F. Car
cia and W. B. Zeper, IEEE Trans. Magn., Vol. 26, 1
703,1990 ）や軟磁性層と人工格子層との間にＰｔやＰ
ｄ金属等の適当な中間層を用いたもの（C-Y You, J. Hu
r and S-C Shin, J. Appl. Phys., Vol. 73, 5951,199
3）などが報告されている。
【０００６】しかし、この中間層の厚さが厚いと磁気ヘ
ッドの主磁極と軟磁性層の距離が遠くなり、記録再生効
率が低下するため、できるだけ薄い中間層が望まれる一
方、逆に薄すぎると保磁力が低下し、記録容量が低下す
るという問題があり、これら両方の特性を満たす中間層
を有する垂直磁気記録媒体は得られていなかった。
ッドの主磁極と軟磁性層の距離が遠くなり、記録再生効
率が低下するため、できるだけ薄い中間層が望まれる一
方、逆に薄すぎると保磁力が低下し、記録容量が低下す
るという問題があり、これら両方の特性を満たす中間層
を有する垂直磁気記録媒体は得られていなかった。
【０００７】また、保磁力を高くするために、人工格子
層からなる垂直磁気記録層の下にＰｔやＰｄの金属層を
設けたものや人工格子層の格子間にＰｔやＰｄの金属層
を設けたものが特開平６−５２５３５号公報に開示され
ている。
層からなる垂直磁気記録層の下にＰｔやＰｄの金属層を
設けたものや人工格子層の格子間にＰｔやＰｄの金属層
を設けたものが特開平６−５２５３５号公報に開示され
ている。
【０００８】しかしながら、これらの従来技術による垂
直磁気記録媒体によっても、尚、十分な保磁力を有する
ものが得られず、さらに高い保磁力のものが必要とされ
ている。また、ＫｒやＸｅガスはＡｒに比べて高価であ
り、より効果的な垂直磁気記録媒体が求められていた。
直磁気記録媒体によっても、尚、十分な保磁力を有する
ものが得られず、さらに高い保磁力のものが必要とされ
ている。また、ＫｒやＸｅガスはＡｒに比べて高価であ
り、より効果的な垂直磁気記録媒体が求められていた。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述したよ
うに従来の技術では得ることができなかった高い保磁力
を有する人工格子層からなる垂直磁気記録媒体を経済的
に得るという課題を解決することを目的としてなされた
ものであり、非磁性基板上に形成された軟磁性層と人工
格子層の間に設ける中間層の構成と材質について検討し
て得られた知見に基づき完成するに至ったものである。
うに従来の技術では得ることができなかった高い保磁力
を有する人工格子層からなる垂直磁気記録媒体を経済的
に得るという課題を解決することを目的としてなされた
ものであり、非磁性基板上に形成された軟磁性層と人工
格子層の間に設ける中間層の構成と材質について検討し
て得られた知見に基づき完成するに至ったものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、非磁性
基板上に軟磁性層、第１中間層、第２中間層及び垂直磁
気異方性を有する人工格子層を有する記録磁性層を積層
されてなる垂直磁気記録媒体であって、第１中間層が炭
素である垂直磁気記録媒体である。また、前記構成の垂
直磁気記録媒体であって、記録磁性層がＣｏ／Ｐｔ人工
格子層であり、第１中間層が炭素であり、第２中間層が
Ｐｔ金属層である垂直磁気記録媒体である。さらに前記
構成の垂直磁気記録媒体であって、記録磁性層がＣｏ／
Ｐｄ人工格子層であり、第１中間層が炭素であり、第２
中間層がＰｄ金属層である垂直磁気記録媒体である。
基板上に軟磁性層、第１中間層、第２中間層及び垂直磁
気異方性を有する人工格子層を有する記録磁性層を積層
されてなる垂直磁気記録媒体であって、第１中間層が炭
素である垂直磁気記録媒体である。また、前記構成の垂
直磁気記録媒体であって、記録磁性層がＣｏ／Ｐｔ人工
格子層であり、第１中間層が炭素であり、第２中間層が
Ｐｔ金属層である垂直磁気記録媒体である。さらに前記
構成の垂直磁気記録媒体であって、記録磁性層がＣｏ／
Ｐｄ人工格子層であり、第１中間層が炭素であり、第２
中間層がＰｄ金属層である垂直磁気記録媒体である。
【００１１】以下、本発明について図面を参照してさら
に詳細に説明する。本発明の垂直磁気記録媒体は、非磁
性基板上に軟磁性層が形成され、その上にそれぞれ、材
質のことなる第１中間層及び第２中間層が形成され、そ
の上に垂直磁気異方性を有する人工格子層を有する記録
磁性層が積層されてなる構造の垂直磁気記録媒体であ
る。
に詳細に説明する。本発明の垂直磁気記録媒体は、非磁
性基板上に軟磁性層が形成され、その上にそれぞれ、材
質のことなる第１中間層及び第２中間層が形成され、そ
の上に垂直磁気異方性を有する人工格子層を有する記録
磁性層が積層されてなる構造の垂直磁気記録媒体であ
る。
【００１２】非磁性基板１は通常、アルミニウム、アル
ミニウム合金、ガラス、セラミックス、プラスチック、
炭素、シリコンなど硬度が高く平滑性を容易に出すこと
ができ耐食性の優れているものが使用できる。非磁性基
板１は化学的方法、機械的方法または物理的方法等によ
り平滑な表面に仕上げられていたり、その後に同心円状
の凹凸を有するテクスチャリングが形成されている。
ミニウム合金、ガラス、セラミックス、プラスチック、
炭素、シリコンなど硬度が高く平滑性を容易に出すこと
ができ耐食性の優れているものが使用できる。非磁性基
板１は化学的方法、機械的方法または物理的方法等によ
り平滑な表面に仕上げられていたり、その後に同心円状
の凹凸を有するテクスチャリングが形成されている。
【００１３】軟磁性層２は、ＣｕＭｏＮｉＦｅ、ＮｉＦ
ｅＮｂ等のＮｉＦｅ系合金、ＣｏＺｒＮｂ等のＣｏＺｒ
系合金、ＦｅＡｌ系合金、ＭｎＺｎフェライト等の高透
磁率を有する軟磁性合金を使用することができる。
ｅＮｂ等のＮｉＦｅ系合金、ＣｏＺｒＮｂ等のＣｏＺｒ
系合金、ＦｅＡｌ系合金、ＭｎＺｎフェライト等の高透
磁率を有する軟磁性合金を使用することができる。
【００１４】第１中間層３の材質は炭素である。この炭
素からなる第１中間層は通常、スパッタリングにより形
成されるがこれに限定されることはない。その厚さは１
〜１０ｎｍ程度であるが、保磁力及び再生出力の大きさ
から、好ましくは１〜５ｎｍがよい。
素からなる第１中間層は通常、スパッタリングにより形
成されるがこれに限定されることはない。その厚さは１
〜１０ｎｍ程度であるが、保磁力及び再生出力の大きさ
から、好ましくは１〜５ｎｍがよい。
【００１５】第２中間層４は人工格子層を構成している
金属と同じもので形成される。例えば、人工格子層がＣ
ｏ／Ｐｔの場合は、第２中間層４はＰｔで形成される。
また、人工格子層がＣｏ／Ｐｄの場合は、第２中間層４
はＰｄで形成される。
金属と同じもので形成される。例えば、人工格子層がＣ
ｏ／Ｐｔの場合は、第２中間層４はＰｔで形成される。
また、人工格子層がＣｏ／Ｐｄの場合は、第２中間層４
はＰｄで形成される。
【００１６】記録磁性層５は人工格子層で形成されてお
り、垂直磁気異方性を有する磁性層である。人工格子層
を形成する物質は、Ｃｏ又はＣｏＣｒ、ＣｏＣｒＰｔ、
ＣｏＣｒＰｔＴａなどのＣｏ系合金、並びにＰｔ又はＰ
ｄなどの貴金属がある。例えばＣｏ／Ｐｔ又はＣｏ／Ｐ
ｄ人工格子層、ＣｏＣｒ／Ｐｔ又はＣｏＣｒ／Ｐｄ人工
格子層などが形成される。Ｃｏ金属又はＣｏ系合金層の
厚さは１ｎｍ程度以下であり、Ｐｔ又はＰｄなどの貴金
属層の厚さは１ｎｍ程度以下である。Ｃｏ／Ｐｔ又はＣ
ｏ／Ｐｄ人工格子層の場合が工業的製造に適し、かつ特
性の制御がしやすいのでより好ましい。
り、垂直磁気異方性を有する磁性層である。人工格子層
を形成する物質は、Ｃｏ又はＣｏＣｒ、ＣｏＣｒＰｔ、
ＣｏＣｒＰｔＴａなどのＣｏ系合金、並びにＰｔ又はＰ
ｄなどの貴金属がある。例えばＣｏ／Ｐｔ又はＣｏ／Ｐ
ｄ人工格子層、ＣｏＣｒ／Ｐｔ又はＣｏＣｒ／Ｐｄ人工
格子層などが形成される。Ｃｏ金属又はＣｏ系合金層の
厚さは１ｎｍ程度以下であり、Ｐｔ又はＰｄなどの貴金
属層の厚さは１ｎｍ程度以下である。Ｃｏ／Ｐｔ又はＣ
ｏ／Ｐｄ人工格子層の場合が工業的製造に適し、かつ特
性の制御がしやすいのでより好ましい。
【００１７】保護層６は通常、炭素やＳｉ、Ｚｒ、Ｈ
ｆ、Ｃｒ等の酸化物、窒化物、炭化物などで形成されて
いる。また、保護膜の潤滑性をよくするため保護膜表面
に潤滑層を形成してもよい。
ｆ、Ｃｒ等の酸化物、窒化物、炭化物などで形成されて
いる。また、保護膜の潤滑性をよくするため保護膜表面
に潤滑層を形成してもよい。
【００１８】
【作用】本発明の垂直磁気記録媒体においては、非磁性
基板上に形成された軟磁性層上に第１中間層として炭素
からなる層を形成し、さらに第２中間層としてＰｔ又は
Ｐｄ金属層、記録磁性層としてＣｏ／Ｐｔ、Ｃｏ／Ｐ
ｄ、ＣｏＣｒ系合金／Ｐｔ、ＣｏＣｒ系合金／Ｐｄなど
の人工格子層を順次形成することによって垂直磁気異方
性を有する記録磁性層が得られ、高保磁力で再生出力の
大きい高密度記録が可能な垂直磁気記録媒体が得られ
る。
基板上に形成された軟磁性層上に第１中間層として炭素
からなる層を形成し、さらに第２中間層としてＰｔ又は
Ｐｄ金属層、記録磁性層としてＣｏ／Ｐｔ、Ｃｏ／Ｐ
ｄ、ＣｏＣｒ系合金／Ｐｔ、ＣｏＣｒ系合金／Ｐｄなど
の人工格子層を順次形成することによって垂直磁気異方
性を有する記録磁性層が得られ、高保磁力で再生出力の
大きい高密度記録が可能な垂直磁気記録媒体が得られ
る。
【００１９】人工格子層の保磁力を高くするためにはそ
の垂直磁気異方性を高くすれば良い。垂直磁気異方性を
高くするためには、人工格子層の下地である第２中間層
としての金属層の結晶構造を制御し、その上部に積層さ
れる人工格子層の結晶配向を制御する方法がある。通
常、このためにこの第２中間層の金属層の厚さを厚くす
ることによって制御しているが、この金属層の下地とし
て、さらに他の元素からなる第１中間層を形成すること
によって、この第２中間層の金属層の結晶構造を制御す
ることが可能となる。
の垂直磁気異方性を高くすれば良い。垂直磁気異方性を
高くするためには、人工格子層の下地である第２中間層
としての金属層の結晶構造を制御し、その上部に積層さ
れる人工格子層の結晶配向を制御する方法がある。通
常、このためにこの第２中間層の金属層の厚さを厚くす
ることによって制御しているが、この金属層の下地とし
て、さらに他の元素からなる第１中間層を形成すること
によって、この第２中間層の金属層の結晶構造を制御す
ることが可能となる。
【００２０】例えば、軟磁性層上に形成した炭素からな
る第１中間層の上部にＰｔ又はＰｄ金属からなる第２中
間層を成長させることによりＰｔ又はＰｄ金属層の結晶
配向を向上させることができ、その上部に成長させたＣ
ｏ／ＰｔやＣｏ／Ｐｄ人工格子層の結晶配向も向上させ
ることができる。そのため人工格子層の磁気異方性が高
くなり高い保磁力を得ることが可能となる。
る第１中間層の上部にＰｔ又はＰｄ金属からなる第２中
間層を成長させることによりＰｔ又はＰｄ金属層の結晶
配向を向上させることができ、その上部に成長させたＣ
ｏ／ＰｔやＣｏ／Ｐｄ人工格子層の結晶配向も向上させ
ることができる。そのため人工格子層の磁気異方性が高
くなり高い保磁力を得ることが可能となる。
【００２１】
【実施例１】外径９５ｍｍ、内径２５ｍｍ、厚み１．２
７ｍｍのアルミニウム合金基板１上に、軟磁性層２とし
て厚さ７μｍのＮｉ80Ｆｅ20（以下、磁性材料層の組成
式は原子％で示す）をめっき法により形成し、その上に
第１中間層３として２．５ｎｍの炭素層、さらにその上
に第２中間層４としてＰｔ金属層をそれぞれ、スパッタ
リング法で形成した。ここでは、Ｐｔ金属層の厚さを１
０，２０，４０ｎｍの３種類（ No.1 〜 3）とした。さ
らに、その各々の上部に記録磁性層５として（Ｃｏ０．
６８ｎｍ／Ｐｔ ０．３８ｎｍ）×２０層の人工格子
層、保護層６として１０ｎｍの炭素層を形成し垂直磁気
記録媒体を作製した。これらの媒体の磁気特性及び記録
再生特性を以下に示す方法によって測定した。その結果
を表１に示す。
７ｍｍのアルミニウム合金基板１上に、軟磁性層２とし
て厚さ７μｍのＮｉ80Ｆｅ20（以下、磁性材料層の組成
式は原子％で示す）をめっき法により形成し、その上に
第１中間層３として２．５ｎｍの炭素層、さらにその上
に第２中間層４としてＰｔ金属層をそれぞれ、スパッタ
リング法で形成した。ここでは、Ｐｔ金属層の厚さを１
０，２０，４０ｎｍの３種類（ No.1 〜 3）とした。さ
らに、その各々の上部に記録磁性層５として（Ｃｏ０．
６８ｎｍ／Ｐｔ ０．３８ｎｍ）×２０層の人工格子
層、保護層６として１０ｎｍの炭素層を形成し垂直磁気
記録媒体を作製した。これらの媒体の磁気特性及び記録
再生特性を以下に示す方法によって測定した。その結果
を表１に示す。
【００２２】
【表１】
【００２３】（磁気特性の測定方法）磁気特性の測定方
法：保磁力をＫｅｒｒ効果測定機（印加磁界１５ｋＯ
ｅ）により測定した。
法：保磁力をＫｅｒｒ効果測定機（印加磁界１５ｋＯ
ｅ）により測定した。
【００２４】（再生出力の測定方法）媒体の再生出力
は、材質ＣｏＺｒＮｂ、トラック幅７μｍ、コイル巻き
数４０の単磁極ヘッドを用いて、媒体にヘッドを接触さ
せながら周速４ｍ／ｓ、記録周波数０．５ＭＨｚで測定
した。
は、材質ＣｏＺｒＮｂ、トラック幅７μｍ、コイル巻き
数４０の単磁極ヘッドを用いて、媒体にヘッドを接触さ
せながら周速４ｍ／ｓ、記録周波数０．５ＭＨｚで測定
した。
【００２５】（比較例１）外径９５ｍｍ、内径２５ｍ
ｍ、厚み１．２７ｍｍのアルミニウム合金基板１上に、
軟磁性層２として厚さ７μｍのＮｉ80Ｆｅ20（以下、磁
性材料層の組成式は原子％で示す）をめっき法により形
成し、第１中間層３の炭素層を形成せずに第２中間層４
を形成し、この時のＰｔ金属層の厚さは実施例１と同様
（ No.01〜No.03 ) としたものに、さらにその各々の上
部に記録磁性層５として（Ｃｏ０．６８ｎｍ／Ｐｔ
０．３８ｎｍ）×２０層の人工格子層、保護層６として
１０ｎｍの炭素層を形成し垂直磁気記録媒体を作製し
た。これらの媒体の磁気特性と記録再生特性を実施例と
同様の方法で測定し、表１に示した。また、第１中間層
の炭素層を２．５ｎｍ形成しただけで第２中間層を形成
せずに直接、上記と同じように２０層の人工格子層を形
成させて垂直磁気記録媒体を作製したが、保磁力、再生
出力とも良好なものは得られなかった。
ｍ、厚み１．２７ｍｍのアルミニウム合金基板１上に、
軟磁性層２として厚さ７μｍのＮｉ80Ｆｅ20（以下、磁
性材料層の組成式は原子％で示す）をめっき法により形
成し、第１中間層３の炭素層を形成せずに第２中間層４
を形成し、この時のＰｔ金属層の厚さは実施例１と同様
（ No.01〜No.03 ) としたものに、さらにその各々の上
部に記録磁性層５として（Ｃｏ０．６８ｎｍ／Ｐｔ
０．３８ｎｍ）×２０層の人工格子層、保護層６として
１０ｎｍの炭素層を形成し垂直磁気記録媒体を作製し
た。これらの媒体の磁気特性と記録再生特性を実施例と
同様の方法で測定し、表１に示した。また、第１中間層
の炭素層を２．５ｎｍ形成しただけで第２中間層を形成
せずに直接、上記と同じように２０層の人工格子層を形
成させて垂直磁気記録媒体を作製したが、保磁力、再生
出力とも良好なものは得られなかった。
【００２６】第１中間層の炭素層が２．５ｎｍの形成さ
れたいる実施例１の媒体は、比較例１の第１中間層の炭
素層がない媒体に比べて、それぞれ対応する第２中間層
であるＰｔ金属層の厚さに対して、保磁力が高くなって
いることがわかる。従って同じ保磁力を得る場合、実施
例１の媒体構成をとれば比較例１よりも第２中間層のＰ
ｔ金属層を薄くすることができる。
れたいる実施例１の媒体は、比較例１の第１中間層の炭
素層がない媒体に比べて、それぞれ対応する第２中間層
であるＰｔ金属層の厚さに対して、保磁力が高くなって
いることがわかる。従って同じ保磁力を得る場合、実施
例１の媒体構成をとれば比較例１よりも第２中間層のＰ
ｔ金属層を薄くすることができる。
【００２７】（実施例２及び比較例２）外径９５ｍｍ、
内径２５ｍｍ、厚み１．２７ｍｍのアルミニウム合金基
板１上に、軟磁性層２として厚さ７μｍのＮｉ80Ｆｅ20
（以下、磁性材料層の組成式は原子％で示す）をめっき
法により形成し、その上に第１中間層３として２．５ｎ
ｍの炭素層、さらにその上に第２中間層４としてＰｄ金
属層をそれぞれ、スパッタリング法で形成した。ここで
は、Ｐｄ金属層の厚さを１０，２０，４０ｎｍの３種類
（ No.4 〜 6）とした。さらに、その各々の上部に記録
磁性層５として（Ｃｏ０．６８ｎｍ／Ｐｄ１．１８ｎ
ｍ）×２０層の人工格子層、保護層６として１０ｎｍの
炭素層を形成し垂直磁気記録媒体を作製した。第１中間
層の炭素層を形成しない以外は実施例２の No.4 〜 6と
同様にして、垂直磁気記録媒体（比較例２：No.04 〜0
6）を作製した。これらの媒体の磁気特性及び記録再生
特性を実施例１と同様の方法で測定した。その結果を表
２に示す。
内径２５ｍｍ、厚み１．２７ｍｍのアルミニウム合金基
板１上に、軟磁性層２として厚さ７μｍのＮｉ80Ｆｅ20
（以下、磁性材料層の組成式は原子％で示す）をめっき
法により形成し、その上に第１中間層３として２．５ｎ
ｍの炭素層、さらにその上に第２中間層４としてＰｄ金
属層をそれぞれ、スパッタリング法で形成した。ここで
は、Ｐｄ金属層の厚さを１０，２０，４０ｎｍの３種類
（ No.4 〜 6）とした。さらに、その各々の上部に記録
磁性層５として（Ｃｏ０．６８ｎｍ／Ｐｄ１．１８ｎ
ｍ）×２０層の人工格子層、保護層６として１０ｎｍの
炭素層を形成し垂直磁気記録媒体を作製した。第１中間
層の炭素層を形成しない以外は実施例２の No.4 〜 6と
同様にして、垂直磁気記録媒体（比較例２：No.04 〜0
6）を作製した。これらの媒体の磁気特性及び記録再生
特性を実施例１と同様の方法で測定した。その結果を表
２に示す。
【００２８】
【表２】
【００２９】この結果、実施例２の第２中間層がＰｄ金
属層である場合についても、実施例１の特性と同様に、
第１中間層の炭素層が２．５ｎｍの形成されている実施
例２の媒体は、比較例２の第１中間層の炭素層がない媒
体に比べて、それぞれ対応する第２中間層であるＰｔ金
属層の厚さに対して、保磁力が高くなっていることがわ
かる。従って同じ保磁力を得る場合、実施例１の媒体構
成をとれば比較例１よりも第２中間層のＰｔ金属層を薄
くすることができる。
属層である場合についても、実施例１の特性と同様に、
第１中間層の炭素層が２．５ｎｍの形成されている実施
例２の媒体は、比較例２の第１中間層の炭素層がない媒
体に比べて、それぞれ対応する第２中間層であるＰｔ金
属層の厚さに対して、保磁力が高くなっていることがわ
かる。従って同じ保磁力を得る場合、実施例１の媒体構
成をとれば比較例１よりも第２中間層のＰｔ金属層を薄
くすることができる。
【００３０】（実施例３及び比較例３）外径９５ｍｍ、
内径２５ｍｍ、厚み１．２７ｍｍのアルミニウム合金基
板１上に、軟磁性層２として厚さ７μｍのＮｉ80Ｆｅ20
（以下、磁性材料層の組成式は原子％で示す）をめっき
法により形成し、その上に第１中間層３の炭素層の厚さ
を０ nm （比較例３）、１〜 10nm （実施例３：No. 7
〜 11 ）と変化させ、さらにその上に第２中間層４とし
て２２ｎｍのＰｔ金属層をそれぞれ、スパッタリング法
で形成した。その各々の上部に記録磁性層５として（Ｃ
ｏ０．６８ｎｍ／Ｐｔ ０．３８ｎｍ）×２０層の人工
格子層、保護層６として１０ｎｍの炭素層を形成し垂直
磁気記録媒体を作製した。これらの媒体の磁気特性及び
記録再生特性を実施例１と同様の方法によって測定し
た。その結果を表３に示す。
内径２５ｍｍ、厚み１．２７ｍｍのアルミニウム合金基
板１上に、軟磁性層２として厚さ７μｍのＮｉ80Ｆｅ20
（以下、磁性材料層の組成式は原子％で示す）をめっき
法により形成し、その上に第１中間層３の炭素層の厚さ
を０ nm （比較例３）、１〜 10nm （実施例３：No. 7
〜 11 ）と変化させ、さらにその上に第２中間層４とし
て２２ｎｍのＰｔ金属層をそれぞれ、スパッタリング法
で形成した。その各々の上部に記録磁性層５として（Ｃ
ｏ０．６８ｎｍ／Ｐｔ ０．３８ｎｍ）×２０層の人工
格子層、保護層６として１０ｎｍの炭素層を形成し垂直
磁気記録媒体を作製した。これらの媒体の磁気特性及び
記録再生特性を実施例１と同様の方法によって測定し
た。その結果を表３に示す。
【００３１】
【表３】
【００３２】この結果、第１中間層の炭素層がない場合
に比べ、第１中間層の炭素層がある場合の保磁力、再生
出力は高く、特に第１中間層の炭素層の厚さが１〜５ｎ
ｍのとき保磁力が高く良好であることがわかる。１〜５
ｎｍで垂直磁気記録媒体の再生出力は媒体の保磁力と強
い相関があり、保磁力が高いほど高い再生出力が得られ
る。よって、実施例１の媒体構成をとれば比較例１と同
等の再生出力を得られつつ、記録密度特性に優れた媒体
を得ることが可能となる。
に比べ、第１中間層の炭素層がある場合の保磁力、再生
出力は高く、特に第１中間層の炭素層の厚さが１〜５ｎ
ｍのとき保磁力が高く良好であることがわかる。１〜５
ｎｍで垂直磁気記録媒体の再生出力は媒体の保磁力と強
い相関があり、保磁力が高いほど高い再生出力が得られ
る。よって、実施例１の媒体構成をとれば比較例１と同
等の再生出力を得られつつ、記録密度特性に優れた媒体
を得ることが可能となる。
【００３３】
【発明の効果】本発明によれば、軟磁性層の上に、第１
中間層として炭素層を形成し、さらにその上にＰｔ、Ｐ
ｄなどの金属層を第２中間層として形成することによ
り、高い保磁力を有し、再生出力の高い高密度記録に適
した垂直磁気記録媒体を得ることができる。
中間層として炭素層を形成し、さらにその上にＰｔ、Ｐ
ｄなどの金属層を第２中間層として形成することによ
り、高い保磁力を有し、再生出力の高い高密度記録に適
した垂直磁気記録媒体を得ることができる。
【図１】本発明の一例を示す垂直磁気記録媒体の断面図
を示す。
を示す。
１：非磁性基板 ２：軟磁性層 ３：第１中間層 ４：第２中間層 ５：記録磁性層 ６：保護層
フロントページの続き (72)発明者 小沢 道秀 群馬県渋川市中村1135番地 電気化学工業 株式会社渋川工場内
Claims (3)
- 【請求項１】 非磁性基板上に軟磁性層、第１中間層、
第２中間層及び垂直磁気異方性を有する人工格子構造を
持つ記録磁性層を積層してなる垂直磁気記録媒体であっ
て、前記第１中間層が炭素であるこを特徴とする垂直磁
気記録媒体。 - 【請求項２】 記録磁性層がＣｏ／Ｐｔ人工格子層であ
り、第２中間層がＰｔ金属層である請求項１記載の垂直
磁気記録媒体。 - 【請求項３】 記録磁性層がＣｏ／Ｐｄ人工格子層であ
り、第２中間層がＰｄ金属層である請求項１記載の垂直
磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16530894A JPH0830951A (ja) | 1994-07-18 | 1994-07-18 | 垂直磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16530894A JPH0830951A (ja) | 1994-07-18 | 1994-07-18 | 垂直磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0830951A true JPH0830951A (ja) | 1996-02-02 |
Family
ID=15809872
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16530894A Withdrawn JPH0830951A (ja) | 1994-07-18 | 1994-07-18 | 垂直磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0830951A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002157730A (ja) * | 2000-09-11 | 2002-05-31 | Univ Waseda | 磁気記録媒体、その製造方法、および磁気記録再生装置 |
| WO2002054390A1 (en) * | 2000-12-28 | 2002-07-11 | Hitachi Maxell, Ltd. | Magnetic recording medium and its manufacturing method, and magnetic storage device |
| WO2003042984A1 (en) * | 2001-11-16 | 2003-05-22 | Hitachi Maxell, Ltd. | Magnetic recording medium, its manufacturing method, and magnetic storage |
| KR20030067030A (ko) * | 2002-02-06 | 2003-08-14 | 엘지전자 주식회사 | 광자기 기록매체 |
| US6893746B1 (en) | 1999-10-29 | 2005-05-17 | Hitachi Maxell, Ltd. | Magnetic recording medium with high thermal stability, method for producing the same, and magnetic recording apparatus |
| US6972157B2 (en) | 2002-03-26 | 2005-12-06 | Waseda University | Magnetic recording medium, production process thereof, and magnetic recording and reproducing apparatus |
| US7029772B2 (en) | 2000-09-11 | 2006-04-18 | Showa Denko Kabushiki Kaisha | Magnetic recording medium, production process thereof, and magnetic recording and reproducing apparatus |
| US7229707B2 (en) | 2002-10-01 | 2007-06-12 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Magnetic recording medium |
| JP2008021365A (ja) * | 2006-07-12 | 2008-01-31 | Hitachi Maxell Ltd | 情報記録媒体及びその製造方法、並びに情報記録再生装置 |
-
1994
- 1994-07-18 JP JP16530894A patent/JPH0830951A/ja not_active Withdrawn
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6893746B1 (en) | 1999-10-29 | 2005-05-17 | Hitachi Maxell, Ltd. | Magnetic recording medium with high thermal stability, method for producing the same, and magnetic recording apparatus |
| JP2002157730A (ja) * | 2000-09-11 | 2002-05-31 | Univ Waseda | 磁気記録媒体、その製造方法、および磁気記録再生装置 |
| US7029772B2 (en) | 2000-09-11 | 2006-04-18 | Showa Denko Kabushiki Kaisha | Magnetic recording medium, production process thereof, and magnetic recording and reproducing apparatus |
| WO2002054390A1 (en) * | 2000-12-28 | 2002-07-11 | Hitachi Maxell, Ltd. | Magnetic recording medium and its manufacturing method, and magnetic storage device |
| US6602621B2 (en) | 2000-12-28 | 2003-08-05 | Hitachi Maxell, Ltd. | Magnetic recording medium, method for producing the same, and magnetic storage apparatus |
| US6815098B2 (en) | 2000-12-28 | 2004-11-09 | Hitachi Maxell, Ltd. | Magnetic recording medium, method for producing the same, and magnetic storage apparatus |
| WO2003042984A1 (en) * | 2001-11-16 | 2003-05-22 | Hitachi Maxell, Ltd. | Magnetic recording medium, its manufacturing method, and magnetic storage |
| US6846582B2 (en) | 2001-11-16 | 2005-01-25 | Hitachi Maxell, Ltd. | Magnetic recording medium, method for producing the same, and magnetic storage apparatus |
| KR20030067030A (ko) * | 2002-02-06 | 2003-08-14 | 엘지전자 주식회사 | 광자기 기록매체 |
| US6972157B2 (en) | 2002-03-26 | 2005-12-06 | Waseda University | Magnetic recording medium, production process thereof, and magnetic recording and reproducing apparatus |
| US7229707B2 (en) | 2002-10-01 | 2007-06-12 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Magnetic recording medium |
| JP2008021365A (ja) * | 2006-07-12 | 2008-01-31 | Hitachi Maxell Ltd | 情報記録媒体及びその製造方法、並びに情報記録再生装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20011002 |