JPH08311533A - 真空脱ガス装置排気系ダスト除去方法およびその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 真空脱ガス処理の真空排気系において排気ガ
ス中の多量のダストを確実に捕集除去でき、真空脱ガス
処理中においても連続的に捕集除去でき、安定した真空
脱ガス操業を可能とし、最新の昇温精錬技術等の実施お
よび真空ポンプの採用も可能とする。 【構成】 真空脱ガス装置１の真空排気系における減圧
用多段ブースター２１および／またはエジェクター２２
の前部あるいは後部、および／または真空ポンプ装置３
１の前部において、真空または減圧下での真空脱ガス処
理により発生する排気ガス中のダストを網目状フィルタ
ー３４で捕集し、この捕集されたダストを、真空脱ガス
処理中、あるいは非脱ガス処理中に、洗浄水スプレー装
置３５で水洗浄することにより、網目状フィルター３４
から除去し、洗浄水およびダストをシール槽２５へ排出
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、溶融金属の精錬に用
いられる真空脱ガス設備の真空発生装置（エジェクター
や真空ポンプなど）および排気ダクト内壁へのダスト付
着を防止する真空脱ガス装置排気系ダスト除去方法およ
びその装置に関するものであり、特にダクト内を流れる
排ガス中のダストが増加傾向（昇温精錬など）にある最
近の真空脱ガス処理設備の排ガス中ダストを効率的に捕
集し、連続的に排出する場合に有効な方法およびその装
置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、高炉からの溶融銑鉄を精錬する
転炉あるいは原料を溶解する電気炉で得られた溶鋼は、
酸素，窒素，水素などのガス成分により汚染を受けてい
るため、溶鋼を取鍋に移して鋳型まで搬送する途中で、
この取鍋内の溶鋼に対して脱ガス処理等の二次精錬（炉
外精錬）を行っている。この脱ガス処理は、真空槽内に
取鍋内の溶鋼を吸い上げて真空に晒すことにより脱ガス
する方法であり、通常は還流式のＲＨ真空脱ガス処理法
が採用されている。

【０００３】図３に示すのは、従来既設のＲＨ真空脱ガ
ス装置と真空排気系からなる真空脱ガス処理設備の例で
あり、ＲＨ真空脱ガス装置１においては、取鍋２を昇降
駆動装置により上昇させることにより、２本の浸漬管３
を取鍋内の溶鋼に浸漬させ、真空により溶鋼を真空脱ガ
ス槽４内に吸い上げ、同時に真空槽内の真空度に応じて
取鍋２を上昇させる。次いで、上昇管内部あるいは下方
にＡｒガス等の還流ガスを吹き込み、エアリフトポンプ
の原理で溶鋼を真空槽内に吸い上げ、下降管で取鍋内に
下降させることにより、溶鋼を真空脱ガス槽４と取鍋２
との間で還流させている。

【０００４】真空脱ガス槽４の上部には、成分調整用の
合金鉄投入装置５，監視用のＩＴＶ６、脱炭等のために
酸素等を吹き込むトップランス，排気口７などが設けら
れ、排気口７は、水平な排気ダクト８，ガスクーラー
９，遮断弁ボックス１０，垂直な排気ダクト１１を介し
て真空排気機構へと連通している。

【０００５】真空排気機構は、上流側から順に、スチー
ムエジェクターが多段に配列された減圧用多段ブースタ
ー２１と、複数個のスチームエジェクター２２と、これ
らの下流側にそれぞれ設置されるコンデンサー２３とか
らなる。なお、No.1コンデンサー２３_-1とアフターコン
デンサ−２３_-4と間には、スタートエジェクター２２_-0
が設けられ、アフターコンデンサ−２３_-4内の清浄ガス
は、ドレンセパレーター２４を介して大気解放される。
また、各コンデンサー２３・ドレンセパレータ２４の下
部は、シール槽（集水ピット，ホットウェルピット）２
５に連通している。

【０００６】このような真空脱ガス処理設備において、
真空脱ガス槽４からの排ガスに含まれるダストは、一
部、乾式のガスクーラー９・遮断弁ボックス１０で集塵
されるが、ここで集塵されなかった排ガス中の残ダスト
は真空排気機構に流入し、真空発生装置の各エジェクタ
ーやダクトの内壁に付着し、機能を低下させるなどの問
題が生じている。

【０００７】従来においては、真空脱ガス処理設備にお
ける種々のダスト除去方法が開発されている。真空脱ガ
ス装置１と乾式のガスクーラー９・遮断弁ボックス１０
との間における排気口・排気ダクトに関しては、特開平
１−２７９７０８号公報，特開平６−２０７７８９号公
報，特開平６−２２０５２２号公報などに記載されてい
る排気口ダストの除去方法あるいは排気ダクト内ダスト
付着防止方法などがある。一方、乾式のガスクーラー９
・遮断弁ボックス１０の下流側に位置する真空排気機構
におけるダスト付着防止，ダスト除去方法としては、次
のような方法・装置が提案されている。

【０００８】 実開昭６３−５０８６５号公報 図３の減圧用多段ブースター２１の各エジェクターノズ
ルの下部近傍に洗浄水ノズルを配設し、非脱ガス処理中
に、この洗浄水ノズルにより多段ブースター内に堆積し
たダストを押し流し、さらにコンデンサー２３の入口側
および出口側に水膜スプレーノズルを複数配設し、脱ガ
ス処理中に、この水膜スプレーノズルによりコンデンサ
ー横断面に水膜を形成し、この水膜によってダストを遮
断している。

【０００９】 特開平６−１５８１８８号公報 図３の減圧用多段ブースター２１および／またはエジェ
クター２２における水蒸気を噴出するノズルへの水蒸気
流供給回路に不活性ガス供給回路を連結し、排気系の運
転停止により系内が大気圧に復帰する際、駆動蒸気供給
停止直後にエジェクターノズルに不活性ガスを供給し、
ノズル内を先行復圧させて逆流を阻止し、数秒遅れて別
の場所から不活性ガスを供給して復圧させ、逆流排気ガ
スによるダストがエジェクターノズルの内壁に付着する
のを防止している。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た従来の真空排気系における排気ガス中の残ダストを除
去する方法では、次のような問題点がある。

【００１１】(1) 排ガス中のダスト捕集が不十分であ
り、真空発生装置の機能・性能を維持できない。即ち、
減圧下での操業が長く、かつ高度な精錬を実施する最近
の真空脱ガス処理（真空脱ガス槽内脱炭精錬，溶鋼昇温
精錬など）では、ダストの増加が著しくなっており、従
来技術のスプレー水膜ではダストが通り抜けてしま
い、その効果が半減している。また、これらスプレー水
膜は、ダストの多いダクト内に設置されており、スプレ
ーノズルが目詰まりを発生し、その機能を十分に発揮し
ていないのが実態である。なお、従来技術のエジェク
ターノズル内に不活性ガスを供給する方法では、エジェ
クターノズルの目詰まりを防止することができるもの
の、ダストを捕集するものではないため、真空排気機構
において増大するダストを除去することはできない。

【００１２】(2) 従来技術では、真空排気系におけるダ
スト除去が十分でないため、真空発生装置として真空ポ
ンプを採用した場合、この真空ポンプを安定して稼働さ
せ、長寿命に維持することができない。最近では、真空
発生装置の下流側に設置する複数段のエジェクターに代
えて、設備投資およびランニングコストの安価な真空ポ
ンプを採用することが増加しており、このような真空ポ
ンプの採用には、排ガス中のダスト量を減少させること
が必須となっている。

【００１３】この発明は、前述のような問題点を解消す
べくなされたもので、その目的は、真空排気系における
排気ガス中の多量のダストを確実に捕集除去することが
できると共に、真空脱ガス処理中においても連続的に捕
集除去することができ、安定した真空脱ガス操業が可能
で、最新の昇温精錬技術等の実施および真空ポンプの採
用も可能となる真空脱ガス装置排気系ダスト除去方法お
よびその装置を提供することにある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】この発明は、真空脱ガス
槽に接続された真空排気系の排気ガス中のダストを除去
する方法において、真空排気系の減圧用ブースターおよ
び／またはエジェクターの前部あるいは後部、および／
または真空ポンプ装置の前部において、真空または減圧
下での真空脱ガス処理により発生する排気ガス中のダス
トを網目状フィルターで捕集し、この捕集されたダスト
を、真空脱ガス処理中、あるいは非脱ガス処理中に水洗
浄することにより、前記網目状フィルターから除去し、
洗浄水およびダストをシール槽へ排出することを特徴と
する。

【００１５】このようなダスト除去方法を実施する装置
は、真空脱ガス槽に接続された真空排気系の排気ガス中
のダストを除去する装置において、真空排気系の排気ダ
クトの流路を覆い、排気ガス中のダストを捕集し得る網
目状フィルターと、この網目状フィルターの排気ガス下
流側に洗浄水を噴射して網目状フィルターに付着したダ
ストを洗い流す洗浄水スプレー装置と、洗浄水およびダ
ストをシール槽へ排出する集塵排水装置とから構成す
る。

【００１６】網目状フィルターは、防錆処理された金属
製や、合成樹脂製などでよいが、錆が発生せず、表面が
滑らかで付着ダストを容易に洗い落とせる点で、ステン
レス鋼製とするのが好ましい。また、網目状フィルター
の網目の粗さは、付着ダストの洗い落としと、ダストの
捕集の点から、♯２０〜♯８０メッシュ程度（好ましく
は♯４０〜♯８０メッシュ）がよい。

【００１７】洗浄水スプレー装置の洗浄水供給管には、
給水弁を設置し、集塵排水装置の排水管には、必要に応
じて排水弁を設置する。この給水弁あるいは排水弁を操
作することにより、減圧下（真空を含む）での真空脱ガ
ス処理中にダスト洗浄排出を連続的に行い、あるいは１
回の精錬処理が完了する毎に、大気圧下でバッチ式でダ
スト洗浄排出を行う。さらに、精錬処理システムにより
給水弁あるいは排水弁を遠隔操作し、ダスト量に応じて
ダスト洗浄排出を適宜行うようにする。なお、排水管の
下端が接続されるシール槽には、既存設備であるコンデ
ンサーのシールポットあるいはホットウェルピットを使
用することができる。

【００１８】

【作用】以上のような構成において、減圧下（真空を含
む）での真空脱ガス処理中に、排気ガス中のダストが網
目状フィルターに捕捉され、次いで真空脱ガス処理中あ
るいは非脱ガス処理中に、洗浄水スプレー装置から網目
状フィルターの外面に洗浄水が吹き付けられ、網目状フ
ィルターに付着したダストが洗い落とされる。洗浄除去
後の洗浄水およびダストは、集塵排水装置によりコンデ
ンサー集水ピットなどのシール槽に排出される。

【００１９】網目状フィルターおよび洗浄水スプレー装
置を備えた排気系ダスト除去装置は、真空排気機構のコ
ンデンサーの前部，エジェクターの後部，あるいは真空
ポンプの前部に設置するのが、最も効率が良い。即ち、
真空脱ガス処理設備の集塵装置機能は、真空脱ガス槽・
ガスクーラー・遮断弁ボックスでは乾式であり、減圧用
多段ブースター・コンデンサー・エジェクターでは湿式
であるため、減圧用多段ブースターの下流側に位置する
前記部分では、この部分を流れるダストは湿度１００％
状態のダストで、ダクト内壁や真空発生装置に非常に付
着しやすい性質となっており、この状態で表面積の大き
い網目状フィルターを通すと、ダストが容易にフィルタ
ーに付着し、大部分のダストを捕集することができる。

【００２０】さらに、ダストを洗浄した後は、網目状フ
ィルターは湿っており、ダストが付着しやすい状態とな
っている。従って、減圧用多段ブースターの前部の乾い
たダストでも容易に付着するため、ここに排気系ダスト
除去装置を設置しても、効果がある。

【００２１】このような網目状フィルターに付着したダ
ストは、網目状フィルターの表面が湿って滑りやすいこ
とと、ダスト自体が一部を除いて湿度１００％状態であ
るため、２次側の外面から洗浄水を噴射させることによ
り、１次側の内面から付着したダストを容易に洗浄除去
することができる。そして、これにより新しい網目状態
となり、再びダスト付着が可能となる。なお、網目状フ
ィルターをステンレス鋼から形成することにより、腐食
・錆が発生することがなく、また表面が滑りやすいこと
からフィルターに付着したダストを容易に洗浄除去でき
る。

【００２２】洗浄水スプレー装置の供給管に給水弁を設
け、洗浄水およびダストをシール槽に排出することによ
り、真空を含む減圧下での真空脱ガス処理中でも連続的
に洗浄水による除去が可能であり、また必要ならば、大
気圧に戻したタイミングでも除去が可能であり、多様な
使い方を行える。

【００２３】洗浄水およびダストの排水出口は、水柱高
さで１０．５ｍ（１気圧は１０．３ｍ）以上とすれば、
また排水管径を給水管径より大とすることで、洗浄水お
よびダストのみが排水管を通ってシール槽に沈降してい
くことはいうまでもない。従って、この高さがとれる部
位に排気系ダスト除去装置を設置できるときには、排水
側の排水弁は不要となる。真空脱ガス処理設備の真空排
ガス系は、一般的に１２〜１５ｍの高さ位置にあり、最
下部にはコンデンサー集水ピット（シールポットまたは
ホットウェルポット）等が配置されており、ダスト濃度
の高い排水は、このピットに流し込むだけでよい。特別
な水処理設備は不要となる。

【００２４】なお、コンデンサーの前部に、網目状フィ
ルターおよび洗浄水スプレー装置を備えた排気系ダスト
除去装置を設置する場合には、集塵排水装置はコンデン
サーの集塵排水装置を利用できる。

【００２５】

【実施例】以下、この発明を図示する一実施例に基づい
て詳細に説明する。これは、転炉からの溶鋼をＲＨ真空
脱ガス処理する場合に適用した例であり、図１にこの発
明に係るＲＨ真空脱ガス処理設備の一例を示し、図２に
この発明に係るダスト捕集装置の一例を示す。

【００２６】図１に示すように、本発明の実施例におい
ては、真空排気機構における真空発生装置の下流側の一
部に真空ポンプを用いており、従来のスタートエジェク
ター２２_-0・No.2スチームエジェクター２２_-2・No.3ス
チームエジェクター２２_-3・No.3コンデンサー２３_-3・
アフターコンデンサ−２３_-4を無くし、代わりに真空ポ
ンプ３０を複数並列配置した真空ポンプ装置３１を設け
ている。その他の構成は従来と同様である。なお、ここ
で、集塵機能は真空脱ガス槽４・ガスクーラー９・遮断
弁ボックス１０では乾式であり、減圧用多段ブースター
２１・コンデンサー２３・エジェクター２２では湿式で
ある。

【００２７】このような真空排気機構において、No.2コ
ンデンサー２３_-2と真空ポンプ装置３１との間に、ダス
ト捕集装置３２を新設する。このダスト捕集装置３２
は、図２に示すように、主に、排気ダクト２６の途中に
挿入される集塵容器３３と、上流側の排気ダクト２６の
流入口を覆うように集塵容器内に設置される網目状フィ
ルター３４と、このフィルター３４に付着したダストを
洗浄する洗浄水スプレー装置３５と、洗浄水等を排出す
る集塵排水装置３６から構成されている。

【００２８】網目状フィルター３４は、排気ダクト２６
内を流れる排気ガス中のダストを捕集するフィルターで
あり、そのダストの効率的な捕集のため、そのフィルタ
ー中心軸線が排気ダクト２６の中心軸線上に位置し、か
つダストがフィルターと接触する面積を最大にすべく円
筒形（あるいは直方体など）としている。また、網目状
フィルター３４の材質はステンレス鋼製であり、網目の
粗さは♯２０メッシュ（線径間ｇ＝７６０μｍ）〜♯８
０メッシュ（ｇ＝２００μｍ）としている（図２（ｂ）
参照）。

【００２９】また、このような網目状フィルター３４
は、集塵容器３３の内面に交換可能に取付け、一定期間
使用後は定期的に交換できるようにする。なお、フィル
ターの形状は、前述した形状に限らず、平形フィルター
とし、これを複数段設置することで、捕集効率を更に高
効率とすることもできる。さらに、コストを低減するた
めに、一般に使用されている市販品Ｙ型ストレーナーの
エレメントを使用することもできる。

【００３０】洗浄水スプレー装置３５は、洗浄水供給管
４０と、遠隔操作で開閉する電動給水弁４１と、多数の
ノズル４２ａを備えたノズルヘッダー４２から構成され
る。

【００３１】洗浄水供給管４０には、図示しないタンク
からポンプにより低圧（０．９８ＭＰａ〔１０kgf/c
m² 〕以下）の洗浄水が供給される。ノズルヘッダー４
２は、網目状フィルター３４を２次側（排気ガス下流
側）から散水洗浄すべく集塵容器３３内に配置される。
ノズルヘッダー４２のノズル４２ａは、網目状フィルタ
ー３４の外側面および先端面を指向するようにする。こ
の実施例では、網目状フィルター３４の上部・下部・側
部・先端部の全方向から散水洗浄できるようにした。

【００３２】集塵排水装置３６は、集塵容器３３の下部
とシール槽２５を連結する排水管５０と、必要に応じて
配設される遠隔操作で開閉する電動排水弁５１からな
る。この実施例では、集塵容器３３の下部出口が水柱高
さ１３ｍ（大気圧：水柱１０．３ｍ）のところにあるた
め、電動排水弁５１は設けなかった。排水管５０の径は
洗浄水供給管４０の径の１．５倍とした。シール槽２５
には、コンデンサー２３の集塵排水装置が接続されてい
る既存の集水ピットを使用する。

【００３３】以上のような構成において、精錬処理シス
テムの制御装置により電動給水弁４１（あるいは電動排
水弁５１）を操作して、真空脱ガス処理中に連続してダ
スト洗浄除去を行い、あるいはダスト付着量に応じて適
宜にダスト洗浄除去を行う。

【００３４】また、１回の精錬処理が完了する毎に、バ
ッチ式にダスト洗浄除去を行うこともできる。洗浄後の
洗浄水およびダストは、大気圧以上の水柱により排水管
５０を沈降してゆき、シール槽２５に連続的に排出され
る。

【００３５】以上は真空ポンプ装置３１の排気ガス上流
側の前部にダスト捕集装置３２を設置した例であるが、
図１に示すように、No.1コンデンサー２３_-1，No.2コン
デンサー２３_-2，あるいは減圧用多段ブースター２１
（この場合、捕集ダストは乾燥状態）の前部に設置して
もよい。この場合には、ダクト内に網目状フィルター３
４と、洗浄水スプレー装置３５のノズルヘッダー４２を
配置すればよい。また、No.1コンデンサー２３_-1，No.2
コンデンサー２３_-2の場合には、集塵排水装置３６を設
けることなく、コンデンサー下部に既設の集塵排水装置
を利用できる。なお、以上を単独で配置して使用しても
良いし、いくつかを組み合わせて使用してもよい。最も
効果の上がったのは、真空ポンプ装置３１の前部とNo.1
コンデンサー２３_-1の前部であった。

【００３６】図１に示す真空脱ガス処理設備において、
表１に示すような集塵装置・ダスト捕集装置の構成・条
件で集塵とダスト排出を行う。

【００３７】

【表１】

【００３８】図４に示すのは、コンデンサー２３で捕集
したダストの粒度分布を示すグラフである。このグラフ
から多段ブースター２１・コンデンサー２３・真空ポン
プ装置３１の前部近辺で捕集すべきダストは、粒度が小
さいが、量が多いのが特徴であり、このダストが各エジ
ェクター・ダクト内壁・ポンプ羽根等に付着して機能を
劣化させることになる。

【００３９】このような粒度（０．１μｍ〜３０μｍ：
中央値＝８．５μｍ）のダストに対して、フィルター３
４の網目を♯２０〜♯８０メッシュ（７６０μｍ〜２０
０μｍ）を使用することにより、またステンレス鋼とす
ることによりフィルター表面が滑り易いことが相まっ
て、洗浄水を流せば、フィルター線に付着したダストＤ
は全て洗い流すことができる（図２（ｂ）参照）。さら
に、ダストＤが洗い流されて新しくなった網目は、湿っ
ており、湿度１００％状態のダスト，乾いたダストと
も、非常に付着しやすくなり、ダストを確実に捕集する
ことができる。

【００４０】なお、以上は真空発生装置の一部に真空ポ
ンプを採用した実施例について説明したが、従来一般の
真空発生装置の下流側が複数段のエジェクターからなる
場合にも本発明を適用できることはいうまでもない。ま
た、以上は転炉からの溶鋼の真空脱ガス処理について説
明したが、電気炉等からの溶鋼やその他の溶融金属の真
空脱ガス処理にも本発明を適用できることはいうまでも
ない。

【００４１】

【発明の効果】この発明は、真空脱ガス処理設備の真空
排気系において、エジェクターなどの真空発生装置の手
前で排気ガス中のダストを網目状フィルターで捕集し、
捕集されたダストを真空脱ガス処理中あるいは非脱ガス
処理中に水洗浄により洗い流し、洗浄水およびダストを
シール槽へ排出するようにしたため、次のような効果を
奏する。

【００４２】(1) 真空脱ガス処理設備の真空排気系にお
ける多量のダストを確実に十分に捕集除去することがで
き、真空発生装置のエジェクター，ダクト内壁あるいは
ポンプ羽根等にダストが付着して真空発生装置の機能・
性能が劣化するのを防止することができ、安定した真空
脱ガス操業を行うことができる。

【００４３】(2) 精錬時のダスト量が増加しても対応す
ることができ、最新の精錬技術である真空脱ガス槽内脱
炭精錬，溶鋼昇温精錬等が可能となる。

【００４４】(3) 従来から実施している停機時の人力に
よる排気ダクト内壁や真空発生装置に付着堆積したダス
トの清掃作業が不要となり、あるいは大幅に減少し、コ
ストダウンを図れる。

【００４５】(4) 真空発生装置として真空ポンプを採用
することが可能となり、設備投資およびランニングコス
トを低減することができる。

【００４６】(5) 以上により、二次精錬（真空脱ガス精
錬）のコストを大幅に削減することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明に係る真空脱ガス処理設備の一例を示
す全体概略図である。

【図２】（ａ）はこの発明に係るダスト捕集装置の一例
を示す部分断面図、（ｂ）はその網目状フィルターの拡
大図である。

【図３】従来の真空脱ガス処理設備を示す全体概略図で
ある。

【図４】真空脱ガス処理設備の真空排気機構におけるコ
ンデンサー部で捕集したダストの粒度分布を示すグラフ
である。

【符号の説明】

Ｄ…ダスト １…ＲＨ真空脱ガス装置 ２…取鍋 ３…浸漬管 ４…真空脱ガス槽 ７…排気口 ８…水平排気ダクト ９…ガスクーラ １０…遮断弁ボックス １１…垂直排気ダクト ２１…減圧用多段ブースター ２２…スチームエジェクター ２３…コンデンサー ２４…ドレンセパレーター ２５…シール槽 ２６…排気ダクト ３０…真空ポンプ ３１…真空ポンプ装置 ３２…ダスト捕集装置 ３３…集塵容器 ３４…網目状フィルター ３５…洗浄水スプレー装置 ３６…集塵排水装置 ４０…洗浄水供給管 ４１…電動給水弁 ４２…ノズルヘッダー ５０…排水管 ５１…電動排水弁

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空脱ガス槽に接続された真空排気系の
   排気ガス中のダストを除去する方法において、 真空排気系の減圧用ブースターおよび／またはエジェク
   ターの前部あるいは後部、および／または真空ポンプ装
   置の前部において、真空または減圧下での真空脱ガス処
   理により発生する排気ガス中のダストを網目状フィルタ
   ーで捕集し、この捕集されたダストを、真空脱ガス処理
   中、あるいは非脱ガス処理中に水洗浄することにより、
   前記網目状フィルターから除去し、洗浄水およびダスト
   をシール槽へ排出することを特徴とする真空脱ガス装置
   排気系ダスト除去方法。
2. 【請求項２】 真空脱ガス槽に接続された真空排気系の
   排気ガス中のダストを除去する装置において、 真空排気系の排気ダクトの流路を覆い、排気ガス中のダ
   ストを捕集し得る網目状フィルターと、この網目状フィ
   ルターの排気ガス下流側に洗浄水を噴射して網目状フィ
   ルターに付着したダストを洗い流す洗浄水スプレー装置
   と、洗浄水およびダストをシール槽へ排出する集塵排水
   装置とを備えていることを特徴とする真空脱ガス装置排
   気系ダスト除去装置。