JPH08312600A - 真空ポンプ装置 - Google Patents

真空ポンプ装置

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JPH08312600A
JPH08312600A JP14121495A JP14121495A JPH08312600A JP H08312600 A JPH08312600 A JP H08312600A JP 14121495 A JP14121495 A JP 14121495A JP 14121495 A JP14121495 A JP 14121495A JP H08312600 A JPH08312600 A JP H08312600A
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gas
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 エゼクタの吸引効率と循環ポンプのポンプ効
率を高く維持することのできる真空ポンプ装置を得るこ
と。 【構成】 タンク１の上部にエゼクタ２を取り付ける。
タンク１内にディフュ―ザ６の下端部７を開口する。デ
ィフュ―ザ６の外周に隔壁部材４，５を配置する。ディ
フュ―ザ６の下方に衝突板８を取り付ける。タンク１下
部の開口１１と循環ポンプ３を接続し、循環ポンプ３の
吐出口１２とエゼクタ２を接続する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、エゼクタとタンクと循
環ポンプを組み合わせた真空ポンプ装置に関し、特に、
エゼクタの吸引効率を高めると共に、循環ポンプのポン
プ効率も高く維持することのできるものに関する。エゼ
クタを用いた組み合わせ真空ポンプは、エゼクタ内のノ
ズルに水等の駆動流体を循環ポンプで噴出させて、その
流体の速度エネルギによりエゼクタに吸引力を発生し、
ガスや蒸気等の流体をエゼクタに吸引するもので、排ガ
スの吸引排除や、蒸気の回収等各種の真空源として用い
られている。
【０００２】
【従来の技術】従来の真空ポンプ装置としては、例えば
特公昭５７−３２２４０号公報に示されているようなも
のが用いられていた。これは、エゼクタのディフュ―ザ
と循環ポンプとしての渦巻きポンプの吸引口とを開放タ
ンクを介して連通して、該開放タンクへ冷却水を供給す
る冷却水供給通路と制御弁を設けたもので、エゼクタを
通過する循環流体の温度を制御してエゼクタでの真空吸
引力を所定値に維持することができるものである。
【０００３】
【本発明が解決しようとする課題】上記従来の真空ポン
プ装置では、エゼクタを通過する循環流体の量によって
は充分な吸引力を得られない問題があった。これは、タ
ンク内においてエゼクタとディフュ―ザを鉛直方向の下
から上向きに設置しているためであり、特に循環流量が
少ない場合は、エゼクタのノズルから吐出される流体が
重力の影響を受けやすくなって吸引した流体により吐出
流が乱され、充分な吸引力を生じなくなってしまうため
である。
【０００４】また、エゼクタとディフュ―ザを鉛直方向
の上から下向きに設置すれば、重力の影響による吸引力
の低下は防止することができるが、エゼクタが多量の空
気等の気体を吸引した場合に、循環ポンプがその気体を
吸入してポンプ効率が低下してしまう恐れがある。
【０００５】従って本発明の技術的課題は、気体の吸引
によるポンプ効率の低下を生じることがないと共に、充
分なエゼクタの吸引力を得ることである。
【０００６】
【課題を解決する為の手段】本発明の真空ポンプ装置の
構成は次の通りである。少なくともエゼクタの一部また
はディフュ―ザの一部をタンク内に配置して、該タンク
とエゼクタを循環ポンプを介して接続したものにおい
て、エゼクタを鉛直方向の上から下方向に配置し、ディ
フュ―ザの外周に隔壁部材を配置すると共に、ディフュ
―ザの出口部の下方に流体の衝突する衝突部を取り付け
たものである。
【０００７】
【作用】エゼクタを鉛直方向の上から下方向に配置した
ことにより、循環流体が重力の影響を受けて吐出流が乱
されることがなくなって、エゼクタの吸引力が低下する
ことがない。
【０００８】ディフュ―ザの外周に隔壁部材を配置する
と共に、出口部の下方に衝突部を取り付けたことによ
り、ディフュ―ザを出た流体はまず衝突部に衝突し質量
の差異によって気体と液体が分離する。気体は軽いため
に外周の隔壁部材の内部に溜り、液体は下部に落ちる。
すなわち、隔壁部材の内と外へ気液が分離される。隔壁
部材の内側の気体を外部に排出し、下部に溜った液体だ
けを循環ポンプで吸引することにより、ポンプ効率が低
下することはない。
【０００９】
【実施例】図示の実施例を詳細に説明する。図１に真空
ポンプ装置の全体構成図を示す。タンク１とエゼクタ２
と、タンク１とエゼクタ２の間に配置した循環ポンプ３
とで真空ポンプ装置を構成する。タンク１の上部にエゼ
クタ２を取り付け、タンク１内にディフュ―ザ６の下端
部７を開口して形成する。ディフュ―ザ６の外周に隔壁
部材４，５を配置すると共に、ディフュ―ザ６の下端部
７の下方に衝突部としての衝突板８を取り付ける。隔壁
部材４，５は、ディフュ―ザ６と同心円上に配置し、隔
壁部材４の上端をタンク１の上板内面に溶接して取り付
け、隔壁部材５はリブ９により隔壁部材４と同心円上に
取り付ける。隔壁部材４の上部には複数の貫通孔１０を
設ける。衝突板８は、ディフュ―ザ６側端面に凹凸部を
設けると共に、隔壁部材４と５の下端部の中間に位置す
るように取り付ける。
【００１０】タンク１の下方部開口１１と循環ポンプ３
の吸込み口を接続し、循環ポンプ３の吐出口１２をエゼ
クタ２と接続する。エゼクタ２は図示はしていないが内
部にノズルとその周囲に吸込み室を設けたものであり、
循環ポンプ３の吐出口１２とノズル部を接続すると共
に、吸込み室を吸引通路１３と接続して、吸引通路１３
から排ガスや回収蒸気等を吸引するものである。
【００１１】タンク１の上部にバルブ１５を介して大気
連通管１６を取り付けると共に、下部にはブロ―管１７
を取り付ける。
【００１２】次に作用を説明する。循環ポンプ３を駆動
してタンク１内の流体をエゼクタ２に供給することによ
り、エゼクタ２で吸引通路１３から排ガスや蒸気等を吸
引する。エゼクタ２に吸引されたガスや蒸気等の気体
は、循環流体と共にディフュ―ザ６から排出されて衝突
板８の上面に衝突する。衝突板８に衝突後、質量の小さ
な気体は隔壁部材４の内側あるいは隔壁部材５の内側に
至り大気連通管１６から外部に排除され、質量の大きな
液体は隔壁部材４，５の下部に落下することにより、気
液が分離される。液体は開口１１から循環ポンプ３によ
り吸引され再度循環する。
【００１３】本実施例においては、２つの隔壁部材４，
５を用いた例を示したが、１つの隔壁部材で足りること
も、あるいは、２つ以上の隔壁部材を用いることもでき
る。また本実施例においては、衝突板８を用いた例を示
したが、板８に代えてタンク１の底部内面を衝突部とす
ることもできる。
【００１４】
【発明の効果】エゼクタを鉛直方向の上から下向きに設
置したことにより、循環流体が重力の影響を受けること
がなく、エゼクタで充分な吸引力を確保することができ
ると共に、衝突板と隔壁部材を配置したことにより気液
を分離することができ、循環ポンプに排ガスや空気等の
気体が吸入されることがなく、ポンプ効率が低下するこ
とがない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の真空ポンプ装置の実施例の一部断面構
成図である。
【符号の説明】
１ タンク ２ エゼクタ ３ 循環ポンプ ４ 隔壁部材 ５ 隔壁部材 ６ ディフュ―ザ ８ 衝突板 １３ 吸引通路

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 少なくともエゼクタの一部またはディフ
    ュ―ザの一部をタンク内に配置して、該タンクとエゼク
    タを循環ポンプを介して接続したものにおいて、エゼク
    タを鉛直方向の上から下方向に配置し、ディフュ―ザの
    外周に隔壁部材を配置すると共に、ディフュ―ザの出口
    部の下方に流体の衝突する衝突部を取り付けたことを特
    徴とする真空ポンプ装置。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009138726A (ja) * 2007-12-06 2009-06-25 Yasufumi Fukumoto 水流エゼクターと真空引き装置
JP2011226305A (ja) * 2010-04-15 2011-11-10 Tlv Co Ltd 真空ポンプ装置
JP2018178766A (ja) * 2017-04-05 2018-11-15 コーベックス株式会社 液封によるエゼクター利用の真空装置および方法
KR20190049268A (ko) * 2017-11-01 2019-05-09 대우조선해양 주식회사 유해물질 배출 및 환기 시스템
CN110864012A (zh) * 2019-10-29 2020-03-06 合肥工业大学 一种实现真空管道快速柔性隔断的多层油幕隔断装置

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009138726A (ja) * 2007-12-06 2009-06-25 Yasufumi Fukumoto 水流エゼクターと真空引き装置
JP2011226305A (ja) * 2010-04-15 2011-11-10 Tlv Co Ltd 真空ポンプ装置
JP2018178766A (ja) * 2017-04-05 2018-11-15 コーベックス株式会社 液封によるエゼクター利用の真空装置および方法
KR20190049268A (ko) * 2017-11-01 2019-05-09 대우조선해양 주식회사 유해물질 배출 및 환기 시스템
CN110864012A (zh) * 2019-10-29 2020-03-06 合肥工业大学 一种实现真空管道快速柔性隔断的多层油幕隔断装置
CN110864012B (zh) * 2019-10-29 2021-06-15 合肥工业大学 一种实现真空管道快速柔性隔断的多层油幕隔断装置

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