JPH08312898A - 容器内の保持ガス中に充填ガスを導入する方法及びその装置 - Google Patents

容器内の保持ガス中に充填ガスを導入する方法及びその装置

Info

Publication number
JPH08312898A
JPH08312898A JP8029431A JP2943196A JPH08312898A JP H08312898 A JPH08312898 A JP H08312898A JP 8029431 A JP8029431 A JP 8029431A JP 2943196 A JP2943196 A JP 2943196A JP H08312898 A JPH08312898 A JP H08312898A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gas
container
filling
specific
purge
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP8029431A
Other languages
English (en)
Inventor
Didier Crozel
ディディアー・クロゼール
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Air Liquide SA
LAir Liquide SA pour lEtude et lExploitation des Procedes Georges Claude
Original Assignee
Air Liquide SA
LAir Liquide SA pour lEtude et lExploitation des Procedes Georges Claude
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Air Liquide SA, LAir Liquide SA pour lEtude et lExploitation des Procedes Georges Claude filed Critical Air Liquide SA
Publication of JPH08312898A publication Critical patent/JPH08312898A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B23/00Noble gases; Compounds thereof
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D53/00Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • EFIXED CONSTRUCTIONS
    • E06DOORS, WINDOWS, SHUTTERS, OR ROLLER BLINDS IN GENERAL; LADDERS
    • E06BFIXED OR MOVABLE CLOSURES FOR OPENINGS IN BUILDINGS, VEHICLES, FENCES OR LIKE ENCLOSURES IN GENERAL, e.g. DOORS, WINDOWS, BLINDS, GATES
    • E06B3/00Window sashes, door leaves, or like elements for closing wall or like openings; Layout of fixed or moving closures, e.g. windows in wall or like openings; Features of rigidly-mounted outer frames relating to the mounting of wing frames
    • E06B3/66Units comprising two or more parallel glass or like panes permanently secured together
    • E06B3/677Evacuating or filling the gap between the panes ; Equilibration of inside and outside pressure; Preventing condensation in the gap between the panes; Cleaning the gap between the panes
    • E06B3/6775Evacuating or filling the gap during assembly

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Civil Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
  • Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
  • Gas Separation By Absorption (AREA)
  • Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】特定ガスを使用し、その充填率の向上により、
生産性を向上させること。 【解決手段】 始めに保持ガスを収容している容器10
内に充填ガスを導入する方法で、この方法が充填ガスを
容器10内に導入する工程と、始めに充填ガスまたは保
持ガス中に含まれている特定ガスを、容器10の出口に
集められる混合気から抽出する工程と、必要によりこの
抽出されたガスをリサイクルさせる工程とを含む。充填
ガスを導入する前に、容器が、充填ガス及び保持ガスと
は異なるパージガスによってパージされる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は始めに保持ガスを収
容している容器内に充填ガスを導入する方法に関するも
ので,この方法が充填ガスを容器内に導入する工程と、
始めに充填ガスまたは保持ガス中に含まれている特定ガ
スを、容器の出口に集められる混合気から抽出する工程
と、必要によりこの抽出されたガスをリサイクルさせる
工程とを含むものである。また,この方法を実施するた
めの装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】多くの工業プロセスで,容器中に密閉さ
れた1またはそれ以上の特定ガスを利用しており,特定
ガスが全部または一部である充填ガスを容器の全部また
は一部に導入する工程を含んでいる。
【0003】充填ガスを導入する前に,容器には他の種
のガス,例えば空気が含まれている。
【0004】従って,充填ガスを容器に導入する過程
で,前から在るガスと混合する。漏れたり,容器の出口
から排出される特定ガスを回収すること,特に,同じ設
備内でリサイクルすることは好都合である。
【0005】実際,特定ガスの製造コストは高く,また
直接大気に放出することは望ましくない汚染物質を含む
ことがある。
【0006】そこで,特定ガスを使用するプロセスで
は,容器の出口に集められた混合気から特定ガスを抽出
している。しかし,特定ガスは容器中に充填ガスを導入
する前から存在している適宜の種類のガスと混合するの
で,充分経済的に,そこから抽出することは困難ないし
は不可能である。
【0007】特定ガスの製造コストが高い場合でも,容
器の出口で得られる混合気から特定ガスを抽出するコス
トが,特定ガスを製造するコストより高くなることがあ
るので,かかる抽出プロセスを採用することは不経済で
ある。
【0008】従って,多くの設備で,製造コストの高
い,または有毒な特定ガスを採用しようと計画すること
は,容器から排出された混合気から特定ガスを適当なコ
ストで抽出しリサイクルすることが難しいので,出来な
かった。
【0009】また,特定ガスの容器を空ににし、一方、
例えば空気等を含む他のガスを導入しようしようとする
問題,同時に容器の出口で得られる混合気から特定ガス
を抽出するという問題がある。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】この発明の目的は,容
器の出口から放出される混合気から特定ガスを容易に抽
出できるようにすると共に,簡単で信頼性があり,かつ
コストの安い,充填ガスを容器に導入するプロセスを提
供することである。
【0011】
【課題を解決するための手段】この発明は,始めに保持
ガスを収容している容器内に充填ガスを導入する方法
で、この方法が充填ガスを容器内に導入する工程と、始
めに充填ガスまたは保持ガス中に含まれている特定ガス
を、容器の出口に集められる混合気から抽出する工程
と、必要によりこの抽出されたガスをリサイクルさせる
工程とを含むものにおいて、充填ガスを導入する前に、
容器が、充填及び保持ガスとは異なるパージガスによっ
てパージされる方法である。
【0012】また,特定のモードでは,以下の特徴を備
えている。
【0013】パージガスが、前記特定ガスが、前記パー
ジガスを含まない充填ガス及び保持ガスの混合気からよ
りも、前記パージガスを含む混合気から容易に抽出でき
るように選ばれており、この抽出の容易性が特定の抽出
工程に関連している。
【0014】前記混合気は充填ガスを導入する工程中に
集められ、前記の抽出された特定ガスは、始めは前記充
填ガス中に含まれている。
【0015】充填ガスを導入した工程の後に、さらに、
容器をパージガスてパーシする工程か、充填ガスを容器
内に導入する工程か、または少なくとも各前記パージ工
程中に、容器の出口に集められた混合気から特定ガスが
抽出される工程が、追加されており,前記混合気が、少
なくとも容器のパージ中に集められ、前記特定ガスは保
持ガス中に含まれている。
【0016】充填ガスの導入は、前記容器がほとんど全
部充填ガスにより満たされるまで続けられる。
【0017】パージガスが容器の出口で集められた混合
気から抽出され、必要によりリサイクルされる。
【0018】パージガスは回収され、必要により、特定
ガスの抽出中にリサイクルされる。
【0019】抽出工程は、選択蒸留工程または単純冷却
による分離工程であり、ここでパージガス及び特定ガス
は、特定ガス並びに保持ガス及び充填ガスの混合気の沸
騰点よりも一段と高い沸騰点を有している。
【0020】抽出工程は吸着剤による選択吸着工程で、
この場合の吸着剤は、2つのガスに対して、特定ガスと
保持ガス及び充填ガスの混合気とに対するよりも、大き
い選択性を有している。
【0021】抽出工程は透過メンブレンを用いた選択透
過工程で、この場合の透過メンブレンは2つのガスに対
して、特定ガスと保持ガス及び充填ガスの混合気とに対
するよりも、大きい選択性を有している。
【0022】抽出工程は吸収剤を用いた選択吸収工程
で、この場合の吸収剤は、2つのガスに対して、特定ガ
スと保持ガス及び充填ガスの混合気とに対するよりも、
大きい選択性を有している。
【0023】特定ガスは、アルゴン、又はネオン、又は
クリプトン、又はクセノン、又は六弗化硫黄を含んでお
り、またパージガスはアルゴン、又は炭酸ガス、又はヘ
リウム、又は水素を含んでいる。
【0024】複数のグレイジングの間のギャップに前記
特定ガスが満たされている。
【0025】本発明はさらに,始めに保持ガスを収容し
ている容器内に充填ガスを導入する方法で、この方法が
特定ガス含む充填ガスを容器内に導入する工程を含んで
おり、充填ガスを導入する前に、容器が、充填及び保持
ガスとは異なるパージガスによってパージされるものに
おいて、始めに充填ガスまたは保持ガス中に含まれてい
る特定ガスを、充填ガスの導入中に、容器の出口に集め
られる混合気から抽出する工程を備え、ここで容器は、
再び容器中に保持ガスを導入する工程の後で、再び充填
及び保持ガスとは異なるパージガスによってパージさ
れ、且つ、少なくとも、この最後の容器のパージ中に、
容器の出口に集められる混合気から抽出する工程を備え
ている。
【0026】充填ガスを導入した工程の後に、さらに、
容器をパージガスてパーシする工程か、充填ガスを容器
内に導入する工程か、または少なくとも各前記パージ工
程中に、容器の出口に集められた混合気から特定ガスが
抽出される工程が、追加される。
【0027】この発明の目的は前記の方法を実施するた
めの装置で,充填ガスを収容する容器を含んでおり,こ
の容器は,充填ガス供給管に接続される入口,パージガ
ス供給管に接続される入口および特定ガスを抽出するた
めの装置に接続される出口を有しており,この抽出装置
には抽出された特定ガスの排出出口が設けられている。
【0028】本発明での装置は,以下の特徴のいくつか
を有している。
【0029】抽出された特定ガスの排出出口は,充填ガ
ス供給管に接続されている。
【0030】抽出装置はパージガスと特定ガスとを分離
する装置であり,またパージガス供給管に接続される分
離された,パージガスの排出出口を有している。
【0031】この発明は、以下の説明により良く理解さ
れるであろう。しかし,この説明は,本発明によって充
填ガスを導入するプロセスを実施するただ1つの模式的
に示す図面を参照してなされる例示にしか過ぎない。
【0032】
【発明の実施の形態】この発明の実施の形態の一例につ
いて図面を参照して説明する。
【0033】図面に示される装置には,容器10が含ま
れている。この容器は,各グレージング(glazing )の
板の間に,例えば断熱及び/又は遮音特性を有するガス
例えばクリプトンを充填させる目的で,多数のグレージ
ング(glazing )を有して仕切られていてる。
【0034】容器10は,加圧されたパージガスタンク
14に,パージガス供給管16を介して接続される第1
の入口12を有している。パージガスは,ここでは製造
コストの安い炭酸ガスとする。供給管16には,パージ
ガスタンク14から入口12に至る配管,圧力制御器1
8及び手動入口弁20が含まれている。
【0035】容器10は,また,充填ガスの第2の入口
弁22を有しており,この入口弁22は,加圧された特
定ガスを収容する充填ガスタンク24に充填ガス供給管
26を介して接続されている。特定ガスは,ここでは,
製造コストの高いクリプトンとする。供給管26には充
填ガスタンク24から入口22に至る配管,圧力制御器
27,パイロット作動遮断弁28,圧力制御器30及び
手動入口弁32が含まれている。
【0036】容器10には,更に選択透過を行うガス分
離装置38に排出管36を介して接続される排出口34
を有している。その端部に大気に通ずるパイロット作動
ドレイン弁を有するドレインパイプであるバイパス40
が,排出管36からブランチされている。排出管36
は,このブランチと装置38との間にパイロット作動遮
断弁43,バッファータンク44,コンプレッサー46
及びパイロット作動弁47が設けられている。
【0037】ガス分離装置38には,選択透過メンブレ
ン54により2つの室50,51に分けられた容器48
が含まれている。メンブレンは充填ガスとパージガスと
を含む混合気から特定ガスを分離するのに用いられ。こ
の場合,メンブレン54はポリミドタイプで,実質的に
炭酸ガスを透過し,クリプトンは殆ど透過しない。炭酸
ガスはこのメンブレンに対して選ばれ,またクリプトン
が空気と混じっている場合に比べ,相当容易に抽出でき
ることによる。実際,このタイプのメンブレンは炭酸ガ
スに対して,空気に対するよりも非常に良い透過性を示
す。
【0038】室50の入口には排出管36に接続され,
一方,この室からの戻し出口50Aはリサイクルパイプ
56を介して,遮断弁28と圧力制御器30との間で,
充填ガス供給管26に接続されている。リサイクルパイ
プ56は,ガス分離装置38から始まり,パイロット作
動弁57,バッファータンク58及びパイロット作動遮
断弁60を含んでいる。
【0039】ガス分離装置38の室52には,リサイク
ルされるパージガスのための排出出口弁52Aが設けら
れている。この出口弁は,圧力制御器18の上流で,パ
ージガス供給管16に,コンプレッサー64を有するパ
ージガスのリサイクルパイプ62を介して接続されてい
る。
【0040】排出出口34近傍の排出管36及びバッフ
ァータンク58のそれぞれに,符号66及び68で示さ
れるブランチ即ちバイパスが設けられており,室の入口
に接続されて,それぞれ符号70及び72で示される連
続ガス分析計を構成している。ガス分析計の出口は,共
通の分析ガス排出管74を介してバッファータンク44
に接続されている。
【0041】バッファータンク58と分析ガス排出管7
4とを接続するバイパスライン76には,パイロット作
動弁78が設けられている。
【0042】ガス分析計70,72の測定出力は,図示
しない,制御装置に接続されて,上述のパイロット作動
弁をパイロット作動する。
【0043】エネルギー源を必要とする装置のそれぞ
れ,例えばコンプレッサー46及び64,パイロット作
動遮断弁,分析計70及び72並びに制御システムは適
当なエネルギ供給源,図示せず,に接続される。
【0044】本発明による方法を実施する設備を用いる
場合,多数のグレージング(glazing)を容器10に挿入
してから,容器を閉じる。容器内には保持ガスである空
気が含まれている。図1に示されている入口弁20及び
ドレイン弁42を除く全ての弁を閉じ,コンプレッサー
46及び64を停止する。パージガスがパージタンク1
4から,タンク内の圧力により,ドレイン弁42に流
れ,こうして容器10は掃気される。
【0045】所定時間経過後,容器10は実質的にパー
ジガスを含み,雰囲気空気は,いくらかのパージガス−
を伴って,ドレイン弁42から大気中に放出される。
【0046】このコストの安い,かつ汚染されないパー
ジガスによる最初のパージ工程が終わってから,特定ガ
スを容器10に充填するために,弁20を閉じ,弁32
を開く。
【0047】上記のパージ及び充填工程中,分析器70
は,容器10の出口で,特定ガスの濃度をチェックす
る。スタートの際,弁43を閉じ,弁42を開く,これ
によりガスは容器10から出される。分析器70が,容
器10から出る混合気中に,特定ガスのあることを検知
すると,制御システムが弁43を開き同時に弁42を閉
じて,ガスを抽出装置38に送る。
【0048】容器10への特定ガスの充填工程の末期,
即ち分析器70が,パイプ34中の特定ガスのコンテン
トY34が基準値Y34ref より大きくなったことを検
知すると,弁32及び43は閉じられ,充填されたグレ
ージングはシールされる。
【0049】容器10が,グレージングの外側にまだ相
当量の特定ガスを含んでいる場合は,弁20,43を開
き,パージガスによる最終パージ工程がなされる。弁3
2及び42は,閉じられたままで,容器10から排出さ
れた全ての混合気は,容器10中に含まれた特定ガス
が,実質的に,入ってくるパージガスにより追い出さ
れ,抽出装置38に送られる。
【0050】上述の工程の末期に,容器10は,充填準
備のなされた他のグレージングを含んでいるグレージン
グと置換えるために大気に対して開かれる。
【0051】かくて,この最終工程で、パージガスによ
るパージからなる中間工程を採用することにより,保持
ガスを形成する特定ガスを、充填ガスを形成する空気と
置換える。
【0052】最初のパージ,充填工程及び上記の最後の
パージ工程中における,ガスの導入及び排出は,公知の
方法によりなされる。これらの方法は,導入ガスにより
容器内の全てが完全に掃気されるように,かなり大きい
対流モーションまたは容器内のプラグフロー(plug flo
w )の生成によりなされる。これらの工程は,プラグフ
ローの性質を改善させる,保持,充填及びパーシガス間
の密度の差により,利点を得られる。この場合,異なっ
たガスの導入,除去は,好ましくは比較的重いガスに対
しては低い位置に,比較的軽いガスに対しては高い位置
に設けられた各種のオリフィスを介してなされる。
【0053】自動制御システムを伴う弁駆動装置は,さ
らに以下に述べる動作を行う。このシステムは分析器7
0及び72から信号を受け,また圧力センサー又はレベ
ル指示計によるタンク58及び44内のガスの量につい
ての指示を受ける。
【0054】タンク44が満杯の時,これは例えば定圧
容量タンクの場合,高レベル指示の検出に対応し,制御
システムは抽出工程を開始し,コンプレッサー46及び
64を起動し,弁47及び57を開く。
【0055】リザーバー44に含まれている混合気が室
50に入り,またコンプレッサー46による圧力によ
り,相当量のパージガス及び特定ガスの一部がメンブレ
ンナ54を通って室52に入る。一方,こうして分離さ
れた特定ガスの大部分及びパージガスの残りはリサイク
ルパイプ56によりバッファタンク58に排出される。
これと並行して,室52から排出された実質的にパージ
ガスからなるガスは,コンプレッサー64の作用によ
り,リサイクルパイプ62を介してパージガス供給管1
6に送られる。
【0056】制御システムは,2っの条件を同時にチェ
ックする。
【0057】(i )バッファタンク58内の特定ガスの
コンテントは,基準値Y58ref より大きいか?,ここ
で、Y58ref は基準値Y10ref より大きく,バッフ
ァタンク58内の特定ガスに課された最小純度に対応し
ている。
【0058】(ii)バッファタンク58内のガス圧は,
最小圧力に対応する基準圧力,即ち容器10へ充填する
ためのガスの使用を満足させるのための圧力,より大き
いか?,もし,2つの条件が充足されれば,制御システ
ムは弁60を開き,弁28を閉じるか,又は閉じたまま
にする。こうして,バッファタンク58から排出される
リサイクル特定ガスを,容器10を満たすために優先使
用する。
【0059】他方,もし2の条件の内の一方の条件が充
足されていない場合,言い換えれば,バッファタンク内
の特定ガスの純度又は圧力が不十分の場合,制御システ
ムは弁60を閉じるか,又は閉じたままにし,弁28を
開く。こうして,2つのケースの場合,容器10に対し
て,タンク40又はバッファタンク58から特定ガスを
供給配管26を介して送る。
【0060】上述の第1の条件が充足されていない場
合,即ち,バッファタンク58内の特定ガスのコンテン
トが不十分の場合は,制御システムは弁78を開き,バ
ッファタンク58内のガスを,ブランチ76の通路及び
排出管74を介して,徐々にタンク44に送る。バッフ
ァタンク58内の特定ガスのコンテントが十分になる
か,または,もしバッファタンク58内の圧力が,大気
圧力より大きいレベルのしきい値に達したら,制御シス
テムは弁78を閉じる。
【0061】これらの条件の下で,容器10は,若し望
むならば,相当量の特定ガスが貯蔵タンク24から抜き
出されること無く,また特定ガスを相当量ロスすること
無く,特定ガスにより殆ど全部満たされる。実際,容器
10からパージガスと共に排出される特定ガスは,実質
的にリサイクルされ,バッファタンク58に集められ
る。
【0062】本発明装置の特別の例について、以下に説
明する。
【0063】コンプレッサー64は,例えば真空ポンプ
に置換えられる。また,室52内の圧力を大気圧力以下
にして抽出装置38の作用を改善することもできる。
【0064】さらに,弁42に下流にパージガスを抽出
する装置を設けてもよい。こうして,最初のパージ工程
の間に,容器の出口に集められた混合気からパージガス
を分離する。パージガスはリサイクルされる。
【0065】同様に,リサイクルパイプ62は省いても
よく,抽出装置を出たパージガスは直接大気に放出され
る。この省略は,設備の運転コストを下げるのに少し有
効である。何故なら,パージガス(炭酸ガス)のコスト
は特定ガスに比べれば小さい。
【0066】同様に,ガス分離装置38は,選択蒸留装
置,又は単純冷却による分離装置,又は選択吸着装置,
特にPSA(圧力スィング吸着)又はVSA(真空スィ
ング吸着)または選択吸収装置に置換えてもよい。後者
の場合は,特定ガスは容器10の出口に集められた混合
気から抽出され,回収されなかったパージガスは吸収さ
れる。他の場合は,特定ガスは分離プロセスにより抽出
され,またパージガスはリカバーされる。
【0067】どの様な抽出装置が使用されても,パージ
ガスは,このパージガスと特定ガスとの混合気から,特
定ガスが容易に抽出できるものを選択する。従って,こ
の選択は,抽出される特定ガスと,使用される抽出,分
離装置とを考慮してなされる。
【0068】こうして,例えば,抽出工程が選択蒸留又
は単純冷却による分離の場合には,パージガスと特定ガ
スの沸騰点は,特定ガスと保持ガス及び重点ガスの混合
よりも離れたものとする。
【0069】若し,抽出工程が選択吸着の場合は,吸着
剤は2つのガスに対して,特定ガスと保持ガス及び重点
ガスの混合との関係で示すよりも大きい選択性を示すも
のとする。
【0070】若し,抽出工程が選択透過の場合は,透過
メンブレンは2つのガスに対して,特定ガスと保持ガス
及び重点ガスの混合との関係で示すよりも大きい選択性
を示すものとする。
【0071】若し,抽出工程が選択吸収の場合は,吸収
剤は2つのガスに対して,特定ガスと保持ガス及び重点
ガスの混合との関係で示すよりも大きい選択性を示すも
のとする。
【0072】さらに,ここに記載した設備は,容器10
内に受け入れられる多数のグレージングの板の間の空間
に充填するのにも使用される。また,供給配管16及び
26並びに排出管36を直接に各グレージングに接続す
るようにしてもよい。この場合、容器は,グレージング
自体により限界を定められる。
【0073】設備は,また,低い熱伝導度のガスと共
に,熱絶縁として機能する絶縁パネルに充填するのにも
用いられる。
【0074】この場合,充填ガスは特定ガスそのもので
あるが,充填ガスを特定ガスを含む数種のガスから構成
されたものとしてもよい。これらは,実質的に一定のコ
ンテントの混合気として導入するか,又は数種の貯蔵タ
ンク24から,容器への充填工程を最適化するように順
次導入するようにしてもよい。パージガスは,特定ガス
が,パージガスと管56によりリサイクルされるパージ
ガスと異なった相当量のガスを含むガスに比べて容易に
抽出できるように選ぶ。
【0075】更に,例えば,上述の設備に類似のもの
は,食品または薬剤の製造又は包装に用いられる。この
場合,容器10は制御された雰囲気の下でこれら製品の
貯蔵に使われる。容器10は,特に上記製品の調剤,販
売のためのパックを入れる。使用される特定ガスは,特
にアルゴン又は酵素作用との関連で特別な性質を有する
希ガスの混合気である。また,パージガスとしては,そ
の製造コストの安さから,炭酸ガスが優先的に選ばれ
る。
【0076】同様に,容器は,その中にガスが充填され
る電子又は電気の球を入れるのに用いられる。容器は,
制御された雰囲気の下で電子部品を製造する装置又はオ
ーブン,熱処理炉として用いられる。
【0077】更に,例えば多数のグレイジングに充填す
る場合,その上部で周囲気体に通じており,かつ,充填
及びパージガスの入口並びにその中に含まれる混合気を
集めるための出口が下側に配置され,かくて有効な容器
として規定されている室として使用できる。
【0078】始めは空気を含んでおり,また充填される
多数のグレイジングが室の下部に配置されている室は,
室の底から導入される炭酸ガスにより完全にパージされ
る。炭酸ガスの密度は空気より大きく,空気は室の頂部
から排出される。
【0079】充填ガス,例えばクリプトンは,それから
室の下部から導入される。このガスの密度は炭酸ガスよ
り大きく,炭酸ガスの下に残り,炭酸ガスを室の上部開
口から排出させる。充填ガスが容器内に導入され,室の
上部は炭酸ガスで満たされる。クリプトンが充填された
室の下部空間に位置する多数のグレージングはシールさ
れる。この時点で,容器はクリプトンで満たされる。
【0080】完成したグレージングを室から取出す前
に,室に含まれていたガスの一部は底から抜かれる。こ
うして,この工程の開始時に,クリプトンは実質的に室
から除去される。室の底部に含まれていたクリプトンの
全てが除去されるまで,除去作業は続けられる。クリプ
トン濃度の高い混合気も除去され、そこからのクリプト
ンの抽出処理がなされる。
【0081】ガスの密度の差により,室はその下部に炭
酸ガスを含み、上部に空気を含む。室の下部に含まれて
いたクリプトンを回収するために、室の下部を、室の上
部に蓄えられていた炭酸ガスによりパージする。シール
されたグレイジングは室の頂部開口から抜出されれる。
この場合,適当にエヤロックされ,充填される新しいグ
レイジングが挿入される。
【0082】それへの充填のために,クリプトンが再び
室の下部から導入され,炭酸ガスは室の上部に追出され
る。次に,グレイジングはシールされ,完成したグレイ
ジングを抜出す前に,室の下部の炭酸ガスをパージする
新しいパージ工程がなされる。続いて,新しいグレイジ
ングのセットに充填するために,室を炭酸ガスでパージ
し,室の下部にクリプトンを導入する工程が採られる。
室の出口で得られたた混合気からクリプトンを抽出する
工程は,クリプトンを炭酸ガスでパーシする各工程でな
される.使用される炭酸ガスバッファーの厚さは小さ
く,特にその高さは,グレイジングに充填することに関
して,有効な容器の高さより小さいことに注意すべきで
ある。この様な条件の下で,パージ工程中,室の下部に
より形成される容器は炭酸ガスによっては完全には満た
されず,またその頂部は雰囲気空気で満たされる。しか
し,本発明による方法では,容器の下部に移されるガス
は周囲空気とは接触しない。炭酸ガスバッファー容器中
への流れは,そのパージを生成する。
【0083】モードの変更では,パージに作用する炭酸
ガスは,室の上半分に直接蓄えられるよりも,室の上部
に配置された排出出口に接続された補助タンクに蓄えら
れる。多数のグレイジングに充填するために,室はクリ
プトンで満たされ,この場合,有効な容器を構成する。
【0084】同様に,この発明は,アルゴン(またはア
ルゴン又は窒素との混合)によるラブリング(rabblin
g)プロセスで,アルゴンをリサイクル場合にも適用で
きる。この場合,容器は,コンバータ又はレイドルから
なる,ガス回収フードで囲まれた,容器で,また,パー
ジガスは好ましくは炭酸ガスである。
【0085】本発明は,また,リアクタ,タンク,又は
化学製品を含むパイプのベント(venting )を伴う不活
性ブランケッティング(blanketing) にも適用でき,特
に特定ガスは化学反応により生成されるものである場合
に適用できる。上記製品を,そのコスト又は大気への影
響から,回収することが望ましい場合には,不活性ブラ
ンケッティングは,パージガスを構成する混合気から特
定ガスの抽出及び回収が容易な,パージガスによりなさ
れる。
【0086】添付する図面に関連して記載されている設
備では、クリプトンが特定ガスとして、また、パージガ
スとして炭酸ガスが用いられている。しかし、他の特定
ガスとして、例えばネオン、アルゴン、クセノン、六弗
化硫黄又は他のハロゲン化合物及び炭化水素が使用でき
ることは勿論である。また、他のパージガスとして、炭
酸ガスに代えて、特にアルゴン、ヘリウムまたは水素が
使用できる。
【0087】パージガスとしてヘリウムを用いると、生
産の品質管理のために、多数のグレイジング中に特定ガ
スを用いた場合、例えば、質量分析により、漏れを容易
に検出できる。
【0088】更に、本発明によるプロセスを採用した設
備は、大気中に放出することが危険な特定ガスを用いる
場合、特に有効である。実際、容器から出口34を介し
て放出される特定ガスは、処理後、実質的にバッファー
タンク58に回収される。そして、抽出装置38から出
口52Aを通って出る特定ガスのごく一部のみが、リサ
イクルされない。
【0089】パージガスは、特定ガスを使用するプロセ
スに関連して補足的な特性を持つことに注意すべきであ
る。特に、パージガスは、特定ガスの分析の感度を改善
するよう、または、その分子量(molar mass)が、使用
される他のガスりと異なることによる、パージ及び/又
は充填作用の有効性を改善するように、または、熱伝導
度、粘度、分子量、熱反応度等に関連して好ましい性質
を示すもの、または例えば検出の容易性等の観点から選
ぶべきである。
【0090】
【発明の効果】本発明の効果は、特定ガスを使用し、そ
の充填率の向上により、生産性を向上させ、一方、充填
作用を改善(最終充填率及び特定ガスの損失)させるこ
とである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明方法を実施するための装置の一例を示す
全体構成図。
【符号の説明】 10…容器,14…パージガスタンク、24…充填ガス
タンク,38…ガス分離装置、50,52…室、54…
選択透過メンブレン。

Claims (19)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 始めに保持ガスを収容している容器(1
    0)内に充填ガスを導入する方法で、この方法が充填ガ
    スを容器(10)内に導入する工程と、始めに充填ガス
    または保持ガス中に含まれている特定ガスを、容器(1
    0)の出口に集められる混合気から抽出する工程と、必
    要によりこの抽出されたガスをリサイクルさせる工程と
    を含むものにおいて、 充填ガスを導入する前に、容器が、充填及び保持ガスと
    は異なるパージガスによってパージされる方法。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の方法において、パージ
    ガスが、前記特定ガスが、前記パージガスを含まない充
    填ガス及び保持ガスの混合気からよりも、前記パージガ
    スを含む混合気から容易に抽出できるように選ばれてお
    り、この抽出の容易性が特定の抽出工程に関連してい
    る。
  3. 【請求項3】 請求項1または2に記載の方法におい
    て、前記混合気は充填ガスを導入する工程中に集めら
    れ、前記の抽出された特定ガスは始めは前記充填ガス中
    に含まれている。
  4. 【請求項4】 請求項3に記載の方法において、充填ガ
    スを導入した工程の後に、さらに、容器(10)をパー
    ジガスてパーシする工程か、充填ガスを容器内に導入す
    る工程か、または少なくとも各前記パージ工程中に、容
    器(10)の出口に集められた混合気から特定ガスが抽
    出される工程が、追加される。
  5. 【請求項5】 請求項1または2に記載の方法におい
    て、前記混合気が、少なくとも容器(10)のパージ中
    に集められ、前記特定ガスは保持ガス中に含まれてい
    る。
  6. 【請求項6】 請求項1〜5のいずれか1つに記載の方
    法において、充填ガスの導入は、前記容器(10)が殆
    ど全部充填ガスにより満たされるまで続けられる。
  7. 【請求項7】 前記請求項のいずれか1つに記載の方法
    において、パージガスが容器(10)の出口で集められ
    た混合気から抽出され、必要によりリサイクルされる。
  8. 【請求項8】 請求項7に記載の方法において、パージ
    ガスは回収され、必要により、特定ガスの抽出中にリサ
    イクルされる。
  9. 【請求項9】 前記請求項のいずれか1つに記載の方法
    において、抽出工程は、選択蒸留工程または単純冷却に
    よる分離工程であり、ここでパージガス及び特定ガス
    は、特定ガス並びに保持ガス及び充填ガスの混合気の沸
    騰点よりも一段と高い沸騰点を有している。
  10. 【請求項10】 請求項1〜8のいずれか1つに記載の
    方法において、抽出工程は吸着剤による選択吸着工程
    で、この場合の吸着剤は、2つのガスに対して、特定ガ
    スと保持ガス及び充填ガスの混合気とに対するよりも、
    大きい選択性を有している。
  11. 【請求項11】 請求項1〜8のいずれか1つに記載の
    方法において、抽出工程は透過メンブレンを用いた選択
    透過工程で、この場合の透過メンブレンは2つのガスに
    対して、特定ガスと保持ガス及び充填ガスの混合気とに
    対するよりも、大きい選択性を有している。
  12. 【請求項12】 請求項1〜8のいずれか1つに記載の
    方法において、抽出工程は吸収剤を用いた選択吸収工程
    で、この場合の吸収剤は、2つのガスに対して、特定ガ
    スと保持ガス及び充填ガスの混合気とに対するよりも、
    大きい選択性を有している。
  13. 【請求項13】 前記請求項のいずれか1つに記載の方
    法において、特定ガスは、アルゴン、又はネオン、又は
    クリプトン、又はクセノン、又は六弗化硫黄を含んでお
    り、またパージガスはアルゴン、又は炭酸ガス、又はヘ
    リウム、又は水素を含んでいる。
  14. 【請求項14】 前記請求項のいずれか1つに記載の方
    法において、多数のグレイジングの間のギャップに前記
    特定ガスが満たされている。
  15. 【請求項15】 始めに保持ガスを収容している容器内
    に充填ガスを導入する方法で、この方法が特定ガス含む
    充填ガスを容器(10)内に導入する工程を含んでお
    り、充填ガスを導入する前に、容器(10)が、充填及
    び保持ガスとは異なるパージガスによってパージされる
    ものにおいて、始めに充填ガスまたは保持ガス中に含ま
    れている特定ガスを、充填ガスの導入中に、容器(1
    0)の出口に集められる混合気から抽出する工程を備
    え、ここで容器は、再び容器中に保持ガスを導入する工
    程の後で、再び保持ガスを容器内に導入する前に、再び
    充填及び保持ガスとは異なるパージガスによってパージ
    され、且つ、少なくとも、この最後の容器のパージ中
    に、容器(10)の出口に集められる混合気から抽出す
    る工程を備えている。
  16. 【請求項16】 請求項15に記載の方法において、充
    填ガスを導入した工程の後に、さらに、容器(10)を
    パージガスてパーシする工程か、充填ガスを容器内に導
    入する工程か、または少なくとも各前記パージ工程中
    に、容器(10)の出口に集められた混合気から特定ガ
    スが抽出される工程が、追加される。
  17. 【請求項17】 前記請求項のいずれか1つに記載の方
    法を実施するための装置で,充填ガスを収容する容器
    (10)を含んでおり,この容器は,充填ガス供給管
    (26)に接続される入口(22),パージガス供給管
    (16)に接続される入口(12)および特定ガスを抽
    出するための装置(38)に接続される出口(34)を
    有しており,この抽出装置には抽出された特定ガスの排
    出出口(50A)が設けられている。
  18. 【請求項18】 請求項17に記載の装置において、抽
    出された特定ガスの排出出口(50A)は,充填ガス供
    給管(26)に接続されている。
  19. 【請求項19】 請求項17または18に記載の装置に
    おいて、抽出装置(38)はパージガスと特定ガスとを
    分離する装置であり,またパージガス供給管(16)に
    接続される、分離されたパージガスの排出出口(52
    A)を有している。
JP8029431A 1995-02-17 1996-02-16 容器内の保持ガス中に充填ガスを導入する方法及びその装置 Pending JPH08312898A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR9501837 1995-02-17
FR9501837A FR2730790B1 (fr) 1995-02-17 1995-02-17 Procede d'introduction d'un gaz de remplissage dans une enceinte et installation de mise en oeuvre

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH08312898A true JPH08312898A (ja) 1996-11-26

Family

ID=9476246

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8029431A Pending JPH08312898A (ja) 1995-02-17 1996-02-16 容器内の保持ガス中に充填ガスを導入する方法及びその装置

Country Status (7)

Country Link
US (1) US5676736A (ja)
EP (1) EP0727557B1 (ja)
JP (1) JPH08312898A (ja)
CA (1) CA2169600A1 (ja)
DE (1) DE69608716T2 (ja)
DK (1) DK0727557T3 (ja)
FR (1) FR2730790B1 (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001110284A (ja) * 1999-10-01 2001-04-20 Toshiba Corp ガス回収装置
JP2005188717A (ja) * 2003-12-26 2005-07-14 Daido Air Products Electronics Kk ガス回収方法およびガス回収装置ならびにガス回収システム
WO2013154014A1 (ja) * 2012-04-13 2013-10-17 岩谷産業株式会社 混合気体の供給方法及び供給装置
CN110813014A (zh) * 2019-11-20 2020-02-21 广州金鹏环保工程有限公司 气体处理系统

Families Citing this family (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6733570B2 (en) * 1992-12-02 2004-05-11 Ebara Research Co., Ltd. Method and apparatus for the preparation of clean gases
DE69717215T2 (de) * 1996-08-27 2003-07-24 The Boc Group, Inc. Rückgewinnung von Edelgasen
US20020110625A1 (en) * 1997-03-13 2002-08-15 Case Ready Solutions, Llc. Continuous packaging in enclosed conduits
US20030129274A1 (en) * 1997-03-13 2003-07-10 Garwood Anthony J.M. Irradiation in enclosed conduit method and apparatus
US7093734B2 (en) 1997-03-13 2006-08-22 Safefresh Technologies, Llc Tray with side recesses and channels for gas transfer
US6866832B2 (en) * 1997-03-13 2005-03-15 Safefresh Technologies, Llc Method and apparatus for sanitizing perishable goods in enclosed conduits
US7575770B2 (en) 1997-03-13 2009-08-18 Safefresh Technologies, Llc Continuous production and packaging of perishable goods in low oxygen environments
US20030170359A1 (en) 1997-03-13 2003-09-11 Garwood Anthony J. M. Method for controlling water content with decontamination in meats
US7205016B2 (en) 1997-03-13 2007-04-17 Safefresh Technologies, Llc Packages and methods for processing food products
US7415428B2 (en) 1997-03-13 2008-08-19 Safefresh Technologies, Llc Processing meat products responsive to customer orders
GB9713989D0 (en) * 1997-07-02 1997-09-10 Boc Group Plc Controlling atmospheres in containers
US5843208A (en) * 1997-07-24 1998-12-01 Alliedsignal Inc. Process for recovering sulfur hexafluoride
US6089282A (en) * 1998-05-08 2000-07-18 Aeronex, Inc. Method for recovery and reuse of gas
FR2779070B1 (fr) * 1998-05-28 2000-06-30 Air Liquide Dispositif de fourniture d'un gaz epure a une installation purgee avec ce gaz epure
US6126726A (en) * 1998-07-06 2000-10-03 Siemens Westinghouse Power Corporation Generator hydrogen purge gas economizer with membrane filter
JP4769350B2 (ja) * 2000-09-22 2011-09-07 大陽日酸株式会社 希ガスの回収方法及び装置
US6725312B1 (en) 2000-11-02 2004-04-20 Cml Versatel Inc. Bus architecture for high reliability communications in computer system
US20060278327A1 (en) * 2002-01-02 2006-12-14 Safefresh Technologies, Llc Biaxially tensioning lidding web method and apparatus
US20040033162A1 (en) * 2002-08-16 2004-02-19 Lawrence Kunstadt Storage device utilizing zeolites to control gaseous content
US6866701B2 (en) * 2002-11-26 2005-03-15 Udi Meirav Oxygen enrichment of indoor human environments
DE10300141A1 (de) * 2003-01-07 2004-07-15 Blue Membranes Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Sauerstoffanreicherung von Luft bei gleichzeitiger Abreicherung von Kohlendioxid
US6881242B2 (en) * 2003-01-13 2005-04-19 Ati Properties, Inc. Hydrogen reclamation apparatus and method
US6887300B2 (en) * 2003-01-24 2005-05-03 Cms Technology Holdings, Inc. Cyclic membrane separation process
US6719824B1 (en) * 2003-01-24 2004-04-13 Cms Technology Holdings, Inc. Cyclic membrane separation process
DE112004000175T5 (de) * 2003-01-24 2006-01-26 Cms Technology Holdings Inc., Newport Zyklisches Membrantrennverfahren
EP1718171B2 (en) 2004-01-28 2019-11-13 Curation Foods, Inc. Container system
FR2888516B1 (fr) * 2005-07-12 2007-09-14 Air Liquide Systeme de recyclage de gaz a haute performance thermique
JP4937259B2 (ja) * 2005-07-28 2012-05-23 アピオ インク. 雰囲気制御部材の組み合わせ
DE102006016747A1 (de) * 2006-04-10 2007-10-18 MAX-PLANCK-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. Verfahren und Vorrichtung zur Leckprüfung
FR2914393B1 (fr) * 2007-03-27 2009-07-17 Air Liquide Procede et dispositif de preparation de bouteilles de gaz sous pression.
US8235076B2 (en) 2009-02-02 2012-08-07 American Air Liquide, Inc. Method and system for optimized filling of an enclosure
US20110061376A1 (en) * 2009-02-17 2011-03-17 Mcalister Technologies, Llc Energy conversion assemblies and associated methods of use and manufacture
US8627856B2 (en) * 2010-06-28 2014-01-14 Integrated Automation Systems, Llc Continuous gas filling process and apparatus for fabrication of insulating glass units
CN103492657A (zh) * 2011-02-18 2014-01-01 索斯华尔技术公司 用于拉紧膜片的方法和装置以及用于多片元件的制造方法
CN104389484B (zh) * 2014-11-13 2016-04-13 山东温声玻璃有限公司 一种中空玻璃充惰性气体装置
RU2018106870A (ru) * 2018-02-26 2019-08-27 Алексей Витальевич Бобровников Устройство блокирования клеточной памяти, аппарат формирования дыхательной газовой смеси и способ лечения онкологических, бактериальных, вирусных заболеваний, доброкачественных опухолей смесью кислорода и благородных газов
DE102021132262A1 (de) 2021-12-08 2023-06-15 Joachim Kötter Verfahren und Vorrichtung zur Ertüchtigung von mit Luft gefüllten Thermoscheiben oder zur Herstellung von mit Isoliergas gefüllten Thermoscheiben und Thermoscheibe
US20240110435A1 (en) * 2022-09-29 2024-04-04 Hyudai Motor Company Duplex window and window system including same

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3324626A (en) * 1964-12-03 1967-06-13 Sinclair Research Inc Process for the recovery of helium
GB8327143D0 (en) * 1983-10-11 1983-11-09 Petrocarbon Dev Ltd Purification of helium
US4772295A (en) * 1986-05-27 1988-09-20 Nippon Kokan Kabushiki Kaisha Method for recovering hydrocarbon vapor
US4787919A (en) * 1987-06-23 1988-11-29 Union Carbide Corporation Membrane separation system and process
US5481852A (en) * 1987-09-08 1996-01-09 Pakor, Inc. Method and apparatus to promote gas exchange from a sealed receptacle
US4783203A (en) * 1987-10-22 1988-11-08 Union Carbide Corporation Integrated pressure swing adsorption/membrane separation process
US5156009A (en) * 1988-11-11 1992-10-20 Transphere Systems Limited Method for storing produce
US5120329A (en) * 1989-09-27 1992-06-09 American Air Liquide Integrated system and method for providing a controlled atmosphere in a food storage facility
US5354547A (en) * 1989-11-14 1994-10-11 Air Products And Chemicals, Inc. Hydrogen recovery by adsorbent membranes
FR2660669B1 (fr) * 1990-04-04 1992-06-19 Air Liquide Procede et installation de traitement thermique d'objets avec trempe en milieux gazeux.
US5451248A (en) * 1990-07-19 1995-09-19 The Boc Group Plc Storage and transportation of goods under controlled atmospheres
EP0498787A3 (en) * 1991-02-04 1992-10-14 Peter Lisec Method and device for manufacturing insulating glazing units
US5332547A (en) * 1991-04-16 1994-07-26 Prolong Systems, Inc. Controlled atmosphere storage container
FR2678143B1 (fr) * 1991-06-28 1993-09-03 Air Liquide Procede et dispositif d'etablissement d'une atmosphere controlee dans des compartiments d'une enceinte de conservation de produits alimentaires vegetaux frais.
NL9200039A (nl) * 1992-01-10 1993-08-02 Delair Droogtech & Lucht Werkwijze alsook inrichting voor het conditioneren van de atmosfeer in een opslagruimte voor organische oogstmaterialen.
US5355781A (en) * 1992-02-28 1994-10-18 Prolong Systems, Inc. Controlled atmosphere storage system
US5344480A (en) * 1992-05-05 1994-09-06 Praxair Technology, Inc. Pressurizing with and recovering helium
FR2695568B1 (fr) * 1992-09-14 1994-10-21 Air Liquide Procédé et installation de séparation de gaz par perméation.
DE4307403A1 (de) * 1993-03-09 1994-09-15 Cta Composite Tech Autom Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Einrichten, Gasfüllen und Verpressen von Einzelscheiben und/oder bereits vorgefertigten Scheibenanordnungen als zwei Komponenten bei der Herstellung von Isolierglasscheiben
US5308382A (en) * 1993-04-16 1994-05-03 Praxair Technology, Inc. Container inerting
US5438841A (en) * 1994-06-15 1995-08-08 Carrier Corporation Pre-trip system for a controlled atmosphere system for a refrigerated container
US5457963A (en) * 1994-06-15 1995-10-17 Carrier Corporation Controlled atmosphere system for a refrigerated container

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001110284A (ja) * 1999-10-01 2001-04-20 Toshiba Corp ガス回収装置
JP2005188717A (ja) * 2003-12-26 2005-07-14 Daido Air Products Electronics Kk ガス回収方法およびガス回収装置ならびにガス回収システム
WO2013154014A1 (ja) * 2012-04-13 2013-10-17 岩谷産業株式会社 混合気体の供給方法及び供給装置
US9533268B2 (en) 2012-04-13 2017-01-03 Iwatani Corporation Method and apparatus for supplying mixed gas
CN110813014A (zh) * 2019-11-20 2020-02-21 广州金鹏环保工程有限公司 气体处理系统

Also Published As

Publication number Publication date
DE69608716D1 (de) 2000-07-13
FR2730790A1 (fr) 1996-08-23
CA2169600A1 (fr) 1996-08-18
US5676736A (en) 1997-10-14
DE69608716T2 (de) 2000-11-09
DK0727557T3 (da) 2000-08-21
EP0727557A1 (fr) 1996-08-21
FR2730790B1 (fr) 1997-05-23
EP0727557B1 (fr) 2000-06-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH08312898A (ja) 容器内の保持ガス中に充填ガスを導入する方法及びその装置
US8591634B2 (en) Method and equipment for selectively collecting process effluent
US5051115A (en) Pressure swing adsorption process
EP0241910B1 (en) Process for separating carbon monoxide having substantially constant purity
KR101534650B1 (ko) 폐가스 스트림 흡착으로부터 고가치 성분을 회수하는 방법 및 시스템
US6030598A (en) Process for producing a gaseous product
GB1579783A (en) Separation of gaseous mixture by selective adsorption
IE71669B1 (en) Pressure swing adsorption method for separating gaseous mixtures
US5620501A (en) Recovery of trace gases from gas streams
EP1004342A2 (en) Pressure swing adsorption gas separation process and system using single adsorber and product recycle
EP0266884B1 (en) Process and apparatus for pressure swing adsorption employing gaseous diffusion barriers
RU2707767C1 (ru) Процесс криогенной адсорбции для извлечения ксенона
EP0826629B1 (en) Recovery of noble gases
JP2008296089A (ja) 水素同位体の分離・濃縮方法
US4054427A (en) Method of recovering krypton and xenon nuclides from waste gases
JP2003500186A (ja) ガス絶縁ラインにおける絶縁ガスからのsf6の分離
US11857912B2 (en) Method for producing a gaseous flow using a storage tank
JPH0554880B2 (ja)
JPH08119603A (ja) 混合ガスより一酸化炭素及び水素を併産する方法
JP3609550B2 (ja) ダイサルファイドの分析方法
CA1199881A (en) Safe adsorption process for the separation of hydrocarbons from oxygen containing gas
JP2000035199A (ja) 溶接ガス回収装置
EP0761282A2 (en) Pressure swing adsorption apparatus
JPH1157376A (ja) 圧力スイング吸着方式による混合ガス分離方法
GB1591798A (en) Adsorption system