JPH08313174A - 反応気体および固体の供給方法および装置 - Google Patents
反応気体および固体の供給方法および装置Info
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- JPH08313174A JPH08313174A JP8149788A JP14978896A JPH08313174A JP H08313174 A JPH08313174 A JP H08313174A JP 8149788 A JP8149788 A JP 8149788A JP 14978896 A JP14978896 A JP 14978896A JP H08313174 A JPH08313174 A JP H08313174A
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27B—FURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
- F27B15/00—Fluidised-bed furnaces; Other furnaces using or treating finely-divided materials in dispersion
- F27B15/006—Equipment for treating dispersed material falling under gravity with ascending gases
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J8/00—Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes
- B01J8/0015—Feeding of the particles in the reactor; Evacuation of the particles out of the reactor
- B01J8/003—Feeding of the particles in the reactor; Evacuation of the particles out of the reactor in a downward flow
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22B—PRODUCTION AND REFINING OF METALS; PRETREATMENT OF RAW MATERIALS
- C22B15/00—Obtaining copper
- C22B15/0026—Pyrometallurgy
- C22B15/0028—Smelting or converting
- C22B15/0047—Smelting or converting flash smelting or converting
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 懸濁溶解炉へ反応気体および固体を供給す
る、改良されてさらに効率的になった方法および装置を
実現する。 【解決手段】 反応気体および固体を懸濁溶解炉へ供給
する本装置は、反応気体および固体を受け入れて、それ
らを懸濁溶解炉へ導入するコンジット1、3 を少なくとも
有し、固体供給用流路１を取り巻く反応気体用流路12を
介して、少なくとも反応気体の大部分を懸濁溶解炉へ供
給する。反応気体用流路12内であって、反応気体用流路
12の端部のうち懸濁溶解炉側にある端部に実質的に近い
所に調節部材８が設置され、これによって、懸濁溶解炉
へ供給される反応気体の流量を実質的に無段階で調節す
ることができる。
る、改良されてさらに効率的になった方法および装置を
実現する。 【解決手段】 反応気体および固体を懸濁溶解炉へ供給
する本装置は、反応気体および固体を受け入れて、それ
らを懸濁溶解炉へ導入するコンジット1、3 を少なくとも
有し、固体供給用流路１を取り巻く反応気体用流路12を
介して、少なくとも反応気体の大部分を懸濁溶解炉へ供
給する。反応気体用流路12内であって、反応気体用流路
12の端部のうち懸濁溶解炉側にある端部に実質的に近い
所に調節部材８が設置され、これによって、懸濁溶解炉
へ供給される反応気体の流量を実質的に無段階で調節す
ることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、反応気体および固
体を懸濁溶解炉へ供給する方法および装置に関し、反応
気体用コンジット内であって、かつ反応気体用コンジッ
トと懸濁溶解炉との接合部に実質的に近い所に設置され
ている調節部材を用いて反応気体の流量を調節する。
体を懸濁溶解炉へ供給する方法および装置に関し、反応
気体用コンジット内であって、かつ反応気体用コンジッ
トと懸濁溶解炉との接合部に実質的に近い所に設置され
ている調節部材を用いて反応気体の流量を調節する。
【０００２】
【従来の技術】懸濁溶解炉において効率的に懸濁するた
めには、固体の量の変動には関係なく、反応気体の流量
(m/s) を実質的に一定の大きさに保つようにする必要が
ある。例えば、懸濁溶解炉へ供給される固体の量が何ら
かの理由で減量される場合、反応気体の量も同様に減ら
す必要がある。反応気体の量が減らされると、反応気体
の流れの断面積が同じである場合は、反応気体の流量も
低下する。反応気体の流量は、効率的に懸濁するときの
重要な要因であり、それ故に懸濁溶解炉における反応気
体の流量が多くの様々な方法で調節されている。
めには、固体の量の変動には関係なく、反応気体の流量
(m/s) を実質的に一定の大きさに保つようにする必要が
ある。例えば、懸濁溶解炉へ供給される固体の量が何ら
かの理由で減量される場合、反応気体の量も同様に減ら
す必要がある。反応気体の量が減らされると、反応気体
の流れの断面積が同じである場合は、反応気体の流量も
低下する。反応気体の流量は、効率的に懸濁するときの
重要な要因であり、それ故に懸濁溶解炉における反応気
体の流量が多くの様々な方法で調節されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】米国特許第 4,331,087
号は、懸濁溶解炉の反応チャンバ内で起こる反応を扱っ
ている。反応気体と固体材料との間に充分な速度差を作
るために、反応気体に強力な乱流運動をさせ、その後、
反応気体は、外部から入ってくる固体の環状の流れに合
流する。環状流は、先細の円錐形の滑り面によって、固
体の運動エネルギーを利用して形成される。前記の米国
特許第 4,331,087号に紹介されている反応気体の調節方
法は、反応気体の循環の調節にしか適しておらず、した
がって、主としてバーナーの中心軸の方向に気体の速度
を調節するためには、その特許を用いることはできな
い。
号は、懸濁溶解炉の反応チャンバ内で起こる反応を扱っ
ている。反応気体と固体材料との間に充分な速度差を作
るために、反応気体に強力な乱流運動をさせ、その後、
反応気体は、外部から入ってくる固体の環状の流れに合
流する。環状流は、先細の円錐形の滑り面によって、固
体の運動エネルギーを利用して形成される。前記の米国
特許第 4,331,087号に紹介されている反応気体の調節方
法は、反応気体の循環の調節にしか適しておらず、した
がって、主としてバーナーの中心軸の方向に気体の速度
を調節するためには、その特許を用いることはできな
い。
【０００４】フィンランド特許出願第 922,530号および
第 932,458号においては、気体の流れが溶解炉の反応空
間内へ１つもしくはいくつかの環状流として放出され
て、気体の流速が調節され、流路の数を調節することに
よって、その放出速度が決定される。そして、選択され
た流量および気体速度にもよるが、その気体は反応空間
へ、選鉱が放出される地点に関して放射状に、かつ選鉱
とは異なる地点に放出される。
第 932,458号においては、気体の流れが溶解炉の反応空
間内へ１つもしくはいくつかの環状流として放出され
て、気体の流速が調節され、流路の数を調節することに
よって、その放出速度が決定される。そして、選択され
た流量および気体速度にもよるが、その気体は反応空間
へ、選鉱が放出される地点に関して放射状に、かつ選鉱
とは異なる地点に放出される。
【０００５】本発明の目的は、このような従来技術の欠
点のいくつかを解消することであり、懸濁溶解炉へ反応
気体および固体を供給する、改良されてさらに効率的に
なった方法を実現することである。さらに、本発明の目
的は、反応気体用コンジットと懸濁溶解炉との接合部に
実質的に近い所において、したがって懸濁溶解炉へ供給
される固体が放出される地点に実質的に近い所におい
て、反応気体用コンジットの断面積を、有利に無段階で
調節できる装置を実現することである。
点のいくつかを解消することであり、懸濁溶解炉へ反応
気体および固体を供給する、改良されてさらに効率的に
なった方法を実現することである。さらに、本発明の目
的は、反応気体用コンジットと懸濁溶解炉との接合部に
実質的に近い所において、したがって懸濁溶解炉へ供給
される固体が放出される地点に実質的に近い所におい
て、反応気体用コンジットの断面積を、有利に無段階で
調節できる装置を実現することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の方法および装置
においては、反応気体用コンジット内に設置されている
調節部材を用いて反応気体用コンジットの断面積を、有
利に実質的に無段階で調節することによって反応気体の
流量が調節される。これらの調節部材は、反応気体用コ
ンジットの端部のうち懸濁溶解炉側にある端部に実質的
に近い所に配置されている。これらの調節部材同士は、
更に連結部材によって連結されている。上記の連結部材
は、反応気体用コンジットの外側に設けられたアクチュ
エータへ伝動軸によって連結されている。
においては、反応気体用コンジット内に設置されている
調節部材を用いて反応気体用コンジットの断面積を、有
利に実質的に無段階で調節することによって反応気体の
流量が調節される。これらの調節部材は、反応気体用コ
ンジットの端部のうち懸濁溶解炉側にある端部に実質的
に近い所に配置されている。これらの調節部材同士は、
更に連結部材によって連結されている。上記の連結部材
は、反応気体用コンジットの外側に設けられたアクチュ
エータへ伝動軸によって連結されている。
【０００７】
【発明の実施の形態】次に添付図面を参照して、本発明
に係る装置をより詳細に説明する。
に係る装置をより詳細に説明する。
【０００８】図１は、選鉱バーナー内の、本発明に係る
調節装置を示す。この装置では選鉱用流路１を介してバ
ーナーへ選鉱が供給される。選鉱用流路の数は１個、も
しくは数個とすることができる。エアチャンバ２にはプ
ロセス気体、一般的には酸素富化空気がコンジット３を
通して導入される。気体用コンジット３の数もまた、１
個もしくは数個とすることができる。選鉱バーナーには
中央ジェットディストリビュータ４および中央酸素やり
５が設けられている。選鉱は、中央ジェットディストリ
ビュータを取り巻いている選鉱用流路から懸濁溶解炉の
反応空間へ選鉱吐出用オリフィス６を通して吐出され
る。酸素富化空気は、選鉱用流路を取り巻いている１つ
の環状の空気用流路から空気吐出用オリフィス７を通し
て吐出される。本発明による調節装置は、バーナーの外
側に取り付けられているアクチュエータ10、変速装置付
き駆動軸11、および空気用流路の壁に支持されている可
動調節部材８を有している。アクチュエータの動作は手
動制御か、もしくは遠隔制御装置のいずれかで制御する
ことができる。アクチュエータの動きは歯車駆動によっ
て駆動軸11の回転運動に変換される。この駆動軸11の回
転運動は更に歯車駆動によって、空気用流路の周囲に取
り付けられている駆動リング９の回転運動へ伝達され
る。この駆動リング９の下には、調節部材８が空気用流
路に対して設けられている。調節部材８は数個のリング
セクタから成っている。リングセクタは、一方の側にお
いて空気用流路へ連接構造により接続（連接）されてお
り、他方の側において駆動リング９へ連接構造により接
続されている。駆動リング９の回転運動により、リング
セクタ８の、駆動リング９へ連接されている側は空気用
流路の方へ位置を変える。この場合、反応気体の流路内
の流れの有る部分の面積は減少し、反応気体が吐出する
オリフィスの外周は実質的に円形に保たれる。駆動リン
グ９が反対方向に回転運動を行なうと、調節部材８は、
反応気体用流路から離れた位置に移動し、反応気体用流
路内の流れの有る部分の面積が増大し、反応気体の流量
が減少する。
調節装置を示す。この装置では選鉱用流路１を介してバ
ーナーへ選鉱が供給される。選鉱用流路の数は１個、も
しくは数個とすることができる。エアチャンバ２にはプ
ロセス気体、一般的には酸素富化空気がコンジット３を
通して導入される。気体用コンジット３の数もまた、１
個もしくは数個とすることができる。選鉱バーナーには
中央ジェットディストリビュータ４および中央酸素やり
５が設けられている。選鉱は、中央ジェットディストリ
ビュータを取り巻いている選鉱用流路から懸濁溶解炉の
反応空間へ選鉱吐出用オリフィス６を通して吐出され
る。酸素富化空気は、選鉱用流路を取り巻いている１つ
の環状の空気用流路から空気吐出用オリフィス７を通し
て吐出される。本発明による調節装置は、バーナーの外
側に取り付けられているアクチュエータ10、変速装置付
き駆動軸11、および空気用流路の壁に支持されている可
動調節部材８を有している。アクチュエータの動作は手
動制御か、もしくは遠隔制御装置のいずれかで制御する
ことができる。アクチュエータの動きは歯車駆動によっ
て駆動軸11の回転運動に変換される。この駆動軸11の回
転運動は更に歯車駆動によって、空気用流路の周囲に取
り付けられている駆動リング９の回転運動へ伝達され
る。この駆動リング９の下には、調節部材８が空気用流
路に対して設けられている。調節部材８は数個のリング
セクタから成っている。リングセクタは、一方の側にお
いて空気用流路へ連接構造により接続（連接）されてお
り、他方の側において駆動リング９へ連接構造により接
続されている。駆動リング９の回転運動により、リング
セクタ８の、駆動リング９へ連接されている側は空気用
流路の方へ位置を変える。この場合、反応気体の流路内
の流れの有る部分の面積は減少し、反応気体が吐出する
オリフィスの外周は実質的に円形に保たれる。駆動リン
グ９が反対方向に回転運動を行なうと、調節部材８は、
反応気体用流路から離れた位置に移動し、反応気体用流
路内の流れの有る部分の面積が増大し、反応気体の流量
が減少する。
【０００９】図２のＡ点は、調節部材８が全開し、反応
気体が流路12の全面積を通して吐出されている場合を示
す。Ｂ点は、反応気体用流路の断面積を絞る位置に調節
部材８がある場合を示し、反応気体が、反応気体用流路
の自由に通れる区域のみに沿って吐出される。
気体が流路12の全面積を通して吐出されている場合を示
す。Ｂ点は、反応気体用流路の断面積を絞る位置に調節
部材８がある場合を示し、反応気体が、反応気体用流路
の自由に通れる区域のみに沿って吐出される。
【００１０】図３は、運転領域内における所望の流量が
100m/s±20m/s である場合の事例を示す。本発明による
調節装置によって、 7,200〜48,000m3/hの範囲を運転領
域10とすることができるが、それに対して調節しない場
合では、運転領域20は32,000〜 48,000m3/h にしかなら
ないと思われる。図３において点線は、反応気体の量(m
3/h)と吐出用オリフィスの断面積(%) との関係を示す。
この断面積は、調節しない時の断面積を100%として示
す。実線は反応気体の量(m3/h)と流量(m/s) との関係を
示す。
100m/s±20m/s である場合の事例を示す。本発明による
調節装置によって、 7,200〜48,000m3/hの範囲を運転領
域10とすることができるが、それに対して調節しない場
合では、運転領域20は32,000〜 48,000m3/h にしかなら
ないと思われる。図３において点線は、反応気体の量(m
3/h)と吐出用オリフィスの断面積(%) との関係を示す。
この断面積は、調節しない時の断面積を100%として示
す。実線は反応気体の量(m3/h)と流量(m/s) との関係を
示す。
【００１１】遠隔制御装置によって運転する時は、調節
装置をプロセスコンピュータへ直接に接続することがで
きる。プロセスコンピュータは、例えば、供給される固
体の量が変化する場合に、所望の流量に自動的に調節す
ることができる。
装置をプロセスコンピュータへ直接に接続することがで
きる。プロセスコンピュータは、例えば、供給される固
体の量が変化する場合に、所望の流量に自動的に調節す
ることができる。
【００１２】以上の説明においては、本発明の装置を１
つの好ましい実施例のみを参照して説明したが、特許請
求の範囲に示す範囲内で本発明を広く変形することがで
きることはもちろん明らかである。
つの好ましい実施例のみを参照して説明したが、特許請
求の範囲に示す範囲内で本発明を広く変形することがで
きることはもちろん明らかである。
【００１３】
【発明の効果】本発明によれば、反応気体の流量は１つ
のつば（鍔）のみによって実質的に無段階に調節され
て、その調節は、反応気体が反応空間へ吐出される地点
に実質的に近い所で行なわれる。固体吐出用オリフィス
は、有利なように気体吐出用オリフィスの付近に配置さ
れている。そして、流量が調節されたとき、固体の吐出
位置に対する反応気体の吐出位置は変わらない。更に、
反応気体の流量調節は実質的には吐出用オリフィス内で
行なわれる。その場合、懸濁のために気体の流れが固体
の流れに出会うまで、調節することにより得られた流量
は実質的に維持される。したがって、混合による所望の
効果が得られ、反応気体および固体の間における反応が
制御される。
のつば（鍔）のみによって実質的に無段階に調節され
て、その調節は、反応気体が反応空間へ吐出される地点
に実質的に近い所で行なわれる。固体吐出用オリフィス
は、有利なように気体吐出用オリフィスの付近に配置さ
れている。そして、流量が調節されたとき、固体の吐出
位置に対する反応気体の吐出位置は変わらない。更に、
反応気体の流量調節は実質的には吐出用オリフィス内で
行なわれる。その場合、懸濁のために気体の流れが固体
の流れに出会うまで、調節することにより得られた流量
は実質的に維持される。したがって、混合による所望の
効果が得られ、反応気体および固体の間における反応が
制御される。
【００１４】反応気体の吐出用オリフィスの断面積の本
発明による調節は、流量についての広い運転領域にわた
って直線的に作用する。本発明によれば、この反応気体
の流れの断面積は、流路の壁に支えられている可動調節
部材によって有利に調節される。調節部材は例えばリン
グセクタであれば有利である。調節部材は、流路の壁と
反対の側において、すべての調節部材に共通な１つの連
結部材によって可動に支持されている。この連結部材
は、更に駆動軸によって、反応気体の流路の外側に設け
られているアクチュエータへ連結されている。このアク
チュエータには手動制御装置か、もしくは遠隔制御装置
のいずれかを設けることができる。このアクチュエータ
によって、固体の量が変動している間でも、反応気体用
流路の断面積を有利にかつ迅速に変化させることができ
る。そして、反応気体の有利な流量を、実質的に連続し
て維持することができる。
発明による調節は、流量についての広い運転領域にわた
って直線的に作用する。本発明によれば、この反応気体
の流れの断面積は、流路の壁に支えられている可動調節
部材によって有利に調節される。調節部材は例えばリン
グセクタであれば有利である。調節部材は、流路の壁と
反対の側において、すべての調節部材に共通な１つの連
結部材によって可動に支持されている。この連結部材
は、更に駆動軸によって、反応気体の流路の外側に設け
られているアクチュエータへ連結されている。このアク
チュエータには手動制御装置か、もしくは遠隔制御装置
のいずれかを設けることができる。このアクチュエータ
によって、固体の量が変動している間でも、反応気体用
流路の断面積を有利にかつ迅速に変化させることができ
る。そして、反応気体の有利な流量を、実質的に連続し
て維持することができる。
【００１５】本発明による調節部材として用いられるリ
ングセクタの数は有利には、例えば８個にすることがで
き、そのセクタの幅は 135度にすることができるが、そ
の場合、調節されるリングセクタは３層に積層される。
しかし、調節部材の数は４個から10個まで変えることが
できる。その場合有利なセクタの範囲も変わる。本発明
の好ましい例においては、リングセクタの数は４個であ
り、１つのセクタの幅は90度である。ところで、調節部
材は互いに接近して配置され、反応気体用流路に関して
実質的に同じ高さに取り付けられている。本発明の装置
によって、流路の断面積を有利に、反応気体用流路の調
節しない時の断面積の100%〜20% の面積内で調節するこ
とができる。
ングセクタの数は有利には、例えば８個にすることがで
き、そのセクタの幅は 135度にすることができるが、そ
の場合、調節されるリングセクタは３層に積層される。
しかし、調節部材の数は４個から10個まで変えることが
できる。その場合有利なセクタの範囲も変わる。本発明
の好ましい例においては、リングセクタの数は４個であ
り、１つのセクタの幅は90度である。ところで、調節部
材は互いに接近して配置され、反応気体用流路に関して
実質的に同じ高さに取り付けられている。本発明の装置
によって、流路の断面積を有利に、反応気体用流路の調
節しない時の断面積の100%〜20% の面積内で調節するこ
とができる。
【００１６】反応気体の流路の断面積を本発明の装置に
よって調節することにより、流れの中の局部的な乱流の
内部エネルギーを増加させる。しかし、このエネルギー
の増加には、気体の流れの衝撃を減衰する時間はない
が、気相と固体との混合を増進させ、したがって反応条
件を改善して反応を強化する。
よって調節することにより、流れの中の局部的な乱流の
内部エネルギーを増加させる。しかし、このエネルギー
の増加には、気体の流れの衝撃を減衰する時間はない
が、気相と固体との混合を増進させ、したがって反応条
件を改善して反応を強化する。
【図１】本発明の好ましい実施例の、側面から見た部分
断面図である。
断面図である。
【図２】２つの異なる調節位置にある図１の実施例を示
す図である。
す図である。
【図３】図１の実施例の運転範囲を示す図である。
1 選鉱用流路 2 エアチャンバ 3 反応気体用コンジット 4 中央ジェットディストリビュータ 5 中央酸素やり 6 選鉱吐出用オリフィス 7 空気吐出用オリフィス 8 調節部材 9 駆動リング 10 アクチュエータ 11 変速装置付き駆動軸
フロントページの続き (72)発明者 エンリケ デルガド スペイン国 エス／エヌ 21001 ウェル バ、アブダ フランシスコ モンテネグロ （番地なし）、 リオ ティント メタ ル エス．エー．内 (72)発明者 パトリシオ バリオス スペイン国 エス／エヌ 21001 ウェル バ、アブダ フランシスコ モンテネグロ （番地なし）、 リオ ティント メタ ル エス．エー．内 (72)発明者 ヘイッキ オラビ サボライネン フィンランド共和国 02210 エスポー、 アウリンゴンカトゥ ６ シー 12 (72)発明者 テウボ ペッカ タピオ フィンランド共和国 02730 エスポー、 ルンコティエ １ ディー (72)発明者 イルッカ ベイッコ コヨ フィンランド共和国 02430 マサラ、 マルメン 140
Claims (10)
- 【請求項１】 反応気体および固体を懸濁溶解炉へ供給
する方法であって、前記反応気体および固体を受け入れ
て該反応気体および固体を懸濁溶解炉へ導入するコンジ
ットを少なくとも有し、固体供給用流路を取り巻く反応
気体流路を介して、少なくとも前記反応気体の大部分を
前記懸濁溶解炉へ供給する反応気体および固体の供給方
法において、該方法は、 前記反応気体用流路内であって、該反応気体用流路の端
部のうち前記懸濁溶解炉側にある端部に実質的に近い所
に設置されている調節部材によって、前記懸濁溶解炉へ
供給される前記反応気体の流量を実質的に無段階で調節
することができることを特徴とする反応気体および固体
の供給方法。 - 【請求項２】 請求項１に記載の方法において、前記反
応気体用流路の断面積によって、前記反応気体の流量が
調整されることを特徴とする反応気体および固体の供給
方法。 - 【請求項３】 請求項１または２に記載の方法におい
て、前記反応気体の流量は１つの鍔によって調節される
ことを特徴とする反応気体および固体の供給方法。 - 【請求項４】 反応気体および固体を懸濁溶解炉へ供給
する装置であって、前記反応気体および固体を受け入れ
て該反応気体および固体を懸濁溶解炉へ導入するコンジ
ットを少なくとも有し、固体供給用流路を取り巻く反応
気体用流路を介して、少なくとも前記反応気体の大部分
が前記懸濁溶解炉へ供給される反応気体および固体の供
給装置において、該装置は、 前記反応気体用流路内であって、該反応気体用流路の端
部のうち前記懸濁溶解炉側にある端部に実質的に近い所
に設置され、前記懸濁溶解炉へ供給される前記反応気体
の流量を実質的に無段階で調節する調節部材を有し、 前記反応気体用流路の周りに配置されている連結部材に
よって、前記調節部材が相互に連結されていることを特
徴とする反応気体および固体の供給装置。 - 【請求項５】 請求項４に記載の装置において、前記調
節部材はリングセクタであることを特徴とする反応気体
および固体の供給装置。 - 【請求項６】 請求項４または５に記載の装置におい
て、前記調節部材の数は 4〜10であることを特徴とする
反応気体および固体の供給装置。 - 【請求項７】 請求項４から６までのいずれかに記載の
装置において、前記調節部材が互いに重なり合うように
配置されていることを特徴とする反応気体および固体の
供給装置。 - 【請求項８】 請求項４から７までのいずれかに記載の
装置において、前記調節部材が手動により調節可能であ
ることを特徴とする反応気体および固体の供給装置。 - 【請求項９】 請求項４から７までのいずれかに記載の
装置において、前記調節部材が遠隔制御装置によって調
節可能であることを特徴とする反応気体および固体の供
給装置。 - 【請求項１０】 請求項４から９までのいずれかに記載
の装置において、前記調節部材によって、前記反応気体
用流路の断面積を、調節しない場合の全断面積の100%〜
20% の範囲内で調節可能であることを特徴とする反応気
体および固体の供給装置。
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|---|---|---|---|
| FI952492 | 1995-05-23 | ||
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