JPH0831346A - フラット形表示装置 - Google Patents
フラット形表示装置Info
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- JPH0831346A JPH0831346A JP16352594A JP16352594A JPH0831346A JP H0831346 A JPH0831346 A JP H0831346A JP 16352594 A JP16352594 A JP 16352594A JP 16352594 A JP16352594 A JP 16352594A JP H0831346 A JPH0831346 A JP H0831346A
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- Japan
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- grooves
- light emitting
- unit light
- matrix display
- groove
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- Electrodes For Cathode-Ray Tubes (AREA)
- Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)
- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】ＦＥＤにおいてアーク放電を誘発するガス圧上
昇を抑制するとともに、隣接する単位発光領域へのアー
ク放電の拡がりを防止することを目的とする。 【構成】蛍光膜１２を有した前面パネル１０と、蛍光膜
を選択的に励起する電界放出陰極２２を有した背面パネ
ル２０とが、真空間隙３０を介して対向する構造のマト
リクス表示方式のフラット形表示装置１であって、前面
パネル１０の内壁面に、マトリクス表示領域を一方向に
沿って単位発光領域毎に区画する互いに平行な第１方向
の溝１７が設けられ、背面パネル２０の内壁面に、マト
リクス表示領域を第１方向の溝１７の延長方向に沿って
単位発光領域毎に区画する互いに平行な第２方向の溝２
７が設けられている。
昇を抑制するとともに、隣接する単位発光領域へのアー
ク放電の拡がりを防止することを目的とする。 【構成】蛍光膜１２を有した前面パネル１０と、蛍光膜
を選択的に励起する電界放出陰極２２を有した背面パネ
ル２０とが、真空間隙３０を介して対向する構造のマト
リクス表示方式のフラット形表示装置１であって、前面
パネル１０の内壁面に、マトリクス表示領域を一方向に
沿って単位発光領域毎に区画する互いに平行な第１方向
の溝１７が設けられ、背面パネル２０の内壁面に、マト
リクス表示領域を第１方向の溝１７の延長方向に沿って
単位発光領域毎に区画する互いに平行な第２方向の溝２
７が設けられている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、蛍光面を励起する電子
源（電子銃）として多数の電界放出陰極を備えたフラッ
ト形表示装置に関する。
源（電子銃）として多数の電界放出陰極を備えたフラッ
ト形表示装置に関する。
【０００２】電界放出（冷陰極放出ともいう）を利用し
た表示装置（ＦＥＤ：ＦｉｅｌｄＥｍｉｔｔｅｒ Ｄｅ
ｓｐｌａｙ）は、高精細で高輝度の表示が可能であり、
次世代の表示デバイスとして注目されている。
た表示装置（ＦＥＤ：ＦｉｅｌｄＥｍｉｔｔｅｒ Ｄｅ
ｓｐｌａｙ）は、高精細で高輝度の表示が可能であり、
次世代の表示デバイスとして注目されている。
【０００３】
【従来の技術】ＦＥＤは、微小間隙を介して一対のパネ
ルを対向配置し、それらパネルの周囲を封着した厚さ数
ｍｍ程度の偏平状の表示管である。表示面側の前面パネ
ルの内面に蛍光膜が設けられ、背面パネル上に個々の単
位発光領域毎に電界放出陰極が配列されている。電界放
出陰極は、エミッタティップと呼称される数十〜１００
０個のミクロンサイズの錐状突起を有しており、このよ
うな電界放出陰極の配列領域が画面表示領域となる。な
お、単色表示の場合には単位発光領域が１画素に対応
し、フルカラー表示の場合には３原色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の
各色の単位発光領域が１画素に対応する。
ルを対向配置し、それらパネルの周囲を封着した厚さ数
ｍｍ程度の偏平状の表示管である。表示面側の前面パネ
ルの内面に蛍光膜が設けられ、背面パネル上に個々の単
位発光領域毎に電界放出陰極が配列されている。電界放
出陰極は、エミッタティップと呼称される数十〜１００
０個のミクロンサイズの錐状突起を有しており、このよ
うな電界放出陰極の配列領域が画面表示領域となる。な
お、単色表示の場合には単位発光領域が１画素に対応
し、フルカラー表示の場合には３原色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の
各色の単位発光領域が１画素に対応する。
【０００４】ＦＥＤの製造に際しては、一対のパネルの
周囲を封着し、それと同時に予め背面側パネルの周縁部
の排気口に仮止めしておいたチップオフ管を接着し、そ
の後にチップオフ管を介して内部の排気を行う。そし
て、チップオフ管を溶断して排気口を塞ぎ、内部の真空
間隙を密閉する。
周囲を封着し、それと同時に予め背面側パネルの周縁部
の排気口に仮止めしておいたチップオフ管を接着し、そ
の後にチップオフ管を介して内部の排気を行う。そし
て、チップオフ管を溶断して排気口を塞ぎ、内部の真空
間隙を密閉する。
【０００５】ＦＥＤにおいて、電界放出陰極（以下では
「エミッタ」という）が確実に機能するには、エミッタ
と蛍光面との間隙を１０-7〜１０-8Ｔｏｒｒのいわゆる
超高真空に保つ必要がある。このため、通常はチップオ
フ管内に非蒸発型ゲッタ（バルクゲッタ）が固定されて
いる。
「エミッタ」という）が確実に機能するには、エミッタ
と蛍光面との間隙を１０-7〜１０-8Ｔｏｒｒのいわゆる
超高真空に保つ必要がある。このため、通常はチップオ
フ管内に非蒸発型ゲッタ（バルクゲッタ）が固定されて
いる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ＦＥＤで
は、真空間隙の寸法は１００〜２００μｍ程度であり、
内部におけるガス流動のコンダタンスは小さい。したが
って、組立て時の排気処理による内表面の完全な清浄化
が困難であること、加えて、使用中において内壁からの
ガス放出が避けられないことから、局部的に真空度が損
なわれてアーク放電が生じる場合があった。アーク放電
は、微細なエミッタを破壊し、その部分の表示機能を消
失させてしまう。
は、真空間隙の寸法は１００〜２００μｍ程度であり、
内部におけるガス流動のコンダタンスは小さい。したが
って、組立て時の排気処理による内表面の完全な清浄化
が困難であること、加えて、使用中において内壁からの
ガス放出が避けられないことから、局部的に真空度が損
なわれてアーク放電が生じる場合があった。アーク放電
は、微細なエミッタを破壊し、その部分の表示機能を消
失させてしまう。
【０００７】なお、ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネ
ル）のように、内部間隙を単位発光領域毎に区画する隔
壁を設けることにより、アーク放電の拡がりを阻止し
て、破損領域を最小限に抑えることが考えられる。隔壁
は電極の上を横切るように形成すればよいので、例えば
格子状の隔壁を設けても電極を表示領域内からパネル端
部まで引き出すことができる。しかし、隔壁を設けた場
合には、コンダクタンスが以前にも増して小さくなり、
排気工程の処理効率が低下するとともに、各単位発光領
域のガス圧上昇が促進されてアーク放電が発生し易くな
る。
ル）のように、内部間隙を単位発光領域毎に区画する隔
壁を設けることにより、アーク放電の拡がりを阻止し
て、破損領域を最小限に抑えることが考えられる。隔壁
は電極の上を横切るように形成すればよいので、例えば
格子状の隔壁を設けても電極を表示領域内からパネル端
部まで引き出すことができる。しかし、隔壁を設けた場
合には、コンダクタンスが以前にも増して小さくなり、
排気工程の処理効率が低下するとともに、各単位発光領
域のガス圧上昇が促進されてアーク放電が発生し易くな
る。
【０００８】本発明は、上述の問題に鑑みてなされたも
ので、アーク放電を誘発するガス圧上昇を抑制するとと
もに、隣接する単位発光領域へのアーク放電の拡がりを
防止することを目的としている。
ので、アーク放電を誘発するガス圧上昇を抑制するとと
もに、隣接する単位発光領域へのアーク放電の拡がりを
防止することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明の装置
は、上述の課題を解決するため、図１及び図２に示すよ
うに、蛍光膜を有した前面パネルと、前記蛍光膜を選択
的に励起する電界放出陰極を有した背面パネルとが、真
空間隙を介して対向する構造のマトリクス表示方式のフ
ラット形表示装置であって、前記前面パネルの内壁面
に、マトリクス表示領域を一方向に沿って単位発光領域
毎に区画する互いに平行な第１方向の溝が設けられ、前
記背面パネルの内壁面に、前記マトリクス表示領域を前
記第１方向の溝の延長方向に沿って単位発光領域毎に区
画する互いに平行な第２方向の溝が設けられてなる。
は、上述の課題を解決するため、図１及び図２に示すよ
うに、蛍光膜を有した前面パネルと、前記蛍光膜を選択
的に励起する電界放出陰極を有した背面パネルとが、真
空間隙を介して対向する構造のマトリクス表示方式のフ
ラット形表示装置であって、前記前面パネルの内壁面
に、マトリクス表示領域を一方向に沿って単位発光領域
毎に区画する互いに平行な第１方向の溝が設けられ、前
記背面パネルの内壁面に、前記マトリクス表示領域を前
記第１方向の溝の延長方向に沿って単位発光領域毎に区
画する互いに平行な第２方向の溝が設けられてなる。
【００１０】請求項２の発明の装置は、前記第１方向の
溝の一端側に、前記第１方向の溝の配列方向に延び前記
各第１方向の溝を接続する第１の連通溝が設けられ、前
記第２方向の溝の一端側に、前記第２方向の溝の配列方
向に延び前記各第２方向の溝を接続する第２の連通溝が
設けられてなる。
溝の一端側に、前記第１方向の溝の配列方向に延び前記
各第１方向の溝を接続する第１の連通溝が設けられ、前
記第２方向の溝の一端側に、前記第２方向の溝の配列方
向に延び前記各第２方向の溝を接続する第２の連通溝が
設けられてなる。
【００１１】請求項３の発明の装置は、前記マトリクス
表示領域の外側の隅部に、前記第１及び第２の連通溝の
内の一方と接し且つ他方と前記真空間隙を介して対向す
る排気孔を有してなる。
表示領域の外側の隅部に、前記第１及び第２の連通溝の
内の一方と接し且つ他方と前記真空間隙を介して対向す
る排気孔を有してなる。
【００１２】請求項４の発明の装置は、前記第２方向の
溝が、前記電界放出陰極を囲む絶縁層のパターニングに
よって形成されてなる。請求項５の発明の装置は、蛍光
膜を有した前面パネルと、前記蛍光膜を選択的に励起す
る電界放出陰極を有した背面パネルとが、真空間隙を介
して対向する構造のマトリクス表示方式のフラット形表
示装置であって、前記真空間隙の同一壁面に、マトリク
ス表示領域を一方向に沿って単位発光領域毎に区画する
互いに平行な第１方向の溝と、前記マトリクス表示領域
を前記第１方向の溝の延長方向に沿って単位発光領域毎
に区画し且つ前記単位発光領域毎に分断された互いに平
行な第２方向の溝とが設けられてなる。
溝が、前記電界放出陰極を囲む絶縁層のパターニングに
よって形成されてなる。請求項５の発明の装置は、蛍光
膜を有した前面パネルと、前記蛍光膜を選択的に励起す
る電界放出陰極を有した背面パネルとが、真空間隙を介
して対向する構造のマトリクス表示方式のフラット形表
示装置であって、前記真空間隙の同一壁面に、マトリク
ス表示領域を一方向に沿って単位発光領域毎に区画する
互いに平行な第１方向の溝と、前記マトリクス表示領域
を前記第１方向の溝の延長方向に沿って単位発光領域毎
に区画し且つ前記単位発光領域毎に分断された互いに平
行な第２方向の溝とが設けられてなる。
【００１３】
【作用】マトリクス表示の各単位発光領域を囲むよう
に、真空間隙を介して第１方向の溝と第２方向の溝とが
交差する。これらの溝によって、マトリクス表示領域内
の縦横のコンダクタンスが高まり、局部的なガス圧上昇
が軽減される。また、溝の部分では他の部分よりも真空
間隙の寸法が増大してガスが拡散し易いことから、各単
位発光領域は隣接する単位発光領域と真空条件の上で区
画される。
に、真空間隙を介して第１方向の溝と第２方向の溝とが
交差する。これらの溝によって、マトリクス表示領域内
の縦横のコンダクタンスが高まり、局部的なガス圧上昇
が軽減される。また、溝の部分では他の部分よりも真空
間隙の寸法が増大してガスが拡散し易いことから、各単
位発光領域は隣接する単位発光領域と真空条件の上で区
画される。
【００１４】マトリクス表示領域内の不純ガスは、第１
方向の溝、第１の連通溝、第２方向の溝、及び第２の連
通溝を通じて排気孔へ円滑に流れ、真空間隙は超高真空
状態に保たれる。
方向の溝、第１の連通溝、第２方向の溝、及び第２の連
通溝を通じて排気孔へ円滑に流れ、真空間隙は超高真空
状態に保たれる。
【００１５】
【実施例】図１は第１実施例のＦＥＤ１の内部構造を示
す部分斜視図、図２は図１のＦＥＤ１の平面構造を示す
模式図、図３は図１のＦＥＤ１の外観図、図４はエミッ
タ２２の構造の一例を示す斜視図、図５は背面パネル２
０の製造工程を示す図である。
す部分斜視図、図２は図１のＦＥＤ１の平面構造を示す
模式図、図３は図１のＦＥＤ１の外観図、図４はエミッ
タ２２の構造の一例を示す斜視図、図５は背面パネル２
０の製造工程を示す図である。
【００１６】図３のように、ＦＥＤ１は、ガラス板１１
を基体とする前面パネル１０と、シリコン板（ウエハ）
２１を基体とする背面パネル２０とから構成されてい
る。パネル面の中央部が任意の画像を表示するマトリク
ス表示領域（スクリーン）ＩＡである。両パネル１０，
２０は、約１００μｍの間隙を設けて対向配置され、対
向領域の周縁部が低融点ガラス層３５によって封着され
ている。内部は１０-7〜１０-8Ｔｏｒｒの真空であり、
間隙寸法は図示しないビーズスペーサの点在配置によっ
て均一化されている。
を基体とする前面パネル１０と、シリコン板（ウエハ）
２１を基体とする背面パネル２０とから構成されてい
る。パネル面の中央部が任意の画像を表示するマトリク
ス表示領域（スクリーン）ＩＡである。両パネル１０，
２０は、約１００μｍの間隙を設けて対向配置され、対
向領域の周縁部が低融点ガラス層３５によって封着され
ている。内部は１０-7〜１０-8Ｔｏｒｒの真空であり、
間隙寸法は図示しないビーズスペーサの点在配置によっ
て均一化されている。
【００１７】ＦＥＤ１では、前面パネル１０の外面に、
製造に際して内部の排気に用いるチップオフ管５０が取
り付けられている。すなわち、ガラス板１１に排気孔２
１ａ（図２参照）となる貫通孔が設けられている。チッ
プオフ管５０の先端は塞がれ、管内にはバルクゲッタが
メタルシールなどによって固定されている。
製造に際して内部の排気に用いるチップオフ管５０が取
り付けられている。すなわち、ガラス板１１に排気孔２
１ａ（図２参照）となる貫通孔が設けられている。チッ
プオフ管５０の先端は塞がれ、管内にはバルクゲッタが
メタルシールなどによって固定されている。
【００１８】図１のように、前面パネル１０の内面に蛍
光膜１２が設けられ、背面パネル２０の内面に蛍光膜１
２を励起するためのエミッタ（電界放出陰極）２２が配
置されている。蛍光膜１２の配置パターンは、図２のよ
うに単位発光領域毎に分割されたドットパターンとさ
れ、各蛍光膜１２とガラス板１１との間には、透明導電
膜からなる図示しないアノード電極が設けられている。
光膜１２が設けられ、背面パネル２０の内面に蛍光膜１
２を励起するためのエミッタ（電界放出陰極）２２が配
置されている。蛍光膜１２の配置パターンは、図２のよ
うに単位発光領域毎に分割されたドットパターンとさ
れ、各蛍光膜１２とガラス板１１との間には、透明導電
膜からなる図示しないアノード電極が設けられている。
【００１９】背面パネル２０においては、ガラス板２１
上に配列されたカソード電極２３とゲート電極２６とに
よって電極マトリクスが構成されている。カソード電極
２３及びゲート電極２６は、絶縁層２４を介して交差
し、それによって各交差部にマトリクス表示の単位発光
領域を画定するエミッタ２２が形成されている。単位発
光領域の大きさは、例えば１００μｍ角程度である。
上に配列されたカソード電極２３とゲート電極２６とに
よって電極マトリクスが構成されている。カソード電極
２３及びゲート電極２６は、絶縁層２４を介して交差
し、それによって各交差部にマトリクス表示の単位発光
領域を画定するエミッタ２２が形成されている。単位発
光領域の大きさは、例えば１００μｍ角程度である。
【００２０】エミッタ２２は、図４のように、カソード
電極２３と電気的に一体化された円錐状のエミッタティ
ップ２５、エミッタティップ２５を露出させる開口２６
ａを有したゲート電極２６、及びエミッタティップ２５
の周囲に空隙を形成する絶縁層２４などから構成されて
おり、実際には数百以上のエミッタティップ２５を有す
る。エミッタ２２の形成方法は後述する。
電極２３と電気的に一体化された円錐状のエミッタティ
ップ２５、エミッタティップ２５を露出させる開口２６
ａを有したゲート電極２６、及びエミッタティップ２５
の周囲に空隙を形成する絶縁層２４などから構成されて
おり、実際には数百以上のエミッタティップ２５を有す
る。エミッタ２２の形成方法は後述する。
【００２１】エミッタティップ２５とゲート電極２６と
の間に所定の電圧を印加すると、エミッタティップ２５
の先端部で電界放出が生じる。したがって、例えばライ
ン順次形式でカソード電極２３とゲート電極２６とを選
択し、特定のエミッタ２２から電子ビームを射出させる
ことにより、エミッタ２２と対向する蛍光膜１２を選択
的に発光させることができる。フルカラー表示の場合に
は、カソード電極２３の延長方向に並ぶ３個の単位発光
領域に３原色の各色の蛍光膜１２が配置され、画素の表
示色に応じて発光時間制御などによる各色の階調表示が
行われる。
の間に所定の電圧を印加すると、エミッタティップ２５
の先端部で電界放出が生じる。したがって、例えばライ
ン順次形式でカソード電極２３とゲート電極２６とを選
択し、特定のエミッタ２２から電子ビームを射出させる
ことにより、エミッタ２２と対向する蛍光膜１２を選択
的に発光させることができる。フルカラー表示の場合に
は、カソード電極２３の延長方向に並ぶ３個の単位発光
領域に３原色の各色の蛍光膜１２が配置され、画素の表
示色に応じて発光時間制御などによる各色の階調表示が
行われる。
【００２２】なお、カソード電極２３、ゲート電極２
６、及びアノード電極はマトリクス表示領域ＩＡからパ
ネル端部まで導出され、これら電極を外部の回路と接続
するために、一方のパネルの電極導出部が他方のパネル
に対して張り出すように、前面側及び背面側のパネルサ
イズと重ね合わせ位置とが選定されている。
６、及びアノード電極はマトリクス表示領域ＩＡからパ
ネル端部まで導出され、これら電極を外部の回路と接続
するために、一方のパネルの電極導出部が他方のパネル
に対して張り出すように、前面側及び背面側のパネルサ
イズと重ね合わせ位置とが選定されている。
【００２３】さて、図１及び図２のように、ＦＥＤ１に
おいては、前面パネル１０の内壁面に、マトリクス表示
領域ＩＡをゲート電極２６の延長方向に沿って単位発光
領域毎に区画する互いに平行な溝１７が設けられ、背面
パネル２０の内壁面に、マトリクス表示領域ＩＡを溝１
７の延長方向に沿って単位発光領域毎に区画する互いに
平行な溝２７が設けられている。また、溝１７の一端側
に、溝１７の配列方向に延びて各溝１７を接続する連通
溝１８が設けられ、溝２７の一端側に、溝２７の配列方
向に延びて各溝２７を接続する連通溝２８が設けられて
いる。
おいては、前面パネル１０の内壁面に、マトリクス表示
領域ＩＡをゲート電極２６の延長方向に沿って単位発光
領域毎に区画する互いに平行な溝１７が設けられ、背面
パネル２０の内壁面に、マトリクス表示領域ＩＡを溝１
７の延長方向に沿って単位発光領域毎に区画する互いに
平行な溝２７が設けられている。また、溝１７の一端側
に、溝１７の配列方向に延びて各溝１７を接続する連通
溝１８が設けられ、溝２７の一端側に、溝２７の配列方
向に延びて各溝２７を接続する連通溝２８が設けられて
いる。
【００２４】溝１７の他端側の内壁面は、アノード電極
をパネル端部へ引き出すために平坦面とされている。同
様に、溝２７の他端側の内壁面は、ゲート電極２６をパ
ネル端部へ引き出すために平坦面とされている。つま
り、溝のような段部に電極層を設けると、断線不良が発
生し易くなる。なお、カソード電極２３は、溝２７の下
方を通過するので溝２７に影響されない。
をパネル端部へ引き出すために平坦面とされている。同
様に、溝２７の他端側の内壁面は、ゲート電極２６をパ
ネル端部へ引き出すために平坦面とされている。つま
り、溝のような段部に電極層を設けると、断線不良が発
生し易くなる。なお、カソード電極２３は、溝２７の下
方を通過するので溝２７に影響されない。
【００２５】一方、上述のようにチップオフ管５０の取
り付け位置を決める排気孔２１ａ、すなわち真空間隙３
０とチップオフ管５０内のバルクゲッタとを連通させる
通気路は、マトリクス表示領域ＩＡの外側の隅部に設け
られており、連通溝１８と接し且つ連通溝２８と真空間
隙３０を介して対向する。
り付け位置を決める排気孔２１ａ、すなわち真空間隙３
０とチップオフ管５０内のバルクゲッタとを連通させる
通気路は、マトリクス表示領域ＩＡの外側の隅部に設け
られており、連通溝１８と接し且つ連通溝２８と真空間
隙３０を介して対向する。
【００２６】以上の構成のＦＥＤ１においては、マトリ
クス表示の各単位発光領域を囲むように、真空間隙３０
を介して前面側の溝１７と背面側の溝２７とが交差す
る。これらの溝１７，２７によって、マトリクス表示領
域ＩＡ内の縦横のコンダクタンスが増大し、局部的なガ
ス圧上昇が軽減される。そして、マトリクス表示領域Ｉ
Ａ内の残留ガスは、溝１７，２７及び連通溝１８，２８
を通じて排気孔２１ａへ円滑に流れ、チップオフ管５０
内のバルクゲッタに速やかに吸着される。これにより、
真空間隙は超高真空状態に保たれる。
クス表示の各単位発光領域を囲むように、真空間隙３０
を介して前面側の溝１７と背面側の溝２７とが交差す
る。これらの溝１７，２７によって、マトリクス表示領
域ＩＡ内の縦横のコンダクタンスが増大し、局部的なガ
ス圧上昇が軽減される。そして、マトリクス表示領域Ｉ
Ａ内の残留ガスは、溝１７，２７及び連通溝１８，２８
を通じて排気孔２１ａへ円滑に流れ、チップオフ管５０
内のバルクゲッタに速やかに吸着される。これにより、
真空間隙は超高真空状態に保たれる。
【００２７】加えて、溝１７，２７の部分では他の部分
よりも真空間隙３０の寸法が増大してガスが拡散し易い
ことから、各単位発光領域は真空条件の上で隣接する単
位発光領域と区画される。このため、任意の単位発光領
域で大量のガスが湧き出てアーク放電が生じたとしても
も、アーク放電が隣接する単位発光領域へ拡がらず、エ
ミッタティップ２５の破損領域が最小限に抑えられる。
よりも真空間隙３０の寸法が増大してガスが拡散し易い
ことから、各単位発光領域は真空条件の上で隣接する単
位発光領域と区画される。このため、任意の単位発光領
域で大量のガスが湧き出てアーク放電が生じたとしても
も、アーク放電が隣接する単位発光領域へ拡がらず、エ
ミッタティップ２５の破損領域が最小限に抑えられる。
【００２８】次に、ＦＥＤ１の各パネルの製造工程を簡
単に説明する。前面パネル１０については、ガラス板１
１を部分的にエッチングし、又は逆にガラス板１１の表
面に部分的に低融点ガラスを積層し、溝１７と連通溝１
８とを設ける。そして、透明導電膜（アノード電極）と
蛍光膜１２とを順に形成する。
単に説明する。前面パネル１０については、ガラス板１
１を部分的にエッチングし、又は逆にガラス板１１の表
面に部分的に低融点ガラスを積層し、溝１７と連通溝１
８とを設ける。そして、透明導電膜（アノード電極）と
蛍光膜１２とを順に形成する。
【００２９】背面パネル２０については、図５（Ａ）の
ように、例えばｎ型のシリコンウエハ２１の表層部に、
イオン注入法などによってカソード電極２３としてｐ型
層を形成する。エミッタティップ２５を形成するため
に、直径２μｍ程度の円形のマスク７１を設けてカソー
ド電極２３をエッチングし〔図５（Ｂ）〕、表面に熱酸
化膜２３０を形成する〔図５（Ｃ）〕。
ように、例えばｎ型のシリコンウエハ２１の表層部に、
イオン注入法などによってカソード電極２３としてｐ型
層を形成する。エミッタティップ２５を形成するため
に、直径２μｍ程度の円形のマスク７１を設けてカソー
ド電極２３をエッチングし〔図５（Ｂ）〕、表面に熱酸
化膜２３０を形成する〔図５（Ｃ）〕。
【００３０】続いて、絶縁層２４及びゲート金属膜２６
ａを順に積層し〔図５（Ｄ）〕、熱酸化膜２３０の露出
部を取り去るリフトオフによってエミッタティップ２５
を完成する〔図５（Ｅ）〕。そして、ゲート金属膜２６
ａをパターニングして帯状のゲート電極２６を形成し
〔図５（Ｆ）〕、エミッタ２２を囲む絶縁層２４をパタ
ーニングして深さ５μｍ程度の溝２７及び図示しない連
通溝２８を同時に形成する〔図５（Ｇ）〕。
ａを順に積層し〔図５（Ｄ）〕、熱酸化膜２３０の露出
部を取り去るリフトオフによってエミッタティップ２５
を完成する〔図５（Ｅ）〕。そして、ゲート金属膜２６
ａをパターニングして帯状のゲート電極２６を形成し
〔図５（Ｆ）〕、エミッタ２２を囲む絶縁層２４をパタ
ーニングして深さ５μｍ程度の溝２７及び図示しない連
通溝２８を同時に形成する〔図５（Ｇ）〕。
【００３１】図６は第２実施例のＦＥＤ２の構成を示す
図である。同図において、図１〜図３に対応する構成要
素には形状に差異に係わらず同一の符号を付してある。
ＦＥＤ２は、蛍光膜１２を有した前面パネル１０と、蛍
光膜１２を選択的に励起するエミッタ２２を有した背面
パネル２０とが、真空間隙３０を介して対向する構造の
マトリクス表示方式のフラット形表示装置である。前面
パネル１０の基体はガラス板１１であり、背面パネル２
０の基体はシリコン板２１である。
図である。同図において、図１〜図３に対応する構成要
素には形状に差異に係わらず同一の符号を付してある。
ＦＥＤ２は、蛍光膜１２を有した前面パネル１０と、蛍
光膜１２を選択的に励起するエミッタ２２を有した背面
パネル２０とが、真空間隙３０を介して対向する構造の
マトリクス表示方式のフラット形表示装置である。前面
パネル１０の基体はガラス板１１であり、背面パネル２
０の基体はシリコン板２１である。
【００３２】ＦＥＤ２においては、背面パネル２０の内
壁面に、マトリクス表示領域を一方向に沿って単位発光
領域毎に区画する互いに平行な溝２７Ａと、マトリクス
表示領域を溝２７Ａの延長方向に沿って単位発光領域毎
に区画し且つ単位発光領域毎に分断された互いに平行な
２７Ｂとが設けられている。そして、溝２７Ｂの分断部
分にゲート電極２６が配列され、一方向の各エミッタ２
２に対して共通の制御電圧が印加される。
壁面に、マトリクス表示領域を一方向に沿って単位発光
領域毎に区画する互いに平行な溝２７Ａと、マトリクス
表示領域を溝２７Ａの延長方向に沿って単位発光領域毎
に区画し且つ単位発光領域毎に分断された互いに平行な
２７Ｂとが設けられている。そして、溝２７Ｂの分断部
分にゲート電極２６が配列され、一方向の各エミッタ２
２に対して共通の制御電圧が印加される。
【００３３】溝２７Ａ，２７Ｂによって、各単位発光領
域（つまりエミッタ２２）をほぼ囲む凹部が形成され、
マトリクス表示領域内のコンダクタンスが増大され、且
つアーク放電の拡がりが防止されている。
域（つまりエミッタ２２）をほぼ囲む凹部が形成され、
マトリクス表示領域内のコンダクタンスが増大され、且
つアーク放電の拡がりが防止されている。
【００３４】上述の実施例によれば、排気孔２１ａが連
通溝１８，２８の交差する隅部に設けられているので、
マトリクス表示領域ＩＡ内の各点において、前面側の溝
１７及び連通溝１８を通って排気孔２１ａに至る流路長
と、背面側の溝２７及び連通溝２８を通って排気孔２１
ａに至る流路長とがほぼ等しくなる。このことから、各
点に対する排気条件が流動方向に左右されない最適排気
を実現することができる。
通溝１８，２８の交差する隅部に設けられているので、
マトリクス表示領域ＩＡ内の各点において、前面側の溝
１７及び連通溝１８を通って排気孔２１ａに至る流路長
と、背面側の溝２７及び連通溝２８を通って排気孔２１
ａに至る流路長とがほぼ等しくなる。このことから、各
点に対する排気条件が流動方向に左右されない最適排気
を実現することができる。
【００３５】上述の実施例において、溝１７，２７，２
７Ａ，２７Ｂ及び連通溝１８，２８の幅と深さは、画素
ピッチなどに応じて適宜選定することができる。また、
各パネル１０，２０の基体の材質、各部の構造、溝の形
状、寸法などについて、種々の変更が可能である。例え
ば、背面パネル２０の基体をガラス板とし、金属からな
るエミッタティップ２５を設けてもよい。
７Ａ，２７Ｂ及び連通溝１８，２８の幅と深さは、画素
ピッチなどに応じて適宜選定することができる。また、
各パネル１０，２０の基体の材質、各部の構造、溝の形
状、寸法などについて、種々の変更が可能である。例え
ば、背面パネル２０の基体をガラス板とし、金属からな
るエミッタティップ２５を設けてもよい。
【００３６】図６の実施例においては、背面パネル２０
の内壁面のみに溝２７Ａ，２７Ｂを有したＦＥＤ２を例
示したが、前面パネル１０の内壁面のみに、又は両方の
パネル１０，２０の内壁面に、単位発光領域を縦横に区
画し且つ一方向において単位発光領域毎に分断された溝
マトリクスを設けてもよい。
の内壁面のみに溝２７Ａ，２７Ｂを有したＦＥＤ２を例
示したが、前面パネル１０の内壁面のみに、又は両方の
パネル１０，２０の内壁面に、単位発光領域を縦横に区
画し且つ一方向において単位発光領域毎に分断された溝
マトリクスを設けてもよい。
【００３７】
【発明の効果】請求項１乃至請求項５の発明によれば、
真空間隙のコンダクタンスが増大して残留ガスの拡散が
促進されるので、アーク放電を誘発するガス圧上昇を抑
制することができ、隣接する単位発光領域へのアーク放
電の拡がりを防止することができる。
真空間隙のコンダクタンスが増大して残留ガスの拡散が
促進されるので、アーク放電を誘発するガス圧上昇を抑
制することができ、隣接する単位発光領域へのアーク放
電の拡がりを防止することができる。
【００３８】特に、請求項２の発明によれば、電極のパ
ネル端部への引き出しを困難にすることなく、残留ガス
の拡散がより促進される。請求項３の発明によれば、排
気条件が流動方向に左右されない最適排気を実現するこ
とができる。
ネル端部への引き出しを困難にすることなく、残留ガス
の拡散がより促進される。請求項３の発明によれば、排
気条件が流動方向に左右されない最適排気を実現するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施例のＦＥＤの内部構造を示す部分斜視
図である。
図である。
【図２】図１のＦＥＤの平面構造を示す模式図である。
【図３】図１のＦＥＤの外観図である。
【図４】エミッタの構造の一例を示す斜視図である。
【図５】背面パネルの製造工程を示す図である。
【図６】第２実施例のＦＥＤの構成を示す図である。
１，２ ＦＥＤ（フラット形表示装置） １０ 前面パネル １２ 蛍光膜 １７ ２７Ａ 第１方向の溝 １８ 第１の連通溝 ２０ 背面パネル ２１ａ 排気孔 ２２ エミッタ（電界放出陰極） ２４ 絶縁層 ３０ 真空間隙 ２７，２７Ｂ 第２方向の溝 ２８ 第２の連通溝 ＩＡ マトリクス表示領域
Claims (5)
- 【請求項１】蛍光膜を有した前面パネルと、前記蛍光膜
を選択的に励起する多数の電界放出陰極を有した背面パ
ネルとが、真空間隙を介して対向する構造のマトリクス
表示方式のフラット形表示装置であって、 前記前面パネルの内壁面に、マトリクス表示領域を一方
向に沿って単位発光領域毎に区画する互いに平行な第１
方向の溝が設けられ、 前記背面パネルの内壁面に、前記マトリクス表示領域を
前記第１方向の溝の延長方向に沿って単位発光領域毎に
区画する互いに平行な第２方向の溝が設けられてなるこ
とを特徴とするフラット形表示装置。 - 【請求項２】前記第１方向の溝の一端側に、前記第１方
向の溝の配列方向に延び前記各第１方向の溝を接続する
第１の連通溝が設けられ、 前記第２方向の溝の一端側に、前記第２方向の溝の配列
方向に延び前記各第２方向の溝を接続する第２の連通溝
が設けられ、 てなることを特徴とする請求項１記載のフラット形表示
装置。 - 【請求項３】前記マトリクス表示領域の外側の隅部に、
前記第１及び第２の連通溝の内の一方と接し且つ他方と
前記真空間隙を介して対向する排気孔を有し、 てなることを特徴とする請求項２記載のフラット形表示
装置。 - 【請求項４】前記第２方向の溝が、前記電界放出陰極を
囲む絶縁層のパターニングによって形成されてなること
を特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の
フラット形表示装置。 - 【請求項５】蛍光膜を有した前面パネルと、前記蛍光膜
を選択的に励起する多数の電界放出陰極を有した背面パ
ネルとが、真空間隙を介して対向する構造のマトリクス
表示方式のフラット形表示装置であって、 前記真空間隙の同一壁面に、マトリクス表示領域を一方
向に沿って単位発光領域毎に区画する互いに平行な第１
方向の溝と、前記マトリクス表示領域を前記第１方向の
溝の延長方向に沿って単位発光領域毎に区画し且つ前記
単位発光領域毎に分断された互いに平行な第２方向の溝
とが設けられ、 てなることを特徴とするフラット形表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16352594A JPH0831346A (ja) | 1994-07-15 | 1994-07-15 | フラット形表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16352594A JPH0831346A (ja) | 1994-07-15 | 1994-07-15 | フラット形表示装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0831346A true JPH0831346A (ja) | 1996-02-02 |
Family
ID=15775532
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16352594A Withdrawn JPH0831346A (ja) | 1994-07-15 | 1994-07-15 | フラット形表示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0831346A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100542318B1 (ko) * | 1999-12-28 | 2006-01-12 | 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 | 전계방출표시소자 및 그 제조방법 |
-
1994
- 1994-07-15 JP JP16352594A patent/JPH0831346A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100542318B1 (ko) * | 1999-12-28 | 2006-01-12 | 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 | 전계방출표시소자 및 그 제조방법 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20011002 |