JPH08313609A - 径方向微分型ｓｑｕｉｄ磁束計 - Google Patents

径方向微分型ｓｑｕｉｄ磁束計

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JPH08313609A
JPH08313609A JP7122771A JP12277195A JPH08313609A JP H08313609 A JPH08313609 A JP H08313609A JP 7122771 A JP7122771 A JP 7122771A JP 12277195 A JP12277195 A JP 12277195A JP H08313609 A JPH08313609 A JP H08313609A
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coil
magnetic field
loop
quantum interference
interference device
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Toshimitsu Morooka
利光 師岡
Nobuhiro Shimizu
信宏 清水
Kazuo Kayane
一夫 茅根
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Seiko Instruments Inc
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 空間分解能、コイルバランスが良く、量産化
に適した径方向微分型ＳＱＵＩＤ磁束計を提供する。 【構成】 ピックアップコイルを兼ねるワッシャーコイ
ル１４の両端に接続された２個のジョセフソン接合５に
より超伝導ループを形成する。磁場検出部であるワッシ
ャーコイル１４は、同心円ループ状に形成された半径ｒ
1 、巻数ｎ1 のコイルと半径ｒ2 、巻数ｎ2 の２つのコ
イルからなる。２つのコイルは逆向きに結合され、実効
的な面積ｎ1πｒ1 2、ｎ2πｒ2 2が等しくなるように設計
されている。ワッシャーコイル１４で直接磁場を検出す
るため、磁場感度が大きくなり、空間分解能を上げるた
め磁場検出部の面積を小さくしても十分な磁場感度が得
られる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は生体磁気などの微小磁
場検出、また、非破壊、非接触で金属の欠陥や腐食等の
検査を行う非破壊検査に応用する超伝導量子干渉素子
（以下ＳＱＵＩＤと称す）を用いた径方向微分型超伝導
量子干渉素子磁束計（径方向微分型ＳＱＵＩＤ磁束計）
に関するものである。
【０００２】
【従来技術】図１０に従来の径方向微分型ＳＱＵＩＤ磁
束計の構成図を示す。１はＳＱＵＩＤ、１３はボビン型
ピックアップコイル、３はセンサユニット、４は超伝導
シールド体である。
【０００３】径方向微分型ＳＱＵＩＤ磁束計のセンサユ
ニット部はＳＱＵＩＤ１とボビン型ピックアップコイル
１３によって構成される。ＳＱＵＩＤ１の等価回路図を
図１１に示す。ワッシャーコイル６の両端に接続された
２個のジョセフソン接合５により超伝導ループを形成す
る。それぞれのジョセフソン接合５には、電流−電圧特
性におけるヒステリシスをなくすためのシャント抵抗７
が並列接続され、またワッシャーコイルの両端にはワッ
シャーコイルでの不必要な共振を抑制するためのダンピ
ング抵抗８が並列接続されている。ボビン型ピックアッ
プコイル１３（図１０）で検出した被検出磁束は、ワッ
シャーコイル６と磁束結合した入力コイル９を介してワ
ッシャーコイル６に入力される。さらにワッシャーコイ
ル６にはＦＬＬ（フラックス・ロックト・ループ）回路
（図示せず）を用いて駆動させるための帰還変調コイル
１０が磁束結合され、直流駆動型（ＤＣ）ＳＱＵＩＤを
構成している。
【０００４】図１０において、ボビン型ピックアップコ
イル１３はＮｂ−Ｔｉ等の超伝導線材をボビンに手巻き
で巻いて作製される。ＳＱＵＩＤ１とボビン型ピックア
ップコイル２１は別々に作製された後、ＳＱＵＩＤ１の
入力コイル９とピックアップコイルの接続部を超伝導ワ
イヤー１２を用いて超伝導接続し、センサユニット３を
構成する。また、ＳＱＵＩＤ１は環境ノイズ等を遮蔽す
るため超伝導体シールド体４に納められている。
【０００５】通常ピックアップコイルには環境ノイズや
バックグラウンドノイズを除去するため微分型のものが
用いられる。図１２に径方向微分型ピックアップコイル
のコイル配置図を示す。径方向微分型ピックアップコイ
ルは同心円状に形成された２つのコイルからなる。一様
磁場の中で、検出する磁束の総和がゼロとなるように、
２つのコイルは逆向きに結合され、面積、巻数は実効的
な面積が等しくなるように設計されている。すなわち同
図のように半径ｒ1 、巻数ｎ1 のコイルと半径ｒ2 、巻
数ｎ2 の２つのコイルで構成されている場合、ｎ1 πｒ
1 2＝ｎ2 πｒ2 2となるように設計されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来、径方向微分型Ｓ
ＱＵＩＤ磁束計は、磁場検出コイルとしてＮｂ−Ｔｉ等
の超伝導線材をボビンに手巻きで巻いたボビン型ピック
アップコイルを用いていた。ところで、高い空間分解能
を得るためには、ＳＱＵＩＤと磁場検出コイルで構成す
るセンサユニット部をコンパクトにする必要があるが、
従来のものはボビンを用いていたため、センサユニット
部の形状が大きく、高い空間分解能は得ることは困難で
あった。
【０００７】また、空間分解能を向上させるため、ピッ
クアップコイルの磁場検出部を小さくした場合、十分な
感度を得ることができないという問題があった。さら
に、径方向微分型検出コイルは検出コイルを構成する２
つのコイルの実効的な面積を等しくして、環境ノイズや
バックグラウンドノイズ等の磁場を除去するものであ
り、それら環境ノイズやバックグラウンドノイズを効率
よく除去するためには、上記2 つのコイルをバランス精
度良く作製しなければならなかった。しかし、従来のボ
ビン形ピックアップコイルは手巻きで作製されるため、
バランス精度の向上には限界があった。
【０００８】また、作製工程においても、手作業が多い
ため量産性にも問題があった。本発明の目的は、空間分
解能、コイルバランスが良く、量産化に適した径方向微
分型ＳＱＵＩＤ磁束計を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の問題点を解決する
ため、本発明では、２個のジョセフソン接合と、ジョセ
フソン接合と超伝導ループを形成するワッシャーコイル
と、ワッシャーコイルと磁気結合された帰還変調コイル
を有するＳＱＵＩＤを用いた磁束計において、ワッシャ
ーコイルを平面上に配置された同心環状ループで形成
し、そのワッシャーコイルが直接磁場を検出する磁場検
出部を成す径方向微分型ＳＱＵＩＤ磁束計とした。
【００１０】また、２個のジョセフソン接合と、ジョセ
フソン接合と超伝導ループを形成するワッシャーコイル
と、ワッシャーコイルと磁気結合された入力コイルおよ
び帰還変調コイルを有するＳＱＵＩＤを用いた磁束計に
おいて、磁場検出部として、ＳＱＵＩＤと同一基板上に
複数の同心環状ループで集積形成された平面型ピックア
ップコイルを備えた径方向微分型ＳＱＵＩＤ磁束計とし
た。
【００１１】上記磁場検出部を構成する同心環状ループ
は、複数の部分環状ループから構成することもでき、そ
の場合各々の部分環状ループが直列および／または並列
に接続され、全体として同心環状ループを形成する構成
とした。また上記磁場検出部を構成する同心環状ループ
は円環状ループ、あるいは重心の位置を同じくする多角
形環状ループ等の形状が適宜選択できる構成とした。
【００１２】
【作用】上記のように構成された径方向微分型ＳＱＵＩ
Ｄ磁束計のうちワッシャーコイルで直接磁場を検出する
ものは、従来のもの比べ、外付けのピックアップコイル
やＳＱＵＩＤ本体を遮蔽する超伝導シールドが不要とな
り、センサユニットがコンパクトにできるとともに磁場
感度がさらに向上する。
【００１３】また、平面型ピックアップコイルをＳＱＵ
ＩＤと同一基板上に集積形成したものは、センサユニッ
トを全て超伝導薄膜で作製できるため、コイルバランス
が向上する。
【００１４】
【実施例】以下に本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。図１は本発明の第１実施例を示す径方向微
分型ＳＱＵＩＤ磁束計の構成図である。これは、ピック
アップコイルを兼ねるワッシャーコイル１４で被検出磁
界を直接検出する構成である。この構成全体が同一のシ
リコン単結晶基板上に超伝導Ｎｂ薄膜を集積して形成さ
れている。
【００１５】ピックアップコイルを兼ねるワッシャーコ
イル１４の両端に接続された２個のジョセフソン接合５
により超伝導ループを形成する。それぞれのジョセフソ
ン接合５には、電流−電圧特性におけるヒステリシスを
なくすためのシャント抵抗７が並列接続され、またワッ
シャーコイル１４の両端にはワッシャーコイル１４での
不必要な共振を抑制するためのダンピング抵抗８が並列
接続されている。さらにワッシャーコイル１４には、図
示しないＦＬＬ（フラックス・ロックト・ループ）回路
を用いて駆動させるための帰還変調コイル１０が磁束結
合され、ＤＣＳＱＵＩＤを構成している。
【００１６】磁場検出部であるワッシャーコイル１４
は、同心円ループ状に形成された半径ｒ1 、巻数ｎ1 の
コイルと半径ｒ2 、巻数ｎ2 の２つのコイルからなる。
２つのコイルは逆向きに結合され、実効的な面積ｎ1 π
ｒ1 2、ｎ2 πｒ2 2が等しくなるように設計されている。
【００１７】図１では半径ｒ1 の円の巻数ｎ1 は１であ
り、半径ｒ2 の円の巻数ｎ2 は４であるから、ｒ1 ＝２
×ｒ2 となるように設計される。ワッシャーコイル１４
で直接磁場を検出するため、磁場感度が大きくなり、空
間分解能を上げるため磁場検出部の面積を小さくしても
十分な磁場感度が得られる。図１において、半径ｒ2の
コイルは捲線の間隔を誇張して描いているが、作製上は
半径ｒ2 が１mm程度であるのに対して、コイルの線幅お
よび捲線間隔とも５μｍ程度であり、このコイルの４巻
全体を半径ｒ2 で代表してもコイル面積の誤差は無視で
きる程度である。
【００１８】図２に本発明の第２実施例を示す径方向微
分型ＳＱＵＩＤ磁束計の構成図を示す。ピックアップコ
イルを兼ねるワッシャーコイル１４は４個のループが並
列接続されたマルチループ構造を持つ。マルチループを
形成するそれぞれのループは、図３に示すよう中心の位
置を同じくする半径ｒ1 の扇型１つと半径ｒ2 の扇型４
つで構成され、逆向きに直列接続されている。それぞれ
の実効的な面積πｒ1 2／４と４×πｒ2 2／４は等しく設
計されている。つまり、ｒ1 ＝２×ｒ2 である。図２か
らわかるとおり半径ｒ1 の扇形４つで半径ｒ1 の円を形
成し、半径ｒ2の扇型４×４個で半径ｒ2 の円を４巻き
形成することとなり、全体として第１実施例に示したワ
ッシャーコイルの形状と同等となる。第２実施例では４
つの並列のマルチループ構造のため、同じ半径をもつ第
１実施例に比べワッシャーコイル１４の自己インダクタ
ンスを小さくできる。
【００１９】第２実施例では、並列接続したループ数が
４個で、扇型の中心角は９０°であるが、その数は幾つ
でも可能であり、扇型の中心角も何度でも良い。また、
ワッシャーコイル１４の自己インダクタンスを小さくす
るため並列接続しているが直列接続したものも可能であ
る。但し、半径ｒ1 の扇型と半径ｒ2 の円は逆向きに結
合し、実効面積が等しく設計されなければならない。
【００２０】図４に本発明の第３実施例を示す径方向微
分型ＳＱＵＩＤ磁束計の構成図を示す。第３実施例も４
つのループを並列接続したマルチループ構造をもつ。マ
ルチループを構成するそれぞれのループは図５に示すよ
う半径ｒ1 の扇型ループと半径ｒ2 の円形ループからな
る。それらの面積πｒ1 2／４とπｒ2 2は等しく設計さ
れ、逆向きに直列接続されている。図５のループを９０
度ずつずらして４組配置することにより、図４に示すよ
うに半径ｒ1 の扇型４つで半径ｒ1 の円を形成し、半径
ｒ2 の円４つで半径ｒ2 の円を４巻き形成することとな
り、第１実施例のワッシャーコイルと同等の形状が得ら
れる。
【００２１】以上第１〜３実施例で示したように、径方
向微分型ピックアップコイルとして使用されるワッシャ
ーコイルの形成に際しては、図１のように円形ループの
みの構成で同心円ループを形成する場合の他、図２のよ
うに扇型ループのみの構成、また図４のように扇型ルー
プと円形ループ（中心角の異なる扇型）の混在した構成
も選択できる。
【００２２】図６に本発明の第４実施例を示す径方向微
分型ＳＱＵＩＤ磁束計の構成図を示す。本実施例は、ワ
ッシャーコイルとは独立してピックアップコイルを設け
たものであり、複数の同心円ループからなる平面型の径
方向微分型ピックアップコイル２と入力コイル９をもつ
ＳＱＵＩＤ１とを同一基板上に集積した。ＳＱＵＩＤ１
は２つワッシャーコイル６を直列接続したダブルワッシ
ャー構造のＤＣＳＱＵＩＤである。この構造はＳＱＵＩ
Ｄ自身への外部磁場の影響を少なくすることができるた
め、超伝導シールド体が不要となる。センサユニット３
はＳＱＵＩＤ１と平面型ピックアップ２からなり、コン
パクトな構成となる。ＳＱＵＩＤ１の入力コイル９と平
面型ピックアップコイル２との接続部は、浮遊インダク
タンスを減少させ、磁場検出部以外での磁場侵入を防ぐ
ため、マイクロストリップライン構造となっている。
【００２３】本実施例においても、ピックアップコイル
２をＳＱＵＩＤ１が形成された基板上に、薄膜プロセス
により一体に形成したため、センサユニットの小型化、
コイルバランスの向上および量産の容易な径方向微分型
ＳＱＵＩＤ磁束計を実現できる。
【００２４】第１実施例、第２実施例、第３実施例、第
４実施例に示した磁場検出部の形状は同心円型であった
が、図７に示すように、重心の位置が等しい多角形ルー
プでもよく、同心円型同様、構成するループは逆向きに
結合され、実効的な面積も等しく設計する。また、その
多角形ループはさらに小さな多角形ループを複数個直列
接続または並列接続あるいは、直列接続と並列接続を組
合せた構成であってもよい。
【００２５】図８、図９に４個のループが並列接続され
たマルチループ構造を持つ多角形ループの径方向磁場検
出コイルのコイル配置図を示す。図８は１辺ａ1 の正方
形１巻きと１辺ａ2 の正方形４巻からなるループが逆向
きに直列接続されたものが４つ並列接続している。一辺
の長さの比はａ1 ：ａ2 ＝２：１である。全体で図７に
示した多角形ループからなる径方向微分型検出コイルと
同じ形状をもつ。
【００２６】図９は１辺ａ1 の正方形１巻きと１辺ａ2
の正方形１巻きからなるループを４つ並列接続したもの
で、この場合、ａ1 ＝ａ2 となる。以上の実施例におい
て、基板としてはシリコン単結晶基板を用い、各種コイ
ル、配線等は超伝導Ｎｂ薄膜で形成したが、本発明は上
記基板と薄膜の組合せに限定されるものではない。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の径方向微
分型ＳＱＵＩＤ磁束計によれば、磁場検出部をＳＱＵＩ
Ｄと同一基板上に集積化するため、センサユニット部の
構成がシンプルになり、空間分解能の向上が可能とな
る。
【００２８】また、磁場感度が良くなるため、検出部の
面積を小さくしても十分な感度を得ることができ、より
高い空間分解能を得ることが可能となる。さらに、検出
コイルのバランス精度が向上するため、外部磁場を効率
よく除去することが可能となる。
【００２９】そして、センサユニット部が全て超伝導薄
膜で作製できるため、量産性が向上する等々の優れた効
果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例を示す径方向微分型ＳＱＵ
ＩＤ磁束計の構成図である。
【図２】本発明の第２実施例を示す径方向微分型ＳＱＵ
ＩＤ磁束計の構成図である。
【図３】第２実施例に示したマルチループを構成するル
ープの説明図である。
【図４】本発明の第３実施例を示す径方向微分型ＳＱＵ
ＩＤ磁束計の構成図である。
【図５】第３実施例に示したマルチループを構成するル
ープの説明図である。
【図６】本発明の第４実施例を示す径方向微分型ＳＱＵ
ＩＤ磁束計の構成図である。
【図７】多角形ループの径方向微分型検出コイルの配置
図である。
【図８】マルチループ構造をもつ多角形ループの径方向
微分型検出コイルの配置図である。
【図９】マルチループ構造をもつ多角形ループの径方向
微分型検出コイルの配置図である。
【図１０】従来例を示す径方向微分型ＳＱＵＩＤ磁束計
の構成図である。
【図１１】ＳＱＵＩＤの基本的な等価回路図である。
【図１２】同心円型ループの径方向検出コイルのコイル
配置図である
【符号の説明】
１ ＳＱＵＩＤ ２ 平面型ピックアップコイル ３ センサユニット ４ 超伝導シールド体 ５ ジョセフソン接合 ６ ワッシャーコイル ７ シャント抵抗 ８ ダンピング抵抗 ９ 入力コイル １０ 帰還変調コイル １１ 入力コイル用ダンピング抵抗 １２ 超伝導ワイヤ １３ ボビン型ピックアップコイル １４ ピックアップコイル兼用ワッシャーコイル

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ２個のジョセフソン接合と、前記ジョセ
    フソン接合と超伝導ループを形成するワッシャーコイル
    と、前記ワッシャーコイルと磁気結合された帰還変調コ
    イルを有する超伝導量子干渉素子を用いた磁束計におい
    て、前記ワッシャーコイルは平面上に配置された同心環
    状ループで形成され、前記ワッシャーコイルが直接磁場
    を検出する磁場検出部を構成することを特徴とした径方
    向微分型超伝導量子干渉素子磁束計。
  2. 【請求項２】 前記磁場検出部を構成する同心環状ルー
    プが複数の部分環状ループからなり、各々の部分環状ル
    ープが直列および／または並列に接続され、全体として
    同心環状ループを形成する構成である請求項１記載の径
    方向微分型超伝導量子干渉素子磁束計。
  3. 【請求項３】 前記磁場検出部を構成する同心環状ルー
    プの形状が円環状ループである請求項１記載の径方向微
    分型超伝導量子干渉素子磁束計。
  4. 【請求項４】 前記磁場検出部を構成する同心環状ルー
    プの形状が重心の位置を同じくする多角形環状ループで
    ある請求項１記載の径方向微分型超伝導量子干渉素子磁
    束計。
  5. 【請求項５】 ２個のジョセフソン接合と、前記ジョセ
    フソン接合と超伝導ループを形成するワッシャーコイル
    と、前記ワッシャーコイルと磁気結合された入力コイル
    および帰還変調コイルを有する超伝導量子干渉素子を用
    いた磁束計において、磁場検出部として、前記超伝導量
    子干渉素子と同一基板上に複数の同心環状ループで集積
    形成された平面型ピックアップコイルを備えたことを特
    徴とした径方向微分型超伝導量子干渉素子磁束計。
  6. 【請求項６】 前記磁場検出部を構成する同心環状ルー
    プが複数の部分環状ループからなり、各々の部分環状ル
    ープが直列および／または並列に接続され、全体として
    同心環状ループを形成する構成である請求項５記載の径
    方向微分型超伝導量子干渉素子磁束計。
  7. 【請求項７】 前記磁場検出部を構成する同心環状ルー
    プの形状が円環状ループである請求項５記載の径方向微
    分型超伝導量子干渉素子磁束計。
  8. 【請求項８】 前記磁場検出部を構成する同心環状ルー
    プの形状が重心の位置を同じくする多角形環状ループで
    ある請求項５記載の径方向微分型超伝導量子干渉素子磁
    束計。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006322886A (ja) * 2005-05-20 2006-11-30 Toyohashi Univ Of Technology 平面薄膜型ｓｑｕｉｄ微分型磁束センサ及びそれを用いた非破壊検査用装置
JP2006349496A (ja) * 2005-06-16 2006-12-28 Kanazawa Inst Of Technology シングルチップ集積型マルチチャンネル磁気センサ
WO2009023303A3 (en) * 2007-05-04 2009-08-13 California Inst Of Techn Geometries for superconducting sensing coils for squid-based systems

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7002341B2 (en) * 2002-08-28 2006-02-21 Vanderbilt University Superconducting quantum interference apparatus and method for high resolution imaging of samples
CN100399594C (zh) * 2004-11-29 2008-07-02 中国科学院物理研究所 一种增加超导量子干涉器件灵敏度的方法
JP4571570B2 (ja) * 2005-10-14 2010-10-27 株式会社日立ハイテクノロジーズ 磁気検出コイルおよび磁場計測装置
WO2008137485A2 (en) * 2007-05-04 2008-11-13 California Institute Of Technology Low field squid mri devices, components and methods
KR101403319B1 (ko) * 2012-10-29 2014-06-05 한국표준과학연구원 저온 냉각 장치 및 초전도 양자 간섭 소자 센서 모듈
CN103487770B (zh) * 2013-04-19 2016-08-10 北京航空航天大学 一种用于测量空间磁场梯度全张量信息的无源探测装置
CN205039241U (zh) * 2014-01-30 2016-02-17 株式会社村田制作所 无线通信装置
CN105301526B (zh) * 2015-11-10 2017-12-22 北京航空航天大学 一种磁显微成像方法及装置
EP3448250B1 (en) * 2016-04-25 2020-07-29 Creavo Medical Technologies Limited Magnetometer for medical use
CN109613111B (zh) * 2018-11-12 2022-07-08 南京航空航天大学 一种梯度螺旋涡流检测线圈及其检测方法
EP4718099A1 (en) * 2024-09-27 2026-04-01 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Gradiometer coil system and diagnostic device

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0814613B2 (ja) * 1986-09-29 1996-02-14 株式会社東芝 グラジオメ−タ
JP2893714B2 (ja) * 1989-05-25 1999-05-24 株式会社日立製作所 薄膜型ｓｑｕｉｄ磁束計およびこれを用いた生体磁気計測装置
US5506200A (en) * 1992-02-06 1996-04-09 Biomagnetic Technologies, Inc. Compact superconducting magnetometer having no vacuum insulation
US5038104A (en) * 1990-02-05 1991-08-06 Vanderbilt University Magnetometer flux pick-up coil with non-uniform interturn spacing optimized for spatial resolution
US5053834A (en) * 1990-08-31 1991-10-01 Quantum Magnetics, Inc. High symmetry dc SQUID system
FI89417C (fi) * 1990-12-21 1993-09-27 Neuromag Oy Detektorspole foer maetning av magnetfaelt
DE4125087C2 (de) * 1991-07-29 2000-03-30 Siemens Ag Meßeinrichtung mit einer feldsensitiven Gradiometer-Schleifenanordnung und darin integriertem Gleichstrom-SQUID
US5293119A (en) * 1992-02-20 1994-03-08 Sqm Technology, Inc. Electromagnetic microscope for evaluation of electrically conductive and magnetic materials
JPH05297089A (ja) * 1992-04-20 1993-11-12 Sumitomo Electric Ind Ltd 磁気センサ
JP3373260B2 (ja) * 1993-09-17 2003-02-04 セイコーインスツルメンツ株式会社 高感度磁場検出器

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006322886A (ja) * 2005-05-20 2006-11-30 Toyohashi Univ Of Technology 平面薄膜型ｓｑｕｉｄ微分型磁束センサ及びそれを用いた非破壊検査用装置
JP2006349496A (ja) * 2005-06-16 2006-12-28 Kanazawa Inst Of Technology シングルチップ集積型マルチチャンネル磁気センサ
WO2009023303A3 (en) * 2007-05-04 2009-08-13 California Inst Of Techn Geometries for superconducting sensing coils for squid-based systems

Also Published As

Publication number Publication date
US5825183A (en) 1998-10-20

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