JPH0831367A - 分光器のピークサーチ方法 - Google Patents
分光器のピークサーチ方法Info
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- JPH0831367A JPH0831367A JP6159745A JP15974594A JPH0831367A JP H0831367 A JPH0831367 A JP H0831367A JP 6159745 A JP6159745 A JP 6159745A JP 15974594 A JP15974594 A JP 15974594A JP H0831367 A JPH0831367 A JP H0831367A
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- Japan
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- value
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 短時間の計測で正確かつ簡単にピーク位置を
求める。 【構成】 分光位置とその位置での信号の計数値とから
なる一連の分析データの中から計数値の最大値を検出し
（ステップＳ２）、該最大値から設定された一定の範囲
にある計数値が得られた分光位置を抽出し（ステップＳ
３）、抽出した分光位置の加重平均位置をピーク位置と
して求める（ステップＳ４）。このようにすることによ
り短時間の計測で正確かつ簡単にピーク位置を求めるこ
とができる。しかも、最大値から該最大値の平方根で求
められる統計変動を定数倍した値までの範囲にある計数
値が得られた分光位置を抽出することにより、Ｘ線計測
において計数値の大きさやピークプロファイルのシャー
プさ、非対称さなどに応じて適当に定数値を選ぶことが
できる。
求める。 【構成】 分光位置とその位置での信号の計数値とから
なる一連の分析データの中から計数値の最大値を検出し
（ステップＳ２）、該最大値から設定された一定の範囲
にある計数値が得られた分光位置を抽出し（ステップＳ
３）、抽出した分光位置の加重平均位置をピーク位置と
して求める（ステップＳ４）。このようにすることによ
り短時間の計測で正確かつ簡単にピーク位置を求めるこ
とができる。しかも、最大値から該最大値の平方根で求
められる統計変動を定数倍した値までの範囲にある計数
値が得られた分光位置を抽出することにより、Ｘ線計測
において計数値の大きさやピークプロファイルのシャー
プさ、非対称さなどに応じて適当に定数値を選ぶことが
できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、分光位置とその位置で
の信号の計数値とからなる一連の分析データからピーク
位置を検出する分光器のピークサーチ方法に関する。
の信号の計数値とからなる一連の分析データからピーク
位置を検出する分光器のピークサーチ方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】電子プローブマイクロアナライザ（ＥＰ
ＭＡ）や蛍光Ｘ線分析装置などにおいて、Ｘ線分光器で
分光したＸ線の強度が最大となる分光位置（ピーク位
置）を検出するピークサーチ方法として、従来は次のよ
うな方法がある。例えば分光結晶に応じた理論上の分光
位置の前後にわたる適当な分光位置範囲で、分光器の分
光位置を適当なステップ幅で走査させつつＸ線強度を測
定する。そして、この測定Ｘ線強度において、最大値が
得られた分光位置をピーク位置とみなすのが１つの方法
であり、また、適当なスムージング処理後の最大値が得
られた分光位置をピーク位置とみなすのがもう１つの方
法である。
ＭＡ）や蛍光Ｘ線分析装置などにおいて、Ｘ線分光器で
分光したＸ線の強度が最大となる分光位置（ピーク位
置）を検出するピークサーチ方法として、従来は次のよ
うな方法がある。例えば分光結晶に応じた理論上の分光
位置の前後にわたる適当な分光位置範囲で、分光器の分
光位置を適当なステップ幅で走査させつつＸ線強度を測
定する。そして、この測定Ｘ線強度において、最大値が
得られた分光位置をピーク位置とみなすのが１つの方法
であり、また、適当なスムージング処理後の最大値が得
られた分光位置をピーク位置とみなすのがもう１つの方
法である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】Ｘ線の計数には、ラン
ダム過程を含むため、原理的な計数変動、いわゆる統計
変動を含んでいる。すなわち、同一の測定条件で同一の
測定を多数回繰り返した場合、人為的、装置的なあらゆ
る変動がない場合でも、Ｘ線の各計数値はバラツキを持
ち、Ｎを平均計数値とすると、標準偏差は√Ｎとなる。
そして、いわゆる変動係数といわれるこの統計変動に起
因する誤差εは、
ダム過程を含むため、原理的な計数変動、いわゆる統計
変動を含んでいる。すなわち、同一の測定条件で同一の
測定を多数回繰り返した場合、人為的、装置的なあらゆ
る変動がない場合でも、Ｘ線の各計数値はバラツキを持
ち、Ｎを平均計数値とすると、標準偏差は√Ｎとなる。
そして、いわゆる変動係数といわれるこの統計変動に起
因する誤差εは、
【０００４】
【数１】ε＝√Ｎ／Ｎ＝１／√Ｎ であり、計数値が小さいほど大きくなる。
【０００５】このようなＸ線の計数値に含まれる統計変
動のために、上記第１の方法では、ピーク位置を誤る可
能性があり、特に計数値が小さいときほどその可能性は
高くなる。また、上記第２の方法でも、スムージング処
理により複数個の計数値に基づきピーク位置を見つけ出
そうとするため、第１の方法における上記の欠点は軽減
されるが、最大値をとる分光位置をピーク位置とする手
法上、原理的には同じ欠点を持っている。しかもピーク
のプロファイルが非対称な場合は、スムージング処理で
プロファイルの形が変化し、ピーク位置を誤るという問
題が生じる。
動のために、上記第１の方法では、ピーク位置を誤る可
能性があり、特に計数値が小さいときほどその可能性は
高くなる。また、上記第２の方法でも、スムージング処
理により複数個の計数値に基づきピーク位置を見つけ出
そうとするため、第１の方法における上記の欠点は軽減
されるが、最大値をとる分光位置をピーク位置とする手
法上、原理的には同じ欠点を持っている。しかもピーク
のプロファイルが非対称な場合は、スムージング処理で
プロファイルの形が変化し、ピーク位置を誤るという問
題が生じる。
【０００６】本発明は、上記の課題を解決するものであ
って、短時間の計測で正確かつ簡単にピーク位置を求め
ることができる分光器のピークサーチ方法を提供するこ
とを目的とするものである。
って、短時間の計測で正確かつ簡単にピーク位置を求め
ることができる分光器のピークサーチ方法を提供するこ
とを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】そのために本発明は、分
光位置とその位置での信号の計数値とからなる一連の分
析データからピーク位置を検出する分光器のピークサー
チ方法であって、計数値の中から最大値を検出し、該最
大値から設定された一定の範囲にある計数値が得られた
分光位置を抽出し、抽出した分光位置の加重平均位置を
ピーク位置として求めることを特徴とし、さらに、最大
値から該最大値の平方根で求められる統計変動を定数倍
した値までの範囲にある計数値が得られた分光位置を抽
出することを特徴とするものである。
光位置とその位置での信号の計数値とからなる一連の分
析データからピーク位置を検出する分光器のピークサー
チ方法であって、計数値の中から最大値を検出し、該最
大値から設定された一定の範囲にある計数値が得られた
分光位置を抽出し、抽出した分光位置の加重平均位置を
ピーク位置として求めることを特徴とし、さらに、最大
値から該最大値の平方根で求められる統計変動を定数倍
した値までの範囲にある計数値が得られた分光位置を抽
出することを特徴とするものである。
【０００８】
【作用】本発明に係る分光器のピークサーチ方法では、
分光位置とその位置での信号の計数値とからなる一連の
分析データの中から計数値の最大値を検出し、該最大値
から設定された一定の範囲にある計数値が得られた分光
位置を抽出し、抽出した分光位置の加重平均位置をピー
ク位置として求めるので、短時間の計測で正確かつ簡単
にピーク位置を求めることができる。しかも、最大値か
ら該最大値の平方根で求められる統計変動を定数倍した
値までの範囲にある計数値が得られた分光位置を抽出す
ることにより、Ｘ線計測において計数値の大きさやピー
クプロファイルのシャープさ、非対称さなどに応じて適
当に定数値を選ぶことができる。
分光位置とその位置での信号の計数値とからなる一連の
分析データの中から計数値の最大値を検出し、該最大値
から設定された一定の範囲にある計数値が得られた分光
位置を抽出し、抽出した分光位置の加重平均位置をピー
ク位置として求めるので、短時間の計測で正確かつ簡単
にピーク位置を求めることができる。しかも、最大値か
ら該最大値の平方根で求められる統計変動を定数倍した
値までの範囲にある計数値が得られた分光位置を抽出す
ることにより、Ｘ線計測において計数値の大きさやピー
クプロファイルのシャープさ、非対称さなどに応じて適
当に定数値を選ぶことができる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明に係る実施例を図面を参照しつ
つ説明する。図１は本発明に係る分光器のピークサーチ
方法の１実施例を説明するための図、図２はピークサー
チの例を説明するための図である。
つ説明する。図１は本発明に係る分光器のピークサーチ
方法の１実施例を説明するための図、図２はピークサー
チの例を説明するための図である。
【００１０】本発明に係る分光器のピークサーチ方法で
は、図１に示すように、まず、初期設定により、ピーク
サーチに必要な、ピークサーチ開始分光位置や終了分光
位置、ピークサーチの分光器移動のステップ幅又はピー
クサーチ範囲の分割測定数、測定時間などの諸量を設定
する（ステップＳ１）。
は、図１に示すように、まず、初期設定により、ピーク
サーチに必要な、ピークサーチ開始分光位置や終了分光
位置、ピークサーチの分光器移動のステップ幅又はピー
クサーチ範囲の分割測定数、測定時間などの諸量を設定
する（ステップＳ１）。
【００１１】次に、ピークサーチ測定を実行する。この
測定では、ピークサーチ開始分光位置から終了分光位置
までステップ幅分ずつ分光器を移動させながらＸ線計測
を行い、分光位置ｐi とその位置でのＸ線の計数値Ｎi
をｉ＝１，２，……ｎについて得る。なお、このときｉ
＝１がピークサーチ開始位置、ｉ＝ｎがピークサーチ終
了位置となる（ステップＳ２）。
測定では、ピークサーチ開始分光位置から終了分光位置
までステップ幅分ずつ分光器を移動させながらＸ線計測
を行い、分光位置ｐi とその位置でのＸ線の計数値Ｎi
をｉ＝１，２，……ｎについて得る。なお、このときｉ
＝１がピークサーチ開始位置、ｉ＝ｎがピークサーチ終
了位置となる（ステップＳ２）。
【００１２】そして、計数値Ｎi （ｉ＝１，２，……
ｎ）の中から最大値Ｍを探し（ステップＳ３）、Ｍ−ｋ
√ＭからＭまでの範囲の計数値が得られた分光位置ｐi
を抽出し、それらを加重平均した位置をピーク位置とす
る（ステップＳ４）。
ｎ）の中から最大値Ｍを探し（ステップＳ３）、Ｍ−ｋ
√ＭからＭまでの範囲の計数値が得られた分光位置ｐi
を抽出し、それらを加重平均した位置をピーク位置とす
る（ステップＳ４）。
【００１３】次に、Ｘ線計数値と分光位置のデータを示
した図２の例により説明する。例えば上記のように分光
結晶に応じた理論上の分光位置の前後にわたる適当な分
光範囲を、適当なステップ幅で分光器の分光位置を走査
させながらＸ線強度を測定することによって、図２に示
すように分光位置ｐ1 〜ｐ24とＸ線計数値Ｎ1 〜Ｎ24か
らなる一連のデータを採ったとする。そこで、これらの
Ｘ線計数値のうちＮ17を最大値Ｍとして検出すると、計
数値の大きさやピークプロファイルのシャープさ、非対
称さなどに応じて適当に定数ｋを選択してＭ−ｋ√Ｍか
らＭまでの範囲の計数値Ｎ11〜Ｎ19が得られた分光位置
ｐ11〜ｐ19を抽出する。定数ｋは、計数値が小さいほ
ど、またピークプロファイルがシャープでないものほど
大きめの値をとり、通常は例えば２を用いるが、常に一
定の値を用いて簡易化してもよい。そして、この抽出し
た分光位置を〔数１〕により
した図２の例により説明する。例えば上記のように分光
結晶に応じた理論上の分光位置の前後にわたる適当な分
光範囲を、適当なステップ幅で分光器の分光位置を走査
させながらＸ線強度を測定することによって、図２に示
すように分光位置ｐ1 〜ｐ24とＸ線計数値Ｎ1 〜Ｎ24か
らなる一連のデータを採ったとする。そこで、これらの
Ｘ線計数値のうちＮ17を最大値Ｍとして検出すると、計
数値の大きさやピークプロファイルのシャープさ、非対
称さなどに応じて適当に定数ｋを選択してＭ−ｋ√Ｍか
らＭまでの範囲の計数値Ｎ11〜Ｎ19が得られた分光位置
ｐ11〜ｐ19を抽出する。定数ｋは、計数値が小さいほ
ど、またピークプロファイルがシャープでないものほど
大きめの値をとり、通常は例えば２を用いるが、常に一
定の値を用いて簡易化してもよい。そして、この抽出し
た分光位置を〔数１〕により
【００１４】
【数１】 加重平均した位置Ｐ15をピーク位置と判定する。但し、
加重平均した値が、分光位置の最小移動ステップより小
さい端数をもつときは、端数を四捨五入して最小移動ス
テップの単位にまとめた値をピーク位置とする。
加重平均した値が、分光位置の最小移動ステップより小
さい端数をもつときは、端数を四捨五入して最小移動ス
テップの単位にまとめた値をピーク位置とする。
【００１５】図３は移動ステップと分光位置の対応を説
明するための図である。ピークサーチ開始位置から終了
位置までステップ幅分ずつ分光器を移動させながらＸ線
計測を行ったが、ステップ幅だけ分光器を移動させ、移
動が完了した後にＸ線計測を行うようにし、これを繰り
返して測定する方法でもよい。また、分光位置１点当た
りの計数時間の間にステップ幅分の距離を分光器を等速
で移動させながらＸ線計測を行うようにしてもよい。こ
の場合に得られた計数値は、図３に示すようにステップ
幅分の中点の分光位置でのＸ線強度とするのが最もよい
が、ステップ幅が分光器の最小移動ステップ又はそれに
近い場合には、ステップ幅分の中点ではなく始点又は終
点の分光位置でのＸ線強度としてもよい。
明するための図である。ピークサーチ開始位置から終了
位置までステップ幅分ずつ分光器を移動させながらＸ線
計測を行ったが、ステップ幅だけ分光器を移動させ、移
動が完了した後にＸ線計測を行うようにし、これを繰り
返して測定する方法でもよい。また、分光位置１点当た
りの計数時間の間にステップ幅分の距離を分光器を等速
で移動させながらＸ線計測を行うようにしてもよい。こ
の場合に得られた計数値は、図３に示すようにステップ
幅分の中点の分光位置でのＸ線強度とするのが最もよい
が、ステップ幅が分光器の最小移動ステップ又はそれに
近い場合には、ステップ幅分の中点ではなく始点又は終
点の分光位置でのＸ線強度としてもよい。
【００１６】図４は本発明に係るピークサーチ方法を実
行するシステム構成例を示す図である。図４において、
分析装置１は、例えば分光結晶に応じた理論上の分光位
置の前後にわたる適当な分光位置範囲で、分光器の分光
位置を適当なステップ幅で走査させつつＸ線強度を測定
する電子プローブマイクロアナライザ（ＥＰＭＡ）や蛍
光Ｘ線分析装置などであり、その測定Ｘ線強度つまり計
数値と分光位置からなる分析データを格納するのが分析
データファイル２である。最大値検出部３は、分析デー
タファイル２に格納された計数値の中から最大値Ｍの計
数値を検出するものであり、分析データ抽出部４は、最
大値Ｍに対しＭ−ｋ√ＭからＭまでの範囲の計数値が得
られた分光位置を分析データファイル２から抽出するも
のである。そして、ピーク位置検出部５は、分析データ
抽出部４で抽出された分光位置を加重平均してその位置
をピーク位置として検出するものである。ピーク位置検
出部５で検出したピーク位置は分析装置１に送られ、分
析装置１は、そのピーク位置に分光器を設定できる。
行するシステム構成例を示す図である。図４において、
分析装置１は、例えば分光結晶に応じた理論上の分光位
置の前後にわたる適当な分光位置範囲で、分光器の分光
位置を適当なステップ幅で走査させつつＸ線強度を測定
する電子プローブマイクロアナライザ（ＥＰＭＡ）や蛍
光Ｘ線分析装置などであり、その測定Ｘ線強度つまり計
数値と分光位置からなる分析データを格納するのが分析
データファイル２である。最大値検出部３は、分析デー
タファイル２に格納された計数値の中から最大値Ｍの計
数値を検出するものであり、分析データ抽出部４は、最
大値Ｍに対しＭ−ｋ√ＭからＭまでの範囲の計数値が得
られた分光位置を分析データファイル２から抽出するも
のである。そして、ピーク位置検出部５は、分析データ
抽出部４で抽出された分光位置を加重平均してその位置
をピーク位置として検出するものである。ピーク位置検
出部５で検出したピーク位置は分析装置１に送られ、分
析装置１は、そのピーク位置に分光器を設定できる。
【００１７】なお、本発明は、上記の実施例に限定され
るものではなく、種々の変形が可能である。例えば上記
の実施例では、Ｘ線分光器で分光したＸ線の強度が最大
となる分光位置（ピーク位置）を検出するピークサーチ
方法を説明したが、統計変動を含む他の分析データに対
して同様に適用してもよい。また、Ｘ線強度の各計数値
のうちの最大値Ｍに対してその統計変動√Ｍのｋ倍の範
囲にある計数値を得た分光位置による加重平均位置をピ
ーク位置としたが、最大値Ｍに対し計数値の大きさやピ
ークプロファイルのシャープさ，非対称さなどに応じて
範囲を幾つかの中から選択するようにしてもよいし、固
定してもよい。
るものではなく、種々の変形が可能である。例えば上記
の実施例では、Ｘ線分光器で分光したＸ線の強度が最大
となる分光位置（ピーク位置）を検出するピークサーチ
方法を説明したが、統計変動を含む他の分析データに対
して同様に適用してもよい。また、Ｘ線強度の各計数値
のうちの最大値Ｍに対してその統計変動√Ｍのｋ倍の範
囲にある計数値を得た分光位置による加重平均位置をピ
ーク位置としたが、最大値Ｍに対し計数値の大きさやピ
ークプロファイルのシャープさ，非対称さなどに応じて
範囲を幾つかの中から選択するようにしてもよいし、固
定してもよい。
【００１８】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、ピーク位置判定の過程では、ピークサーチで
実測された各分光位置での計数値のうちの最大値Ｍに対
して、その統計変動量√Ｍのｋ倍の範囲の計数値を最大
値Ｍと同等の計数値として扱い、Ｍ−ｋ√ＭからＭの間
の計数値が得られた分光位置を加重平均した位置をピー
ク位置とするので、最大値が得られた分光位置をピーク
位置とする従来の方法が生来含有していた統計変動によ
りピーク位置を誤認すること、がなくなる。ピークサー
チの実測で得られた各計数値を統計変動の点で過不足な
く取り扱っているため、短時間の計測で正確かつ簡単に
ピーク位置を求めることができる。
によれば、ピーク位置判定の過程では、ピークサーチで
実測された各分光位置での計数値のうちの最大値Ｍに対
して、その統計変動量√Ｍのｋ倍の範囲の計数値を最大
値Ｍと同等の計数値として扱い、Ｍ−ｋ√ＭからＭの間
の計数値が得られた分光位置を加重平均した位置をピー
ク位置とするので、最大値が得られた分光位置をピーク
位置とする従来の方法が生来含有していた統計変動によ
りピーク位置を誤認すること、がなくなる。ピークサー
チの実測で得られた各計数値を統計変動の点で過不足な
く取り扱っているため、短時間の計測で正確かつ簡単に
ピーク位置を求めることができる。
【図１】 本発明に係る分光器のピークサーチ方法の１
実施例を説明するための図である。
実施例を説明するための図である。
【図２】 ピークサーチ方法の例を説明するための図で
ある。
ある。
【図３】 移動ステップと分光位置の対応を説明するた
めの図である。
めの図である。
【図４】 本発明に係るピークサーチ方法を実行するシ
ステム構成例を示す図である。
ステム構成例を示す図である。
１…分析装置、２…分析データファイル、３…最大値検
出部、４…分析データ抽出部、５…ピーク位置検出部
出部、４…分析データ抽出部、５…ピーク位置検出部
Claims (2)
- 【請求項１】 分光位置とその位置での信号の計数値と
からなる一連の分析データからピーク位置を検出する分
光器のピークサーチ方法であって、計数値の中から最大
値を検出し、該最大値から設定された一定の範囲にある
計数値が得られた分光位置を抽出し、抽出した分光位置
の加重平均位置をピーク位置として求めることを特徴と
する分光器のピークサーチ方法。 - 【請求項２】 最大値から該最大値の平方根で求められ
る統計変動を定数倍した値までの範囲にある計数値が得
られた分光位置を抽出することを特徴とする請求項１記
載の分光器のピークサーチ方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6159745A JPH0831367A (ja) | 1994-07-12 | 1994-07-12 | 分光器のピークサーチ方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6159745A JPH0831367A (ja) | 1994-07-12 | 1994-07-12 | 分光器のピークサーチ方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0831367A true JPH0831367A (ja) | 1996-02-02 |
Family
ID=15700350
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6159745A Withdrawn JPH0831367A (ja) | 1994-07-12 | 1994-07-12 | 分光器のピークサーチ方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0831367A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007200769A (ja) * | 2006-01-27 | 2007-08-09 | Tokyo Univ Of Agriculture & Technology | 電子顕微鏡の画像処理システム及び方法並びにスペクトル処理システム及び方法 |
| CN108241091A (zh) * | 2016-12-27 | 2018-07-03 | 北京普源精电科技有限公司 | 利用频谱仪进行2fsk信号峰值搜索的方法及频谱仪 |
| CN112051289A (zh) * | 2019-06-05 | 2020-12-08 | 株式会社岛津制作所 | X射线分析装置和峰搜索方法 |
| CN113655083A (zh) * | 2020-05-12 | 2021-11-16 | 株式会社岛津制作所 | X射线分析装置和峰搜索方法 |
-
1994
- 1994-07-12 JP JP6159745A patent/JPH0831367A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007200769A (ja) * | 2006-01-27 | 2007-08-09 | Tokyo Univ Of Agriculture & Technology | 電子顕微鏡の画像処理システム及び方法並びにスペクトル処理システム及び方法 |
| CN108241091A (zh) * | 2016-12-27 | 2018-07-03 | 北京普源精电科技有限公司 | 利用频谱仪进行2fsk信号峰值搜索的方法及频谱仪 |
| CN112051289A (zh) * | 2019-06-05 | 2020-12-08 | 株式会社岛津制作所 | X射线分析装置和峰搜索方法 |
| CN113655083A (zh) * | 2020-05-12 | 2021-11-16 | 株式会社岛津制作所 | X射线分析装置和峰搜索方法 |
| JP2021179329A (ja) * | 2020-05-12 | 2021-11-18 | 株式会社島津製作所 | Ｘ線分析装置及びピークサーチ方法 |
| US11435303B2 (en) | 2020-05-12 | 2022-09-06 | Shimadzu Corporation | X-ray analysis device and peak search method |
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