JPH08313720A - カラーフィルタの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 着色層の端部に盛り上がりがなく、また膜厚
が薄くても厚みが均一で信頼性の高いカラーフィルタの
製造方法を提供する。 【構成】 β−ジケトンを用いて化学修飾した金属アル
コキシドを主成分とするゲル膜８をゾルゲル法で透明基
板４上に形成した後、所望の着色部形状を有するマスク
９をゲル膜８に重ね合わせ、マスク９側から紫外光を照
射した後、マスク９を除去し、ゲル膜８上に所望の色相
の顔料を含むシランアルコキシドを主成分とするゾル液
を用いてゾルゲル法により着色ゲル層１１を形成し、水
で洗浄することにより紫外光を照射していない部分に選
択的に着色ゲル層１１を形成した後、熱処理することに
より透明基板４上に金属酸化物を主成分とする薄膜層が
形成され、かつその面上の所望する位置に所望するフィ
ルタの色相を有する顔料を含有したＳｉＯ₂ を主成分と
する着色薄膜層が形成される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、カラーフィルタ及びそ
の製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】カラーフィルタはＶＴＲカメラ、ファク
シミリなどの視感度補正用や、液晶ディスプレイ、ＣＲ
Ｔ（陰極線管）表示などの色分解用カラーフィルタなど
として広く用いられている。

【０００３】パターニングを必要とするようなカラーフ
ィルタは低コスト化をはかるため、直接透明基板に印刷
する方法が一般に用いられる。具体的には、あらかじめ
所望形状のパターニングが形成された原版を基板上に位
置合わせしながら、所望の色相からなるインクを塗布し
た後、熱処理して固定化しパターニングされたカラーフ
ィルタを作製する。多色カラーフィルタの場合にはこの
工程をくり返して作製される。

【０００４】

【発明が解決しようとする問題点】しかしながら印刷法
では図３に示すように透明基板１はガラスなどが一般に
用いられるので透明基板１にインクの吸収性がないこと
から印刷された着色層２の端部３は球面状に盛り上がっ
てしまう。この様に端部３が平坦でないことからフィル
タとして使用すると放射状に光の散乱や反射を生じるな
どの問題が発生する。また印刷法では膜厚を薄くするこ
とに限界があり、フィルタの膜厚が一定でないなど高均
質なフィルタを作製するのが困難であると言う問題点を
有していた。すなわち、印刷法としてはスクリーン印刷
法が最もよく用いられているが、スクリーン印刷法の場
合、顔料、樹脂、分散剤、有機溶剤などから構成された
インクをスクリーン版を通じて透明基板の上に印刷する
が、基本的にはスクリーンの乳剤厚みによって厚みがコ
ントロールされる。この時乳剤厚みの形成に限界がある
と共に、薄く塗るとインクがかすれ均一に塗布すること
ができなくなる。従って印刷厚みを０．１ｍｍ以下にす
ることも難しくなる。

【０００５】本発明は上記問題点に鑑み、着色層の端部
に盛り上がりがなく、また膜厚が薄くても厚みが均一で
信頼性の高いカラーフィルタの製造方法を提供しようと
するものである。

【０００６】

【問題点を解決するための手段】上記問題点を解決する
ために本発明のカラーフィルタの製造方法はβ−ジケト
ンを用いて化学修飾した金属アルコキシドを主成分とす
るゲル膜をゾルゲル法により透明基板上に形成した後、
所望の着色部形状を有するマスクを前記ゲル膜に重ね合
わせ、前記マスク側から紫外光を照射した後マスクを除
去し、次いで前記ゲル膜上に所望の色相の顔料を含むシ
ランアルコキシドを主成分とするゾル溶液を塗布してゾ
ルゲル法により顔料を含有した着色ゲル層を形成し、前
記ゲル膜および前記着色ゲル層を溶解または分解しない
液体で洗浄することにより紫外光が照射された部分の前
記ゲル膜上に存在する着色ゲル層を除去して紫外光が照
射されていない前記ゲル膜上部分にのみ選択的に着色ゲ
ル層を形成した後、熱処理することを特徴とする。

【０００７】前記本発明のカラーフィルタの製造方法に
おいては、β−ジケトンがアセチルアセトンおよび／ま
たはベンゾイルアセトンであり、金属アルコキシドがチ
タンアルコキシドおよび／またはジルコニアアルコキシ
ドであることが好ましい。

【０００８】また、前記本発明のカラーフィルタの製造
方法においては、金属アルコキシドが、アルコキシ基の
炭素数が１〜５の金属アルコキシドであることが好まし
い。また、前記本発明のカラーフィルタの製造方法にお
いては、シランアルコキシドが、アルコキシ基の炭素数
が１〜４のシランアルコキシドであることが好ましい。

【０００９】また、前記本発明のカラーフィルタの製造
方法においては、洗浄に用いる前記ゲル膜および前記着
色ゲル層を溶解または分解しない液体が水であることが
好ましい。

【００１０】また、前記本発明のカラーフィルタの製造
方法においては、熱処理が５００〜９００℃の熱処理で
あることが好ましい。また、前記本発明のカラーフィル
タの製造方法においては、透明基板がガラス基板である
ことが好ましい。

【００１１】

【作用】本発明方法で得られたカラーフィルタの構成の
一例を図１に示した。透明基板４の面上にゾル・ゲル法
により形成され熱処理されて形成された金属酸化物を主
主成分とする薄膜層５が形成されている。そしてこの金
属酸化物薄膜層５の面上の所望する位置に、所望するフ
ィルタの色相を有する顔料６を含有したＳｉＯ₂を主成
分とする着色薄膜層７が形成された構造からなる。そし
て本発明のカラーフィルタの製造方法はその製造工程を
図２（ａ）〜（ｅ）に示すようにまず透明基板４（図２
（ａ））にβ−ジケトンを用いて化学修飾した金属アル
コキシドを主成分とするゾル液をスピナー法あるいは浸
漬法などで透明基板４上に塗布した後乾燥するいわゆる
ゾルゲル法により通常１μｍ以下の膜厚のゲル膜８を形
成する（図２（ｂ））。次に所望の着色部形状を有する
マスク９をこのゲル膜８面上に重ねてマスク９側から紫
外光１０を照射する（図２（ｃ））。紫外光１０を照射
後マスク９を除去する。一方、例えばテトラエトキシシ
ラン、エタノール、塩酸などからなるシランアルコキシ
ドを主成分とする溶液に所望の色相からなる顔料を添加
した後、加水分解した顔料含有のゾル溶液を作製し、か
かるゾル溶液をスピナー法あるいは浸漬法などの適宜の
方法で前述の紫外光照射済みのゲル薄膜８の面上に塗布
し、乾燥することにより着色ゲル層１１を形成する（図
２（ｄ））。しかる後前記ゲル膜８および前記着色ゲル
層１１を溶解または分解しない液体、例えば水などで洗
浄すると紫外光照射部１２では顔料含有の着色ゲル層は
洗浄により物理的に脱落して除去されるが、紫外光未照
射部１３では顔料含有の着色ゲル層１１は化学的にゲル
膜８に結合し、選択的に着色ゲル層１１が形成される
（図２（ｅ））。これを熱処理することによりゲル膜８
は金属酸化物を主成分とする薄膜層となり、選択的に残
された着色ゲル層１１も顔料を含有したＳｉＯ ₂ を主成
分とする着色薄膜層となり図１に示した様な所望の形状
にパターニングされた本発明のカラーフィルタが作製で
きる。

【００１２】本発明ではβ−ジケトンを用いて化学修飾
した金属アルコキシドを主成分としたゲル膜８に紫外光
を照射した時、紫外光の照射部と未照射部で選択着色性
があることに着目したものである。すなわちβ−ジケト
ンがキレート結合した金属アルコキシドに紫外光を照射
するとキレート結合が切れるなどして化学反応性が紫外
光の照射部と未照射部で変わる。これに顔料含有の着色
用シランアルコキシドを主成分とするゾル液と反応させ
ると化学反応の差異により選択的に着色用シランアルコ
キシドを主成分とするゾル液から形成された着色ゲル層
１１が下層のゲル膜８と化学反応して接着する部分と反
応せずに接着しない部分があらわれたものと考えられ
る。

【００１３】本発明では従来の印刷法と異なり、ゾルゲ
ル法によりゲル膜の紫外光による選択反応性を利用した
製造プロセスであることから平坦で均一な厚さの膜が形
成できるので、フィルタ部の端部に盛り上がりがなく、
極めて微細なパターンからなるフィルタでも製造が可能
となる。またゾルゲル法を用いることから１μｍ以下の
薄膜でも極めて均一に作製することができる。

【００１４】また、β−ジケトンがアセチルアセトンお
よび／またはベンゾイルアセトンであり、金属アルコキ
シドがチタンアルコキシドおよび／またはジルコニアア
ルコキシドである好ましい態様とすることにより、β−
ジケトンが金属アルコキシドとキレート結合を形成しや
すく、また紫外光の照射部と未照射部で化学反応性の変
化が生じやすいので好ましい。

【００１５】また、金属アルコキシドが、アルコキシ基
の炭素数が１〜５の金属アルコキシドである好ましい態
様とすることにより、ゾル液の調整やそのゲル化が容易
であり、コスト的にも比較的安価に入手できるので好ま
しい。

【００１６】また、シランアルコキシドが、アルコキシ
基の炭素数が１〜４のシランアルコキシドである好まし
い態様とすることにより、ゾル液の調整やそのゲル化が
容易であり、また、入手も容易でコスト的にも比較的安
価に入手できるので好ましい。

【００１７】また、洗浄に用いる前記ゲル膜および前記
着色ゲル層を溶解または分解しない液体が水である好ま
しい態様とすることにより、入手も容易でありコストも
易く好ましい。

【００１８】また、熱処理が５００〜９００℃の熱処理
である好ましい態様とすることにより、金属アルコキシ
ドを主成分とするゲル膜や顔料を含むシランアルコキシ
ドを主成分とする着色ゲル層を、それぞれ金属酸化物を
主成分とする薄膜層ならびに顔料を含有したＳｉＯ₂ を
主成分とする着色薄膜層に十分変換でき強度を向上でき
るので好ましい。

【００１９】また、透明基板がガラス基板である好まし
い態様とすることにより、透明性が優れ、耐熱性も高
く、入手も容易でありコストも易く好ましい。

【００２０】

【実施例】本発明で用いる透明基板としては、透明で熱
処理に耐えるものであれば何でもよいが通常ガラスが好
ましく用いられる。透明基板の厚みも目的とするデバイ
スに応じて必要な厚みにすればよく特に制限するもので
はないが、余り薄いと強度が低くなり破壊されやすくい
と言うことと、余り厚過ぎると重くなると言うだけのこ
とであるので特に制限はしないが、通常５００μｍ〜５
ｍｍ程度で、適宜用途に応じて適当な厚みとすればよ
い。

【００２１】透明基板上にβ−ジケトンを用いて化学修
飾した金属アルコキシド溶液を用いてゲル膜を形成する
ためのゾルゲル法は通常の手法が採用でき、具体的に本
発明方法に関して説明するならば、β−ジケトンを用い
て化学修飾した金属アルコキシドの例えばエタノールな
どの適宜の溶媒溶液に水を添加して金属アルコキシドを
加水分解させた状態で透明基板に例えば浸漬法、スピナ
ー法などの適宜の手段で膜を形成し、その後乾燥させて
ゲル膜を作成する方法が採用される。乾燥温度は特に制
限するものではないが１００〜１５０℃程度が好まし
い。

【００２２】金属アルコキシドとしてはチタンアルコキ
シド、ジルコニアアルコキシド、シリコンアルコキシド
などが例示されるが、特にチタンアルコキシド、ジルコ
ニアアルコキシドが好ましく、また、アルコキシ基の炭
素数が１〜５のこれらの金属のアルコキシドが好まし
い。

【００２３】金属アルコキシドを化学修飾するためのβ
−ジケトンとしては、金属アルコキシドの種類に応じて
種々のものが用いられるが、特にアセチルアセトン、ベ
ンゾイルアセトンなどが好ましい。β−ジケトンを用い
て化学修飾した金属アルコキシドは、β−ジケトンと金
属アルコキシド混合することによって容易に作製するこ
とができる。この場合、β−ジケトンがキレート結合し
た金属アルコキシドが生成される。

【００２４】透明基板状にゾルゲル法によって形成され
るゲル膜の厚さは、浸漬法、スピナー法などで透明基板
上に塗布できるので自由な所望の厚みにコントロールで
き、デバイスの目的に応じて適宜の厚みにすればよく、
特に制限するものではないが通常１μｍ以下であり、特
に５０〜２００ｎｍ程度が好ましく用いられる。

【００２５】紫外線を照射する前に前記ゲル膜表面上に
重ね合わせるマスクとしては、紫外光を通さず、目的と
するカラーフィルタの所望の着色部の形状が紫外光遮光
部となるように所望のパターンのマスクに簡単に加工で
きるものであればよく、特に限定するものではないが、
例えばステンレスや銅などの金属板とか、ポリアミド樹
脂やフェノール樹脂などの樹脂板など任意のものが使用
できる。マスクの厚みも特に制限はないが、ハンドリン
グできる厚みであれば薄い方が好ましい。特に限定する
ものではないが通常０．２〜１ｍｍ程度の厚みのマスク
が好ましく用いられる。

【００２６】マスクは前記透明基板上に形成された前記
ゲル膜上に重ね合わせられ、紫外光をマスク側から照射
した後は取り外される。次にこの紫外光が照射されたゲ
ル膜上に形成される着色ゲル膜は、所望の色相の顔料を
含むシランアルコキシドを主成分とするゾル溶液を塗布
してゾルゲル法により顔料を含有した着色ゲル層を形成
するが、シランアルコキシドとしては特に限定するもの
ではないが、例えば、メトキシシラン、エトキシシラ
ン、プロポキシシラン、ブトキシシランなどのアルコキ
シ基の炭素数が１〜４のシランアルコキシドが好ましく
用いられる。

【００２７】シランアルコキシドを主成分とするゾル溶
液を塗布してゾルゲル法により顔料を含有した着色ゲル
層を形成するには、同様にシランアルコキシドを用いた
通常のゾルゲル法が採用でき、シランアルコキシドの例
えばエタノールなどの適宜の溶媒溶液に所望の色相の顔
料、水ならびに無機酸などの加水分解触媒などを添加し
てシランアルコキシドを加水分解させた状態で、前記β
−ジケトンを用いて化学修飾した金属アルコキシドを主
成分とする素材から形成され紫外光を照射されたゲル膜
上に例えば浸漬法、スピナー法などの適宜の手段で塗布
して膜を形成し、その後乾燥させて着色ゲル層を作成す
る方法が採用される。乾燥温度は特に制限するものでは
ないが１００〜１５０℃程度が好ましい。

【００２８】顔料を含有したシランアルコキシドを主成
分とするゾル溶液のゾルゲル法により形成する着色ゲル
層の厚さは、浸漬法、スピナー法などで前記ゲル膜上に
塗布できるので自由な所望の厚みにコントロールでき、
デバイスの目的に応じて適宜の厚みにすればよく、特に
制限するものではないが通常１μｍ以下であり、特に５
０〜２００ｎｍ程度が好ましく用いられる。

【００２９】次に前記ゲル膜および前記着色ゲル層を溶
解または分解しない液体で洗浄することにより紫外光が
照射された部分の前記ゲル膜上に存在する着色ゲル層を
除去して紫外光が照射されていない前記ゲル膜上部分に
のみ選択的に着色ゲル層を形成させるが、この際に洗浄
に用いる液体としては、紫外光が照射された部分の前記
ゲル膜上に存在する着色ゲル層を洗浄により物理的に脱
落させて除去するので、前記着色ゲル層を溶解または分
解しない液体であれば何でもよく、水が最も安価である
ので、通常、水が用いられる。

【００３０】こうして得られた透明基板上に前記ゲル膜
が形成され、更にその上に所望のパターンの顔料着色ゲ
ル層が形成された前駆体をを熱処理するが、熱処理温度
としては用いた金属アルコキシドの種類に応じて異なる
ので一概に規定できないが、通常５００〜９００℃の範
囲で行われる。

【００３１】以下、具体的な実施例を用いて本発明を更
に説明するが、本発明はこれらの実施例のみに限定され
るものではない。 （実施例１）ノルマルブトキシジルコニウム：アセチル
アセトン：エタノールのモル比が１：１：１０となるよ
うな混合溶液Ａを調製する。一方水とメタノールのモル
比が４：１０となるような混合溶液Ｂを作製する。次に
混合溶液Ａのノルマルブトキシジルコニウム１モルに対
し混合溶液Ｂの水が４モルとなるような配合量となるよ
う混合溶液Ａ、Ｂを加えてゾル液を作製する。かかる溶
液中に厚み１ｍｍのガラス基板を浸漬した後、引き上げ
速度８ｃｍ／分の条件で基板を引き上げ、これを１２０
℃で３０分乾燥することによりガラス面に約１５０ｎｍ
の厚みのゲル膜を作製した。このゲル膜面上に所望のパ
ターン形状の厚みが３００μｍのステンレスマスクを配
置し、市販の紫外光照射装置を使用して紫外光をマスク
側から約１０分照射した。

【００３２】ステンレスマスクを除去し、次にエトキシ
シラン、エタノール、水、塩酸及びＣｏＡｌ₂ Ｏ₄ 系の
青色顔料とからなる着色用ゾル液を作製した後、前記紫
外光を照射したゲル膜が形成されているガラス基板を前
述の顔料を含有した着色用ゾル溶液中に浸漬後、引き上
げ１２０℃で乾燥して厚み約１３０ｎｍの着色ゲル層を
全面に形成した。この全面に着色ゲル層が形成された基
板を水洗することにより紫外光が照射されていない部分
にのみ着色ゲル層が形成された基板／ゲル膜／着色ゲル
層からなる前駆体が得られた。かかる前駆体を７００℃
で熱処理することにより本発明のカラーフィルタ、すな
わち透明基板上にＺｒＯ₂ を主成分とする薄膜層が形成
され、かつその面上の所望する位置に所望する色相（こ
の場合は青色）を有する顔料を含有したＳｉＯ₂ を主成
分とする着色薄膜層が形成された構造からなるカラーフ
ィルタが得られた。かかるフィルタはゾルゲル法を用い
て作製されたものであるので厚みが極めて均一で、フィ
ルタ部の端部も盛り上がりがなかった。従ってフィルタ
として使用した場合、放射状に光の散乱や反射もなくな
り極めて信頼性の高いフィルタが得られた。

【００３３】（実施例２）ノルマルブトキシチタニウ
ム：ベンゾイルアセトン：エタノールのモル比が１：
２：１０となるような混合溶液Ａを調製する。一方水と
エタノールのモル比が４：１０となるような混合溶液Ｂ
を作製する。次に混合溶液Ａのノルマルブトキシチタニ
ウム１モルに対し混合溶液Ｂの水が４モルとなるような
配合量となるよう混合溶液ＡとＢを加えてゾル液を作製
する。かかる溶液中に厚み１ｍｍのガラス基板を浸漬し
た後、引き上げ速度８ｃｍ／分の条件で基板を引き上
げ、これを１２０℃で３０分乾燥することによりガラス
面に約１５０ｎｍの厚みのゲル膜を作製した。このゲル
膜面上に所望のパターン形状の厚みが３００μｍのステ
ンレスマスクを配置し、市販の紫外光照射装置を使用し
て紫外光をマスク側から約１５分照射した。次にエトキ
シシラン、エタノール、水、塩酸及びＦｅ₂ Ｏ₃ 系の赤
色の顔料をからなる着色用ゾル液を作製した後、この顔
料を含有したゾル溶液を用いてスピナーにより、前述の
紫外光を照射したガラス基板上のゲル膜面上に塗布し、
１２０℃で乾燥させてゲル化させ厚み約１３０ｎｍの着
色ゲル層を全面に形成した。この全面に着色ゲル層が形
成された基板を水で洗浄することにより紫外光が照射さ
れていない部分にのみ着色ゲル層が形成された基板／ゲ
ル膜／着色ゲル層からなる前駆体が得られた。かかる前
駆体を７５０℃で熱処理することにより本発明のカラー
フィルタ、すなわち透明基板上にＴｉＯ₂ を主成分とす
る薄膜層が形成され、その面上の所望する位置に所望す
る色相（この場合は赤色）を有する顔料を含有したＳｉ
Ｏ₂ を主成分とする着色薄膜層が形成された構造からな
るカラーフィルタが得られた。かかるフィルタはゾルゲ
ル法を用いて作製されたものであるため厚みが均一で、
フィルタ部の端部も盛り上がりがなかった。従ってフィ
ルタとして使用した場合、放射状に光の散乱や反射もな
くなり極めて信頼性の高いフィルタが得られた。

【００３４】以上に示した実施例では着色剤に顔料を使
用したが耐熱性を考慮しなければ顔料のかわりに染料を
使用しても全く同じ効果を得られるのは言うまでもない
ことである。

【００３５】また、以上に示した実施例では単一色のカ
ラーフィルタを示したが、多色カラーフィルタの場合に
は異なる色相の顔料を有するシランアルコキシドゾル液
をそれぞれ作製し、実施例と同じ操作をくり返し行なう
ことにより異なる着色層を形成するればよく、例えば
赤、青、緑の三色フィルタを作製すれば、信頼性の高い
液晶用カラーフィルタができる。

【００３６】また本発明では紫外光の未照射部に選択的
に着色層が形成される実施例を示したが、透明基板上に
最初に形成する薄膜層に使用するの金属アルコキシドあ
るいはβ−ジケトン及び着色層用に使用する金属アルコ
キシドの種類、組み合わせによっては紫外光の照射部と
未照射部での化学反応性が変わることから紫外光の照射
部に選択的に着色層が形成される場合があることはいう
までもないことである。

【００３７】

【発明の効果】以上のようにβ−ジケトンを用いて化学
修飾した金属アルコキシドを主成分とするゲル膜をゾル
ゲル法により透明基板上に形成した後、所望の着色部形
状を有するマスクを前述のゲル膜に重ね合わせ、マスク
側から紫外光を照射した後マスクを除去し、前記ゲル膜
上に所望の色相の顔料を含むシランアルコキシドを主成
分とするゾル溶液を塗布してゾルゲル法により顔料を含
有した着色ゲル層を形成する。これを水などの前記ゲル
膜および前記着色ゲル層を溶解または分解しない液体で
洗浄して紫外光を照射していない部分に選択的に着色薄
膜層を形成した後、熱処理することにより透明基板上に
金属酸化物を主成分とする薄膜層が形成され、かつその
面上の所望する位置に、所望する色相を有する顔料を含
有したＳｉＯ₂ を主成分とする着色薄膜層が形成された
構成からなる本発明のカラーフィルタが作製される。か
かる本発明のカラーフィルタの製造方法によれば、ゾル
ゲル法によって形成したゲル膜の紫外光照射による着色
ゲル層との選択着色性を利用した製造プロセスであるこ
とからフィルタ部の端部の盛り上がりもなく、極めて微
細なパターンからなるフィルタでも製造が可能となり、
放射状に光の散乱や反射もなく均一性のすぐれた信頼性
の高いカラーフィルタが製造できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の製造方法によって得られたカラーフィ
ルタの構成の一例を示す断面図である。

【図２】本発明のカラーフィルタの製造方法の一例を示
す断面工程図である。

【図３】従来のカラーフィルタの構成を示す断面図であ
る。

【符号の説明】

４ 透明基板 ５ 酸化物薄膜層 ６ 顔料 ７ 着色薄膜層 ８ β−ジケトンを用いて化学修飾した金属アルコキシ
ドを主成分とするゾル液から形成されたゲル膜 ９ マスク １１ 顔料とシランアルコキシドを主成分とするゾル液
から形成された着色ゲル層 １２ 紫外光照射部 １３ 紫外光未照射部

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 β−ジケトンを用いて化学修飾した金属
   アルコキシドを主成分とするゲル膜をゾルゲル法により
   透明基板上に形成した後、所望の着色部形状を有するマ
   スクを前記ゲル膜に重ね合わせ、前記マスク側から紫外
   光を照射した後マスクを除去し、次いで前記ゲル膜上に
   所望の色相の顔料を含むシランアルコキシドを主成分と
   するゾル溶液を塗布してゾルゲル法により顔料を含有し
   た着色ゲル層を形成し、前記ゲル膜および前記着色ゲル
   層を溶解または分解しない液体で洗浄することにより紫
   外光が照射された部分の前記ゲル膜上に存在する着色ゲ
   ル層を除去して紫外光が照射されていない前記ゲル膜上
   部分にのみ選択的に着色ゲル層を形成した後、熱処理す
   ることを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
2. 【請求項２】 β−ジケトンがアセチルアセトンおよび
   ／またはベンゾイルアセトンであり、金属アルコキシド
   がチタンアルコキシドおよび／またはジルコニアアルコ
   キシドである請求項１に記載のカラーフィルタの製造方
   法。
3. 【請求項３】 金属アルコキシドが、アルコキシ基の炭
   素数が１〜５の金属アルコキシドである請求項１または
   ２のいずれかに記載のカラーフィルタの製造方法。
4. 【請求項４】 シランアルコキシドが、アルコキシ基の
   炭素数が１〜４のシランアルコキシドである請求項１〜
   ３のいずれかに記載のカラーフィルタの製造方法。
5. 【請求項５】 洗浄に用いる前記ゲル膜および前記着色
   ゲル層を溶解または分解しない液体が水である請求項１
   〜４のいずれかに記載のカラーフィルタの製造方法。
6. 【請求項６】 熱処理が５００〜９００℃の熱処理であ
   る請求項１〜５のいずれかに記載のカラーフィルタの製
   造方法。
7. 【請求項７】 透明基板がガラス基板である請求項１〜
   ６のいずれかに記載のカラーフィルタの製造方法。