JPH0831386A - 誘電体バリア放電ランプ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 コンパクトで、比較的低い電圧で放電を開始
でき、かつ、発光効率が十分である誘電体バリア放電ラ
ンプ装置を提供する。 【構成】 放電容器を兼ねた誘電体バリア放電の第一の
誘電体３と対向して間隙を有して設けた第二の誘電体２
と、間隙に対面しない第一の誘電体の第一の面に設けた
誘電体バリア放電を行うための第一の電極４と、間隙に
対面しない第二の誘電体の第一の面に設けた誘電体バリ
ア放電を行うための第二の電極５と、間隙に対面する第
一、第二の誘電体の第二の面によって形成され、誘電体
バリア放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガス
を充填した放電空間８と、エキシマ分子からの光を取り
出す光取り出し窓部とからなる誘電体バリア放電ランプ
装置において、第一の誘電体の第二の面に第三の電極２
１を設け、第一と第三の電極及び第一と第二の電極に交
流電圧を印加する手段を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば、光化学反応用
の紫外線光源として使用される放電ランプの一種で、誘
電体バリア放電によってエキシマ分子を形成し、前記エ
キシマ分子から放射される光を利用するいわゆる誘電体
バリア放電ランプ装置の改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】本発明に関連した技術としては、例え
ば、日本国公開特許公報平１ー１４４５６０号があり、
そこには、放電容器にエキシマ分子を形成する放電用ガ
スを充填し、誘電体バリア放電（別名オゾナイザ放電あ
るいは無声放電。電気学会発行改定新版「放電ハンドブ
ック」平成１年６月再版７刷発行第２６３ページ参照）
によってエキシマ分子を形成せしめ、該エキシマ分子か
ら放射される光を利用するランプ、すなわち誘電体バリ
ア放電ランプ装置について記載されており、該放電容器
は円筒状であり、該放電容器の少なくとも一部は該誘電
体バリア放電の誘電体を兼ねており、該誘電体は光透過
性であり、該誘電体の少なくとも一部に導電性網状電極
が設けられた誘電体バリア放電ランプ装置が記載されて
いる。

【０００３】また、平成６年電気学会全国大会講演論文
集第二分冊の頁２−１７３には、円筒状のセラミックス
の内部に埋め込まれた第一の電極と、前記セラミックス
円筒内に同軸に設けられたパイレックス管と、前記パイ
レックス管の内部に設けられた第二の電極と、前記セラ
ミックス円筒の内側に設けられた第三の電極を有するオ
ゾン発生機において、前記第一の電極と第三の電極およ
び前記第一の電極と第二の電極の間で、それぞれ放電を
行う方式が記載されている。

【０００４】以下、従来の誘電体バリア放電ランプ装置
の概略図である図３を使用して、一般的な誘電体バリア
放電の概要について説明する。放電容器１は、誘電体で
あるガラス製である内側管２、外側管３を同軸に配置し
て中空円筒状にしたものである。外側管３の外面には光
通過性の誘電体バリア放電用の電極４が、内側管２の外
面にはアルミニウムの蒸着によって形成した光反射膜を
兼ねた誘電体バリア放電用の電極５がそれぞれ設けられ
ている。前記電極５を機械的、化学的に保護するため
に、電極５の上に窒化ほう素からなる保護膜９が設けら
れている。また放電容器１の一端には、ゲッタ７を収納
するゲッタ室６が設けられている。放電空間８に、誘電
体バリア放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガ
スを充填し、交流電源１０によって電極４，５間に電圧
を印加すると、放電空間８に誘電体バリア放電が発生
し、エキシマ光が放出される。なお、ゲッタ７は放電空
間８における不純ガス（例えばＨ₂ Ｏ等）を除去し、放
電を安定化させる働きを持つ。

【０００５】数十トール以上の中気圧または高気圧のア
ーク放電ランプなどで発生する通常のアーク放電におい
ては、放電空間に放電プラズマが一条だけ存在し、電極
面上には一個の小さな電極輝点が生じている。すなわ
ち、電極の面積を大きくしても実質的に電極としての役
割をしている部分は非常に小さい部分であり、放電プラ
ズマは一条だけ存在する。一方、前記放電ハンドブック
に記載されているように、誘電体バリア放電において
は、その放電路に誘電体が挿入されている。この誘電体
は放電プラズマが一条に収斂するのを阻止するので、プ
ラズマの直径が非常に小さく、かつ、放電の持続時間が
非常に短い微小な放電プラズマ（以後これをマイクロプ
ラズマと記す）が放電空間に多数存在することになる。
誘電体バリア放電ランプ装置においてエキシマ光が高効
率で放出される原因の一つは、上記した多条の微小な放
電プラズマの存在である。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記のような誘電体バ
リア放電ランプ装置は、従来のグロー放電ランプやアー
ク放電ランプには無い種々の特長を有しているため有用
である。しかし、従来の誘電体バリア放電ランプ装置に
は以下のような欠点が生じる。先ず第一に、図３から明
らかなように電極４，５の間に二枚の誘電体２，３が存
在するので誘電体における電圧降下が大きく、従って放
電の開始に高電圧が必要になるという欠点が生じる。す
なわち、放電を始動させるための高電圧を発生する電源
が必要となり、結果として装置が大型化する。

【０００７】第二に、光出力を増大させるために、放電
容器１の大きさを一定に保った状態で、放電空間８への
電力注入量を大きくすると、マイクロプラズマの太さが
大きくなり、その結果、エキシマ分子の生成効率が低下
して発光効率が低下するという欠点が生じる。一方、発
光効率が低下しないようマイクロプラズマの太さを一定
に保った状態で放電空間８への電力注入量を大きくする
には放電空間を大きくしなければならず、結果としてラ
ンプが大きくなるという欠点が生じる。

【０００８】例えば、塗料の紫外線硬化や紫外線を使用
した金属表面の乾式洗浄などには、高輝度の紫外線光源
が必要とされ、そのような紫外線光源として誘電体バリ
ア放電ランプ装置が期待される。その場合、機器全体を
コンパクトにするために、誘電体バリア放電ランプ装置
に対してもコンパクト性が要求される。しかし、従来の
誘電体バリア放電ランプ装置においては上記の欠点が存
在するので、高電圧を発生する電源を必要とし、コンパ
クト性に限界がある。また光出力の増大が要請されると
き、ランプのコンパクト性を保った状態で発光効率の高
い発光を達成することは困難である。

【０００９】本発明は、以上のような事情に基づいてな
されたものであって、その課題は、コンパクトで、比較
的低い電圧で放電を開始でき、かつ、発光効率が十分で
ある誘電体バリア放電ランプ装置を提供することであ
る。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の請求項１の発明は、放電容器を兼ねた誘電
体バリア放電の第一の誘電体と、前記第一の誘電体と対
向して間隙を有して設けられた第二の誘電体と、前記間
隙に対面しない前記第一の誘電体の第一の面の少なくと
も一部に設けた誘電体バリア放電を行うための第一の電
極と、前記間隙に対面しない前記第二の誘電体の第一の
面の少なくとも一部に設けた誘電体バリア放電を行うた
めの第二の電極と、前記間隙に対面する前記第一の誘電
体の第二の面と前記該第二の誘電体の第二の面とによっ
て形成され、前記誘電体バリア放電によってエキシマ分
子を形成する放電用ガスが前記放電空間に充填された放
電空間と、前記エキシマ分子からの光を取り出す光取り
出し窓部とからなる誘電体バリア放電ランプ装置におい
て、前記第一の誘電体の第二の面の少なくとも一部に第
三の電極を設け、かつ、前記第一の電極と前記第三の電
極および前記第一の電極と前記第二の電極に交流電圧を
それぞれ印加する手段を設けたものである。

【００１１】本発明の請求項２の発明は、請求項１の発
明において、前記第一の誘電体が光通過性であって前記
光取り出し窓部を兼任し、かつ、前記該第一の電極と、
前記第三の電極が光通過性であるように構成したもので
ある。

【００１２】本発明の請求項３の発明は、請求項１の発
明または請求項２の発明において、前記第一の電極と前
記第三の電極に印加された交流電圧の位相と、前記第一
の電極と前記第二の電極に印加された交流電圧の位相が
概略同相であるようにしたものである。

【００１３】本発明の請求項４の発明は、請求項１また
は請求項２の発明において、前記第一の電極と前記第三
の電極に印加された交流電圧の位相と、前記第一の電極
と前記第二の電極に印加された交流電圧の位相が概略逆
相であるようにしたものである。

【００１４】本発明の請求項５の発明は、請求項１乃至
請求項４のいずれかの発明において、前記第一の電極と
前記第三の電極間の放電に供給される電力が、前記第一
の電極と前記第二の電極間の放電に供給される電力の十
分の一以下になるように構成したものである。

【００１５】

【作用】本発明の請求項１の発明においては、前記第一
の誘電体の第二の面の少なくとも一部に第三の電極を設
け、かつ、前記第一の電極と前記第三の電極および前記
第一の電極と前記第二の電極に交流電圧を印加する手段
をそれぞれ設けたので、前記第一の電極と前記第三の電
極の間には一枚の誘電体だけが存在することになり、前
記第一の電極と前記第三の電極の間に比較的低い電圧を
印加するだけで、前記第一の誘電体の第二の面の表面に
沿面放電が発生する。そしてこの沿面放電が電子源とな
って、前記第一の電極と前記第二の電極の間の放電も比
較的低い電圧を電極間に印加するだけで開始する。すな
わち、電源において高電圧を発生する必要が無くなり、
結果として装置がコンパクトになる。放電用ガスとして
塩素、臭素等のハロゲンを含むガスを使用した場合に
は、放電開始電圧が特に高くなるので、前記第三の電極
を構成することによって得られる放電開始電圧低下の利
点は大きくなる。

【００１６】従来の誘電体バリア放電ランプ装置は第一
の電極と第二の電極の間の誘電体バリア放電からエキシ
マ光が放出される。本発明においては、前記第一の誘電
体の第二の面の表面に発生する沿面放電と、前記第一の
電極と前記第二の電極の間の誘電体バリア放電からそれ
ぞれエキシマ光が放出される。よってランプのコンパク
ト性を保った状態においても、従来に比較して高効率で
大きな光出力を得ることができる。なお、上記した二つ
の放電が重ね合った部分における放電プラズマの機構は
必ずしも明確では無いが、二つの放電を重ね合わせたこ
とによって放電プラズマの空間的な分布に変化が生じ、
光出力の高効率化に寄与する可能性も考えられる。

【００１７】本発明の請求項２の発明は、請求項１の発
明において、前記第一の誘電体が光透過性であって前記
光取り出し窓部を兼任し、かつ、前記該第一の電極と、
前記第三の電極が光通過性であるように構成したので、
請求項１の発明と同様な効果を得ることができるととも
に、前記第一の誘電体の第二の面の表面に発生する沿面
放電と、前記第一の電極と前記第二の電極の間の誘電体
バリア放電からエキシマ光を取り出す効率、すなわち光
取り出し窓部からの発光効率が高くなるという利点が生
じる。

【００１８】前記第一の電極と前記第二の電極の間の誘
電体バリア放電プラズマは、正電極側の誘電体表面で広
がっている。本発明の請求項３の発明は、請求項１また
は請求項２の発明において、前記第一の電極と前記第三
の電極に印加された交流電圧の位相と、前記第一の電極
と前記第二の電極に印加された交流電圧の位相が概略同
相であるように構成したので、請求項１または請求項２
の発明と同様な効果を得ることができるとともに、エキ
シマ光の発光に寄与する前記第一の誘電体の第二の面の
表面に発生する沿面放電によるプラズマと、同じくエキ
シマ光の発光に寄与する前記第一の電極と前記第二の電
極の間の誘電体バリア放電によるプラズマとの重なりが
少ないので、発光効率を高くすることができる。

【００１９】本発明の請求項４の発明は、請求項１また
は請求項２の発明において、前記第一の電極と前記第三
の電極に印加された交流電圧の位相と、前記第一の電極
と前記第二の電極に印加された交流電圧の位相が概略逆
相であるようにしたので、請求項１または請求項２の発
明と同様な効果を得ることができるとともに、放電空間
の電界強度が大きくなるので放電開始電圧がより低くな
るという利点が生じる。

【００２０】本発明の請求項５の発明は、請求項１乃至
請求項４のいずれかの発明において、前記第一の電極と
前記第三の電極間の放電に供給される電力が、前記第一
の電極と前記第二の電極間の放電に供給される電力の十
分の一以下になるように構成したので、請求項１乃至請
求項４のいずれかの発明と同様な効果を得ることができ
るとともに、以下の利点を有する。前記第一の電極と該
第三の電極間の放電、すなわち前記第一の誘電体の第二
の面の表面に発生する放電によるエキシマ光の発生は非
常に少ないが、前記放電が電子源となって前記第一の電
極と前記第二の電極間の放電の開始に必要な電子の供給
が十分に行われるので、前記第一の電極と前記第二の電
極間の放電は瞬時に行うことができる。従って、機械的
なシャッターを使用すること無く、前記第一の電極と前
記第二の電極間の印加電圧を断続するだけでエキシマ光
を断続することが可能になる。なお、ここで記した電力
は、前記第一の電極と前記第三の電極、前記第一の電極
と前記第二の電極間で同時に放電を行っている条件と同
一の条件で、前記第一の電極と前記第三の電極および前
記第一の電極と前記第二の電極間でそれぞれ単独に放電
を行ったときの電力である。

【００２１】

【実施例】本発明の第一の実施例の誘電体バリア放電ラ
ンプ装置を、図１に示す。放電容器１は合成石英ガラス
製で、第二の誘電体である外径１４ｍｍの内側管２と、
第一の誘電体である内径２６ｍｍの外側管３を同軸に配
置して中空円筒状にしたものである。外側管３の外面に
は金属網からなる光透過性の誘電体バリア放電用の第一
の電極４が、内側管２の外面にはアルミニウムの蒸着に
よって形成した光反射膜を兼ねた誘電体バリア放電用の
第二の電極５がそれぞれ設けられている。放電容器１の
一端には、ゲッタ７を収納するゲッタ室６が設けられて
いる。アルミニウムの蒸着によって形成した電極５を機
械的、化学的に保護するために、電極５の上に窒化ほう
素からなる保護膜９が設けられている。外側管３の内面
には螺旋状の金属線からなる第三の電極２１が設けられ
ている。放電空間８に、誘電体バリア放電によってエキ
シマ分子を形成するための放電用ガスとして、キセノン
を６０ｋＰａ封入した。

【００２２】外側電極４と内側電極５には電源１０を接
続し、外側電極４と第三の電極２１には電源２０を接続
し、電源１０と電源２０の電圧の位相を概略同位相し
て、２０ｋＨｚの高周波電圧を印加したところ、次の効
果が得られた。まず第一に、通常のように外側電極４と
内側電極５の間にだけ電圧を印加した場合に比較して５
０％以下の低い電圧で放電が開始し、従って電源、装置
全体の小型化が可能となった。第二に、前記第一の電極
と前記第三の電極の間に電圧を印加することにより、外
側管３の内面に発生する沿面放電と、前記第一の電極と
前記第二の電極の間の誘電体バリア放電からエキシマ光
が放出されるので、ランプのコンパクト性を保った状態
で、波長１７２ｎｍに最大値を有する真空紫外線が高効
率で、かつ大きな光出力で得られた。

【００２３】本発明の第二の実施例の誘電体バリア放電
ランプ装置は、電源１０と電源２０の電圧の位相が概略
逆相であること以外は、第一の実施例と同一である。こ
の実施例においては、放電始動電圧がさらに低くなると
いう利点が生じた。

【００２４】本発明の第三の実施例の誘電体バリア放電
ランプ装置は、第一の実施例と同一構造であるが、放電
用ガスとしては塩素とキセノンの混合ガスを使用し、か
つ、前記第一の電極４と前記第三の電極２１間の放電、
すなわち外側管３の内面表面に発生する放電に供給され
る電力を前記第一の電極４と前記第二の電極５間の放電
に供給される電力の十分の一以下になるようにしたもの
である。前記第一の電極と前記第三の電極間の放電、す
なわち外側管３の内面表面に発生する放電によるエキシ
マ光の発生は非常に少ないが、前記放電が電子源となっ
て前記第一の電極と前記第二の電極間の放電の開始に必
要な電子の供給は、常時、十分に行われる。よって、放
電用ガスの一部に放電開始電圧が特に高くなる塩素を使
用しているのにもかかわらず、前記第一の電極と前記第
二の電極間の放電は瞬時に行うことができる。従って、
機械的なシャッターを使用すること無く、前記第一の電
極と前記第二の電極間の印加電圧を断続するだけでエキ
シマ光を断続することが可能になる。

【００２５】本発明の第４の実施例の誘電体バリア放電
ランプ装置を、図２に示す。第一の実施例と異なる点
は、第一の電極３１および第二の電極３２が金属薄膜電
極であること、第二の誘電体の一つの先端３４が閉じら
れていること、光出力は光取り出し窓３３から取り出さ
れること、放電用ガスはアルゴンであることである。こ
の実施例においても、ランプのコンパクト性を保った状
態で、波長１２４ｎｍに最大値を有する真空紫外線が高
効率で、大きな光出力でえられた。

【００２６】上記各実施例は全て同軸円筒状のランプで
あったが、本発明は、平板状の誘電体を使用した平面型
の誘電体バリア放電ランプに対しても適用できることは
自明である。

【００２７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明において
は、次の効果を得ることができる。本発明の請求項１の
発明においては、第一の誘電体の第二の面の少なくとも
一部に第三の電極を設け、かつ、第一の電極と前記第三
の電極および前記第一の電極と第二の電極に交流電圧を
印加する手段を設けたので、前記第一の電極と前記第三
の電極の間には一枚の誘電体だけが存在することにな
り、前記第一の電極と前記第三の電極の間に比較的低い
電圧を印加するだけで、前記第一の誘電体の第二の面の
表面に沿面放電が発生し、この沿面放電が電子源となっ
て、前記第一の電極と前記第二の電極の間の放電も比較
的低い電圧を電極間に印加するだけで開始することがで
きる。すなわち、電源において高電圧を発生する必要が
無くなり、結果として装置をコンパクトにできる。放電
用ガスとして塩素、臭素等のハロゲンを含むガスを使用
した場合には、放電開始電圧が特に高くなるので、前記
第三の電極を構成することによって得られる放電開始電
圧低下の利点は大きくなる。

【００２８】また、前記第一の誘電体の第二の面の表面
に発生する沿面放電と、前記第一の電極と前記第二の電
極の間の誘電体バリア放電からエキシマ光が放出される
ので、ランプのコンパクト性を保った状態においても、
従来に比較して高効率で大きな光出力を得ることができ
る。

【００２９】本発明の請求項２の発明は、請求項１の発
明において、前記第一の誘電体が光透過性であって前記
光取り出し窓部を兼任し、かつ、前記該第一の電極と、
前記第三の電極が光通過性であるように構成したので、
請求項１の発明と同様な効果を得ることができるととも
に、前記第一の誘電体の第二の面の表面に発生する沿面
放電と、前記第一の電極と前記第二の電極の間の誘電体
バリア放電からのエキシマ光を取り出す効率、すなわち
光取り出し窓部からの発光効率を高くすることができ
る。

【００３０】前記第一の電極と前記第二の電極の間の誘
電体バリア放電プラズマは、正電極側の誘電体表面で広
がっている。本発明の請求項３の発明は、請求項１また
は請求項２の発明において、前記第一の電極と前記第三
の電極に印加された交流電圧の位相と、前記第一の電極
と前記第二の電極に印加された交流電圧の位相が概略同
相であるように構成したので、請求項１または請求項２
の発明と同様な効果を得ることができるとともに、前記
第一の誘電体の第二の面の表面に発生する沿面放電と、
前記第一の電極と前記第二の電極の間の誘電体バリア放
電によるプラズマの重なりが少ないので、発光効率を高
くすることができる。

【００３１】本発明の請求項４の発明は、請求項１また
は２の発明において、前記第一の電極と前記第三の電極
に印加された交流電圧の位相と、前記第一の電極と前記
第二の電極に印加された交流電圧の位相が概略逆相であ
るようにしたので、請求項１または２の発明と同様な効
果を得ることができるとともに、放電空間の電界強度が
大きくなるので放電開始電圧をより低くすることができ
る。

【００３２】本発明の請求項５の発明は、請求項１乃至
請求項４のいずれかの発明において、前記第一の電極と
前記第三の電極間の放電に供給される電力が、前記第一
の電極と前記第二の電極間の放電に供給される電力の十
分の一以下になるように構成したので、請求項１乃至請
求項４のいずれかの発明と同様な効果を得ることができ
るとともに、以下の効果を有する。前記第一の電極と該
第三の電極間の放電、すなわち前記第一の誘電体の第二
の面の表面に発生する放電によるエキシマ光の発生は非
常に少ないが、前記放電が電子源となって前記第一の電
極と前記第二の電極間の放電の開始に必要な電子の供給
が十分に行われるので、前記第一の電極と前記第二の電
極間の放電は瞬時に行うことができる。従って、機械的
なシャッターを使用すること無く、前記第一の電極と前
記第二の電極間の印加電圧を断続するだけでエキシマ光
を断続することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の誘電体バリア放電ランプ装置の実施例
の説明図である。

【図２】本発明の誘電体バリア放電ランプ装置の他の実
施例の説明図である。

【図３】従来の誘電体バリア放電ランプ装置の説明図で
ある。

【符号の説明】 １ 放電容器 ２ 第二の誘電体 ３ 第一の誘電体 ４，３１ 第一の電極 ５，３２ 第二の電極 ７ ゲッタ ８ 放電空間 １０，２０ 電源 ２１，３５，４１ 第三の電極 ３３ 光取り出し窓

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 平本 立躬 兵庫県姫路市別所町佐土1194番地 ウシオ 電機株式会社内 (72)発明者 大西 安夫 兵庫県姫路市別所町佐土1194番地 ウシオ 電機株式会社内 (72)発明者 菱沼 宣是 兵庫県姫路市別所町佐土1194番地 ウシオ 電機株式会社内

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 放電容器を兼ねた誘電体バリア放電の第
   一の誘電体と、 前記第一の誘電体と対向して間隙を有して設けられた第
   二の誘電体と、 前記間隙に対面しない前記第一の誘電体の第一の面の少
   なくとも一部に設けた誘電体バリア放電を行うための第
   一の電極と、 前記間隙に対面しない前記第二の誘電体の第一の面の少
   なくとも一部に設けた誘電体バリア放電を行うための第
   二の電極と、 前記間隙に対面する前記第一の誘電体の第二の面と前記
   第二の誘電体の第二の面とによって形成され、前記誘電
   体バリア放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガ
   スが前記放電空間に充填された放電空間と、 前記エキシマ分子からの光を取り出す光取り出し窓部と
   からなる誘電体バリア放電ランプ装置において、 前記第一の誘電体の第二の面の少なくとも一部に第三の
   電極を設け、 かつ、前記第一の電極と前記第三の電極および前記第一
   の電極と前記第二の電極に交流電圧を印加する手段を設
   けたことを特徴とした誘電体バリア放電ランプ装置。
2. 【請求項２】 前記第一の誘電体が光通過性であって前
   記光取り出し窓部を兼任し、かつ、前記該第一の電極
   と、前記第三の電極が光通過性であることを特徴とした
   請求項１に記載の誘電体バリア放電ランプ装置。
3. 【請求項３】 前記第一の電極と前記第三の電極に印加
   された交流電圧の位相と、前記第一の電極と前記第二の
   電極に印加された交流電圧の位相が概略同相であること
   を特徴とした請求項１または請求項２に記載の誘電体バ
   リア放電ランプ装置。
4. 【請求項４】 前記第一の電極と前記第三の電極に印加
   された交流電圧の位相と、前記第一の電極と前記第二の
   電極に印加された交流電圧の位相が概略逆相であること
   を特徴とした請求項１または請求項２に記載の誘電体バ
   リア放電ランプ装置。
5. 【請求項５】 前記第一の電極と前記第三の電極間の放
   電に供給される電力が、前記第一の電極と前記第二の電
   極間の放電に供給される電力の十分の一以下であること
   を特徴とした請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の
   誘電体バリア放電ランプ装置。