JPH0831519B2 - ウェハ収納器 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［概要］ 半導体装置の製造工程においてウェハを保管及び搬送
する際に使用するウェハ収納器に関し、 ウェハの工程内での搬送及び保管時にともに使用可能
として、搬送及び保管時におけるウェハへのパーティク
ルの付着を防止し得るウェハ収納器を提供することを目
的とし、 複数枚のウェハを並列に保持するキャリヤと、そのキ
ャリヤを収納可能とし、かつパーティクルを濾過するフ
ィルターと、収納したキャリヤ内にフィルターを経た空
気を送風するファンと、ファンを駆動する直流モータ
と、その直流モータの電源となる蓄電池とを備えた中間
箱と、その中間箱を収納して密閉する密閉箱とで構成す
る。

［産業上の利用分野］ この発明は半導体装置の製造工程においてウェハを保
管及び搬送する際に使用するウェハ収納器に関するもの
である。

近年の半導体装置の高集積化にともない、その製造工
程中にウェハに付着するパーティクルは歩留りを低下さ
せる大きな要因となっている。

［従来の技術］ 半導体装置の製造工程中において、ウェハは多数枚ず
つキャリヤに保持されて搬送され、そのキャリヤは工程
間搬送では充分な空気清浄度が確保された搬送用トンネ
ル内を搬送されるが、工程内搬送ではそのキャリヤを作
業者自身が各製造装置に搬送している。ところが、この
キャリヤはウェハを剥き出し状態で保持しているため、
そのキャリヤの工程内での搬送及び保管時にウェハにパ
ーティクルが付着し、そのウェハから製造されるチップ
の歩留りを低下させてしまう。

そこで、特開昭55−134238号公報に記載された清浄箱
では、ウェハを収納して密閉した清浄箱内で雰囲気流を
ファンによりフィルターで濾過しながら循環させること
によりウェハを清浄な雰囲気中で保管してパーティクル
の付着を防止する構成を採用している。

［発明が解決しようとする課題］ ところが、上記のような清浄箱はファンを駆動するモ
ータの電源を接続コードで外部から供給する必要がある
ため、その接続コードが搬送時の障害となる。従って、
搬送時には清浄箱を使用することができないため、依然
としてパーティクルが付着し易いという問題点があっ
た。この発明の目的はウェハの工程内での搬送及び保管
時にともに使用可能として、搬送及び保管時におけるパ
ーティクルの付着を防止し得るウェハ搬送器を提供する
にある。

［課題を解決するための手段］ 第１図は本発明を示す原理図である。すなわち、複数
枚のウェハ３を並列に保持するキャリヤ１を収納可能と
する中間箱６が形成され、その中間箱にはパーティクル
を濾過するフィルター９と、収納したキャリヤ１内にフ
ィルター９を経た空気を送風するファン11と、ファン11
を駆動する直流モータ12と、その直流モータ12の電源と
なる蓄電池13とが設けられている。そして、前記キャリ
ヤ１及び中間箱６とその中間箱６を収納して密閉する密
閉箱17とでウェハ収納器が構成される。

［作用］ ウェハを保持したキャリヤを中間箱に収納し、この状
態で直流モータが回転されると、ウェハはフィルターで
パーティクルが除去された空気に晒されるためウェハへ
のパーティクルの付着が防止され、その中間箱及びキャ
リヤを密閉箱に収納するとフィルターで濾過される空気
の清浄度がさらに向上する。

［実施例］ 以下、この発明を具体化したウェハ収納器の一実施例
を第２図〜第５図に従って説明すると、第２図に示すよ
うにキャリヤ１は上部を開口した箱型に形成され、その
対向する内側面に支持溝２が多数形成され、その支持溝
２に多数枚のウェハ３が並列に支持されている。そのキ
ャリヤ１の−側外面には取手４が縦方向に設けられると
ともに、第３図に示すように底部５は下方へ開口されて
いる。

キャリヤ１を収納する中間箱６は前面を開口した四角
筒状に形成され、第３図に示すように後面には前記キャ
リヤ１の取手４を挿通する挿通孔８が形成されている。
中間箱６の底面にはフィルター９が取着され、そのフィ
ルター９は0.1ミクロン以上の塵をほぼ100％除去可能と
するものである。そのフィルター９の下方には送気孔10
が形成され、その送気孔10の後部は中間箱６外へ開口さ
れるとともにその開口部にファン11及びそのファン11を
回転駆動する直流モータ12が設けられている。そして、
直流モータ12が回転されると中間箱６外の空気が送気孔
10を経てフィルター９で除塵された後、中間箱６内へ送
風されるようになっている。

直流モータ12は中間箱６の天井面に取着された蓄電池
13に接続され、その蓄電池13から直流モータ12に電源電
圧が供給されている。

中間箱６の開口部７−側にはモータ駆動用コンセント
14形成され、他側には充電用コンセント15が形成されて
いる。そして、モータ駆動用コンセント14は直流モータ
12に接続され、接続コネクタ（図示しない）を嵌合して
直流モータ12を外部直流電源と接続可能とするものであ
る。また、充電用コンセント15は前記蓄電池13近傍に配
設される整流器16を介して蓄電池13に接続され、接続コ
ネクタにより外部交流電源と接続することにより蓄電池
13を充電可能とするものである。

第４図に示すように、中間箱６を収納するための密閉
箱17は上部に蝶番で開閉可能とした蓋18が設けられ、そ
の蓋18が当接する本体19開口縁には密閉ラバー20が貼着
されている。また、本体19の開口縁近傍には蓋18を本体
19開口縁に圧着する複数の掛止具21が設けられ、蓋18の
上面には取手22が設けられている。

さて、上記のように構成されたウェハ搬送器ではウェ
ハ３を収納したキャリヤ１をその取手４側から中間箱６
に挿入すると、第３図に示すように取手22が挿通孔８か
ら露出した状態でキャリヤ１が中間箱６に収納される。
そして、この状態で直流モータ12が作動すると中間箱６
外の空気がファン11で送気孔10内に導入され、送気孔10
からフィルター９を経て清浄化された後キャリヤ１底面
の開口部５から同キャリヤ１内へ送風され、同キャリヤ
１と中間箱６との隙間から外部へ放出される。従って、
このような状態で中間箱６を保管してもキャリヤ１内か
ら中間箱６外へ流れる清浄な空気流により中間箱６外の
パーティクルのキャリヤ１内への侵入及びウェハ１への
付着が防止される。この時、モータ駆動用コンセント14
に接続コネクタを嵌合して外部直流電源から直流モータ
12に電源を供給すれば、蓄電池13を放電させることなく
長時間の保管が可能となる。

一方、キャリヤ１を工程内で搬送する場合には同キャ
リヤ１を中間箱６に収納した状態で取手４を持って第５
図に示すように密閉箱17内へ縦方向に収納し、蓋18を閉
じて密閉する。すると、密閉箱17外から密閉箱17内への
パーティクルの侵入が確実に防止され、密閉箱17内では
蓄電池13を電源として直流モータ12が動作し、その直流
モータ12の動作に基いて常にウェハ３がフィルター９で
濾過された清浄な空気に晒されるので、ウェハ３へのパ
ーティクルの付着が防止される。また、キャリヤ１の保
管時にも同様に密閉箱17に収納すればパーティクルの付
着をさらに確実に防止することができる。そして、搬送
及び保管終了後には中間箱６の充電用コンセント15に交
流電源を接続すれば、蓄電池13を適宜充電することがで
きる。

［発明の効果］ 以上詳述したように、この発明はウェハの工程内での
搬送及び保管時にともに使用可能として、搬送及び保管
時におけるパーティクルの付着を防止し得るウェハ収納
器を提供することができる優れた効果を発揮する。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の原理説明図、第２図はこの発明を具
体化したキャリヤ及び中間箱の斜視図、第３図はキャリ
ヤを収納した中間箱の縦断面図、第４図は密閉箱の斜視
図、第５図は密閉箱に中間箱及びキャリヤを収納した状
態を示す縦断面図である。 図中、１はキャリヤ、３はウェハ、６は中間箱、９はフ
ィルター、11はファン、12は直流モータ、13は蓄電池、
17は密閉箱である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】複数枚のウェハ（３）を並列に保持するキ
   ャリヤ（１）と、 そのキャリヤ（１）を収納可能とするとともに、パーテ
   ィクルを濾過するフィルター（９）と、収納したキャリ
   ヤ（１）内にフィルター（９）を経た空気を送風するフ
   ァン（11）と、ファン（11）を駆動する直流モータ（1
   2）と、その直流モータ（12）の電源となる蓄電池（1
   3）とを備えた中間箱（６）と、 その中間箱（６）を収納して密閉する密閉箱（17）と、 からなるウェハ収納器。