JPH0831764B2 - 縦水晶振動子の電極構造 - Google Patents
縦水晶振動子の電極構造Info
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- JPH0831764B2 JPH0831764B2 JP63286969A JP28696988A JPH0831764B2 JP H0831764 B2 JPH0831764 B2 JP H0831764B2 JP 63286969 A JP63286969 A JP 63286969A JP 28696988 A JP28696988 A JP 28696988A JP H0831764 B2 JPH0831764 B2 JP H0831764B2
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- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 19
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 12
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- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 7
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
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Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、周波数が3MHz前後の中周波数帯をカバーす
る縦水晶振動子に関する。特に、その振動子形状と励振
電極配置に関する。
る縦水晶振動子に関する。特に、その振動子形状と励振
電極配置に関する。
本発明は、振動モレが非常に少なく、R1の小さい、小
型縦水晶振動子を提供することにある。水晶は物理的、
および化学的に大変に安定した物質であり、従って、こ
れから形成される、いわゆる水晶振動子は損失抵抗の小
さい、高いＱ値を持った振動子を得ることができる。し
かしながら、このように優れた特性が得られるのは、振
動モレの小さい振動子形状の設計がなされて初めて得ら
れるのである。本発明では振動部と支持部がエッチング
法によって一体に形成された縦水晶振動子の支持部の形
状を工夫、改善したものに対し、高次振動を誘起させこ
とにより、高次振動のエネルギーを振動部内部に閉じ込
めることができる。その結果、高い周波数であっても損
失抵抗R1の小さい、且つ、Ｑ値の高い縦水晶振動子を得
ることができる。そのために、本発明は、損失抵抗R1の
小さくなる、電界効率のよい励振電極を提供することに
ある。
型縦水晶振動子を提供することにある。水晶は物理的、
および化学的に大変に安定した物質であり、従って、こ
れから形成される、いわゆる水晶振動子は損失抵抗の小
さい、高いＱ値を持った振動子を得ることができる。し
かしながら、このように優れた特性が得られるのは、振
動モレの小さい振動子形状の設計がなされて初めて得ら
れるのである。本発明では振動部と支持部がエッチング
法によって一体に形成された縦水晶振動子の支持部の形
状を工夫、改善したものに対し、高次振動を誘起させこ
とにより、高次振動のエネルギーを振動部内部に閉じ込
めることができる。その結果、高い周波数であっても損
失抵抗R1の小さい、且つ、Ｑ値の高い縦水晶振動子を得
ることができる。そのために、本発明は、損失抵抗R1の
小さくなる、電界効率のよい励振電極を提供することに
ある。
振動部と支持部をエッチング法によって一体に形成さ
れた従来の縦水晶振動子は支持部のフレームの幅が一
様、且つ、同一方向に形成され、その端部でマウントさ
れるため、振動部のエネルギーがマウント部まで伝わ
り、振動モレの原因となっていた。そのために、損失抵
抗R1の小さい縦水晶振動子を得ることができなかった。
同時に、３次高調波振動でのR1も上記の理由により小さ
くできなかった。
れた従来の縦水晶振動子は支持部のフレームの幅が一
様、且つ、同一方向に形成され、その端部でマウントさ
れるため、振動部のエネルギーがマウント部まで伝わ
り、振動モレの原因となっていた。そのために、損失抵
抗R1の小さい縦水晶振動子を得ることができなかった。
同時に、３次高調波振動でのR1も上記の理由により小さ
くできなかった。
このために、増幅器の増巾度を高める等して対応して
きたが消費電流が多くなる等の欠点があり、ひどい時に
は、機器に配置したときに、振動モレが大きく、発振停
止するという大きな問題が生じていた。そこで、本発明
は、この振動モレの非常に小さい縦水晶振動子を提案す
るものである。即ち、振動モレの非常に小さい形状を提
供するものである。同時に、振動モレが小さく、励振効
率のよい励振電極を提供することにある。
きたが消費電流が多くなる等の欠点があり、ひどい時に
は、機器に配置したときに、振動モレが大きく、発振停
止するという大きな問題が生じていた。そこで、本発明
は、この振動モレの非常に小さい縦水晶振動子を提案す
るものである。即ち、振動モレの非常に小さい形状を提
供するものである。同時に、振動モレが小さく、励振効
率のよい励振電極を提供することにある。
第１図（ａ）、（ｂ）は本発明の縦水晶振動子の平面
を示す一実施例で、第２図は第１図の縦水晶振動子の原
理を説明するための簡略化した平面図である。第２図に
おいて、振動子１は振動部２と支持部３から成り、支持
部３は両端支持という境界条件で固定されていると考え
ることができる。又、振動部２は長さL1、幅W1、厚みＴ
で表わし、支持部３は長さL2、幅W2で表わすと、今、振
動子１の振動部２は矢印Ａで示したように、伸びの変位
をすると、振動部２の内側では矢印Ｂで示すように、支
持部３の矢印方向に変位する振動をする。即ち、３次高
調波モードで振動する。従って、このとき支持部３の屈
曲部は当然矢印Ｃで示すごとく外側に曲げのモードを発
生する。ここでは屈曲モードを起こす部分を屈曲部５で
示す。逆に、振動部２が縮めば、支持部３の屈曲部５は
外側に曲げのモードを発生する。即ち、本発明では、振
動部２の幅方向の変位を支持部３の屈曲モードに変換す
ることによって、その振動の自由度を抑圧しないように
している。そして、実際には、振動を抑圧しない寸法が
ある。この形状寸法は振動部２のひずみエネルギーによ
って決まる。すなわち、振動部２のひずみエネルギーを
U1、屈曲部のひずみエネルギーをU2とすると、U1、U2は
次式で表わされる。
を示す一実施例で、第２図は第１図の縦水晶振動子の原
理を説明するための簡略化した平面図である。第２図に
おいて、振動子１は振動部２と支持部３から成り、支持
部３は両端支持という境界条件で固定されていると考え
ることができる。又、振動部２は長さL1、幅W1、厚みＴ
で表わし、支持部３は長さL2、幅W2で表わすと、今、振
動子１の振動部２は矢印Ａで示したように、伸びの変位
をすると、振動部２の内側では矢印Ｂで示すように、支
持部３の矢印方向に変位する振動をする。即ち、３次高
調波モードで振動する。従って、このとき支持部３の屈
曲部は当然矢印Ｃで示すごとく外側に曲げのモードを発
生する。ここでは屈曲モードを起こす部分を屈曲部５で
示す。逆に、振動部２が縮めば、支持部３の屈曲部５は
外側に曲げのモードを発生する。即ち、本発明では、振
動部２の幅方向の変位を支持部３の屈曲モードに変換す
ることによって、その振動の自由度を抑圧しないように
している。そして、実際には、振動を抑圧しない寸法が
ある。この形状寸法は振動部２のひずみエネルギーによ
って決まる。すなわち、振動部２のひずみエネルギーを
U1、屈曲部のひずみエネルギーをU2とすると、U1、U2は
次式で表わされる。
但し、応力T2、ひずみS2、ヤング率Ｅ、断面２次モー
メントＩ、変位ｖ、体積V1、V2、座標ｘを示す。又、縦
水晶振動子の振動を抑圧しない関係は式（１）、（２）
より、次の関係が成り立つ。
メントＩ、変位ｖ、体積V1、V2、座標ｘを示す。又、縦
水晶振動子の振動を抑圧しない関係は式（１）、（２）
より、次の関係が成り立つ。
U1＞U2 ―（３） これより、屈曲部５の寸法L2、W2が決定される。例え
ば、本発明の３次高調波の基本発振周波数1MHzのときの
振動部の寸法は長さL1＝2.6mm、W1＝80μｍ、Ｔ＝160μ
ｍのとき、支持部の屈曲部の寸法W2／L2は0.16以下であ
れば良い。このように寸法を決めることにより、損失抵
抗の小さい、且つ、高いＱ値を持つ縦水晶振動子を得る
ことができる。次に、振動モレについて述べる。第２図
の簡略化した図から分かるように、振動部２の振動エネ
ルギーは支持部３へブリッジ部４を介して伝達する。従
って、支持部３でのエネルギー損失を小さくすれば良い
訳で、支持部３のモードは屈曲モードに変換されるか
ら、両端支持部の質量が実質的に無限に大きければ、支
持部３の屈曲部５のエネルギーはマウント部８までモレ
ないことになる。換言するならば、本発明は、振動部２
から伝わる支持部３の屈曲モードに変換する形状、即
ち、幅W2と長さL2の比W2／L2を選択することにより、振
動部の振動を自由にし、且つ、屈曲する部分と接続する
両端支持の境界条件を持つ支持部の質量を無限に大きく
することによって、本発明の目的を達成するものであ
る。
ば、本発明の３次高調波の基本発振周波数1MHzのときの
振動部の寸法は長さL1＝2.6mm、W1＝80μｍ、Ｔ＝160μ
ｍのとき、支持部の屈曲部の寸法W2／L2は0.16以下であ
れば良い。このように寸法を決めることにより、損失抵
抗の小さい、且つ、高いＱ値を持つ縦水晶振動子を得る
ことができる。次に、振動モレについて述べる。第２図
の簡略化した図から分かるように、振動部２の振動エネ
ルギーは支持部３へブリッジ部４を介して伝達する。従
って、支持部３でのエネルギー損失を小さくすれば良い
訳で、支持部３のモードは屈曲モードに変換されるか
ら、両端支持部の質量が実質的に無限に大きければ、支
持部３の屈曲部５のエネルギーはマウント部８までモレ
ないことになる。換言するならば、本発明は、振動部２
から伝わる支持部３の屈曲モードに変換する形状、即
ち、幅W2と長さL2の比W2／L2を選択することにより、振
動部の振動を自由にし、且つ、屈曲する部分と接続する
両端支持の境界条件を持つ支持部の質量を無限に大きく
することによって、本発明の目的を達成するものであ
る。
このように、本発明は振動部と支持部から構成され
る、エッチング法によって形成される縦水晶振動子の支
持部の形状寸法を改善することにより、損失抵抗の小さ
い、且つ、高いＱ値を有する縦水晶振動子を得ることが
できる。同時に、支持部の振動モードを解析することに
より、振動モレの小さい縦水晶振動子が得られる。更
に、励振電極配置を工夫、改善することにより、３次高
調波振動を容易に引き起こし、より高い周波数を得るこ
とができる。
る、エッチング法によって形成される縦水晶振動子の支
持部の形状寸法を改善することにより、損失抵抗の小さ
い、且つ、高いＱ値を有する縦水晶振動子を得ることが
できる。同時に、支持部の振動モードを解析することに
より、振動モレの小さい縦水晶振動子が得られる。更
に、励振電極配置を工夫、改善することにより、３次高
調波振動を容易に引き起こし、より高い周波数を得るこ
とができる。
次に、本発明にて得られた結果を具体的に述べる。第
１図（ａ）、（ｂ）は本発明の縦水晶振動子の一実施例
で、第１図（ａ）は正面図、第１図（ｂ）は下面図であ
る。振動子１は振動部２と支持部３からブリッジ部４を
介して構成されていて、エッチング法によって一体に形
成されている。尚、支持部３は屈曲部５、穴７、フレー
ム６とマウント部８から成っている。振動部２は外部か
らの電界駆動、即ち、励振電極９、10にて、長手方向に
伸縮運動をするが、それと同時に、その垂直方向、即
ち、ブリッジ部４の方向にも同様の振動をする。この時
に、まず、振動部２の長手方向の振動を自由に励振する
には、ブリッジ部４の方向の振動を十分に自由にするこ
とが大切で、そのために、本発明では支持部３の屈曲部
５が十分に自由に振動できるように、穴７が設けられて
いる。又、屈曲部５の長さＬと幅Ｗ（図示されてない）
の比によって、例えば、周波数が約3MHzの場合、辺比W/
Lが0.16以下であれば、長手方向の振動の抑圧を十分に
小さくすることができる。次に、振動モレについては、
振動子１は振動部２からブリッジ部４を介して屈曲部５
へと一体にエッチング法によって形成され、屈曲部５の
振動を十分に自由にさせるために、穴７が設けられてい
る。更に、穴７の両端部はフレーム６に接続され、マウ
ント部８まで延びている。それ故、振動部２のブリッジ
部４の方向の振動は屈曲モードに変換され、且つ、穴７
の両端部を介してフレーム６に接続、マウント部まで延
びているので、マウント部８で固定しても、全く振動モ
レのない縦水晶振動子が得られる。次に、本発明の特徴
とする３次高調波の励振方法について述べる。第２図に
示すごとく、３次高調波振動は外側に伸びる変位と内側
に縮む変位で示される。それ故、矢印Ａ、Ｂで示すよう
な変位が生じるように励振電極を配置すれば良い。この
ことから、第１図（ａ）、（ｂ）で示すごとく、励振電
極９、10が異電極に、且つ、振動２で３分割され、隣接
する電極は異極性の電圧が印加されるように構成すれば
よい。これにより、３次高調波振動を容易に引き起こす
ことができる。又、３分割された同極の電極を接続する
接続電極13、14は、それぞれ同一平面に設けられてい
る。更に、振動部２に配置された励振電極９、10は、ブ
リッジ部を介して屈曲部からフレームを通ってマウント
部まで延在し、ブリッジ部４からフレーム６への電極は
表面の全面に配置されている。
１図（ａ）、（ｂ）は本発明の縦水晶振動子の一実施例
で、第１図（ａ）は正面図、第１図（ｂ）は下面図であ
る。振動子１は振動部２と支持部３からブリッジ部４を
介して構成されていて、エッチング法によって一体に形
成されている。尚、支持部３は屈曲部５、穴７、フレー
ム６とマウント部８から成っている。振動部２は外部か
らの電界駆動、即ち、励振電極９、10にて、長手方向に
伸縮運動をするが、それと同時に、その垂直方向、即
ち、ブリッジ部４の方向にも同様の振動をする。この時
に、まず、振動部２の長手方向の振動を自由に励振する
には、ブリッジ部４の方向の振動を十分に自由にするこ
とが大切で、そのために、本発明では支持部３の屈曲部
５が十分に自由に振動できるように、穴７が設けられて
いる。又、屈曲部５の長さＬと幅Ｗ（図示されてない）
の比によって、例えば、周波数が約3MHzの場合、辺比W/
Lが0.16以下であれば、長手方向の振動の抑圧を十分に
小さくすることができる。次に、振動モレについては、
振動子１は振動部２からブリッジ部４を介して屈曲部５
へと一体にエッチング法によって形成され、屈曲部５の
振動を十分に自由にさせるために、穴７が設けられてい
る。更に、穴７の両端部はフレーム６に接続され、マウ
ント部８まで延びている。それ故、振動部２のブリッジ
部４の方向の振動は屈曲モードに変換され、且つ、穴７
の両端部を介してフレーム６に接続、マウント部まで延
びているので、マウント部８で固定しても、全く振動モ
レのない縦水晶振動子が得られる。次に、本発明の特徴
とする３次高調波の励振方法について述べる。第２図に
示すごとく、３次高調波振動は外側に伸びる変位と内側
に縮む変位で示される。それ故、矢印Ａ、Ｂで示すよう
な変位が生じるように励振電極を配置すれば良い。この
ことから、第１図（ａ）、（ｂ）で示すごとく、励振電
極９、10が異電極に、且つ、振動２で３分割され、隣接
する電極は異極性の電圧が印加されるように構成すれば
よい。これにより、３次高調波振動を容易に引き起こす
ことができる。又、３分割された同極の電極を接続する
接続電極13、14は、それぞれ同一平面に設けられてい
る。更に、振動部２に配置された励振電極９、10は、ブ
リッジ部を介して屈曲部からフレームを通ってマウント
部まで延在し、ブリッジ部４からフレーム６への電極は
表面の全面に配置されている。
以上述べたように、本発明は振動部と支持部をエッチ
ング法によって一体に形成する縦水晶振動子に於いて、
新しい形状の縦水晶振動子と３次高調波振動を容易に励
振する電極配置を提案することにより、次の著しい効果
を有する。
ング法によって一体に形成する縦水晶振動子に於いて、
新しい形状の縦水晶振動子と３次高調波振動を容易に励
振する電極配置を提案することにより、次の著しい効果
を有する。
支持部の形状寸法を改善することにより、振動を自
由にさせることができるので、損失抵抗が小さくなる。
由にさせることができるので、損失抵抗が小さくなる。
屈曲部とフレームの間に穴を設けているので、振動
部の振動を自由にさせることができると同時に、屈曲部
のエネルギーはフレームに伝わらないので、振動モレが
なくなり、マウント部で固定しても、R1の小さい振動子
が得られる。
部の振動を自由にさせることができると同時に、屈曲部
のエネルギーはフレームに伝わらないので、振動モレが
なくなり、マウント部で固定しても、R1の小さい振動子
が得られる。
振動部に３分割された、且つ、隣接する電極は異る
極性の電圧が印加されるように構成されているので、３
次高調波振動を容易に誘起させ、より高い周波数を得る
ことができる。
極性の電圧が印加されるように構成されているので、３
次高調波振動を容易に誘起させ、より高い周波数を得る
ことができる。
片側でマウントするので、製造が容易、且つ、小型
化ができる。
化ができる。
第１図（ａ）、（ｂ）は本発明の縦水晶振動子形状寸法
と電極配置を示す一実施例である。第１図（ａ）は正面
図、第１図（ｂ）は下面図である。 第２図は本発明の縦水晶振動子の原理を説明するための
簡略化した平面図である。 １……振動子 ２……振動部 ３……支持部 ４……ブリッジ部 ５……屈曲部 ６……フレーム ７……穴 ８……マウント部 ９、10……励振電極 11、12……電極 Ｌ、L2……屈曲部の長さ Ｗ、W2……屈曲部の幅 L1……振動部の長さ W1……振動部の幅 Ｔ……厚み
と電極配置を示す一実施例である。第１図（ａ）は正面
図、第１図（ｂ）は下面図である。 第２図は本発明の縦水晶振動子の原理を説明するための
簡略化した平面図である。 １……振動子 ２……振動部 ３……支持部 ４……ブリッジ部 ５……屈曲部 ６……フレーム ７……穴 ８……マウント部 ９、10……励振電極 11、12……電極 Ｌ、L2……屈曲部の長さ Ｗ、W2……屈曲部の幅 L1……振動部の長さ W1……振動部の幅 Ｔ……厚み
Claims (1)
- 【請求項１】振動部と支持部をエッチング法によって一
体に形成され、振動部は一対のブリッジ部を介して各々
の屈曲部に接続され、更に、各屈曲部は穴の両端を介し
て各フレームの一方の端部に接続され、該各フレームの
他方の端部は同一のマウント部まで延びている縦水晶振
動子において、前記振動部に設けられた励振電極は３分
割され、隣接する電極は異極性の電圧が印加されるよう
に構成され、前記３分割の同極を接続する接続電極は振
動部の同一平面に設けられ、励振電極は一対のブリッジ
部を介して屈曲部からフレームを通って前記同一のマウ
ント部まで延在し、ブリッジ部からフレームへの電極は
表面の全面に配置されていること特徴とする縦水晶振動
子の電極構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63286969A JPH0831764B2 (ja) | 1988-11-14 | 1988-11-14 | 縦水晶振動子の電極構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63286969A JPH0831764B2 (ja) | 1988-11-14 | 1988-11-14 | 縦水晶振動子の電極構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02132914A JPH02132914A (ja) | 1990-05-22 |
| JPH0831764B2 true JPH0831764B2 (ja) | 1996-03-27 |
Family
ID=17711302
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63286969A Expired - Lifetime JPH0831764B2 (ja) | 1988-11-14 | 1988-11-14 | 縦水晶振動子の電極構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0831764B2 (ja) |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CH641632B (fr) * | 1981-01-15 | Asulab Sa | Micro-resonateur piezo-electrique. | |
| DE3379623D1 (en) * | 1982-06-04 | 1989-05-18 | Statek Corp | Extensional mode piezoelectric microresonator |
| JPH0622311B2 (ja) * | 1986-02-21 | 1994-03-23 | セイコ−電子部品株式会社 | 輪郭すべり水晶振動子 |
| JPH0622310B2 (ja) * | 1986-02-21 | 1994-03-23 | セイコ−電子部品株式会社 | 輪郭すべり水晶振動子 |
| JPS63260311A (ja) * | 1987-04-17 | 1988-10-27 | Seiko Electronic Components Ltd | 縦水晶振動子 |
-
1988
- 1988-11-14 JP JP63286969A patent/JPH0831764B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02132914A (ja) | 1990-05-22 |
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