JPH08318464A - 研削残量検出方法およびその装置 - Google Patents
研削残量検出方法およびその装置Info
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- JPH08318464A JPH08318464A JP7123632A JP12363295A JPH08318464A JP H08318464 A JPH08318464 A JP H08318464A JP 7123632 A JP7123632 A JP 7123632A JP 12363295 A JP12363295 A JP 12363295A JP H08318464 A JPH08318464 A JP H08318464A
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- grinding
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B49/00—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Program-control systems
- G05B19/02—Program-control systems electric
- G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of program data in numerical form
- G05B19/401—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of program data in numerical form characterised by control arrangements for measuring, e.g. calibration and initialisation, measuring workpiece for machining purposes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B49/00—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
- B24B49/14—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation taking regard of the temperature during grinding
-
- G—PHYSICS
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- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
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- G05B2219/37573—In-cycle, insitu, during machining workpiece is measured continuously
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- G—PHYSICS
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- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
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- G05B2219/30—Nc systems
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- Automation & Control Theory (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 機械の熱変形や砥石車の磨耗に関係なく、研
削残量（たわみ量）を高精度に検出できる研削残量検出
方法とその装置の提供。 【構成】 工作物がたわむ方向と直交する方向から工作
物の外周に接触して工作物径の変化に応じて変位する一
対の第１フィーラおよび第２フィーラと、前記第１フィ
ーラおよび第２フィーラの相対変位を検出する第１変位
検出器と、工作物がたわむ方向から工作物の外周に接触
し、工作物の径の変化およびたわみ量の変化に応じて変
位する第３フィーラと、前記第３フィーラの変位を検出
する第２変位検出器と、前記第１変位検出器および前記
第２変位検出器にて検出された各変位の値に基づいて研
削残量を算出する算出手段とからなる研削残量検出装
置。
削残量（たわみ量）を高精度に検出できる研削残量検出
方法とその装置の提供。 【構成】 工作物がたわむ方向と直交する方向から工作
物の外周に接触して工作物径の変化に応じて変位する一
対の第１フィーラおよび第２フィーラと、前記第１フィ
ーラおよび第２フィーラの相対変位を検出する第１変位
検出器と、工作物がたわむ方向から工作物の外周に接触
し、工作物の径の変化およびたわみ量の変化に応じて変
位する第３フィーラと、前記第３フィーラの変位を検出
する第２変位検出器と、前記第１変位検出器および前記
第２変位検出器にて検出された各変位の値に基づいて研
削残量を算出する算出手段とからなる研削残量検出装
置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は研削抵抗によって生じる
工作物のたわみ量である研削残量を検出する研削残量検
出方法およびその装置に関する。
工作物のたわみ量である研削残量を検出する研削残量検
出方法およびその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】円筒研削盤等の研削装置により、図７に
示すように、主軸台と心押台のセンタ１５ａ，１６ａに
より支持された工作物Ｗに対し回転する砥石１９を有す
る砥石台を切り込む研削加工（プランジ研削）や適応制
御を用いた研削加工等においては、研削抵抗によって発
生する工作物のたわみ量である研削残量を検出し、この
研削残量を各種制御に使用することが行われている。
示すように、主軸台と心押台のセンタ１５ａ，１６ａに
より支持された工作物Ｗに対し回転する砥石１９を有す
る砥石台を切り込む研削加工（プランジ研削）や適応制
御を用いた研削加工等においては、研削抵抗によって発
生する工作物のたわみ量である研削残量を検出し、この
研削残量を各種制御に使用することが行われている。
【０００３】例えば、特願平７−１７６５４号公報に開
示される研削装置のように、荒研削、後退研削および仕
上げ研削の３つの研削サイクルにより研削加工を行う研
削装置においては、研削残量や工作物径の変化率を常時
算出し、これらの値に基づき後退研削の開始時期を決定
することが行われている。この研削装置では研削残量は
砥石台送り軸のエンコーダ出力から得られる砥石位置と
定寸装置から得られる工作物径の差として検出されてい
る。
示される研削装置のように、荒研削、後退研削および仕
上げ研削の３つの研削サイクルにより研削加工を行う研
削装置においては、研削残量や工作物径の変化率を常時
算出し、これらの値に基づき後退研削の開始時期を決定
することが行われている。この研削装置では研削残量は
砥石台送り軸のエンコーダ出力から得られる砥石位置と
定寸装置から得られる工作物径の差として検出されてい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記特願平
７−１７６５４号の研削装置では、前記研削残量や工作
物径の変化率等を高精度に検出することが、適切な時期
に後退研削を開始させる必要条件となる。ところが、工
作物の外周に接触している砥石車の先端位置を砥石台の
位置から算出し、この値を定寸装置によって測定される
工作物の外径の値から減算することにより研削残量を求
める従来の研削装置の場合、エンコーダによって検出さ
れる砥石台の先端位置（砥石車の位置）は機械の熱変形
や砥石車の磨耗等により誤差を生じやすく、高精度に研
削残量を検出できない。このため、後退研削の開始時期
が適切に決定できずに研削加工サイクルタイムの遅延や
工作物の品質の低下を生じるといった問題があった。そ
のうえ、上述した従来の研削装置により研削残量を検出
する場合には、砥石車の先端位置の誤差を較正する必要
があるため、砥石車を微少量だけ工作物に切り込ませ、
十分にスパークアウトを行うことで工作物のたわみを除
去し、この時の工作物径と砥石車の先端位置を一致させ
るといった較正作業を頻繁に行わなければならず生産性
を著しく低下するといった問題もあった。
７−１７６５４号の研削装置では、前記研削残量や工作
物径の変化率等を高精度に検出することが、適切な時期
に後退研削を開始させる必要条件となる。ところが、工
作物の外周に接触している砥石車の先端位置を砥石台の
位置から算出し、この値を定寸装置によって測定される
工作物の外径の値から減算することにより研削残量を求
める従来の研削装置の場合、エンコーダによって検出さ
れる砥石台の先端位置（砥石車の位置）は機械の熱変形
や砥石車の磨耗等により誤差を生じやすく、高精度に研
削残量を検出できない。このため、後退研削の開始時期
が適切に決定できずに研削加工サイクルタイムの遅延や
工作物の品質の低下を生じるといった問題があった。そ
のうえ、上述した従来の研削装置により研削残量を検出
する場合には、砥石車の先端位置の誤差を較正する必要
があるため、砥石車を微少量だけ工作物に切り込ませ、
十分にスパークアウトを行うことで工作物のたわみを除
去し、この時の工作物径と砥石車の先端位置を一致させ
るといった較正作業を頻繁に行わなければならず生産性
を著しく低下するといった問題もあった。
【０００５】したがって、本発明の目的とするところ
は、機械の熱変形や砥石車の磨耗に関係なく、研削残量
（たわみ量）を高精度に検出できる研削残量検出方法と
その装置の提供である。
は、機械の熱変形や砥石車の磨耗に関係なく、研削残量
（たわみ量）を高精度に検出できる研削残量検出方法と
その装置の提供である。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上述した問題点を解決す
るための請求項１に記載の手段は、研削加工中に工作物
と砥石車との研削抵抗により発生する研削残量を検出す
る研削残量検出方法において、工作物がたわむ方向と直
交する方向から工作物の外径を測定し、工作物がたわむ
方向から工作物の外周位置を測定し、前記測定した工作
物の外周位置と前記測定した工作物の外径に基づいて研
削残量を求めることからなる。
るための請求項１に記載の手段は、研削加工中に工作物
と砥石車との研削抵抗により発生する研削残量を検出す
る研削残量検出方法において、工作物がたわむ方向と直
交する方向から工作物の外径を測定し、工作物がたわむ
方向から工作物の外周位置を測定し、前記測定した工作
物の外周位置と前記測定した工作物の外径に基づいて研
削残量を求めることからなる。
【０００７】また、請求項２に記載の手段は、研削加工
中に工作物と砥石車との研削抵抗により発生する研削残
量を検出する研削残量検出装置において、工作物がたわ
む方向と直交する両方向から工作物の外周に接触して工
作物径の変化に応じて変位する一対の第１フィーラおよ
び第２フィーラと、前記第１フィーラおよび第２フィー
ラの相対変位を検出する第１変位検出器と、工作物がた
わむ方向から工作物の外周に接触し、工作物の径の変化
およびたわみ量の変化に応じて変位する第３フィーラ
と、前記第３フィーラの変位を検出する第２変位検出器
と、前記第１変位検出器および前記第２変位検出器にて
検出された各変位の値に基づいて研削残量を算出する算
出手段とから構成される。
中に工作物と砥石車との研削抵抗により発生する研削残
量を検出する研削残量検出装置において、工作物がたわ
む方向と直交する両方向から工作物の外周に接触して工
作物径の変化に応じて変位する一対の第１フィーラおよ
び第２フィーラと、前記第１フィーラおよび第２フィー
ラの相対変位を検出する第１変位検出器と、工作物がた
わむ方向から工作物の外周に接触し、工作物の径の変化
およびたわみ量の変化に応じて変位する第３フィーラ
と、前記第３フィーラの変位を検出する第２変位検出器
と、前記第１変位検出器および前記第２変位検出器にて
検出された各変位の値に基づいて研削残量を算出する算
出手段とから構成される。
【０００８】
【作用】請求項１に記載の発明の作用は、工作物がたわ
む方向と直交する方向から工作物の外径を測定すること
でたわみ量が影響しない工作物の外径が測定される。こ
れと同時に、工作物がたわむ方向から工作物の外周位置
を測定することで工作物の径の変化にたわみ量が付加さ
れた工作物の外周位置が測定される。そして、この測定
された工作物の外周位置と工作物の外径に基づいてたわ
み量である研削残量が算出される。
む方向と直交する方向から工作物の外径を測定すること
でたわみ量が影響しない工作物の外径が測定される。こ
れと同時に、工作物がたわむ方向から工作物の外周位置
を測定することで工作物の径の変化にたわみ量が付加さ
れた工作物の外周位置が測定される。そして、この測定
された工作物の外周位置と工作物の外径に基づいてたわ
み量である研削残量が算出される。
【０００９】請求項２に記載の発明の作用は、工作物の
たわむ方向と直交する方向から工作物の外周に接触する
第１フィーラおよび第２フィーラの相対変位が工作物の
外径として第１変位検出器により検出される。これと同
時に、工作物のたわむ方向から工作物の外周に接触する
第３フィーラの変位が工作物の径の変化にたわみ量が付
加された工作物の外周位置として第２変位検出器により
検出される。そして、この第１変位検出器によって検出
された工作物の外径と、第２変位検出器によって検出さ
れた工作物の外周位置に基づき算出手段により研削残量
が算出される。
たわむ方向と直交する方向から工作物の外周に接触する
第１フィーラおよび第２フィーラの相対変位が工作物の
外径として第１変位検出器により検出される。これと同
時に、工作物のたわむ方向から工作物の外周に接触する
第３フィーラの変位が工作物の径の変化にたわみ量が付
加された工作物の外周位置として第２変位検出器により
検出される。そして、この第１変位検出器によって検出
された工作物の外径と、第２変位検出器によって検出さ
れた工作物の外周位置に基づき算出手段により研削残量
が算出される。
【００１０】
【実施例】以下に図面に基づき本発明の実施例を説明を
する。図１は本発明の実施例である研削装置の全体構成
図である。研削盤１０のベッド１１上に左右方向（Ｚ方
向）移動可能に案内支持された工作物テーブル１２上に
は、主軸１５を軸承する主軸台１４と心押台１６が左右
方向に対向して設けられ、工作物Ｗは主軸１５と心押台
１６に設けたセンタ１５ａ，１６ａにより両端が支持さ
れている。主軸１５は主軸台１４に設けたモータ１８に
より回転駆動され、工作物Ｗは左端部が主軸１５から突
設された回止め部材１７に係合されて主軸１５と共に回
転される。
する。図１は本発明の実施例である研削装置の全体構成
図である。研削盤１０のベッド１１上に左右方向（Ｚ方
向）移動可能に案内支持された工作物テーブル１２上に
は、主軸１５を軸承する主軸台１４と心押台１６が左右
方向に対向して設けられ、工作物Ｗは主軸１５と心押台
１６に設けたセンタ１５ａ，１６ａにより両端が支持さ
れている。主軸１５は主軸台１４に設けたモータ１８に
より回転駆動され、工作物Ｗは左端部が主軸１５から突
設された回止め部材１７に係合されて主軸１５と共に回
転される。
【００１１】また、ベッド１１上には、Ｚ方向と直交す
る水平なＸ方向に移動可能に砥石台１３が案内支持さ
れ、この砥石台１３にはＣＢＮ砥石等の砥石車１９が主
軸１５と平行な砥石軸２０により軸承され、Ｖベルト回
転伝達機構２１を介してモータ２２により回転駆動され
る。ベッド１１に設けたサーボモータ２３およびサーボ
モータ２６は、数値制御装置３０の指令信号に基づいて
作動するデジタルサーボユニット４１およびデジタルサ
ーボユニット４２によりそれぞれ制御駆動され、図略の
送りねじ装置を介して砥石台１３にＸ方向の送りを、ま
た、工作物テーブル１２にＺ軸方向の送りをそれぞれ与
えるものである。エンコーダ等の位置検出器２５，２７
はサーボモータ２３，２６の回転角度を介して砥石台１
３および工作物テーブル１２の移動位置をそれぞれ検出
し、この検出値はデジタルサーボユニット４１，４２に
それぞれ入力されてフィードバック制御されると共に、
図略のアンプを介して数値制御装置３０に入力されるよ
うになっている。
る水平なＸ方向に移動可能に砥石台１３が案内支持さ
れ、この砥石台１３にはＣＢＮ砥石等の砥石車１９が主
軸１５と平行な砥石軸２０により軸承され、Ｖベルト回
転伝達機構２１を介してモータ２２により回転駆動され
る。ベッド１１に設けたサーボモータ２３およびサーボ
モータ２６は、数値制御装置３０の指令信号に基づいて
作動するデジタルサーボユニット４１およびデジタルサ
ーボユニット４２によりそれぞれ制御駆動され、図略の
送りねじ装置を介して砥石台１３にＸ方向の送りを、ま
た、工作物テーブル１２にＺ軸方向の送りをそれぞれ与
えるものである。エンコーダ等の位置検出器２５，２７
はサーボモータ２３，２６の回転角度を介して砥石台１
３および工作物テーブル１２の移動位置をそれぞれ検出
し、この検出値はデジタルサーボユニット４１，４２に
それぞれ入力されてフィードバック制御されると共に、
図略のアンプを介して数値制御装置３０に入力されるよ
うになっている。
【００１２】さらに、ベッド１１上の砥石車１９と対向
する位置には、工作物Ｗの外径および工作物Ｗがたわむ
方向の工作物Ｗの外周位置を測定するための測定ヘッド
５０が配置され、後述する測定ヘッド５０の３本のフィ
ーラ５５ａ，５５ｂ，５６が工作物Ｗを挟持している。
この測定ヘッド５０は、ヘッド送り装置２８により、加
工時に工作物Ｗに向かって所定位置まで前進させられる
と共に、工作物Ｗの交換等の際には、工作物Ｗから離れ
る方向に後退させられるようになっている。なお、ヘッ
ド送り装置２８の駆動は数値制御装置３０からの指令信
号によって行われる。
する位置には、工作物Ｗの外径および工作物Ｗがたわむ
方向の工作物Ｗの外周位置を測定するための測定ヘッド
５０が配置され、後述する測定ヘッド５０の３本のフィ
ーラ５５ａ，５５ｂ，５６が工作物Ｗを挟持している。
この測定ヘッド５０は、ヘッド送り装置２８により、加
工時に工作物Ｗに向かって所定位置まで前進させられる
と共に、工作物Ｗの交換等の際には、工作物Ｗから離れ
る方向に後退させられるようになっている。なお、ヘッ
ド送り装置２８の駆動は数値制御装置３０からの指令信
号によって行われる。
【００１３】測定ヘッド５０について、図２に基づき詳
細に説明する。この測定ヘッド５０は本体５１と、砥石
台１３の送り方向（Ｘ方向）と直交するＹ方向から工作
物Ｗの外径を測定する第１測定部５０ａと、工作物Ｗの
回転軸線Ｏに対して研削点と反対側の点の工作物Ｗの外
周位置を測定する第２測定部５０ｂとから主に構成され
る。
細に説明する。この測定ヘッド５０は本体５１と、砥石
台１３の送り方向（Ｘ方向）と直交するＹ方向から工作
物Ｗの外径を測定する第１測定部５０ａと、工作物Ｗの
回転軸線Ｏに対して研削点と反対側の点の工作物Ｗの外
周位置を測定する第２測定部５０ｂとから主に構成され
る。
【００１４】本体５１は先端を開口した箱状の部材であ
り、内部には柱状の取付部材５２が固定されている。こ
の本体５１は後端に固定されたパイロットバー６９によ
り前記ヘッド送り装置２８に連結され、ベッド１１に対
して砥石台１３の送り方向（Ｘ方向）に進退移動可能に
支持されている。第１測定部５０ａは、それぞれ一対の
第１、第２アーム５３ａ，５３ｂと、第１、第２フィー
ラ５５ａ，５５ｂと、第１、第２コイル６１ａ，６１ｂ
と、鉄心６２ａ，６２ｂとから主に構成される。
り、内部には柱状の取付部材５２が固定されている。こ
の本体５１は後端に固定されたパイロットバー６９によ
り前記ヘッド送り装置２８に連結され、ベッド１１に対
して砥石台１３の送り方向（Ｘ方向）に進退移動可能に
支持されている。第１測定部５０ａは、それぞれ一対の
第１、第２アーム５３ａ，５３ｂと、第１、第２フィー
ラ５５ａ，５５ｂと、第１、第２コイル６１ａ，６１ｂ
と、鉄心６２ａ，６２ｂとから主に構成される。
【００１５】第１アーム５３ａは本体５１と取付部材５
２との間の上部空間に枢支ピン５７ａを支点にして揺動
可能に支持され、第２アーム５３ｂは本体５１と取付部
材５２との間の下部空間に枢支ピン５７ｂを支点にして
揺動可能に支持されている。第１アーム５３ａおよび第
２アーム５３ｂの先端には工作物Ｗの外周上下にそれぞ
れ接触する第１フィーラ５５ａおよび第２フィーラ５５
ｂが着脱可能に取り付けられている。各第１アーム５３
ａおよび第２アーム５３ｂは、取付部材５２との間に配
置されたスプリング５８ａ，５８ｂのばね力により互い
に先端が閉止する方向に付勢され、その付勢は取付部材
５２に固定されたボルト５９ａ，５９ｂにより規制され
るようになっている。なお、本体５１に取り付けられた
６８ａ，６８ｂはそれぞれシリンダからなるリトラクト
装置であり、第１、第２アーム５３ａ，５３ｂをスプリ
ング５８ａ，５８ｂのばね力に抗して開放させるように
なっている。
２との間の上部空間に枢支ピン５７ａを支点にして揺動
可能に支持され、第２アーム５３ｂは本体５１と取付部
材５２との間の下部空間に枢支ピン５７ｂを支点にして
揺動可能に支持されている。第１アーム５３ａおよび第
２アーム５３ｂの先端には工作物Ｗの外周上下にそれぞ
れ接触する第１フィーラ５５ａおよび第２フィーラ５５
ｂが着脱可能に取り付けられている。各第１アーム５３
ａおよび第２アーム５３ｂは、取付部材５２との間に配
置されたスプリング５８ａ，５８ｂのばね力により互い
に先端が閉止する方向に付勢され、その付勢は取付部材
５２に固定されたボルト５９ａ，５９ｂにより規制され
るようになっている。なお、本体５１に取り付けられた
６８ａ，６８ｂはそれぞれシリンダからなるリトラクト
装置であり、第１、第２アーム５３ａ，５３ｂをスプリ
ング５８ａ，５８ｂのばね力に抗して開放させるように
なっている。
【００１６】さらに、第１アーム５３ａおよび第２アー
ム５３ｂの後端には鉄心６２ａ，６２ｂが連結されてい
る。また、本体５１に固定された取付部材５２の後方に
は取付孔５２ａ設けられており、この取付孔５２ａに第
１コイル６１ａおよび第２コイル６１ｂが前記鉄心６２
ａおよび鉄心６２ｂを嵌挿可能に取り付けられている。
この第１コイル６１ａおよび第２コイル６１ｂは互いに
連結されており、鉄心６２ａと第１コイル６１ａ並びに
鉄心６２ｂと第２コイル６１ｂにてそれぞれ構成される
作動トランスにより、第１フィーラ５３ａおよび第２フ
ィーラ５３ｂの相対変位を検出するようになっている。
なお、この鉄心６２ａと第１コイル６１ａ並びに鉄心６
２ｂと第２コイル６１ｂによって第１変位検出器６０が
構成されている。そして、この第１変位検出器６０によ
り測定された第１フィーラ５５ａおよび第２フィーラ５
５ｂの相対変位はＹ軸方向における工作物Ｗの外径とし
て測定され、これに対応した測定信号（アナログ信号）
が後述する測定装置８０へ送られるようになっている。
ム５３ｂの後端には鉄心６２ａ，６２ｂが連結されてい
る。また、本体５１に固定された取付部材５２の後方に
は取付孔５２ａ設けられており、この取付孔５２ａに第
１コイル６１ａおよび第２コイル６１ｂが前記鉄心６２
ａおよび鉄心６２ｂを嵌挿可能に取り付けられている。
この第１コイル６１ａおよび第２コイル６１ｂは互いに
連結されており、鉄心６２ａと第１コイル６１ａ並びに
鉄心６２ｂと第２コイル６１ｂにてそれぞれ構成される
作動トランスにより、第１フィーラ５３ａおよび第２フ
ィーラ５３ｂの相対変位を検出するようになっている。
なお、この鉄心６２ａと第１コイル６１ａ並びに鉄心６
２ｂと第２コイル６１ｂによって第１変位検出器６０が
構成されている。そして、この第１変位検出器６０によ
り測定された第１フィーラ５５ａおよび第２フィーラ５
５ｂの相対変位はＹ軸方向における工作物Ｗの外径とし
て測定され、これに対応した測定信号（アナログ信号）
が後述する測定装置８０へ送られるようになっている。
【００１７】第２測定部５０ｂは、第３アーム５４と、
第３フィーラ５６と、鉄心６６と、第３コイル６７から
主に構成される。第３アーム５４は長手方向にスプライ
ン溝を形成した棒状の部材であり、取付部材５２のＹ軸
方向に設けられた取付孔５２ｂに固定されたスプライン
ナット６４と係合してボールスプラインを形成し、Ｙ軸
方向に進退可能に支持されている。第３アーム５４の先
端には工作物Ｗの回転軸線Ｏに対して研削点と反対側の
点と接触する第３フィーラ５６が着脱可能に取り付けら
れている。また、第３アーム５４は後方にフランジ部５
４ａが形成されており、このフランジ部５４ａと取付孔
５２ｂの段部５２ｄとの間に配置されたスプリング６５
のばね力により工作物Ｗの方向に付勢されている。この
付勢はフランジ部５４ａと取付孔５２ｂの係止部５２ｃ
とが当接することにより規制され、第３アーム５４は所
定の位置より前進できないようになっている。
第３フィーラ５６と、鉄心６６と、第３コイル６７から
主に構成される。第３アーム５４は長手方向にスプライ
ン溝を形成した棒状の部材であり、取付部材５２のＹ軸
方向に設けられた取付孔５２ｂに固定されたスプライン
ナット６４と係合してボールスプラインを形成し、Ｙ軸
方向に進退可能に支持されている。第３アーム５４の先
端には工作物Ｗの回転軸線Ｏに対して研削点と反対側の
点と接触する第３フィーラ５６が着脱可能に取り付けら
れている。また、第３アーム５４は後方にフランジ部５
４ａが形成されており、このフランジ部５４ａと取付孔
５２ｂの段部５２ｄとの間に配置されたスプリング６５
のばね力により工作物Ｗの方向に付勢されている。この
付勢はフランジ部５４ａと取付孔５２ｂの係止部５２ｃ
とが当接することにより規制され、第３アーム５４は所
定の位置より前進できないようになっている。
【００１８】さらに、第３アーム５４の後端には鉄心６
６が連結されており、取付孔５２ｂの後端に設けられた
第３コイル６７に嵌挿可能になっている。この鉄心６６
と第３コイル６７が作動トランスを構成し、第３フィー
ラ５６の変位量を検出する第２変位検出器６３を構成し
ている。そして、この第２変位検出器６３により測定さ
れた第３フィーラ５６の変位量はＸ軸方向における工作
物Ｗの径変化にたわみ量をが付加された工作物Ｗの外周
位置として測定され、これに対応した測定信号（アナロ
グ信号）が後述する測定装置８０へ送られるようになっ
ている。
６が連結されており、取付孔５２ｂの後端に設けられた
第３コイル６７に嵌挿可能になっている。この鉄心６６
と第３コイル６７が作動トランスを構成し、第３フィー
ラ５６の変位量を検出する第２変位検出器６３を構成し
ている。そして、この第２変位検出器６３により測定さ
れた第３フィーラ５６の変位量はＸ軸方向における工作
物Ｗの径変化にたわみ量をが付加された工作物Ｗの外周
位置として測定され、これに対応した測定信号（アナロ
グ信号）が後述する測定装置８０へ送られるようになっ
ている。
【００１９】測定装置８０は図３に示すように、測定ヘ
ッド５０の第１、第２変位検出器６０，６３から入力さ
れた交流の測定信号をそれぞれ増幅する増幅回路８４
ａ，８４ｂと、増幅回路８４ａ，８４ｂで増幅された測
定信号を直流に整流する整流回路８５ａ，８５ｂと、整
流回路８５ａ，８５ｂで整流された測定信号をデジタル
信号に変換するＡ／Ｄ変換器８６ａ，８６ｂと、デジタ
ル信号に変換された測定信号を基に工作物の外径と研削
残量を算出するＣＰＵ８１と、この工作物の外径および
研削残量を算出する算出プログラムを記憶したメモリ８
２と、入出力を行うインタフェース８３ａ，８３ｂとか
ら構成される。インタフェース８３ａは前記Ａ／Ｄ変換
器８６ａ，８６ｂにてデジタル信号に変換された測定信
号をそれぞれＣＰＵ８１に入力し、インタフェース８３
ｂは数値制御装置３０からの指令信号の入力とＣＰＵ８
１にて算出された工作物の外径および研削残量を数値制
御装置３０に出力するようになっている。また、メモリ
８２には後述する図４に示したフローチャートの研削残
量算出プログラムが記憶されている。８９ａ，８９ｂは
各コイル６１ａ，６１ｂ，６７に交流を与える電源であ
る。なお、ＣＰＵ８１およびメモリ８２が特許請求の範
囲における算出手段を構成している。 数値制御装置３
０は、図１に示すように、研削装置全体を制御し管理す
る中央処理装置（ＣＰＵ）３１、メモリ３２および外部
とのデータの授受を行うインタフェース３３から構成さ
れている。
ッド５０の第１、第２変位検出器６０，６３から入力さ
れた交流の測定信号をそれぞれ増幅する増幅回路８４
ａ，８４ｂと、増幅回路８４ａ，８４ｂで増幅された測
定信号を直流に整流する整流回路８５ａ，８５ｂと、整
流回路８５ａ，８５ｂで整流された測定信号をデジタル
信号に変換するＡ／Ｄ変換器８６ａ，８６ｂと、デジタ
ル信号に変換された測定信号を基に工作物の外径と研削
残量を算出するＣＰＵ８１と、この工作物の外径および
研削残量を算出する算出プログラムを記憶したメモリ８
２と、入出力を行うインタフェース８３ａ，８３ｂとか
ら構成される。インタフェース８３ａは前記Ａ／Ｄ変換
器８６ａ，８６ｂにてデジタル信号に変換された測定信
号をそれぞれＣＰＵ８１に入力し、インタフェース８３
ｂは数値制御装置３０からの指令信号の入力とＣＰＵ８
１にて算出された工作物の外径および研削残量を数値制
御装置３０に出力するようになっている。また、メモリ
８２には後述する図４に示したフローチャートの研削残
量算出プログラムが記憶されている。８９ａ，８９ｂは
各コイル６１ａ，６１ｂ，６７に交流を与える電源であ
る。なお、ＣＰＵ８１およびメモリ８２が特許請求の範
囲における算出手段を構成している。 数値制御装置３
０は、図１に示すように、研削装置全体を制御し管理す
る中央処理装置（ＣＰＵ）３１、メモリ３２および外部
とのデータの授受を行うインタフェース３３から構成さ
れている。
【００２０】インタフェース３３には上述したデジタル
サーボユニット４１，４２および位置検出器２５，２７
が接続されており、デジタルサーボユニット４１，４２
に指令信号を出力することにより砥石台１３および工作
物テーブル１２をそれぞれ駆動し、その時の砥石台１３
および工作物テーブル１２の位置がそれぞれ入力され
る。また、インタフェース３３には、上述した測定装置
８０が接続され、算出された工作物の外径寸法および研
削残量が入力される。さらに、インタフェース３３に
は、制御データ等を入力するキーボード等の入力装置４
０が接続されている。メモリ３２には、加工プログラム
及び各種パラメータ等が格納されている。
サーボユニット４１，４２および位置検出器２５，２７
が接続されており、デジタルサーボユニット４１，４２
に指令信号を出力することにより砥石台１３および工作
物テーブル１２をそれぞれ駆動し、その時の砥石台１３
および工作物テーブル１２の位置がそれぞれ入力され
る。また、インタフェース３３には、上述した測定装置
８０が接続され、算出された工作物の外径寸法および研
削残量が入力される。さらに、インタフェース３３に
は、制御データ等を入力するキーボード等の入力装置４
０が接続されている。メモリ３２には、加工プログラム
及び各種パラメータ等が格納されている。
【００２１】次に、上記のように構成された本実施例の
動作を説明する。まず、研削加工に先立ちオフセット値
の測定が行われる。すなわち、真円に加工されたマスタ
ワークを工作物テーブル１２の両センタ１５ａ，１６ａ
に取り付ける。次に、ヘッド送り装置２８を駆動して測
定ヘッド５０を前進させ、第１、第２、第３フィーラ５
５ａ，５５ｂ，５６をマスタワークに挟持させ、図５に
示すようにマスタワークの外径Ｄおよび外周位置Ｒを測
定する。ただし、本実施例においては外周位置Ｒは工作
物回転軸線Ｏからの距離として測定される。そして、こ
の測定された外径Ｄおよび外周位置Ｒをオフセット値と
して測定装置８０のメモリ８２に記憶する。この後、ヘ
ッド送り装置２８を駆動して測定ヘッド５０を後退させ
てマスターワークを取り外し、加工を行う工作物Ｗを両
センタ１５ａ，１６ａに取り付け研削加工を開始する。
動作を説明する。まず、研削加工に先立ちオフセット値
の測定が行われる。すなわち、真円に加工されたマスタ
ワークを工作物テーブル１２の両センタ１５ａ，１６ａ
に取り付ける。次に、ヘッド送り装置２８を駆動して測
定ヘッド５０を前進させ、第１、第２、第３フィーラ５
５ａ，５５ｂ，５６をマスタワークに挟持させ、図５に
示すようにマスタワークの外径Ｄおよび外周位置Ｒを測
定する。ただし、本実施例においては外周位置Ｒは工作
物回転軸線Ｏからの距離として測定される。そして、こ
の測定された外径Ｄおよび外周位置Ｒをオフセット値と
して測定装置８０のメモリ８２に記憶する。この後、ヘ
ッド送り装置２８を駆動して測定ヘッド５０を後退させ
てマスターワークを取り外し、加工を行う工作物Ｗを両
センタ１５ａ，１６ａに取り付け研削加工を開始する。
【００２２】入力装置４０より加工開始の指令信号が数
値制御装置３０に入力されると、数値制御装置３０はメ
モリ３２に記憶された加工プログラムを実行させる。す
なわち、モータ１８およびモータ２２を駆動して工作物
Ｗおよび砥石車１９をそれぞれ所定の回転数にて回転す
ると共に、サーボモータ２３を駆動して砥石台１３に切
り込み送りを与える。砥石台１３が所定量切り込まれ工
作物Ｗの黒皮部分が除去されると、数値制御装置３０は
ヘッド送り装置２８を駆動して測定ヘッド５０を前進さ
せ、第１、第２、第３フィーラ５５ａ，５５ｂ，５６を
工作物Ｗに対し挟持させる。すると、測定装置８０は測
定ヘッド５０の第１、第２変位検出器６０，６３にて測
定された外径および外周位置に基づいて研削残量を算出
し、所定のサンプリングタイム毎に数値制御装置３０に
出力するようになっている。
値制御装置３０に入力されると、数値制御装置３０はメ
モリ３２に記憶された加工プログラムを実行させる。す
なわち、モータ１８およびモータ２２を駆動して工作物
Ｗおよび砥石車１９をそれぞれ所定の回転数にて回転す
ると共に、サーボモータ２３を駆動して砥石台１３に切
り込み送りを与える。砥石台１３が所定量切り込まれ工
作物Ｗの黒皮部分が除去されると、数値制御装置３０は
ヘッド送り装置２８を駆動して測定ヘッド５０を前進さ
せ、第１、第２、第３フィーラ５５ａ，５５ｂ，５６を
工作物Ｗに対し挟持させる。すると、測定装置８０は測
定ヘッド５０の第１、第２変位検出器６０，６３にて測
定された外径および外周位置に基づいて研削残量を算出
し、所定のサンプリングタイム毎に数値制御装置３０に
出力するようになっている。
【００２３】ここで、測定装置８０にて行われる研削残
量の算出について図４のフローチャートおよび図６の説
明図を用いて説明する。測定ヘッド５０による測定が開
始されると、測定装置８０のＣＰＵ８１はメモリ８２に
記憶された図４に示す研削残量算出プログラムを実行す
る。ステップ１０１にて、第１、第２変位検出器６０、
６３にて検出された外径ｄおよび外周位置ｒを入力し、
ステップ１０２にて入力した外径ｄをメモリ８２に記憶
する。
量の算出について図４のフローチャートおよび図６の説
明図を用いて説明する。測定ヘッド５０による測定が開
始されると、測定装置８０のＣＰＵ８１はメモリ８２に
記憶された図４に示す研削残量算出プログラムを実行す
る。ステップ１０１にて、第１、第２変位検出器６０、
６３にて検出された外径ｄおよび外周位置ｒを入力し、
ステップ１０２にて入力した外径ｄをメモリ８２に記憶
する。
【００２４】ステップ１０３に移行すると研削残量ｅが
次式より算出される。
次式より算出される。
【００２５】
【数１】
【００２６】すなわち、工作物Ｗは研削抵抗により研削
残量ｅ分たわんだ状態で研削され、図６に示すように回
転軸線ＯがＯ’にずれる。第１、第２フィーラ５５ａ，
５５ｂは工作物Ｗのたわむ方向に直交する方向から工作
物Ｗに接触しているため、第１変位検出器６０にて検出
される検出値は、工作物Ｗのたわみ（研削残量ｅ）に関
係なく工作物Ｗの外径ｄが測定される。一方、第３フィ
ーラ５４は工作物Ｗのたわむ方向、すなわち、回転軸線
Ｏ’に対して研削点と反対側の点に接触しているため、
第２変位検出器６３にて検出される検出値は、たわみ量
（研削残量ｅ）が付加された工作物Ｗの外周位置ｒとし
て測定される。そこで、上記式（１）では、第２変位検
出器６３にて測定された外周位置ｒから第１変位検出器
６０にて測定された工作物Ｗの外径ｄの半分（半径ｄ／
２）を減算することによりたわみ量（研削残量）ｅを算
出している。なお、上式はオフセット値Ｒ，Ｄが外周位
置ｒおよび外径ｄからそれぞれ減算され、マスタワーク
からのオフセットとして研削残量ｅが算出されようにな
っている。
残量ｅ分たわんだ状態で研削され、図６に示すように回
転軸線ＯがＯ’にずれる。第１、第２フィーラ５５ａ，
５５ｂは工作物Ｗのたわむ方向に直交する方向から工作
物Ｗに接触しているため、第１変位検出器６０にて検出
される検出値は、工作物Ｗのたわみ（研削残量ｅ）に関
係なく工作物Ｗの外径ｄが測定される。一方、第３フィ
ーラ５４は工作物Ｗのたわむ方向、すなわち、回転軸線
Ｏ’に対して研削点と反対側の点に接触しているため、
第２変位検出器６３にて検出される検出値は、たわみ量
（研削残量ｅ）が付加された工作物Ｗの外周位置ｒとし
て測定される。そこで、上記式（１）では、第２変位検
出器６３にて測定された外周位置ｒから第１変位検出器
６０にて測定された工作物Ｗの外径ｄの半分（半径ｄ／
２）を減算することによりたわみ量（研削残量）ｅを算
出している。なお、上式はオフセット値Ｒ，Ｄが外周位
置ｒおよび外径ｄからそれぞれ減算され、マスタワーク
からのオフセットとして研削残量ｅが算出されようにな
っている。
【００２７】続いて、ステップ１０４に移行すると上記
ステップ１０２で記憶した工作物Ｗの外径およびステッ
プ１０３にて算出された研削残量ｅを数値制御装置３０
に出力する。そして、ステップ１０５にて加工が終了か
否かが判断され、加工が終了していない場合には上述し
たステップ１０１からステップ１０４を繰り返し、加工
が終了した場合には終了する。
ステップ１０２で記憶した工作物Ｗの外径およびステッ
プ１０３にて算出された研削残量ｅを数値制御装置３０
に出力する。そして、ステップ１０５にて加工が終了か
否かが判断され、加工が終了していない場合には上述し
たステップ１０１からステップ１０４を繰り返し、加工
が終了した場合には終了する。
【００２８】数値制御装置３０は、測定装置８０から入
力した工作物Ｗの外径ｄｗおよび研削残量ｅに基づいて
種々研削加工を行う。なお、本実施例においては、測定
ヘッド５０は第１測定部５０ａおよび第２測定部５０ｂ
が一体的に構成されているが、第１測定部５０ａとして
従来からの定寸装置を使用し、第２測定部５０ｂを別体
で設けても構わない。また、測定装置８０にて行われる
研削残量算出処理は数値制御装置３０内で行ってもよ
い。
力した工作物Ｗの外径ｄｗおよび研削残量ｅに基づいて
種々研削加工を行う。なお、本実施例においては、測定
ヘッド５０は第１測定部５０ａおよび第２測定部５０ｂ
が一体的に構成されているが、第１測定部５０ａとして
従来からの定寸装置を使用し、第２測定部５０ｂを別体
で設けても構わない。また、測定装置８０にて行われる
研削残量算出処理は数値制御装置３０内で行ってもよ
い。
【００２９】さらに、上述した本実施例においては工作
物Ｗに接触する第１フィーラ５５ａおよび第２フィーラ
５５ｂ並びに第３フィーラ５６の変位量を検出すること
で、工作物Ｗの外径ｄおよび外周位置ｅを検出している
が、検出する手段はこれに限定されず、非接触の距離セ
ンサ等を用いて外径ｄや外周位置ｅを検出し研削残量を
算出しても構わない。
物Ｗに接触する第１フィーラ５５ａおよび第２フィーラ
５５ｂ並びに第３フィーラ５６の変位量を検出すること
で、工作物Ｗの外径ｄおよび外周位置ｅを検出している
が、検出する手段はこれに限定されず、非接触の距離セ
ンサ等を用いて外径ｄや外周位置ｅを検出し研削残量を
算出しても構わない。
【００３０】
【発明の効果】以上に述べたように本発明の研削残量検
出方法およびその装置は、熱変形や砥石車の磨耗によっ
て誤差を生じやすい砥石台の位置を用いることなく研削
残量を検出するため、機械の熱変形や砥石車の磨耗に関
係なく研削残量（たわみ量）を高精度に検出できるとい
った効果がある。また、砥石台の位置の較正作業が不必
要になり生産性が向上するといった利点もある。
出方法およびその装置は、熱変形や砥石車の磨耗によっ
て誤差を生じやすい砥石台の位置を用いることなく研削
残量を検出するため、機械の熱変形や砥石車の磨耗に関
係なく研削残量（たわみ量）を高精度に検出できるとい
った効果がある。また、砥石台の位置の較正作業が不必
要になり生産性が向上するといった利点もある。
【図１】本発明の実施例を示す研削装置の全体構成を示
す図である。
す図である。
【図２】本発明の実施例を示す測定ヘッドの拡大断面図
である。
である。
【図３】本発明の実施例を示す測定装置の構成図であ
る。
る。
【図４】測定装置の動作を示したフローチャートであ
る。
る。
【図５】加工前の工作物の測定位置を示した説明図であ
る。
る。
【図６】加工中の工作物の測定位置と研削残量を示した
説明図である。
説明図である。
【図７】従来の研削加工を示す説明図である。
１０ 研削盤 １９ 砥石車 ２８ ヘッド送り定寸装置 ３０ 制御装置 ４１，４２ デジタルサーボユニット ５０ 測定ヘッド ５５ａ 第１フィーラ ５５ｂ 第２フィーラ ５６ 第３フィーラ ６０ 第１変位検出器 ６３ 第２変位検出器 ８０ 測定装置 ８１ ＣＰＵ（算出手段） Ｗ 工作物 ｅ 研削残量
Claims (2)
- 【請求項１】 研削加工中に工作物と砥石車との研削抵
抗により発生する研削残量を検出する研削残量検出方法
において、工作物がたわむ方向と直交する方向から工作
物の外径を測定し、工作物がたわむ方向から工作物の外
周位置を測定し、前記測定した工作物の外周位置と前記
測定した工作物の外径に基づいて研削残量を求めること
を特徴とする研削残量検出方法。 - 【請求項２】 研削加工中に工作物と砥石車との研削抵
抗により発生する研削残量を検出する研削残量検出装置
において、工作物がたわむ方向と直交する両方向から工
作物の外周に接触して工作物径の変化に応じて変位する
一対の第１フィーラおよび第２フィーラと、前記第１フ
ィーラおよび第２フィーラの相対変位を検出する第１変
位検出器と、工作物がたわむ方向から工作物の外周に接
触し、工作物の径の変化およびたわみ量の変化に応じて
変位する第３フィーラと、前記第３フィーラの変位を検
出する第２変位検出器と、前記第１変位検出器および前
記第２変位検出器にて検出された各変位の値に基づいて
研削残量を算出する算出手段とを備えたことを特徴とす
る研削残量検出装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7123632A JPH08318464A (ja) | 1995-05-23 | 1995-05-23 | 研削残量検出方法およびその装置 |
| KR1019960017111A KR100408794B1 (ko) | 1995-05-23 | 1996-05-21 | 연삭잔량검출방법 및 그 장치 |
| US08/652,273 US5773731A (en) | 1995-05-23 | 1996-05-22 | Method and apparatus for detecting residual grinding amount |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7123632A JPH08318464A (ja) | 1995-05-23 | 1995-05-23 | 研削残量検出方法およびその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08318464A true JPH08318464A (ja) | 1996-12-03 |
Family
ID=14865398
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7123632A Pending JPH08318464A (ja) | 1995-05-23 | 1995-05-23 | 研削残量検出方法およびその装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5773731A (ja) |
| JP (1) | JPH08318464A (ja) |
| KR (1) | KR100408794B1 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008119803A (ja) * | 2006-11-15 | 2008-05-29 | Jtekt Corp | かつぎ量計測装置 |
| JP2010176375A (ja) * | 2009-01-29 | 2010-08-12 | Jtekt Corp | 工作機械 |
| JP2013000867A (ja) * | 2011-06-21 | 2013-01-07 | Jtekt Corp | 振れ精度測定方法および研削盤 |
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| US6086452A (en) * | 1996-08-02 | 2000-07-11 | The Goodyear Tire & Rubber Company | Method of high speed centrifugal run-out grinding of a pneumatic tire |
| US7001733B1 (en) | 1998-05-12 | 2006-02-21 | Rigel Pharmaceuticals, Inc. | Methods and compositions for screening for modulations of IgE synthesis, secretion and switch rearrangement |
| DE19857364A1 (de) | 1998-12-11 | 2000-06-29 | Junker Erwin Maschf Gmbh | Verfahren und Schleifmaschine zur Prozeßführung beim Schälschleifen eines Werkstückes |
| GB9928825D0 (en) * | 1999-12-06 | 2000-02-02 | Unova Uk Ltd | Improvements in and relating to grinding |
| JP2002307268A (ja) * | 2001-04-19 | 2002-10-23 | Toyoda Mach Works Ltd | 測定装置を用いた工作物の偏心円筒部の加工方法及び加工装置 |
| GB0400144D0 (en) * | 2004-01-06 | 2004-02-11 | Renishaw Plc | Inspection system |
| US7103441B2 (en) * | 2004-10-05 | 2006-09-05 | Walter Maschinenbau Gmbh | Calibration procedures and such using an erosion and grinding machine |
| JP5708324B2 (ja) * | 2011-07-11 | 2015-04-30 | 日本精工株式会社 | 研削加工盤及び研削加工方法 |
| US10556318B2 (en) * | 2016-08-25 | 2020-02-11 | Okamoto Machine Tool Works, Ltd. | Automatic grinding apparatus |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5562526A (en) * | 1993-03-29 | 1996-10-08 | Toyoda Koki Kabushiki Kaisha | Method and apparatus for grinding a workpiece |
| JPH0732245A (ja) * | 1993-07-16 | 1995-02-03 | Komori Corp | 定寸装置及び定寸方法 |
| JP3467807B2 (ja) * | 1993-09-30 | 2003-11-17 | 豊田工機株式会社 | 研削装置 |
-
1995
- 1995-05-23 JP JP7123632A patent/JPH08318464A/ja active Pending
-
1996
- 1996-05-21 KR KR1019960017111A patent/KR100408794B1/ko not_active Expired - Fee Related
- 1996-05-22 US US08/652,273 patent/US5773731A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008119803A (ja) * | 2006-11-15 | 2008-05-29 | Jtekt Corp | かつぎ量計測装置 |
| JP2010176375A (ja) * | 2009-01-29 | 2010-08-12 | Jtekt Corp | 工作機械 |
| JP2013000867A (ja) * | 2011-06-21 | 2013-01-07 | Jtekt Corp | 振れ精度測定方法および研削盤 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR960040562A (ko) | 1996-12-17 |
| US5773731A (en) | 1998-06-30 |
| KR100408794B1 (ko) | 2004-07-30 |
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