JPH0832158A - Pulse laser oscillation device - Google Patents
Pulse laser oscillation deviceInfo
- Publication number
- JPH0832158A JPH0832158A JP16148694A JP16148694A JPH0832158A JP H0832158 A JPH0832158 A JP H0832158A JP 16148694 A JP16148694 A JP 16148694A JP 16148694 A JP16148694 A JP 16148694A JP H0832158 A JPH0832158 A JP H0832158A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- charging
- reactor
- capacitor
- saturable reactor
- series
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は、主放電消滅後の主放電電極間の反転
再起電圧を少なくし、安定した放電を得て主放電電極の
長寿命化を図ることを最も主要な目的とする。
【構成】直流電源から、直列に接続された２組の充電コ
ンデンサを充電し、一方の充電コンデンサをスイッチに
より放電させ、他方の充電コンデンサと可飽和リアクト
ルとの接続点に直流充電電圧のほぼ２倍のパルス状の電
圧を発生させ、かつパルス状の電圧を可飽和リアクトル
によりパルス整形して、レーザガス中に配設された一対
の主放電電極および主放電電極と並列に接続された予備
電離紫外線発生用のコンデンサから構成される放電部に
印加するパルスレーザ発振装置において、充電コンデン
サへの充電電流を流すための充電リアクトルを放電部と
並列に接続すると共に、その一側端を放電部と可飽和リ
アクトルとの間に、他側端を一方の充電コンデンサの他
方の充電コンデンサとの接続側の他側と接続して成る。
(57) [Abstract] [Purpose] The main purpose of the present invention is to reduce the reversal re-initiated voltage between the main discharge electrodes after the main discharge disappears, to obtain a stable discharge, and to extend the life of the main discharge electrodes. To aim. [Composition] From a DC power supply, two sets of charging capacitors connected in series are charged, one charging capacitor is discharged by a switch, and a DC charging voltage of approximately 2 is applied to the connection point between the other charging capacitor and the saturable reactor. A double pulsed voltage is generated, the pulsed voltage is pulse-shaped by a saturable reactor, and a pair of main discharge electrodes arranged in the laser gas and preionizing ultraviolet rays connected in parallel with the main discharge electrode In a pulsed laser oscillator applied to a discharge part composed of a capacitor for generation, a charging reactor for supplying a charging current to a charging capacitor is connected in parallel with the discharge part, and one end of the charging reactor can be connected to the discharge part. Between the saturation reactor and the other end, the other side end is connected to the other side of the one charging capacitor connected to the other charging capacitor.
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、ガスを媒介としたパル
ス発振方式のレーザ装置に係り、特に安定した放電が得
られるようにした長寿命のパルスレーザ発振装置に関す
るものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a pulse-laser type laser device using gas as a medium, and more particularly to a long-life pulse laser oscillator device capable of obtaining stable discharge.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来から、ガスを媒介としたパルス発振
方式のレーザ装置においては、一対の主放電電極をレー
ザガス中に配置し、各主放電電極間にパルス状の波形の
電圧を印加して、主放電空間内のレーザガスを励起する
方法が一般的である。特に、この時、主放電空間への電
圧印加以前に、主放電空間へ紫外線等を照射して主放電
空間を予備電離する方式が一般的である。2. Description of the Related Art Conventionally, in a gas-mediated pulse oscillation type laser apparatus, a pair of main discharge electrodes are arranged in a laser gas, and a pulsed voltage is applied between the main discharge electrodes. The method of exciting the laser gas in the main discharge space is generally used. In particular, at this time, it is common to irradiate the main discharge space with ultraviolet rays or the like to pre-ionize the main discharge space before applying a voltage to the main discharge space.
【０００３】図９はこの種の従来のパルスレーザ発振装
置の構成例を示す電気回路図、図１０は同パルスレーザ
発振装置における主放電電極間および充電コンデンサの
電圧波形の一例を示す図である。FIG. 9 is an electric circuit diagram showing a configuration example of a conventional pulse laser oscillator of this type, and FIG. 10 is a diagram showing an example of voltage waveforms between main discharge electrodes and a charging capacitor in the pulse laser oscillator. .
【０００４】図９において、直流電源３により、一方の
充電コンデンサ１ａは、充電インピーダンス２５、スイ
ッチ用リアクトル３１、充電リアクトル２０を介して充
電され、また、他方の充電コンデンサ１ｂは、充電イン
ピーダンス２５、スイッチ用リアクトル３１を介して充
電される。In FIG. 9, one charging capacitor 1a is charged by the DC power supply 3 through the charging impedance 25, the switching reactor 31, and the charging reactor 20, and the other charging capacitor 1b is charged by the charging impedance 25, It is charged via the switch reactor 31.
【０００５】次に、充電コンデンサ１ａ，１ｂが充電さ
れた後に、サイラトロン等のスイッチ３０を閉じ、他方
の充電コンデンサ１ｂの電荷を、スイッチ３０、および
スイッチ用リアクトル３１を介して放電させる。そし
て、この他方の充電コンデンサ１ｂの放電中に、一方の
充電コンデンサ１ａは若干量が放電するものの僅かであ
るので、充電コンデンサ１ｂの電圧が反転した時点で、
可飽和リアクトル２と充電コンデンサ１ａとの接続点
（Ａ点）に、直流電源３からの出力電圧のほぼ２倍の電
圧が発生する。Next, after the charge capacitors 1a and 1b are charged, the switch 30 such as a thyratron is closed, and the charge of the other charge capacitor 1b is discharged through the switch 30 and the switch reactor 31. Then, during the discharging of the other charging capacitor 1b, the one charging capacitor 1a discharges a little, but a little, so at the time when the voltage of the charging capacitor 1b is reversed,
At the connection point (point A) between the saturable reactor 2 and the charging capacitor 1a, a voltage approximately twice the output voltage from the DC power supply 3 is generated.
【０００６】可飽和リアクトル２は、充電コンデンサ１
ｂの電圧が反転した時点、すなわち可飽和リアクトル２
と充電コンデンサ１ａとの接続点（図示Ａ点）に、直流
電源３からの出力電圧のほぼ２倍の電圧が発生する時点
で動作するように作られている。The saturable reactor 2 is a charging capacitor 1
When the voltage of b is reversed, that is, the saturable reactor 2
At the connection point (point A in the figure) between the charging capacitor 1a and the charging capacitor 1a, it operates so as to generate a voltage that is approximately twice the output voltage from the DC power supply 3.
【０００７】すなわち、図１０に示す可飽和リアクトル
動作点Ｘ１のタイミングで可飽和リアクトル２が動作
し、充電コンデンサ１ａ，１ｂから放電部１１にパルス
状の電圧波形が印加される。That is, the saturable reactor 2 operates at the timing of the saturable reactor operating point X1 shown in FIG. 10, and a pulsed voltage waveform is applied from the charging capacitors 1a and 1b to the discharging section 11.
【０００８】また、可飽和リアクトル２の飽和時（動作
時）のインダクタンス値は、スイッチ用リアクトル３１
のインダクタンス値よりも小さくしているので、可飽和
リアクトル２の動作によりパルス幅を短くでき、放電部
１１にパルス状の電圧波形が印加される。Further, the inductance value of the saturable reactor 2 when saturated (during operation) is determined by the switch reactor 31.
The pulse width can be shortened by the operation of the saturable reactor 2 and the pulse-shaped voltage waveform is applied to the discharge unit 11.
【０００９】このようにして、放電部１１に電圧が印加
されると、ピーキングコンデンサ４が充電されると共
に、予備電離ギャップ７にスパーク放電が生じ、主放電
電極５の側面から主放電空間６に紫外線が照射される。In this way, when a voltage is applied to the discharge section 11, the peaking capacitor 4 is charged and a spark discharge is generated in the preionization gap 7, and the side surface of the main discharge electrode 5 is discharged to the main discharge space 6. Ultraviolet rays are emitted.
【００１０】そして、この紫外線により主放電空間６が
予備電離され、主放電空間６にピーキングコンデンサ４
からパルス電圧が印加され、主放電空間６がグロー放電
状態となり、ピーキングコンデンサ４、および充電コン
デンサ１ａ，１ｂより主放電空間６に電流が流れ込み、
レーザガスが励起されて、レーザ光出力が得られる。Then, the main discharge space 6 is preionized by the ultraviolet rays, and the peaking capacitor 4 is placed in the main discharge space 6.
A pulse voltage is applied from the main discharge space 6 to the glow discharge state, and a current flows into the main discharge space 6 from the peaking capacitor 4 and the charging capacitors 1a and 1b.
The laser gas is excited and a laser light output is obtained.
【００１１】なお、ピーキングコンデンサ４から主放電
電極５への印加波形を急峻なものとするために、ピーキ
ングコンデンサ４の静電容量Ｃｐとしては、電荷供給側
である充電コンデンサ１ａ，１ｂの直列合成静電容量Ｃ
１よりも小さくなっている。In order to make the waveform applied from the peaking capacitor 4 to the main discharge electrode 5 steep, the capacitance Cp of the peaking capacitor 4 should be a series combination of the charge capacitors 1a and 1b on the charge supply side. Capacitance C
It is smaller than 1.
【００１２】すなわち、 Ｃｐ＜Ｃ１ しかしながら、上述したような従来のパルスレーザ発振
装置においては、以下に述べるような問題がある。That is, Cp <C1 However, the conventional pulse laser oscillator as described above has the following problems.
【００１３】図１０に示す主放電維持時間９が経過して
しばらくした後、放電部１１に逆方向の電圧が誘起す
る。この時の放電部１１の電圧波形は、図１０のＢ点に
示したようになる。A short time after the main discharge sustaining time 9 shown in FIG. 10 has elapsed, a reverse voltage is induced in the discharge section 11. The voltage waveform of the discharge unit 11 at this time is as shown at point B in FIG.
【００１４】これは、以下に説明する現象によって起こ
るものである。すなわち、可飽和リアクトル２の未飽和
時のインダクタンス値を、充電リアクトル２０のインダ
クタンス値に比べて無視できるほど小さくすることは、
一般には不可能であるので、スイッチ３０の動作時、お
よびその後、充電コンデンサ１ａ，１ｂから放電部１１
へと流入すべき電流の一部が、充電コンデンサ１ａ，１
ｂ、および充電リアクトル２０で形成されるループ内を
振動電流として循環する。そして、この電流の振動周期
は、ループのインダクタンス（充電リアクトル２０のイ
ンダクタンスの値Ｌ）、および静電容量（充電コンデン
サ１ａ，１ｂの直列合成静電容量Ｃ１）で決まる。This is caused by the phenomenon described below. That is, it is necessary to make the inductance value of the saturable reactor 2 in the non-saturated state smaller than the inductance value of the charging reactor 20 so that it can be ignored.
Generally, this is not possible. Therefore, during the operation of the switch 30, and thereafter, the charging capacitors 1a and 1b to the discharging unit 11
Part of the current that should flow into the charging capacitors 1a, 1
It circulates as an oscillating current in the loop formed by b and the charging reactor 20. The oscillation cycle of this current is determined by the loop inductance (the inductance value L of the charging reactor 20) and the electrostatic capacitance (the series combined electrostatic capacitance C1 of the charging capacitors 1a and 1b).
【００１５】このため、可飽和リアクトル２と充電コン
デンサ１ａとの接続点（Ａ点）の電圧波形は、図１０の
Ａ点に示したようになる。可飽和リアクトル動作点Ｘ１
の後Ａ点の電圧は、ほぼ零となる前述の循環電流のため
に逆方向に誘起され、可飽和リアクトル動作点Ｘ２の時
点で、再度可飽和リアクトル２が動作し、この結果放電
部１１に逆方向の電圧が誘起されるものである。Therefore, the voltage waveform at the connection point (point A) between the saturable reactor 2 and the charging capacitor 1a is as shown at point A in FIG. Saturable reactor operating point X1
The voltage at the point A after is induced in the opposite direction due to the above-described circulating current that becomes almost zero, and the saturable reactor 2 operates again at the point of the saturable reactor operating point X2, and as a result, the discharge part 11 The reverse voltage is induced.
【００１６】このような主放電維持後の反転電圧の再誘
起により、主放電空間６のレーザガスの電気的絶縁が維
持できず、再度放電が点弧し、アーク放電となってしま
う場合がある。そして、このアーク放電が起こると、主
放電電極５が損傷して寿命が短くなるといった問題があ
る。なお、上記アーク放電が発生すると、各主放電電極
５間の電圧波形は、図１０のＢ点の破線８で示したよう
になる。Due to such re-induction of the reversal voltage after maintaining the main discharge, the electrical insulation of the laser gas in the main discharge space 6 cannot be maintained, and the discharge may be ignited again, resulting in arc discharge. When this arc discharge occurs, there is a problem that the main discharge electrode 5 is damaged and the life is shortened. When the arc discharge occurs, the voltage waveform between the main discharge electrodes 5 becomes as shown by the broken line 8 at point B in FIG.
【００１７】[0017]
【発明が解決しようとする課題】以上のように、従来の
パルスレーザ発振装置においては、主放電維持後の反転
電圧の再誘起によって再度アーク放電が起こり、主放電
電極が損傷して寿命が短くなるという問題があった。As described above, in the conventional pulsed laser oscillator, arc discharge occurs again due to re-induction of the inversion voltage after the main discharge is maintained, and the main discharge electrode is damaged and the life is shortened. There was a problem of becoming.
【００１８】本発明の目的は、主放電消滅後の主放電電
極間の反転再起電圧を少なくし、安定した放電を得て主
放電電極の長寿命化を図ることが可能なパルスレーザ発
振装置を提供することにある。An object of the present invention is to provide a pulse laser oscillation device capable of reducing the reversal re-initiated voltage between the main discharge electrodes after the main discharge disappears, obtaining a stable discharge, and extending the life of the main discharge electrodes. To provide.
【００１９】[0019]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、直流電源により、直列に接続された２組の充電コ
ンデンサを充電し、一方の充電コンデンサをスイッチに
より放電させ、他方の充電コンデンサと可飽和リアクト
ルとの接続点に直流充電電圧のほぼ２倍のパルス状の電
圧を発生させ、かつ当該パルス状の電圧を可飽和リアク
トルによりパルス整形して、レーザガス中に配設された
一対の主放電電極および当該主放電電極と並列に接続さ
れた予備電離紫外線発生用のコンデンサから構成される
放電部に印加するようにしたパルスレーザ発振装置にお
いて、まず、請求項１に係る発明では、充電コンデンサ
への充電電流を流すための充電リアクトルを当該放電部
と並列に接続すると共に、その一側端を放電部と可飽和
リアクトルとの間に、他側端を一方の充電コンデンサの
他方の充電コンデンサとの接続側の他側と接続して成
る。In order to achieve the above object, a DC power source charges two sets of charging capacitors connected in series, one charging capacitor is discharged by a switch, and the other charging capacitor is discharged. And a saturable reactor are connected to a connection point between the pair of lasers arranged in the laser gas by generating a pulsed voltage that is almost twice the DC charging voltage and shaping the pulsed voltage by the saturable reactor. In a pulse laser oscillation device adapted to be applied to a discharge part composed of a main discharge electrode and a capacitor for generating preionized ultraviolet rays connected in parallel with the main discharge electrode, first, in the invention according to claim 1, charging is performed. A charging reactor for supplying a charging current to the capacitor is connected in parallel with the discharge part, and its one end is between the discharge part and the saturable reactor. , Formed by connecting the other side of the connection side of the other charging capacitor of one of the charging capacitor and another end.
【００２０】また、請求項２に係る発明では、充電コン
デンサへの充電電流を流すための充電リアクトルと限流
抵抗とを直列に接続した直列回路を、可飽和リアクトル
と放電部と間に、当該放電部と並列に接続して成る。In the invention according to claim 2, a series circuit in which a charging reactor for flowing a charging current to the charging capacitor and a current limiting resistor are connected in series is provided between the saturable reactor and the discharging section. It is connected in parallel with the discharge part.
【００２１】ここで、特に上記限流抵抗の値としては、
概略以下のような値とする。 Ｒ＞２・（Ｌ／Ｃ１）1/2 但し、Ｒ；限流抵抗の値、Ｃ１；充電コンデンサの直列
合成静電容量、Ｌ；充電リアクトルと可飽和リアクトル
の未飽和時のインダクタンス値の和。Here, in particular, as the value of the current limiting resistance,
Outline The values are as follows. R> 2 · (L / C1) 1/2 where R is the value of the current limiting resistance, C1 is the series combined capacitance of the charging capacitors, and L is the sum of the inductance values of the charging reactor and the saturable reactor when it is not saturated. .
【００２２】一方、請求項４に係る発明では、充電コン
デンサへの充電電流を流すための充電リアクトルを、放
電部と可飽和リアクトルとの間に、当該放電部と並列に
接続し、かつダイオードとダイオード用限流抵抗とを直
列にした直列回路を、放電部と並列に接続して成る。On the other hand, in the invention according to claim 4, a charging reactor for supplying a charging current to the charging capacitor is connected between the discharging part and the saturable reactor in parallel with the discharging part, and a diode is connected. A series circuit in which a current limiting resistor for a diode is connected in series is connected in parallel with the discharge unit.
【００２３】ここで、特に上記ダイオード用限流抵抗の
値としては、概略以下のような値とする。 Ｒｄ＝２・（Ｌｕ／Ｃ１）1/2 但し、Ｒｄ；ダイオード用限流抵抗の値、Ｃ１；充電コ
ンデンサの直列合成静電容量、Ｌｕ；可飽和リアクトル
の未飽和時のインダクタンス値。Here, in particular, the value of the above-mentioned current limiting resistance for a diode is approximately set as follows. Rd = 2 · (Lu / C1) 1/2 where Rd is the value of the diode current limiting resistance, C1 is the series combined capacitance of the charging capacitor, Lu is the inductance value of the saturable reactor when it is not saturated.
【００２４】さらに、請求項６に係る発明では、充電コ
ンデンサへの充電電流を流すための充電リアクトルと限
流抵抗とを直列に接続した直列回路を、可飽和リアクト
ルと放電部と間に、当該放電部と並列に接続し、かつダ
イオードとダイオード用限流抵抗とを直列にした直列回
路を、放電部と並列に接続して成る。Further, in the invention according to claim 6, a series circuit in which a charging reactor for supplying a charging current to the charging capacitor and a current limiting resistor are connected in series is provided between the saturable reactor and the discharging section. A series circuit in which a diode and a current limiting resistor for a diode are connected in series is connected in parallel with the discharge section, and is connected in parallel with the discharge section.
【００２５】ここで、特に上記限流抵抗の値、およびダ
イオード用限流抵抗の値としては、それぞれ概略以下の
ような値とする。 Ｒ＞２・（Ｌ／Ｃ１）1/2 但し、Ｒ；限流抵抗の値、Ｃ１；充電コンデンサの直列
合成静電容量、Ｌ；充電リアクトルと可飽和リアクトル
の未飽和時のインダクタンス値の和 Ｒｄ＝２・（Ｌｕ／Ｃ１）1/2 但し、Ｒｄ；ダイオード用限流抵抗の値、Ｃ１；充電コ
ンデンサの直列合成静電容量、Ｌｕ；可飽和リアクトル
の未飽和時のインダクタンス値。Here, in particular, the values of the above-mentioned current limiting resistance and the value of the current limiting resistance for the diode are approximately as follows. R> 2 · (L / C1) 1/2 where R is the value of the current limiting resistance, C1 is the series combined capacitance of the charging capacitors, and L is the sum of the inductance values of the charging reactor and the saturable reactor when it is not saturated. Rd = 2 · (Lu / C1) 1/2 where Rd is the value of the diode current limiting resistance, C1 is the series combined capacitance of the charging capacitor, Lu is the inductance value of the saturable reactor when it is not saturated.
【００２６】[0026]
【作用】従って、まず、請求項１に係る発明のパルスレ
ーザ発振装置においては、充電コンデンサへの充電電流
を流すための充電リアクトルを当該放電部と並列に接続
すると共に、その一側端を放電部と可飽和リアクトルと
の間に、他側端を一方の充電コンデンサの他方の充電コ
ンデンサとの接続側の他側と接続していることにより、
充電リアクトルと充電コンデンサで作るループに可飽和
リアクトルが含まれるため、循環ループ内のインダクタ
ンス成分が充電リアクトルと可飽和リアクトルの未飽和
時の和となり、従来の場合に比べて大きくなる。この結
果、充電リアクトル、充電コンデンサ、可飽和リアクト
ルのループ内の循環電流が流れに難くなる。Therefore, in the pulse laser oscillator according to the first aspect of the present invention, the charging reactor for supplying the charging current to the charging capacitor is connected in parallel with the discharging section and one end thereof is discharged. Between the part and the saturable reactor, by connecting the other side end to the other side of the connection side of one charging capacitor with the other charging capacitor,
Since the loop made up of the charging reactor and the charging capacitor contains the saturable reactor, the inductance component in the circulation loop is the sum of the charging reactor and the saturable reactor when it is not saturated, which is larger than the conventional case. As a result, it becomes difficult for the circulating current in the loop of the charging reactor, the charging capacitor, and the saturable reactor to flow.
【００２７】さらに、この循環電流による放電部への誘
起電圧が可飽和リアクトルの未飽和時のインダクタンス
の値と充電リアクトルのインダクタンスの値での両者で
分担され、放電部への再誘起電圧は充電リアクトルのイ
ンダクタンス分によるもののみとなる。Further, the induced voltage to the discharge part due to this circulating current is shared by both the inductance value of the saturable reactor when it is not saturated and the inductance value of the charging reactor, and the re-induced voltage to the discharge part is charged. It is only due to the inductance of the reactor.
【００２８】これにより、本来の可飽和リアクトルの動
作点以降に放電部に誘起される電圧を低くすることが可
能となるため、安定した放電が得られ、主放電電極の寿
命を長くすることができる。This makes it possible to lower the voltage induced in the discharge part after the original operating point of the saturable reactor, so that stable discharge can be obtained and the life of the main discharge electrode can be extended. it can.
【００２９】また、請求項２に係る発明のパルスレーザ
発振装置においては、充電コンデンサへの充電電流を流
すための充電リアクトルと限流抵抗とを直列に接続した
直列回路を、可飽和リアクトルと放電部と間に、当該放
電部と並列に接続していることにより、充電リアクトル
と充電コンデンサで作るループに可飽和リアクトル、お
よび限流抵抗が含まれるため、循環ループ内のインダク
タンス成分が増すと共に抵抗分が付加されるので、ルー
プ中のインピーダンスが増す。この結果、ループの循環
電流が流れに難くなる。Further, in the pulsed laser oscillator of the invention according to claim 2, a series circuit in which a charging reactor for flowing a charging current to a charging capacitor and a current limiting resistor are connected in series is a saturable reactor and a discharging device. Since it is connected in parallel with the discharge part between this part and the discharge part, the loop made up of the charging reactor and the charging capacitor contains the saturable reactor and the current limiting resistance, which increases the inductance component in the circulation loop and increases the resistance. The added impedance increases the impedance in the loop. As a result, it becomes difficult for the circulating current in the loop to flow.
【００３０】これにより、本来の可飽和リアクトルの動
作点以降に放電部に誘起される電圧を低くすることが可
能となるため、安定した放電が得られ、主放電電極の寿
命を長くすることができる。This makes it possible to reduce the voltage induced in the discharge part after the original operating point of the saturable reactor, so that stable discharge can be obtained and the life of the main discharge electrode can be extended. it can.
【００３１】一方、請求項４に係る発明のパルスレーザ
発振装置においては、充電コンデンサへの充電電流を流
すための充電リアクトルを、放電部と可飽和リアクトル
との間に、当該放電部と並列に接続し、かつダイオード
とダイオード用限流抵抗とを直列にした直列回路を、放
電部と並列に接続していることにより、充電リアクトル
と充電コンデンサで作るループに可飽和リアクトルが含
まれるため、循環ループ内のインダクタンス成分が増
す。この結果、循環電流が流れに難くなる。On the other hand, in the pulse laser oscillator of the invention according to claim 4, a charging reactor for supplying a charging current to the charging capacitor is provided in parallel with the discharging part between the discharging part and the saturable reactor. By connecting a series circuit in which a diode and a current limiting resistor for a diode are connected in series in parallel with the discharge part, a saturable reactor is included in the loop made up of the charging reactor and the charging capacitor. The inductance component in the loop increases. As a result, it becomes difficult for the circulating current to flow.
【００３２】さらに、ダイオードが放電部と並列に入っ
ているので、逆方向の誘起電圧はほぼ零とすることがで
きる。これにより、本来の可飽和リアクトルの動作点以
降に放電部に誘起される電圧を低くすることが可能とな
るため、安定した放電が得られ、主放電電極の寿命を長
くすることができる。Further, since the diode is arranged in parallel with the discharge part, the induced voltage in the reverse direction can be made almost zero. This makes it possible to reduce the voltage induced in the discharge part after the original operating point of the saturable reactor, so that stable discharge can be obtained and the life of the main discharge electrode can be extended.
【００３３】さらに、請求項６に係る発明のパルスレー
ザ発振装置においては、充電コンデンサへの充電電流を
流すための充電リアクトルと限流抵抗とを直列に接続し
た直列回路を、可飽和リアクトルと放電部と間に、当該
放電部と並列に接続し、かつダイオードとダイオード用
限流抵抗とを直列にした直列回路を、放電部と並列に接
続していることにより、充電リアクトルと充電コンデン
サで作るループに可飽和リアクトルおよび限流抵抗が含
まれるため、循環ループ内のインダクタンス成分が増す
と共に抵抗分が付加されるので、ループ中のインピーダ
ンスが増す。この結果、循環電流が流れに難くなる。Further, in the pulsed laser oscillator of the invention according to claim 6, a series circuit in which a charging reactor for supplying a charging current to a charging capacitor and a current limiting resistor are connected in series is used as a saturable reactor and a discharging device. Between the discharge part and the discharge part, and a series circuit in which a diode and a current limiting resistor for the diode are connected in series is connected in parallel to the discharge part, thereby making it a charging reactor and a charging capacitor. Since the loop includes the saturable reactor and the current limiting resistance, the inductance component in the circulation loop increases and the resistance component is added, so that the impedance in the loop increases. As a result, it becomes difficult for the circulating current to flow.
【００３４】さらに、ダイオードが放電部と並列に入っ
ているので逆方向の誘起電圧はほぼ零とすることができ
る。これにより、本来の可飽和リアクトルの動作点以降
に放電部に誘起される電圧を低くすることが可能となる
ため、安定した放電が得られ、主放電電極の寿命を長く
することできる。Further, since the diode is arranged in parallel with the discharging part, the induced voltage in the reverse direction can be made almost zero. This makes it possible to lower the voltage induced in the discharge part after the original operating point of the saturable reactor, so that stable discharge can be obtained and the life of the main discharge electrode can be extended.
【００３５】[0035]
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て詳細に説明する。 （第１の実施例）図１は、本発明の本発明によるパルス
レーザ発振装置の第１の実施例を示す電気回路図であ
り、図９と同一要素には同一符号を付してその説明を省
略し、ここでは異なる部分についてのみ述べる。Embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the drawings. (First Embodiment) FIG. 1 is an electric circuit diagram showing a first embodiment of a pulsed laser oscillator according to the present invention. The same elements as those in FIG. Is omitted and only different parts will be described here.
【００３６】すなわち、本実施例のパルスレーザ発振装
置は、図１に示すように、前記充電コンデンサ１ａ，１
ｂへの充電電流を流すための充電リアクトル２０を、放
電部１１と可飽和リアクトル２との間に、この放電部１
１と並列に接続した構成としている。That is, as shown in FIG. 1, the pulse laser oscillating device of this embodiment has the charging capacitors 1a and 1a.
The charging reactor 20 for supplying the charging current to the b is provided between the discharging unit 11 and the saturable reactor 2 by the discharging unit 1.
1 is connected in parallel.
【００３７】次に、以上のように構成した本実施例のパ
ルスレーザ発振装置においては、充電コンデンサ１ａ，
１ｂへの充電電流を流すための充電リアクトル２０を、
放電部１１と可飽和リアクトル２との間に、この放電部
１１と並列に接続していることにより、充電リアクトル
２０と充電コンデンサ１ａ，１ｂで作るループに可飽和
リアクトル２が含まれる。このため、循環ループ内のイ
ンダクタンス成分が、充電リアクトル２０と可飽和リア
クトル２の未飽和時の和となり、前述した従来例（図
９）に比べて大きくなる。Next, in the pulse laser oscillating device of the present embodiment configured as described above, the charging capacitors 1a,
The charging reactor 20 for supplying the charging current to 1b is
Since the discharging unit 11 and the saturable reactor 2 are connected in parallel with each other between the discharging unit 11 and the saturable reactor 2, the saturable reactor 2 is included in the loop formed by the charging reactor 20 and the charging capacitors 1a and 1b. Therefore, the inductance component in the circulation loop is the sum of the charging reactor 20 and the saturable reactor 2 when not saturated, which is larger than that in the conventional example (FIG. 9) described above.
【００３８】この結果、充電リアクトル２０、充電コン
デンサ１ａ，１ｂ、可飽和リアクトル２のループ内の循
環電流が流れに難くなる。さらに、この循環電流による
放電部１１への誘起電圧が、可飽和リアクトル２の未飽
和時のインダクタンスの値と充電リアクトル２０のイン
ダクタンスの値での両者で分担され、放電部１１への再
誘起電圧は充電リアクトル２０のインダクタンス分によ
るもののみとなる。As a result, the circulating current in the loop of the charging reactor 20, the charging capacitors 1a and 1b, and the saturable reactor 2 becomes difficult to flow. Furthermore, the induced voltage to the discharge unit 11 due to this circulating current is shared by both the value of the inductance of the saturable reactor 2 in the non-saturated state and the value of the inductance of the charging reactor 20, and the re-induced voltage to the discharge unit 11 is increased. Is only due to the inductance of the charging reactor 20.
【００３９】これにより、本来の可飽和リアクトル２の
動作点Ｘ１以降に放電部１１に誘起される電圧を低くす
ることが可能となり、この結果安定した放電が得られ、
主放電電極５の寿命を長くすることができる。As a result, it becomes possible to lower the voltage induced in the discharge section 11 after the original operating point X1 of the saturable reactor 2, and as a result, stable discharge can be obtained.
The life of the main discharge electrode 5 can be extended.
【００４０】なお、図２は、本実施例のパルスレーザ発
振装置における主放電電極間（Ｂ点）および充電コンデ
ンサ（Ａ点）の電圧波形の一例を示す図である。上述し
たように、本実施例では、直流電源３により、直列に接
続された２組の充電コンデンサ１ａ，１ｂを充電し、一
方の充電コンデンサ１ｂをスイッチ３０により放電さ
せ、他方の充電コンデンサ１ａと可飽和リアクトル２と
の接続点（Ａ点）に直流充電電圧のほぼ２倍のパルス状
の電圧を発生させ、かつこのパルス状の電圧を、可飽和
リアクトル２によりパルス整形して、レーザガス中に配
設された一対の主放電電極５およびこの主放電電極５と
並列に接続された予備電離紫外線発生用のピーキングコ
ンデンサ４から構成される放電部１１に印加するように
したパルスレーザ発振装置において、充電コンデンサ１
ａ，１ｂへの充電電流を流すための充電リアクトル２０
を当該放電部１１と並列に接続すると共に、その一側端
を放電部１１と可飽和リアクトル２との間に、他側端を
一方の充電コンデンサ１ｂの他方の充電コンデンサ１ａ
との接続側の他側と接続するようにしたものである。FIG. 2 is a diagram showing an example of voltage waveforms between the main discharge electrodes (point B) and the charging capacitor (point A) in the pulse laser oscillator of this embodiment. As described above, in this embodiment, the DC power supply 3 charges the two sets of charging capacitors 1a and 1b connected in series, one charging capacitor 1b is discharged by the switch 30, and the other charging capacitor 1a is discharged. A pulse voltage that is almost twice the DC charging voltage is generated at the connection point (point A) with the saturable reactor 2, and this pulse voltage is pulse-shaped by the saturable reactor 2 and put into the laser gas. In a pulse laser oscillation device adapted to be applied to a discharge section 11 composed of a pair of main discharge electrodes 5 arranged and a peaking capacitor 4 for generating preionized ultraviolet rays connected in parallel with the main discharge electrode 5, Charging capacitor 1
Charging reactor 20 for supplying charging current to a and 1b
Is connected in parallel to the discharging unit 11, one end of the charging capacitor is connected between the discharging unit 11 and the saturable reactor 2, and the other end is connected to one charging capacitor 1b and the other charging capacitor 1a.
The other side of the connection side with is connected.
【００４１】従って、本来の可飽和リアクトル２の動作
点Ｘ１以降に放電部１１に誘起される電圧を低くするこ
とができる、すなわち主放電消滅後の主放電電極５間の
反転再起電圧を少なくできるため、安定した放電を得
て、主放電電極５の寿命を長くすることが可能となる。Therefore, the voltage induced in the discharge part 11 after the original operating point X1 of the saturable reactor 2 can be lowered, that is, the re-inversion voltage between the main discharge electrodes 5 after the main discharge is extinguished can be reduced. Therefore, stable discharge can be obtained and the life of the main discharge electrode 5 can be extended.
【００４２】（第２の実施例）図３は、本発明の本発明
によるパルスレーザ発振装置の第２の実施例を示す電気
回路図であり、図９と同一要素には同一符号を付してそ
の説明を省略し、ここでは異なる部分についてのみ述べ
る。(Second Embodiment) FIG. 3 is an electric circuit diagram showing a second embodiment of the pulse laser oscillator according to the present invention. The same elements as those in FIG. 9 are designated by the same reference numerals. The description thereof will be omitted and only different parts will be described here.
【００４３】すなわち、本実施例のパルスレーザ発振装
置は、図３に示すように、前記充電コンデンサ１ａ，１
ｂへの充電電流を流すための充電リアクトル２０と限流
抵抗２１とを直列に接続した直列回路を、可飽和リアク
トル２と放電部１１と間に、この放電部１１と並列に接
続した構成としている。That is, as shown in FIG. 3, the pulse laser oscillator of the present embodiment has the charging capacitors 1a and 1a.
As a configuration in which a series circuit in which a charging reactor 20 for flowing a charging current to b and a current limiting resistor 21 are connected in series is connected between the saturable reactor 2 and the discharging unit 11 in parallel with the discharging unit 11. There is.
【００４４】次に、以上のように構成した本実施例のパ
ルスレーザ発振装置においては、充電コンデンサ１ａ，
１ｂへの充電電流を流すための充電リアクトル２０と限
流抵抗２１とを直列に接続した直列回路を、可飽和リア
クトル２と放電部１１と間に、この放電部１１と並列に
接続していることにより、充電リアクトル２０と充電コ
ンデンサ１ａ，１ｂで作るループに可飽和リアクトル
２、および限流抵抗２１が含まれる。このため、循環ル
ープ内のインダクタンス成分が増すと共に、抵抗分が付
加されるので、ループ中のインピーダンスが増す。Next, in the pulse laser oscillating device of this embodiment constructed as described above, the charging capacitors 1a,
A series circuit in which a charging reactor 20 for flowing a charging current to 1b and a current limiting resistor 21 are connected in series is connected between the saturable reactor 2 and the discharging unit 11 in parallel with the discharging unit 11. As a result, the saturable reactor 2 and the current limiting resistor 21 are included in the loop formed by the charging reactor 20 and the charging capacitors 1a and 1b. For this reason, the inductance component in the circulation loop increases and the resistance component is added, so that the impedance in the loop increases.
【００４５】この結果、上記ループの循環電流が流れに
難くなる。これにより、本来の可飽和リアクトル２の動
作点Ｘ１以降に放電部１１に誘起される電圧を低くする
ことが可能となり、この結果安定した放電が得られ、主
放電電極５の寿命を長くすることができる。As a result, it becomes difficult for the circulating current in the loop to flow. This makes it possible to reduce the voltage induced in the discharge section 11 after the operating point X1 of the original saturable reactor 2, and as a result, stable discharge can be obtained and the life of the main discharge electrode 5 can be extended. You can
【００４６】なお、図４は、本実施例のパルスレーザ発
振装置における主放電電極間（Ｂ点）および充電コンデ
ンサ（Ａ点）の電圧波形の一例を示す図である。さら
に、この場合、限流抵抗２１の値を概略以下の値とする
ことにより、上記循環電流がより一層制限されて流れに
難くなる。FIG. 4 is a diagram showing an example of voltage waveforms between the main discharge electrodes (point B) and the charging capacitor (point A) in the pulse laser oscillator of this embodiment. Furthermore, in this case, by setting the value of the current limiting resistor 21 to a value that is approximately equal to or less than the above value, the circulating current is further limited and it becomes difficult for the circulating current to flow.
【００４７】ここで、上記限流抵抗２１の値としては、
例えば概略以下のような値とする。 Ｒ＞２・（Ｌ／Ｃ１）1/2 但し、Ｒ；限流抵抗２１の値、Ｃ１；充電コンデンサ１
ａ，１ｂの直列合成静電容量、Ｌ；充電リアクトル２０
と可飽和リアクトル２の未飽和時のインダクタンス値の
和。Here, as the value of the current limiting resistor 21,
For example, the values are roughly as follows. R> 2 · (L / C1) 1/2 where R is the value of the current limiting resistor 21, C1 is the charging capacitor 1
a, 1b series combined capacitance, L; charging reactor 20
And the inductance value of saturable reactor 2 when it is not saturated.
【００４８】上述したように、本実施例では、直流電源
３により、直列に接続された２組の充電コンデンサ１
ａ，１ｂを充電し、一方の充電コンデンサ１ｂをスイッ
チ３０により放電させ、他方の充電コンデンサ１ａと可
飽和リアクトル２との接続点（Ａ点）に直流充電電圧の
ほぼ２倍のパルス状の電圧を発生させ、かつこのパルス
状の電圧を、可飽和リアクトル２によりパルス整形し
て、レーザガス中に配設された一対の主放電電極５およ
びこの主放電電極５と並列に接続された予備電離紫外線
発生用のピーキングコンデンサ４から構成される放電部
１１に印加するようにしたパルスレーザ発振装置におい
て、充電コンデンサ１ａ，１ｂへの充電電流を流すため
の充電リアクトル２０と限流抵抗２１とを直列に接続し
た直列回路を、可飽和リアクトル２と放電部１１と間
に、この放電部１１と並列に接続し、さらに上記限流抵
抗２１の値を、概略以下のような値とするようにしたも
のである。As described above, in this embodiment, the two sets of charging capacitors 1 connected in series are connected by the DC power supply 3.
a, 1b are charged, one of the charging capacitors 1b is discharged by the switch 30, and a pulsed voltage that is approximately twice the DC charging voltage is applied to the connection point (point A) between the other charging capacitor 1a and the saturable reactor 2. Is generated and the pulsed voltage is pulse-shaped by the saturable reactor 2, and a pair of main discharge electrodes 5 arranged in the laser gas and preionization ultraviolet rays connected in parallel with the main discharge electrode 5 are generated. In a pulse laser oscillator that is applied to a discharge section 11 composed of a peaking capacitor 4 for generation, a charging reactor 20 for flowing a charging current to the charging capacitors 1a and 1b and a current limiting resistor 21 are connected in series. The connected series circuit is connected between the saturable reactor 2 and the discharge unit 11 in parallel with the discharge unit 11, and the value of the current limiting resistor 21 is approximately equal to It is obtained as a value, such as.
【００４９】Ｒ＞２・（Ｌ／Ｃ１）1/2 但し、Ｒ；限流抵抗２１の値、Ｃ１；充電コンデンサ１
ａ，１ｂの直列合成静電容量、Ｌ；充電リアクトル２０
と可飽和リアクトル２の未飽和時のインダクタンス値の
和。R> 2 · (L / C1) 1/2 where R is the value of the current limiting resistor 21, C1 is the charging capacitor 1
a, 1b series combined capacitance, L; charging reactor 20
And the inductance value of saturable reactor 2 when it is not saturated.
【００５０】従って、本来の可飽和リアクトル２の動作
点Ｘ１以降に放電部１１に誘起される電圧を低くするこ
とができる、すなわち主放電消滅後の主放電電極５間の
反転再起電圧を少なくできるため、安定した放電を得
て、主放電電極５の寿命を長くすることが可能となる。Therefore, the voltage induced in the discharge section 11 after the original operating point X1 of the saturable reactor 2 can be lowered, that is, the reversal re-initiated voltage between the main discharge electrodes 5 after the main discharge is extinguished can be reduced. Therefore, stable discharge can be obtained and the life of the main discharge electrode 5 can be extended.
【００５１】（第３の実施例）図５は、本発明の本発明
によるパルスレーザ発振装置の第３の実施例を示す電気
回路図であり、図９と同一要素には同一符号を付してそ
の説明を省略し、ここでは異なる部分についてのみ述べ
る。(Third Embodiment) FIG. 5 is an electric circuit diagram showing a third embodiment of the pulsed laser oscillator according to the present invention. The same elements as those in FIG. 9 are designated by the same reference numerals. The description thereof will be omitted and only different parts will be described here.
【００５２】すなわち、本実施例のパルスレーザ発振装
置は、図５に示すように、前記充電コンデンサ１ａ，１
ｂへの充電電流を流すための充電リアクトル２０を、放
電部１１と可飽和リアクトル２との間に、この放電部１
１と並列に接続し、かつダイオード２２とダイオード用
限流抵抗２３とを直列にした直列回路を、放電部１１と
並列に接続した構成としている。That is, as shown in FIG. 5, the pulse laser oscillating device of this embodiment has the charging capacitors 1a and 1a.
The charging reactor 20 for supplying the charging current to the b is provided between the discharging unit 11 and the saturable reactor 2 by the discharging unit 1.
1 is connected in parallel, and the diode 22 and the diode current limiting resistor 23 are connected in series to form a series circuit connected in parallel to the discharge unit 11.
【００５３】次に、以上のように構成した本実施例のパ
ルスレーザ発振装置においては、充電コンデンサ１ａ，
１ｂへの充電電流を流すための充電リアクトル２０を、
放電部１１と可飽和リアクトル２との間に、この放電部
１１と並列に接続し、かつダイオード２２とダイオード
用限流抵抗２３とを直列にした直列回路を、放電部１１
と並列に接続していることにより、充電リアクトル２０
と充電コンデンサ１ａ，１ｂで作るループに可飽和リア
クトル２が含まれる。このため、循環ループ内のインダ
クタンス成分が増す。Next, in the pulse laser oscillator of the present embodiment having the above-mentioned configuration, the charging capacitors 1a,
The charging reactor 20 for supplying the charging current to 1b is
Between the discharge unit 11 and the saturable reactor 2, a series circuit connected in parallel with the discharge unit 11 and including a diode 22 and a diode current limiting resistor 23 in series is provided.
By connecting in parallel with the charging reactor 20
The saturable reactor 2 is included in the loop formed by the charging capacitors 1a and 1b. Therefore, the inductance component in the circulation loop increases.
【００５４】この結果、上記循環電流が流れに難くな
る。さらに、ダイオード２２が放電部１１と並列に入っ
ているので、逆方向の誘起電圧はほぼ零とすることがで
きる。As a result, it becomes difficult for the circulating current to flow. Further, since the diode 22 is arranged in parallel with the discharging unit 11, the induced voltage in the reverse direction can be made almost zero.
【００５５】これにより、本来の可飽和リアクトル２の
動作点Ｘ１以降に放電部１１に誘起される電圧を低くす
ることが可能となり、この結果安定した放電が得られ、
主放電電極５の寿命を長くすることができる。This makes it possible to reduce the voltage induced in the discharge section 11 after the original operating point X1 of the saturable reactor 2, and as a result, stable discharge can be obtained.
The life of the main discharge electrode 5 can be extended.
【００５６】なお、図６は、本実施例のパルスレーザ発
振装置における主放電電極間（Ｂ点）および充電コンデ
ンサ（Ａ点）の電圧波形の一例を示す図である。さら
に、この場合、ダイオード用限流抵抗２３の値を概略以
下の値とすることにより、上記循環ループ内のエネルギ
ーを抵抗で消費できるので、本来の可飽和リアクトル２
の動作点Ｘ１以降に放電部１１に誘起される電圧を、よ
り一層低くすることができる。FIG. 6 is a diagram showing an example of voltage waveforms between the main discharge electrodes (point B) and the charging capacitor (point A) in the pulse laser oscillator of this embodiment. Further, in this case, the energy in the circulation loop can be consumed by the resistance by setting the value of the diode current limiting resistance 23 to a value substantially equal to or less than the value, so that the original saturable reactor 2
The voltage induced in the discharge unit 11 after the operating point X1 can be further reduced.
【００５７】ここで、特に上記ダイオード用限流抵抗２
３の値としては、例えば概略以下のような値とする。 Ｒｄ＝２・（Ｌｕ／Ｃ１）1/2 但し、Ｒｄ；ダイオード用限流抵抗２３の値、Ｃ１；充
電コンデンサ１ａ，１ｂの直列合成静電容量、Ｌｕ；可
飽和リアクトル２の未飽和時のインダクタンス値。Here, in particular, the current limiting resistor 2 for the diode is used.
The value of 3 is, for example, approximately as follows. Rd = 2 · (Lu / C1) 1/2 where Rd is the value of the diode current limiting resistor 23, C1 is the series combined capacitance of the charging capacitors 1a and 1b, Lu is the saturable reactor 2 when it is not saturated. Inductance value.
【００５８】上述したように、本実施例では、直流電源
３により、直列に接続された２組の充電コンデンサ１
ａ，１ｂを充電し、一方の充電コンデンサ１ｂをスイッ
チ３０により放電させ、他方の充電コンデンサ１ａと可
飽和リアクトル２との接続点（Ａ点）に直流充電電圧の
ほぼ２倍のパルス状の電圧を発生させ、かつこのパルス
状の電圧を、可飽和リアクトル２によりパルス整形し
て、レーザガス中に配設された一対の主放電電極５およ
びこの主放電電極５と並列に接続された予備電離紫外線
発生用のピーキングコンデンサ４から構成される放電部
１１に印加するようにしたパルスレーザ発振装置におい
て、充電コンデンサ１ａ，１ｂへの充電電流を流すため
の充電リアクトル２０を、放電部１１と可飽和リアクト
ル２との間に、この放電部１１と並列に接続し、かつダ
イオード２２とダイオード用限流抵抗２３とを直列にし
た直列回路を、放電部１１と並列に接続し、さらに上記
ダイオード用限流抵抗２３の値を、概略以下のような値
とするようにしたものである。As described above, in this embodiment, the two sets of charging capacitors 1 connected in series are connected by the DC power supply 3.
a, 1b are charged, one of the charging capacitors 1b is discharged by the switch 30, and a pulsed voltage that is approximately twice the DC charging voltage is applied to the connection point (point A) between the other charging capacitor 1a and the saturable reactor 2. Is generated and the pulsed voltage is pulse-shaped by the saturable reactor 2, and a pair of main discharge electrodes 5 arranged in the laser gas and preionization ultraviolet rays connected in parallel with the main discharge electrode 5 are generated. In a pulse laser oscillator that is applied to a discharge unit 11 composed of a peaking capacitor 4 for generation, a charging reactor 20 for supplying a charging current to the charging capacitors 1a and 1b is provided with a discharging unit 11 and a saturable reactor. 2 is connected in parallel with the discharge unit 11, and a series circuit in which a diode 22 and a diode current limiting resistor 23 are connected in series is discharged. 11 and connected in parallel, in which further the value of the diode for current limiting resistor 23, and to a value as follows schematic.
【００５９】Ｒｄ＝２・（Ｌｕ／Ｃ１）1/2 但し、Ｒｄ；ダイオード用限流抵抗２３の値、Ｃ１；充
電コンデンサ１ａ，１ｂの直列合成静電容量、Ｌｕ；可
飽和リアクトル２の未飽和時のインダクタンス値。Rd = 2 (Lu / C1) 1/2 where Rd is the value of the diode current limiting resistor 23, C1 is the series combined capacitance of the charging capacitors 1a and 1b, Lu is the saturable reactor 2 Inductance value at saturation.
【００６０】従って、本来の可飽和リアクトル２の動作
点Ｘ１以降に放電部１１に誘起される電圧を低くするこ
とができる、すなわち主放電消滅後の主放電電極５間の
反転再起電圧を少なくできるため、安定した放電を得
て、主放電電極５の寿命を長くすることが可能となる。Therefore, the voltage induced in the discharge section 11 after the original operating point X1 of the saturable reactor 2 can be lowered, that is, the reversal re-initiated voltage between the main discharge electrodes 5 after the main discharge is extinguished can be reduced. Therefore, stable discharge can be obtained and the life of the main discharge electrode 5 can be extended.
【００６１】（第４の実施例）図７は、本発明の本発明
によるパルスレーザ発振装置の第４の実施例を示す電気
回路図であり、図９と同一要素には同一符号を付してそ
の説明を省略し、ここでは異なる部分についてのみ述べ
る。(Fourth Embodiment) FIG. 7 is an electric circuit diagram showing a fourth embodiment of the pulse laser oscillator according to the present invention. The same elements as those in FIG. 9 are designated by the same reference numerals. The description thereof will be omitted and only different parts will be described here.
【００６２】すなわち、本実施例のパルスレーザ発振装
置は、図７に示すように、前記充電コンデンサ１ａ，１
ｂへの充電電流を流すための充電リアクトル２０と限流
抵抗２１とを直列に接続した直列回路を、可飽和リアク
トル２と放電部１１と間に、この放電部１１と並列に接
続し、かつダイオード２２とダイオード用限流抵抗２３
とを直列にした直列回路を、放電部１１と並列に接続し
た構成としている。That is, as shown in FIG. 7, the pulse laser oscillating device of this embodiment has the charging capacitors 1a and 1a.
A series circuit in which a charging reactor 20 for flowing a charging current to b and a current limiting resistor 21 are connected in series is connected between the saturable reactor 2 and the discharging unit 11 in parallel with the discharging unit 11, and Diode 22 and current limiting resistor 23 for diode
A series circuit in which and are connected in series is connected to the discharge unit 11 in parallel.
【００６３】次に、以上のように構成した本実施例のパ
ルスレーザ発振装置においては、充電コンデンサ１ａ，
１ｂへの充電電流を流すための充電リアクトル２０と限
流抵抗２１とを直列に接続した直列回路を、可飽和リア
クトル２と放電部１１と間に、この放電部１１と並列に
接続し、かつダイオード２２とダイオード用限流抵抗２
３とを直列にした直列回路を、放電部１１と並列に接続
していることにより、充電リアクトル２０と充電コンデ
ンサ１ａ，１ｂで作るループに可飽和リアクトル２、お
よび限流抵抗２１が含まれる。このため、循環ループ内
のインダクタンス成分が増すと共に抵抗分が付加される
ので、ループ中のインピーダンスが増す。Next, in the pulse laser oscillator of the present embodiment having the above-mentioned configuration, the charging capacitors 1a,
A series circuit in which a charging reactor 20 for flowing a charging current to 1b and a current limiting resistor 21 are connected in series is connected between the saturable reactor 2 and the discharging unit 11 in parallel with the discharging unit 11, and Diode 22 and current limiting resistor 2 for diode
By connecting the series circuit in which 3 is connected in series with the discharging unit 11, the saturable reactor 2 and the current limiting resistor 21 are included in the loop formed by the charging reactor 20 and the charging capacitors 1a and 1b. Therefore, the inductance component in the circulation loop increases and the resistance component is added, so that the impedance in the loop increases.
【００６４】この結果、上記循環電流が流れに難くな
る。さらに、ダイオード２２が放電部１１と並列に入っ
ているので、逆方向の誘起電圧はほぼ零とすることがで
きる。As a result, it becomes difficult for the circulating current to flow. Further, since the diode 22 is arranged in parallel with the discharging unit 11, the induced voltage in the reverse direction can be made almost zero.
【００６５】これにより、本来の可飽和リアクトル２の
動作点Ｘ１以降に放電部１１に誘起される電圧を低くす
ることが可能となり、この結果安定した放電が得られ、
主放電電極５の寿命を長くすることができる。As a result, it is possible to reduce the voltage induced in the discharge section 11 after the operating point X1 of the original saturable reactor 2, and as a result, stable discharge can be obtained.
The life of the main discharge electrode 5 can be extended.
【００６６】なお、図８は、本実施例のパルスレーザ発
振装置における主放電電極間（Ｂ点）および充電コンデ
ンサ（Ａ点）の電圧波形の一例を示す図である。さら
に、この場合、限流抵抗２１の値を概略以下の値とする
ことにより、上記循環電流がより一層制限されて流れに
難くなる。FIG. 8 is a diagram showing an example of voltage waveforms between the main discharge electrodes (point B) and the charging capacitor (point A) in the pulse laser oscillator of this embodiment. Furthermore, in this case, by setting the value of the current limiting resistor 21 to a value that is approximately equal to or less than the above value, the circulating current is further limited and it becomes difficult for the circulating current to flow.
【００６７】ここで、上記限流抵抗２１の値としては、
例えば概略以下のような値とする。 Ｒ＞２・（Ｌ／Ｃ１）1/2 但し、Ｒ；限流抵抗２１の値、Ｃ１；充電コンデンサ１
ａ，１ｂの直列合成静電容量、Ｌ；充電リアクトル２０
と可飽和リアクトル２の未飽和時のインダクタンス値の
和。Here, as the value of the current limiting resistance 21,
For example, the values are roughly as follows. R> 2 · (L / C1) 1/2 where R is the value of the current limiting resistor 21, C1 is the charging capacitor 1
a, 1b series combined capacitance, L; charging reactor 20
And the inductance value of saturable reactor 2 when it is not saturated.
【００６８】また、ダイオード用限流抵抗２３の値を概
略以下の値とすることにより、上記充電コンデンサ１
ａ，１ｂ、可飽和リアクトル２、ダイオード２２、ダイ
オード用限流抵抗２３のループ内の循環電流のエネルギ
ーをダイオード用限流抵抗２３で消費できるので、本来
の可飽和リアクトル２の動作点Ｘ１以降に放電部１１に
誘起される電圧を、より一層低くすることができる。Further, by setting the value of the diode current limiting resistor 23 to approximately the value below, the charging capacitor 1
a, 1b, the saturable reactor 2, the diode 22, the energy of the circulating current in the loop of the diode current limiting resistor 23 can be consumed by the diode current limiting resistor 23, so that after the operating point X1 of the original saturable reactor 2 The voltage induced in the discharge part 11 can be further reduced.
【００６９】ここで、上記ダイオード用限流抵抗２３の
値としては、例えば概略以下のような値とする。 Ｒｄ＝２・（Ｌｕ／Ｃ１）1/2 但し、Ｒｄ；ダイオード用限流抵抗２３の値、Ｃ１；充
電コンデンサ１ａ，１ｂの直列合成静電容量、Ｌｕ；可
飽和リアクトル２の未飽和時のインダクタンス値。Here, the value of the diode current limiting resistor 23 is set to, for example, the following values. Rd = 2 · (Lu / C1) 1/2 where Rd is the value of the diode current limiting resistor 23, C1 is the series combined capacitance of the charging capacitors 1a and 1b, Lu is the saturable reactor 2 when it is not saturated. Inductance value.
【００７０】上述したように、本実施例では、直流電源
３により、直列に接続された２組の充電コンデンサ１
ａ，１ｂを充電し、一方の充電コンデンサ１ｂをスイッ
チ３０により放電させ、他方の充電コンデンサ１ａと可
飽和リアクトル２との接続点（Ａ点）に直流充電電圧の
ほぼ２倍のパルス状の電圧を発生させ、かつこのパルス
状の電圧を、可飽和リアクトル２によりパルス整形し
て、レーザガス中に配設された一対の主放電電極５およ
びこの主放電電極５と並列に接続された予備電離紫外線
発生用のピーキングコンデンサ４から構成される放電部
１１に印加するようにしたパルスレーザ発振装置におい
て、充電コンデンサ１ａ，１ｂへの充電電流を流すため
の充電リアクトル２０と限流抵抗２１とを直列に接続し
た直列回路を、可飽和リアクトル２と放電部１１と間
に、この放電部１１と並列に接続し、かつダイオード２
２とダイオード用限流抵抗２３とを直列にした直列回路
を、放電部１１と並列に接続し、さらに上記限流抵抗２
１の値、およびダイオード用限流抵抗２３の値を、それ
ぞれ概略以下のような値とするようにしたものである。As described above, in this embodiment, the two sets of charging capacitors 1 connected in series by the DC power supply 3 are used.
a, 1b are charged, one of the charging capacitors 1b is discharged by the switch 30, and a pulsed voltage that is approximately twice the DC charging voltage is applied to the connection point (point A) between the other charging capacitor 1a and the saturable reactor 2. Is generated and the pulsed voltage is pulse-shaped by the saturable reactor 2, and a pair of main discharge electrodes 5 arranged in the laser gas and preionization ultraviolet rays connected in parallel with the main discharge electrode 5 are generated. In a pulse laser oscillator that is applied to a discharge section 11 composed of a peaking capacitor 4 for generation, a charging reactor 20 for flowing a charging current to the charging capacitors 1a and 1b and a current limiting resistor 21 are connected in series. The connected series circuit is connected between the saturable reactor 2 and the discharge unit 11 in parallel with the discharge unit 11, and the diode 2 is connected.
2 and a diode current limiting resistor 23 in series, a series circuit is connected in parallel with the discharge unit 11, and the current limiting resistor 2
The value of 1 and the value of the diode current limiting resistance 23 are set to the following values.
【００７１】Ｒ＞２・（Ｌ／Ｃ１）1/2 但し、Ｒ；限流抵抗２１の値、Ｃ１；充電コンデンサ１
ａ，１ｂの直列合成静電容量、Ｌ；充電リアクトル２０
と可飽和リアクトル２の未飽和時のインダクタンス値の
和。R> 2 · (L / C1) 1/2 where R is the value of the current limiting resistor 21, C1 is the charging capacitor 1
a, 1b series combined capacitance, L; charging reactor 20
And the inductance value of saturable reactor 2 when it is not saturated.
【００７２】Ｒｄ＝２・（Ｌｕ／Ｃ１）1/2 但し、Ｒｄ；ダイオード用限流抵抗２３の値、Ｃ１；充
電コンデンサ１ａ，１ｂの直列合成静電容量、Ｌｕ；可
飽和リアクトル２の未飽和時のインダクタンス値。Rd = 2 (Lu / C1) 1/2 where Rd is the value of the diode current limiting resistor 23, C1 is the series combined capacitance of the charging capacitors 1a and 1b, Lu is the saturable reactor 2 Inductance value at saturation.
【００７３】従って、本来の可飽和リアクトル２の動作
点Ｘ１以降に放電部１１に誘起される電圧を低くするこ
とができる、すなわち主放電消滅後の主放電電極５間の
反転再起電圧を少なくできるため、安定した放電を得
て、主放電電極５の寿命を長くすることが可能となる。Therefore, the voltage induced in the discharge part 11 after the original operating point X1 of the saturable reactor 2 can be lowered, that is, the re-inversion voltage between the main discharge electrodes 5 after the main discharge is extinguished can be reduced. Therefore, stable discharge can be obtained and the life of the main discharge electrode 5 can be extended.
【００７４】尚、上記第２ないし第４の各実施例では、
限流抵抗２１の値、およびダイオード用限流抵抗２３の
値を、それぞれ前述のような値とする場合について説明
したが、これは本発明に必要不可欠な条件ではない。In each of the second to fourth embodiments,
The case where the value of the current limiting resistor 21 and the value of the diode current limiting resistor 23 are set to the above-described values has been described, but this is not an essential condition for the present invention.
【００７５】[0075]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、直
流電源により、直列に接続された２組の充電コンデンサ
を充電し、一方の充電コンデンサをスイッチにより放電
させ、他方の充電コンデンサと可飽和リアクトルとの接
続点に直流充電電圧のほぼ２倍のパルス状の電圧を発生
させ、かつ当該パルス状の電圧を可飽和リアクトルによ
りパルス整形して、レーザガス中に配設された一対の主
放電電極および当該主放電電極と並列に接続された予備
電離紫外線発生用のコンデンサから構成される放電部に
印加するようにしたパルスレーザ発振装置において、充
電コンデンサへの充電電流を流すための充電リアクトル
を当該放電部と並列に接続すると共に、その一側端を放
電部と可飽和リアクトルとの間に、他側端を一方の充電
コンデンサの他方の充電コンデンサとの接続側の他側と
接続するか、または充電コンデンサへの充電電流を流す
ための充電リアクトルと限流抵抗とを直列に接続した直
列回路を、可飽和リアクトルと放電部と間に、当該放電
部と並列に接続するか、あるいは充電コンデンサへの充
電電流を流すための充電リアクトルを、放電部と可飽和
リアクトルとの間に、当該放電部と並列に接続し、かつ
ダイオードとダイオード用限流抵抗とを直列にした直列
回路を、放電部と並列に接続するか、もしくは充電コン
デンサへの充電電流を流すための充電リアクトルと限流
抵抗とを直列に接続した直列回路を、可飽和リアクトル
と放電部と間に、当該放電部と並列に接続し、かつダイ
オードとダイオード用限流抵抗とを直列にした直列回路
を、放電部と並列に接続するようにしたので、主放電消
滅後の主放電電極間の反転再起電圧を少なくし、安定し
た放電を得て主放電電極の長寿命化を図ることが可能な
パルスレーザ発振装置が提供できる。As described above, according to the present invention, two sets of charging capacitors connected in series are charged by a DC power source, one charging capacitor is discharged by a switch, and the other charging capacitor can be connected. A pair of main discharges disposed in the laser gas are generated by generating a pulsed voltage that is almost twice the DC charging voltage at the connection point with the saturated reactor, and shaping the pulsed voltage with a saturable reactor. In a pulse laser oscillator that is configured to be applied to a discharge part composed of an electrode and a capacitor for generating preionized ultraviolet rays connected in parallel with the main discharge electrode, a charging reactor for supplying a charging current to a charging capacitor is provided. It is connected in parallel with the discharge part, and one end of the charge capacitor is connected between the discharge part and the saturable reactor, and the other end of the charge capacitor is connected to the other end of the charge capacitor. Connect a series circuit that connects to the other side of the side that connects to the charging capacitor, or connects a charging reactor and a current limiting resistor for flowing the charging current to the charging capacitor in series between the saturable reactor and the discharge part. , Connecting in parallel with the discharging section, or connecting a charging reactor for flowing a charging current to the charging capacitor between the discharging section and the saturable reactor in parallel with the discharging section, and connecting a diode and a diode. A series circuit in which a current limiting resistor is connected in series is connected in parallel with the discharge section, or a series circuit in which a charging reactor for flowing a charging current to a charging capacitor and a current limiting resistor are connected in series is possible. Between the saturation reactor and the discharge part, connect the discharge part in parallel, and connect the diode and the diode current-limiting resistance in series so that the series circuit is connected in parallel with the discharge part. Since, to reduce the inversion recovery voltage between the main discharge electrodes after the main discharge extinction, stable discharge pulse laser oscillator capable to prolong the life of the main discharge electrodes to obtain can be provided.
【図１】本発明によるパルスレーザ発振装置の第１の実
施例を示す電気回路図。FIG. 1 is an electric circuit diagram showing a first embodiment of a pulsed laser oscillator according to the present invention.
【図２】同第１の実施例のパルスレーザ発振装置におけ
る放電部および充電コンデンサの電圧波形の一例を示す
図。FIG. 2 is a diagram showing an example of voltage waveforms of a discharge part and a charging capacitor in the pulse laser oscillator of the first embodiment.
【図３】本発明によるパルスレーザ発振装置の第２の実
施例を示す電気回路図。FIG. 3 is an electric circuit diagram showing a second embodiment of the pulsed laser oscillator according to the present invention.
【図４】同第２の実施例のパルスレーザ発振装置におけ
る放電部および充電コンデンサの電圧波形の一例を示す
図。FIG. 4 is a diagram showing an example of voltage waveforms of a discharge part and a charging capacitor in the pulse laser oscillator of the second embodiment.
【図５】本発明によるパルスレーザ発振装置の第３の実
施例を示す電気回路図。FIG. 5 is an electric circuit diagram showing a third embodiment of the pulsed laser oscillator according to the present invention.
【図６】同第３の実施例のパルスレーザ発振装置におけ
る放電部および充電コンデンサの電圧波形の一例を示す
図。FIG. 6 is a diagram showing an example of voltage waveforms of a discharge part and a charging capacitor in the pulse laser oscillator of the third embodiment.
【図７】本発明によるパルスレーザ発振装置の第４の実
施例を示す電気回路図。FIG. 7 is an electric circuit diagram showing a fourth embodiment of the pulsed laser oscillator according to the present invention.
【図８】同第４の実施例のパルスレーザ発振装置におけ
る放電部および充電コンデンサの電圧波形の一例を示す
図。FIG. 8 is a diagram showing an example of voltage waveforms of a discharge portion and a charging capacitor in the pulse laser oscillator of the fourth embodiment.
【図９】従来のパルスレーザ発振装置の一例を示す電気
回路図。FIG. 9 is an electric circuit diagram showing an example of a conventional pulsed laser oscillator.
【図１０】同従来のパルスレーザ発振装置における主放
電電極間および充電コンデンサの電圧波形の一例を示す
図。FIG. 10 is a diagram showing an example of voltage waveforms between main discharge electrodes and a charging capacitor in the conventional pulse laser oscillator.
１ａ，１ｂ…充電コンデンサ、２…可飽和リアクトル、
３…直流電源、４…ピーキングコンデンサ、５…主放電
電極、６…主放電空間、７…予備電離ギャップ、８…ア
ーク放電時の電圧波形、９…主放電維持時間、１１…放
電部、２０…充電リアクトル、２１…限流抵抗、２２…
ダイオード、２３…ダイオード用限流抵抗、２５…充電
インピーダンス、３０…スイッチ、３１…スイッチ用リ
アクトル。1a, 1b ... Charging capacitors, 2 ... Saturable reactor,
3 ... DC power supply, 4 ... Peaking capacitor, 5 ... Main discharge electrode, 6 ... Main discharge space, 7 ... Pre-ionization gap, 8 ... Voltage waveform during arc discharge, 9 ... Main discharge maintaining time, 11 ... Discharge part, 20 ... Charging reactor, 21 ... Current limiting resistance, 22 ...
Diode, 23 ... Current limiting resistance for diode, 25 ... Charging impedance, 30 ... Switch, 31 ... Reactor for switch.
Claims (7)
の充電コンデンサを充電し、前記一方の充電コンデンサ
をスイッチにより放電させ、前記他方の充電コンデンサ
と可飽和リアクトルとの接続点に前記直流充電電圧のほ
ぼ２倍のパルス状の電圧を発生させ、かつ当該パルス状
の電圧を可飽和リアクトルによりパルス整形して、レー
ザガス中に配設された一対の主放電電極および当該主放
電電極と並列に接続された予備電離紫外線発生用のコン
デンサから構成される放電部に印加するようにしたパル
スレーザ発振装置において、 前記充電コンデンサへの充電電流を流すための充電リア
クトルを当該放電部と並列に接続すると共に、その一側
端を前記放電部と可飽和リアクトルとの間に、他側端を
前記一方の充電コンデンサの前記他方の充電コンデンサ
との接続側の他側と接続して成ることを特徴とするパル
スレーザ発振装置。1. A DC power supply charges two sets of charging capacitors connected in series, one of the charging capacitors is discharged by a switch, and the DC is connected to a connection point between the other charging capacitor and a saturable reactor. A pulsed voltage that is almost twice the charging voltage is generated, and the pulsed voltage is pulse-shaped by a saturable reactor, and the pair of main discharge electrodes arranged in the laser gas and the main discharge electrode are arranged in parallel. In a pulse laser oscillation device adapted to be applied to a discharge unit composed of a capacitor for generating preionized ultraviolet rays connected to, a charging reactor for flowing a charging current to the charging capacitor is connected in parallel with the discharging unit. In addition, one end of the charging capacitor is charged between the discharging unit and the saturable reactor, and the other end is charged by the other charging end of the one charging capacitor. Pulsed laser oscillation apparatus characterized by comprising connecting the other side of the connection side of the capacitor.
の充電コンデンサを充電し、前記一方の充電コンデンサ
をスイッチにより放電させ、前記他方の充電コンデンサ
と可飽和リアクトルとの接続点に前記直流充電電圧のほ
ぼ２倍のパルス状の電圧を発生させ、かつ当該パルス状
の電圧を可飽和リアクトルによりパルス整形して、レー
ザガス中に配設された一対の主放電電極および当該主放
電電極と並列に接続された予備電離紫外線発生用のコン
デンサから構成される放電部に印加するようにしたパル
スレーザ発振装置において、 前記充電コンデンサへの充電電流を流すための充電リア
クトルと限流抵抗とを直列に接続した直列回路を、前記
可飽和リアクトルと放電部と間に、当該放電部と並列に
接続して成ることを特徴とするパルスレーザ発振装置。2. A DC power source charges two sets of charging capacitors connected in series, one of the charging capacitors is discharged by a switch, and the DC voltage is applied to a connection point between the other charging capacitor and a saturable reactor. A pulsed voltage that is almost twice the charging voltage is generated, and the pulsed voltage is pulse-shaped by a saturable reactor, and the pair of main discharge electrodes arranged in the laser gas and the main discharge electrode are arranged in parallel. In a pulse laser oscillation device adapted to be applied to a discharge part composed of a capacitor for generating preionized ultraviolet rays connected to, a charging reactor and a current limiting resistor for flowing a charging current to the charging capacitor are connected in series. A pulse laser characterized in that a connected series circuit is connected between the saturable reactor and the discharge part in parallel with the discharge part. Vibration apparatus.
ような値としたことを特徴とする請求項２に記載のパル
スレーザ発振装置。 Ｒ＞２・（Ｌ／Ｃ１）1/2 但し、 Ｒ ；限流抵抗の値 Ｃ１；充電コンデンサの直列合成静電容量 Ｌ ；充電リアクトルと可飽和リアクトルの未飽和時の
インダクタンス値の和3. The pulse laser oscillator according to claim 2, wherein the value of the current limiting resistance is set to the following value. R> 2 · (L / C1) 1/2 where R is the value of the current limiting resistance C1 is the series combined capacitance of the charging capacitors L is the sum of the inductance values of the charging reactor and the saturable reactor when it is not saturated
の充電コンデンサを充電し、前記一方の充電コンデンサ
をスイッチにより放電させ、前記他方の充電コンデンサ
と可飽和リアクトルとの接続点に前記直流充電電圧のほ
ぼ２倍のパルス状の電圧を発生させ、かつ当該パルス状
の電圧を可飽和リアクトルによりパルス整形して、レー
ザガス中に配設された一対の主放電電極および当該主放
電電極と並列に接続された予備電離紫外線発生用のコン
デンサから構成される放電部に印加するようにしたパル
スレーザ発振装置において、 前記充電コンデンサへの充電電流を流すための充電リア
クトルを、前記放電部と可飽和リアクトルとの間に、当
該放電部と並列に接続し、 かつダイオードとダイオード用限流抵抗とを直列にした
直列回路を、前記放電部と並列に接続して成ることを特
徴とするパルスレーザ発振装置。4. A direct current power source charges two sets of charging capacitors connected in series, one of the charging capacitors is discharged by a switch, and the direct current is applied to a connection point between the other charging capacitor and a saturable reactor. A pulsed voltage that is almost twice the charging voltage is generated, and the pulsed voltage is pulse-shaped by a saturable reactor, and the pair of main discharge electrodes arranged in the laser gas and the main discharge electrode are arranged in parallel. In a pulse laser oscillator configured to be applied to a discharge part composed of a capacitor for generating preionized ultraviolet rays connected to a charging reactor, a charging reactor for flowing a charging current to the charging capacitor is saturable with the discharging part. Between the reactor and the discharge unit, connected in parallel, and a series circuit in which a diode and a diode current limiting resistance are connected in series, Pulsed laser oscillation apparatus characterized by comprising connected in parallel with the conductive portion.
は、概略以下のような値としたことを特徴とする請求項
４に記載のパルスレーザ発振装置。 Ｒｄ＝２・（Ｌｕ／Ｃ１）1/2 但し、 Ｒｄ ；ダイオード用限流抵抗の値 Ｃ１；充電コンデンサの直列合成静電容量 Ｌｕ；可飽和リアクトルの未飽和時のインダクタンス値5. The pulse laser oscillator according to claim 4, wherein the value of the current limiting resistance for the diode is approximately as follows. Rd = 2 · (Lu / C1) 1/2 where Rd is the value of the current limiting resistance for the diode C1 is the series combined capacitance of the charging capacitors Lu is the inductance value of the saturable reactor when it is not saturated
の充電コンデンサを充電し、前記一方の充電コンデンサ
をスイッチにより放電させ、前記他方の充電コンデンサ
と可飽和リアクトルとの接続点に前記直流充電電圧のほ
ぼ２倍のパルス状の電圧を発生させ、かつ当該パルス状
の電圧を可飽和リアクトルによりパルス整形して、レー
ザガス中に配設された一対の主放電電極および当該主放
電電極と並列に接続された予備電離紫外線発生用のコン
デンサから構成される放電部に印加するようにしたパル
スレーザ発振装置において、 前記充電コンデンサへの充電電流を流すための充電リア
クトルと限流抵抗とを直列に接続した直列回路を、前記
可飽和リアクトルと放電部と間に、当該放電部と並列に
接続し、 かつダイオードとダイオード用限流抵抗とを直列にした
直列回路を、前記放電部と並列に接続して成ることを特
徴とするパルスレーザ発振装置。6. A DC power supply charges two sets of charging capacitors connected in series, one of the charging capacitors is discharged by a switch, and the DC is connected to a connection point between the other charging capacitor and a saturable reactor. A pulsed voltage that is almost twice the charging voltage is generated, and the pulsed voltage is pulse-shaped by a saturable reactor, and the pair of main discharge electrodes arranged in the laser gas and the main discharge electrode are arranged in parallel. In a pulse laser oscillation device adapted to be applied to a discharge part composed of a capacitor for generating preionized ultraviolet rays connected to, a charging reactor and a current limiting resistor for flowing a charging current to the charging capacitor are connected in series. Connect the connected series circuit between the saturable reactor and the discharge part in parallel with the discharge part, and connect the diode and the diode current limiter. A series circuit in which the anti-capital in series, a pulse laser oscillator, characterized in that formed by connecting in parallel to the discharge portion.
限流抵抗の値としては、それぞれ概略以下のような値と
したことを特徴とする請求項６に記載のパルスレーザ発
振装置。 Ｒ＞２・（Ｌ／Ｃ１）1/2 但し、 Ｒ ；限流抵抗の値 Ｃ１；充電コンデンサの直列合成静電容量 Ｌ ；充電リアクトルと可飽和リアクトルの未飽和時の
インダクタンス値の和 Ｒｄ＝２・（Ｌｕ／Ｃ１）1/2 但し、 Ｒｄ ；ダイオード用限流抵抗の値 Ｃ１；充電コンデンサの直列合成静電容量 Ｌｕ；可飽和リアクトルの未飽和時のインダクタンス値7. The pulsed laser oscillator according to claim 6, wherein the value of the current limiting resistance and the value of the current limiting resistance for the diode are approximately as follows. R> 2 · (L / C1) 1/2 where R is the value of the current limiting resistance C1 is the series combined capacitance of the charging capacitor L is the sum of the inductance values of the charging reactor and the saturable reactor when it is not saturated Rd = 2 · (Lu / C1) 1/2 where Rd is the value of the current limiting resistance for diode C1 is the series combined capacitance of the charging capacitor Lu is the inductance value of the saturable reactor when it is not saturated
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16148694A JPH0832158A (en) | 1994-07-13 | 1994-07-13 | Pulse laser oscillation device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16148694A JPH0832158A (en) | 1994-07-13 | 1994-07-13 | Pulse laser oscillation device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0832158A true JPH0832158A (en) | 1996-02-02 |
Family
ID=15736000
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16148694A Pending JPH0832158A (en) | 1994-07-13 | 1994-07-13 | Pulse laser oscillation device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0832158A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5914591A (en) * | 1996-12-25 | 1999-06-22 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Switching power supply |
-
1994
- 1994-07-13 JP JP16148694A patent/JPH0832158A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5914591A (en) * | 1996-12-25 | 1999-06-22 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Switching power supply |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0212035B2 (en) | ||
| JP3815578B2 (en) | Excimer laser oscillator | |
| JP2001156367A (en) | ArF EXCIMER LASER DEVICE AND FLUORINE LASER DEVICE | |
| JPH04326584A (en) | Discharge excitation gas laser device | |
| JP3771690B2 (en) | Pulse laser discharge circuit | |
| JPH10223952A (en) | Electric discharge pumping gas laser device | |
| JPS62249493A (en) | Eximer laser device provideo with automatic preliminary ionization | |
| JP3432854B2 (en) | Pulse gas laser oscillator | |
| JP3171899B2 (en) | Gas laser equipment | |
| JP2721887B2 (en) | Laser processing equipment | |
| JPH07105548B2 (en) | Discharge excitation excimer laser oscillator | |
| JPH07297473A (en) | Pulse laser oscillator | |
| JPH0529689A (en) | Gas laser oscillator | |
| JPH07183603A (en) | Pulse gas laser device | |
| JPH07162068A (en) | Gas laser oscillator | |
| JP3904464B2 (en) | High voltage pulse generator for pulse laser | |
| JPH02266875A (en) | Pulse power source device | |
| JP2722704B2 (en) | Pulse laser equipment | |
| JPH05121809A (en) | Power supply for pulse laser | |
| JPH05283778A (en) | Pulse laser oscillation device | |
| JP2726058B2 (en) | Laser device | |
| JPH01162390A (en) | Excimer laser device | |
| JPS62152189A (en) | Gas laser oscillator | |
| JPH04324985A (en) | Pulse laser power supply device | |
| JPS63229772A (en) | Highly repetitive pulse laser oscillator |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20040210 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |