JPH08326749A - 流体軸受装置およびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】加工時間が短く、複雑な形状の静圧ポケットや
動圧発生溝を容易に形成することができ、直径の小さな
軸受の形成が可能で、さらに長さの違う軸受を容易に製
造することが可能な流体軸受装置およびその製造方法を
提供する。 【構成】環状の第１鋼板４４と、リセス４８ａ〜４８ｄ
が画成された環状の第２鋼板５０を所定枚数形成する。
前記第２鋼板５０を所定枚数積層し、この積層された第
２鋼板５０を所定枚数の前記第１鋼板４４で挟持して積
層する。前記リセス４８ａ〜４８ｄは互いに周方向に所
定角度ずつ偏位して積層され、該リセス４８ａ〜４８ｄ
によって形成される静圧ポケット５２ａ〜５２ｄは周方
向に沿って捩れた形状に画成される。積層された第１鋼
板４４と第２鋼板５０を固着して軸受６６が形成され、
該軸受６６の内周を研磨し、回転軸７０が挿入される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、工作機械の主軸の如き
回転軸を圧力流体を介して回転自在に軸受けする流体軸
受装置およびその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、流体の圧力により回転軸を支
持する流体軸受装置には、静圧軸受装置と動圧軸受装置
とがある。先ず、静圧軸受装置の場合について説明す
る。

【０００３】静圧軸受装置１０は、図１１に示すよう
に、円筒状の軸受１２と、該軸受１２の内部に挿入され
る回転軸１４とを含む。前記軸受１２の内壁に矩形状の
静圧ポケット１６ａ〜１６ｄが画成され、夫々の静圧ポ
ケット１６ａ〜１６ｄの間にランド部１８ａ〜１８ｄが
形成される（図１２参照）。前記静圧ポケット１６ａ〜
１６ｄとランド部１８ａ〜１８ｄとの境界を構成する縁
部は前記回転軸１４の軸線方向に平行に形成されてい
る。前記静圧ポケット１６ａ〜１６ｄの略中央部には圧
力流体が供給される流体供給通路２０ａ〜２０ｄが画成
され、該供給通路２０ａ〜２０ｄは図示しない圧力流体
供給源に連通している。

【０００４】以上のような構成において、図示しない圧
力流体供給源が付勢されると、該圧力流体は一定の圧力
で流体供給通路２０ａ〜２０ｄから静圧ポケット１６ａ
〜１６ｄに供給され、回転軸１４の外周に前記流体の圧
力が加わり、該回転軸１４はこの流体圧力により浮上支
持される。

【０００５】このような従来技術に係る静圧軸受装置１
０を製造する際には、先ず、金属の如き材料で軸受１２
を円筒状に形成し、該軸受１２をインデックステーブル
２２に装着する（図１３参照）。次いで、アングルヘッ
ド２４を介してエンドミル２６が装着されたフライス盤
２８を付勢し、該フライス盤２８と前記インデックステ
ーブル２２を作動させて軸受１２およびエンドミル２６
を移動し、該軸受１２の内壁を切削加工して静圧ポケッ
ト１６ａ〜１６ｄを形成する。この場合、フライス盤２
８とインデックステーブル２２の動作は前もってフライ
ス盤２８とインデックステーブル２２に接続された図示
しないコントローラに格納されているプログラムにより
制御され、自動的に軸受１２、エンドミル２６を移動す
る。

【０００６】また、アングルヘッド２４とエンドミル２
６に代えて、図示しないスロットカッタをフライス盤２
８に取り付けて静圧ポケット１６ａ〜１６ｄを切削加工
する製造方法もある。

【０００７】一方、動圧軸受装置の場合には、動圧発生
溝は軸受か回転軸のどちらか一方に画成されるが、軸受
の内壁に螺旋状の動圧発生溝を画成することは困難であ
るため、通常、回転軸の外壁に螺旋状の動圧発生溝を画
成している。すなわち、図１４に示すように、動圧軸受
装置３０の回転軸３２の外壁の所定の位置から軸線方向
両側に指向して回転軸３２の回転方向（矢印Ａ）に傾斜
した複数の動圧発生溝３４が画成される。この回転軸３
２を円筒状の軸受３６に挿入すると、動圧発生溝３４が
円筒状の軸受３６の内壁に対向する。

【０００８】以上のような構成において、回転軸３２が
回転すると、空気の如き流体が動圧発生溝３４の外側の
端部から動圧発生溝３４に沿って軸受３６の中央部に導
入されて、該動圧発生溝３４の内部に実質的にとどま
る。該動圧発生溝３４内の流体圧力が徐々に高まり、こ
の圧力により回転軸３２が浮上支持される。

【０００９】この動圧発生溝３４は、金属の如き材料で
円柱状に形成された回転軸３２にフライス盤等で切削加
工により画成される。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来技術では、静圧軸受装置１０の場合、インデックス
テーブル２２と軸受１２の芯出しを正確に行う必要があ
るが、この工程は自動化ができず、熟練を要する。ま
た、軸受１２の内部で切削加工を行うため、エンドミル
２６等の刃具が小さくならざるを得ず、この種のエンド
ミル２６等を用いて切削加工を施そうとすると加工時間
が長くなる。また、インデックステーブル２２やフライ
ス盤２８を複雑に動かす必要があり、制御プログラム作
成のために多大な工数が必要である。さらに、静圧軸受
装置１０の回転精度等の性能を向上させるためには複雑
な形状の静圧ポケットを必要とする場合があるが、この
複雑な形状の静圧ポケットを形成する場合、フライス盤
２８の動作は一層複雑になるとともに、プログラム作成
が極めて困難となり、あるいはプログラムを実質的に作
成できない場合があった。さらにまた、軸線方向の長さ
の違う軸受１２を製造する場合には、製造する軸受１２
の長さに合わせてインデックステーブル２２やフライス
盤２８の動作を制御するためのプログラムを作成しなけ
ればならず、工数が多くなるという問題があった。

【００１１】また、動圧軸受装置３０の場合において
も、前記のような動圧発生溝３４の形状のために、イン
デックステーブルやフライス盤を複雑に移動させなけれ
ばならず、制御プログラム作成の工数が極めて多くなっ
てしまう。さらにまた、動圧軸受装置３０の動圧剛性、
負荷容量等の性能を向上させるために一層複雑な形状の
動圧発生溝を必要とする場合があるが、このような動圧
発生溝では、フライス盤の動きはさらに複雑になるとと
もに、プログラム作成は困難となり、あるいはプログラ
ム作成が実質的に不可能となる等、種々の難点が露呈し
ている。

【００１２】本発明は前記の種々の不都合を克服するた
めになされたものであり、加工時間が短く、複雑な形状
の静圧ポケットや動圧発生溝を容易に形成することがで
き、また直径の小さな軸受や長さの違う軸受を容易に製
造することが可能な流体軸受装置およびその製造方法を
提供することを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、回転軸を挿通する軸受と、該軸受の内
壁に画成された静圧ポケットとを備え、前記静圧ポケッ
トに供給される流体の圧力により前記回転軸を回転自在
に支承する流体軸受装置において、複数枚の環状の第１
の板材と、前記複数枚の第１板材によって挟持され、且
つ複数枚積層されると共に内周面にリセスを有する環状
の第２の板材と、を備え、前記複数枚積層された第２板
材の夫々のリセスが互いに連通することにより静圧ポケ
ットとして画成されることを特徴とする。

【００１４】また、本発明は、所定形状に形成された板
材を積層して構成され、内壁に静圧ポケットが画成され
た流体軸受装置の製造方法であって、環状の第１の板材
を複数枚用意する第１の工程と、内周面にリセスを有す
る環状の第２の板材を複数枚用意する第２の工程と、前
記複数枚の第１板材によって複数枚積層された第２板材
を挟持することにより、前記夫々のリセスが互いに連通
して静圧ポケットを画成する第３の工程と、前記積層さ
れた第１板材と第２板材を軸線方向に押圧、固定する第
４の工程と、を備えることを特徴とする。

【００１５】さらに、本発明は、回転軸を挿通する軸受
と、該軸受の内壁に画成された動圧発生溝とを備え、前
記回転軸が回転して流体が動圧発生溝に導入されること
により生起する流体圧力により前記回転軸を回転自在に
支承する流体軸受装置において、複数枚の環状の第１の
板材と、前記複数枚の第１板材を挟持し、且つ複数枚積
層されると共に内周面にリセスを有する環状の第２の板
材と、を備え、前記複数枚積層された第２板材の夫々の
リセスが互いに連通することにより動圧発生溝として画
成されることを特徴とする。

【００１６】またさらに、本発明は、所定形状に形成さ
れた板材を積層して構成され、内壁に動圧発生溝が画成
された流体軸受装置の製造方法であって、環状の第１の
板材を複数枚用意する第１の工程と、内周面にリセスを
有する環状の第２の板材を複数枚用意する第２の工程
と、前記複数枚の第２板材によって複数枚積層された第
１板材を挟持することにより、前記夫々のリセスが互い
に連通して動圧発生溝を画成する第３の工程と、前記積
層された第１板材と第２板材を軸線方向に押圧、固定す
る第４の工程と、を備えることを特徴とする。

【００１７】

【作用】本発明によれば、静圧軸受装置の場合、積層さ
れた第２板材によって画成された静圧ポケットに圧力流
体が導入される。この圧力流体によって回転軸は均等に
浮上支持される。この軸受は第１板材と第２板材が積
層、固着されることにより形成され、静圧ポケットは多
数積層された第２板材のリセスにより画成される。この
ため、従来必要とされているフライス盤による複雑な加
工が不要となる。また、リセスを周方向に偏位させて積
層するため、簡単な工程で複雑な形状の静圧ポケットを
画成することができる。

【００１８】動圧軸受装置の場合、積層された第２板材
によって画成された山状の動圧発生溝にその端部側から
流体が導入されて、該動圧発生溝内に実質的にとどま
る。この結果、該動圧発生溝内の流体圧力が徐々に高ま
り、回転軸はこの圧力流体により浮上支持される。この
軸受は第２板材のリセスを回転軸の回転方向に対して山
状となるように夫々周方向に該第２板材を偏位させて積
層するため、軸線方向に沿って傾斜した動圧発生溝を軸
受の内壁側に容易に画成することができる。

【００１９】

【実施例】本発明に係る流体軸受装置について、その製
造方法との関係において好適な実施例を挙げ、添付の図
面を参照しながら以下詳細に説明する。

【００２０】先ず、第１の実施例として静圧軸受装置に
ついて説明する。図１は、本発明の第１の実施例に係る
静圧軸受装置の一部断面斜視図、図２は、図１に示す静
圧軸受装置を構成する第１の板材としての鋼板の平面
図、図３は、図１に示す静圧軸受装置を構成する第２の
板材としての鋼板の平面図、図４は、図１に示す静圧軸
受装置の構成を示す斜視図、図５は、図１に示す静圧軸
受装置の断面図、図６は、図１に示す静圧軸受装置の展
開図である。

【００２１】図１において、参照符号４０は、第１の実
施例に係る静圧軸受装置を示す。この静圧軸受装置４０
の製造に際して、先ず、プレス加工、ワイヤカット、レ
ーザカット等により、円形の孔部４２が画成された第１
の鋼板４４を所定枚数形成する（図２参照）。一方、第
１鋼板４４と同径の孔部４６が画成され、さらにこの孔
部４６の周囲にリセス４８ａ〜４８ｄが画成された第２
の鋼板５０を所定枚数形成する（図３参照）。

【００２２】前記第２鋼板５０を所定枚数積層し、この
積層された第２鋼板５０を所定枚数の前記第１鋼板４４
で挟持して積層する（図４参照）。これにより、前記リ
セス４８ａ〜４８ｄは互いに連通して静圧ポケット５２
ａ〜５２ｄとして画成され、夫々の静圧ポケット５２ａ
〜５２ｄには周方向の一方の第１縁部５４ａ〜５４ｄと
他方の第２縁部５６ａ〜５６ｄが形成される（図５参
照）。このとき、前記第２鋼板５０の夫々のリセス４８
ａ〜４８ｄは互いに周方向に所定角度ずつ偏位するよう
に積層され、第１縁部５４ａ〜５４ｄの一方の第１の隅
角部５８ａ〜５８ｄは他方の第２の隅角部６０ａ〜６０
ｄに対して周方向に長さＢだけ偏位し、同様に第２縁部
５６ａ〜５６ｄの一方の第３の隅角部６２ａ〜６２ｄは
他方の第４の隅角部６４ａ〜６４ｄに対して周方向に長
さＢだけ偏位して構成され、これによって前記静圧ポケ
ット５２ａ〜５２ｄは周方向に沿って捩れた形状に画成
されることになる（図６参照）。

【００２３】なお、第１隅角部５８ａと、該第１隅角部
５８ａに隣接する第３隅角部６２ｂとの間隔は前記長さ
Ｂより狭く形成され、同様に、第１隅角部５８ｂと第３
隅角部６２ｃ、第１隅角部５８ｃと第３隅角部６２ｄ、
第１隅角部５８ｄと第３隅角部６２ａの間隔は前記長さ
Ｂより狭く形成される。このため、第１縁部５４ａ〜５
４ｄの第１隅角部５８ａ〜５８ｄの近傍は第２縁部５６
ｂ〜５６ａの第４隅角部６４ｂ〜６４ａの近傍と軸線方
向に長さＣだけ重複する。

【００２４】このように積層された第１鋼板４４と第２
鋼板５０をその厚さ方向に押圧し、ボルト締め、また
は、接着により固着して軸受６６が形成される。接着に
より固着する方法としては、積層された第１鋼板４４と
第２鋼板５０に合成樹脂を真空含浸させる、あるいは第
１鋼板４４と第２鋼板５０を加熱して低温溶融金属を真
空含浸させる等の方法があり、また、積層する前の第１
鋼板４４、第２鋼板５０に接着剤を塗布しておき、積層
後に加圧して固着する方法でもよい。

【００２５】このようにして構成される前記静圧ポケッ
ト５２ａ〜５２ｄの略中央部に圧力流体が導入される流
体供給通路６８ａ〜６８ｄを画成する。この流体供給通
路６８ａ〜６８ｄの画成に際しては、軸受６６の外壁か
らドリル等を用いて行う。該流体供給通路６８ａ〜６８
ｄは図示しない圧力流体供給源に連通しておく。

【００２６】次に、この軸受６６の内周を研磨して第１
鋼板４４、第２鋼板５０のバリ、接着剤等を削り落と
す。そして、この軸受６６の内部に回転軸７０が挿入さ
れる。

【００２７】次に本実施例に係る静圧軸受装置４０の動
作について説明する。

【００２８】図示しない圧力流体供給源が付勢される
と、油の如き流体が流体供給通路６８ａ〜６８ｄから一
定の圧力で静圧ポケット５２ａ〜５２ｄに導入され、回
転軸７０の外周に前記流体の圧力が加わり、該回転軸７
０はこの流体圧力により浮上支持される。このため、回
転軸７０は軸受６６の内部を極めて小さい摩擦で回転す
ることが可能となる。

【００２９】回転軸７０にその軸線方向に沿って凹凸や
真円度歪みがある場合、例えば、微少な凸部７２が回転
軸７０の軸線方向に延在していると、該凸部７２が静圧
ポケット５２ａに対向しているとき、該凸部７２にかか
る流体圧力によって回転軸７０は凸部７２と反対方向に
偏位する傾向にある（図５参照）。この場合、回転軸７
０が回転すると、前記凸部７２は静圧ポケット５２ａの
第２隅角部６０ａにかかり（図６参照）、さらに回転す
ると、該凸部７２は第１縁部５４ａを相対的に移動し、
静圧ポケット５２ａに対向する凸部７２の面積が徐々に
減少する。このため、該凸部７２にかかる流体圧力が徐
々に少なくなり、回転軸７０はその軸心の中心方向に偏
位する。

【００３０】そして、前記凸部７２が第１隅角部５８ａ
に達する直前に、該凸部７２は隣接する第２縁部５６ｂ
の第４隅角部６４ｂにかかり、このため、該凸部７２に
は静圧ポケット５２ａと静圧ポケット５２ｂの両者から
流体圧力が加わる。

【００３１】回転軸７０がさらに回転すると、静圧ポケ
ット５２ｂに対向する前記凸部７２の面積が増加し、徐
々に該凸部７２に加わる流体圧力が増加し、再び回転軸
７０は凸部７２と反対方向に偏位する。そして、前記凸
部７２が第３隅角部６２ｂを経て静圧ポケット５２ｂに
対向する位置に至る。

【００３２】このように、凸部７２に加わる圧力は第１
縁部５４ａ〜５４ｄ、第２縁部５６ａ〜５６ｄで徐々に
変化するため、回転軸７０の軸心からの偏位は急激には
起こらず、芯振れが発生することなく回転する。また、
凸部７２は常にいずれかの静圧ポケット５２ａ〜５２ｄ
から流体圧力が加えられるため、回転軸７０の偏位量が
抑えられ、回転精度が向上する。

【００３３】軸線方向の長さの異なる静圧軸受装置４０
を製造する場合には、第１鋼板４４、第２鋼板５０の積
層枚数を変えるだけで、同一の製造方法により所望の長
さの静圧軸受装置４０を得ることができる。

【００３４】次に、第２の実施例として動圧軸受装置に
ついて説明する。

【００３５】図７は、本発明の第２の実施例に係る動圧
軸受装置の一部断面斜視図、図８は、図７に示す動圧軸
受装置を構成する第３の板材としての鋼板の平面図、図
９は、図７に示す動圧軸受装置を構成する第４の板材と
しての鋼板の平面図、図１０は、図７に示す動圧軸受装
置の構成を示す斜視図である。

【００３６】図７において、参照符号８０は、第２の実
施例に係る動圧軸受装置を示す。この動圧軸受装置８０
の製造に際して、先ず、第１の実施例と同様に、円形の
孔部８２が画成された第３の鋼板８４と、該第３鋼板８
４と同径の孔部８６が画成され、さらにこの孔部８６の
周囲に複数のリセス８８が画成された第４の鋼板９０を
所定枚数形成する（図８、図９参照）。

【００３７】次に、前記第３鋼板８４を所定枚数積層
し、この積層された第３鋼板８４を所定枚数の前記第４
鋼板９０で挟持して積層する（図１０参照）。このと
き、前記第４鋼板９０の夫々のリセス８８は互いに周方
向に所定角度ずつ偏位するように積層され、これによ
り、前記リセス８８は互いに連通して動圧発生溝９２と
して画成される。また、積層された第３鋼板８４の一端
側に積層された第４鋼板９０で構成される動圧発生溝９
２と、他端側に積層された第４鋼板９０で構成される動
圧発生溝９２とは軸線に沿って反対方向に傾斜するよう
に偏位の方向を互いに反対にして第４鋼板９０を積層す
る。結果的に、一端側に積層された第４鋼板９０のリセ
ス８８と、他端側に積層された第４鋼板９０のリセス８
８によって動圧発生溝９２が山形に画成されることにな
る。この場合、前記第３鋼板８４は一端側と他端側の第
４鋼板９０によって挟持されるために、前記一端側と他
端側のリセス８８が夫々該第３鋼板８４によって遮断さ
れることになる。

【００３８】このように積層された第３鋼板８４と第４
鋼板９０をその厚さ方向に押圧し、ボルト締め、また
は、接着により固着して軸受９４が形成される。

【００３９】次に、この軸受９４の内周を研磨して第３
鋼板８４、第４鋼板９０のバリ、接着剤等を削り落と
す。そして、この軸受９４の内部に回転軸９６が挿入さ
れる。

【００４０】次に本実施例に係る動圧軸受装置８０の動
作について説明する。

【００４１】回転軸９６が矢印Ｄの方向に回転すると、
回転軸９６の周囲の空気の如き流体が回転軸９６との摩
擦により動圧発生溝９２の開口部９８から導入される
（図７参照）。この流体は動圧発生溝９２に沿って移動
して動圧発生溝９２の端部１００に達し、さらに流体が
動圧発生溝９２から供給されるため、端部１００で流体
は高圧になる。この圧力により回転軸９６が浮上支持さ
れ、回転軸９６は軸受９４の内部を極めて小さい摩擦で
回転することが可能となる。

【００４２】軸線方向の長さの異なる動圧軸受装置８０
を製造する場合には、第３鋼板８４、第４鋼板９０の積
層枚数を変えるだけて、同一の製造方法により所望の長
さの動圧軸受装置８０を得ることができる。

【００４３】

【発明の効果】本発明に係る流体軸受装置およびその製
造方法によれば、以下のような効果ならびに利点が得ら
れる。

【００４４】軸受は第１鋼板と第２鋼板が積層、固着さ
れることにより形成され、静圧ポケットや動圧発生溝は
第２鋼板のリセスにより画成される。このため、フライ
ス盤等の切削工具による複雑な加工が不要となり、加工
時間が短縮できて製造コストを低廉化することが可能と
なる。また、リセスを周方向に偏位させて積層するた
め、簡単な工程で複雑な形状の静圧ポケットや動圧発生
溝を画成することができ、回転精度等の性能の向上が達
成される。さらに、直径の小さな軸受も容易に製造する
ことができ、積層される第１鋼板、第２鋼板の枚数を変
えるだけで軸線方向の長さの違う軸受を製造することが
可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例に係る静圧軸受装置の一
部断面斜視図である。

【図２】図１に示す静圧軸受装置を構成する第１の鋼板
の平面図である。

【図３】図１に示す静圧軸受装置を構成する第２の鋼板
の平面図である。

【図４】図１に示す静圧軸受装置の構成を示す斜視図で
ある。

【図５】図１に示す静圧軸受装置の断面図である。

【図６】図１に示す静圧軸受装置の展開図である。

【図７】本発明の第２の実施例に係る動圧軸受装置の一
部断面斜視図である。

【図８】図７に示す動圧軸受装置を構成する第３の鋼板
の平面図である。

【図９】図７に示す動圧軸受装置を構成する第４の鋼板
の平面図である。

【図１０】図７に示す動圧軸受装置の構成を示す斜視図
である。

【図１１】従来技術に係る静圧軸受装置の一部断面斜視
図である。

【図１２】図１１に示す静圧軸受装置の断面図である。

【図１３】図１１に示す静圧軸受装置の製造装置の正面
図である。

【図１４】従来技術に係る動圧軸受装置の一部断面斜視
図である。

【符号の説明】

４０…静圧軸受装置 ４４、５０、８
４、９０…鋼板 ４８ａ〜４８ｄ、８８…リセス ５２ａ〜５２ｄ…
静圧ポケット ６６、９４…軸受 ７０、９６…回転
軸 ８０…動圧軸受装置 ９２…動圧発生溝

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 滝口 恒男 埼玉県狭山市新狭山１−10−１ ホンダエ ンジニアリング株式会社内

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】回転軸を挿通する軸受と、該軸受の内壁に
   画成された静圧ポケットとを備え、前記静圧ポケットに
   供給される流体の圧力により前記回転軸を回転自在に支
   承する流体軸受装置において、 複数枚の環状の第１の板材と、 前記複数枚の第１板材によって挟持され、且つ複数枚積
   層されると共に内周面にリセスを有する環状の第２の板
   材と、 を備え、前記複数枚積層された第２板材の夫々のリセス
   が互いに連通することにより静圧ポケットとして画成さ
   れることを特徴とする流体軸受装置。
2. 【請求項２】請求項１記載の流体軸受装置において、 前記複数枚積層された第２板材の夫々のリセスが互いに
   周方向に偏位して積層され、静圧ポケットが前記第２板
   材の軸線方向に沿って捩れて画成されることを特徴とす
   る流体軸受装置。
3. 【請求項３】請求項２記載の流体軸受装置において、一
   つの静圧ポケットの始端部が周方向に互いに隣接する他
   の静圧ポケットの終端部と第２板材の軸線方向において
   重複していることを特徴とする流体軸受装置。
4. 【請求項４】所定形状に形成された板材を積層して構成
   され、内壁に静圧ポケットが画成された流体軸受装置の
   製造方法であって、 環状の第１の板材を複数枚用意する第１の工程と、 内周面にリセスを有する環状の第２の板材を複数枚用意
   する第２の工程と、 前記複数枚の第１板材によって複数枚積層された第２板
   材を挟持することにより、前記夫々のリセスが互いに連
   通して静圧ポケットを画成する第３の工程と、 前記積層された第１板材と第２板材を軸線方向に押圧、
   固定する第４の工程と、 を備えることを特徴とする流体軸受装置の製造方法。
5. 【請求項５】請求項４記載の流体軸受装置の製造方法に
   おいて、 前記第３の工程では、前記複数枚の第２板材の夫々のリ
   セスを互いに周方向に偏位して積層させることにより前
   記リセスが第２板材の軸線方向に沿って捩れた静圧ポケ
   ットとして画成されることを特徴とする流体軸受装置の
   製造方法。
6. 【請求項６】回転軸を挿通する軸受と、該軸受の内壁に
   画成された動圧発生溝とを備え、前記回転軸が回転して
   流体が動圧発生溝に導入されることにより生起する流体
   圧力により前記回転軸を回転自在に支承する流体軸受装
   置において、 複数枚の環状の第１の板材と、 前記複数枚の第１板材を挟持し、且つ複数枚積層される
   と共に内周面にリセスを有する環状の第２の板材と、 を備え、前記複数枚積層された第２板材の夫々のリセス
   が互いに連通することにより動圧発生溝として画成され
   ることを特徴とする流体軸受装置。
7. 【請求項７】請求項６記載の流体軸受装置において、前
   記複数枚の積層された第２板材によって画成される動圧
   発生溝は回転軸の回転方向に対して山状に形成されてい
   ることを特徴とする流体軸受装置。
8. 【請求項８】請求項７記載の流体軸受装置において、前
   記動圧発生溝の山状の頂部に前記第１板材が配置される
   ことにより、該動圧発生溝が遮断されていることを特徴
   とする流体軸受装置。
9. 【請求項９】所定形状に形成された板材を積層して構成
   され、内壁に動圧発生溝が画成された流体軸受装置の製
   造方法であって、 環状の第１の板材を複数枚用意する第１の工程と、 内周面にリセスを有する環状の第２の板材を複数枚用意
   する第２の工程と、 前記複数枚の第２板材によって複数枚積層された第１板
   材を挟持することにより、前記夫々のリセスが互いに連
   通して動圧発生溝を画成する第３の工程と、 前記積層された第１板材と第２板材を軸線方向に押圧、
   固定する第４の工程と、 を備えることを特徴とする流体軸受装置の製造方法。
10. 【請求項１０】請求項９記載の流体軸受装置の製造方法
    において、前記第３の工程では前記複数枚の第２板材の
    夫々のリセスを回転軸の回転方向に対して山状に画成し
    た動圧発生溝となるように、該第２板材を周方向に互い
    に偏位させて積層することを特徴とする流体軸受装置の
    製造方法。