JPH08327561A - 連続シート状物体の欠点検査装置 - Google Patents
連続シート状物体の欠点検査装置Info
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- 239000000463 material Substances 0.000 abstract 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/892—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ガラス板内の異物，泡およびガラス板表面の
傷，凹凸を判別する連続シート状物体の欠点検査装置を
提供する。 【構成】 ガラス板１の下側に明視野照明装置１０，暗
視野照明装置１１を備え、ガラス板１の上側に、明視野
照明装置と対向して１次元ラインセンサカメラ１２を、
暗視野照明装置と対向して１次元ラインセンサカメラ１
３を設ける。また、ガラス板の上側に反射照明装置１４
と、その反射光を受光する１次元ラインセンサカメラ１
５とを備える。
傷，凹凸を判別する連続シート状物体の欠点検査装置を
提供する。 【構成】 ガラス板１の下側に明視野照明装置１０，暗
視野照明装置１１を備え、ガラス板１の上側に、明視野
照明装置と対向して１次元ラインセンサカメラ１２を、
暗視野照明装置と対向して１次元ラインセンサカメラ１
３を設ける。また、ガラス板の上側に反射照明装置１４
と、その反射光を受光する１次元ラインセンサカメラ１
５とを備える。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、１次元ラインセンサカ
メラを用いてガラスや紙などの連続状シート物体の欠点
検査を行う検査装置、特に、欠点の判別を容易にした欠
点検査装置に関するものである。
メラを用いてガラスや紙などの連続状シート物体の欠点
検査を行う検査装置、特に、欠点の判別を容易にした欠
点検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来よりガラスのような透明なシート状
物体の欠点検査には、図１に示すように、シート状物体
１を下側から照明する照明装置２と、連続シート状物体
１の上側にシート状物体１の流れ方向とほぼ直角の方向
に設置した１台または複数台の１次元ラインセンサカメ
ラ３と、専用の画像処理装置４と、コンピュータ５とか
ら構成される検査装置が用いられている。
物体の欠点検査には、図１に示すように、シート状物体
１を下側から照明する照明装置２と、連続シート状物体
１の上側にシート状物体１の流れ方向とほぼ直角の方向
に設置した１台または複数台の１次元ラインセンサカメ
ラ３と、専用の画像処理装置４と、コンピュータ５とか
ら構成される検査装置が用いられている。
【０００３】照明装置２としては、背景が明るい明視野
照明装置が一般的に用いられる。明視野照明装置は、図
２に示すように、蛍光灯のような線状光源７と、オパー
ル板や白色不透明なアクリル板のような拡散板６とで構
成され、被検査物体であるシート状物体１の内部の遮光
性欠点８を検出する。
照明装置が一般的に用いられる。明視野照明装置は、図
２に示すように、蛍光灯のような線状光源７と、オパー
ル板や白色不透明なアクリル板のような拡散板６とで構
成され、被検査物体であるシート状物体１の内部の遮光
性欠点８を検出する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した明視野照明装
置を備える欠点検査装置では、透過光を利用するため、
検査対象がガラス板のような透明物体の場合、遮光性の
欠点は検出できるが、表面の傷や凹凸などの非遮光性欠
点は、遮光性がないため検出できない。遮光性の欠点と
しては、ガラス板内に存在する遮光性の異物および泡が
ある。異物および泡の判別は、その遮光の度合いに基づ
いて行われる。
置を備える欠点検査装置では、透過光を利用するため、
検査対象がガラス板のような透明物体の場合、遮光性の
欠点は検出できるが、表面の傷や凹凸などの非遮光性欠
点は、遮光性がないため検出できない。遮光性の欠点と
しては、ガラス板内に存在する遮光性の異物および泡が
ある。異物および泡の判別は、その遮光の度合いに基づ
いて行われる。
【０００５】一方、表面の傷や凹凸は、反射光を利用し
て検出することができるが、傷と凹凸の判別をすること
ができない。
て検出することができるが、傷と凹凸の判別をすること
ができない。
【０００６】本発明の目的は、特殊な照明および検出機
構を用いることなく安価な装置を用いて、遮光性の異
物，泡，表面の傷，表面の凹凸のすべてを容易に判別す
ることのできる連続シート状物体の欠点検査装置を提供
することにある。
構を用いることなく安価な装置を用いて、遮光性の異
物，泡，表面の傷，表面の凹凸のすべてを容易に判別す
ることのできる連続シート状物体の欠点検査装置を提供
することにある。
【０００７】
【発明の概要】本発明は、光を透過および反射する連続
シート状物体に存在する欠点を検査する欠点検査装置に
おいて、前記連続シート状物体の一方の側に設けられた
明視野照明装置と、前記連続シート状物体の他方の側
に、前記明視野照明装置と対向して設けられ、前記明視
野照明装置からの透過光を受光する１台以上の第１の１
次元ラインセンサカメラと、前記連続シート状物体の一
方の側に設けられた暗視野照明装置と、前記連続シート
状物体の他方の側に、前記暗視野照明装置と対向して設
けられ、前記暗視野照明装置からの透過光を受光する１
台以上の第２の１次元ラインセンサカメラと、前記連続
シート状物体の一方の側に設けられた反射照明装置と、
前記反射照明装置と同じ側に設けられ、前記反射照明装
置からの連続シート状物体での反射光を受光する１台以
上の台３の１次元ラインセンサカメラと、を備えること
を特徴としている。
シート状物体に存在する欠点を検査する欠点検査装置に
おいて、前記連続シート状物体の一方の側に設けられた
明視野照明装置と、前記連続シート状物体の他方の側
に、前記明視野照明装置と対向して設けられ、前記明視
野照明装置からの透過光を受光する１台以上の第１の１
次元ラインセンサカメラと、前記連続シート状物体の一
方の側に設けられた暗視野照明装置と、前記連続シート
状物体の他方の側に、前記暗視野照明装置と対向して設
けられ、前記暗視野照明装置からの透過光を受光する１
台以上の第２の１次元ラインセンサカメラと、前記連続
シート状物体の一方の側に設けられた反射照明装置と、
前記反射照明装置と同じ側に設けられ、前記反射照明装
置からの連続シート状物体での反射光を受光する１台以
上の台３の１次元ラインセンサカメラと、を備えること
を特徴としている。
【０００８】本発明によれば、第１の１次元ラインセン
サカメラは、ガラス板の内部の遮光性異物および泡を撮
像し、第２の１次元ラインセンサカメラは、ガラス板の
内部の泡およびガラス板の表面の傷を撮像し、第３の１
次元ラインセンサカメラは、ガラス板の表面の傷および
凹凸を撮像する。これにより、異物，泡，表面傷，表面
凹凸を判別して検出することが可能となる。
サカメラは、ガラス板の内部の遮光性異物および泡を撮
像し、第２の１次元ラインセンサカメラは、ガラス板の
内部の泡およびガラス板の表面の傷を撮像し、第３の１
次元ラインセンサカメラは、ガラス板の表面の傷および
凹凸を撮像する。これにより、異物，泡，表面傷，表面
凹凸を判別して検出することが可能となる。
【０００９】
【実施例】図３に、本発明の一実施例である連続シート
状物体照明装置の斜視図を示す。
状物体照明装置の斜視図を示す。
【００１０】検査すべき連続シート状物体は、ガラス板
１であるものとする。搬送されるガラス板１の下側に
は、搬送方向と直角の方向に延びる明視野照明装置１０
が設けられている。ガラス板１の上側であって、明視野
照明装置１０と対向する位置には、複数台（図では２
台）の１次元ラインセンサカメラ１２が設けられてい
る。また、搬送されるガラス板１の下側には、搬送方向
と直角の方向に延びる暗視野照明装置１１が設けられて
いる。ガラス板１の上側であって、暗視野照明装置１１
と対向する位置には、複数台（図では２台）の１次元ラ
インセンサカメラ１３が設けられている。
１であるものとする。搬送されるガラス板１の下側に
は、搬送方向と直角の方向に延びる明視野照明装置１０
が設けられている。ガラス板１の上側であって、明視野
照明装置１０と対向する位置には、複数台（図では２
台）の１次元ラインセンサカメラ１２が設けられてい
る。また、搬送されるガラス板１の下側には、搬送方向
と直角の方向に延びる暗視野照明装置１１が設けられて
いる。ガラス板１の上側であって、暗視野照明装置１１
と対向する位置には、複数台（図では２台）の１次元ラ
インセンサカメラ１３が設けられている。
【００１１】また、ガラス板１の上側には、ガラス板１
の搬送方向と直角の方向に延びる蛍光灯のような線状光
源よりなる反射照明装置１４が設けられており、さらに
その線状光源の反射光を撮像する１次元ラインセンサカ
メラ１５が設けられている。
の搬送方向と直角の方向に延びる蛍光灯のような線状光
源よりなる反射照明装置１４が設けられており、さらに
その線状光源の反射光を撮像する１次元ラインセンサカ
メラ１５が設けられている。
【００１２】明視野照明装置１０は、図２で既に説明し
たように、蛍光灯のような線状光源７と拡散板６とによ
り構成されている。一方、暗視野照明装置１１は、図３
に示すように、２本の蛍光灯のような線状光源７を、カ
メラ１３の背景が暗くなるようカメラの視野からずらし
て配置した構成となっている。
たように、蛍光灯のような線状光源７と拡散板６とによ
り構成されている。一方、暗視野照明装置１１は、図３
に示すように、２本の蛍光灯のような線状光源７を、カ
メラ１３の背景が暗くなるようカメラの視野からずらし
て配置した構成となっている。
【００１３】明視野照明装置１０で照明した場合、カメ
ラ１２には、遮光性欠点は暗く、背景は明るく撮像され
る。したがって、明視野照明装置１０は、ガラス板内部
の異物などの遮光性欠点の検出に主に用いられる。
ラ１２には、遮光性欠点は暗く、背景は明るく撮像され
る。したがって、明視野照明装置１０は、ガラス板内部
の異物などの遮光性欠点の検出に主に用いられる。
【００１４】暗視野照明装置１１で照明した場合、カメ
ラ１３には、表面傷９ａは明るく、背景は暗く撮像され
る。したがって暗視野照明装置１１は、ガラス板表面の
傷などの非遮光性欠点の検出に主に用いられる。
ラ１３には、表面傷９ａは明るく、背景は暗く撮像され
る。したがって暗視野照明装置１１は、ガラス板表面の
傷などの非遮光性欠点の検出に主に用いられる。
【００１５】図５に、反射照明装置１４とカメラ１５と
のガラス板１上の配置を示す。反射照明装置１４からの
光は、ガラス板１表面に欠点がなければ、ガラス板１の
表面で反射されて、点線で示すようにカメラ１５に入射
する。しかし、ガラス板１の表面に凹凸９ｂの欠点があ
った場合、この凹凸欠点により光は実線で示すようにカ
メラ１５とは異なる方向に反射される。したがってカメ
ラ１５に光入射がなければ表面に欠点があったとみなせ
る。このように、反射照明装置１４は、ガラス板表面の
凹凸などの欠点の検出に主に用いられる。
のガラス板１上の配置を示す。反射照明装置１４からの
光は、ガラス板１表面に欠点がなければ、ガラス板１の
表面で反射されて、点線で示すようにカメラ１５に入射
する。しかし、ガラス板１の表面に凹凸９ｂの欠点があ
った場合、この凹凸欠点により光は実線で示すようにカ
メラ１５とは異なる方向に反射される。したがってカメ
ラ１５に光入射がなければ表面に欠点があったとみなせ
る。このように、反射照明装置１４は、ガラス板表面の
凹凸などの欠点の検出に主に用いられる。
【００１６】表１に、各照明方式における欠点の検出能
力を示す。
力を示す。
【００１７】
【表１】
【００１８】○印は検出可能を、×印は検出不可を示し
ている。暗視野照明は、表面傷のみならず泡も検出可能
である。また、反射照明は、表面凹凸のみならず表面傷
を検出可能である。
ている。暗視野照明は、表面傷のみならず泡も検出可能
である。また、反射照明は、表面凹凸のみならず表面傷
を検出可能である。
【００１９】図６に、検査装置の概略を示す。各カメラ
１２，１３，１５はそれぞれ対応する画像処理装置２０
に接続され、各画像処理装置は、ホストコンピュータ３
０に接続されている。画像処理装置２０は、対応する各
１次元ラインセンサカメラからの入力画像を処理して検
査情報を作成し、検査情報をホストコンピュータ３０に
送る。ホストコンピュータ３０では、検査情報を元に欠
点を総合的に判断する。
１２，１３，１５はそれぞれ対応する画像処理装置２０
に接続され、各画像処理装置は、ホストコンピュータ３
０に接続されている。画像処理装置２０は、対応する各
１次元ラインセンサカメラからの入力画像を処理して検
査情報を作成し、検査情報をホストコンピュータ３０に
送る。ホストコンピュータ３０では、検査情報を元に欠
点を総合的に判断する。
【００２０】次に、本実施例の動作を説明する。ガラス
板１が、明視野照明装置１０とカメラ１２、暗視野照明
装置１１とカメラ１３、反射照明装置１４とカメラ１５
よりなる欠点検査領域に、図３に示す矢印Ａの方向に搬
送されてくると、まずカメラ１２で撮像され、続いてカ
メラ１３で撮像され、最後にカメラ１５で撮影されて、
欠点検出領域から出て行く。前述したように、カメラ１
２では、ガラス板１内に存在する異物および泡が撮像さ
れる。また、カメラ１３では、ガラス板１内の泡および
表面傷が撮像される。さらに、カメラ１５では、ガラス
板１上の表面傷および表面凹凸を検出できる。
板１が、明視野照明装置１０とカメラ１２、暗視野照明
装置１１とカメラ１３、反射照明装置１４とカメラ１５
よりなる欠点検査領域に、図３に示す矢印Ａの方向に搬
送されてくると、まずカメラ１２で撮像され、続いてカ
メラ１３で撮像され、最後にカメラ１５で撮影されて、
欠点検出領域から出て行く。前述したように、カメラ１
２では、ガラス板１内に存在する異物および泡が撮像さ
れる。また、カメラ１３では、ガラス板１内の泡および
表面傷が撮像される。さらに、カメラ１５では、ガラス
板１上の表面傷および表面凹凸を検出できる。
【００２１】例えば、ガラス板１の内部に遮光性異物が
存在すると、明視野照明でカメラ１２により撮像され
る。
存在すると、明視野照明でカメラ１２により撮像され
る。
【００２２】また例えば、ガラス板１の内部に泡欠点が
存在すると、欠点泡は、明視野照明でカメラ１２により
撮像され、また暗視野照明でカメラ１３により撮像され
る。同一の泡欠点がカメラ１２およびカメラ１３で撮像
されるには、時間差がある。
存在すると、欠点泡は、明視野照明でカメラ１２により
撮像され、また暗視野照明でカメラ１３により撮像され
る。同一の泡欠点がカメラ１２およびカメラ１３で撮像
されるには、時間差がある。
【００２３】また例えば、ガラス板１の表面に傷があっ
た場合、表面傷は、暗視野照明でカメラ１３により撮像
され、反射照明でカメラ１５により撮像される。同一の
表面傷がカメラ１３およびカメラ１５で撮像されるに
は、時間差がある。
た場合、表面傷は、暗視野照明でカメラ１３により撮像
され、反射照明でカメラ１５により撮像される。同一の
表面傷がカメラ１３およびカメラ１５で撮像されるに
は、時間差がある。
【００２４】また例えば、ガラス板１の表面に凹凸があ
った場合、反射照明でカメラ１５により撮像される。
った場合、反射照明でカメラ１５により撮像される。
【００２５】このように、遮光性異物および表面凹凸
は、１台のカメラでのみ撮像され、泡および表面傷は、
２台のカメラで撮像される。２台のカメラで撮像される
場合、その間に時間差があるので、移動速度を速度セン
サ（図示せず）などで常時計測しておき、その絶対位置
を検出し、画像処理装置２０に入力する。
は、１台のカメラでのみ撮像され、泡および表面傷は、
２台のカメラで撮像される。２台のカメラで撮像される
場合、その間に時間差があるので、移動速度を速度セン
サ（図示せず）などで常時計測しておき、その絶対位置
を検出し、画像処理装置２０に入力する。
【００２６】各カメラ１２，１３，１５からの１次元輝
度信号は、それぞれ対応する画像処理装置２０に入力さ
れ、画像処理装置では１次元輝度信号を処理して、欠点
の位置を含む検査情報をホストコンピュータ３０に送
る。ホストコンピュータでは、各画像処理装置からの検
査情報に基づいて、最終的に欠点の種類を判別する。例
えば、明視野照明で検出されたが、暗視野照明および反
射照明で検出されなかった欠点は、異物であると判別さ
れる。明視野照明および暗視野照明の両方で検出された
が、反射照明で検出されなかった場合には泡欠点である
と判別される。また、明視野照明で検出されなかった
が、暗視野照明および反射照明で検出された欠点は、表
面傷と判別される。明視野照明および暗視野照明で検出
されず、反射照明のみで検出された欠点は、表面凹凸で
あると判別される。
度信号は、それぞれ対応する画像処理装置２０に入力さ
れ、画像処理装置では１次元輝度信号を処理して、欠点
の位置を含む検査情報をホストコンピュータ３０に送
る。ホストコンピュータでは、各画像処理装置からの検
査情報に基づいて、最終的に欠点の種類を判別する。例
えば、明視野照明で検出されたが、暗視野照明および反
射照明で検出されなかった欠点は、異物であると判別さ
れる。明視野照明および暗視野照明の両方で検出された
が、反射照明で検出されなかった場合には泡欠点である
と判別される。また、明視野照明で検出されなかった
が、暗視野照明および反射照明で検出された欠点は、表
面傷と判別される。明視野照明および暗視野照明で検出
されず、反射照明のみで検出された欠点は、表面凹凸で
あると判別される。
【００２７】以上の実施例では、ガラス板１の搬送方向
に対し、明視野照明装置，暗視野照明装置，反射照明装
置の順で配置しているが、配置順はこれに限定する必要
はなく、他の配置順であってもよい。
に対し、明視野照明装置，暗視野照明装置，反射照明装
置の順で配置しているが、配置順はこれに限定する必要
はなく、他の配置順であってもよい。
【００２８】また、以上の実施例では、反射照明装置と
その反射光を検出する１次元ラインセンサカメラを、ガ
ラス板の上面側にのみに設置しているが、反対側の面の
表面欠点を検出するためには、反対の面側にも、反射照
明装置および１次元ラインセンサカメラを設けることが
必要となることは、容易に理解されるであろう。
その反射光を検出する１次元ラインセンサカメラを、ガ
ラス板の上面側にのみに設置しているが、反対側の面の
表面欠点を検出するためには、反対の面側にも、反射照
明装置および１次元ラインセンサカメラを設けることが
必要となることは、容易に理解されるであろう。
【００２９】
【発明の効果】本発明によれば、明視野照明，暗視野照
明，反射照明の３つの照明方式を用いることによって、
極めて容易に、異物，泡，表面傷，表面凹凸を判別して
検出できる連続シート状物体の欠点検査装置を実現でき
る。
明，反射照明の３つの照明方式を用いることによって、
極めて容易に、異物，泡，表面傷，表面凹凸を判別して
検出できる連続シート状物体の欠点検査装置を実現でき
る。
【図１】従来の欠点検査装置を示す図である。
【図２】明視野照明装置を示す図である。
【図３】本発明の欠点検査装置の照明欠点検査装置およ
び１次元ラインセンサカメラを示す図である。
び１次元ラインセンサカメラを示す図である。
【図４】暗視野照明装置を示す図である。
【図５】反射照明装置を示す図である。
【図６】本発明の欠点検査装置を示すブロック図であ
る。
る。
１ ガラス板 １０ 明視野照明装置 １１ 暗視野照明装置 １４ 反射照明装置 １２，１３，１５ １次元ラインセンサカメラ ２０ 画像処理装置 ３０ コンピュータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 前薗 伸二 大阪府大阪市中央区道修町３丁目５番11号 日本板硝 子 株式会社内
Claims (4)
- 【請求項１】光を透過および反射する連続シート状物体
に存在する欠点を検査する欠点検査装置において、 明視野照明装置と、暗視野照明装置と、反射照明装置と
を備えることを特徴とする連続シート状物体の欠点検査
装置。 - 【請求項２】光を透過および反射する連続シート状物体
に存在する欠点を検査する欠点検査装置において、 前記連続シート状物体の一方の側に設けられた明視野照
明装置と、 前記連続シート状物体の他方の側に、前記明視野照明装
置と対向して設けられ、前記明視野照明装置からの透過
光を受光する１台以上の第１の１次元ラインセンサカメ
ラと、 前記連続シート状物体の一方の側に設けられた暗視野照
明装置と、 前記連続シート状物体の他方の側に、前記暗視野照明装
置と対向して設けられ、前記暗視野照明装置からの透過
光を受光する１台以上の第２の１次元ラインセンサカメ
ラと、 前記連続シート状物体の一方の側に設けられた反射照明
装置と、 前記反射照明装置と同じ側に設けられ、前記反射照明装
置からの連続シート状物体での反射光を受光する１台以
上の第３の１次元ラインセンサカメラと、を備えること
を特徴とする連続シート状物体の欠点検査装置。 - 【請求項３】第１の１次元ラインセンサカメラは、ガラ
ス板の内部の遮光性異物および泡を撮像し、 第２の１次元ラインセンサカメラは、ガラス板の内部の
泡およびガラス板の表面の傷を撮像し、 第３の１次元ラインセンサカメラは、ガラス板の表面の
傷および凹凸を撮像する、請求項２記載の連続シート状
物体の欠点検査装置。 - 【請求項４】第１の１次元ラインセンサカメラに接続さ
れ、第１の１次元ラインセンサカメラからの１次元画素
信号を処理して検査情報を出力する第１の画像処理装置
と、 第２の１次元ラインセンサカメラに接続され、第２の１
次元ラインセンサカメラからの１次元画素信号を処理し
て検査情報を出力する第２の画像処理装置と、 第３の１次元ラインセンサカメラに接続され、第３の１
次元ラインセンサカメラからの１次元画素信号を処理し
て検査情報を出力する第３の画像処理装置と、 第１，第２，第３の画像処理装置からの検査情報に基づ
いて、欠点の種類を判別するコンピュータと、をさらに
備える請求項３記載の連続シート状物体の欠点検査装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13770495A JPH08327561A (ja) | 1995-06-05 | 1995-06-05 | 連続シート状物体の欠点検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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Cited By (29)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000028546A (ja) * | 1998-07-08 | 2000-01-28 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光学補償フィルムの欠陥検査方法及び装置 |
| WO2000026647A1 (en) * | 1998-10-30 | 2000-05-11 | Image Processing Systems Inc. | Glass inspection system |
| WO2001081904A1 (en) * | 2000-04-20 | 2001-11-01 | Photon Dynamics Canada Inc. | Dark view inspection system for transparent media |
| WO2002001206A1 (en) * | 2000-06-27 | 2002-01-03 | Photon Dynamics Canada Inc. | Stereo vision inspection system for transparent media |
| WO2003085389A1 (en) * | 2002-04-03 | 2003-10-16 | 3M Innovative Properties Company | Imaging method and apparatus |
| JP2004219122A (ja) * | 2003-01-10 | 2004-08-05 | Dainippon Printing Co Ltd | 異物不良の検査装置および検査方法 |
| JP2006201110A (ja) * | 2005-01-24 | 2006-08-03 | Nidec Tosok Corp | 紙容器成型不良検査方法 |
| JP2006266933A (ja) * | 2005-03-24 | 2006-10-05 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 透明板状体の欠点検査方法及び欠点検査装置 |
| JP2007033327A (ja) * | 2005-07-28 | 2007-02-08 | Canon Chemicals Inc | 欠陥検出方法及び装置 |
| WO2007110672A1 (en) * | 2006-03-29 | 2007-10-04 | Pilkington Group Limited | Glazing inspection |
| WO2007133581A3 (en) * | 2006-05-12 | 2008-02-14 | Corning Inc | Apparatus and method for characterizing defects in a transparent substrate |
| JP2008216148A (ja) * | 2007-03-06 | 2008-09-18 | Mec:Kk | 欠陥検査装置、照明装置 |
| JP2009512839A (ja) * | 2005-10-21 | 2009-03-26 | イスラ ヴィズィオーン アーゲー | ガラス板光学検査システム及び方法 |
| JP2009516852A (ja) * | 2005-11-21 | 2009-04-23 | コーニング インコーポレイテッド | 板ガラスを検査するための傾斜型透過照明検査システム及び方法 |
| JP2009128131A (ja) * | 2007-11-21 | 2009-06-11 | Kawakami Sangyo Co Ltd | 気泡シート体成形情報検出装置、及び気泡シート体成形情報検出方法 |
| JP2009276165A (ja) * | 2008-05-14 | 2009-11-26 | Panasonic Corp | 基板検査装置 |
| JP4940242B2 (ja) * | 2005-09-27 | 2012-05-30 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | 基板の表面を検査するための測定システム |
| JP2012519265A (ja) * | 2009-02-27 | 2012-08-23 | サン−ゴバン グラス フランス | 基板の欠陥を検出するシステム及び方法 |
| US8388204B2 (en) | 2009-09-22 | 2013-03-05 | Cyberoptics Corporation | High speed, high resolution, three dimensional solar cell inspection system |
| JP2013513188A (ja) * | 2009-12-16 | 2013-04-18 | ザ プロクター アンド ギャンブル カンパニー | ラインスキャンカメラを使用してオンラインウェブを監視するシステム及び方法 |
| JP2013529166A (ja) * | 2010-04-21 | 2013-07-18 | エルジー・ケム・リミテッド | ガラスシート切断装置 |
| US8670031B2 (en) | 2009-09-22 | 2014-03-11 | Cyberoptics Corporation | High speed optical inspection system with camera array and compact, integrated illuminator |
| US8681211B2 (en) | 2009-09-22 | 2014-03-25 | Cyberoptics Corporation | High speed optical inspection system with adaptive focusing |
| US8872912B2 (en) | 2009-09-22 | 2014-10-28 | Cyberoptics Corporation | High speed distributed optical sensor inspection system |
| US8894259B2 (en) | 2009-09-22 | 2014-11-25 | Cyberoptics Corporation | Dark field illuminator with large working area |
| DE102014115317A1 (de) * | 2014-10-21 | 2016-04-21 | cibite AG | Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung des Transmissionsgrads eines Flachglas-Substrats |
| CN107966459A (zh) * | 2017-12-27 | 2018-04-27 | 湖南航天天麓新材料检测有限责任公司 | 一种宽幅面玻璃细微划伤在线检测装置 |
| CN110208269A (zh) * | 2019-05-17 | 2019-09-06 | 惠州高视科技有限公司 | 一种玻璃表面异物与内部异物区分的方法及系统 |
| WO2024257491A1 (ja) * | 2023-06-14 | 2024-12-19 | 富士フイルム株式会社 | 読取装置、読取方法、プログラム、検査装置及び印刷システム |
-
1995
- 1995-06-05 JP JP13770495A patent/JPH08327561A/ja active Pending
Cited By (42)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000028546A (ja) * | 1998-07-08 | 2000-01-28 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光学補償フィルムの欠陥検査方法及び装置 |
| KR100790612B1 (ko) * | 1998-10-30 | 2007-12-31 | 포톤 다이나믹스 캐나다 인코포레이티드 | 유리 검사시스템 |
| WO2000026647A1 (en) * | 1998-10-30 | 2000-05-11 | Image Processing Systems Inc. | Glass inspection system |
| US6437357B1 (en) * | 1998-10-30 | 2002-08-20 | Photon Dynamics Canada Inc. | Glass inspection system including bright field and dark field illumination |
| WO2001081904A1 (en) * | 2000-04-20 | 2001-11-01 | Photon Dynamics Canada Inc. | Dark view inspection system for transparent media |
| WO2002001206A1 (en) * | 2000-06-27 | 2002-01-03 | Photon Dynamics Canada Inc. | Stereo vision inspection system for transparent media |
| WO2003085389A1 (en) * | 2002-04-03 | 2003-10-16 | 3M Innovative Properties Company | Imaging method and apparatus |
| US7023542B2 (en) | 2002-04-03 | 2006-04-04 | 3M Innovative Properties Company | Imaging method and apparatus |
| JP2004219122A (ja) * | 2003-01-10 | 2004-08-05 | Dainippon Printing Co Ltd | 異物不良の検査装置および検査方法 |
| JP2006201110A (ja) * | 2005-01-24 | 2006-08-03 | Nidec Tosok Corp | 紙容器成型不良検査方法 |
| JP2006266933A (ja) * | 2005-03-24 | 2006-10-05 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 透明板状体の欠点検査方法及び欠点検査装置 |
| JP2007033327A (ja) * | 2005-07-28 | 2007-02-08 | Canon Chemicals Inc | 欠陥検出方法及び装置 |
| JP4940242B2 (ja) * | 2005-09-27 | 2012-05-30 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | 基板の表面を検査するための測定システム |
| US8284396B2 (en) | 2005-10-21 | 2012-10-09 | Isra Vision Ag | System and device for the optical inspection of glass panels |
| JP2009512839A (ja) * | 2005-10-21 | 2009-03-26 | イスラ ヴィズィオーン アーゲー | ガラス板光学検査システム及び方法 |
| EP1969343A4 (en) * | 2005-11-21 | 2010-01-13 | Corning Inc | OBLIQUE TRANSMISSION LIGHTING INSPECTION SYSTEM AND METHOD FOR INSPECTING A GLASS SHEET |
| JP2009516852A (ja) * | 2005-11-21 | 2009-04-23 | コーニング インコーポレイテッド | 板ガラスを検査するための傾斜型透過照明検査システム及び方法 |
| US7760350B2 (en) | 2006-03-29 | 2010-07-20 | Pilkington Group Limited | Glazing inspection |
| WO2007110672A1 (en) * | 2006-03-29 | 2007-10-04 | Pilkington Group Limited | Glazing inspection |
| US7567344B2 (en) | 2006-05-12 | 2009-07-28 | Corning Incorporated | Apparatus and method for characterizing defects in a transparent substrate |
| WO2007133581A3 (en) * | 2006-05-12 | 2008-02-14 | Corning Inc | Apparatus and method for characterizing defects in a transparent substrate |
| JP2008216148A (ja) * | 2007-03-06 | 2008-09-18 | Mec:Kk | 欠陥検査装置、照明装置 |
| JP2009128131A (ja) * | 2007-11-21 | 2009-06-11 | Kawakami Sangyo Co Ltd | 気泡シート体成形情報検出装置、及び気泡シート体成形情報検出方法 |
| JP2009276165A (ja) * | 2008-05-14 | 2009-11-26 | Panasonic Corp | 基板検査装置 |
| JP2012519265A (ja) * | 2009-02-27 | 2012-08-23 | サン−ゴバン グラス フランス | 基板の欠陥を検出するシステム及び方法 |
| EP2401603A4 (en) * | 2009-02-27 | 2017-08-30 | Saint-Gobain Glass France | System and method for detecting defects of substrate |
| US8670031B2 (en) | 2009-09-22 | 2014-03-11 | Cyberoptics Corporation | High speed optical inspection system with camera array and compact, integrated illuminator |
| US8894259B2 (en) | 2009-09-22 | 2014-11-25 | Cyberoptics Corporation | Dark field illuminator with large working area |
| US8681211B2 (en) | 2009-09-22 | 2014-03-25 | Cyberoptics Corporation | High speed optical inspection system with adaptive focusing |
| US8388204B2 (en) | 2009-09-22 | 2013-03-05 | Cyberoptics Corporation | High speed, high resolution, three dimensional solar cell inspection system |
| US8872912B2 (en) | 2009-09-22 | 2014-10-28 | Cyberoptics Corporation | High speed distributed optical sensor inspection system |
| JP2013513188A (ja) * | 2009-12-16 | 2013-04-18 | ザ プロクター アンド ギャンブル カンパニー | ラインスキャンカメラを使用してオンラインウェブを監視するシステム及び方法 |
| US8821211B2 (en) | 2010-04-21 | 2014-09-02 | Lg Chem, Ltd. | Device for cutting of glass sheet |
| US9327381B2 (en) | 2010-04-21 | 2016-05-03 | Lg Chem, Ltd. | Device for cutting of glass sheet |
| JP2013529166A (ja) * | 2010-04-21 | 2013-07-18 | エルジー・ケム・リミテッド | ガラスシート切断装置 |
| DE102014115317A1 (de) * | 2014-10-21 | 2016-04-21 | cibite AG | Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung des Transmissionsgrads eines Flachglas-Substrats |
| WO2016062711A1 (de) * | 2014-10-21 | 2016-04-28 | cibite AG | Verfahren und vorrichtung zur ermittlung des transmissionsgrads eines flachglas-substrats |
| US10557796B2 (en) | 2014-10-21 | 2020-02-11 | cibite AG | Method and device for determining the transmittance of a flat glass substrate |
| CN107966459A (zh) * | 2017-12-27 | 2018-04-27 | 湖南航天天麓新材料检测有限责任公司 | 一种宽幅面玻璃细微划伤在线检测装置 |
| CN110208269A (zh) * | 2019-05-17 | 2019-09-06 | 惠州高视科技有限公司 | 一种玻璃表面异物与内部异物区分的方法及系统 |
| CN110208269B (zh) * | 2019-05-17 | 2021-08-20 | 高视科技(苏州)有限公司 | 一种玻璃表面异物与内部异物区分的方法及系统 |
| WO2024257491A1 (ja) * | 2023-06-14 | 2024-12-19 | 富士フイルム株式会社 | 読取装置、読取方法、プログラム、検査装置及び印刷システム |
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